JPH1074997A - 固体レーザ装置 - Google Patents
固体レーザ装置Info
- Publication number
- JPH1074997A JPH1074997A JP8230651A JP23065196A JPH1074997A JP H1074997 A JPH1074997 A JP H1074997A JP 8230651 A JP8230651 A JP 8230651A JP 23065196 A JP23065196 A JP 23065196A JP H1074997 A JPH1074997 A JP H1074997A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor laser
- excitation
- laser
- solid
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
- H01S3/094—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light
- H01S3/0941—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light of a laser diode
- H01S3/09415—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light of a laser diode the pumping beam being parallel to the lasing mode of the pumped medium, e.g. end-pumping
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 励起用半導体レーザが不良となった場合、そ
の交換組み立て調整作業に手間どり、その作業に長時間
を要していた。 【解決手段】 励起用半導体レーザ１からの励起光が平
行光となるように励起用半導体レーザ１に対するコリメ
ートレンズ２の位置を決定し半導体レーザユニットを組
み立てる。次に、半導体レーザユニットからの平行光が
収束レンズ３で収束された後、収束された励起光がレー
ザ媒質４の所定の位置に入射するように収束レンズ３と
レーザ媒質４の位置調整を行い、反射共振器ミラー５は
最も出力が大きくなるように位置調整を行う。出力レン
ズ６は反射共振器ミラー５からの出力光が平行光となる
ように位置調整を行い共振器ユニットを組み立てる。こ
れら２つのユニットを組み合わせて固体レーザ装置を構
成する。
の交換組み立て調整作業に手間どり、その作業に長時間
を要していた。 【解決手段】 励起用半導体レーザ１からの励起光が平
行光となるように励起用半導体レーザ１に対するコリメ
ートレンズ２の位置を決定し半導体レーザユニットを組
み立てる。次に、半導体レーザユニットからの平行光が
収束レンズ３で収束された後、収束された励起光がレー
ザ媒質４の所定の位置に入射するように収束レンズ３と
レーザ媒質４の位置調整を行い、反射共振器ミラー５は
最も出力が大きくなるように位置調整を行う。出力レン
ズ６は反射共振器ミラー５からの出力光が平行光となる
ように位置調整を行い共振器ユニットを組み立てる。こ
れら２つのユニットを組み合わせて固体レーザ装置を構
成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体レーザを励
起用光源として用いる固体レーザ装置に関する。
起用光源として用いる固体レーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は、従来の端面励起方式による固体
レーザ装置の構成例を示したものである。
レーザ装置の構成例を示したものである。
【０００３】図において、３０は励起用半導体レーザ、
３１はコリメートレンズ、３２は収束レンズ、３３はＮ
ｄ−ＹＡＧ結晶等のレーザ媒質、３４はレーザ媒質３３
の励起光入射面と共に光共振器３５を構成する出力鏡で
ある。
３１はコリメートレンズ、３２は収束レンズ、３３はＮ
ｄ−ＹＡＧ結晶等のレーザ媒質、３４はレーザ媒質３３
の励起光入射面と共に光共振器３５を構成する出力鏡で
ある。
【０００４】励起用半導体レーザ３０からのレーザ光は
コリメートレンズ３１により平行光線に変換され、この
平行光線は収束レンズ３２により、レーザ媒質３３の表
面または僅かにレーザ媒質の内部側に焦点を結像するよ
うに入射される。
コリメートレンズ３１により平行光線に変換され、この
平行光線は収束レンズ３２により、レーザ媒質３３の表
面または僅かにレーザ媒質の内部側に焦点を結像するよ
うに入射される。
【０００５】この入射されたレーザ光によりレーザ媒質
３３が励起され所定の波長の光を放出する。この光は、
光共振器３５により閉じ込められて増幅され、出力鏡３
４よりその一部が出力される。
３３が励起され所定の波長の光を放出する。この光は、
光共振器３５により閉じ込められて増幅され、出力鏡３
４よりその一部が出力される。
【０００６】上記のように構成された固体レーザ装置は
各構成部品をそれぞれの性能が満たされるように調整
し、組み込んだ一体構造を有するが、組み立て時には励
起用半導体レーザ３０を基準面として利用し、これを起
点として他の構成部品の位置調整を行って組み上げてい
く。
各構成部品をそれぞれの性能が満たされるように調整
し、組み込んだ一体構造を有するが、組み立て時には励
起用半導体レーザ３０を基準面として利用し、これを起
点として他の構成部品の位置調整を行って組み上げてい
く。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この固体レ
ーザ装置においては、励起用半導体レーザ３０の寿命
は、固体レーザ装置を構成する他の部品、例えばレン
ズ、ミラー、レーザ媒質結晶と比較すると寿命が一番短
い部品であり、電気的サージや過電流、静電気により故
障する確率も高いので、励起用半導体レーザ３０が不良
となった場合に、上記従来技術では、一度固体レーザ装
置をすべて個々の部品に分解し、励起用半導体レーザを
交換した後、再度励起用半導体レーザを基準面として、
コリメートレンズ３１、収束レンズ３２、レーザ媒質３
３、出力鏡３４の順に図３に記載されている各部品を次
々と位置を合わせて行く必要があり作業に長時間を要し
ていた。また、図３よりも部品点数が多い場合には組み
立て作業時間がさらに長くなるという問題があった。
ーザ装置においては、励起用半導体レーザ３０の寿命
は、固体レーザ装置を構成する他の部品、例えばレン
ズ、ミラー、レーザ媒質結晶と比較すると寿命が一番短
い部品であり、電気的サージや過電流、静電気により故
障する確率も高いので、励起用半導体レーザ３０が不良
となった場合に、上記従来技術では、一度固体レーザ装
置をすべて個々の部品に分解し、励起用半導体レーザを
交換した後、再度励起用半導体レーザを基準面として、
コリメートレンズ３１、収束レンズ３２、レーザ媒質３
３、出力鏡３４の順に図３に記載されている各部品を次
々と位置を合わせて行く必要があり作業に長時間を要し
ていた。また、図３よりも部品点数が多い場合には組み
立て作業時間がさらに長くなるという問題があった。
【０００８】本発明は、上記課題を解決するために創案
されたもので、励起用半導体レーザが不良となった場合
であっても、その交換組み立て調整作業が容易に行え、
固体レーザ装置そのものの組み立て効率を上げることが
できる固体レーザ装置を提供することを目的とするもの
である。
されたもので、励起用半導体レーザが不良となった場合
であっても、その交換組み立て調整作業が容易に行え、
固体レーザ装置そのものの組み立て効率を上げることが
できる固体レーザ装置を提供することを目的とするもの
である。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の固体レーザ装置は、励起用半導体レーザよ
りの励起光をレーザ媒質に入射させ、光共振器で増幅し
て外部にレーザ光を取り出す固体レーザ装置において、
前記励起用半導体レーザ部と、前記光共振器部とをそれ
ぞれユニット化し、これら２つのユニットを組み合わせ
て構成される。
に、本発明の固体レーザ装置は、励起用半導体レーザよ
りの励起光をレーザ媒質に入射させ、光共振器で増幅し
て外部にレーザ光を取り出す固体レーザ装置において、
前記励起用半導体レーザ部と、前記光共振器部とをそれ
ぞれユニット化し、これら２つのユニットを組み合わせ
て構成される。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の一実施例を、以下、図１
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【００１１】１は励起用半導体レーザ、２はコリメート
レンズ、３は収束レンズ、４はＮｄ−ＹＡＧ結晶等のレ
ーザ媒質、５は反射共振器ミラー、６は出力レンズであ
る。レーザ媒質４の左側端面と反射共振器ミラー５の左
側端面との間で光共振器を形成している。
レンズ、３は収束レンズ、４はＮｄ−ＹＡＧ結晶等のレ
ーザ媒質、５は反射共振器ミラー、６は出力レンズであ
る。レーザ媒質４の左側端面と反射共振器ミラー５の左
側端面との間で光共振器を形成している。
【００１２】また、励起用半導体レーザ１とコリメート
レンズ２で半導体レーザユニットを形成し、収束レンズ
３、レーザ媒質４、反射共振器ミラー５、出力レンズ６
で共振器ユニットを形成している。
レンズ２で半導体レーザユニットを形成し、収束レンズ
３、レーザ媒質４、反射共振器ミラー５、出力レンズ６
で共振器ユニットを形成している。
【００１３】次にこれらユニットの組み立て方法を述べ
る。
る。
【００１４】まず、励起用半導体レーザ１からの励起光
が平行光となるように励起用半導体レーザ１に対するコ
リメートレンズ２の位置を決定し半導体レーザユニット
を組み立てる。
が平行光となるように励起用半導体レーザ１に対するコ
リメートレンズ２の位置を決定し半導体レーザユニット
を組み立てる。
【００１５】次に、半導体レーザユニットからの平行光
が収束レンズ３で収束された後、収束された励起光がレ
ーザ媒質４の所定の位置に入射するように収束レンズ３
とレーザ媒質４の位置調整を行い、反射共振器ミラー５
は最も出力が大きくなるように位置調整を行う。出力レ
ンズ６は反射共振器ミラー５からの出力光が平行光とな
るように位置調整を行い共振器ユニットを組み立てる。
が収束レンズ３で収束された後、収束された励起光がレ
ーザ媒質４の所定の位置に入射するように収束レンズ３
とレーザ媒質４の位置調整を行い、反射共振器ミラー５
は最も出力が大きくなるように位置調整を行う。出力レ
ンズ６は反射共振器ミラー５からの出力光が平行光とな
るように位置調整を行い共振器ユニットを組み立てる。
【００１６】１対の半導体レーザユニットと共振器ユニ
ットが各々組み立てられると、両ユニットを共通のベー
ス上に配置し、ユニット間の位置調整を行い、出力が最
も大きくなるようにして固体レーザ装置の全組み立てが
完了する。
ットが各々組み立てられると、両ユニットを共通のベー
ス上に配置し、ユニット間の位置調整を行い、出力が最
も大きくなるようにして固体レーザ装置の全組み立てが
完了する。
【００１７】なお、各ユニットの組み立てに際しては組
み合わせるユニット同志を用いる必要はなく、たとえ
ば、先に組み立てられた半導体レーザユニットを基準と
して上記の方法で共振器ユニットを次々と大量に製作
し、あるいは、共振器ユニットを基準として半導体レー
ザユニットを次々と大量に製作して、各ユニットを別々
に組み立ててもよい。
み合わせるユニット同志を用いる必要はなく、たとえ
ば、先に組み立てられた半導体レーザユニットを基準と
して上記の方法で共振器ユニットを次々と大量に製作
し、あるいは、共振器ユニットを基準として半導体レー
ザユニットを次々と大量に製作して、各ユニットを別々
に組み立ててもよい。
【００１８】各ユニット間の位置調整にあたっては、半
導体レーザユニットの光軸ａと共振器ユニットの光軸ｂ
を合わせなければならないが、この２つのユニット間は
大きな径の平行光で結ぶ構成となっているので位置調整
の許容範囲が広く、例えば、光軸ａと光軸ｂが上下に少
々ずれていても、また、光軸ａと光軸ｂがやや斜めに交
差していても固体レーザ装置としての出力光はある程度
保証されるので容易に２つのユニットを組み合わること
ができ、上記のように特定のユニットを基準にして複製
されたユニット同志でも容易に固体レーザ装置を構成す
ることができる。
導体レーザユニットの光軸ａと共振器ユニットの光軸ｂ
を合わせなければならないが、この２つのユニット間は
大きな径の平行光で結ぶ構成となっているので位置調整
の許容範囲が広く、例えば、光軸ａと光軸ｂが上下に少
々ずれていても、また、光軸ａと光軸ｂがやや斜めに交
差していても固体レーザ装置としての出力光はある程度
保証されるので容易に２つのユニットを組み合わること
ができ、上記のように特定のユニットを基準にして複製
されたユニット同志でも容易に固体レーザ装置を構成す
ることができる。
【００１９】また、励起用半導体レーザ１が不良となっ
た場合には半導体レーザユニットごと交換することにな
るが、この場合でも上記と同様の理由で、交換後の半導
体レーザユニットと共振器ユニットの組み合わせ調整は
簡単にできる。
た場合には半導体レーザユニットごと交換することにな
るが、この場合でも上記と同様の理由で、交換後の半導
体レーザユニットと共振器ユニットの組み合わせ調整は
簡単にできる。
【００２０】このようにして構成された固体レーザ装置
は以下のように動作する。
は以下のように動作する。
【００２１】半導体ユニット内の励起用半導体レーザ１
からのレーザ光はコリメートレンズ２により平行光線に
変換され、この平行光線は半導体レーザユニット内から
共振器ユニット内に到達し、収束レンズ３２により、レ
ーザ媒質３３の表面または僅かにレーザ媒質の内部側に
焦点を結像するように入射される。
からのレーザ光はコリメートレンズ２により平行光線に
変換され、この平行光線は半導体レーザユニット内から
共振器ユニット内に到達し、収束レンズ３２により、レ
ーザ媒質３３の表面または僅かにレーザ媒質の内部側に
焦点を結像するように入射される。
【００２２】この入射されたレーザ光によりレーザ媒質
３３が励起され所定の波長の光を放出する。この光は、
レーザ媒質４の左側端面と反射共振器ミラー５の左側端
面との間で構成される光共振器により閉じ込められて増
幅され、その一部が反射共振器ミラー５から出力されて
出力レンズ６により平行光となり、装置外部へ出力され
る。
３３が励起され所定の波長の光を放出する。この光は、
レーザ媒質４の左側端面と反射共振器ミラー５の左側端
面との間で構成される光共振器により閉じ込められて増
幅され、その一部が反射共振器ミラー５から出力されて
出力レンズ６により平行光となり、装置外部へ出力され
る。
【００２３】上記共振器ユニット中に図２に示すように
波長変換素子を組み込んで波長変換型レーザ装置として
も良く、また、ハーフミラー等を出力レンズの後に配置
して出力光の一部を取り出しフォトダイオードで検出す
るような出力光強度のモニタを行う光学系を組み込むよ
うにしても良い。
波長変換素子を組み込んで波長変換型レーザ装置として
も良く、また、ハーフミラー等を出力レンズの後に配置
して出力光の一部を取り出しフォトダイオードで検出す
るような出力光強度のモニタを行う光学系を組み込むよ
うにしても良い。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の固体レー
ザ装置によれば、励起用半導体レーザ部と、光共振器部
とをそれぞれユニット化し、こられ２つのユニットを組
み合わせて構成するようにしているので、寿命が短く、
故障となる確率が高い励起用半導体レーザが不良となっ
ても半導体レーザユニットの交換だけですむので修理組
み立てが容易となるとともに、光軸を合わせる調整も簡
単に行うことができる。
ザ装置によれば、励起用半導体レーザ部と、光共振器部
とをそれぞれユニット化し、こられ２つのユニットを組
み合わせて構成するようにしているので、寿命が短く、
故障となる確率が高い励起用半導体レーザが不良となっ
ても半導体レーザユニットの交換だけですむので修理組
み立てが容易となるとともに、光軸を合わせる調整も簡
単に行うことができる。
【図１】本発明の一実施例の固体レーザ装置の構成を示
す図である。
す図である。
【図２】本発明の固体レーザ装置の共振器ユニットの他
の構成を示す図である。
の構成を示す図である。
【図３】従来の固体レーザ装置の構成を示す図である。
Claims (1)
- 【請求項１】 励起用半導体レーザよりの励起光をレー
ザ媒質に入射させ、光共振器で増幅して外部にレーザ光
を取り出す固体レーザ装置において、前記励起用半導体
レーザ部と、前記光共振器部とをそれぞれユニット化
し、これら２つのユニットを組み合わせて構成すること
を特徴とする固体レーザ装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8230651A JPH1074997A (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 固体レーザ装置 |
| US08/919,795 US6539044B1 (en) | 1996-08-30 | 1997-08-29 | Solid state laser device with replaceable semiconductor laser |
| CN97118001.6A CN1109387C (zh) | 1996-08-30 | 1997-08-29 | 固体激光器 |
| DE19738121A DE19738121A1 (de) | 1996-08-30 | 1997-09-01 | Festkörperlaser-Vorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8230651A JPH1074997A (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 固体レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1074997A true JPH1074997A (ja) | 1998-03-17 |
Family
ID=16911145
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8230651A Pending JPH1074997A (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 固体レーザ装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6539044B1 (ja) |
| JP (1) | JPH1074997A (ja) |
| CN (1) | CN1109387C (ja) |
| DE (1) | DE19738121A1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102544989A (zh) * | 2011-08-25 | 2012-07-04 | 北京国科世纪激光技术有限公司 | 激光单元、激光器和激光器挂装准直方法 |
| JP2017208393A (ja) * | 2016-05-17 | 2017-11-24 | オムロンオートモーティブエレクトロニクス株式会社 | 固体レーザ装置、固体レーザ装置の製造方法 |
| JP2018074017A (ja) * | 2016-10-31 | 2018-05-10 | 株式会社島津製作所 | レーザ装置 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002045218A1 (fr) | 2000-11-30 | 2002-06-06 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Dispositif de laser solide |
| GB0222970D0 (en) * | 2002-10-04 | 2002-11-13 | Renishaw Plc | Vacuum compatible laser interferometer |
| CN1294682C (zh) * | 2003-05-06 | 2007-01-10 | 中国科学院物理研究所 | 多波长同时运转的连续激光器 |
| US10998689B2 (en) * | 2018-01-19 | 2021-05-04 | Shailendhar Saraf | Systems, apparatus, and methods for producing ultra stable, single-frequency, single-transverse-mode coherent light in solid-state lasers |
| US11881676B2 (en) * | 2019-01-31 | 2024-01-23 | L3Harris Technologies, Inc. | End-pumped Q-switched laser |
| CN115889971A (zh) * | 2021-08-18 | 2023-04-04 | 深圳市创客工场科技有限公司 | 激光加工设备 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4730335A (en) * | 1986-06-26 | 1988-03-08 | Amoco Corporation | Solid state laser and method of making |
| US4979180A (en) * | 1989-11-24 | 1990-12-18 | Muncheryan Arthur M | Modular interchangeable laser system |
| US5012481A (en) * | 1990-03-09 | 1991-04-30 | Martin Marietta Corporation | Flashlamp line replaceable unit |
| US5278860A (en) * | 1992-09-28 | 1994-01-11 | General Electric Company | Modular construction of face-pumped laser head components |
| US5805625A (en) * | 1994-02-09 | 1998-09-08 | Walter Langner | Laser |
| US5394427A (en) * | 1994-04-29 | 1995-02-28 | Cutting Edge Optronics, Inc. | Housing for a slab laser pumped by a close-coupled light source |
-
1996
- 1996-08-30 JP JP8230651A patent/JPH1074997A/ja active Pending
-
1997
- 1997-08-29 CN CN97118001.6A patent/CN1109387C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1997-08-29 US US08/919,795 patent/US6539044B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-09-01 DE DE19738121A patent/DE19738121A1/de not_active Ceased
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102544989A (zh) * | 2011-08-25 | 2012-07-04 | 北京国科世纪激光技术有限公司 | 激光单元、激光器和激光器挂装准直方法 |
| JP2017208393A (ja) * | 2016-05-17 | 2017-11-24 | オムロンオートモーティブエレクトロニクス株式会社 | 固体レーザ装置、固体レーザ装置の製造方法 |
| JP2018074017A (ja) * | 2016-10-31 | 2018-05-10 | 株式会社島津製作所 | レーザ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1176507A (zh) | 1998-03-18 |
| DE19738121A1 (de) | 1998-03-05 |
| CN1109387C (zh) | 2003-05-21 |
| US6539044B1 (en) | 2003-03-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6362919B1 (en) | Laser system with multi-stripe diode chip and integrated beam combiner | |
| JP5124092B2 (ja) | 複数のレーザ活性媒質を有するレーザ増幅器およびレーザ共振器 | |
| US5410559A (en) | Diode pumped laser with strong thermal lens crystal | |
| JPH0886923A (ja) | レンズ付ファイバ | |
| CN111468825B (zh) | 光源组件 | |
| CN109256667A (zh) | 泵浦模块及具有其的固体激光器 | |
| EP1143584A3 (en) | Semiconductor laser array | |
| JPH1074997A (ja) | 固体レーザ装置 | |
| US5251221A (en) | Self aligning intracavity Raman laser | |
| JP2005537643A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
| CN112928597A (zh) | 一种半导体激光器光纤耦合模块 | |
| JP2003502849A (ja) | 高パワーおよび高利得飽和ダイオードポンピングレーザ手段およびダイオードアレイポンピングデバイス | |
| CN209029672U (zh) | 泵浦模块及具有其的固体激光器 | |
| US7068700B2 (en) | Optical bench for diode-pumped solid state lasers in field applications | |
| JPH104672A (ja) | 光トリガサイリスタ | |
| JPH1168197A (ja) | 半導体レーザ励起固体レーザ装置 | |
| JPH0983048A (ja) | 固体レーザ装置 | |
| JP2022030621A (ja) | レーザ装置およびレーザ装置の光軸調整方法 | |
| JP3060986B2 (ja) | 半導体レーザ光整形光学系及び半導体レーザ励起固体レーザ装置 | |
| CN109494551B (zh) | 一种碟片激光器 | |
| JPS5853322B2 (ja) | 小形集光器 | |
| CN107884884A (zh) | 单一波长多单管半导体激光器的尾纤耦合装置 | |
| CN220585704U (zh) | 一种色温可调的反射式激光光源 | |
| CN102457013A (zh) | 一种贴片式固体激光器、调整装置及其制造方法 | |
| CN218549070U (zh) | 一种激光器及其输出功率矫正装置 |