JPH1082818A - 透明導電膜の断線検査方法 - Google Patents
透明導電膜の断線検査方法Info
- Publication number
- JPH1082818A JPH1082818A JP8235281A JP23528196A JPH1082818A JP H1082818 A JPH1082818 A JP H1082818A JP 8235281 A JP8235281 A JP 8235281A JP 23528196 A JP23528196 A JP 23528196A JP H1082818 A JPH1082818 A JP H1082818A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistance
- conductive film
- transparent conductive
- fine pattern
- disconnection
- Prior art date
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- Pending
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】従来の透明導電膜の表面欠陥（断線）検査方法
に比べ、特別な設備が不要であり、時間とコストの無駄
を大幅に改善し、検査精度は低下させずかつ評価が迅速
にできる検査方法を供給する。 【解決手段】透明導電膜に抵抗測定器の測定端子で抵抗
測定が可能な端部を持つ、導通部の幅が１０〜１０００
μｍの短冊状の微細パターンを形成し、抵抗の上昇及び
断線を調べることにより、透明導電膜の表面欠陥（断
線）を調べる。
に比べ、特別な設備が不要であり、時間とコストの無駄
を大幅に改善し、検査精度は低下させずかつ評価が迅速
にできる検査方法を供給する。 【解決手段】透明導電膜に抵抗測定器の測定端子で抵抗
測定が可能な端部を持つ、導通部の幅が１０〜１０００
μｍの短冊状の微細パターンを形成し、抵抗の上昇及び
断線を調べることにより、透明導電膜の表面欠陥（断
線）を調べる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は透明導電膜の表面欠
陥（断線）の検査方法に関するものである。詳しくは、
抵抗測定器の端子で抵抗測定が可能な端部を持つ短冊状
の微細パターンを形成することにより、液晶表示装置な
どに用いられる透明導電膜の断線検査において検査効率
を向上させる方法に関するものである。
陥（断線）の検査方法に関するものである。詳しくは、
抵抗測定器の端子で抵抗測定が可能な端部を持つ短冊状
の微細パターンを形成することにより、液晶表示装置な
どに用いられる透明導電膜の断線検査において検査効率
を向上させる方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置は薄型で省電力という特徴
から特に通信・電子産業分野で使用されてきている。液
晶表示装置に用いられる透明導電膜はエッチングにより
電極部分や配線部分にパターニングを行うが、画面の高
精細化が進みパターンのピッチが非常に狭くなってい
る。また、透明導電膜は非常に薄いため、基材にキズ・
凹凸・シワ等の欠陥があった場合や透明導電膜自身にク
ラック等の欠陥があった場合、容易に断線が生じる恐れ
がある。従来、透明導電膜の断線検査方法としては、
１）電極・パネル加工を施し通電して点灯不良を調べ
る、２）顕微鏡などを利用し断線の原因となる欠陥を探
す等の方法が用いられてきた。
から特に通信・電子産業分野で使用されてきている。液
晶表示装置に用いられる透明導電膜はエッチングにより
電極部分や配線部分にパターニングを行うが、画面の高
精細化が進みパターンのピッチが非常に狭くなってい
る。また、透明導電膜は非常に薄いため、基材にキズ・
凹凸・シワ等の欠陥があった場合や透明導電膜自身にク
ラック等の欠陥があった場合、容易に断線が生じる恐れ
がある。従来、透明導電膜の断線検査方法としては、
１）電極・パネル加工を施し通電して点灯不良を調べ
る、２）顕微鏡などを利用し断線の原因となる欠陥を探
す等の方法が用いられてきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、１）の検査方
法では電極・パネル加工に手間と時間がかかる、加工設
備が必要となるなどの問題があった。２）の検査方法で
は、パネル加工の設備は必要ないが、１回当たり検査が
できる面積が小さく、結局時間とコストがかなり費やさ
れるという問題や、欠点があっても断線の原因となるか
どうかの判断はできないという問題があった。
法では電極・パネル加工に手間と時間がかかる、加工設
備が必要となるなどの問題があった。２）の検査方法で
は、パネル加工の設備は必要ないが、１回当たり検査が
できる面積が小さく、結局時間とコストがかなり費やさ
れるという問題や、欠点があっても断線の原因となるか
どうかの判断はできないという問題があった。
【０００４】本発明の目的は、従来の技術では解決でき
なかった問題を解消する、すなわち、検査精度を低下さ
せることなく、評価が迅速かつ簡単にできる透明導電膜
の欠陥（断線）を検査する方法を実現することである。
なかった問題を解消する、すなわち、検査精度を低下さ
せることなく、評価が迅速かつ簡単にできる透明導電膜
の欠陥（断線）を検査する方法を実現することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、迅速かつ
簡単に透明導電膜の断線検査を行うために鋭意検討を重
ねた結果、導電膜面に抵抗測定器の端子で抵抗測定が可
能な端部を持つ短冊状の微細パターンを形成し、抵抗を
測定して断線数を調べた場合、パネル加工をして点灯不
良を調べた場合と不良数の傾向が一致していることを見
いだし、本発明を完成させた。
簡単に透明導電膜の断線検査を行うために鋭意検討を重
ねた結果、導電膜面に抵抗測定器の端子で抵抗測定が可
能な端部を持つ短冊状の微細パターンを形成し、抵抗を
測定して断線数を調べた場合、パネル加工をして点灯不
良を調べた場合と不良数の傾向が一致していることを見
いだし、本発明を完成させた。
【０００６】すなわち、本発明は、抵抗測定器の端子で
抵抗測定が可能な端部を持つようにレジストパターンを
形成後抵抗を測定し、抵抗の上昇及び断線を調べること
によって、透明導電膜の表面欠陥（断線）をパネル加工
を行わなくても検査が可能となる方法であり、検査を迅
速かつ簡単に行うことができる方法である。
抵抗測定が可能な端部を持つようにレジストパターンを
形成後抵抗を測定し、抵抗の上昇及び断線を調べること
によって、透明導電膜の表面欠陥（断線）をパネル加工
を行わなくても検査が可能となる方法であり、検査を迅
速かつ簡単に行うことができる方法である。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明で検査できる透明導電膜と
しては、特に限定はないが、例えば、透明基材（透明高
分子フィルム、透明高分子シート、透明ガラス板）に積
層された酸化インジウム、酸化錫、酸化インジウム錫、
酸化亜鉛またはこれらの積層体等が挙げられる。
しては、特に限定はないが、例えば、透明基材（透明高
分子フィルム、透明高分子シート、透明ガラス板）に積
層された酸化インジウム、酸化錫、酸化インジウム錫、
酸化亜鉛またはこれらの積層体等が挙げられる。
【０００８】また、導電面に印刷する短冊状の微細パタ
ーンの形状は、例えば図１に示すような、抵抗測定器の
端子で抵抗測定が可能な端部を持つ短冊状の微細パター
ンであり、導通部ｄの幅は１０μｍ以上、１０００μｍ
以下が好ましく、この範囲で用途に応じた幅を選択す
る。１０μｍ以下である場合にはレジストでパターンを
印刷する際に微細すぎてパターンが切れてしまう。１０
００μｍ以上の場合には欠陥があってもパターンが太い
ため断線しないので検査不可能になる恐れがある。
ーンの形状は、例えば図１に示すような、抵抗測定器の
端子で抵抗測定が可能な端部を持つ短冊状の微細パター
ンであり、導通部ｄの幅は１０μｍ以上、１０００μｍ
以下が好ましく、この範囲で用途に応じた幅を選択す
る。１０μｍ以下である場合にはレジストでパターンを
印刷する際に微細すぎてパターンが切れてしまう。１０
００μｍ以上の場合には欠陥があってもパターンが太い
ため断線しないので検査不可能になる恐れがある。
【０００９】微細パターンの長さに関しては特に限定し
ないが、短すぎると欠陥を検査できる確率が小さくなり
精度が悪くなる。また、長すぎる場合複数の欠陥が同一
の微細パターン上に重なる可能性が高く欠陥数を少なく
カウントする確率が高くなり、やはり精度が悪くなるた
め、０．１ｃｍ以上５ｃｍ以下が好ましい。
ないが、短すぎると欠陥を検査できる確率が小さくなり
精度が悪くなる。また、長すぎる場合複数の欠陥が同一
の微細パターン上に重なる可能性が高く欠陥数を少なく
カウントする確率が高くなり、やはり精度が悪くなるた
め、０．１ｃｍ以上５ｃｍ以下が好ましい。
【００１０】抵抗測定用端部ｃの形状は特に限定しない
が、円もしくは多角形が好ましい。大きさに関しては、
端子の先が十分あたる程度の面積が必要であり、大きす
ぎると単位面積当たりのパターンの個数が少なくなる。
端子の大きさにもよるが、例えば正方形の端部ｃの場合
１辺の長さが２ｍｍ以上、１０ｍｍ以下が好ましい。本
発明で用いるパターニング用レジストについては特に限
定しないが、例えばネガ型フォトレジスト、ポジ型フォ
トレジスト、放射線レジスト等が挙げられる。 本発明
におけるエッチング方法としては、特に限定しないが、
市販のエッチング液や塩酸、硫酸、硝酸の水溶液、また
はこれらの混合液を用いることができる。エッチング時
間・温度に関しては、透明導電膜の種類や厚みによって
異なる。透明導電膜が十分エッチングされるが、パター
ン部分までは溶けない条件でエッチングを行う。
が、円もしくは多角形が好ましい。大きさに関しては、
端子の先が十分あたる程度の面積が必要であり、大きす
ぎると単位面積当たりのパターンの個数が少なくなる。
端子の大きさにもよるが、例えば正方形の端部ｃの場合
１辺の長さが２ｍｍ以上、１０ｍｍ以下が好ましい。本
発明で用いるパターニング用レジストについては特に限
定しないが、例えばネガ型フォトレジスト、ポジ型フォ
トレジスト、放射線レジスト等が挙げられる。 本発明
におけるエッチング方法としては、特に限定しないが、
市販のエッチング液や塩酸、硫酸、硝酸の水溶液、また
はこれらの混合液を用いることができる。エッチング時
間・温度に関しては、透明導電膜の種類や厚みによって
異なる。透明導電膜が十分エッチングされるが、パター
ン部分までは溶けない条件でエッチングを行う。
【００１１】レジスト除去工程としては、特に限定せ
ず、用いたレジストに見合う条件で行う。
ず、用いたレジストに見合う条件で行う。
【００１２】本発明における抵抗測定方法としては、テ
スター等のように微細パターンの両端に端子を当て抵抗
を測定できる方法ならどのような方法でも良く、断線部
（抵抗が１０6Ω以上）の数をカウントする。
スター等のように微細パターンの両端に端子を当て抵抗
を測定できる方法ならどのような方法でも良く、断線部
（抵抗が１０6Ω以上）の数をカウントする。
【００１３】抵抗測定後、断線部・抵抗上昇部の微細パ
ターン部分の顕微鏡観察を行った場合、断線の原因が判
明するので原因別に断線の数をカウントでき、さらに精
度の良いデータを得ることができる。
ターン部分の顕微鏡観察を行った場合、断線の原因が判
明するので原因別に断線の数をカウントでき、さらに精
度の良いデータを得ることができる。
【００１４】なお、パネル加工して点灯不良個数（ｘ個
とする）を調べた場合と、本発明の検査方法で断線個数
（ｙ個とする）を調べた場合の関連は、概して次式で表
される。 ＜式１＞ ｙ＝〔ｂ×（ｘ／ａ）2 〕／２ 但し、ａ：同一面積におけるパネル加工数 ｂ：同一面積における微細パターン数 とする。
とする）を調べた場合と、本発明の検査方法で断線個数
（ｙ個とする）を調べた場合の関連は、概して次式で表
される。 ＜式１＞ ｙ＝〔ｂ×（ｘ／ａ）2 〕／２ 但し、ａ：同一面積におけるパネル加工数 ｂ：同一面積における微細パターン数 とする。
【００１５】
【実施例】以下に、本発明を実施例により詳細に説明す
る。 実施例１ 透明導電膜の基材として、ポリカーボネートの両面にア
ンカーコート層、次いでガスバリア層としてＰＶＡをコ
ーティングし、更に耐透湿層としてポリウレタンアクリ
レートをその上層にコーティングした。この基材は７層
積層構造であるため、非常にキズ、凹凸が多いものであ
った。この基材の片面に透明導電膜として酸化インジウ
ム錫膜が表面抵抗２００Ω／□となるように製膜された
透明導電性フィルムに、微細パターンをレジスト（東京
応化工業（株）、ＴＹＰＥ−Ｐ−ＲＺ３０）を用いてス
クリーン印刷法により形成した。微細パターンの形状
は、導通部の幅２００μｍ、長さ１０ｍｍで、両端に１
辺の長さが５ｍｍの正方形からなる抵抗測定用端部が設
けられている。パターンの間隔が上下左右とも２ｍｍで
配置し、Ａ４サイズの透明導電性フィルムに３００個の
パターンを形成した。
る。 実施例１ 透明導電膜の基材として、ポリカーボネートの両面にア
ンカーコート層、次いでガスバリア層としてＰＶＡをコ
ーティングし、更に耐透湿層としてポリウレタンアクリ
レートをその上層にコーティングした。この基材は７層
積層構造であるため、非常にキズ、凹凸が多いものであ
った。この基材の片面に透明導電膜として酸化インジウ
ム錫膜が表面抵抗２００Ω／□となるように製膜された
透明導電性フィルムに、微細パターンをレジスト（東京
応化工業（株）、ＴＹＰＥ−Ｐ−ＲＺ３０）を用いてス
クリーン印刷法により形成した。微細パターンの形状
は、導通部の幅２００μｍ、長さ１０ｍｍで、両端に１
辺の長さが５ｍｍの正方形からなる抵抗測定用端部が設
けられている。パターンの間隔が上下左右とも２ｍｍで
配置し、Ａ４サイズの透明導電性フィルムに３００個の
パターンを形成した。
【００１６】エッチング液に８％ＨＣｌ水溶液を用いて
２０℃で１分間エッチング処理を行い、水洗後レジスト
を除去するため２０℃で５％ＫＯＨ水溶液に５分間浸漬
して水洗し、さらに８０℃で１５分間乾燥した。
２０℃で１分間エッチング処理を行い、水洗後レジスト
を除去するため２０℃で５％ＫＯＨ水溶液に５分間浸漬
して水洗し、さらに８０℃で１５分間乾燥した。
【００１７】市販のデジタルテスターを用いて抵抗を測
定し、抵抗が１０6Ω以上になる状態を断線と判断して
断線した個数を数えたところ、断線個数は３１個あっ
た。また、同じ透明導電性フィルムを用いて、Ａ４サイ
ズ１枚に１ｃｍ×５ｃｍサイズのパネルを３６個作製し
点灯不良数を数え、透明導電膜の断線テストを行ったと
ころ、点灯不良が１６個あった。式１にあてはめると、
ｙ（短冊状の微細パターン３００個中の断線個数）＝３
０となり、ほぼ一致した。
定し、抵抗が１０6Ω以上になる状態を断線と判断して
断線した個数を数えたところ、断線個数は３１個あっ
た。また、同じ透明導電性フィルムを用いて、Ａ４サイ
ズ１枚に１ｃｍ×５ｃｍサイズのパネルを３６個作製し
点灯不良数を数え、透明導電膜の断線テストを行ったと
ころ、点灯不良が１６個あった。式１にあてはめると、
ｙ（短冊状の微細パターン３００個中の断線個数）＝３
０となり、ほぼ一致した。
【００１８】実施例２ 実施例１における抵抗測定後、各サンプルの断線の原因
を微分干渉型金属顕微鏡（ニコン製）を用いて観察し、
断線の原因を調べたこと以外は実施例１と同様にして断
線検査を行った。断線３１個中、１３個はクラックによ
る断線、１８コは基材の凹凸による断線であった。断線
の原因が顕微鏡観察を行うことにより判明した。
を微分干渉型金属顕微鏡（ニコン製）を用いて観察し、
断線の原因を調べたこと以外は実施例１と同様にして断
線検査を行った。断線３１個中、１３個はクラックによ
る断線、１８コは基材の凹凸による断線であった。断線
の原因が顕微鏡観察を行うことにより判明した。
【００１９】実施例３ ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）の二軸延伸フィ
ルムを透明導電膜の基材として用いること以外は実施例
１と同様にして断線テストを行ったところ、断線個数は
１個であった。実施例１において用いた基材に比較し、
樹脂を積層していないため基材の凹凸、キズなどははる
かに少なかった。
ルムを透明導電膜の基材として用いること以外は実施例
１と同様にして断線テストを行ったところ、断線個数は
１個であった。実施例１において用いた基材に比較し、
樹脂を積層していないため基材の凹凸、キズなどははる
かに少なかった。
【００２０】また、同じＰＥＴ基材の透明導電性フィル
ムを用いて、Ａ４サイズ１枚に１ｃｍ×５ｃｍサイズの
パネルを３６個作製し点灯不良数を数え、透明導電膜の
断線テストを行ったところ、点灯不良が１個あった。式
１にあてはめるとｙ＝０となり、１個の誤差でほぼ一致
した。
ムを用いて、Ａ４サイズ１枚に１ｃｍ×５ｃｍサイズの
パネルを３６個作製し点灯不良数を数え、透明導電膜の
断線テストを行ったところ、点灯不良が１個あった。式
１にあてはめるとｙ＝０となり、１個の誤差でほぼ一致
した。
【００２１】比較例１ 微細パターンの導通部の幅を２０００μｍとした以外は
実施例１と同様にして断線検査を行ったところ、断線個
数は０個であった。断線の原因となる基材のキズや透明
導電膜のクラックが２０００μｍに比べて非常に短いた
め、欠陥があったにもかかわらず断線や目立った抵抗上
昇はなかった。
実施例１と同様にして断線検査を行ったところ、断線個
数は０個であった。断線の原因となる基材のキズや透明
導電膜のクラックが２０００μｍに比べて非常に短いた
め、欠陥があったにもかかわらず断線や目立った抵抗上
昇はなかった。
【００２２】比較例２ 微細パターンの導通部の幅を５μｍとした以外は実施例
１と同様にして断線テストを行ったところ、微細パター
ンの幅が細すぎてパターンがエッチング中に溶けてしま
い、微細パターンを作製することができず、測定不能で
あった。
１と同様にして断線テストを行ったところ、微細パター
ンの幅が細すぎてパターンがエッチング中に溶けてしま
い、微細パターンを作製することができず、測定不能で
あった。
【００２３】
【発明の効果】本発明の透明導電膜の断線検査方法は、
パネル加工を行わなくても透明導電膜の表面欠陥（断
線）のテストを行うことができ、検査精度を低下させる
ことなく、かつ、評価が迅速にできる効果がある。
パネル加工を行わなくても透明導電膜の表面欠陥（断
線）のテストを行うことができ、検査精度を低下させる
ことなく、かつ、評価が迅速にできる効果がある。
【図１】 導電面に印刷する短冊状の微細パターンを示
す図である。
す図である。
ｃ：抵抗測定用端部 ｄ：導通部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉開 正彰 愛知県名古屋市南区丹後通２丁目１番地 三井東圧化学株式会社内 (72)発明者 原田 祐一郎 愛知県名古屋市南区丹後通２丁目１番地 三井東圧化学株式会社内 (72)発明者 坂井 ▲祥▼浩 愛知県名古屋市南区丹後通２丁目１番地 三井東圧化学株式会社内 (72)発明者 鈴木 彰 愛知県名古屋市南区丹後通２丁目１番地 三井東圧化学株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 透明基材／透明導電膜からなる透明導電
性フィルムの透明導電膜側表面の欠陥の有無を検査する
方法において、抵抗測定器の端子で抵抗測定が可能な端
部を持つ短冊状の微細パターンを透明導電膜面上に形成
した後、該微細パターンの両端部間の抵抗を測定するこ
とを特徴とする透明導電膜の断線検査方法。 - 【請求項２】 導通部の幅が１０μｍ〜１０００μｍで
ある短冊状の微細パターンを用いることを特徴とする、
請求項１記載の透明導電膜の断線検査方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8235281A JPH1082818A (ja) | 1996-09-05 | 1996-09-05 | 透明導電膜の断線検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8235281A JPH1082818A (ja) | 1996-09-05 | 1996-09-05 | 透明導電膜の断線検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1082818A true JPH1082818A (ja) | 1998-03-31 |
Family
ID=16983783
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8235281A Pending JPH1082818A (ja) | 1996-09-05 | 1996-09-05 | 透明導電膜の断線検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1082818A (ja) |
-
1996
- 1996-09-05 JP JP8235281A patent/JPH1082818A/ja active Pending
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