JPH11101704A - 真空圧力測定方法およびその装置 - Google Patents
真空圧力測定方法およびその装置Info
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- JPH11101704A JPH11101704A JP9279537A JP27953797A JPH11101704A JP H11101704 A JPH11101704 A JP H11101704A JP 9279537 A JP9279537 A JP 9279537A JP 27953797 A JP27953797 A JP 27953797A JP H11101704 A JPH11101704 A JP H11101704A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 減圧部における真空圧力を正確かつ簡単に測
定することができる真空圧力測定方法とその装置を提供
する。 【解決手段】 圧力を測定すべき減圧部１と連通する容
器３内の水を飽和温度まで加熱し、この加熱時の検出温
度に基づいて、前記減圧部１の圧力を算出することを特
徴としている。また、容器３の上部と減圧部１とを上部
連通管４を介して接続するとともに、前記容器３内の所
定水位を規定する部位と前記減圧部１とを下部連通管５
を介して接続し、前記容器３内の水を加熱する加熱手段
と、加熱した水の温度を検出する温度センサ９を設け、
この温度センサ９の検出値に基づいて、前記減圧部１の
圧力を演算する圧力演算手段を設けたことを特徴として
いる。
定することができる真空圧力測定方法とその装置を提供
する。 【解決手段】 圧力を測定すべき減圧部１と連通する容
器３内の水を飽和温度まで加熱し、この加熱時の検出温
度に基づいて、前記減圧部１の圧力を算出することを特
徴としている。また、容器３の上部と減圧部１とを上部
連通管４を介して接続するとともに、前記容器３内の所
定水位を規定する部位と前記減圧部１とを下部連通管５
を介して接続し、前記容器３内の水を加熱する加熱手段
と、加熱した水の温度を検出する温度センサ９を設け、
この温度センサ９の検出値に基づいて、前記減圧部１の
圧力を演算する圧力演算手段を設けたことを特徴として
いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、減圧部における
真空圧力を測定するための装置に関するもので、たとえ
ば真空脱気装置や真空冷却装置などに用いられる。
真空圧力を測定するための装置に関するもので、たとえ
ば真空脱気装置や真空冷却装置などに用いられる。
【０００２】
【従来の技術】真空脱気装置は、気体透過性の中空糸膜
中に被処理水を通し、中空糸膜の外側を真空引きして減
圧状態にすることにより、中空糸膜の膜壁を通して被処
理水中の溶存気体を除去する装置である。この真空脱気
装置の真空ラインにおいて、その真空圧力を測定するた
めのセンサとして、歪ゲージ式のものが広く用いられて
いるが、このセンサは高価であり、またその管理が煩雑
で、精度の維持が困難であった。
中に被処理水を通し、中空糸膜の外側を真空引きして減
圧状態にすることにより、中空糸膜の膜壁を通して被処
理水中の溶存気体を除去する装置である。この真空脱気
装置の真空ラインにおいて、その真空圧力を測定するた
めのセンサとして、歪ゲージ式のものが広く用いられて
いるが、このセンサは高価であり、またその管理が煩雑
で、精度の維持が困難であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、減圧部に
おける真空圧力を正確かつ簡単に測定することができる
真空圧力測定方法と、その装置を提供することを目的と
している。
おける真空圧力を正確かつ簡単に測定することができる
真空圧力測定方法と、その装置を提供することを目的と
している。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は、前記課題を
解決するためになされたものであって、請求項１に記載
の発明は、圧力を測定すべき減圧部と連通する容器内の
水を飽和温度まで加熱し、この加熱時の検出温度に基づ
いて、前記減圧部の圧力を算出することを特徴としてお
り、また請求項２に記載の発明は、所定水位まで水を入
れる容器の上部と圧力を測定すべき減圧部とを上部連通
管を介して接続するとともに、前記容器内の所定の水位
を規定する部位と前記減圧部とを下部連通管を介して接
続し、前記容器内の水を加熱する加熱手段と、加熱した
水の温度を検出する温度センサを設け、この温度センサ
の検出値に基づいて、前記減圧部の圧力を演算する圧力
演算手段を設けたことを特徴としており、また請求項３
に記載の発明は、前記容器が、隔壁で二部屋に分割し、
前記隔壁の下部に連通穴を設けたものであることを特徴
としており、さらに請求項４に記載の発明は、前記圧力
演算手段が、前記温度センサの検出する温度が所定時間
一定温度を持続したとき、前記容器内の水が飽和温度に
達したと判定する機能を有することを特徴としている。
解決するためになされたものであって、請求項１に記載
の発明は、圧力を測定すべき減圧部と連通する容器内の
水を飽和温度まで加熱し、この加熱時の検出温度に基づ
いて、前記減圧部の圧力を算出することを特徴としてお
り、また請求項２に記載の発明は、所定水位まで水を入
れる容器の上部と圧力を測定すべき減圧部とを上部連通
管を介して接続するとともに、前記容器内の所定の水位
を規定する部位と前記減圧部とを下部連通管を介して接
続し、前記容器内の水を加熱する加熱手段と、加熱した
水の温度を検出する温度センサを設け、この温度センサ
の検出値に基づいて、前記減圧部の圧力を演算する圧力
演算手段を設けたことを特徴としており、また請求項３
に記載の発明は、前記容器が、隔壁で二部屋に分割し、
前記隔壁の下部に連通穴を設けたものであることを特徴
としており、さらに請求項４に記載の発明は、前記圧力
演算手段が、前記温度センサの検出する温度が所定時間
一定温度を持続したとき、前記容器内の水が飽和温度に
達したと判定する機能を有することを特徴としている。
【０００５】
【発明の実施の形態】つぎに、この発明の実施の形態に
ついて説明すると、この発明は、所定水位まで水を入れ
た容器の上部と圧力を測定すべき減圧部とを上部連通管
を介して接続するとともに、前記容器内の所定水位を規
定する部位と前記減圧部とを下部連通管を介して接続し
ている。そして、前記容器内の水を加熱する加熱手段
と、加熱した水の温度を検出する温度センサを設け、こ
の温度センサの検出値に基づいて、前記減圧部の圧力を
演算する圧力演算手段を設けた構成の真空圧力測定装置
において実現される。さらに、前記圧力演算手段が、前
記温度センサの検出する温度が所定時間一定温度を持続
したとき、前記容器内の水が飽和温度に達したと判定す
る機能を有している。
ついて説明すると、この発明は、所定水位まで水を入れ
た容器の上部と圧力を測定すべき減圧部とを上部連通管
を介して接続するとともに、前記容器内の所定水位を規
定する部位と前記減圧部とを下部連通管を介して接続し
ている。そして、前記容器内の水を加熱する加熱手段
と、加熱した水の温度を検出する温度センサを設け、こ
の温度センサの検出値に基づいて、前記減圧部の圧力を
演算する圧力演算手段を設けた構成の真空圧力測定装置
において実現される。さらに、前記圧力演算手段が、前
記温度センサの検出する温度が所定時間一定温度を持続
したとき、前記容器内の水が飽和温度に達したと判定す
る機能を有している。
【０００６】前記加熱手段（たとえば、ヒータ等）は、
前記容器の下部（容器の外側でもよい）に設けている。
また、前記温度センサは、たとえば熱電対あるいはサー
ミスタ等を用い、その検出温度を前記圧力演算手段を内
蔵した制御器へ通報する。前記圧力演算手段は、飽和温
度と絶対圧力とを対比したテーブルを前記制御器に入力
している。また、前記温度センサからの検出温度の持続
時間を計測するタイマを備え、検出温度が所定時間一定
温度を持続したときに計測を停止し信号を発する。
前記容器の下部（容器の外側でもよい）に設けている。
また、前記温度センサは、たとえば熱電対あるいはサー
ミスタ等を用い、その検出温度を前記圧力演算手段を内
蔵した制御器へ通報する。前記圧力演算手段は、飽和温
度と絶対圧力とを対比したテーブルを前記制御器に入力
している。また、前記温度センサからの検出温度の持続
時間を計測するタイマを備え、検出温度が所定時間一定
温度を持続したときに計測を停止し信号を発する。
【０００７】前記構成の真空圧力測定装置の測定方法
は、圧力を測定すべき減圧部と連通した容器内の水を飽
和温度まで加熱し、この加熱時の検出温度が所定時間一
定温度を持続したとき飽和温度に達したと判定し、この
飽和温度を圧力演算手段で前記減圧部の圧力を算出（測
定）する。そして、算出した圧力は、適宜の表示手段に
より表示する。また、圧力測定後は加熱手段を停止す
る。
は、圧力を測定すべき減圧部と連通した容器内の水を飽
和温度まで加熱し、この加熱時の検出温度が所定時間一
定温度を持続したとき飽和温度に達したと判定し、この
飽和温度を圧力演算手段で前記減圧部の圧力を算出（測
定）する。そして、算出した圧力は、適宜の表示手段に
より表示する。また、圧力測定後は加熱手段を停止す
る。
【０００８】この発明は、真空脱気装置のほか、真空冷
却装置，真空乾燥装置等の減圧部を有する装置に適用す
ることができる。
却装置，真空乾燥装置等の減圧部を有する装置に適用す
ることができる。
【０００９】
【実施例】以下、この発明の好ましい実施例を図面に基
づいて詳細に説明する。図１は、この発明の真空圧力測
定装置の第一実施例の構成を概略的に示す説明図であ
る。
づいて詳細に説明する。図１は、この発明の真空圧力測
定装置の第一実施例の構成を概略的に示す説明図であ
る。
【００１０】図１において、減圧部１としての真空吸引
ライン２の側面に所定水位まで水を入れた容器３を設
け、この容器３の上部と前記真空吸引ライン２とを上部
連通管４で接続するとともに、前記容器３内の所定水位
を規定する部位と前記真空吸引ライン２とを下部連通管
５で接続している。そして、前記容器３の下部にヒータ
等の加熱手段６を設けている。この加熱手段６は、信号
線７を介して制御器８に接続してあって、前記制御器８
でＯＮ，ＯＦＦ制御するようにしている。一方、加熱し
た水の温度を検出する温度センサ９を前記容器３の上部
から挿入し、他端は信号線７を介して前記制御器８に接
続している。前記温度センサ９としては、熱電対あるい
はサーミスタ等を用い、先端の感温部を水面下に水没さ
せている。
ライン２の側面に所定水位まで水を入れた容器３を設
け、この容器３の上部と前記真空吸引ライン２とを上部
連通管４で接続するとともに、前記容器３内の所定水位
を規定する部位と前記真空吸引ライン２とを下部連通管
５で接続している。そして、前記容器３の下部にヒータ
等の加熱手段６を設けている。この加熱手段６は、信号
線７を介して制御器８に接続してあって、前記制御器８
でＯＮ，ＯＦＦ制御するようにしている。一方、加熱し
た水の温度を検出する温度センサ９を前記容器３の上部
から挿入し、他端は信号線７を介して前記制御器８に接
続している。前記温度センサ９としては、熱電対あるい
はサーミスタ等を用い、先端の感温部を水面下に水没さ
せている。
【００１１】前記制御器８には、前記温度センサ９が検
出する検出温度に基づいて前記真空吸引ライン２内の圧
力を演算する圧力演算手段を内蔵している。そして、演
算手段としてのテーブルが備えられている。このテーブ
ルは、飽和温度と絶対圧力および真空圧力とを対比した
対照表（図２参照）であって、この対照表の数値を前記
制御器８に入力している。また、前記温度センサ９から
の検出信号の持続時間を計測するタイマ（図示省略）を
備え、検出温度が所定時間（たとえば、２０秒）一定温
度を持続したときは、前記容器３内の水が飽和温度に達
したと判定する機能を有している。さらに、前記真空吸
引ライン２内の圧力測定値を表示する適宜の圧力表示手
段（図示省略）を備えている。
出する検出温度に基づいて前記真空吸引ライン２内の圧
力を演算する圧力演算手段を内蔵している。そして、演
算手段としてのテーブルが備えられている。このテーブ
ルは、飽和温度と絶対圧力および真空圧力とを対比した
対照表（図２参照）であって、この対照表の数値を前記
制御器８に入力している。また、前記温度センサ９から
の検出信号の持続時間を計測するタイマ（図示省略）を
備え、検出温度が所定時間（たとえば、２０秒）一定温
度を持続したときは、前記容器３内の水が飽和温度に達
したと判定する機能を有している。さらに、前記真空吸
引ライン２内の圧力測定値を表示する適宜の圧力表示手
段（図示省略）を備えている。
【００１２】前記構成の測定装置における測定方法は、
真空手段（たとえば、水封式真空ポンプ）が稼動し、真
空吸引ライン２内が減圧状態になったとき、制御器８か
らの出力信号により加熱手段６および温度センサ９がＯ
Ｎされる。そして、容器３内の水が加熱され、水の温度
が上昇し飽和温度に達すると平衡状態となる。この平衡
状態の温度が所定時間（たとえば、２０秒）持続したと
き飽和温度に達したと判定し、このときの検出温度に基
づいて圧力演算手段（テーブル）から真空吸引ライン２
内の圧力を算出（測定）する。たとえば、検出温度が３
２．５５℃であれば、図２から絶対圧力は０．０５（kg
／cm2 A ）であり、真空圧力は３８torrになる。そし
て、測定した圧力は、圧力表示手段（図示省略）により
表示し、圧力測定後の前記加熱手段６および前記温度セ
ンサ９はＯＦＦとする。
真空手段（たとえば、水封式真空ポンプ）が稼動し、真
空吸引ライン２内が減圧状態になったとき、制御器８か
らの出力信号により加熱手段６および温度センサ９がＯ
Ｎされる。そして、容器３内の水が加熱され、水の温度
が上昇し飽和温度に達すると平衡状態となる。この平衡
状態の温度が所定時間（たとえば、２０秒）持続したと
き飽和温度に達したと判定し、このときの検出温度に基
づいて圧力演算手段（テーブル）から真空吸引ライン２
内の圧力を算出（測定）する。たとえば、検出温度が３
２．５５℃であれば、図２から絶対圧力は０．０５（kg
／cm2 A ）であり、真空圧力は３８torrになる。そし
て、測定した圧力は、圧力表示手段（図示省略）により
表示し、圧力測定後の前記加熱手段６および前記温度セ
ンサ９はＯＦＦとする。
【００１３】以上のように、この発明によれば、圧力を
測定すべき減圧部１と連通する容器３内の水を飽和温度
まで加熱し、この加熱時の検出温度に基づいて前記減圧
部１の圧力を測定するので、従来の歪ゲージ式のものに
比し、構造が簡単で安価であり、しかも精度維持管理が
容易である。
測定すべき減圧部１と連通する容器３内の水を飽和温度
まで加熱し、この加熱時の検出温度に基づいて前記減圧
部１の圧力を測定するので、従来の歪ゲージ式のものに
比し、構造が簡単で安価であり、しかも精度維持管理が
容易である。
【００１４】つぎに、この発明の真空圧力測定装置につ
いて、他の実施例である第二実施例を図３に基づいて説
明する。なお、前記第一実施例と同一部材には同一符号
を付し、重複する説明は省略する。
いて、他の実施例である第二実施例を図３に基づいて説
明する。なお、前記第一実施例と同一部材には同一符号
を付し、重複する説明は省略する。
【００１５】図３に図示した第二実施例は、脱気モジュ
ール１０と水封式真空ポンプ１１とを真空吸引ライン２
を介して接続し、この水封式真空ポンプ１１により前記
脱気モジュール１０内の被脱気水を真空脱気する脱気装
置において、前記真空吸引ライン２に、この発明の真空
圧力測定装置を並列に設けたものである。
ール１０と水封式真空ポンプ１１とを真空吸引ライン２
を介して接続し、この水封式真空ポンプ１１により前記
脱気モジュール１０内の被脱気水を真空脱気する脱気装
置において、前記真空吸引ライン２に、この発明の真空
圧力測定装置を並列に設けたものである。
【００１６】図３に示す真空圧力測定装置は、所定水位
まで水を入れる容器３の下部（たとえば、所定水位まで
の高さ）を隔壁１２で二部屋（Ａ室１４とＢ室１５）に
分割し、この隔壁１２の下部に連通穴１３を設けたもの
で、前記以外の各部材および構成は、前記第一実施例で
説明したものと同様であるので説明を省略する。
まで水を入れる容器３の下部（たとえば、所定水位まで
の高さ）を隔壁１２で二部屋（Ａ室１４とＢ室１５）に
分割し、この隔壁１２の下部に連通穴１３を設けたもの
で、前記以外の各部材および構成は、前記第一実施例で
説明したものと同様であるので説明を省略する。
【００１７】前記隔壁１２で分割された二部屋のうちＢ
室１５は、前記Ａ室１４の水が加熱されて蒸発し、水位
が低下したときに補水するために形成されたものであ
る。したがって、Ａ，Ｂ両室１４，１５を連通する前記
連通穴１３は、極力小径の穴とすることがのぞましい。
室１５は、前記Ａ室１４の水が加熱されて蒸発し、水位
が低下したときに補水するために形成されたものであ
る。したがって、Ａ，Ｂ両室１４，１５を連通する前記
連通穴１３は、極力小径の穴とすることがのぞましい。
【００１８】前記構成の測定装置によれば、制御器８か
らの出力信号により水封式真空ポンプ１１を駆動し、真
空吸引ライン２を介して脱気モジュール１０内を真空脱
気し、被脱気水から溶存気体を吸引して脱気水を供給す
る。この脱気過程において、前記制御器８から適宜出力
信号を発し、前記真空吸引ライン２内の真空圧力を測定
する。すなわち、前記第一実施例で説明したように、加
熱手段６および温度センサ９をＯＮして前記真空吸引ラ
イン２内の圧力を測定する。そして、この圧力測定が繰
り返し行なわれると、前記Ａ室１４の水位が低下する
が、前記Ｂ室１５の水が前記連通穴１３を介して前記Ａ
室１４に補給されるので、長時間の脱気装置の運転に対
応することができる。また、前記脱気装置が停止される
と、前記水封式真空ポンプ１１内の封水が逆流し、前記
容器３内へ上，下連通管４，５を介して流入する。そし
て、前記脱気装置が再駆動されると、前記容器３内に充
満していた水は、前記下部連通管５の接続部位（所定水
位）までの水を残し、他はすべて前記水封式真空ポンプ
１１に吸引される。したがって、前記容器３内の水は、
前記脱気装置が停止される度に新しい水と入れ替わるこ
とになるので、水が濃縮しスケール付着の原因となるこ
とはない。
らの出力信号により水封式真空ポンプ１１を駆動し、真
空吸引ライン２を介して脱気モジュール１０内を真空脱
気し、被脱気水から溶存気体を吸引して脱気水を供給す
る。この脱気過程において、前記制御器８から適宜出力
信号を発し、前記真空吸引ライン２内の真空圧力を測定
する。すなわち、前記第一実施例で説明したように、加
熱手段６および温度センサ９をＯＮして前記真空吸引ラ
イン２内の圧力を測定する。そして、この圧力測定が繰
り返し行なわれると、前記Ａ室１４の水位が低下する
が、前記Ｂ室１５の水が前記連通穴１３を介して前記Ａ
室１４に補給されるので、長時間の脱気装置の運転に対
応することができる。また、前記脱気装置が停止される
と、前記水封式真空ポンプ１１内の封水が逆流し、前記
容器３内へ上，下連通管４，５を介して流入する。そし
て、前記脱気装置が再駆動されると、前記容器３内に充
満していた水は、前記下部連通管５の接続部位（所定水
位）までの水を残し、他はすべて前記水封式真空ポンプ
１１に吸引される。したがって、前記容器３内の水は、
前記脱気装置が停止される度に新しい水と入れ替わるこ
とになるので、水が濃縮しスケール付着の原因となるこ
とはない。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、圧力を測定すべき減圧部と連通する容器内の水を飽
和温度まで加熱し、この加熱時の検出温度に基づいて、
前記減圧部の圧力を算出するようにしたので、従来の歪
ゲージ式の測定装置に比し、構造が簡単で安価であり、
しかも精度維持管理が容易である。
ば、圧力を測定すべき減圧部と連通する容器内の水を飽
和温度まで加熱し、この加熱時の検出温度に基づいて、
前記減圧部の圧力を算出するようにしたので、従来の歪
ゲージ式の測定装置に比し、構造が簡単で安価であり、
しかも精度維持管理が容易である。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の真空圧力測定装置の第一実施例の構
成を概略的に示す断面説明図である。
成を概略的に示す断面説明図である。
【図２】飽和温度と絶対圧力および真空圧力とを対比し
た対照表である。
た対照表である。
【図３】この発明の第二実施例の構成を概略的に示す断
面説明図である。
面説明図である。
１ 減圧部 ３ 容器 ４ 上部連通管 ５ 下部連通管 ６ 加熱手段 ９ 温度センサ １２ 隔壁 １３ 連通穴
Claims (4)
- 【請求項１】 圧力を測定すべき減圧部１と連通する容
器３内の水を飽和温度まで加熱し、この加熱時の検出温
度に基づいて、前記減圧部１の圧力を算出することを特
徴とする真空圧力測定方法。 - 【請求項２】 所定水位まで水を入れる容器３の上部と
圧力を測定すべき減圧部１とを上部連通管４を介して接
続するとともに、前記容器３内の所定の水位を規定する
部位と前記減圧部１とを下部連通管５を介して接続し、
前記容器３内の水を加熱する加熱手段６と、加熱した水
の温度を検出する温度センサ９を設け、この温度センサ
９の検出値に基づいて、前記減圧部１の圧力を演算する
圧力演算手段を設けたことを特徴とする真空圧力測定装
置。 - 【請求項３】 前記容器３が、隔壁１２で二部屋に分割
し、前記隔壁１２の下部に連通穴１３を設けたものであ
ることを特徴とする請求項２に記載の真空圧力測定装
置。 - 【請求項４】 前記圧力演算手段が、前記温度センサ９
の検出する温度が所定時間一定温度を持続したとき、前
記容器３内の水が飽和温度に達したと判定する機能を有
することを特徴とする請求項２または請求項３に記載の
真空圧力測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27953797A JP3239817B2 (ja) | 1997-09-26 | 1997-09-26 | 真空圧力測定方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27953797A JP3239817B2 (ja) | 1997-09-26 | 1997-09-26 | 真空圧力測定方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11101704A true JPH11101704A (ja) | 1999-04-13 |
| JP3239817B2 JP3239817B2 (ja) | 2001-12-17 |
Family
ID=17612388
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27953797A Expired - Lifetime JP3239817B2 (ja) | 1997-09-26 | 1997-09-26 | 真空圧力測定方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3239817B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101018833B1 (ko) | 2008-09-11 | 2011-03-04 | 네오뷰코오롱 주식회사 | 반도체 기판 처리 장치 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5530883U (ja) * | 1978-08-18 | 1980-02-28 | ||
| JPH1019706A (ja) * | 1996-07-08 | 1998-01-23 | Miura Co Ltd | 真空圧力測定装置 |
-
1997
- 1997-09-26 JP JP27953797A patent/JP3239817B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5530883U (ja) * | 1978-08-18 | 1980-02-28 | ||
| JPH1019706A (ja) * | 1996-07-08 | 1998-01-23 | Miura Co Ltd | 真空圧力測定装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101018833B1 (ko) | 2008-09-11 | 2011-03-04 | 네오뷰코오롱 주식회사 | 반도체 기판 처리 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| JP3239817B2 (ja) | 2001-12-17 |
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