JPH107429A - Production of preform for optical fiber - Google Patents

Production of preform for optical fiber

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Publication number
JPH107429A
JPH107429A JP15846196A JP15846196A JPH107429A JP H107429 A JPH107429 A JP H107429A JP 15846196 A JP15846196 A JP 15846196A JP 15846196 A JP15846196 A JP 15846196A JP H107429 A JPH107429 A JP H107429A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
starting material
burner
glass fine
glass
optical fiber
Prior art date
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Pending
Application number
JP15846196A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Motonori Nakamura
元宣 中村
Yuichi Oga
裕一 大賀
Toshio Danzuka
俊雄 彈塚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
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Publication of JPH107429A publication Critical patent/JPH107429A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413Reactant delivery systems
    • C03B37/0142Reactant deposition burners
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/50Multiple burner arrangements
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/60Relationship between burner and deposit, e.g. position
    • C03B2207/64Angle

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an efficient production process for a preform of an optical fiber of good quality and an apparatus therefor. SOLUTION: A glass-making feedstock gas, a fuel gas and a combustionaiding gas are jetted from the burner for synthesizing fine particles of glass together with fire flame to form fine particles of glass through the flame hydrolysis car oxidation reaction and blowing the fine particles to the cuter periphery of the rotating bar of the starting material 3. At this time, the angle between the starting material 3 and the jetting direction of the burner 4 is set to 50 deg.-85 deg. whereby the glass soot body for optical fiber preform can be shortened at its tapered bottom end.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ母材の
製造方法およびその製造装置に関するものである。
The present invention relates to a method for manufacturing an optical fiber preform and an apparatus for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、光ファイバ母材の一形態である
ガラス微粒子堆積体(多孔質状のガラス母材)の製造方
法として、外付け法(OVD法)が用いられている。こ
の外付け法は、コアおよびクラッドとなる屈折率分布を
有する棒状の出発材を回転自在に配設し、この出発材へ
向けてガラス微粒子合成用バーナを配置し出発材に沿っ
て往復移動自在とした装置を用い、そのバーナへガラス
原料ガス、燃料ガス及び助燃性ガスを供給して出発材へ
向けて噴出させ、火炎加水分解反応または酸化反応によ
りガラス微粒子を生成して回転する棒状の出発材の外周
へ噴き付けさせると共に、その出発材とバーナとを出発
材に沿って相対的に往復移動させることにより、出発材
の周りにガラス微粒子を付着堆積させて光ファイバ母材
となるガラス微粒子堆積体を製造するものである。この
外付け法による具体的な製造方法としては、特開平2−
243530号公報、特開平2−243531号公報に
記載されているものが知られている。すなわち、特開平
2−243530号公報に記載される製造方法は、出発
材であるターゲット部材をフレームに取り付けて回転自
在とし、そのターゲット部材に沿って単一のバーナを往
復移動自在としておき、バーナからSiCl4 、GeC
4 などのガラス原料をH2 などの燃料ガス及びO2
どの助燃性ガスと共にバーナから噴出させて、火炎中で
酸化、加水分解反応等によりガラス微粒子とし、このガ
ラス微粒子を回転するターゲット部材に向けて噴き付け
てガラス微粒子堆積体を形成するものであって、そのガ
ラス微粒子堆積体の形成の際に、ガラス微粒子堆積体の
表面温度を放射温度計にて測定しその表面温度が設定値
となるように制御しようとするものである。
2. Description of the Related Art Generally, an external method (OVD method) is used as a method for producing a glass fine particle deposit (porous glass preform), which is one form of an optical fiber preform. According to this external method, a rod-shaped starting material having a refractive index distribution serving as a core and a clad is rotatably arranged, a burner for synthesizing glass particles is arranged toward the starting material, and reciprocally movable along the starting material. The glass raw material gas, the fuel gas and the auxiliary gas are supplied to the burner and ejected toward the starting material. By spraying the starting material and the burner relatively back and forth along the starting material while spraying the outer periphery of the material, the glass fine particles adhere and accumulate around the starting material to become the optical fiber preform. It is for producing a deposit. A specific manufacturing method using this external method is disclosed in
Japanese Patent Application Laid-Open No. 243530 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-243531 are known. That is, according to the manufacturing method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-243530, a target member as a starting material is attached to a frame so as to be rotatable, and a single burner is reciprocally movable along the target member. From SiCl 4 , GeC
The glass raw materials such as l 4 and is ejected from the burner with the combustion supporting gas such as fuel gas and O 2, such as H 2, oxidation in the flame, and the glass particles by hydrolysis reaction or the like, the target member that rotates the glass particles To form a glass fine particle deposit, and when forming the glass fine particle deposit, measure the surface temperature of the glass fine particle deposit with a radiation thermometer and set the surface temperature to a set value. Is to be controlled so that

【0003】また、特開平2−243531号公報に記
載される製造方法は、出発材である元部材を回転自在と
し、その元部材に沿って複数のバーナを往復移動自在と
しておき、バーナからガラス原料、燃料ガス及び助燃性
ガスと共に各バーナから噴出させて、火炎中で酸化、加
水分解反応等によりガラス微粒子とし、このガラス微粒
子を回転する元部材に向けて噴き付けてガラス微粒子堆
積体を形成するものであって、そのガラス微粒子堆積体
の形成に先立って元部材を加熱することにより元部材と
ガラス微粒子堆積体との密着性を高めようとするもので
ある。
[0003] Further, the manufacturing method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 2-243531 discloses a method in which a starting member as a starting material is rotatable, a plurality of burners are reciprocally movable along the starting member, and a glass is removed from the burner. It is ejected from each burner together with the raw material, fuel gas, and auxiliary gas, and is oxidized and hydrolyzed in a flame to produce glass fine particles. The glass fine particles are sprayed toward a rotating base member to form a glass fine particle deposit. Prior to the formation of the glass fine particle deposit, the original member is heated to increase the adhesion between the original member and the glass fine particle deposit.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
光ファイバ母材の製造技術にあっては、製造した光ファ
イバ母材のうち実際に光ファイバとして有効に利用でき
る部分の割合が小さく、光ファイバ母材の製造が効率良
く行えないという問題点がある。すなわち、図10に示
すように、従来の方法で製造されるガラス微粒子堆積体
Aは、両端の部分Bが先細りのテーパ状となってしま
う。このテーパ状の端部Bは、ガラス微粒子堆積体Aを
焼結・延伸してプリフォームとしたときに、ガラス微粒
子堆積体Aの中央部分C(テーパ状でない定径の部分)
と比べカットオフ波長、モードフィールド径などの基本
的な特性が異なり、結局、光ファイバとしたときに中央
部分Cのものと特性が異なるものとなってしまう。
However, according to the conventional optical fiber preform manufacturing technology, the proportion of the portion of the manufactured optical fiber preform that can be effectively used as an optical fiber is small, There is a problem that the base material cannot be efficiently manufactured. That is, as shown in FIG. 10, in the glass fine particle deposit A manufactured by the conventional method, the portions B at both ends become tapered. The tapered end portion B is formed by sintering and stretching the glass fine particle deposit A to form a preform. The central portion C of the glass fine particle deposit A (a portion having a constant diameter that is not tapered).
Basic characteristics such as the cutoff wavelength and the mode field diameter are different from those of the optical fiber, and, as a result, the characteristics of the optical fiber are different from those of the central portion C.

【0005】この光ファイバ母材であるガラス微粒子堆
積体Aの製造において、図10に示すように製造された
ガラス微粒子堆積体Aの全長をl、この両端のテーパ状
の端部Bの長さをそれぞれl1、l2とすると、ガラス微
粒子堆積体Aのうち光ファイバとして有効利用できる割
合ηは、次の式(1)により算出される。
In the production of the glass fine particle deposit A as the optical fiber preform, the total length of the glass fine particle deposit A produced as shown in FIG. Are l 1 and l 2 , respectively, the ratio η of the glass fine particle deposit A that can be effectively used as an optical fiber is calculated by the following equation (1).

【0006】 η=((l−(l1+l2))/l)・100 [%] ‥‥‥ (1) この有効割合ηは大きいほど良いが、通常の製造では6
0〜65%程度となり、70%が製造の目標値とされて
いる。そして、有効割合ηの増加は光ファイバの生産性
の向上に直接つながるため、光ファイバ母材であるガラ
ス微粒子堆積体Aにおける有効割合ηを向上させるため
に有用な技術の開発が切望されている。
Η = ((l− (l 1 + l 2 )) / l) · 100 [%] ‥‥‥ (1) The larger the effective ratio η is, the better, but it is 6 in normal production.
It is about 0 to 65%, and 70% is set as a target value for manufacturing. Since an increase in the effective ratio η directly leads to an improvement in the productivity of the optical fiber, development of a technique useful for improving the effective ratio η in the glass fine particle deposit A as the optical fiber preform is keenly desired. .

【0007】そこで本発明は、以上のような問題点を解
決するためになされたものであって、良質の光ファイバ
母材を効率良く製造できる光ファイバ母材の製造方法お
よびその製造装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in order to solve the above problems, and provides a method and apparatus for manufacturing an optical fiber preform capable of efficiently producing a high-quality optical fiber preform. The purpose is to do.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、ガラ
ス微粒子合成用バーナからガラス原料ガス、燃料ガス及
び助燃性ガスを火炎と共に噴出させ、火炎加水分解反応
または酸化反応によりガラス微粒子を生成して回転する
棒状の出発材の外周へ噴き付けさせると共に、その出発
材とバーナとを相対的に往復移動させて、出発材の周り
にガラス微粒子を付着堆積させて行う光ファイバ母材の
製造方法において、出発材とバーナの噴付方向とのなす
角を50°〜85°として出発材へのガラス微粒子の噴
き付けを行うことを特徴とする光ファイバ母材の製造方
法である。
That is, the present invention provides a method in which a glass raw material gas, a fuel gas and an auxiliary gas are ejected from a burner for synthesizing glass fine particles together with a flame to generate glass fine particles by a flame hydrolysis reaction or an oxidation reaction. In a method of manufacturing an optical fiber preform, the starting material and the burner are relatively reciprocated while spraying the outer periphery of a rotating rod-shaped starting material, and glass particles are attached and deposited around the starting material. A method of manufacturing an optical fiber preform, comprising: spraying glass fine particles onto a starting material by setting the angle between the starting material and the spraying direction of the burner to 50 ° to 85 °.

【0009】このような発明によれば、出発材に対しバ
ーナが斜めの方向からガラス微粒子を噴き付けるので、
出発材の外周に形成されるガラス微粒子堆積体(光ファ
イバ母材)のテーパ状の端部の表面にガラス微粒子が直
角に近い角度で噴き付けられることとなる。このため、
そのテーパ状の端部が出発材の軸方向に沿って堆積し成
長することが抑制され、ガラス微粒子堆積体のテーパ状
の端部が短く形成される。また、出発材とバーナの噴付
方向とのなす角が小さくなり過ぎてガラス微粒子の堆積
収率が低減することもない。
According to this invention, the burner sprays the glass particles from the oblique direction to the starting material.
The glass particles are sprayed at an angle close to a right angle on the surface of the tapered end of the glass particle stack (optical fiber preform) formed on the outer periphery of the starting material. For this reason,
It is suppressed that the tapered end is deposited and grown along the axial direction of the starting material, and the tapered end of the glass fine particle deposit is formed short. Further, the angle between the starting material and the direction in which the burner is sprayed does not become too small, and the deposition yield of the glass particles does not decrease.

【0010】また本発明は、出発材とバーナの相対移動
に応じてバーナの向きを変えることを特徴とする光ファ
イバ母材の製造方法である。
Further, the present invention is a method for manufacturing an optical fiber preform, characterized in that the direction of the burner is changed in accordance with the relative movement of the starting material and the burner.

【0011】このような発明によれば、往復移動する出
発材の外周に形成されるガラス微粒子堆積体のテーパ状
の各端部へガラス微粒子が直角に近い角度で噴き付けら
れるようにバーナの向きを変えることにより、ガラス微
粒子堆積体の両端部においてガラス微粒子が出発材の軸
方向に沿って堆積し成長することが抑制される。このた
め、ガラス微粒子堆積体のテーパ状の両端部が短く形成
される。
According to the invention, the burner is oriented so that the glass fine particles are sprayed at an angle close to a right angle to each tapered end of the glass fine particle deposit formed on the outer periphery of the reciprocating starting material. By changing the above, it is possible to suppress the glass particles from being deposited and grown along the axial direction of the starting material at both ends of the glass particle stack. For this reason, both ends of the tapered shape of the glass fine particle deposit are formed short.

【0012】また本発明は、複数のバーナを用い各バー
ナの噴付方向のなす角を同一としてガラス微粒子の噴き
付けを行うことを特徴とする光ファイバ母材の製造方法
である。
Further, the present invention is a method of manufacturing an optical fiber preform, wherein a plurality of burners are used to spray glass fine particles with the same angle between the spraying directions of the respective burners.

【0013】このような発明によれば、光ファイバ母材
であるガラス微粒子堆積体が均一に効率良く製造可能と
なる。
According to the invention, it is possible to uniformly and efficiently produce a glass fine particle deposit as an optical fiber preform.

【0014】また本発明は、ガラス微粒子合成用バーナ
からガラス原料ガス、燃料ガス及び助燃性ガスを火炎と
共に噴出させ、火炎加水分解反応または酸化反応により
ガラス微粒子を生成して回転する棒状の出発材の外周へ
噴き付けさせると共に、その出発材とバーナとを相対的
に往復移動させて、出発材の周りにガラス微粒子を付着
堆積させて行う光ファイバ母材の製造方法において、出
発材に対するバーナの向きを制御して出発材に堆積する
ガラス微粒子堆積体の表面に対してほぼ直角にガラス微
粒子を噴き付けることを特徴とする光ファイバ母材の製
造方法である。
According to the present invention, there is also provided a rod-shaped starting material which rotates by generating a glass fine particle by a flame hydrolysis reaction or an oxidation reaction by ejecting a glass raw material gas, a fuel gas and an auxiliary combustion gas from a burner for synthesizing glass fine particles. In the method for producing an optical fiber preform, the starting material and the burner are relatively reciprocated and the glass fine particles are adhered and deposited around the starting material. A method for producing an optical fiber preform, characterized in that glass particles are sprayed substantially at right angles to the surface of a glass particle deposit body deposited on a starting material while controlling the direction.

【0015】このような発明によれば、出発材の外周に
形成されるガラス微粒子堆積体の表面においてガラス微
粒子が常に直角に近い角度で噴き付けられることとな
る。このため、ガラス微粒子堆積体の両端部においてガ
ラス微粒子が出発材の軸方向に沿って堆積し成長するこ
とが確実に抑制され、ガラス微粒子堆積体のテーパ状の
両端部が短く形成される。
According to such an invention, the glass fine particles are always sprayed at an angle close to a right angle on the surface of the glass fine particle deposit formed on the outer periphery of the starting material. Therefore, the deposition and growth of the glass fine particles along the axial direction of the starting material at both ends of the glass fine particle deposit are reliably suppressed, and the tapered ends of the glass fine particle deposit are formed short.

【0016】また本発明は、出発材を垂直方向に配設す
ることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法である。
The present invention is also a method for manufacturing an optical fiber preform, wherein the starting material is disposed in a vertical direction.

【0017】このような発明によれば、出発材の軸方向
とガラス微粒子堆積体の重力がかかる方向が一致するか
ら、出発材によりガラス微粒子堆積体が安定して支持さ
れる。
According to the invention, since the axial direction of the starting material and the direction in which the gravity of the glass fine particle deposit is applied coincide with each other, the glass fine particle deposit is stably supported by the starting material.

【0018】また本発明は、棒状の出発材を回転させる
回転機構と、ガラス原料ガス、燃料ガスおよび助燃性ガ
スを噴出して火炎加水分解反応または酸化反応によりガ
ラス微粒子を生成し出発材の外周へそのガラス微粒子を
噴き付けて堆積させるガラス微粒子合成用バーナと、出
発材とバーナを出発材の軸方向に沿って相対的に往復移
動させる移動機構と、出発材に対するバーナの噴付方向
の調整を行う調整機構とを備えた光ファイバ母材の製造
装置である。
Further, the present invention provides a rotating mechanism for rotating a rod-shaped starting material, a glass raw material gas, a fuel gas, and an auxiliary combustion gas, which are jetted to generate glass fine particles by a flame hydrolysis reaction or an oxidation reaction, and to form an outer periphery of the starting material. Burner for synthesizing glass particles by spraying and depositing umbilical glass particles, moving mechanism for relatively reciprocating the starting material and the burner along the axial direction of the starting material, and adjusting the direction in which the burner is sprayed on the starting material An optical fiber preform manufacturing apparatus comprising an adjustment mechanism for performing the above.

【0019】このような発明によれば、出発材に対しバ
ーナが斜めの方向からガラス微粒子を噴き付け可能とな
る。このため、出発材の外周に形成されるガラス微粒子
堆積体のテーパ状の端部の表面にガラス微粒子を直角に
近い角度で噴き付けることにより、そのテーパ状の端部
が出発材の軸方向に沿って堆積し成長することが防止さ
れる。
According to such an invention, it is possible for the burner to spray fine glass particles from an oblique direction to the starting material. For this reason, the glass fine particles are sprayed on the surface of the tapered end portion of the glass fine particle deposit formed on the outer periphery of the starting material at an angle close to a right angle, so that the tapered end portion extends in the axial direction of the starting material. It is prevented from accumulating and growing along.

【0020】また本発明は、調整機構が出発材とバーナ
の相対位置に応じてバーナの噴付方向のなす角を調整す
ることを特徴とする光ファイバ母材の製造装置である。
The present invention is also an apparatus for manufacturing an optical fiber preform, characterized in that the adjusting mechanism adjusts the angle between the spraying direction of the burner and the starting material in accordance with the relative position between the starting material and the burner.

【0021】このような発明によれば、ガラス微粒子堆
積体の両端部においてテーパ状の端部が出発材の軸方向
に沿って堆積し成長することが防止される。
According to the invention, it is possible to prevent the tapered ends from being deposited and grown along the axial direction of the starting material at both ends of the glass fine particle deposit.

【0022】また本発明は、調整機構がバーナの噴付方
向のなす角を出発材に堆積するガラス微粒子堆積体の表
面に直角にガラス微粒子が噴き付けられるように調整す
ることを特徴とする光ファイバ母材の製造装置である。
Further, the present invention is characterized in that the adjusting mechanism adjusts the angle between the spraying direction of the burner and the glass fine particles so as to be sprayed at right angles to the surface of the glass fine particle deposit on the starting material. This is a fiber preform manufacturing apparatus.

【0023】このような発明によれば、ガラス微粒子堆
積体の両端においてテーパ状の端部が出発材の軸方向に
沿って堆積し成長することが確実に防止される。
According to the invention, the tapered ends at both ends of the glass fine particle deposit are reliably prevented from being deposited and grown along the axial direction of the starting material.

【0024】また本発明は、回転機構が出発材を垂直に
向けて配設可能とされていることを特徴とする光ファイ
バ母材の製造装置である。
The present invention is also an apparatus for manufacturing an optical fiber preform, characterized in that the rotation mechanism can be arranged with the starting material oriented vertically.

【0025】このような発明によれば、出発材の軸方向
とガラス微粒子堆積体の重力がかかる方向が一致するか
ら、出発材によりガラス微粒子堆積体が安定して支持さ
れる。
According to the invention, since the axial direction of the starting material and the direction in which the gravity of the glass fine particle deposit is applied coincide, the glass fine particle deposit is stably supported by the starting material.

【0026】[0026]

【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づき、本発明
に係る実施形態の種々の例について説明する。尚、各図
において同一要素には同一符号を付して説明を省略す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Various embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same elements are denoted by the same reference numerals, and the description is omitted.

【0027】(実施形態1)図1は光ファイバ母材の製
造装置の概要図である。図1に示すように、光ファイバ
母材を製造するための製造装置1は、ガラス微粒子堆積
体2のもととなるガラス微粒子を出発材3へ向けて噴出
するバーナ4と、出発材3とバーナ4を相対的に移動さ
せると共に出発材3を回転させる回転移動機構5と、出
発材3に対するバーナ4の噴付方向のなす角を調整する
調整機構6を備えて構成されている。以下、製造装置1
の各部について詳述する。
(Embodiment 1) FIG. 1 is a schematic view of an apparatus for manufacturing an optical fiber preform. As shown in FIG. 1, a manufacturing apparatus 1 for manufacturing an optical fiber preform includes a burner 4 that ejects glass fine particles as a source of a glass fine particle deposit 2 toward a starting material 3, and a starting material 3. It is provided with a rotation moving mechanism 5 for relatively moving the burner 4 and rotating the starting material 3, and an adjusting mechanism 6 for adjusting an angle between the starting material 3 and the spraying direction of the burner 4. Hereinafter, manufacturing apparatus 1
Each part will be described in detail.

【0028】図1において、反応容器7の上部に回転移
動機構5が取り付けられ、その反応容器7内で棒状の出
発材3が設置可能となっている。反応容器7は内外を密
封された構造とされ排気口のみから内気を外部へ排出で
きるようになっている。回転移動機構5は、たとえば、
駆動部51と回転軸52と連結部53により構成されて
いる。駆動部51は、反応容器7の上方に設置され、そ
の下面から延出する回転軸52を軸回転(軸方向を中心
に回転)させる回転機能と軸方向へ移動させる移動機能
を備えている。駆動部51としてはモータなどからなる
公知のものが用いられる。また、回転軸52は、駆動部
51から下方へ延出して反応容器7の上面を貫通して配
設されている。更に、連結部53は、回転軸52の下端
に設けられ反応容器7内で垂直に配した出発材3を連結
できるようになっている。この連結部53としては公知
のチャック式のものなどが用いられる。この回転移動機
構5により、出発材3を反応容器7内で垂直方向に設置
して、任意の速度で回転させ、また、任意の速度で昇降
させることが可能となる。この出発材3の昇降により、
反応容器7に取り付けられたバーナ4と出発材3を相対
的に移動させることできる。また、回転移動機構5によ
れば、出発材3が垂直方向に設置されるため、出発材3
の外周に堆積するガラス微粒子堆積体2の重量が加わる
方向と出発材3の軸方向とを一致させることができ、出
発材3でガラス微粒子堆積体2を安定して支持すること
が可能となる。従って、大型のガラス微粒子堆積体2が
製造できる。なお、この回転移動機構5は、出発材3の
回転操作を行う回転機構部と出発材3、バーナ4の相対
移動操作を行う移動機構部を個別に構成したものであっ
てもよい。
In FIG. 1, a rotary moving mechanism 5 is mounted on an upper portion of a reaction vessel 7, and a rod-shaped starting material 3 can be installed in the reaction vessel 7. The reaction vessel 7 has a structure in which the inside and outside are sealed, so that the inside air can be discharged to the outside only from the exhaust port. The rotation moving mechanism 5 includes, for example,
The drive unit 51 includes a drive shaft 51, a rotation shaft 52, and a connection unit 53. The drive unit 51 is installed above the reaction vessel 7 and has a rotation function of rotating a rotation shaft 52 extending from the lower surface thereof (rotation about the axial direction) and a movement function of moving the rotation shaft 52 in the axial direction. As the driving unit 51, a known driving unit such as a motor is used. The rotating shaft 52 extends downward from the driving unit 51 and is provided to pass through the upper surface of the reaction vessel 7. Further, the connecting portion 53 is provided at the lower end of the rotating shaft 52 so as to be able to connect the starting material 3 arranged vertically in the reaction vessel 7. As the connecting portion 53, a known chuck type or the like is used. With this rotation moving mechanism 5, the starting material 3 can be installed vertically in the reaction vessel 7, rotated at an arbitrary speed, and raised and lowered at an arbitrary speed. By raising and lowering the starting material 3,
The burner 4 and the starting material 3 attached to the reaction vessel 7 can be relatively moved. Further, according to the rotation moving mechanism 5, the starting material 3 is installed in the vertical direction.
The direction in which the weight of the glass fine particle deposit 2 deposited on the outer periphery of the substrate 3 is added can coincide with the axial direction of the starting material 3, and the starting fine material 3 can stably support the glass fine particle deposit 2. . Therefore, a large-sized glass particle deposit 2 can be manufactured. Note that the rotation moving mechanism 5 may be configured such that a rotating mechanism for rotating the starting material 3 and a moving mechanism for relatively moving the starting material 3 and the burner 4 are separately provided.

【0029】一方、反応容器7の側面には、二つのバー
ナ4(バーナ4a、4b)が上下に並設されている。バ
ーナ4a、4bはガラス微粒子の噴付を行うためのもの
であって、原料供給装置41とそれぞれ接続され、この
原料供給装置41からバーナ4a、4bへSiCl4
GeCl4 などのガラス原料ガス、H2 などの燃料ガス
及びO2 などの助燃性ガスなどの供給を受けて、先端の
開口部分からそれらのガスを噴出して、火炎中での酸
化、加水分解反応等によりガラス微粒子を生成するよう
になっている。なお、原料供給装置41からの供給によ
りバーナ4から噴出させるガスとしては、ガラス原料ガ
ス、燃料ガスおよび助燃性ガスのみに限られず、ガラス
微粒子の生成に補助するための不活性ガスなどを含むも
のである。
On the other hand, on the side surface of the reaction vessel 7, two burners 4 (burners 4a and 4b) are vertically arranged side by side. The burners 4a and 4b are for spraying fine glass particles, and are connected to the raw material supply device 41, respectively. The raw material supply device 41 sends SiCl 4 ,
It receives glass raw material gas such as GeCl 4 , fuel gas such as H 2, and auxiliary gas such as O 2, and gushes them from the opening at the tip to oxidize and hydrolyze in the flame. Glass particles are generated by a reaction or the like. In addition, the gas ejected from the burner 4 by the supply from the raw material supply device 41 is not limited to the glass raw material gas, the fuel gas, and the auxiliary gas, but also includes an inert gas for assisting the generation of the glass particles. .

【0030】また、バーナ4a、4bは出発材3へ向け
られて配置されガラス微粒子を出発材3へ向けて噴付可
能とされ、更に、調整機構6によりその噴付方向の調整
が可能とされている。たとえば、バーナ4a、4bはそ
れぞれ調整駆動部61a、61bに回転自在に軸着され
て垂直方向へ俯仰自在とされており、この調整駆動部6
1a、61bに接続された角度制御装置62により俯仰
角度の制御が任意に行えるようになっている。なお、バ
ーナ4は、ガラス微粒子の噴付方向が調整可能であれ
ば、一つのバーナからなるものであってもよく、また、
三つ以上のバーナからなるものであってもよい。
The burners 4a and 4b are arranged so as to face the starting material 3, so that the fine glass particles can be sprayed toward the starting material 3, and the adjusting mechanism 6 can adjust the spraying direction. ing. For example, the burners 4a and 4b are rotatably mounted on the adjustment driving units 61a and 61b, respectively, so that they can be raised and lowered in the vertical direction.
The elevation control can be arbitrarily controlled by an angle control device 62 connected to 1a and 61b. The burner 4 may be composed of a single burner as long as the direction of spraying the glass fine particles can be adjusted.
It may be composed of three or more burners.

【0031】なお、製造装置1は出発材3を垂直方向に
設置するものであるが、その設置方向は水平方向または
斜めの方向(垂直でなく水平でない方向)であってもよ
い。また、製造装置1は出発材3とバーナ4との相対移
動がバーナ4に対し出発材3を移動させることにより行
われているが、回転する出発材3に対してバーナ4側が
移動して相対移動がなされるものであってもよい。更
に、製造装置1において出発材3とバーナ4の双方が移
動してそれらの相対移動がなされるものであってもよ
い。
Although the manufacturing apparatus 1 installs the starting material 3 in the vertical direction, the installation direction may be horizontal or oblique (not vertical but non-horizontal). In the manufacturing apparatus 1, the relative movement between the starting material 3 and the burner 4 is performed by moving the starting material 3 with respect to the burner 4. The movement may be performed. Furthermore, in the manufacturing apparatus 1, both the starting material 3 and the burner 4 may be moved and their relative movement may be performed.

【0032】次に、光ファイバ母材の製造方法について
説明する。図1において、まず、屈折率の異なる二種類
以上のガラス材からなる棒状の出発材3、即ちコア及び
クラッドを有する出発材4を用意し、製造装置1の回転
移動機構5の連結部53に取り付ける。出発材3として
は、屈折率の異なる二種類以上のガラス材からなるもの
を用いる。なお、出発材4は一種類のガラス材からなる
ものを用いてもよい。そして、バーナ4a、4bの噴付
方向を調整機構6により設定を行う。すなわち、調整機
構6によりバーナ4a、4bの噴付方向と設置された出
発材3の軸方向がなす角θが50°〜85°となるよう
にバーナ4a、4bの向きを設定する。その設定の際、
並設されるバーナ4a、4bの向きは同一としておくの
が望ましい。すなわち、バーナ4a、4bの向きは同一
としておくことによりガラス微粒子の堆積状態が均一化
されることとなる。
Next, a method for manufacturing an optical fiber preform will be described. In FIG. 1, first, a rod-shaped starting material 3 made of two or more types of glass materials having different refractive indexes, that is, a starting material 4 having a core and a clad is prepared, and is connected to the connecting portion 53 of the rotation moving mechanism 5 of the manufacturing apparatus 1. Attach. The starting material 3 is made of two or more types of glass materials having different refractive indexes. The starting material 4 may be made of one kind of glass material. Then, the spraying directions of the burners 4a and 4b are set by the adjusting mechanism 6. That is, the direction of the burners 4a and 4b is set by the adjusting mechanism 6 so that the angle θ formed by the spray direction of the burners 4a and 4b and the axial direction of the installed starting material 3 is 50 ° to 85 °. When setting it,
It is desirable that the burners 4a and 4b arranged side by side have the same orientation. That is, by keeping the directions of the burners 4a and 4b the same, the deposition state of the glass fine particles is made uniform.

【0033】そして、このような状態において、回転移
動機構5の駆動部51を駆動させて回転軸52を回転お
よび昇降させることにより、反応容器7内で出発材3を
回転させながら、上下方向に往復移動させる。それに伴
って、バーナ4a、4bに原料供給装置41によりSi
Cl4 、GeCl4 などのガラス原料ガス、H2 などの
燃料ガス及びO2 などの助燃性ガスなどそれぞれ供給さ
せ、バーナ4a、4bの先端から噴出させる。すると、
燃料ガスおよび助燃性ガスによりバーナ4a、4bから
火炎が噴き出し、その火炎中でガラス原料ガスが酸化、
加水分解反応等によりガラス微粒子となって回転および
往復移動する出発材3の外周面へ噴き付けられることと
なる。このガラス微粒子の噴付に際し、バーナ4a、4
bの向きは固定しておく。
Then, in such a state, by driving the drive unit 51 of the rotary moving mechanism 5 to rotate and raise and lower the rotary shaft 52, the starting material 3 is rotated in the reaction vessel 7 in the vertical direction. Move back and forth. At the same time, the burners 4a and 4b are
Glass source gas such as Cl 4 and GeCl 4 , fuel gas such as H 2, and auxiliary combustion gas such as O 2 are respectively supplied and ejected from the tips of the burners 4a and 4b. Then
Flames are blown out from the burners 4a and 4b by the fuel gas and the auxiliary gas, and the glass raw material gas is oxidized in the flames.
The starting material 3 which is turned into a glass particle by a hydrolysis reaction or the like and rotates and reciprocates is sprayed onto the outer peripheral surface. When spraying the glass particles, the burners 4a, 4a
The direction of b is fixed.

【0034】ガラス微粒子の噴き付けにより、出発材3
の外周には徐々にガラス微粒子が堆積してガラス微粒子
堆積体2(スートプリフォーム)が成長していく。その
際、図1に示すように、ガラス微粒子堆積体2の端部は
先細りのテーパ状となる。これは、ガラス微粒子堆積体
2に噴き付けられるガラス微粒子がその表面に沿って流
れて堆積するためであり、ガラス微粒子堆積体2の端部
では図2のように小径である最端部へ向けてガラス微粒
子が流れるのでテーパ状に成長してしまう。
By spraying glass particles, the starting material 3
Glass fine particles are gradually deposited on the outer periphery of the glass so that the glass fine particle deposit 2 (soot preform) grows. At that time, as shown in FIG. 1, the end of the glass fine particle deposit 2 has a tapered shape. This is because the glass fine particles sprayed on the glass fine particle deposit body 2 flow along the surface thereof and accumulate, and the end of the glass fine particle deposit body 2 is directed toward the outermost end having a small diameter as shown in FIG. As a result, glass particles flow and grow in a tapered shape.

【0035】そこで、バーナ4(バーナ4a、4b)の
噴付方向と出発材3とのなす角θを85°以下としてお
くことにより、ガラス微粒子堆積体2におけるテーパ状
端部の長さを短くすることが可能となる。たとえば、図
1に示すように、垂直方向に配された出発材3に対し、
バーナ4(バーナ4a、4b)を水平より上方側に傾け
て(角度θ<85°)配してガラス微粒子の堆積工程を
行うことにより、ガラス微粒子堆積体2の下側の端部で
は、図3に示すようにバーナ4から噴出するガラス微粒
子がその端部表面に対しほぼ直角に噴き付けられる。こ
のため、ガラス微粒子堆積体2の端部から出発材3側へ
ガラス微粒子が流れにくく、ガラス微粒子堆積体2のテ
ーパ状の端部の長さは短いものとなる。一方、ガラス微
粒子堆積体2の上側の端部では、図2に示すようにバー
ナ4からの噴出するガラス微粒子がその端部表面に対し
平行に近い角度で噴き付けられる。しかしながら、この
ようにガラス微粒子が噴き付けられる場合でも、図4の
ように出発材3とバーナ4が直角とされた場合(従来の
技術)とテーパ状の端部の長さは同じとなる。従って、
ガラス微粒子堆積体2の下側の端部の長さが短くなる分
だけ、ガラス微粒子堆積体2の全長に対するテーパ状の
端部の割合が小さくなる。
The angle θ between the spraying direction of the burners 4 (burners 4a and 4b) and the starting material 3 is set to 85 ° or less, so that the length of the tapered end portion of the glass fine particle deposit 2 is shortened. It is possible to do. For example, as shown in FIG. 1, for a starting material 3 arranged in a vertical direction,
When the burner 4 (burners 4a, 4b) is inclined upward from the horizontal (at an angle θ <85 °) and the glass fine particle deposition step is performed, the lower end of the glass fine particle stack 2 is As shown in FIG. 3, the glass fine particles ejected from the burner 4 are ejected substantially at right angles to the end surface. Therefore, the glass particles hardly flow from the end of the glass particle stack 2 to the starting material 3 side, and the length of the tapered end of the glass particle stack 2 is short. On the other hand, at the upper end of the glass particle deposit body 2, as shown in FIG. 2, glass particles ejected from the burner 4 are sprayed at an angle close to parallel to the end surface. However, even when the glass fine particles are sprayed in this way, the length of the tapered end portion is the same as when the starting material 3 and the burner 4 are perpendicular to each other as shown in FIG. 4 (prior art). Therefore,
As the length of the lower end portion of the glass fine particle deposit 2 becomes shorter, the ratio of the tapered end portion to the entire length of the glass fine particle deposit 2 becomes smaller.

【0036】また、バーナ4(バーナ4a、4b)の噴
付方向と出発材3とのなす角θを50°以上としておく
ことにより、ガラス微粒子の収率の低下を回避すること
ができる。すなわち、バーナ4の噴付方向のなす角θが
小さ過ぎると、バーナから噴出するガラス微粒子のうち
堆積する割合が小さくなり、ガラス微粒子堆積体2の成
長速度に影響を及ぼすこととなる。そこで、バーナ4の
噴付方向のなす角θを50°以上とすることによりガラ
ス微粒子の収率の低減が抑えられる。そして、ガラス微
粒子堆積体2へのガラス微粒子の噴き付けを続け、ガラ
ス微粒子堆積体2が所定の径まで達したら、原料供給装
置41および回転移動機構5を停止して光ファイバ母材
であるガラス微粒子堆積体2の製造を終了する。
Further, by setting the angle θ between the spraying direction of the burners 4 (burners 4a and 4b) and the starting material 3 at 50 ° or more, it is possible to avoid a decrease in the yield of glass fine particles. That is, if the angle θ between the spraying direction of the burner 4 and the spraying direction of the burner 4 is too small, the deposition rate of the glass fine particles ejected from the burner becomes small, and the growth rate of the glass fine particle deposit 2 is affected. Therefore, by setting the angle θ between the spraying direction of the burner 4 and 50 ° or more, a reduction in the yield of glass fine particles can be suppressed. Then, the spraying of the glass fine particles onto the glass fine particle deposit body 2 is continued, and when the glass fine particle deposit body 2 reaches a predetermined diameter, the raw material supply device 41 and the rotation moving mechanism 5 are stopped to stop the glass as the optical fiber preform. The manufacture of the fine particle deposit body 2 ends.

【0037】以上のような製造方法によれば、バーナ4
(バーナ4a、4b)の噴付方向と出発材3とのなす角
θを50°〜85°としてガラス微粒子堆積体2の製造
を行うことにより、そのガラス微粒子堆積体2のテーパ
状の端部が短くなり、有効に使用できる部分を多く含ん
だ良質のガラス微粒子堆積体2が効率良く製造できる。
According to the manufacturing method described above, the burner 4
When the angle θ between the spraying direction of the (burners 4a and 4b) and the starting material 3 is set to 50 ° to 85 ° to manufacture the glass fine particle deposit 2, the tapered end of the glass fine particle deposit 2 is produced. , And a high-quality glass particle deposit 2 containing many effective portions can be efficiently produced.

【0038】次に光ファイバ母材の製造装置1を用いた
製造方法による具体的な光ファイバ母材の製造の実施例
について説明する。出発材3としてGeO2 を添加した
SiO2 からなるコアとSiO2 からなるクラッドを有
するものを用い、図1に示すようにバーナ4(バーナ4
a、4b)を水平もしくは水平より上側へ向けて、出発
材3とバーナ4の噴付方向とのなす角θを40°、50
°、60°、70°、80°、85°、90°として、
それぞれ場合についてガラス微粒子堆積体2の製造を行
った。ガラス微粒子堆積体2の製造は、前述した通り、
回転移動機構5を駆動させて出発材3を回転させながら
上下に往復移動させると共に、原料供給装置41からバ
ーナ4a、4bへガラス原料ガス、燃料ガスおよび助燃
性ガスなどを供給して各バーナ4a、4bの先端からガ
ラス微粒子を噴出させ、そのガラス微粒子を出発材3の
外周に徐々に堆積させて行った。その際、出発材3の往
復移動の距離は約1000mmとし、ガラス微粒子堆積
体2の外径が150mmφとなるまでガラス微粒子の噴
き付けを行った。
Next, a specific example of the production of an optical fiber preform by a production method using the optical fiber preform production apparatus 1 will be described. As a starting material 3, a material having a core made of SiO 2 to which GeO 2 was added and a clad made of SiO 2 was used, and as shown in FIG.
a, 4b) are directed horizontally or upward from the horizontal, and the angle θ between the starting material 3 and the direction in which the burner 4 is sprayed is 40 °, 50 °.
°, 60 °, 70 °, 80 °, 85 °, 90 °,
In each case, the glass particle deposit 2 was manufactured. As described above, the production of the glass particle deposit 2 is as follows.
The rotation moving mechanism 5 is driven to reciprocate up and down while rotating the starting material 3, and at the same time, the raw material supply device 41 supplies glass raw material gas, fuel gas and auxiliary gas to the burners 4 a and 4 b to supply each burner 4 a 4b, glass fine particles were ejected from the tip, and the glass fine particles were gradually deposited on the outer periphery of the starting material 3. At that time, the distance of the reciprocating movement of the starting material 3 was set to about 1000 mm, and the glass fine particles were sprayed until the outer diameter of the glass fine particle deposit 2 became 150 mmφ.

【0039】このようにバーナ4の噴付方向を変えてガ
ラス微粒子堆積体2を製造した結果、それぞれのバーナ
4の噴付方向におけるガラス微粒子堆積体2を得た。各
ガラス微粒子堆積体2の両端はそれぞれテーパ状となっ
ていた。そして、これらのガラス微粒子堆積体2を透明
化してプリフォーム化した後、線引して光ファイバとし
たところ、テーパ状の端部を除いて特性の安定した光フ
ァイバが得られた。
As described above, the glass fine particle deposits 2 in the spraying direction of the burners 4 were obtained, and as a result, the glass fine particle deposits 2 in the respective spraying directions of the burners 4 were obtained. Both ends of each glass particle deposit 2 were tapered. Then, these glass fine particle deposits 2 were made transparent and formed into preforms, and then drawn to obtain optical fibers. As a result, optical fibers having stable characteristics were obtained except for the tapered ends.

【0040】ここで、製造時における出発材3とバーナ
4の噴付方向とのなす角θに対する製造後のガラス微粒
子堆積体2のテーパ長(テーパ状の端部の長さ)との関
係を図5に示し、製造時における出発材3とバーナ4の
噴付方向のなす角θに対する製造後のガラス微粒子堆積
体2のうち光ファイバとして有効利用できる割合ηおよ
び製造時のガラス微粒子の収率との関係を図6に示す。
図5を見ると、ガラス微粒子堆積体2の下側端部におい
ては、出発材3とバーナ4の噴付方向とのなす角θを9
0°から小さくするに従いテーパ状となる端部の長さ
(テーパ長)が短くなり、なす角θが50°で最短ピー
クとなり、それよりなす角θが小さいと長くなることが
分かった。一方、上側端部においては、出発材3とバー
ナ4の噴付方向とのなす角θを40°〜90°と変えて
も特に変化がない。そして、この図5に示すテーパ長の
データをそれぞれl1、l2、として前述した式(1)に
代入し各ガラス微粒子堆積体2について光ファイバとし
て有効利用できる割合ηを算出したものが図6における
有効割合ηである。図6を見ると、有効割合ηはバーナ
4の噴付方向のなす角θを90°から小さくするに従い
増加し、なす角θが50°で最大値となっている。これ
は、バーナ4の噴付方向のなす角θを小さくして製造す
るほど、製造したガラス微粒子堆積体2から有効に光フ
ァイバが得られることを示している。そして、従来の目
標値である有効割合70%はバーナ4の噴付方向のなす
角θを85°より小さい角度とすることにより達成され
ることとなる。
Here, the relationship between the angle θ between the starting material 3 and the spraying direction of the burner 4 at the time of manufacture and the taper length (length of the tapered end) of the glass fine particle deposit 2 after manufacture will be described. As shown in FIG. 5, the ratio η of the glass fine particle deposit 2 after the production, which can be effectively used as an optical fiber, to the angle θ between the spraying direction of the starting material 3 and the burner 4 during the production, and the yield of the glass fine particles during the production Is shown in FIG.
Referring to FIG. 5, the angle θ between the starting material 3 and the spraying direction of the burner 4 is 9
It has been found that as the angle becomes smaller from 0 °, the length of the tapered end portion (taper length) becomes shorter, the angle θ becomes the shortest peak at 50 °, and becomes longer as the angle θ becomes smaller. On the other hand, at the upper end, there is no particular change even if the angle θ between the starting material 3 and the spraying direction of the burner 4 is changed from 40 ° to 90 °. Then, the data of the taper length shown in FIG. 5 are substituted into the above-mentioned equation (1) as l 1 and l 2 , respectively, and the ratio η that can be effectively used as an optical fiber for each glass particle deposit 2 is calculated. 6 is the effective ratio η. Referring to FIG. 6, the effective ratio η increases as the angle θ between the spraying directions of the burners 4 decreases from 90 °, and reaches a maximum value at an angle θ of 50 °. This indicates that the smaller the angle θ between the spraying direction of the burner 4 and the manufacturing, the more effective the optical fiber can be obtained from the manufactured glass particle deposit body 2. The effective ratio of 70%, which is the conventional target value, is achieved by setting the angle θ between the spraying directions of the burners 4 to an angle smaller than 85 °.

【0041】一方、図6において、バーナ4の噴付方向
のなす角θを90°から小さく設定していくと、ガラス
微粒子の堆積収率が70°までは増加し、その70°を
ピークとして減少する傾向が示されている。そして、な
す角θが50°より小さいと収率が50%を下回ること
となり製造コストまたは製造効率などを考慮すると不適
となる。
On the other hand, in FIG. 6, when the angle θ formed by the spraying direction of the burner 4 is set to be smaller than 90 °, the deposition yield of the glass fine particles increases up to 70 °, and the 70 ° becomes a peak. A decreasing trend is shown. If the angle θ is less than 50 °, the yield is less than 50%, which is not suitable in view of the production cost or production efficiency.

【0042】このようにガラス微粒子堆積体2における
有効割合ηおよび堆積収率を考慮すると、出発材3とバ
ーナ4の噴付方向とのなす角θを50°〜85°に設定
することにより、品質の良いガラス微粒子堆積体2を効
率良く製造することが可能であることが分かる。
In consideration of the effective ratio η and the deposition yield in the glass fine particle deposit 2 as described above, by setting the angle θ between the starting material 3 and the spraying direction of the burner 4 to 50 ° to 85 °, It can be seen that it is possible to efficiently produce a high-quality glass particle deposit 2.

【0043】(実施形態2)前述の実施形態1の光ファ
イバ母材の製造においては光ファイバ母材の製造時にバ
ーナ4の向きが固定とされているが、製造時に出発材3
の往復移動に応じてバーナ4の向きを変えながら光ファ
イバ母材を製造するものであってもよい。すなわち、本
実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法および製造装
置1aは出発材3の往復移動に応じてバーナ4の向きを
変化させるものである。図7に本実施形態における製造
工程の説明図を示す。本実施形態に係る光ファイバ母材
の製造装置1aは、実施形態1と同様のバーナ4(バー
ナ4a、4b)および回転移動機構5を備えている。そ
して、調整機構としては、製造時の出発材3の移動に応
じてバーナ4の角度を変化させる角度可変機能を具備し
た調整機構6aが用いられる。
(Embodiment 2) In the manufacture of the optical fiber preform of the first embodiment, the burner 4 is fixed in the direction of manufacture of the optical fiber preform.
The optical fiber preform may be manufactured while changing the direction of the burner 4 according to the reciprocating movement of the optical fiber. That is, the optical fiber preform manufacturing method and the manufacturing apparatus 1a according to the present embodiment change the direction of the burner 4 according to the reciprocating movement of the starting material 3. FIG. 7 is an explanatory diagram of the manufacturing process in this embodiment. The optical fiber preform manufacturing apparatus 1a according to the present embodiment includes a burner 4 (burners 4a and 4b) and a rotation moving mechanism 5 similar to those in the first embodiment. As the adjusting mechanism, an adjusting mechanism 6a having an angle changing function of changing the angle of the burner 4 in accordance with the movement of the starting material 3 during manufacturing is used.

【0044】たとえば、調整機構6aとしては、実施形
態1の調整機構6と同様の調整駆動部61a、61b
と、これらの調整駆動部61a、61bの駆動制御を出
発材3の移動に応じて行う角度制御装置62aとを備え
た構造とされる。この角度制御装置62aは、ガラス微
粒子がガラス微粒子堆積体2の端部表面で直角に噴き付
けられるように調整駆動部61a、61bを駆動させ
て、バーナ4の角度を出発材3の移動に応じて変化させ
る機能を備えている。製造装置1aによれば、このよう
な調整機構6aを有することで、ガラス微粒子堆積体2
の製造時において、ガラス微粒子堆積体2の両端部の表
面でガラス微粒子をほぼ直角に噴き付けることが可能と
なる。このため、ガラス微粒子堆積体2の端部において
ガラス微粒子が表面に沿って流れて堆積することが防止
され、そのガラス微粒子堆積体2の端部がテーパ状に長
くなることを避けられる。
For example, as the adjustment mechanism 6a, the same adjustment drive units 61a and 61b as the adjustment mechanism 6 of the first embodiment are used.
And an angle control device 62a for controlling the driving of the adjustment driving units 61a and 61b in accordance with the movement of the starting material 3. The angle control device 62a drives the adjustment driving units 61a and 61b so that the glass fine particles are sprayed at right angles on the end surface of the glass fine particle stack 2, and adjusts the angle of the burner 4 according to the movement of the starting material 3. It has the function to change. According to the manufacturing apparatus 1a, by having such an adjusting mechanism 6a, the glass particle deposit 2
During the manufacture of the glass fine particles, the glass fine particles can be sprayed substantially at right angles on the surfaces of both end portions of the glass fine particle stack 2. For this reason, the glass particles are prevented from flowing along the surface and being deposited at the end of the glass particle stack 2, and the end of the glass particle stack 2 can be prevented from being tapered.

【0045】なお、この製造装置1aにおいて、バーナ
4は一つのバーナからなるものであってもよく、また、
三つ以上のバーナからなるものであってもよい。また、
製造装置1aは出発材3の設置方向が垂直方向でもよい
し、またその設置方向が水平方向または斜めの方向(垂
直でなく水平でない方向)であってもよい。また、製造
装置1aは出発材3とバーナ4との相対移動が行われる
ものであれば、バーナ4に対して出発材3が移動し、ま
た出発材3に対してバーナ4が移動するもののいずれで
もよく、更に出発材3とバーナ4の双方が移動してそれ
らの相対移動がなされるものであってもよい。
In the manufacturing apparatus 1a, the burner 4 may be composed of one burner.
It may be composed of three or more burners. Also,
In the manufacturing apparatus 1a, the installation direction of the starting material 3 may be a vertical direction, or the installation direction may be a horizontal direction or an oblique direction (a direction that is not vertical but not horizontal). In addition, in the manufacturing apparatus 1a, if the relative movement between the starting material 3 and the burner 4 is performed, the starting material 3 moves with respect to the burner 4 and the burning device 4 moves with respect to the starting material 3. Alternatively, both the starting material 3 and the burner 4 may be moved and their relative movement may be made.

【0046】次に、本実施形態に係る光ファイバ母材の
製造方法について説明する。図1において、まず、出発
材3を回転移動機構5の連結部53に取り付ける。この
状態において、回転移動機構5の駆動部51を駆動させ
て回転軸52を回転および昇降させることにより、反応
容器7内で出発材3を回転させながら上下方向に往復移
動させる。それに伴い、バーナ4a、4bからガラス原
料ガス、燃料ガスおよび助燃性ガスなどを噴出させ火炎
中で酸化、加水分解反応等によりガラス微粒子を生成さ
せる。そして、生成されたガラス微粒子を出発材3に噴
き付け、その外周に徐々に堆積させていく。
Next, a method for manufacturing the optical fiber preform according to this embodiment will be described. In FIG. 1, first, the starting material 3 is attached to the connecting portion 53 of the rotation moving mechanism 5. In this state, the driving unit 51 of the rotary moving mechanism 5 is driven to rotate and rotate the rotary shaft 52 so that the starting material 3 is reciprocated in the vertical direction while rotating in the reaction vessel 7. Along with this, glass raw material gas, fuel gas, and auxiliary gas are ejected from the burners 4a and 4b, and glass particles are generated by oxidation, hydrolysis and the like in the flame. Then, the generated glass particles are sprayed on the starting material 3 and gradually deposited on the outer periphery thereof.

【0047】このガラス微粒子の噴き付けの際に、調整
機構6aによりバーナ4a、4bの噴付方向を出発材3
の移動に応じて変化させる。たとえば、図7(a)のよ
うにバーナ4a、4bがそのガラス微粒子堆積体2の下
側にガラス微粒子を噴き付けているとき(ガラス微粒子
堆積体2が上方に位置しているとき)にはバーナ4a、
4bを上向きとし、図7(b)のようにバーナ4a、4
bがガラス微粒子堆積体2の上側にガラス微粒子を噴き
付けているとき(ガラス微粒子堆積体2が下方に位置し
ているとき)にはバーナ4a、4bを下向きとする。こ
のため、ガラス微粒子堆積体2の両端部分において、そ
れらの表面に対して直角に近い角度でガラス微粒子が噴
き付けられる。従って、ガラス微粒子がそれら端部の表
面に沿って細径の最端部分へ流れて堆積することが防止
され、テーパ状の端部の形成が抑制されることとなる。
When the fine glass particles are sprayed, the direction of spraying of the burners 4a and 4b is changed by the adjusting mechanism 6a to the starting material 3.
It changes according to the movement of. For example, as shown in FIG. 7A, when the burners 4a and 4b are spraying the glass particles on the lower side of the glass particle stack 2 (when the glass particle stack 2 is located above). Burner 4a,
4b with the burners 4a, 4a and 4b as shown in FIG.
When b is spraying glass fine particles on the upper side of the glass fine particle deposit body 2 (when the glass fine particle deposit body 2 is located below), the burners 4a and 4b face downward. For this reason, the glass particles are sprayed at both ends of the glass particle stack 2 at an angle close to a right angle with respect to the surface thereof. Therefore, the glass fine particles are prevented from flowing along the surface of the end portion to the narrowest end portion and being deposited, and the formation of the tapered end portion is suppressed.

【0048】また、ガラス微粒子の噴付時におけるバー
ナ4a、4bの角度は、前述のごとく出発材3の軸方向
とその噴付方向のなす角が50°〜85°となるように
しておく。また、バーナ4a、4bが上向きから下向
き、また下向きから上向きに変化するタイミングは、バ
ーナ4a、4bがガラス微粒子堆積体2の両端部を噴き
付けているとき以外であればいつでもよい。すなわち、
ガラス微粒子堆積体2の下側の端部ではバーナ4a、4
bが上向きとなり、その上側の端部ではバーナ4a、4
bが下向きとなるようにバーナ4a、4bの向きの変更
が行われればよい。このバーナ4a、4bの向きの変更
タイミングとしては、バーナ4がガラス微粒子堆積体2
の端部から定常部(外径がほぼ一定した部分)へ差し掛
かるときであることが望ましい。
The angles of the burners 4a and 4b at the time of spraying the glass particles are set so that the angle between the axial direction of the starting material 3 and the spraying direction is 50 ° to 85 ° as described above. The timing at which the burners 4a and 4b change from upward to downward and from downward to upward may be any time other than when the burners 4a and 4b are spraying both ends of the glass fine particle deposit body 2. That is,
At the lower end of the glass particle deposit 2, burners 4a, 4b
b faces upward, and burners 4a, 4a
What is necessary is just to change the direction of the burners 4a and 4b so that b may face downward. The timing of changing the direction of the burners 4a and 4b is as follows.
Is desirably a time when approaching a steady portion (a portion where the outer diameter is substantially constant) from the end of.

【0049】このようにして、ガラス微粒子の噴付を続
け、ガラス微粒子堆積体2が所定の径まで達したら製造
を終了する。
In this manner, the spraying of the glass fine particles is continued, and the production is terminated when the glass fine particle deposit 2 reaches a predetermined diameter.

【0050】以上のような製造方法によれば、ガラス微
粒子堆積体2の両端部においてガラス微粒子が各端部の
表面に対していずれも直角に近い角度で噴き付けられる
ので、テーパ状の各端部が出発材3の軸方向へ堆積し成
長することが抑制される。従って、ガラス微粒子堆積体
2の両端部におけるテーパ状端部の長さを短くすること
ができる。
According to the manufacturing method as described above, the glass fine particles are sprayed at both ends of the glass fine particle deposit body 2 at almost right angles to the surface of each end, so that each tapered end is formed. The portion is prevented from accumulating and growing in the axial direction of the starting material 3. Therefore, the length of the tapered end portion at both end portions of the glass particle deposit body 2 can be reduced.

【0051】次に光ファイバ母材の製造装置1aを用い
た製造方法による具体的な製造の実施例について説明す
る。出発材3としてGeO2 を添加したSiO2 からな
るコアとSiO2 からなるクラッドを有するものを用
い、出発材3とバーナ4の噴付方向とのなす角θが±6
0°となるように、バーナ4(バーナ4a、4b)の向
きを設定して、ガラス微粒子堆積体2の製造を行った。
ガラス微粒子堆積体2の製造手順は上述の通りに行っ
た。その際、出発材3の往復移動の距離は約1000m
mとし、ガラス微粒子堆積体2の外径が150mmφと
なるまでガラス微粒子の噴き付けを行った。
Next, an example of a specific manufacturing method using a manufacturing method using the optical fiber preform manufacturing apparatus 1a will be described. A starting material 3 having a core made of SiO 2 to which GeO 2 is added and a cladding made of SiO 2 is used, and the angle θ between the starting material 3 and the spraying direction of the burner 4 is ± 6.
The direction of the burners 4 (burners 4a and 4b) was set so as to be 0 °, and the glass fine particle deposit 2 was manufactured.
The manufacturing procedure of the glass particle deposit 2 was performed as described above. At that time, the distance of the reciprocating movement of the starting material 3 is about 1000 m
m, and the glass fine particles were sprayed until the outer diameter of the glass fine particle deposit 2 became 150 mmφ.

【0052】このようにして、バーナ4の噴付方向を下
向き又は上向きに変化させながらガラス微粒子堆積体2
を製造した結果、両端のテーパ長(テーパ状の端部の長
さ)がそれぞれ115mmのガラス微粒子堆積体2が得
られた。そして、前述の式(1)による有効割合ηは7
7%であって、また、ガラス微粒子の堆積収率は63%
であり、良質なガラス微粒子堆積体2を効率良く製造す
ることができた。そして、このガラス微粒子堆積体2を
焼結炉で透明化し火炎研磨後に線引したところ、特性の
安定した大量の光ファイバが得られた。
In this manner, while changing the spraying direction of the burner 4 downward or upward, the glass fine particle deposit 2
As a result, a glass particulate deposit body 2 having a taper length at both ends (length of a tapered end portion) of 115 mm was obtained. Then, the effective ratio η according to the above equation (1) is 7
7%, and the deposition yield of glass fine particles is 63%.
Thus, a high-quality glass particle deposit 2 was efficiently manufactured. Then, when the glass particle deposit body 2 was made transparent in a sintering furnace and drawn after flame polishing, a large number of optical fibers having stable characteristics were obtained.

【0053】(実施形態3)前述の実施形態2の光ファ
イバ母材の製造においては光ファイバ母材の製造時にバ
ーナ4の角度(噴付方向)が一定であるが、バーナ4の
角度を出発材3の移動する位置に応じて変化させるもの
であってもよい。すなわち、本実施形態に係る光ファイ
バ母材の製造方法および製造装置1bは、出発材3との
相対位置に応じてバーナ4の噴付角度を変化させるもの
である。図8に本実施形態における製造工程の説明図を
示す。図9に本実施形態におけるバーナの角度制御の説
明図を示す。本実施形態に係る光ファイバ母材の製造装
置1bは、図1に示す実施形態1の製造装置1と同様の
バーナ4(バーナ4a、4b)および回転移動機構5を
備えている。そして、調整機構としては、製造時の出発
材3との相対位置に応じてバーナ4a、4bの角度を個
別に変化させる角度可変機能を具備した調整機構6aが
用いられる。たとえば、調整機構6bとしては、実施形
態1の調整機構6と同様の調整駆動部61a、61b
と、これらの調整駆動部61a、61bの駆動制御を出
発材3の位置に応じて行う角度制御装置62bとを備え
た構造とされる。この角度制御装置62bは、ガラス微
粒子がガラス微粒子堆積体2の定径状の中央部およびテ
ーパ状の端部の各表面に対して直角に噴き付けられるよ
うに調整駆動部61a、61bを駆動させる機能を有し
ている。製造装置1bによれば、このような調整機構6
bを有することで、ガラス微粒子堆積体2の製造時にお
いて、ガラス微粒子をガラス微粒子堆積体2の各表面で
ほぼ直角に噴き付けることが可能となる。このため、ガ
ラス微粒子堆積体2の端部においてガラス微粒子が表面
に沿って流れて堆積することが防止され、そのガラス微
粒子堆積体2の端部がテーパ状に長くなることが避けら
れる。
(Embodiment 3) In the manufacture of the optical fiber preform according to the second embodiment, the angle (spraying direction) of the burner 4 is constant when the optical fiber preform is manufactured. It may be changed according to the position where the material 3 moves. That is, the optical fiber preform manufacturing method and the manufacturing apparatus 1b according to the present embodiment change the spray angle of the burner 4 according to the relative position with respect to the starting material 3. FIG. 8 is an explanatory diagram of the manufacturing process in the present embodiment. FIG. 9 is an explanatory diagram of the burner angle control in the present embodiment. The optical fiber preform manufacturing apparatus 1b according to the present embodiment includes the same burners 4 (burners 4a and 4b) and the rotary moving mechanism 5 as the manufacturing apparatus 1 according to the first embodiment shown in FIG. As the adjusting mechanism, an adjusting mechanism 6a having an angle changing function of individually changing the angles of the burners 4a and 4b in accordance with the relative position to the starting material 3 at the time of manufacturing is used. For example, as the adjustment mechanism 6b, the same adjustment drive units 61a and 61b as the adjustment mechanism 6 of the first embodiment are used.
And an angle control device 62b that controls the driving of these adjustment driving units 61a and 61b according to the position of the starting material 3. The angle control device 62b drives the adjustment driving units 61a and 61b so that the glass fine particles are sprayed at right angles to the respective surfaces of the constant-diameter central portion and the tapered end portion of the glass fine particle deposit body 2. Has a function. According to the manufacturing apparatus 1b, such an adjusting mechanism 6
By having b, it becomes possible to spray the glass particles at almost right angles on the respective surfaces of the glass particle stack 2 during the production of the glass particle stack 2. For this reason, the glass particles are prevented from flowing along the surface and being deposited at the end portion of the glass particle deposit body 2, and the end portion of the glass particle deposit body 2 is prevented from being tapered.

【0054】なお、この製造装置1bにおいて、バーナ
4は一つのバーナからなるものであってもよく、また、
三つ以上のバーナからなるものであってもよい。また、
製造装置1bは出発材3の設置方向が垂直方向でもよい
し、またその設置方向が水平方向または斜めの方向(垂
直でなく水平でない方向)であってもよい。また、製造
装置1bは出発材3とバーナ4との相対移動が行われる
ものであれば、バーナ4に対して出発材3が移動し、ま
た出発材3に対してバーナ4が移動するもののいずれで
もよく、更に出発材3とバーナ4の双方が移動してそれ
らの相対移動がなされるものであってもよい。
In this manufacturing apparatus 1b, the burner 4 may be composed of one burner.
It may be composed of three or more burners. Also,
In the manufacturing apparatus 1b, the installation direction of the starting material 3 may be a vertical direction, or the installation direction may be a horizontal direction or an oblique direction (a direction that is not vertical but not horizontal). In addition, the manufacturing apparatus 1b is configured so that the starting material 3 moves with respect to the burner 4 and the burner 4 moves with respect to the starting material 3 if the relative movement between the starting material 3 and the burner 4 is performed. Alternatively, both the starting material 3 and the burner 4 may be moved and their relative movement may be made.

【0055】次に、本実施形態に係る光ファイバ母材の
製造方法について説明する。図1において、まず、出発
材3を回転移動機構5の連結部53に取り付ける。この
状態において、回転移動機構5の駆動部51を駆動させ
て回転軸52を回転および昇降させることにより、反応
容器7内で出発材3を回転させながら上下方向に往復移
動させる。それに伴い、バーナ4a、4bからガラス原
料ガス、燃料ガスおよび助燃性ガスなどを噴出させ火炎
中で酸化、加水分解反応等によりガラス微粒子を生成さ
せる。すると、ガラス微粒子は出発材3に噴き付けら
れ、その外周に徐々に堆積していく。
Next, a method for manufacturing the optical fiber preform according to the present embodiment will be described. In FIG. 1, first, the starting material 3 is attached to the connecting portion 53 of the rotation moving mechanism 5. In this state, the driving unit 51 of the rotary moving mechanism 5 is driven to rotate and rotate the rotary shaft 52 so that the starting material 3 is reciprocated in the vertical direction while rotating in the reaction vessel 7. Along with this, glass raw material gas, fuel gas, and auxiliary gas are ejected from the burners 4a and 4b, and glass particles are generated by oxidation, hydrolysis and the like in the flame. Then, the glass particles are sprayed on the starting material 3 and gradually accumulate on the outer periphery thereof.

【0056】このガラス微粒子の噴き付けの際に、調整
機構6bによりバーナ4a、4bの噴付方向を出発材3
の位置に応じて変化させる。たとえば、図8(a)のよ
うにバーナ4a、4bがガラス微粒子堆積体2の定径状
の中央部分にガラス微粒子を噴き付けているときにはバ
ーナ4a、4bを水平方向とし、図8(b)のようにバ
ーナ4aがガラス微粒子堆積体2のテーパ状の端部にガ
ラス微粒子を噴き付けているときにはそのバーナ4aの
みを上向きとしてその端部表面にガラス微粒子が直角に
噴き付けられるようにする。また、図示していないが、
ガラス微粒子堆積体2が下方へ移動してバーナ4bがガ
ラス微粒子堆積体2のテーパ状の端部にガラス微粒子を
噴き付けているときにはそのバーナ4bのみを下向きと
してその端部表面にガラス微粒子が直角に噴き付けられ
るようにする。このようなバーナ4a、4bの角度制御
は、たとえば、図9に示すように行えばよい。このよう
なバーナ4a、4bの角度制御を行うことにより、ガラ
ス微粒子堆積体2の両端部分において、それらの表面に
対して直角に近い角度で常にガラス微粒子が噴き付けら
れる。従って、ガラス微粒子がそれら端部の表面に沿っ
て細径の最端部分へ流れて堆積することが防止され、テ
ーパ状の端部の形成が抑制されることとなる。このよう
にして、ガラス微粒子の噴付を続け、ガラス微粒子堆積
体2が所定の径まで達したら製造を終了する。
When the fine glass particles are sprayed, the direction of spraying of the burners 4a, 4b is changed by the adjusting mechanism 6b to the starting material 3.
It changes according to the position of. For example, as shown in FIG. 8A, when the burners 4a and 4b are spraying the glass particles on the center portion of the glass particle deposit body 2 having a constant diameter, the burners 4a and 4b are set in the horizontal direction. When the burner 4a is spraying the glass fine particles on the tapered end of the glass fine particle deposit body 2 as described above, only the burner 4a is directed upward so that the glass fine particles can be sprayed at right angles on the end surface. Although not shown,
When the glass fine particle deposit 2 moves downward and the burner 4b is spraying the glass fine particles on the tapered end of the glass fine particle deposit 2, only the burner 4b faces downward, and the glass fine particles are perpendicular to the end surface. So that it can be sprayed. Such angle control of the burners 4a, 4b may be performed, for example, as shown in FIG. By performing such angle control of the burners 4a and 4b, the glass particles are constantly sprayed at both ends of the glass particle stack 2 at an angle close to a right angle to the surface thereof. Therefore, the glass fine particles are prevented from flowing along the surface of the end portion to the narrowest end portion and being deposited, and the formation of the tapered end portion is suppressed. In this way, the spraying of the glass fine particles is continued, and when the glass fine particle deposit 2 reaches a predetermined diameter, the production is terminated.

【0057】以上のような製造方法によれば、ガラス微
粒子堆積体2の表面においてガラス微粒子が常に直角に
近い角度で噴き付けられるので、ガラス微粒子堆積体2
のテーパ状の両端部においてガラス微粒子が出発材3の
軸方向へ堆積し成長することが抑制される。従って、ガ
ラス微粒子堆積体2の両端におけるテーパ状端部の長さ
を短くすることができる。
According to the manufacturing method described above, the glass fine particles are always sprayed on the surface of the glass fine particle stack 2 at an angle close to a right angle.
The glass particles are prevented from accumulating and growing in the axial direction of the starting material 3 at the tapered ends. Therefore, the length of the tapered end portion at both ends of the glass particle deposit body 2 can be reduced.

【0058】次に光ファイバ母材の製造装置1bを用い
た製造方法による具体的な製造の実施例について説明す
る。出発材3としてGeO2 を添加したSiO2 からな
るコアとSiO2 からなるクラッドを有するものを用
い、バーナ4a、4bの角度(出発材3とバーナ4a、
4bの噴付方向とのなす角θ)の制御を図9に示すよう
に行い、ガラス微粒子堆積体2を製造した。ガラス微粒
子堆積体2の製造手順は上述の通りである。その際、出
発材3の往復移動の距離は約1000mmとし、ガラス
微粒子堆積体2の外径が150mmφとなるまでガラス
微粒子の噴き付けを行った。
Next, an example of a specific manufacturing method using a manufacturing method using the optical fiber preform manufacturing apparatus 1b will be described. As the starting material 3, a material having a core made of SiO 2 to which GeO 2 is added and a clad made of SiO 2 is used, and the angles of the burners 4a and 4b (the starting material 3 and the burners 4a, 4a,
The control of the angle θ with respect to the spraying direction of 4b was performed as shown in FIG. The manufacturing procedure of the glass particle deposit 2 is as described above. At that time, the distance of the reciprocating movement of the starting material 3 was set to about 1000 mm, and the glass fine particles were sprayed until the outer diameter of the glass fine particle deposit 2 became 150 mmφ.

【0059】このようにして、バーナ4a、4bの噴付
方向を出発材3、即ちガラス微粒子堆積体2の位置に応
じて交互に変化させながらガラス微粒子堆積体2を製造
した結果、両端のテーパ長(テーパ状の端部の長さ)が
それぞれ120mmのガラス微粒子堆積体2が得られ
た。そして、前述の式(1)による有効割合ηは76%
であって、また、ガラス微粒子の堆積収率は65%であ
り、良質なガラス微粒子堆積体2を効率良く製造するこ
とができた。そして、このガラス微粒子堆積体2を焼結
炉で透明化し火炎研磨後に線引したところ、特性の安定
した大量の光ファイバが得られた。
As described above, the glass fine particle stack 2 was manufactured while the spraying direction of the burners 4a and 4b was alternately changed according to the position of the starting material 3, ie, the position of the glass fine particle stack 2, and as a result, the taper at both ends was obtained. The glass fine-particle deposit 2 having a length (length of a tapered end) of 120 mm was obtained. The effective ratio η according to the above equation (1) is 76%
In addition, the deposition yield of the glass fine particles was 65%, and a high-quality glass fine particle deposit 2 could be efficiently produced. Then, when the glass particle deposit body 2 was made transparent in a sintering furnace and drawn after flame polishing, a large number of optical fibers having stable characteristics were obtained.

【0060】[0060]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、次
のような効果を得ることができる。
As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained.

【0061】すなわち、出発材とバーナの噴付方向との
なす角を50°〜85°として出発材へのガラス微粒子
の噴き付けを行うことにより、出発材の外周に形成され
るガラス微粒子堆積体(光ファイバ母材)のテーパ状の
端部の表面にガラス微粒子が直角に近い角度で噴き付け
られることとなり、そのテーパ状の端部が出発材の軸方
向に沿って堆積し成長することが抑制される。このた
め、製造される光ファイバ母材のテーパ状の端部が短い
ものとなる。また、ガラス微粒子の堆積収率の低減も抑
えられる。従って、特性の安定した光ファイバが大量に
得られる良質な光ファイバ母材が効率良く製造できる。
In other words, by spraying the glass fine particles on the starting material with the angle between the starting material and the direction of spraying the burner being 50 ° to 85 °, the glass fine particle deposit formed on the outer periphery of the starting material is formed. Glass particles are sprayed on the surface of the tapered end of the (optical fiber preform) at an angle close to a right angle, and the tapered end deposits and grows along the axial direction of the starting material. Is suppressed. Therefore, the tapered end of the manufactured optical fiber preform becomes short. In addition, a reduction in the deposition yield of the glass particles can be suppressed. Accordingly, a high-quality optical fiber preform from which a large amount of optical fibers having stable characteristics can be obtained can be efficiently manufactured.

【0062】また、出発材とバーナとの相対移動に応じ
てガラス微粒子堆積体のテーパ状の各端部へガラス微粒
子が直角に噴き付けられるようにバーナの向きを変える
ことにより、光ファイバ母材であるガラス微粒子堆積体
の両端においてテーパ状の端部を短いものとすることが
でき、光ファイバ母材の品質が向上する。
Further, by changing the direction of the burner so that the glass fine particles are sprayed at right angles to each tapered end of the glass fine particle deposit according to the relative movement between the starting material and the burner, the optical fiber preform is changed. In this case, the tapered ends at both ends of the glass fine particle deposit can be shortened, and the quality of the optical fiber preform is improved.

【0063】また、バーナを複数用いてそれらの各バー
ナの噴付方向のなす角を同一としてガラス微粒子の噴き
付けを行うことにより、光ファイバ母材であるガラス微
粒子堆積体が均一に効率良く製造できる。
Further, by spraying glass fine particles by using a plurality of burners at the same angle between the spraying directions of the respective burners, a glass fine particle stack as an optical fiber preform can be uniformly and efficiently produced. it can.

【0064】また、出発材に対するバーナの噴付方向を
制御して出発材に堆積するガラス微粒子堆積体の表面に
対してほぼ直角にガラス微粒子を噴き付けることによ
り、出発材の外周に形成されるガラス微粒子堆積体の表
面においてガラス微粒子が常に直角に近い角度で噴き付
けられることとなり、ガラス微粒子堆積体の両端がテー
パ状に成長することが確実に抑制される。このため、光
ファイバ母材であるガラス微粒子堆積体のテーパ状の両
端が短いものとなり、確実に良質な光ファイバ母材が製
造できる。
Further, by controlling the direction in which the burner is sprayed on the starting material and spraying the glass fine particles substantially at right angles to the surface of the glass fine particle depositing body deposited on the starting material, it is formed on the outer periphery of the starting material. The glass fine particles are always sprayed on the surface of the glass fine particle deposit at an angle close to a right angle, so that both ends of the glass fine particle deposit are reliably suppressed from growing in a tapered shape. For this reason, both ends of the tapered shape of the glass fine particle deposit, which is the optical fiber preform, are short, and a high-quality optical fiber preform can be reliably manufactured.

【0065】また、出発材を垂直方向に配設することに
より、光ファイバ母材であるガラス微粒子堆積体を安定
して支持できるから、大型のガラス微粒子堆積体の製造
が可能となる。
Further, by disposing the starting material in the vertical direction, it is possible to stably support the glass fine particle deposit as the optical fiber preform, so that a large-sized glass fine particle deposit can be manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】光ファイバ母材の製造装置の全体概要図であ
る。
FIG. 1 is an overall schematic diagram of an apparatus for manufacturing an optical fiber preform.

【図2】光ファイバ母材の製造時におけるガラス微粒子
の噴付工程の説明図である。
FIG. 2 is an explanatory view of a step of spraying glass fine particles during production of an optical fiber preform.

【図3】光ファイバ母材の製造時におけるガラス微粒子
の噴付工程の説明図である。
FIG. 3 is an explanatory view of a step of spraying glass fine particles at the time of manufacturing an optical fiber preform.

【図4】従来の光ファイバ母材の製造の説明図である。FIG. 4 is an explanatory view of manufacturing a conventional optical fiber preform.

【図5】製造した光ファイバ母材におけるテーパ長のデ
ータを示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing data of a taper length in a manufactured optical fiber preform.

【図6】製造した光ファイバ母材における有効割合と収
率のデータを示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing data of an effective ratio and a yield in a manufactured optical fiber preform.

【図7】実施形態2に係る光ファイバ母材の製造につい
ての説明図である。
FIG. 7 is an explanatory diagram for manufacturing an optical fiber preform according to the second embodiment.

【図8】実施形態3に係る光ファイバ母材の製造につい
ての説明図である。
FIG. 8 is an explanatory diagram for manufacturing an optical fiber preform according to the third embodiment.

【図9】実施形態3に係る光ファイバ母材の製造におけ
るバーナの角度制御を示す図である。
FIG. 9 is a diagram illustrating angle control of a burner in manufacturing the optical fiber preform according to the third embodiment.

【図10】従来技術の説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram of a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…製造装置、2…ガラス微粒子堆積体(光ファイバ母
材)、3…出発材、4…バーナ、5…回転移動機構、6
…調整機構
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Manufacturing apparatus, 2 ... Glass fine particle deposit (optical fiber preform), 3 ... Starting material, 4 ... Burner, 5 ... Rotational movement mechanism, 6
… Adjustment mechanism

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ガラス微粒子合成用バーナからガラス原
料ガス、燃料ガス及び助燃性ガスを火炎と共に噴出さ
せ、火炎加水分解反応または酸化反応によりガラス微粒
子を生成して回転する棒状の出発材の外周へ噴き付けさ
せると共に、その出発材と前記バーナとを相対的に往復
移動させて、前記出発材の周りにガラス微粒子を付着堆
積させて行う光ファイバ母材の製造方法において、 前記出発材と前記バーナの噴付方向とのなす角を50°
〜85°として前記出発材への前記ガラス微粒子の噴き
付けを行うことを特徴とする光ファイバ母材の製造方
法。
1. A glass raw material gas, a fuel gas, and an auxiliary combustion gas are ejected from a burner for synthesizing glass fine particles together with a flame to generate glass fine particles by a flame hydrolysis reaction or an oxidation reaction and to the outer periphery of a rotating rod-shaped starting material. A method of manufacturing an optical fiber preform by spraying and relatively reciprocating the starting material and the burner to adhere and deposit glass fine particles around the starting material, wherein the starting material and the burner are 50 ° angle with the spray direction
A method for producing an optical fiber preform, wherein the glass fine particles are sprayed onto the starting material at an angle of about 85 °.
【請求項2】 前記出発材と前記バーナの相対移動に応
じて前記バーナの向きを変えることを特徴とする請求項
1に記載の光ファイバ母材の製造方法。
2. The method according to claim 1, wherein the direction of the burner is changed according to the relative movement between the starting material and the burner.
【請求項3】 前記バーナを複数用い、それら各バーナ
の前記噴付方向のなす角を同一として前記ガラス微粒子
の噴き付けを行うことを特徴とする請求項1または2に
記載の光ファイバ母材の製造方法。
3. The optical fiber preform according to claim 1, wherein a plurality of said burners are used, and said glass fine particles are sprayed by making the angles of said spraying directions of said burners the same. Manufacturing method.
【請求項4】 ガラス微粒子合成用バーナからガラス原
料ガス、燃料ガス及び助燃性ガスを火炎と共に噴出さ
せ、火炎加水分解反応または酸化反応によりガラス微粒
子を生成して回転する棒状の出発材の外周へ噴き付けさ
せると共に、その出発材とバーナとを相対的に往復移動
させて、前記出発材の周りにガラス微粒子を付着堆積さ
せて行う光ファイバ母材の製造方法において、 前記出発材に対する前記バーナの向きを制御して前記出
発材に堆積するガラス微粒子堆積体の表面に対してほぼ
直角に前記ガラス微粒子を噴き付けることを特徴とする
光ファイバ母材の製造方法。
4. A glass raw material gas, a fuel gas and an auxiliary gas are ejected from a burner for synthesizing glass fine particles together with a flame to generate glass fine particles by a flame hydrolysis reaction or an oxidation reaction, and to the outer periphery of a rotating rod-shaped starting material. A method of manufacturing an optical fiber preform by spraying and relatively reciprocating the starting material and the burner to adhere and deposit glass fine particles around the starting material; A method for manufacturing an optical fiber preform, characterized in that the glass fine particles are sprayed substantially at right angles to the surface of the glass fine particle deposit to be deposited on the starting material while controlling the direction.
【請求項5】 前記出発材を垂直に配設することを特徴
とする請求項1〜4のいずれかに記載の光ファイバ母材
の製造方法。
5. The method of manufacturing an optical fiber preform according to claim 1, wherein said starting material is vertically disposed.
【請求項6】 棒状の出発材を回転させる回転機構と、 ガラス原料ガス、燃料ガスおよび助燃性ガスを噴出して
火炎加水分解反応または酸化反応によりガラス微粒子を
生成し前記出発材の外周へそのガラス微粒子を噴き付け
て堆積させるガラス微粒子合成用バーナと、 前記出発材と前記バーナを前記出発材の軸方向に沿って
相対的に往復移動させる移動機構と、 前記出発材に対する前記バーナの噴付方向の調整を行う
調整機構と、を備えた光ファイバ母材の製造装置。
6. A rotation mechanism for rotating a rod-shaped starting material, and a glass raw material gas, a fuel gas, and a combustible gas are ejected to generate glass fine particles by a flame hydrolysis reaction or an oxidation reaction, and the glass fine particles are spread around the starting material. A burner for synthesizing glass fine particles for spraying and depositing glass fine particles, a moving mechanism for relatively reciprocating the starting material and the burner along an axial direction of the starting material, and spraying the burner on the starting material. An optical fiber preform manufacturing apparatus comprising: an adjustment mechanism for adjusting a direction.
【請求項7】 前記調整機構が前記出発材と前記バーナ
の相対位置に応じて前記バーナの噴付方向のなす角を調
整する機能を具備していることを特徴とする請求項6に
記載の光ファイバ母材の製造装置。
7. The apparatus according to claim 6, wherein the adjusting mechanism has a function of adjusting an angle formed by a spraying direction of the burner according to a relative position between the starting material and the burner. Optical fiber preform manufacturing equipment.
【請求項8】 前記調整機構が前記バーナの噴付方向の
なす角を前記出発材に堆積するガラス微粒子堆積体の表
面に直角にガラス微粒子が噴き付けられるように調整す
る機能を具備していることを特徴とする請求項6または
7に記載の光ファイバ母材の製造装置。
8. The adjusting mechanism has a function of adjusting an angle between the spraying direction of the burner and the glass fine particles to be sprayed at right angles to the surface of the glass fine particle depositing body deposited on the starting material. The apparatus for manufacturing an optical fiber preform according to claim 6 or 7, wherein:
【請求項9】 前記回転機構が前記出発材を垂直に向け
て配設可能とされていることを特徴とする請求項6〜8
のいずれかに記載の光ファイバ母材の製造装置。
9. The apparatus according to claim 6, wherein said rotating mechanism is capable of arranging said starting material vertically.
An apparatus for manufacturing an optical fiber preform according to any one of the above.
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