JPH1089313A - シリンダー装置及び搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明はピストン−シリンダ機構を用いたシリ
ンダー装置及び搬送装置に関し、ピストン及びピストン
ロッドの移動を円滑に行なうことを課題とする。 【解決手段】圧力媒体（例えば高圧エアー）が供給され
るシリンダー11と、このシリンダー11内に供給される高
圧エアーに附勢されることによりシリンダー11内で摺動
するピストン13A と、このピストン13A の摺動に伴い一
体的に変位するピストンロッド12A とを具備するシリン
ダー装置において、ピストンロッド12A のピストン13A
と接続される位置における断面積が他の位置における断
面積に比べて小さくなるよう円錐形状部26を形成する。
これにより、ピストン13A の両側面13a,13b において発
生する移動力F1,F2 を略等しくすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はシリンダー装置及び
搬送装置に係り、特にピストン−シリンダ機構を用いた
シリンダー装置及び搬送装置に関する。例えば液晶基板
等の精密基板の製造過程においては、製造期間の短縮及
び歩留りの向上のため自動化が進められており、これに
伴い精密基板の搬送処理には自動搬送装置が使用されて
いる。

【０００２】この際、精密基板は振動及び外力の印加を
嫌うため、その搬送に際しては安定した動作が必要とさ
れている。また、一般に自動搬送装置の駆動源として
は、制御性の良好なシリンダー装置が用いられている。
従って、液晶基板の安定した搬送を担保するためには、
シリンダー装置が安定して動作を行なう必要がある。

【０００３】

【従来の技術】図７は、従来のシリンダー装置１の一例
を示す構成図である。同図に示されるように、シリンダ
ー装置１は大略するとシリンダー２，ピストン３，ピス
トンロッド４等により構成されている。

【０００４】ピストン３はシリンダー２の内部に摺動可
能な構成で配設された円板状の部材であり、これにより
シリンダー２の内部は二つの圧力室５，６に画成され
る。また、この第１の圧力室５の外壁には第１ポート７
が形成されると共に、第２の圧力室６の外壁には第２ポ
ート８が形成されている。

【０００５】第１ポート７及び第２ポート８は夫々圧力
媒体供給装置９（以下、単に供給装置という）が接続さ
れており、第１ポート７または第２ポート８に選択的に
圧力媒体（例えば、エアーまたはオイル）を供給する構
成とされている。そして、例えば供給装置９から第１ポ
ート７に圧力媒体が供給されると、第１の圧力室５の内
圧は第２の圧力室６の内圧より大きくなり、よってピス
トン３は図中右側に向け移動する。また、供給装置９か
ら第２ポート８に圧力媒体が供給されると、第２の圧力
室６の内圧は第１の圧力室５の内圧より大きくなり、よ
ってピストン３は図中左側に向け移動する。

【０００６】一方、ピストン３の右側面３ａにはピスト
ンロッド４が接続されている。従って、上記のように供
給装置９から選択的に圧力媒体が第１または第２の圧力
室５，６に供給されてピストン３が移動すると、このピ
ストン３の移動に伴いピストンロッド４も図中左右方向
に移動する。よって、このピストンロッド４を搬送装置
に接続することにより、シリンダー装置１を搬送装置の
駆動源として用いることができる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところでシリンダー装
置１は、上記したようにピストン３の移動をピストンロ
ッド４を用いてシリンダー２の外部に引き出す構成とさ
れている。即ち、シリンダー装置１は、必然的にピスト
ン３にピストンロッド４を接続する必要がある。

【０００８】一方、ピストン３の移動力は圧力媒体が右
側面３ａまたは左側面３ｂを押圧する力であり、また供
給装置９から供給される圧力媒体の圧力は一定圧（Ｐ）
であるため、右側面３ａの受圧面積をＳ１，左側面３ｂ
の受圧面積をＳ２とすると、右側面３ａに発生する移動
力Ｆ１及び左側面３ｂに発生する移動力Ｆ２は下式のよ
うにして表せられる。

【０００９】Ｆ１＝Ｐ×Ｓ１ …（１） Ｆ２＝Ｐ×Ｓ２ …（２） ここで、右側面３ａの受圧面積をＳ１と左側面３ｂの受
圧面積をＳ２に注目する。図８（Ａ）は左側面３ｂを示
す図であり、図８（Ｂ）は右側面３ａを示す図である。
同図に示されるように、前記したように右側面３ａには
ピストンロッド４が接続されているため、右側面３ａの
受圧面積Ｓ１は左側面３ｂの受圧面積Ｓ２に対して小さ
くなる（Ｓ１＜Ｓ２）。

【００１０】よって、上記の（１）式及び（２）式から
明らかなように（Ｆ１＜Ｆ２）となり、ピストン３（ピ
ストンロッド４）が図中右方向に移動する場合と、図中
左方向に移動する場合とで移動力Ｆ１，Ｆ２に差が生じ
てしまう。このように、ピストン３（ピストンロッド
４）の移動方向により移動力Ｆ１，Ｆ２に差が生じる
と、移動方向により移動速度も異なりピストンロッド４
の安定した移動動作ができなくなるという問題点が生じ
る。

【００１１】また、ピストン３は１枚の円板部材により
構成されていたため、移動力Ｆ１，Ｆ２の差が生じてい
ると、これに起因してピストン３に傾きが発生する場合
がある。シリンダー２内でピストン３が傾くと、ピスト
ン３がシリンダー２内で円滑に移動できなくなり、これ
によりピストンロッド４の安定した移動動作が阻害され
るという問題点も生じる。

【００１２】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、ピストン及びピストンロッドの移動を円滑に行い
うるシリンダー装置及び搬送装置を提供することを目的
とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記の課題は、次に述べ
る手段を講じることにより解決することができる。請求
項１記載の発明では、圧力媒体が供給されるシリンダー
と、前記シリンダー内に供給される前記圧力媒体に附勢
されることにより、前記シリンダー内で摺動するピスト
ンと、前記ピストンに接続されており、前記ピストンの
摺動に伴い一体的に変位するピストンロッドとを具備す
るシリンダー装置において、前記ピストンロッドの前記
ピストンと接続される位置における断面積を他の位置に
おける断面積に比べて小さく設定したことを特徴とする
ものである。

【００１４】また、請求項２記載の発明では、前記請求
項１記載のシリンダー装置において、前記ピストンを複
数のピストン板により構成したことを特徴とするもので
ある。

【００１５】また、請求項３記載の発明では、前記請求
項１または２記載のシリンダー装置において、前記ピス
トンロッドの前記ピストンと接続される位置近傍の形状
を、前記ピストンに向け径寸法が漸次小さくなる円錐形
状としたことを特徴とするものである。

【００１６】更に、請求項４記載の発明に係る搬送装置
では、前記請求項１乃至３のいずれかに記載のシリンダ
ー装置を駆動源としてワークを搬送することを特徴とす
るものである。上記した各手段は、次のように作用す
る。

【００１７】請求項１記載の発明によれば、シリンダー
内に圧力媒体が供給されると、この圧力媒体に附勢され
ることによりピストンはシリンダー内で摺動する。ま
た、ピストンロッドはピストンに接続されており、ピス
トンが摺動することにより一体的に変位する。

【００１８】また、ピストンロッドのピストンとの接続
される位置における断面積は、ピストンロッドの他の位
置における断面積に比べて小さく設定されているため、
ピストンが具備する一対の受圧面の受圧面積を近づける
ことができる。これにより、各受圧面に発生する移動力
の大きさも略等しくなり、よってピストンロッドに発生
する力を往動する場合と復動する場合とで略等しくする
ことができる。よって、ピストンロッドの安定した動作
を確保することができる。

【００１９】また、請求項２記載の発明によれば、シリ
ンダー内に圧力媒体が供給されると、この圧力媒体に附
勢されることによりピストンはシリンダー内で摺動す
る。また、ピストンロッドはピストンに接続されてお
り、ピストンが摺動することにより一体的に変位する。

【００２０】また、ピストンは複数のピストン板により
構成されているため、１枚の円板部材により構成された
ピストンに比べてシリンダー内においてピストンは傾き
難い。よって、ピストンが具備する一対の受圧面に印加
される移動力に差が生じても、シリンダー内におけるピ
ストンの円滑な動作を確保することができる。

【００２１】また、請求項３記載の発明によれば、ピス
トンロッドのピストンと接続される位置近傍の形状を、
ピストン板に向け径寸法が漸次小さくなる円錐形状とし
たことにより、簡単な構成でピストンが具備する一対の
受圧面に発生する移動力を略等しくすることができる。

【００２２】更に、請求項４記載の発明に係る搬送装置
によれば、前記請求項１乃至３のいずれかに記載のシリ
ンダー装置を駆動源としてワークを搬送する構成とした
ことにより、シリンダー装置は円滑かつ安定した動作を
行なうため、例えば精密基板等の搬送装置として用いて
も、高い信頼性をもって精密基板等の搬送処理を行なう
ことができる。

【００２３】

【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態について
図面と共に説明する。図１は本発明の第１実施例である
シリンダー装置１０を示している。同図に示されるよう
に、シリンダー装置１０は大略するとシリンダー１１，
ピストンロッド１２，ピストン１３等により構成されて
いる。

【００２４】シリンダー１１は例えば筒状の部材であ
り、ピストン１３はその内部に摺動可能な構成で配設さ
れている。このように、シリンダー１１内にピストン１
３が配設されることにより、シリンダー１１の内部は二
つの圧力室１４，１５に画成される。また、第１の圧力
室１４の外壁には第１ポート１６が形成されると共に、
第２の圧力室１５の外壁には第２ポート１７が形成され
ている。

【００２５】第１ポート１６及び第２ポート１７は夫々
圧力媒体供給装置１８（以下、単に供給装置という）が
接続されている。この供給装置１８は例えばエアコンプ
レッサー或いは油圧ポンプであり、第１ポート１６また
は第２ポート１７に選択的に圧力媒体（例えば、エアー
またはオイル）を供給する構成とされている。尚、以下
の説明では圧力媒体としてエアー（空気）を用いた例に
ついて説明するものとする。

【００２６】上記構成構成において、例えば供給装置１
８から第１ポート１６に高圧エアーが供給されると、第
１の圧力室１４内の圧力は上昇する。またこの時、供給
装置１８は第２ポート１７を大気開放するよう構成され
ている。従って、第１の圧力室１４の内圧は第２の圧力
室１５の内圧より高くなり、よってピストン１３は図中
右側に向け移動する。

【００２７】また、供給装置１８から第２ポート１７に
高圧エアーが供給されると、第２の圧力室１５内の圧力
は上昇する。またこの時、供給装置１８は第１ポート１
６を大気開放するよう構成されている。従って、第２の
圧力室１５の内圧は第１の圧力室１４の内圧より高くな
り、よってピストン１３は図中左側に向け移動する。

【００２８】尚、図中２２，２３で示すのは閉栓部材で
あり、シリンダー１１の両端部をシールするために配設
されている。また、図中右側に配設された閉栓部材２３
には、後述するピストンロッド１２が気密に移動可能な
構成で挿通孔２４が形成されている。

【００２９】続いて、ピストン１３の構造について詳述
する。本実施例に係るピストン１３は、複数（本実施例
では２枚）のピストン板１９，２０により構成されてい
ることを特徴とする。この一対のピストン板１９，２０
は連結部材２１により一体的に連結されている。この連
結部材２１は、ピストン板１９とピストン板２０とを強
固に連結しており、よって一対のピストン板１９，２０
は何れか一方が傾くようなことはない。

【００３０】また、一対のピストン板１９，２０の内、
ピストン板１９の右側面１９ａにはピストンロッド１２
が接続されている。従って、上記のように供給装置１８
から選択的に高圧エアーが第１または第２の圧力室１
４，１５に供給されてピストン１３が移動すると、この
ピストン１３の移動に伴いピストンロッド１２も図中左
右方向に移動する。

【００３１】ここで、ピストン１３の移動力は高圧エア
ーが右側面１９ａまたは左側面２０ａを押圧する力であ
り、また供給装置１８から供給される高圧エアーの圧力
は一定圧（Ｐ）であるため、右側面１９ａの受圧面積を
Ｓ１，左側面２０ａの受圧面積をＳ２とすると、右側面
１９ａに発生する移動力Ｆ１及び左側面２０ａに発生す
る移動力Ｆ２は下式のようにして表せられる。

【００３２】Ｆ１＝Ｐ×Ｓ１ …（３） Ｆ２＝Ｐ×Ｓ２ …（４） ここで、右側面１９ａの受圧面積をＳ１と左側面２０ａ
の受圧面積をＳ２の大小関係に注目すると、右側面２０
ａにはピストンロッド１２が接続されているため、この
ピストンロッド１２の断面積分だけ右側面１９ａの受圧
面積Ｓ１は左側面２０ａの受圧面積Ｓ２に比べて小さく
なっている（Ｓ１＜Ｓ２）。従って、上記の（３）式及
び（４）式から明らかなように（Ｆ１＜Ｆ２）となり、
ピストン３（ピストンロッド４）が図中右方向に移動す
る場合と、図中左方向に移動する場合とで移動力Ｆ１，
Ｆ２に差が生じてしまう。

【００３３】しかるに、本実施例に係るシリンダー装置
１０は、ピストン１３が複数のピストン板１９，２０に
より構成されているため、従来のように１枚の円板部材
により構成されたピストン３（図７参照）に比べてシリ
ンダー１１内においてピストン１３は傾き難い構成とな
っている。よって、ピストン１３が具備する一対の受圧
面（右側面１９ａ，左側面２０ａ）に印加される移動力
Ｆ１，Ｆ２に差が生じても、シリンダー１１内における
ピストン１３の円滑な動作を確保することができる。

【００３４】尚、図１に示す例では、ピストン板１９，
２０を連結する連結部材２１をピストンロッド１２を延
長したような構成としたが、連結部材２１の構成はこれ
に限定されるものではなく、ピストン板１９，２０間の
傾きを防止しうる構成であれば他の構成としてもよい。
具体的には、図１に示す構成に加え、補強アーム２５
（図１に破線で示す）を外周位置近傍に環状に形成して
もよい。

【００３５】続いて、本発明の第２実施例に係るシリン
ダー装置１０Ａについて説明する。図２は本発明の第２
実施例であるシリンダー装置１０Ａを示す構成図であ
る。尚、図２において図１に示した第１実施例に係るシ
リンダー装置１０と同一構成については同一符号を附し
てその説明を省略する。

【００３６】前記したように、第１実施例に係るシリン
ダー装置１０は、ピストン１３の受圧面である右側面１
９ａに作用する移動力Ｆ１と左側面２０ａに作用する移
動力Ｆ２に差が生じることを是認した上で、この移動力
Ｆ１，Ｆ２の差によりピストン１３が傾かないように、
ピストン１３を複数のピストン板１９，２０により構成
したものである。

【００３７】これに対し、本実施例に係るシリンダー装
置１０Ａは、ピストン１３Ａとしては従来と同一構成の
ものを用いると共に、ピストンロッド１２Ａのピストン
１３Ａと接続される位置の近傍に、ピストン１３Ａに向
け径寸法が漸次小さくなる円錐形状部２６を形成したこ
とを特徴とするものである。即ち、ピストン１３Ａと接
続される位置におけるピストンロッド１２Ａの断面積
は、この位置以外における断面積に比べて小さくなるよ
う構成されている。

【００３８】以下、このようにピストンロッド１２Ａの
ピストン１３Ａと接続される位置に円錐形状部２６を形
成したことによる作用効果について説明する。前記した
ように、ピストン１３Ａの右側面２０ａにはピストンロ
ッド１２Ａが接続されるため、ピストンロッド１２Ａが
ピストン１３Ａと接続された位置におけるピストンロッ
ド１２Ａの断面積分だけ、右側面１９ａの受圧面積Ｓ１
は左側面２０ａの受圧面積Ｓ２に比べて小さくなる（Ｓ
１＜Ｓ２）。また、上記の（３）式及び（４）式から明
らかなように、ピストン１３Ａの右側面１３ａまたは左
側面１３ｂに発生する移動力Ｆ１，Ｆ２は受圧面積Ｓ
１，Ｓ２に比例する。

【００３９】ここで、本実施例における右側面１３ａの
受圧面積Ｓ１と左側面１３ｂの受圧面積Ｓ２を比較す
る。図３（Ａ）は左側面１３ｂを示しており、また図３
（Ｂ）は右側面１３ａを示している。本実施例の構成で
は、ピストンロッド１２Ａのピストン１３Ａと接続され
る位置に円錐形状部２６を形成したことにより、図３
（Ｂ）に示されるように円錐形状部２６がピストン１３
Ａと接続される面積は小さくなっている。

【００４０】従って、ピストン１３Ａの右側面１３ａに
おける受圧面積Ｓ１は、左側面１３ｂの受圧面積Ｓ２と
近い値となる（Ｓ１≒Ｓ２）。また、前記したようにピ
ストン１３Ａの右側面１３ａに発生する移動力Ｆ１は受
圧面積Ｓ１に比例し、また左側面１３ｂに発生する移動
力Ｆ２は受圧面積Ｓ２に比例する。よって、ピストン１
３Ａの右側面１３ａに発生する移動力Ｆ１は、左側面１
３ｂの受圧面積Ｓ２に発生する移動力Ｆ２と略等しい大
きさとなる（Ｆ１≒Ｆ２）。

【００４１】これにより、ピストンロッド１２Ａに発生
する力は、ピストンロッド１２Ａが往動する場合と復動
する場合とで略等しくすることができ、よってピストン
ロッド１２Ａの安定した動作を確保することができる。
また、第１実施例に比べてピストン１３Ａの構成を簡単
化することができ、低コスト化を図ることができる。更
に、ピストンロッド１２Ａに円錐形状部２６を加工する
のは、周知の機械加工を用いて容易にできるため、円錐
形状部２６を形成するのに困難を伴うようなことはな
い。

【００４２】続いて、本発明の第３実施例に係るシリン
ダー装置１０Ｂについて説明する。図４は本発明の第３
実施例であるシリンダー装置１０Ｂを示す構成図であ
る。尚、図４において図２に示した第２実施例に係るシ
リンダー装置１０Ａと同一構成については同一符号を附
してその説明を省略する。

【００４３】本実施例に係るシリンダー装置１０Ｂも第
２実施例に係るシリンダー装置１０Ａと同様に、ピスト
ン１３Ａと接続される位置におけるピストンロッド１２
Ｂの断面積が、この位置以外における断面積に比べて小
さくなるよう構成したものである。具体的には、ピスト
ンロッド１２Ｂのピストン１３Ａと接続される位置近傍
に小径部２７を形成したことを特徴とするものである。

【００４４】上記のように、ピストンロッド１２Ｂのピ
ストン１３Ａと接続される位置に小径部２７を形成した
ことにより、円錐形状部２６がピストン１３Ａと接続さ
れる面積は小さくなり、従って図５（Ａ），（Ｂ）に示
されるように、ピストン１３Ａの右側面１３ａにおける
受圧面積Ｓ１は、左側面１３ｂの受圧面積Ｓ２と近い値
となる（Ｓ１≒Ｓ２）。また、前記したようにピストン
１３Ａの右側面１３ａに発生する移動力Ｆ１は受圧面積
Ｓ１に比例し、また左側面１３ｂに発生する移動力Ｆ２
は受圧面積Ｓ２に比例する。

【００４５】よって、本実施例に係るシリンダー装置２
０Ｂにおいても、ピストン１３Ａの右側面１３ａに発生
する移動力Ｆ１は、左側面１３ｂの受圧面積Ｓ２に発生
する移動力Ｆ２と略等しい大きさとなる（Ｆ１≒Ｆ
２）。これにより、ピストンロッド１２Ｂに発生する力
は、ピストンロッド１２Ｂが往動する場合と復動する場
合とで略等しくなり、よってピストンロッド１２Ｂの安
定した動作を確保することができる。

【００４６】続いて、本発明の一実施例である搬送装置
３０について説明する。図６は本発明の一実施例である
搬送装置３０を示す構成図である。本実施例では、液晶
基板３１を搬送するのに用いられる搬送装置３０を例に
挙げている。尚、図６において、図１乃至図５を用いて
説明した第１乃至第３実施例に係るシリンダ装置１０，
１０Ａ，１０Ｂと同一構成については同一符号を附して
その説明を省略する。

【００４７】搬送装置３０は、大略するとシリンダー装
置１０Ｃ，シリンダー受け３２，スライダーレール３
３，スライダー３４，テーブル３５等により構成されて
いる。シリンダー装置１０Ｃは、前記した第１実施例に
係るシリンダー装置１０と第２実施例に係るシリンダー
装置１０Ａとを組み合わせた構成とされている。具体的
には、ピストン１３を複数（本実施例では２枚）のピス
トン板１９，２０により構成すると共に、ピストンロッ
ド１２Ａのピストン１３と接続される位置の近傍に、ピ
ストン１３に向け径寸法が漸次小さくなる円錐形状部２
６を形成した構成とされている。

【００４８】上記のようにピストン１３を複数（本実施
例では２枚）のピストン板１９，２０により構成するこ
とにより、シリンダー１１内におけるピストン１３の円
滑な動作を確保することができ、またピストンロッド１
２Ａのピストン１３と接続される位置に円錐形状部２６
を形成することにより、ピストンロッド１２Ａの安定し
た動作を確保することができる。

【００４９】また、ピストンロッド１２Ａのシリンダ１
１の外部に延出した端部には、シリンダー受け３２が取
り付けられている。このシリンダー受け３２はピストン
ロッド１２Ａの端部より上方に向け延出形成されてい
る。また、シリンダー受け３２の上端部にはスライダー
３４が取り付けられている。

【００５０】このスライダー３４は、スライダーレール
３３にスライド動作可能に配設されており、従ってスラ
イダーレール３３に案内されて図中矢印Ｘ１，Ｘ２方向
に移動可能な構成とされている。また、スライダー３４
の上部には液晶基板３１が搭載されるテーブル３５が配
設されている。

【００５１】上記構成とされた搬送装置３０はシリンダ
ー装置１０Ｃを駆動源として液晶基板３１を矢印Ｘ１，
Ｘ２方向に搬送する構成とされている。この液晶基板３
１の搬送を行なう際、前記したようにシリンダー装置１
０Ｃは複数のピストン板１９，２０によりピストン１３
が構成されており、かつピストンロッド１２Ａのピスト
ン１３と接続される位置に円錐形状部２６が形成されて
いるため、ピストン１３は円滑な動作を行なうと共にピ
ストンロッド１２Ａも安定した動作を行なう。このた
め、精密基板である液晶基板３１の搬送を高い信頼性を
持って行なうことができる。

【００５２】尚、上記した実施例では搬送装置３０を液
晶基板３１の搬送に用いた例を示したが、本発明は液晶
基板３１の搬送に限定されるものではなく、多種の搬送
物に対して幅広く適用することができることは勿論であ
る。

【００５３】

【発明の効果】上述の如く本発明によれば、次に述べる
種々の効果を実現することができる。請求項１記載の発
明によれば、ピストンロッドのピストンとの接続される
位置における断面積は、ピストンロッドの他の位置にお
ける断面積に比べて小さく設定されているため、ピスト
ンの各受圧面に発生する移動力の大きさは略等しくな
り、よってピストンロッドに発生する力を往動する場合
と復動する場合とで略等しくすることができる。これに
より、安定したピストンロッドの安定した動作を確保す
ることができる。

【００５４】また、請求項２記載の発明によれば、ピス
トンは複数のピストン板により構成されているため、１
枚の円板部材により構成されたピストンに比べてシリン
ダー内においてピストンは傾き難く、よってピストンが
具備する一対の受圧面に印加される移動力に差が生じて
も、シリンダー内におけるピストンの円滑な動作を確保
することができる。

【００５５】また、請求項３記載の発明によれば、ピス
トンロッドのピストンと接続される位置近傍の形状を、
ピストン板に向け径寸法が漸次小さくなる円錐形状とし
たことにより、簡単な構成でピストンが具備する一対の
受圧面に発生する移動力を略等しくすることができる。

【００５６】更に、請求項４記載の発明に係る搬送装置
によれば、シリンダー装置は円滑かつ安定した動作を行
なうため、例えば精密基板等の搬送装置として用いて
も、高い信頼性をもって精密基板等の搬送処理を行なう
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例であるシリンダー装置の構
成図である。

【図２】本発明の第２実施例であるシリンダー装置の構
成図である。

【図３】本発明の第２実施例であるシリンダー装置に用
いるピストンの各受圧面を示す図である。

【図４】本発明の第３実施例であるシリンダー装置の構
成図である。

【図５】本発明の第３実施例であるシリンダー装置に用
いるピストンの各受圧面を示す図である。

【図６】本発明の一実施例である搬送装置の構成図であ
る。

【図７】従来のシリンダー装置の一例を示す構成図であ
る。

【図８】図７に示すシリンダー装置に用いるピストンの
各受圧面を示す図である。

【符号の説明】

１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ シリンダー装置 １１ シリンダー １２，１２Ａ，１２Ｂ ピストンロッド １３，１３Ａ ピストン １３ａ，１９ａ 右側面 １３ｂ，２０ａ 左側面 １４ 第１の圧力室 １５ 第２の圧力室 １６ 第１ポート １７ 第２ポート １８ 供給装置 １９，２０ ピストン板 ２１ 連結部材 ２５ 補強アーム ２６ 円錐形状部 ２７ 小径部 ３０ 搬送装置 ３１ 液晶基板 ３２ シリンダー受け ３３ スライダーレール ３４ スライダー ３５ テーブル

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧力媒体が供給されるシリンダーと、 前記シリンダー内に供給される前記圧力媒体に附勢され
   ることにより、前記シリンダー内で摺動するピストン
   と、 前記ピストンに接続されており、前記ピストンの摺動に
   伴い一体的に変位するピストンロッドとを具備するシリ
   ンダー装置において、 前記ピストンロッドの前記ピストンと接続される位置に
   おける断面積を他の位置における断面積に比べて小さく
   設定したことを特徴とするシリンダー装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載のシリンダー装置におい
   て、 前記ピストンを複数のピストン板により構成したことを
   特徴とするシリンダー装置。
3. 【請求項３】 請求項１または２記載のシリンダー装置
   において、 前記ピストンロッドの前記ピストンと接続される位置近
   傍の形状を、前記ピストンに向け径寸法が漸次小さくな
   る円錐形状としたことを特徴とするシリンダー装置。
4. 【請求項４】 請求項１乃至３のいずれかに記載のシリ
   ンダー装置を駆動源としてワークを搬送することを特徴
   とする搬送装置。