JPH1068665A - 力および(または)慣性測定装置 - Google Patents
力および(または)慣性測定装置Info
- Publication number
- JPH1068665A JPH1068665A JP9117774A JP11777497A JPH1068665A JP H1068665 A JPH1068665 A JP H1068665A JP 9117774 A JP9117774 A JP 9117774A JP 11777497 A JP11777497 A JP 11777497A JP H1068665 A JPH1068665 A JP H1068665A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- force
- measuring
- measuring device
- platform
- cells
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 27
- 230000036316 preload Effects 0.000 claims abstract description 26
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 7
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 7
- 238000009795 derivation Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 3
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
- G01L5/16—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force
- G01L5/167—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force using piezoelectric means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Measurement Of Force In General (AREA)
- Hooks, Suction Cups, And Attachment By Adhesive Means (AREA)
- Telescopes (AREA)
Abstract
変化によってもたらされる測定誤差を出来る限り補償す
る力および(または)慣性を測定する装置を提供する。 【解決手段】 引張りや圧力を感知する方向(z方向)
から見て、力導入プラットフォーム(8)の各側に対向
する対として配置された多成分の力を測定するセル
(A,B)を含む。前記測定セルは共通の予荷重ねじ1
0により予荷重が与えられる。相互に対向する力測定セ
ルA,Bの引張り/圧力感知方向は反対方向である。取
付け板11および予荷重ねじ10で発生する温度変化か
ら生じる測定信号は対向する測定セルにより消去され、
一方向に作用する力により発生する測定値は相互に加算
される。温度変化による測定エラーは補償され最小とな
る。
Description
は)慣性を導入するプラットフォームおよび増幅器並び
に評価装置と関連し、圧電センサを備えた数個の多成分
の力測定セルを有し、各力測定セルが剪断および引張り
/圧力を感知するセンサディスクから構成されている、
力および(または)慣性測定装置に関する。
22号から、ベースプレートとカバープレートとの間で
予荷重をかけられて位置した、数個の多成分の力測定セ
ルを有する、力やトルクを測定する測定装置が知られて
いる。剪断および引張り/圧力を感知するセンサディス
クを収容している測定セルの予荷重は、測定セルを通
り、カバープレートからベースプレートへねじ込まれた
予荷重ねじによって加えられる。典型的に、例えば水晶
のような単結晶あるいは多結晶圧電セラミックからなる
センサの多成分測定セルにおける方向性は、センサの引
張り/圧力に対する感応性が、機械加工すべき工作物の
取付け板として作用するカバープレートの表面に対して
直角(z方向)にあるようなものである。
る熱による、測定装置における温度変動は、カバープレ
ートや予荷重ねじでの異なる熱膨張を生ぜしめ、従って
予荷重を変えるため、圧力成分に対する力測定を誤まら
せることが判明している。
工する場合、温度変化による圧力成分におけるこれらの
測定値の誤差は許容されない。
は温度変化によって生じる測定誤差を可能な限り補正す
る力測定装置を提供することである。新規の、温度変化
を補正した測定装置の使用は工作物の機械加工における
力および慣性の測定に限定されないことは勿論である。
ルがセンサの引張り/圧力感知方向に向いてプラットフ
ォームの二端面に位置し、対で配置された引張り/圧力
感知センサディスクはプラットフォームを貫通自在の共
通の予荷重ねじが貫通し、該ねじによって予荷重が与え
られ、引張り/圧力感知センサディスクがプラットフォ
ームの端部において相互に対して反対側に位置し、少な
くとも概ね等量に偏向されていることを特徴とする本発
明によって達成される。
め、センサ間に位置した力導入プレートにわたって長さ
を変化させ、この長さ変化を介して相互に対して反対方
向のセンサに作用する温度変化がこれらのディスクにお
いて反対の符号の電荷を設定するため、従って測定信号
において双方のセンサを中立化する。他方、一方向に作
用している力成分により、2個のセンサの電荷を追加
し、必要な力の測定信号を提供する。
すれば、温度変化により測定信号が発生する。熱は貫通
している予荷重ねじ内へ導かれ、これも多成分力測定セ
ルにおける温度依存の測定信号を中立化する。
ームを、機械加工すべき工作物を取りつける剛性の取付
板とし、力測定セルを工作物を取付ける面に対して直角
に位置することが有利であることが判明した。
フォームを測定点と、2個の外側組立てブロックとの間
に位置させればよく、それにより測定装置の設置をセン
サに対して近接して位置した2個のクランプねじにより
実行できるようにする。このため測定装置の極めて堅固
に、従って高い固有周波数のものとする。さらに、共通
の予荷重ねじを、撓みに関してプラットフォームの中立
軸に位置させることにより、プラットフォームの撓みに
よる誤差信号を小さく保つか、あるいは排除できる。
の測定装置の他の応用に対して、力を導入するプラット
フォームがディスクプレートの形態であり、該プラット
フォームは、2個の対向した多成分の力測定セルで相互
に離隔した、これも同様にディスクの形態の2個の力導
入プレートの間に配置される。
々の測定セルからの測定信号に対する信号リードが集合
導管に集められ、集合プラグコネクタを介して導出さ
れ、そこからケーブルリンクによって増幅器と評価装置
とへ導かれるとすれば簡単となる。しかしながら、増幅
器と評価装置とを力導入プラットフォーム自体、あるい
は取付けブロックのうちの1個に、あるいは力導入プレ
ートのうちの1個に収容することができ、そのため既に
増幅され、処理された信号を前進伝送することも可能で
ある。このような構成により新規な測定装置の作動の信
頼性を高める。
した装置において、ベースプレート1とカバープレート
2との間で配設された予荷重のかけられた4個の多成分
力測定セルAが設けられている。予荷重はカバープレー
ト2と測定セルAとを通り、ベースプレート1にねじ込
まれている予荷重ねじ3によって加えられる。カバープ
レート2には、極く簡単に示す工具5によって機械加工
されている工作物4が取り付けられている。
電センサディスク6を含み、該ディスクのうちの少なく
とも1個は長方形座標系のz方向における引張り/圧力
を感知し、少なくともそれぞれ1個はxおよびy方向に
おける剪断を感知する。前述のように予荷重ねじ3を通
すために、測定セルAは孔7を有している。x,yおよ
びz方向における信号成分に対する測定セルAの信号リ
ード接続は、x,y,およびzで指示する。測定セルA
の引張り/圧力に対する感知を再現するとセルのz方向
は測定装置に加えられた圧力の方向と同一であるため、
測定装置と、測定セルとに対する2つの座標系は図1と
図2とを比較すれば判るように同じ方向性を有してい
る。
装置は、一方では温度上昇ΔT(図1)を持続し、他方
では力Fを持続しており、前記力のz方向の成分FZ の
みを図2に示す。温度上昇ΔTのため、予荷重ねじ3は
Δlだけ伸び(図1)、z方向での力FZ の測定におい
て測定誤差を生ぜしめる。
れば、カバープレート2は、U字形支持体9に担持され
たT字形取付けプラットフォーム8に代っている。力測
定セルAとBとはもはや水平方向に配置されるのではな
く、U字形支持体9の直立部とT字形プラットフォーム
8の胴部との間で垂直方向に抑制されている。本発明に
よれば、測定セルAとBとは、プラットフォーム8の胴
部を通り、プラットフォーム8を摩擦することなく貫通
している単一の予荷重ねじ10によって予荷重が与えら
れている。さらに、測定セルA,Bのセンサディスク6
は、まずセンサディスク6の引張り/圧力感知方向に固
定されたセンサディスク6のz方向が予荷重ねじ10の
方向と一致し、一方測定セルAの引張り/圧力感知方向
が測定セルBのそれとは反対となるように配置され、か
つ方向づけられている。図5で示すように、測定セルの
座標系は結果的に、測定装置のそれに対して90度回転
している。
8の胴部における、従って予荷重ねじ10における温度
上昇が力FT を発生させ、この力はセルAとBとの間で
等分に分けられる。測定セルの座標に関して、例えば測
定セルAにおける引張り/圧力感知センサディスクの所
定方向性においては、電荷−QZ は力1/2FT の関数
として発生し、一方測定セルBにおいては電荷+Q
Z が、引張り/圧力感知センサディスクの方向性が反対
のため、これも力1/2FT の関数として発生する。2
つの温度依存性信号電荷が合わされると、全体の電荷は
温度による力FT (図3)の影響によりQZ (FT )=
0となり、そのため温度による影響が補正される。
作用する力F(図4)により、電荷+QZ は測定セルA
の成分AZ および測定セルBの成分BZ に対する力1/
2Fの関数として、(測定セルに対する座標系におい
て)z方向に追加され、全体の電荷2QZ を力Fの関数
として提供する。本発明の双方の効果については図3と
図4とに示し、公式で表現する。
用いる動力計の構造を、それぞれ三次元および断面で示
す。この動力計の特徴は全高Hが極めて低いことである
(図6)。この動力計は、回転工具5(図6)で機械加
工される工作物4を取り付ける極めて堅固な取付け板1
1を有し、該取付け板はまた測定セルAおよびBのため
の力導入板としても作用する。測定セルAとBは取付け
板11と取付けブロック12との面の間で垂直位置に保
持され、予荷重は前記取付け板11と取付けブロック1
2とを通る予荷重ねじ10によって加えられる。取付け
板11と予荷重ねじ10との変形による誤差を最小とす
るために、予荷重ねじ10は取付け板11の撓みに対し
て中立の軸心13(図6)に位置している。
付けボルトを通すための多数の孔14を有する。取付け
ボルトは測定装置自体を例えば工作機械に取り付けうる
ようにする。孔14は測定セルAおよびBにできるだけ
近く位置させることにより取り付けられた測定装置の剛
性をできるだけ高くし、本装置に高い固有周波数を与え
る。
付け板11の上方で左側にある測定装置全体に係わるも
ので、他方は前方右側の測定セルAと、その背後の測定
セルBとに係わる2種類の座標系を示す。測定セルAお
よびBにおける引張り/圧力感知センサの方向性が反対
のため、測定セルに係わる座標系のz軸は反対方向にあ
り、反対の符号で示す。
5)は集合プラグコネクタ16まで達し、そこからケー
ブル17を介して、図示していない増幅器および評価装
置まで来る。しかしながら、増幅器と評価装置とを取付
け板11および(または)取付けブロック12のうちの
1個、あるいは図5において点線で示す空洞18,19
に収容することも可能である。これらの空洞18,19
から、既に増幅し、処理した信号がさらに導かれ、本装
置の安定性を高める。
性とを測定するために車輪のハブに取り付けた回転測定
装置を示す。中間リング20を介して、自動車の車輪の
リム21が、力導入プラットフォームを構成するディス
クプレート22に接合されている。ディスクプレート2
2の二方の側に測定セルAとBとが接触しており、測定
セルの方はディスクプレート22と、2個の力導出プレ
ート23,24との間に貫通した予荷重ねじ10によっ
て抑制されている。前述の例と同様、これらのセンサデ
ィスクは、それらの引張り/圧力感知性が予荷重ねじ1
0の方向にあるように方向づけられ、測定セルAおよび
Bにおけるディスクプレート22と予荷重ねじ10の膨
張による温度上昇によって起因する力からの測定信号が
相互に相殺し、一方一方向の力によって提供される測定
セルAおよびBの電荷が所望の測定信号に付与される。
図示していない車輪のハブに取り付けるために、力導出
プレート23,24はこれもディスク状の取付け部25
に接合されている。
図。
ルを示す図。
示す概略図。
図。
定装置の概略図。
工するために採用した図5に示す装置を示す図。
本発明の別の実施例を示す図。
のための測定セルの信号リード接続 ΔT 温度上昇 Δl 長さ変化 8 T字形プラットフォーム 9 U字形支持体 10 貫通予荷重ねじ FT 温度上昇ΔTによって生じた力 F 工作物の機械加工によって生じた力 ±QZ 1/2FT あるいは1/2Fの力によってそれ
ぞれ発生した(測定セルに係わる座標系における)z方
向の電荷 AZ (測定セルに係わる座標系における)測定セルA
の引張り/圧力感知要素 BZ (測定セルに係わる座標系における)測定セルB
の引張り/圧力感知要素 11 取付け板 12 取付けブロック 13 中立軸線 14 孔 15 信号リード 16 集合プラグコネクタ 17 ケーブル 18 空洞 19 空洞 20 中間リング 21 リム 22 ディスクプレート 23 力導出プレート 24 力導出プレート 25 取付け部
Claims (7)
- 【請求項1】 力および(または)慣性を導入するプラ
ットフォーム(8,11,22)と、増幅器並びに評価
装置と関連し、圧電センサ(6)を具備した数個の多成
分の力測定セル(A,B)を有する力および(または)
慣性測定装置であって、前記力測定セル(A,B)が剪
断および(または)圧力を感知するディスクから構成さ
れている測定装置において、前記力測定セル(A,B)
が前記センサ(6)の引張り/圧力感知方向に向いて、
前記プラットフォーム(8,11,22)の両端面に位
置しており、引張り/圧力を感知するセンサディスク
(6)が対として、相互に対して反対側に位置し、プラ
ットフォーム(8,11,22)を貫通自在の共通の予
荷重ねじ(10)が貫通し、予荷重を与えられ、前記引
張り/圧力感知センサ(6)が前記プラットフォーム
(8,11,22)の端部において相互に対して反対側
に位置し、少なくとも概ね等量の偏向を有することを特
徴とする力および(または)慣性測定装置。 - 【請求項2】 プラットフォーム(8,11)が機械加
工すべき工作物(4)のための堅固な取付け板であり、
力測定セル(A,B)が工作物(4)を取り付ける面に
対して直角に配置されていることを特徴とする請求項1
に記載の測定装置。 - 【請求項3】 プラットフォーム(11)が測定セル
(A,B)と2個の外側の取付けブロック(12)との
間の最小高さの動力計用に設計されており、前記取付け
ブロック(12)は測定装置をセンサ近傍に位置した2
個の固定要素(図6)により取り付けるように作用する
ことを特徴とする請求項2に記載の測定装置。 - 【請求項4】 プラットフォーム(11)の撓みに対し
て中立の軸線(13)に位置する共通の予荷重ねじ(1
0)を含むことを特徴とする請求項2または3に記載の
測定装置。 - 【請求項5】 ディスクプレート(22)の形態で、力
を導入するプラットフォームであって、前記ディスクプ
レートが同様にディスク状で、相互に対して対向して配
置された2個の多成分の力測定セル(A,B)を離隔し
た2個の力導出プレートの間に位置しているプラットフ
ォームを含むことを特徴とする請求項1に記載の測定装
置。 - 【請求項6】 力測定セル(A,B)からの測定信号の
ための信号リード(15)が集合導管に集められ、集合
プラグコネクタ(16)を介して導き出され、そこから
前記信号リードは増幅器や評価装置へのケーブル接続部
(17)として集合プラグコネクタから導かれることを
特徴とする請求項1から5までのいずれか1項に記載の
測定装置。 - 【請求項7】 増幅器および評価装置が力測定プラット
フォーム(8,11)、あるいは取付けブロック(1
2)のうちの1個、あるいは力導出プレート(23,2
4)の一方に収容され、すでに増幅され、かつ処理され
た信号のそれ以上の伝送が可能であることを特徴とする
請求項1から5までのいずれか1項に記載の測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH01192/96A CH690865A5 (de) | 1996-05-09 | 1996-05-09 | Kraft- und Momentmessanordnung. |
CH19961192/96 | 1996-05-09 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1068665A true JPH1068665A (ja) | 1998-03-10 |
JP3771354B2 JP3771354B2 (ja) | 2006-04-26 |
Family
ID=4204659
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11777497A Expired - Fee Related JP3771354B2 (ja) | 1996-05-09 | 1997-05-08 | 力および(または)慣性測定装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5821432A (ja) |
EP (1) | EP0806643B1 (ja) |
JP (1) | JP3771354B2 (ja) |
AT (1) | ATE254278T1 (ja) |
CH (1) | CH690865A5 (ja) |
DE (1) | DE59710976D1 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009271074A (ja) * | 2008-05-05 | 2009-11-19 | Kistler Holding Ag | 荷重変換器 |
JP2015087290A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、および部品加工装置 |
JP2015090296A (ja) * | 2013-11-05 | 2015-05-11 | セイコーエプソン株式会社 | 力検出装置、ロボットおよび電子部品搬送装置 |
JP2015090295A (ja) * | 2013-11-05 | 2015-05-11 | セイコーエプソン株式会社 | 力検出装置、ロボットおよび電子部品搬送装置 |
EP2878939A2 (en) | 2013-11-05 | 2015-06-03 | Seiko Epson Corporation | Force detecting device, robot, eletronic component conveying apparatus |
JP2016080612A (ja) * | 2014-10-21 | 2016-05-16 | セイコーエプソン株式会社 | 力検出装置及びロボット |
US9546918B2 (en) | 2013-10-31 | 2017-01-17 | Seiko Epson Corporation | Sensor element, force detection device, robot, electronic component transport device, electronic component inspection device, and component processing device |
US10442092B2 (en) | 2015-02-09 | 2019-10-15 | Seiko Epson Corporation | Force detection device and robot |
US10520375B2 (en) | 2017-04-28 | 2019-12-31 | Seiko Epson Corporation | Force detection apparatus and robot |
US10654179B2 (en) | 2017-06-30 | 2020-05-19 | Seiko Epson Corporation | Force detection apparatus and robot |
JP2022000661A (ja) * | 2019-02-13 | 2022-01-04 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 力覚センサ |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6760463B2 (en) * | 1995-05-08 | 2004-07-06 | Digimarc Corporation | Watermarking methods and media |
US6119530A (en) * | 1998-03-09 | 2000-09-19 | Biomotions, Inc. | Force sensing device |
JP3685475B2 (ja) * | 1998-03-26 | 2005-08-17 | タカタ株式会社 | シート重量計測装置 |
US6389883B1 (en) * | 1999-10-19 | 2002-05-21 | Bertec Corporation | Device, system, and method for measurement of balance, stability, and tremor |
EP1254355B1 (de) * | 2000-02-07 | 2009-06-24 | Kistler Holding AG | Prüfgerät zur ermittlung der reib- und vorspannwerte von schraubenverbindungen |
JP2002056510A (ja) * | 2000-08-07 | 2002-02-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | シールド型磁気ヘッド並びに磁気再生装置 |
US8490500B2 (en) * | 2010-11-16 | 2013-07-23 | Caterpillar Inc. | Torque coefficient measuring device |
RU2475842C1 (ru) * | 2011-10-21 | 2013-02-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Юго-Западный государственный университет" (ЮЗГУ) | Цифровой многокомпонентный датчик перемещений |
JP5880935B2 (ja) * | 2011-12-20 | 2016-03-09 | セイコーエプソン株式会社 | センサーデバイス、センサーモジュール、ロボット、センサーデバイスの製造方法 |
US8726740B1 (en) * | 2012-12-13 | 2014-05-20 | King Fahd University Of Petroleum And Minerals | Multi-axis dynamometer |
CN104596676B (zh) * | 2013-10-31 | 2019-03-26 | 精工爱普生株式会社 | 力检测装置、机器人、电子部件输送装置及检查装置 |
CN104634498B (zh) * | 2015-01-23 | 2017-03-15 | 重庆大学 | 基于关节力的空间六维力测量方法 |
US10254183B2 (en) | 2015-09-04 | 2019-04-09 | Kistler Holding Ag | Device for detecting force and torque including multiple piezoelectric force measuring cells mechanically biased in a horizontal plane |
CN105651447B (zh) * | 2016-03-28 | 2018-06-19 | 西南交通大学 | 一种用于划痕试验仪器的二向力测量装置 |
DE102016116180B4 (de) | 2016-08-01 | 2019-03-28 | Nuton GmbH | Verfahren und Kraftmessplatte zur mehrachsigen Erfassung einwirkender Kräfte und Momente |
JP2018119923A (ja) * | 2017-01-27 | 2018-08-02 | セイコーエプソン株式会社 | 力検出装置およびロボット |
DE102018114899B4 (de) | 2017-06-20 | 2022-03-31 | Nuton GmbH | Verfahren zur Ermittlung der Geometrie oder relativen Position eines in das für die Aufnahme von Bearbeitungswerkzeugen vorgesehene Wechselspannsystem einer Werkzeugmaschine eingespannten Tastkörpers sowie entsprechend eingerichtete Werkzeugmaschine |
JP2019012012A (ja) * | 2017-06-30 | 2019-01-24 | セイコーエプソン株式会社 | 力検出装置およびロボット |
JP6432647B2 (ja) * | 2017-07-10 | 2018-12-05 | セイコーエプソン株式会社 | センサー素子、力検出装置およびロボット |
DE102018102327B4 (de) | 2018-02-01 | 2024-06-13 | Nuton GmbH | Kraftmesseinrichtung zur Erfassung von Bearbeitungskräften an einer Werkzeugmaschine sowie Werkzeugmaschine mit Kraftmesseinrichtung |
CN109783975B (zh) * | 2019-01-31 | 2021-05-11 | 大连理工大学 | 基于热误差和温升加权的丝杠预紧量确定方法 |
JP2020163548A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | セイコーエプソン株式会社 | 水平多関節ロボットおよびロボットシステム |
JP7207094B2 (ja) * | 2019-03-29 | 2023-01-18 | セイコーエプソン株式会社 | 水平多関節ロボット |
CN110186597A (zh) * | 2019-05-14 | 2019-08-30 | 大连理工大学 | 一种侧面布置压电传感器的测力仪结构 |
TWI716239B (zh) | 2019-12-26 | 2021-01-11 | 財團法人工業技術研究院 | 一種可感測低頻力與高頻力的力感測裝置 |
CN112284601B (zh) * | 2020-10-23 | 2021-12-14 | 吉林大学 | 组合式六分力传感器及六分力测量方法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3210993A (en) * | 1961-10-27 | 1965-10-12 | Endevco Corp | Electromechanical transducer utilizing poisson ratio effects |
CH502590A (de) * | 1968-11-04 | 1971-01-31 | Kistler Instrumente Ag | Kraft- und/oder Momentenmessanordnung |
US4313341A (en) * | 1978-12-07 | 1982-02-02 | Nippon Soken, Inc. | Torque detecting system for internal combustion engine |
US4348908A (en) * | 1981-01-19 | 1982-09-14 | Branson Ultrasonics Corporation | Power measuring arrangement for vibratory welder |
DE3151669C2 (de) * | 1981-12-28 | 1989-10-12 | Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln | Heckstielwaage zur Luftkraftbestimmung an Windkanalmodellen |
SE8400484D0 (sv) * | 1984-01-31 | 1984-01-31 | Slim Borgudd | Anordning for metning av dynamisk och statisk lastpakenning vid en draganordning for t ex drivorgan |
SE457383B (sv) * | 1984-01-31 | 1988-12-19 | Slim Borgudd | Sensoranordning innefattande en basplatta med ett flertal elektrodpar |
JPS61111435A (ja) * | 1984-11-05 | 1986-05-29 | Fujitsu Ltd | 衝撃記録装置 |
ATE47227T1 (de) * | 1986-03-18 | 1989-10-15 | Kristal Instr Ag | Piezoresistives kraftmesselement sowie dessen verwendung zur ermittlung von auf ein bauteil einwirkenden kraeften. |
JPS63243828A (ja) * | 1987-03-31 | 1988-10-11 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 回転軸のトルク検出装置 |
JPH0722876B2 (ja) * | 1987-06-24 | 1995-03-15 | 新技術事業団 | 研削用ワークテーブル装置 |
US4821584A (en) * | 1988-03-15 | 1989-04-18 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Piezoelectric film load cell robot collision detector |
US5036240A (en) * | 1988-07-18 | 1991-07-30 | Lew Hyok S | Impulse sensor with mechanical preamplification and noise cancellation |
CH680689A5 (ja) * | 1990-05-31 | 1992-10-15 | Kistler Instrumente Ag | |
CH680752A5 (ja) * | 1990-05-31 | 1992-10-30 | Kistler Instrumente Ag | |
CH685648A5 (de) * | 1992-10-23 | 1995-08-31 | Kk Holding Ag | Mehrkomponenten-Kraft- und Moment-Messanordnung. |
DE4336773C2 (de) * | 1993-10-28 | 1997-09-11 | Bosch Gmbh Robert | Einrichtung zum Messen von Drücken, Kräften und Momenten |
-
1996
- 1996-05-09 CH CH01192/96A patent/CH690865A5/de not_active IP Right Cessation
-
1997
- 1997-04-03 AT AT97810192T patent/ATE254278T1/de active
- 1997-04-03 EP EP97810192A patent/EP0806643B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-04-03 DE DE59710976T patent/DE59710976D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-04-16 US US08/839,884 patent/US5821432A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-05-08 JP JP11777497A patent/JP3771354B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009271074A (ja) * | 2008-05-05 | 2009-11-19 | Kistler Holding Ag | 荷重変換器 |
JP2015087290A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、および部品加工装置 |
US9546918B2 (en) | 2013-10-31 | 2017-01-17 | Seiko Epson Corporation | Sensor element, force detection device, robot, electronic component transport device, electronic component inspection device, and component processing device |
JP2015090295A (ja) * | 2013-11-05 | 2015-05-11 | セイコーエプソン株式会社 | 力検出装置、ロボットおよび電子部品搬送装置 |
EP2878939A2 (en) | 2013-11-05 | 2015-06-03 | Seiko Epson Corporation | Force detecting device, robot, eletronic component conveying apparatus |
JP2015090296A (ja) * | 2013-11-05 | 2015-05-11 | セイコーエプソン株式会社 | 力検出装置、ロボットおよび電子部品搬送装置 |
US9770826B2 (en) | 2013-11-05 | 2017-09-26 | Seiko Epson Corporation | Force detecting device, robot, electronic component conveying apparatus |
US9975250B2 (en) | 2013-11-05 | 2018-05-22 | Seiko Epson Corporation | Force detecting device, robot, electronic component conveying apparatus |
JP2016080612A (ja) * | 2014-10-21 | 2016-05-16 | セイコーエプソン株式会社 | 力検出装置及びロボット |
US9816886B2 (en) | 2014-10-21 | 2017-11-14 | Seiko Epson Corporation | Force detection apparatus and robot |
US10442092B2 (en) | 2015-02-09 | 2019-10-15 | Seiko Epson Corporation | Force detection device and robot |
US10520375B2 (en) | 2017-04-28 | 2019-12-31 | Seiko Epson Corporation | Force detection apparatus and robot |
US10654179B2 (en) | 2017-06-30 | 2020-05-19 | Seiko Epson Corporation | Force detection apparatus and robot |
JP2022000661A (ja) * | 2019-02-13 | 2022-01-04 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 力覚センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0806643A3 (de) | 1998-04-22 |
JP3771354B2 (ja) | 2006-04-26 |
US5821432A (en) | 1998-10-13 |
ATE254278T1 (de) | 2003-11-15 |
EP0806643B1 (de) | 2003-11-12 |
DE59710976D1 (de) | 2003-12-18 |
EP0806643A2 (de) | 1997-11-12 |
CH690865A5 (de) | 2001-02-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH1068665A (ja) | 力および(または)慣性測定装置 | |
US8776616B2 (en) | Multiaxial force-torque sensors | |
EP0480471B1 (en) | Force detector and acceleration detector | |
US7152485B2 (en) | Acceleration detector | |
EP0381187B1 (en) | Force detector using resistance elements | |
US7578162B2 (en) | Apparatus for detecting a physical quantity acting as an external force and method for testing and manufacturing this apparatus | |
EP0635703B1 (en) | Combined weighing and displacement sensor and weighing apparatus using the same | |
US4586377A (en) | Dual accelerometer, method for its fabrication and application thereof | |
KR102641681B1 (ko) | 토크 전달 샤프트에 인가되는 힘 및/또는 토크를 결정하기 위한 측정 시스템 및 방법 | |
JPH04231828A (ja) | 力、ひずみ及び構造物伝送ノイズ変換器複合体 | |
JP3089399B2 (ja) | 3成分地震計 | |
EP0203490B1 (en) | Instrumented tool holder | |
US4955234A (en) | Sensor | |
US5211060A (en) | Bidirectional force sensor | |
JPH0617834B2 (ja) | 力検出装置 | |
WO1996006328A1 (en) | Three-dimensional measurement unit and position indicator | |
US4750362A (en) | Accelerometer package | |
EP0925488B1 (en) | Torque sensing calibration unit | |
JP2636015B2 (ja) | 加速度センサ | |
JPH09280970A (ja) | 剪断力検出器 | |
JP2775015B2 (ja) | レーザビームの光軸調整用検査装置 | |
JPH10339739A (ja) | 慣性センサ | |
JPH07209072A (ja) | 振動インテンシティ検出器 | |
Gautschi et al. | Force and Torque Sensors |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050927 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050930 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051216 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060120 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060209 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100217 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100217 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110217 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120217 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130217 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140217 Year of fee payment: 8 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |