JPH1073708A - 熱転写によってカラーフィルタアレイを作成する方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 カラーフィルタ分野の業界で使用されている
より、かなり少いステップで、カラーフィルタアレイ素
子を製造する方法を提供すること。 【解決手段】 透明な支持体上にカラーフィルタアレイ
を形成する方法であって、ａ）透明な支持体上に、ポリ
マ画像レシーバ層を形成するステップと、ｂ）ポリマ画
像レシーバ層を硬化するために、透明な支持体上にポリ
マ画像レシーバ層を焼き付けるステップと、ｃ）ポリマ
画像レシーバ層に、多重カラーピクセルを形成するため
に、異なる着色剤を各画像毎に熱転写するステップと、
ｄ）カラーフィルタアレイを形成するために、ポリマ画
像レシーバ層に上記着色剤ピクセルを定着するステップ
と、ｅ）上記のように形成したカラーフィルタアレイに
コーティングを行うステップとを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、熱転写により、透
明な基板の上にカラーフィルタアレイ素子を形成する方
法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術および発明が解決しようとする課題】１９
９６年１月１６日付けのデボール他の「カラーフィルタ
アレイ用の黒のマトリックス・グリッド・ラインの作成
方法」という名称の共通に譲渡された米国特許出願第０
８／５８６，１０５号を参照する。その内容は、参照に
よって本明細書に組み込まれる。

【０００３】液晶ディスプレイ装置は、電子計算機、ク
ロック、家庭用品、オーディオ装置等のディジタル・デ
ィスプレイとして周知のものである。液晶ディスプレイ
は、ディスプレイ・ターミナル用の陰極線管技術の代わ
りの技術として、現在開発が進められている。表示面積
が同じである場合には、液晶ディスプレイは、陰極線管
装置よりも小型である。また、液晶ディスプレイは、陰
極線管ディスプレイより軽量であり、ラップトップ・コ
ンピュータのような携帯用の装置に適している。さら
に、液晶ディスプレイ装置は、通常対応する陰極線管装
置と比較すると、必要とする電力が少なく電圧も低い。

【０００４】カラー表示用の液晶ディスプレイ装置で使
用されてきた、市販のあるタイプのカラーフィルタアレ
イ素子は、写真製版技術によって得られたモザイクパタ
ーンに添加原色である赤、緑および青色のダイを含み、
その上にゼラチン層を持つ透明な支持体である。このよ
うなカラーフィルタアレイ素子を製造するには、ゼラチ
ン層に感光性を与え、モザイクパターンのカラーの一つ
に対するマスクに露光し、露光した部分のゼラチンを硬
化させるために現像し、露光していない（交差結合して
いない）ゼラチンを除去するために水洗いし、ゼラチン
のパターンを作り、必要な色のダイで染色する。その
後、この素子は再びコーティングされ、他の二つの色を
得るために上記ステップが反復して行われる。上記動作
の中の一つを行っている間に、カラー材料のずれやずれ
た場所への堆積がおこる場合がある。共通に譲渡された
米国特許第４，０８１，２７７号明細書に、このプロセ
スの詳細が開示されている。

【０００５】カラー液晶ディスプレイ装置は、通常間隔
を置いて設置されている二枚のガラスパネルを含み、こ
のガラスパネルはシールド凹部を形成していて、その中
は液晶材料で満たされている。能動的に駆動される装置
の場合には、透明な電極が上記ガラスパネルの一方の上
に形成され、この電極はパターンの形にすることもでき
るし、そうしなくてもよいが、一方、別々にアドレスす
ることができる電極がガラスパネルの他方の上に形成さ
れる。個々の各電極は、一つの画素、すなわち、一つの
ピクセルに対応する表面積を持つ。この装置がカラーを
表示する能力を持っている場合には、各ピクセルは、カ
ラーフィルタアレイのカラー領域、例えば、赤、緑およ
び青と整合していなければならない。表示する画像によ
り、表示動作中、一つまたはそれ以上のピクセル電極に
エネルギーが与えられ、そのピクセルに関連するカラー
フィルタアレイを通して、全部の光または一部の光を伝
達することもできるし、光が全然伝達されない場合もで
てくる。ユーザが認識した画像は、隣接するカラーフィ
ルタ領域を通過する光によって形成された色が混合した
ものである。

【０００６】高品質の画像を表示する場合には、明らか
に、カラーフィルタアレイの品質は非常に重要である。
都合の悪いことには、上記カラーフィルタアレイのコス
トは非常に高く、液晶ディスプレイの最も高価な部品の
一つである。必要とする品質を維持しながら、カラーフ
ィルタアレイの製造コストを下げることができる一つの
有望な方法としては、共通に譲渡された米国特許第４，
９２３，８６０号明細書および第５，２２９，２３２号
明細書に開示されている熱ダイ転写法がある。この方法
の場合、カラーフィルタアレイは、マスクおよび高輝度
フラッシュ・システムを使用して、ダイ・ドナーからレ
シーバでコーティングされた支持体にダイを熱的に転写
することにより形成される。

【０００７】本発明の目的は、この業界で使用されてい
るより、かなり少いステップで、カラーフィルタアレイ
素子を製造する方法を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この目的は、 ａ）透明な支持体上に、ポリマ画像レシーバ層を形成す
るステップと、 ｂ）ポリマ画像レシーバ層を硬化するために、透明な支
持体上にポリマ画像レシーバ層を焼き付けるステップ
と、 ｃ）ポリマ画像レシーバ層に、多重カラーピクセルを形
成するために、異なる着色剤を各画像毎に熱により転写
するステップと、 ｄ）カラーフィルタアレイを形成するために、ポリマ画
像レシーバ層に上記着色剤ピクセルを定着するステップ
と、 ｅ）上記のように形成したカラーフィルタアレイに、コ
ーティングを行うステップとを含む、透明な支持体上に
カラーフィルタアレイを形成する方法により達成するこ
とができる。

【０００９】本発明の一つの利点は、少いステップでカ
ラーフィルタアレイを製造する簡単な方法を提供し、そ
れによりコストを下げることである。

【００１０】本発明の他の利点は、この方法が、液晶デ
ィスプレイ装置で使用することができるカラーフィルタ
アレイの形成に特に適していることである。

【００１１】

【発明の実施の形態】図１は、本発明により製造したカ
ラーフィルタアレイを示す断面図である。図２は、カラ
ーピクセルが、ポリマ画像レシーバ層に形成される場合
の、図１のカラーフィルタアレイの製造プロセス中の一
つのステップを示す図である。図３は、レーザ光線によ
り、カラーフィルタアレイにピクセルを形成するための
プロセス中の一つのステップを示す略図である。

【００１２】有用なカラーフィルタアレイは優れた熱抵
抗を持つものでなければならない。それ故、導電層の真
空スパッタリング、ポリマ整合層の硬化のような後続の
高温処理ステップにより、アレイのピクセル素子の色の
品質が劣化してはならない。アレイのピクセル素子の着
色剤も、またそれらを照射する視野光により退色しない
よう、高い抵抗力を持つものを選ばなければならない。
着色剤は、高いカラー純度を持たなければならないし、
カラーフィルタアレイの全体の透過率は、照明ランプの
電力を過度に高くする必要がないようにするために、高
いカラー純度および彩度を保持するようにできるだけ高
いものでなければならない。カラーフィルタアレイに関
する他の要件としては、画像が鮮明であり、細かいとこ
ろもハッキリと見ることができ、画像の全体にムラがな
いようにするために、アレイの解像度が高くなければな
らないことがある。さらに、均一なアレイ画像で、ピク
セルの喪失（ピクセルの欠落）のような点欠陥があって
はならない。

【００１３】すでに説明したように、画像レシーバ層に
は着色剤の同じパターンが反復して配置され、本発明の
好適な実施の形態の場合には、モザイクパターンは赤、
緑および青の一組の添加原色からなる。

【００１４】本発明の他の好適な実施の形態の場合に
は、原色の各領域および原色の各組は、半透明な領域、
例えば、黒の格子のラインで相互に分離されている。こ
のように分離することにより、色の再現が改善され、表
示された画像のフレアが少なくなり、感光電子部品が光
から保護される。

【００１５】設定したカラーパターンのサイズは、精密
でなくてもよい。何故なら、このサイズは視野距離によ
り異なるからである。一般的にいって、ある組の個々の
ピクセルは、約５０−６００ミクロンで、同じ大きさで
ある必要はない。

【００１６】本発明の好適な実施の形態の場合は、カラ
ーフィルタアレイ素子を形成するための着色剤の反復し
て現れるモザイクパターンは、下記の同じ、四角な直線
状の反復して現れる領域からなる。 Ｂ Ｒ Ｇ Ｂ Ｒ Ｇ Ｂ Ｒ Ｇ Ｂ Ｒ Ｇ Ｂ Ｒ Ｇ Ｂ Ｒ Ｇ

【００１７】本発明により作られたカラーフィルタアレ
イ素子は、検電器のライトバルブ(light valve)または
液晶ディスプレイ装置のような、画像センサまたは種々
の電子光学装置で使用することができる。上記液晶ディ
スプレイ装置は、例えば、英国特許第２，１５４，３５
５号；第２，１３０，７８１号；第２，１６２，６７４
号および第２，１６１，９７１号に開示されている。

【００１８】液晶ディスプレイ装置の場合には、通常、
装置の動作温度で液晶の形をしている材質を、ガラスの
ような基板上にインジウム・スズ酸化物をコーティング
した二つの電極の間に満たし、上記電極間に電圧を加え
ることによって装置を動作させる。両方の基板上の透明
な電極層上には整合層が設けられていて、基板間に、例
えば、９０度の捻れを起こすために、液晶分子の方向を
変化させるように処理される。それ故、面が偏光を起こ
している光の偏光面は、その光がセルの一方の面から他
方の面へ、捻れている液晶組成物を通して通過すると
き、９０度回転する。セルの選択した電極間に電界を加
えると、選択した電極の間の上記セルの部分の液晶組成
物の捻れが一時的に除去される。上記セルの各側面上に
光学的偏光装置を使用することにより、偏光した光は電
界が掛けられているかいないかによりセルを通過するこ
とができたり、消滅したりする。

【００１９】上記ポリマ整合層は、液晶技術で通常使用
される材料ならどれからでも作ることができる。そのよ
うな材料の例としては、ポリイミド、ポリビニール・ア
ルコールおよびメチルセルロースのようなものがある。

【００２０】上記透明な導電層も、また液晶技術におい
ては従来から使用されてきた材料で作られている。この
ような材料の例としては、インジウム・スズ酸化物、酸
化インジウム、酸化スズおよびカドミウム・スズ酸塩な
どがある。

【００２１】図１は、液晶ディスプレイ装置（図示せ
ず）で使用することができる、本発明のカラーフィルタ
アレイ１の簡単な断面図である。カラーフィルタアレイ
１は、ガラス、プラスチックまたは他の適当な材料で作
られている硬質で透明な支持体３を含む。カラーフィル
タアレイ１は、ポリマ画像レシーバ層１５に埋設されて
いる赤（Ｒ）、緑（Ｇ）および青（Ｂ）のカラーセルま
たはピクセルセル５を含む。当業者ならシアン、マゼン
タおよび黄色のような他の色も使用することができるこ
とを理解することができるだろう。黒のグリッド・ライ
ン７は、各カラーピクセルを分離している。カラーフィ
ルタアレイ１は、ポリマ保護コーティング層９を持ち、
インジウム・スズ酸化物（ＩＴＯ）１１のような適当な
材料の透明な導電層でコーティングすることができる。
液晶装置（ＬＣＤ）で使用する場合には、整合層１３が
使用される。

【００２２】最初に、機械的な擦り作業、超音波槽、投
入すすぎ、プラズマ処理等により、硬質の透明な支持体
３の清掃が行われる。通常、水、水と界面活性剤、水と
石鹸、アルコール、炭化水素、酸のような種々の溶媒お
よび溶液を使用して、いくつかの清掃ステップの組み合
わせが使用される。

【００２３】上記の目的のために黒のマトリックスを適
用するために、硬質の透明な支持体を、クローム、酸化
クロームまたはその組み合わせのような濃い半透明の材
料でコーティングし、その後で写真製版によりパターン
を作成する。黒のマトリックス・システムの詳細につい
ては、１９９６年１月１６日付けのデボア他の共通に譲
渡された米国特許出願第０８／５８６，１０５号を参照
されたい。

【００２４】ポリマ画像レシーバ層１５は、例えば、共
通に譲渡された米国特許第４，６９５，２８６号明細
書；第４，７７５，６５７号明細書および第４，９６
２，０８１号明細書に開示されているポリマ、またはそ
の混合物から形成することができる。上記米国特許は、
参照によって本明細書に組み込まれている。ポリマ画像
レシーバ層１５は、スピン・コーティング、カーテン・
コーティング、ホッパ・コーティング、毛細管コーティ
ング、メニスカス・コーティング、スクリーン・プリン
ティング、インクジェットおよびスプレー・コーティン
グのような、印刷またはコーティングまたはこの技術で
通常使用される他の技術により塗布することができる。
好適な実施の形態の場合には、ポリマ画像レシーバ層１
５は、共通に譲渡された米国特許第５，０７９，２１４
号に詳細に開示されているスクリーン印刷により得られ
る。上記米国特許は参照として、本明細書に記載してあ
る。

【００２５】他の好適な実施の形態の場合には、約２０
０℃より高いガラス転移温度を持つポリカーボネート
が、ポリマ画像レシーバ層１５として使用されている。
従来、４、４’−（ヘクサヒドロ−４、７−メタノイン
ダン−５−イリデン）−ビスフェニールのような、メチ
レン置換ビスフェニールＡの誘導体であるポリカーボネ
ートが使用されてきた。一般的にいって、約２．５−約
５ｍｇ／平方メートルでコーティングを行ったとき、良
い結果が得られた。

【００２６】その後、ポリマでコーティングされた硬質
の透明な支持体３は、自由に取り扱うことができるよ
う、この支持体３から溶媒を除去するために加熱され
る。上記加熱は、ホットプレート上、またはオーブンで
行うことができる。最適な加熱時間は、１０秒から１０
分までで、好適な温度範囲は４０−２５０℃である。

【００２７】本発明のカラーフィルタアレイ１で使用す
る着色剤は、顔料、ダイまたは光のある波長の干渉打ち
消しにより色を形成する二色の層を含むことができる。

【００２８】図２について説明すると、ダイ・ドナー素
子２７は、本発明の好適な実施の形態のカラーフィルタ
アレイ１を形成するために使用され、その上にダイの層
を持つ支持体を含む。強い光で本発明のカラーフィルタ
アレイ素子をダイ画像レシーバ層に転写できるなら、任
意のダイまたはダイの混合物を塗布した上記層で使用す
ることができる。昇華することができるダイを使用した
場合、特に優れた結果を得ることができた。昇華するこ
とができるダイの例としては、例えば、（住友化学の）
スミカロン・バイオレットＲＳ（登録商標）；（三菱化
学工業の）ダイアニックス・ファースト・バイオレット
３Ｒ−ＦＳ（登録商標）のようなアントラキノン・ダ
イ；（日本化薬の）カヤロン・ポリオール・ブリリアン
ト・ブルーＮ−ＢＧＭ（登録商標）；カヤロン・ポリオ
ール・ダークブルー２ＢＭ（登録商標）；およびＫＳＴ
ブラックＫＲ（登録商標）、（三井東圧化学の）スミカ
ロン・ジアゾ・ブラック５Ｇ（登録商標）；（三菱化学
工業の）ダイレクト・ダークグリーン Ｂ（登録商
標）；（日本化薬の）ダイレクト・ブラウン Ｍ（登録
商標）およびダイレクト・ファースト・ブラック Ｄ
（登録商標）のような直接ダイ；（日本化薬の）カヤノ
ール・ミリング・シアニン ５Ｒ（登録商標）のような
酸性ダイ；（住友化学の）スミカクリル・ブルー ６Ｇ
（登録商標）のような塩基性ダイ；（保土ヶ谷化学の）
アイゼン・マラカイト・グリーン（登録商標）；または
共通に譲渡された米国特許第４，６９８，６５１号；第
４，６９５，２８７号；第４，７０１，４３９号；第
４，７５７，０４６号；第４，７４３，５８２号；第
４，７６９，３６０号；および第４，７５３，９２２号
に開示されているダイの中の任意のものなどがある。上
記米国特許は、参照によって本明細書に組み込まれる。

【００２９】下記の構造式により適当なダイについてさ
らに詳しく説明する。

【００３０】

【化１】

【００３１】上記減法混色ダイは、共通に譲渡された米
国特許第４，９５７，８９８号、第４，９７５，４１０
号および第４，９８８，６６５号に開示されている必要
な赤、緑および青の添加原色を得るために、種々に組み
合わせて使用することができる。上記米国特許は、参照
によって本明細書に組み込まれる。別々のダイ層でコー
ティングされている場合には、このダイはそのダイ層で
混合、またはシーケンシャルに転写することができ、約
０．０５−約１ｇ／平方メートルの厚さに塗布すること
ができる。

【００３２】本発明のカラーフィルタアレイ１を作るた
めには、ポリマ画像レシーバ層１５にピクセルを形成す
る目的で、ダイ・ドナー素子２７からダイを転写するた
めに種々の方法を使用することができる。例えば、キセ
ノン封入フラッシュ・ランプからの強い光のフラッシュ
を、カーボンブラックまたは光吸収ダイのようなエネル
ギー吸収材料を含むダイ・ドナーと一緒に使用すること
ができる。この方法は共通に譲渡された米国特許第４，
９２３，８６０号により詳細に開示されている。上記米
国特許は、参照によって本明細書に組み込まれる。

【００３３】図２は、画像毎にダイをポリマ画像レシー
バ層１５に転写するための装置の略図である。フラッシ
ュ・システム２１は、マスク２３を照射し、このマスク
により、ダイ・ドナー素子２７への入射光線２５が画像
毎に選別される。マスク２３としては、この技術で通常
使用される、ガラスの上にクロームを塗布したものを使
用することができるが、これに限定されない。光線２５
は、マスク２３の透明な領域を通過し、ダイ・ドナー素
子２７を照射し、ダイ層に吸収され、上記ドナーを画像
毎に加熱し、ダイをポリマ画像レシーバ層１５に転写す
る。好適には、異なる色のピクセルを形成するシーケン
シャルなプロセスでは、同じマスク２３を使用すること
が好ましい。その後使用する場合には、もちろん、異な
る色の次の組の熱ピクセルを形成するために、マスクを
横方向に移動させなければならない。共通に譲渡された
米国特許第５，２２９，２３２号を参照する。

【００３４】本発明の他の実施の形態の場合には、その
上にダイ層およびレーザ光の波長に対する吸収材を持つ
支持体からなるダイ・ドナー素子を使用して、強い光が
レーザにより供給される。図３は、そのような装置の実
施の形態である。この装置の場合、レーザ３１からの光
線３５は、レンズまたは光学系３３により、ダイ・ドナ
ー素子２７上に焦点を結ぶ。レーザの強度および透明な
支持体の移動は、適当な位置に適当な色のダイ・ピクセ
ルが形成されるように、レーザ制御ユニット３７により
制御される。

【００３５】レーザ・エネルギーまたは上記強い光のフ
ラッシュを吸収する材料であれば、例えば、カーボンブ
ラック、または当業者にとっては周知である不揮発性赤
外線吸収ダイまたは顔料のような任意の材料を使用する
ことができる。好適な実施の形態の場合には、シアニン
赤外線吸収ダイが、共通に譲渡された米国特許第４，９
７３，５７２号に開示されているように使用される。上
記米国特許は、参照によって本明細書に組み込まれてい
る。

【００３６】ドナーからポリマ画像レシーバ層にダイを
転写するのにレーザを使用しようが、フラッシュランプ
を使用しようが、カラーセルまたはピクセルセル５のパ
ターンで有意な寸法の変化を起こさないと同時に、アセ
ンブリが感知できるほどの加熱を受けないようにするた
めに、照射の強度は十分高くなければならないし、フラ
ッシュの持続時間は十分短くなければならない。本発明
の場合には、フラッシュの好適な持続時間は、１マイク
ロ秒から３０ミリ秒である。フラッシュの好適な強度
は、平方マイクロメートル当たり０．１ワットから１０
ワットである。

【００３７】溶融を行うことにより、上記の熱により転
写したダイが、ポリマ画像レシーバ層１５に定着、また
は浸透する。この定着または浸透は、ダイ・レシーバ層
およびダイ層を溶かすことができる任意の溶媒を使用し
て行うことができる。溶媒蒸気濃度および溶媒にダイ・
レシーバ層を曝す時間は、両方とも、レシーバ層にダイ
を効果的に浸透させるのに重要である。効果的に浸透さ
せた場合の特徴は、ダイ画像を有意に歪めないで、レシ
ーバ層にダイを完全に定着できることである。ダイは、
ダイ上に溶解することができる溶媒で洗浄した場合、レ
シーバ層の表面から有意な量のダイが除去されない程度
に、ダイを定着しなければならない。共通に譲渡された
米国特許第５，１６２，２９１号および第５，１４３，
７５４号に、この融解ステップが開示されている。上記
米国特許は、参照によって本明細書に組み込まれる。

【００３８】溶媒を使用する場合には、融解方法で使用
した溶媒を除去するために、ポリマでコーティングされ
た硬質の透明な支持体３が再び加熱される。この加熱は
ホットプレート上、またはオーブンで行うことができ
る。最適な時間は、１０秒から１０分で、温度は４０−
２５０℃である。

【００３９】その後、この表面には任意の必要な保護コ
ーティングが行われ、その後で透明な電子層およびポリ
マ整合層が形成される。本発明のカラーフィルタアレイ
の場合には、ピクセル素子の着色剤を含む画像レシーバ
層上の、ポリマ保護コーティング層９は、３、４−エポ
キシサイロヘキシルメチル−３、４、エポキシサイロヘ
キシカーボキシレートのような環状脂肪族エポキシド化
合物、および光重合開始剤としてのルイス酸のオニウム
塩を含む層を、光重合させることによって形成すること
ができる。共通に譲渡された米国特許第５，１６６，１
２６号にその詳細が開示されている。上記米国特許は、
参照によって本明細書に組み込まれる。

【００４０】本発明を、いくつかの好適な実施の形態を
特に参照しながら説明してきたが、本発明の精神および
範囲から逸脱しないで、種々の変更および修正を行うこ
とができることを理解されたい。上記説明では熱転写さ
れたダイが使用されているが、例えば、上記顔料または
二色層のような他の着色剤も使用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明により製造したカラーフィルタアレイ
を示す断面図である。

【図２】 カラーピクセルが、ポリマ画像レシーバ層に
形成される場合の、図１のカラーフィルタアレイの製造
プロセス中の一つのステップを示す図である。

【図３】 レーザ光線により、カラーフィルタアレイに
ピクセルを形成するためのプロセス中の一つのステップ
を示す略図である。

【符号の説明】

１ カラーフィルタアレイ ３ 硬質透明支持体 ５ カラーセルまたはピクセルセル ７ 黒のグリッドライン ９ ポリマ保護コーティング層 １１ ＩＴＯ １３ 整合層 １５ ポリマ画像レシーバ層 ２１ フラッシュ・システム ２３ マスク ２５ 放射 ２７ ダイ・ドナー素子 ２９ 透明領域 ３１ レーザ ３３ レンズまたは光学系 ３５ 光照射 ３７ レーザ・ユニット

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ナンシー・ジョアン・アームストロング アメリカ合衆国・ニューヨーク・14519・ オンタリオ・ロダー・パークウェイ・7732 (72)発明者 マイケル・ルイス・ボロソン アメリカ合衆国・ニューヨーク・14610・ ロチェスター・グロスヴェナー・ロード・ 281 (72)発明者 キャサリーン・スーダ・ホリス アメリカ合衆国・ニューヨーク・14836・ ダルトン・オールド・ステート・ロード・ 10987

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明な支持体上にカラーフィルタアレイ
   を形成する方法であって、 ａ）透明な支持体上に、ポリマ画像レシーバ層を形成す
   るステップと、 ｂ）ポリマ画像レシーバ層を硬化するために、透明な支
   持体上にポリマ画像レシーバ層を焼き付けるステップ
   と、 ｃ）ポリマ画像レシーバ層に、多重カラーピクセルを形
   成するために、異なる着色剤を各画像毎に熱転写するス
   テップと、 ｄ）カラーフィルタアレイを形成するために、ポリマ画
   像レシーバ層に上記着色剤ピクセルを定着するステップ
   と、 ｅ）上記のように形成したカラーフィルタアレイにコー
   ティングを行うステップとを含む方法。