JPH11108283A - ヒータ付配管及び半導体製造装置 - Google Patents
ヒータ付配管及び半導体製造装置Info
- Publication number
- JPH11108283A JPH11108283A JP9277454A JP27745497A JPH11108283A JP H11108283 A JPH11108283 A JP H11108283A JP 9277454 A JP9277454 A JP 9277454A JP 27745497 A JP27745497 A JP 27745497A JP H11108283 A JPH11108283 A JP H11108283A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pipe
- heater
- heating
- plug
- heated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L53/00—Heating of pipes or pipe systems; Cooling of pipes or pipe systems
- F16L53/30—Heating of pipes or pipe systems
- F16L53/35—Ohmic-resistance heating
- F16L53/38—Ohmic-resistance heating using elongate electric heating elements, e.g. wires or ribbons
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Pipe Accessories (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 加熱効率が高く、配管の径を大きくすること
なく保温性が高く、消費電力を少なくして省エネ効果の
大きいヒータ付配管の提供にある。 【解決手段】 配管１１の内側壁面に蛇状に曲げた加熱
ヒータ１２を壁面に接触して配設する。ヒータ１２の両
端は配管１１の側壁を貫通するヒータポート１３から導
出され、プラグ１４に接続され、プラグ１４からの通電
により加熱される。内壁面の加熱ヒータ１２により配管
１１は内部から加熱され、配管壁によって保温される。
配管１１の外側に断熱材を設ける場合でも薄くてよく配
管を細くできる。配管１１の加熱によって内部ガスの副
生成物の堆積が防止できる。
なく保温性が高く、消費電力を少なくして省エネ効果の
大きいヒータ付配管の提供にある。 【解決手段】 配管１１の内側壁面に蛇状に曲げた加熱
ヒータ１２を壁面に接触して配設する。ヒータ１２の両
端は配管１１の側壁を貫通するヒータポート１３から導
出され、プラグ１４に接続され、プラグ１４からの通電
により加熱される。内壁面の加熱ヒータ１２により配管
１１は内部から加熱され、配管壁によって保温される。
配管１１の外側に断熱材を設ける場合でも薄くてよく配
管を細くできる。配管１１の加熱によって内部ガスの副
生成物の堆積が防止できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置に
用いる配管、特に加熱状態を保持するようにしたヒータ
付配管に関するものである。
用いる配管、特に加熱状態を保持するようにしたヒータ
付配管に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置は、半導体製造工程にお
いて真空排気したり必要なガス蒸気の給排等を行なう必
要があり、その配管には加熱ヒータを備え、加熱状態を
保持して内部を流通するガス等の冷却による副生成物の
堆積を防ぐように考慮されている。
いて真空排気したり必要なガス蒸気の給排等を行なう必
要があり、その配管には加熱ヒータを備え、加熱状態を
保持して内部を流通するガス等の冷却による副生成物の
堆積を防ぐように考慮されている。
【０００３】図６は、従来の加熱配管を示す。３１が配
管で、配管の外周にテープ状ヒータ３２を巻き付け、プ
ラグ３３から通電して加熱する。断面図を図７に示すよ
うに、テープヒータ３２を巻回した配管３１の外側を断
熱材３４で覆って保温する。図８は側面断面図を示す。
管で、配管の外周にテープ状ヒータ３２を巻き付け、プ
ラグ３３から通電して加熱する。断面図を図７に示すよ
うに、テープヒータ３２を巻回した配管３１の外側を断
熱材３４で覆って保温する。図８は側面断面図を示す。
【０００４】また、図９は他の加熱ヒータを示し、シー
ト状の断熱材４１内にヒータ４２を蛇状にして埋め込
み、プラグ４３から通電して加熱するようにしたもので
ある。断熱材シート４１の左右両端に取付用の紐４４を
設けて、図１０に示すように配管４５の外周に巻き付け
る。
ト状の断熱材４１内にヒータ４２を蛇状にして埋め込
み、プラグ４３から通電して加熱するようにしたもので
ある。断熱材シート４１の左右両端に取付用の紐４４を
設けて、図１０に示すように配管４５の外周に巻き付け
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この従来の方法では、
ヒータ及び断熱材によって配管の外径が大きくなる欠点
がある。また加熱は配管の外側から伝熱するので、配管
の肉厚が厚い場合は、配管の加熱温度以上の温度でヒー
タを加熱し、断熱材を厚くすることで保温性を良くさせ
ることから、消費電力も多く、大きさもかさばるといっ
た欠点があった。
ヒータ及び断熱材によって配管の外径が大きくなる欠点
がある。また加熱は配管の外側から伝熱するので、配管
の肉厚が厚い場合は、配管の加熱温度以上の温度でヒー
タを加熱し、断熱材を厚くすることで保温性を良くさせ
ることから、消費電力も多く、大きさもかさばるといっ
た欠点があった。
【０００６】本発明の目的は、この従来の課題を解決
し、加熱効率が高く、配管の径を大きくすることなく、
保温性の高い配管を提供でき、消費電力を少なくして省
エネ効果の大きいヒータ付配管の提供にある。
し、加熱効率が高く、配管の径を大きくすることなく、
保温性の高い配管を提供でき、消費電力を少なくして省
エネ効果の大きいヒータ付配管の提供にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、加熱ヒー
タを配管の内壁に沿って接触配置して成ることによって
達成される。
タを配管の内壁に沿って接触配置して成ることによって
達成される。
【０００８】上記の手段によれば、加熱ヒータによって
配管の内側から加熱することができ、配管内の加熱効率
が高く、保温性が良い。このため電力消費が少なく経済
的に加熱できる。また配管の外側に従来のような断熱材
を設ける必要がなく、断熱材を設けるとしても極く薄く
てよいから配管の外径を小さく小形に構成できる。
配管の内側から加熱することができ、配管内の加熱効率
が高く、保温性が良い。このため電力消費が少なく経済
的に加熱できる。また配管の外側に従来のような断熱材
を設ける必要がなく、断熱材を設けるとしても極く薄く
てよいから配管の外径を小さく小形に構成できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
によって説明する。
によって説明する。
【００１０】図１は、本発明の一実施形態のヒータ付配
管を示す。１１が配管の斜視図で、この配管１１の内側
に、蛇状に曲げた加熱ヒータ１２を設ける。ヒータ１２
の詳細は図３に示し、図４に断面図を示すように、テー
プ状の平たい断面を有し、この断面積の広い面を配管１
１の内壁に接触するように配設する。図２がヒータ１２
を内挿した配管１１の断面図で、蛇状に曲折させたヒー
タ１２は、配管１１の内壁に全面均等に分布するように
設けられる。
管を示す。１１が配管の斜視図で、この配管１１の内側
に、蛇状に曲げた加熱ヒータ１２を設ける。ヒータ１２
の詳細は図３に示し、図４に断面図を示すように、テー
プ状の平たい断面を有し、この断面積の広い面を配管１
１の内壁に接触するように配設する。図２がヒータ１２
を内挿した配管１１の断面図で、蛇状に曲折させたヒー
タ１２は、配管１１の内壁に全面均等に分布するように
設けられる。
【００１１】加熱ヒータ１２の両端は配管１１の側壁に
貫通させたヒータポート１３から外部に導出され、プラ
グ１４に接続されて、プラグ１４からの通電により加熱
される。配管内の加熱状態を検出するために熱電対１５
が設けられ、配管壁を貫通する熱電対ポート１６に接続
されている。
貫通させたヒータポート１３から外部に導出され、プラ
グ１４に接続されて、プラグ１４からの通電により加熱
される。配管内の加熱状態を検出するために熱電対１５
が設けられ、配管壁を貫通する熱電対ポート１６に接続
されている。
【００１２】加熱ヒータ１２は配管１１の内壁に沿って
接触させて設けられているから、プラグ１４からヒータ
ポート１３を通じて通電することにより配管１１の内部
から加熱できる。この配管１１の加熱の目的は、配管内
でのガスの冷却による副生成物の堆積を防ぐことである
が、内側からの加熱によって配管１１は容易に所定の加
熱及び加熱状態に維持され、これにより内壁面への副生
成物の堆積防止効果が高く、ヒータ１２自身も加熱され
ているからこれに堆積することもなく、またヒータ１２
と配管１１とは接触（伝導熱）で加熱するため、配管１
１内が真空でも所定の加熱状態にすることができる。
接触させて設けられているから、プラグ１４からヒータ
ポート１３を通じて通電することにより配管１１の内部
から加熱できる。この配管１１の加熱の目的は、配管内
でのガスの冷却による副生成物の堆積を防ぐことである
が、内側からの加熱によって配管１１は容易に所定の加
熱及び加熱状態に維持され、これにより内壁面への副生
成物の堆積防止効果が高く、ヒータ１２自身も加熱され
ているからこれに堆積することもなく、またヒータ１２
と配管１１とは接触（伝導熱）で加熱するため、配管１
１内が真空でも所定の加熱状態にすることができる。
【００１３】ヒータ１２の加熱により配管１１の内側か
ら直接加熱することから電力消費も少なくてすみ、効率
のよい加熱ができる。また配管１１自体が外部への放熱
に対して断熱材となるため保温性も極めて良く、図２に
示すように配管１１の外側に断熱材１７を設ける場合で
も極く薄膜で十分であるから熱効率が良く、配管１１の
外径寸法を小さく構成できる。
ら直接加熱することから電力消費も少なくてすみ、効率
のよい加熱ができる。また配管１１自体が外部への放熱
に対して断熱材となるため保温性も極めて良く、図２に
示すように配管１１の外側に断熱材１７を設ける場合で
も極く薄膜で十分であるから熱効率が良く、配管１１の
外径寸法を小さく構成できる。
【００１４】ヒータ１２の加熱制御はプラグ１４からの
通電電流の制御によって行われるが、熱電対１５により
配管内部の加熱温度の検出により、通電電流を制御し常
に最適温度に制御することができる。
通電電流の制御によって行われるが、熱電対１５により
配管内部の加熱温度の検出により、通電電流を制御し常
に最適温度に制御することができる。
【００１５】図５は、加熱ヒータの他の実施形態を示
し、ヒータは、平行往復抵抗線２２を用い、単独のヒー
タポート２３からプラグ２４に接続した構成になり、こ
れを配管内壁に接触させて加熱する。
し、ヒータは、平行往復抵抗線２２を用い、単独のヒー
タポート２３からプラグ２４に接続した構成になり、こ
れを配管内壁に接触させて加熱する。
【００１６】なおヒータは、図３，図５ともに蛇状に曲
げたものを用いたが、螺旋状、折線状等の任意の形状に
曲げても配管の内壁面に沿って接触して配置できるもの
であれば同様に用いることができる。
げたものを用いたが、螺旋状、折線状等の任意の形状に
曲げても配管の内壁面に沿って接触して配置できるもの
であれば同様に用いることができる。
【００１７】この本発明のヒータ付配管によれば、半導
体製造装置の真空排気用配管とかガス、蒸気給排用配管
等として配管内を常に最適温度に加熱保持することがで
き、冷却による副生成物の堆積を防止しながら真空排
気、ガス蒸気給排を行ってイオンプランテーション等の
安定した半導体製造をすることができる。
体製造装置の真空排気用配管とかガス、蒸気給排用配管
等として配管内を常に最適温度に加熱保持することがで
き、冷却による副生成物の堆積を防止しながら真空排
気、ガス蒸気給排を行ってイオンプランテーション等の
安定した半導体製造をすることができる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、配
管の内部からの加熱により加熱効率が高く保温性がよく
て、電力消費を少なくすることができ、保温効果により
配管の外径も小さく構成できる。また半導体製造装置の
配管として副生成物の堆積のない安定した半導体製造を
することができる効果がある。
管の内部からの加熱により加熱効率が高く保温性がよく
て、電力消費を少なくすることができ、保温効果により
配管の外径も小さく構成できる。また半導体製造装置の
配管として副生成物の堆積のない安定した半導体製造を
することができる効果がある。
【図１】本発明の一実施形態の構造図。
【図２】図１の断面図。
【図３】加熱ヒータの詳細図。
【図４】図３の加熱ヒータの切断面図。
【図５】他の加熱ヒータの構造図。
【図６】従来の配管の構造図。
【図７】図６の断面図。
【図８】図６の側断面図。
【図９】従来のヒータの構造図。
【図１０】図９のヒータの使用状態図。
１１…配管、１２…ヒータ、１３…ヒータポート、１４
…プラグ、１５…熱電対、１６…熱電対ポート、１７…
絶縁材、２２…ヒータ、２３…ヒータポート、２４…プ
ラグ。
…プラグ、１５…熱電対、１６…熱電対ポート、１７…
絶縁材、２２…ヒータ、２３…ヒータポート、２４…プ
ラグ。
Claims (2)
- 【請求項１】 加熱ヒータにより加熱状態を保持するよ
うにしたヒータ付配管において、加熱ヒータを配管の内
壁に沿って接触配置して成ることを特徴とするヒータ付
配管。 - 【請求項２】 請求項１記載のヒータ付配管を構成部材
としたことを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9277454A JPH11108283A (ja) | 1997-10-09 | 1997-10-09 | ヒータ付配管及び半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9277454A JPH11108283A (ja) | 1997-10-09 | 1997-10-09 | ヒータ付配管及び半導体製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11108283A true JPH11108283A (ja) | 1999-04-20 |
Family
ID=17583817
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9277454A Pending JPH11108283A (ja) | 1997-10-09 | 1997-10-09 | ヒータ付配管及び半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11108283A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006035547A1 (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Fujikin Incorporated | ガス加熱方法およびガス加熱用配管部材 |
| KR100863583B1 (ko) | 2007-05-11 | 2008-10-15 | 세메스 주식회사 | 반도체 장비의 슬롯 밸브 |
| KR200470148Y1 (ko) * | 2012-06-08 | 2013-12-02 | 삼성중공업 주식회사 | 배관 유닛 |
| CN103672203A (zh) * | 2013-11-09 | 2014-03-26 | 高月芳 | 一种不锈钢复合管 |
| CN105650397A (zh) * | 2014-12-04 | 2016-06-08 | 南京化工职业技术学院 | 一种热交换器 |
| CN106439284A (zh) * | 2016-11-28 | 2017-02-22 | 无锡金顶石油管材配件制造有限公司 | 石油管保温管箍 |
-
1997
- 1997-10-09 JP JP9277454A patent/JPH11108283A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006035547A1 (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Fujikin Incorporated | ガス加熱方法およびガス加熱用配管部材 |
| KR100863583B1 (ko) | 2007-05-11 | 2008-10-15 | 세메스 주식회사 | 반도체 장비의 슬롯 밸브 |
| KR200470148Y1 (ko) * | 2012-06-08 | 2013-12-02 | 삼성중공업 주식회사 | 배관 유닛 |
| CN103672203A (zh) * | 2013-11-09 | 2014-03-26 | 高月芳 | 一种不锈钢复合管 |
| CN105650397A (zh) * | 2014-12-04 | 2016-06-08 | 南京化工职业技术学院 | 一种热交换器 |
| CN106439284A (zh) * | 2016-11-28 | 2017-02-22 | 无锡金顶石油管材配件制造有限公司 | 石油管保温管箍 |
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