JPH11102074A

JPH11102074A - 照明光学系及び照明光学系を有する投影露光装置

Info

Publication number: JPH11102074A
Application number: JP9278078A
Authority: JP
Inventors: Masa Okada; 雅岡田
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1997-09-25
Filing date: 1997-09-25
Publication date: 1999-04-13

Abstract

(57)【要約】【課題】ランプの位置出し、アーク像のゆらぎ、ラン
プの光軸に対する傾き等の観察が容易な照明光学系及び
そのような投影露光装置を提供する。【解決手段】発光部１０１を有する光源１００と、光
源１００により被照明物Ｒを照明するための照明光学部
１３０と、発光部１０１の、照明光学部１３０の光軸に
対する相対的位置を調整する調整装置１４０と、発光部
１０１の位置を監視するためのモニタ１１０とを備え、
モニタ１１０は、発光部１０１の像を結像する結像光学
系１０４〜１０８を含み、その結像光学系の結像倍率が
可変に構成されている照明光学系。結像光学系の結像倍
率が可変に構成されているので、発光部を状況に応じて
適切な倍率をもって観察でき、調整装置を備えるので、
適切な倍率で観察しながら発光部の位置や傾きを調整す
ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、照明光学系及び照
明光学系を有する投影露光装置に関し、特に光源として
超高圧水銀ランプを使用する照明光学系及びそのような
照明光学系を有する投影露光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図７に、従来の投影露光装置の光源近傍
の光学配置図を示す。図７に示される光源は、超高圧水
銀ランプ１と、それから発せられる光を集める楕円鏡２
で構成されており、ランプ１は楕円鏡２のほぼ第１焦点
付近に設けられている。水銀ランプ１は、陽極と陰極と
を有しており、両極間に飛ぶアークによって照明光を発
生する。

【０００３】水銀ランプ１から出た光は、楕円鏡２によ
り楕円鏡２の第２焦点付近に集光される。楕円鏡２の第
１焦点と第２焦点の中間で第２焦点寄りに、ダイクロイ
ックミラー３がその反射面を第１焦点と第２焦点を結ぶ
直線に対して傾斜させて配置されている。このダイクロ
イックミラー３は、露光光の波長を有する光を、照明す
べき不図示のレチクルの方向へ反射し、その他の一部の
波長の光を透過する。

【０００４】ダイクロイックミラー３で反射された光
は、所定の照明光学系を介して、照明されるべきレチク
ルへと導かれる。ダイクロイックミラー３を透過した光
の光路中のほぼ第２焦点の位置には、リレーレンズ４が
配置されており、さらにその光の進行方向には反射ミラ
ー５が光軸に対して傾斜されて配置されており、その反
射方向にはフィールドレンズ６、結像レンズ系７、スク
リーン８が配列されている。結像レンズ系７は２系統の
組み合わせレンズからなる。これら２系統の組み合わせ
レンズは、フィールドレンズ６の光軸の方向からスクリ
ーンを見たときに、その光軸回りに９０°の角度ピッチ
で、光軸から等距離に配置されている。

【０００５】図８は、以上説明したフィールドレンズ
６、結像レンズ系７、スクリーン８を含む、従来のラン
プモニタ系の構成図である。図中、結像レンズ系７、ス
クリーン８は各々鏡筒２１、２２に固定されている。ラ
ンプモニタ系全体は、金物２３に収納されており、金物
２３にはフィールドレンズ６及び鏡筒２１、２２が固定
されている。

【０００６】このような構成において、図７に示される
ダイクロイックミラー３を透過した光は反射ミラー５で
反射され、フィ―ルドレンズ６、結像レンズ系７を通過
しスクリーン８上に光源像を投影する。

【０００７】図７のＣ矢視図は、結像レンズ系７の２系
統の組み合わせレンズを介してスクリーン８上に投影さ
れる光源像を、フィールドレンズ６側から見た（図中Ｃ
矢視方向）拡大図として示している。２系統の組み合わ
せレンズが、フィールドレンズ６の光軸回りに９０°の
角度ピッチで光軸からほぼ等距離に配置されているの
で、スクリーン８上には、フィールドレンズ６の光軸と
スクリーン８との交点の回りに９０°の角度ピッチで、
その交点からほぼ等距離に投影される円形視野１２（後
述）内に結像される。

【０００８】図７のＣ矢視図において、正方形の外枠１
１はスクリーン８を収納する枠を示し、光源像を囲む円
形の枠１２はスクリーン８の視野を示す。このようにし
て、ｘ方向及びｙ方向から、超高圧水銀ランプ１の光源
像を観察することが出来る。

【０００９】また超高圧水銀ランプ１は、不図示の保持
部により楕円鏡２とは独立に保持されている。その保持
部はｘ、ｙ、ｚ方向に光源１を移動することができるよ
うに構成されており、超高圧水銀ランプ１の楕円鏡２に
対する相対的な位置出しが可能となっている。

【００１０】このようにして、操作者はスクリーン８上
の光源像を観察しながら、前記保持部を操作することに
より、超高圧水銀ランプ１の陰極、陽極の位置を設定す
ることが出来、ランプ１を楕円鏡２の所望の位置、通常
は第１焦点近傍に置くことができる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】以上のような照明光学
系によれば、ランプモニタへの結像レンズ系７が固定倍
率のため、倍率が低ければ、ランプの陰極、陽極の位置
出しを正確に行うことが困難であり、逆に固定倍率が大
きければ、ランプの陰極、陽極の位置出しは正確に行え
ても、観察視野が小さいために、アーク像のゆらぎ（輝
点の変動）を観察したり、ランプ自体の光軸に対する傾
きを観察することが困難であるという問題点あった。

【００１２】そこで本発明は、ランプの位置出し、ある
いはアーク像のゆらぎ、ランプの光軸に対する傾き等を
観察する場合に、それぞれの目的に適した倍率で観察出
来る照明光学系及びそのような照明光学系を有する投影
露光装置を提供することを目的としている。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に係る発明による照明光学系は、図１に示
すように、発光部１０１を有する光源１００と；前記光
源１００により被照明物Ｒを照明するための照明光学部
１３０と；前記発光部１０１の、前記照明光学部１３０
の光軸に対する相対的位置を調整する調整装置１４０
と；前記発光部１０１の位置を監視するためのモニタ１
１０とを備え；前記モニタ１１０は、前記発光部１０１
の像を結像する結像光学系１０４〜１０８を含み；前記
結像光学系の結像倍率が可変に構成されていることを特
徴とする。

【００１４】このように構成すると、結像光学系の結像
倍率が可変に構成されているので、発光部を状況に応じ
て適切な倍率をもって観察でき、調整装置を備えるの
で、適切な倍率で観察しながら発光部の位置や傾きを調
整することができる。

【００１５】この照明光学系では、請求項２に記載のよ
うに、前記結像倍率が連続的に変更できるように構成さ
れているのが望ましい。この場合適切な倍率をきめ細か
く設定できる。

【００１６】以上の照明光学系では、請求項３に記載の
ように、前記モニタは、前記像を結像するためのスクリ
ーンであって前記像の位置を計測する指標パターンが形
成された交換可能なスクリーンを備えてもよい。この場
合、スクリーンが交換可能であるので目的に応じた指標
パターンを設置することができる。

【００１７】請求項４に記載の投影露光装置は、請求項
１乃至請求項３のいずれかに記載の照明光学系と；前記
照明光学系によって照明されたレチクル上のパターンを
投影する投影光学系とを備えたことを特徴とする。

【００１８】このように構成すると、本発明の照明光学
系を備えるので、レチクルは発光部が正しく位置決めさ
れた光源により照明される。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。なお、各図において互い
に同一あるいは相当する部材には同一符号あるいは類似
符号を付し、重複した説明は省略する。

【００２０】図１は、本発明の実施の形態である投影露
光装置を説明する全体概略図である。また図２は、図１
に示される装置中の光源付近の光学配置の拡大図であ
る。ここで、光源１００は図１と図２とでは、上下逆に
図示されている。また、図２の（Ａ）は光源１００を側
面から見た図であり、楕円鏡は光軸を通る面で断面され
ている。図２の（Ｂ）は、光源の発光部である水銀ラン
プを、楕円鏡の外側から光軸方向に見た図である。

【００２１】先ず図２を参照して光源の構成を説明す
る。図中、本発明の光源１００は、発光部である超高圧
水銀ランプ１０１と、それから発せられる光を集める楕
円鏡１０２を含んで構成されており、ランプ１０１は楕
円鏡１０２のほぼ第１焦点付近に設けられている。本実
施の形態では、ランプ１０１の陽極が楕円鏡の第２焦点
から遠い側、陰極が第２焦点側になるように、また陰極
と陽極を結ぶ線が第１と第２の焦点を結ぶ線とほぼ一致
するように置かれている。

【００２２】ランプ１０１から出た光は、楕円鏡１０２
により楕円鏡１０２の第２焦点付近に集光される。楕円
鏡１０２の第１焦点と第２焦点の中間で第２焦点寄り
に、ダイクロイックミラー１０３がその反射面を第１焦
点と第２焦点を結ぶ直線に対して本実施の形態では約４
５°の角度をもって配置されている。このダイクロイッ
クミラー１０３は、露光光の波長を有する光を、照明す
べきレチクルＲ（図１）の方向へ反射し、その他の一部
の波長の光を透過する。

【００２３】図１において、ダイクロイックミラー１０
３で反射された光は、それぞれ反射光の光路中に配置さ
れた、シャッター１３１、コレクタレンズ１３２、干渉
フィルタ１３３を通過しフライアイレンズ１３４、反射
鏡１３５、コンデンサレンズ１３６を介してレチクルＲ
へと導かれる。レチクルＲは、レチクルステージ１３７
上に載置されている。

【００２４】シャッター１３１は、楕円鏡１０２の第２
焦点付近に配置されている。コレクタレンズ１３２は、
シャッター１３１の位置に結像した超高圧水銀ランプの
光束を平行光にする。干渉フィルタ１３３は、ｉ線（３
６５ｎｍ）を選択的に透過させる。

【００２５】レチクルステージ１３７の、コンデンサレ
ンズ１３６と反対の側に投影光学系ＰＬが配置されてお
り、その先に基板（ウエハ）Ｗが、ウエハステージ１３
８上に載置されている。レチクルＲとウエハＷの表面と
は、投影光学系ＰＬに関して共役な関係にある。

【００２６】一方、ダイクロイックミラー１０３を透過
した光の光路中の、楕円鏡１０２のほぼ第２焦点の位置
には、リレーレンズ１０４が配置されており、さらにそ
の光の進行方向には反射ミラー１０５が配置されてお
り、その反射方向にはフィールドレンズ１０６、レンズ
組立体１６０、スクリーン１０８が配列されている。

【００２７】レンズ組立体１６０は２系統の組み合わせ
レンズからなる。これら２系統の組み合わせレンズは、
フィールドレンズ１０６の光軸の方向からスクリーンを
見たときに、その光軸回りに９０°の角度ピッチで光軸
から等距離に配置されている。

【００２８】このような構成において、ダイクロイック
ミラー１０３を透過した光は反射ミラー１０５で反射さ
れ、フィ―ルドレンズ１０６、レンズ組立体１６０を通
過しスクリーン１０８上に光源像（光源１００中の発光
部１０１の像）を投影する。

【００２９】図６は、従来技術の場合の図７のＣ矢視図
と同様に、レンズ組立体１６０の２系統の組み合わせレ
ンズを介してスクリーン１０８上に投影される光源像を
示している。２系統の組み合わせレンズが、フィールド
レンズ１０６の光軸回りに９０°の角度ピッチで光軸か
らほぼ等距離に配置されているので、スクリーン１０８
上には、フィールドレンズ１０６の光軸とスクリーン１
０８との交点の回りに９０°の角度ピッチで、その交点
からほぼ等距離に投影される円形視野１１２内に結像さ
れる。

【００３０】図６（Ａ）（Ｂ）においては、図７のＣ矢
視図の場合と同様に、正方形の外枠１１１はスクリーン
１０８を収納する枠を示し、光源像を囲む円形の枠１１
２はスクリーン１０８の視野を示す。このようにして、
Ｘ方向及びＹ方向から、超高圧水銀ランプ１の光源像を
観察することが出来る点は従来技術と同様である。ここ
で、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸は、Ｚ軸を照明光学系の光軸ＡＸ方向
に取り、Ｘ軸とＹ軸はＺ軸に直交する平面内に取られた
互いに直交する座標軸とする。ここで光軸が反射ミラー
で偏向されても、Ｚ軸はその偏向に応じて常に光軸方向
に取られるものとする。

【００３１】また図１に示されるように、超高圧水銀ラ
ンプ１０１は、保持部１４０により楕円鏡１０２とは独
立に保持されている。その保持部はＸ、Ｙ、Ｚ方向に光
源の発光部であるランプ１０１を移動することができる
ように構成されており、超高圧水銀ランプ１０１の楕円
鏡１０２に対する相対的な、あるいは本発明の照明光学
部１３０に対する相対的な位置出しが可能となってい
る。

【００３２】図３に保持部１４０の一例を示す。図中、
保持部１４０はＸ、Ｙ、Ｚ方向のラックピニオンステー
ジを構成している。図３（Ａ）は保持部１４０の平面
図、図３（Ｂ）は同じく正面図である。

【００３３】図３において、テーブル１５１は投影露光
装置本体に固定されている。即ち照明光学系１３０に関
して相対的に固定されている。テーブル１５１に対して
Ｙ方向に滑動可能にステージ１４２が取り付けられてお
り、ステージ１４２にはハンドル１４５が設けられてい
る。ハンドル１４５とステージ１４２との間は、雄ねじ
と雌ねじで連結されており、両ねじの一方がハンドル１
４５、他方がステージ１４２に形成されて、あるいは取
り付けられている。したがって、ハンドル１４５を回転
させることにより、ステージ１４２は、テーブル１５１
に対してＹ方向に移動可能である。

【００３４】また、テーブル１５１に対してＸ方向に滑
動可能にステージ１４１が取り付けられており、ステー
ジ１４１にはハンドル１４４が設けられている。ハンド
ル１４４とステージ１４１との間は、ハンドル１４５と
ステージ１４２間と同様に雄ねじと雌ねじで連結されて
おり、ハンドル１４４を回転させることにより、ステー
ジ１４１は、テーブル１５１及びステージ１４２に対し
てＸ方向に移動可能である。

【００３５】更にステージ１４１にはステージ１４３が
Ｚ方向に滑動可能に取り付けられており、ステージ１４
１とステージ１４３との間は、やはり雄ねじと雌ねじで
連結されており、ハンドル１４６を回転させることによ
り、ステージ１４３は、テーブル１５１及びステージ１
４２と１４１に対してＺ方向に移動可能である。

【００３６】なお、通常はハンドル１４４、１４５、１
４６の方に雄ねじが形成されるが、雌ねじであってもよ
い。

【００３７】ステージ１４３には、Ｌ字形の取り付け板
１４７のＬ字の短線側の端部が固定されており、Ｌ字の
長線がＺ方向に向いている。Ｌ字の長線側端部には細長
の取り付け板１４８が、長手方向がＹ方向になるように
配置され、取り付け板１４８の一方の端部がボルト締め
で取り付けられている。取り付け板１４８の他方の端部
には、ランプ接続アダプタ１４９が固定されており、こ
の部分に超高圧水銀ランプ１０１が、陰極と陽極を結ん
だ線がＺ方向に向くように取り付けられる。

【００３８】以上の構成により、ハンドル１４４、１４
５、１４６を回転させることにより、それぞれＸ方向、
Ｙ方向、Ｚ方向へ超高圧水銀ランプ１０１を移動させる
ことができ、ランプ１０１の位置出しが可能となる。

【００３９】図４は、本発明に用いる結像レンズ系１０
７の２系統の組み合わせレンズ１７１、１７２及びそれ
らを保持する鏡筒等を含むレンズ組立体１６０の拡大図
である。このレンズ組立体２セットが、図８で説明した
ようなランプモニタ系の収容金物２３に組み立てられて
いる。本発明のモニタ１１０は、このレンズ組立体１６
０を含んで構成されており、モニタ１１０は超高圧水銀
ランプ１０１の陰極と陽極の位置を観察し、アーク像の
輝点の変動を監視するのに用いられる。

【００４０】図４を参照して、レンズ組立体１６０の構
造を先ず説明する。図４において、結像レンズ１７１、
１７２が、それぞれ鏡筒１６１、１６２に嵌合されて組
み立てられている。レンズ１７１は変倍レンズであり、
１７２は像位置補正レンズである。即ち、両レンズ１７
１、１７２は、相互に光軸方向に可動な構造になってお
り、変倍レンズ１７１の光軸方向の移動により像の倍率
を変更し、それに伴って生じる像位置のずれを、像位置
補正レンズ１７２の光軸方向の移動により補正する。

【００４１】鏡筒１６１、１６２は、納められたレンズ
の光軸を中心とする円筒状の外周面を有しており、両鏡
筒は円筒状の内面を有するズーム鏡筒１６３に回転方向
及び光軸方向に滑動可能にしっくりと受容されている。

【００４２】ズーム鏡筒１６３は、中空の均一の肉厚を
有する円筒形状をしており、内外面は滑らかに仕上げら
れている。ズーム鏡筒１６３には、ズーム解曲線に従っ
たカム溝がその肉厚を貫通して設けられている。さらに
ズーム鏡筒１６３の外面は、円筒状内面を有する鏡筒１
６４に回転方向に滑動可能に嵌合されている。

【００４３】鏡筒１６１、１６２の外周面には各々円柱
状のカムピン１６８ａ、１６８ｂが植設されている。一
方鏡筒１６４には、カムピン１６８ａ、１６８ｂを案内
する、カムピン１６８ａ、１６８ｂの外径より僅かに大
きい幅を有するスロットが光軸方向に設けられている。
スロットの長さは、ズーム鏡筒１６３に形成されたカム
溝の光軸方向の長さをカバーするように加工されてい
る。

【００４４】ズーム鏡筒１６３は、鏡筒１６４が回転し
ても連れ回らないように、不図示の保持機構により図４
には不図示の収納金物（図８の２３に相当）に、回転方
向が固定されている。

【００４５】鏡筒１６４は、不図示の軸受け機構により
前記不図示の収容金物に回転可能に支持されている。ま
た、鏡筒１６４の一方の端部には、歯車１６５が取り付
けられており、これと噛み合う歯車１６６が、モータ１
６７の軸に取り付けられている。

【００４６】以上のような構成により、モータ１６７が
回転すると、歯車１６６と１６５により回転力が伝達さ
れて、鏡筒１６４が光軸回りに回転する。それに伴っ
て、鏡筒１６４のスロットも光軸回りに回転するので、
カムピン１６８ａ、１６８ｂも光軸回りに回転する。し
たがって、鏡筒１６１、１６２は、回転しないズーム鏡
筒１６３に設けられたカム溝に従動して光軸方向に、ズ
ーム解曲線で予定された関係をもって移動させられる。

【００４７】このようにして、操作者は不図示のスイッ
チによりモータ１６７を正逆方向に回転、あるいは停止
させることにより、スクリーン１０８（図１）上の発光
部の像を容易に倍率可変に設定出来る。レンズ組立体１
６０は２系統備えられているが、それぞれの倍率は同一
になるように機械的にあるいは電気的に同期して、鏡筒
１６４を回転するのが望ましいが、それぞれ独立して適
切な倍率になるように、鏡筒１６４を回転してもよい。

【００４８】即ち、操作者はスクリーン１０８上の光源
像（発光部の像）を観察しながら、前記保持部１４０を
操作することにより、超高圧水銀ランプ１０１の陰極、
陽極の位置を設定することが出来、ランプ１０１を楕円
鏡１０２の所望の位置、言い換えれば照明光学系の光軸
に対する所望の相対的な位置、通常は第１焦点近傍に置
くことができる。

【００４９】図５に、本発明に用いる、スクリーン１０
８とその保持機構を示す。図中、スクリーン１０８は、
スクリーン枠１２６に接着固定されており、スクリーン
枠１２８はスクリーン保持具１２５にビス１２７により
締結されている。さらに、スクリーン保持具１２５は、
収納金物に不図示のボルト等の締結具により固着されて
いる。

【００５０】このような構成により、操作者はビス１２
７を緩め、スクリーン枠１２６を外し、その代わりに他
のスクリーンを取り付けたスクリーン枠をスクリーン保
持具１２５に付け替えることにより、異なったパターン
のスクリーンに容易に交換出来る。

【００５１】図６の（Ａ）と（Ｂ）は、スクリーン１０
８上に結像された光源像の様子を示す図である。両図に
おいて正方形の外枠１１１の右上寄りに、スクリーン１
０８と光軸ＡＸの交点（ＡＸで示す）があり、左上寄り
に、陰極を右方向即ちＡＸ方向、陽極をその反対方向に
置いた発光部の像、右下寄りに、陰極を上方向即ちＡＸ
方向、陽極をその反対方向に置いた発光部の像が結像さ
れている。

【００５２】図６（Ａ）には、結像レンズ系１０７の倍
率を大きくした場合を示す。このような拡大された像
は、ランプの陰極、陽極の位置出しに好適である。

【００５３】図６（Ｂ）には、結像レンズ系１０７の倍
率を小さくした場合を示す。このような比較的縮小され
た像では、ランプの発光部全体が結像されているので、
観察視野が大きく、アーク像のゆらぎやランプ自体の傾
きを観察するのに好適である。

【００５４】図６（Ａ）、図６（Ｂ）においては、ハン
ドル１４４（図３）を回転すると、Ｘ方向に超高圧水銀
ランプ１０１が移動し、この様子は図６（Ａ）、図６
（Ｂ）の左上の光源像が図中上下方向に移動するとして
観察出来る。また、ハンドル１４５（図３）を回転する
とＹ方向に超高圧水銀ランプ１０１が移動し、この様子
は図６（Ａ）、図６（Ｂ）の右下の光源像が図中左右方
向に移動するとして観察出来る。

【００５５】さらにハンドル１４６（図３）を回転する
とＺ方向に超高圧水銀ランプ１０１が移動する。この様
子は図６（Ａ）、図６（Ｂ）の左上の像が図中左右方向
に移動するとして観察でき、また右下の像が図中上下方
向、即ち陰極と陽極を結ぶ線の方向に移動するとして観
察できる。

【００５６】また、図６（Ａ）では等長の破線の線分か
らなる十文字の指標パターンのスクリーンを用いてい
る。このようにすることにより、拡大光源像において陰
極と陽極の位置出しが容易になる。図６（Ｂ）では、陰
極と陽極を結ぶ線方向が長くそれに直交する方向の線が
短い実線の線分からなる十文字の指標パターンのスクリ
ーンを用いている。このようにすることにより、陰極と
陽極の中心傾斜、即ち超高圧水銀ランプの倒れ具合が観
察が観察し易くなる。

【００５７】図１を参照して、本発明の実施例である投
影露光装置の作用を説明する。先に説明したように、光
源１００の発光部１０１の位置と傾きが調整される。光
源１００からの照明光は、照明光学部１３０を介してレ
チクルＲを照明する。発光部１０１の位置が調整されて
いるので、レチクルＲは均一度の高い照明光で照明され
ることになる。照明されたレチクルの像が、投影光学系
ＰＬを介してウエハＷ上に投影露光される。

【００５８】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、発光部の
位置を監視するためのモニタが倍率可変の結像光学系を
含むので、発光部の位置出し、あるいは発光部の像のゆ
らぎや、発光部の光軸に対する傾き等を観察する場合
に、観察が容易になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の投影露光装置の概略説明図である。

【図２】本発明の照明光学系に用いる光源とモニタの概
略説明図である。

【図３】本発明に用いる調整装置の一例を示す平面図と
正面図である。

【図４】本発明に用いる倍率が可変の結像光学系の一例
を示す断面側面図である。

【図５】本発明に用いる交換可能なスクリーン一例を示
す断面側面図である。

【図６】大きい結像倍率でスクリーンに結像された発光
部の像の様子（Ａ）と、小さい結像倍率でスクリーンに
結像された発光部の像の様子（Ｂ）を示す図である。

【図７】従来技術を説明するための光源周辺の概略図で
ある。

【図８】従来のランプモニタ系の構成を示す断面図であ
る。

【符号の説明】

１００光源１０１発光部１０２楕円鏡１０７結像レンズ系１０８スクリーン１１１外枠１１２スクリーンの視野１１０モニタ１２５スクリーン保持具１２６スクリーン枠１３０照明光学部１４０調整装置（保持部）１６０レンズ組立体１７１変倍レンズ１７２像位置補正レンズ１６３ズーム鏡筒１６８ａ、１６８ｂカムピン

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】発光部を有する光源と；前記光源により
被照明物を照明するための照明光学部と；前記発光部
の、前記照明光学部の光軸に対する相対的位置を調整す
る調整装置と；前記発光部の位置を監視するためのモニ
タとを備え；前記モニタは、前記発光部の像を結像する
結像光学系を含み；前記結像光学系の結像倍率が可変に
構成されていることを特徴とする；照明光学系。
【請求項２】前記結像倍率が連続的に変更できるよう
に構成されていることを特徴とする、請求項１に記載の
照明光学系。
【請求項３】前記モニタは、前記像を結像するための
スクリーンであって、前記像の位置を計測する指標パタ
ーンが形成された、交換可能なスクリーンを備えたこと
を特徴とする、請求項１または請求項２に記載の照明光
学系。
【請求項４】請求項１乃至請求項３のいずれかに記載
の照明光学系と；前記照明光学系によって照明されたレ
チクル上のパターンを投影する投影光学系とを備えたこ
とを特徴とする；投影露光装置。