JPH106289A - Ceramic green sheet cutting/laminating method - Google Patents

Ceramic green sheet cutting/laminating method

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JPH106289A
JPH106289A JP18283796A JP18283796A JPH106289A JP H106289 A JPH106289 A JP H106289A JP 18283796 A JP18283796 A JP 18283796A JP 18283796 A JP18283796 A JP 18283796A JP H106289 A JPH106289 A JP H106289A
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ceramic green
green sheet
cutting
head
cut
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Naoya Hoshino
直也 星野
Naoyuki Ishizaka
尚之 石坂
Naoki Obana
直樹 尾花
Masakazu Seki
雅一 関
Yutaka Mashita
豊 真下
Megumi Takayanagi
恵 高柳
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Taiyo Yuden Co Ltd
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    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28BSHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS; SHAPING SLAG; SHAPING MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
    • B28B11/00Apparatus or processes for treating or working the shaped or preshaped articles
    • B28B11/14Apparatus or processes for treating or working the shaped or preshaped articles for dividing shaped articles by cutting
    • B28B11/16Apparatus or processes for treating or working the shaped or preshaped articles for dividing shaped articles by cutting for extrusion or for materials supplied in long webs
    • B28B11/168Apparatus or processes for treating or working the shaped or preshaped articles for dividing shaped articles by cutting for extrusion or for materials supplied in long webs in which the material is cut-out from a strand or web by means of a frame-shaped knife

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laminate of ceramic green sheets which has high laminating accuracy and is unlikely to exfoliate by preventing elongation of the green sheet as under-layer when the sheets are subjected to pressure attachment while they are being piled up. SOLUTION: A cutting head 11 is equipped with cutter blades 12, 12 on both sides of a suction head 13 in such a way as capable of elevating and sinking, and using this head 11 each ceramic green sheet 27 is sucked fast by the suction surface of the suction head 13 before the sheet 27 is cut. The sheet 27 in the fixed condition is cut by the cutter blades 12, 12. When the cut sheets 21 are laminated on a stage 30, a pressure as small as practicable is applied to sheets 21 as they are being piled up one by one, and after the last sheet 21 is laid, a further strong pressure is applied to the whole laminate of sheets 21 so that a provisional attachment by pressure is performed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、一部に電極パター
ンを有するセラミックグリーンシートを積層して、積層
セラミックコンデンサーや積層セラミックインダクター
等の電子部品を製造するに当り、セラミックグリーンシ
ートを裁断し、積層し、圧着する方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to cutting ceramic green sheets when manufacturing electronic parts such as multilayer ceramic capacitors and multilayer ceramic inductors by laminating ceramic green sheets partially having electrode patterns. , Laminating and crimping methods.

【0002】[0002]

【従来の技術】積層電子部品の最も代表的な例である積
層セラミックコンデンサは、内部電極を有する誘電体セ
ラミック層が多数積み重ねられ、内部電極が積層体の端
面に交互に引き出されている。そして、これらの内部電
極が引き出された積層体の端面に外部電極が形成されて
いる。
2. Description of the Related Art In a multilayer ceramic capacitor, which is the most typical example of a multilayer electronic component, a large number of dielectric ceramic layers having internal electrodes are stacked, and the internal electrodes are alternately drawn to the end faces of the multilayer body. External electrodes are formed on the end faces of the laminate from which these internal electrodes are drawn.

【0003】このような積層セラミックコンデンサは、
例えば、図11に示すような層構造を有する。すなわ
ち、内部電極55、56を有する誘電体層51、51…
が図11で示す順序に積層され、さらにその両側に内部
電極が形成されてない誘電体層57、58が複数層積み
重ねられる。そして、このような積層体の内部電極5
5、56が露出した端面に図示されてない外部電極が形
成される。
[0003] Such a multilayer ceramic capacitor includes:
For example, it has a layer structure as shown in FIG. That is, the dielectric layers 51, 51,.
Are stacked in the order shown in FIG. 11, and a plurality of dielectric layers 57 and 58 on which no internal electrodes are formed are stacked on both sides. And the internal electrode 5 of such a laminate is
External electrodes (not shown) are formed on the exposed end surfaces of the electrodes 5 and 56.

【0004】このような積層セラミック電子部品は、通
常、図11に示すような部品1個単位が個々に製造され
る訳ではなく、実際は次に示すような製造方法がとられ
る。すなわち、まず微細化したセラミック粉末と有機バ
インダーとを混練してスラリーを作り、これをドクター
ブレード法によってポリエチレンテレフタレートフィル
ム等からなるキャリアフィルム上に薄く展開し、乾燥
し、セラミックグリーンシートを作る。次に、このセラ
ミックグリーンシートを支持フィルムの上に載ったま
ま、その片面にスクリーン印刷法によって導電ペースト
を印刷し、乾燥する。その後、カッティングヘッドで所
望の大きさに切断すると共に、支持フィルムから剥離す
る。これにより、図12で示すように、縦横に複数組分
の内部電極パターン2a、2bが配列されたセラミック
グリーンシート1a、1bが得られる。
Such a multilayer ceramic electronic component is not usually manufactured individually as shown in FIG. 11, but is actually manufactured by the following manufacturing method. That is, first, a fine ceramic powder and an organic binder are kneaded to prepare a slurry, which is thinly spread on a carrier film made of a polyethylene terephthalate film or the like by a doctor blade method, and dried to produce a ceramic green sheet. Next, while the ceramic green sheet is placed on the support film, a conductive paste is printed on one surface of the support film by a screen printing method and dried. Thereafter, the sheet is cut into a desired size by a cutting head and is separated from the support film. As a result, as shown in FIG. 12, ceramic green sheets 1a and 1b in which a plurality of sets of internal electrode patterns 2a and 2b are arranged vertically and horizontally are obtained.

【0005】次に、図12に示すように、前記内部電極
パターン2a、2bを有する複数枚のセラミックグリー
ンシート1a、1bを積層し、さらに、内部電極パター
ン2a、2bを有しない何枚かのセラミックグリーンシ
ート1、1を上下に積み重ね、さらにこれらを圧着し、
積層体を作る。ここで、前記セラミックグリーンシート
1a、1bは、内部電極パターン2a、2bが長手方向
に半分の長さ分だけずれたもの1a、1bを交互に積み
重ねる。その後、この積層体を所望のサイズに切断し
て、積層生チップを製作し、この生チップを焼成する。
こうして得られたチップ状の積層体は、両端面に交互に
露出した内部電極を有する立方体形のものである。次
に、この焼成済みの積層体の両端に導電ペーストを塗布
し、焼付けることにより、両端に電極端子が形成され、
積層セラミックコンデンサが完成する。
Next, as shown in FIG. 12, a plurality of ceramic green sheets 1a and 1b having the internal electrode patterns 2a and 2b are laminated, and some ceramic green sheets 1a and 1b having no internal electrode patterns 2a and 2b are stacked. The ceramic green sheets 1 and 1 are stacked one on top of the other, and these are further crimped,
Make a laminate. Here, the ceramic green sheets 1a and 1b are alternately stacked such that the internal electrode patterns 2a and 2b are shifted by a half length in the longitudinal direction. Thereafter, the laminate is cut into a desired size to produce a laminated green chip, and the green chip is fired.
The chip-shaped laminate thus obtained is of a cubic shape having internal electrodes alternately exposed at both end faces. Next, a conductive paste is applied to both ends of the fired laminate, and baked to form electrode terminals at both ends,
The multilayer ceramic capacitor is completed.

【0006】ここで、前記のセラミックグリーンシート
1を積層し、圧着する工程では、まずセラミックグリー
ンシート1を本圧着する前に、積層体の搬送時に生じる
セラミックグリーンシート1のズレ等を防止し、セラミ
ックグリーンシート1を精度よく積層するため、セラミ
ックグリーンシート1を順次積み重ねながら加圧するこ
とで、それらを仮圧着する。例えば、積層ステージ上に
加圧板を配置し、この加圧板を油圧等で昇降させて積み
重ねたセラミックグリーンシート1を順次積み重ねなが
ら加圧し、セラミックグリーンシート1を積み重ねるの
と同時にそれらを仮圧着する。
Here, in the step of laminating and compressing the ceramic green sheets 1, first, before the ceramic green sheets 1 are fully compressed, displacement of the ceramic green sheets 1 caused during conveyance of the laminate is prevented. In order to stack the ceramic green sheets 1 with high accuracy, the ceramic green sheets 1 are temporarily stacked and then pressurized to temporarily press them. For example, a pressing plate is arranged on the lamination stage, and the pressing plate is raised and lowered by hydraulic pressure or the like, and the stacked ceramic green sheets 1 are sequentially stacked and pressed, and the ceramic green sheets 1 are stacked and temporarily pressed at the same time.

【0007】加圧板と積層ステージとには、各々ヒータ
ーが備えられ、これによって、積層及び仮圧着時に、そ
れらの板面が例えば70〜80℃程度の温度に加熱され
る。セラミックグリーンシートは加温されると可撓性が
増し、粘着性も向上するため、積層されたセラミックグ
リーンシートが確実に密着する。こうして積層されなが
ら仮圧着された積層体は、圧着金型等でより高い圧力で
本圧着される。
[0007] The press plate and the lamination stage are each provided with a heater, whereby the plate surfaces are heated to a temperature of, for example, about 70 to 80 ° C during lamination and temporary compression. When the ceramic green sheets are heated, the flexibility increases and the adhesiveness also improves, so that the laminated ceramic green sheets are securely adhered. The laminated body that has been provisionally press-bonded while being stacked in this way is fully press-bonded with a higher pressure using a pressing mold or the like.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】前記従来の積層圧着方
法と装置によりセラミックグリーンシートを積層し、仮
圧着すると、下層のセラミックグリーンシート程、加温
されたまま何度も繰り返し加圧される。このため、図9
で示すような理想的な積層状態とはならず、図10で示
すように、下層のセラミックグリーンシート1がその中
央部と周辺部とで伸びる割合が大きく異なり、セラミッ
クグリーンシート1に形成されたパターンがずれ、いわ
ゆる積層ずれを生ずる。一般的には、理想的な図9のよ
うな積層体に対し、図10の積層体では、下層のセラミ
ックグリーンシート1に印刷された外側の内部電極パタ
ーン2aが外側にずれる。
When the ceramic green sheets are laminated and temporarily compressed by the above-described conventional laminating method and apparatus, the lower ceramic green sheet is repeatedly pressurized while being heated. Therefore, FIG.
As shown in FIG. 10, the lower ceramic green sheet 1 greatly differs between the central portion and the peripheral portion in the rate of extension, as shown in FIG. The pattern shifts, so-called stacking shift occurs. Generally, in the laminate of FIG. 10, the outer internal electrode pattern 2 a printed on the lower ceramic green sheet 1 is shifted outward from the ideal laminate of FIG. 9.

【0009】このような積層ずれを生じた場合、外観か
らはこのずれを確認することが出来ない。そして、この
積層体を定められた寸法で等間隔に切断すると、個々に
切断されたチップ内の内部電極パターン1a、1bがチ
ップの中央に位置することなく、最悪の場合は内部電極
パターン1a、1bがチップの側面に露出することもあ
る。また、内部電極パターン1a、1bがチップの側面
に露出しないまでも、それらのチップの一方に偏り過ぎ
て、他方の側の外部電極と近くなるため、出来上がった
積層セラミックコンデンサーの耐電圧や耐湿性が悪くな
り、製品としての信頼性を損ねたりすると言う課題があ
った。
When such a stacking shift occurs, the shift cannot be confirmed from the appearance. Then, when this laminate is cut at regular intervals at a predetermined size, the internal electrode patterns 1a and 1b in the individually cut chips are not located at the center of the chip. 1b may be exposed on the side of the chip. Even if the internal electrode patterns 1a and 1b are not exposed on the side surfaces of the chips, they are too close to one of the chips and close to the external electrodes on the other side. However, there has been a problem that the reliability of the product deteriorates.

【0010】さらに、このように下層のみが伸びて積層
された積層体では、セラミックグリーンシート1の層間
の接着力に差が生じ、積層した後にセラミックグリーン
シート1が一部が剥がれたり、バリが発生しやすいとい
う課題もある。また、前記従来のセラミックグリーンシ
ートの裁断積層方法では、セラミックグリーンシートを
カッティングヘッドで裁断する時に、セラミックグリー
ンシートがキャリアフィルム上から一部剥がれ、変形し
てしまうことがある。そのため、裁断した後のセラミッ
クグリーンシートに皺や部分的な延びが発生し、これが
原因で前記と同様の積層ズレを発生させることがある。
そこで、本発明は、前記従来技術の課題に鑑み、セラミ
ックグリーンシートを積層しながら圧着する時の下層側
のセラミックグリーンシートの伸びを防止し、積層精度
の高く、剥がれにくい積層セラミックグリーンシートの
積層体が得られるセラミックグリーンシート裁断積層方
法を提供することを目的とする。
Further, in such a laminated body in which only the lower layer is stretched and laminated, a difference occurs in the adhesive strength between the layers of the ceramic green sheet 1, and after lamination, a part of the ceramic green sheet 1 is peeled off or burrs are formed. There is also a problem that it is easy to occur. Further, in the conventional method for cutting and laminating ceramic green sheets, when the ceramic green sheets are cut by a cutting head, the ceramic green sheets may be partially peeled off from the carrier film and may be deformed. As a result, wrinkles and partial elongation occur in the cut ceramic green sheet, which may cause the same lamination displacement as described above.
In view of the above-mentioned problems of the prior art, the present invention prevents the lower ceramic green sheet from being stretched when the ceramic green sheets are pressed together while being laminated, has a high lamination accuracy, and is capable of preventing lamination of the laminated ceramic green sheets. An object of the present invention is to provide a method for cutting and laminating a ceramic green sheet from which a body can be obtained.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明では、前記の課題
を解消するため、吸着ヘッド13の両側にカッターブレ
ード12、12を昇降自在に設けたカッティングヘッド
11を用い、セラミックグリーンシート27を裁断する
前に、まず前記吸着ヘッド13の吸着面でセラミックグ
リーンシート27を吸着し、保持し、セラミックグリー
ンシート27を固定し、その状態で前記カッターブレー
ド12、12によりセラミックグリーンシート27を裁
断することにした。これにより、セラミックグリーンシ
ート27を裁断する時のセラミックグリーンシート27
の変形等を防止し、正確に裁断できるようにした。
In the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, the ceramic green sheet 27 is cut by using the cutting head 11 in which the cutter blades 12, 12 are provided on both sides of the suction head 13 so as to be able to move up and down. First, the ceramic green sheet 27 is sucked and held by the suction surface of the suction head 13, the ceramic green sheet 27 is fixed, and the ceramic green sheet 27 is cut by the cutter blades 12 and 12 in this state. I made it. Thereby, the ceramic green sheet 27 is cut when the ceramic green sheet 27 is cut.
Prevention of deformation, etc., so that cutting can be performed accurately.

【0012】さらに本発明では、前記のようなカッティ
ングヘッド11を使用し、積層ステージ30上で裁断し
たセラミックグリーンシート21を積層する際、セラミ
ックグリーンシート21を積み重ねる毎にできるだけ小
さい圧力で加圧し、最後のセラミックグリーンシート2
1を積み重ねた後で、全体のセラミックグリーンシート
21をより強い圧力で加圧し、仮圧着するようにした。
これにより、下側の層のセラミックグリーンシート21
と上側の層のセラミックグリーンシート21との延びの
バラツキが抑えられ、積層されるセラミックグリーンシ
ート21の延びが均一になる。
Further, in the present invention, when stacking the ceramic green sheets 21 cut on the stacking stage 30 using the cutting head 11 as described above, each time the ceramic green sheets 21 are stacked, pressure is applied with a pressure as small as possible. Last ceramic green sheet 2
After stacking No. 1, the entire ceramic green sheet 21 was pressurized with a stronger pressure, and temporarily pressed.
Thereby, the ceramic green sheet 21 of the lower layer is formed.
The variation in the extension of the ceramic green sheet 21 with the upper layer of the ceramic green sheet 21 is suppressed, and the extension of the laminated ceramic green sheet 21 becomes uniform.

【0013】すなわち、セラミックグリーンシートの裁
断積層方法は、裁断ステージ28上に載ったセラミック
グリーンシート27をカッティングヘッド11で所定の
形状に裁断する工程と、裁断したセラミックグリーンシ
ート21をカッティングヘッド11に吸着して保持しな
がら、積層ステージ30上に搬送する工程と、この積層
ステージ30上でセラミックグリーンシート21を加圧
する工程とを有し、これらの工程を複数回繰り返して複
数のセラミックグリーンシート21を積層する。
In other words, the cutting and laminating method of the ceramic green sheet includes a step of cutting the ceramic green sheet 27 placed on the cutting stage 28 into a predetermined shape by the cutting head 11, and a step of applying the cut ceramic green sheet 21 to the cutting head 11. The method includes a step of transporting the ceramic green sheet 21 onto the stacking stage 30 while adsorbing and holding the same, and a step of pressing the ceramic green sheet 21 on the stacking stage 30. Are laminated.

【0014】この場合において、下面にセラミックグリ
ーンシート27を吸着する吸着面を有する吸着ヘッド1
3の両側にカッターブレード12、12を昇降自在に設
けたカッティングヘッド11を使用し、前記吸着ヘッド
13の吸着面でセラミックグリーンシート27を吸着・
保持し、その後吸着・保持したまま前記カッターブレー
ド12、12によりセラミックグリーンシート27を裁
断する。
In this case, the suction head 1 having a suction surface for sucking the ceramic green sheet 27 on the lower surface.
A cutting head 11 having cutter blades 12, 12 provided on both sides of the cutting head 3 so as to be able to move up and down is used.
The ceramic green sheet 27 is cut by the cutter blades 12 while holding and holding the sheet.

【0015】これにより、セラミックグリーンシート2
7は、裁断する部分が吸着ヘッド13で予め固定された
状態で裁断されるため、皺や変形が発生せず、正確に裁
断することができる。ここで、セラミックグリーンシー
ト27を吸着する手段としては、真空吸引が一般的であ
るが、セラミックグリーンシート27や内部電極パター
ンが磁性体であれば、磁力吸引を使用することもでき
る。
Thus, the ceramic green sheet 2
7 is cut in a state in which the cut portion is fixed in advance by the suction head 13, so that wrinkles and deformation do not occur, and the cut 7 can be cut accurately. Here, vacuum suction is generally used as a means for sucking the ceramic green sheet 27. However, if the ceramic green sheet 27 and the internal electrode pattern are made of a magnetic material, magnetic suction can also be used.

【0016】さらに、前記のようなカッティングヘッド
11を使用し、積層ステージ30上で積み重ねられるセ
ラミックグリーンシート21を、前記吸着ヘッド13に
より加圧しながら積み重ね、最後のセラミックグリーン
シート21を積み重ねた後、全てのセラミックグリーン
シート21をより強い圧力で加圧し、それらを仮圧着す
る。これにより、下層のセラミックグリーンシート21
に繰り返し加わる圧力が小さくなり、下層のセラミック
グリーンシート21のみが伸びてしまうことが防止され
る。
Further, using the cutting head 11 as described above, the ceramic green sheets 21 stacked on the stacking stage 30 are stacked while being pressed by the suction head 13, and after the last ceramic green sheets 21 are stacked, All the ceramic green sheets 21 are pressed with a stronger pressure, and they are temporarily pressed. Thereby, the lower ceramic green sheet 21
Of the ceramic green sheet 21 of the lower layer is prevented from being extended.

【0017】また、カッティングヘッド11の吸着ヘッ
ド13の吸着面をセラミックグリーンシート21のガラ
ス転移点より低い温度とし、一方で積層ステージ30の
積層面を前記ガラス転移点より高い温度としてセラミッ
クグリーンシート21を仮圧着する。これにより、セラ
ミックグリーンシート21の伸びが小さくなり、セラミ
ックグリーンシート21の変形を防止することができ
る。
The suction surface of the suction head 13 of the cutting head 11 is set at a temperature lower than the glass transition point of the ceramic green sheet 21, while the stacking surface of the stacking stage 30 is set at a temperature higher than the glass transition point. Is temporarily crimped. Thereby, the elongation of the ceramic green sheet 21 is reduced, and the deformation of the ceramic green sheet 21 can be prevented.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】次に、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態について具体的且つ詳細に説明する。図
1及び図2に、本発明の方法で用いるカッティングヘッ
ド11が示されている。このカッティングヘッド11
は、立方体形状の吸着ヘッド13と、同ヘッド13の側
面と端面とに沿って、各々上下にスライド駆動するよう
設けられたカッターブレード12、12とを備える。吸
着ヘッド13の下面である吸着面は、積層されるセラミ
ックグリーンシート21の平面寸法に対応する寸法を有
している。この吸着面には、図示してない真空源に接続
された空気通路15が分散して開口され、この空気通路
15を通して吸着面側から吸気することで、同吸着面が
負圧とされ、そこにセラミックグリーンシート21、2
7を吸着、保持することができる。この吸着ヘッド13
にはヒータ34が内蔵されており、これにより、吸着ヘ
ッド13の吸着面が加熱される。
Embodiments of the present invention will now be described specifically and in detail with reference to the drawings. 1 and 2 show a cutting head 11 used in the method of the present invention. This cutting head 11
Includes a cubic suction head 13 and cutter blades 12, 12 provided to slide up and down along the side and end surfaces of the head 13. The suction surface that is the lower surface of the suction head 13 has a size corresponding to the planar size of the ceramic green sheets 21 to be stacked. Air passages 15 connected to a vacuum source (not shown) are dispersedly opened in the suction surface, and the suction surface is brought into a negative pressure by sucking air from the suction surface side through the air passage 15. Ceramic green sheet 21, 2
7 can be adsorbed and held. This suction head 13
Has a built-in heater 34, whereby the suction surface of the suction head 13 is heated.

【0019】カッターブレード12、12は、エアシリ
ンダーやスクリュー機構等のアクチュエーター33によ
り、吸着ヘッド13の側面と端面とに沿って上下にスラ
イドされるようになっている。そして、このカッターブ
レード12、12が下方へスライドしたとき、その先端
の刃先が吸着ヘッド13の吸着面から所定の量だけ突出
する。そして、上方へスライドしたとき、カッターブレ
ード12、12の刃先が吸着ヘッド13の吸着面から引
き込む。既に説明した通り、吸着ヘッド13の吸着面
は、積層されるセラミックグリーンシート21の平面寸
法、つまりセラミックグリーンシート27を裁断すべき
寸法に対応する寸法を有しており、カッターブレード1
2、12の刃先は、この吸着面の縁に沿って配置してあ
る。
The cutter blades 12 are slid up and down along the side and end surfaces of the suction head 13 by an actuator 33 such as an air cylinder or a screw mechanism. When the cutter blades 12 slide downward, the cutting edge of the tip protrudes from the suction surface of the suction head 13 by a predetermined amount. Then, when sliding upward, the blade edges of the cutter blades 12, 12 are pulled in from the suction surface of the suction head 13. As described above, the suction surface of the suction head 13 has a plane size of the ceramic green sheets 21 to be laminated, that is, a size corresponding to a size at which the ceramic green sheets 27 are to be cut.
The cutting edges 2 and 12 are arranged along the edge of the suction surface.

【0020】一方、図2に前記のようにして裁断された
セラミックグリーンシート21を積層する積層ステージ
30が示されており、図示の積層ステージ30は、セラ
ミックグリーンシート21を積層する領域が一段低い凹
部となっている。この積層ステージ30は、ヒーター3
7を内蔵しており、これにより積層面を加熱することが
出来る。セラミックグリーンシート21を積層する領域
の前記の凹部は、積層位置精度を保持するためのもので
あるが、このような凹部を設ける代わりに、積層ステー
ジ30の積層領域に位置決めピンを立てて積層位置精度
を担保する方法もある。この場合は、セラミックグリー
ンシート21を裁断する際に、前記位置決めピンに対応
してそのセラミックグリーンシート21に位置決め孔を
穿孔しておき、その位置決め孔を前記位置決めピンに差
し込んで位置決めする。
On the other hand, FIG. 2 shows a lamination stage 30 for laminating the ceramic green sheets 21 cut as described above. In the lamination stage 30 shown, the region for laminating the ceramic green sheets 21 is one step lower. It is a recess. The stacking stage 30 is provided with a heater 3
7, which can heat the laminated surface. The concave portion in the region where the ceramic green sheets 21 are laminated is for maintaining the laminating position accuracy. Instead of providing such a concave portion, a positioning pin is set up in the laminating region of the laminating stage 30 to laminate the laminating position. There are also methods to ensure accuracy. In this case, when cutting the ceramic green sheet 21, a positioning hole is formed in the ceramic green sheet 21 corresponding to the positioning pin, and the positioning hole is inserted into the positioning pin for positioning.

【0021】次に、前記カッティングヘッド11の吸着
ヘッド13でセラミックグリーンシート21を吸着し、
そのカッターブレード12でセラミックグリーンシート
27を裁断し、裁断したセラミックグリーンシート21
を前記の積層ステージ30上で積層する方法について説
明する。まず、図1に示すように、セラミックグリーン
シート27は、ポリエチレンテレフタレートフィルム等
からなるキャリアフィルム28上に保持された状態で、
裁断ステージ26の上に供給される。このセラミックグ
リーンシート21の表面には、必要に応じて電極パター
ンが印刷されている。
Next, the ceramic green sheet 21 is sucked by the suction head 13 of the cutting head 11,
The ceramic green sheet 27 is cut by the cutter blade 12 and the cut ceramic green sheet 21 is cut.
The method of laminating on the lamination stage 30 will be described. First, as shown in FIG. 1, the ceramic green sheet 27 is held on a carrier film 28 made of a polyethylene terephthalate film or the like.
It is supplied on the cutting stage 26. An electrode pattern is printed on the surface of the ceramic green sheet 21 as necessary.

【0022】ここで、前記のカッティングヘッド11が
この裁断ステージ26の上に移動し、そこで同カッティ
ングヘッド11が裁断ステージ26の上方から図1に示
す位置まで下降し、その吸着面がセラミックグリーンシ
ート21の上に当接する。ここで、空気通路15を通し
て空気が吸引され、吸着ヘッド13の吸着面が負圧とさ
れ、そこにセラミックグリーンシート27の一部の表面
が吸着される。その後、アクチュエーター33、33に
より、カッターブレード12、12が下降し、その刃先
がセラミックグリーンシート27へと切り込まれれる。
その後、カッティングヘッド11が上昇することで、カ
ッターブレード12、12により裁断されたセラミック
グリーンシート21が吸着ヘッド13の吸着面に吸着、
保持された状態のまま、切り取られ、キャリアフィルム
28から剥離されて上昇される。
Here, the cutting head 11 is moved above the cutting stage 26, and the cutting head 11 is lowered from above the cutting stage 26 to the position shown in FIG. Abuts on 21. Here, air is sucked through the air passage 15, the suction surface of the suction head 13 is set to a negative pressure, and a part of the surface of the ceramic green sheet 27 is suctioned there. After that, the cutter blades 12, 12 are lowered by the actuators 33, 33, and the cutting edges thereof are cut into the ceramic green sheets 27.
Thereafter, as the cutting head 11 is raised, the ceramic green sheet 21 cut by the cutter blades 12 is adsorbed on the suction surface of the suction head 13.
While being held, it is cut off, peeled off the carrier film 28 and raised.

【0023】こうして、セラミックグリーンシート21
を吸着、保持した、カッティングヘッド11が次の積層
ステージ30側に移動し、同ステージ30の積層領域の
真上に位置合わせされる。その後、カッティングヘッド
11が下降され、その吸着ヘッド13の吸着面に保持さ
れたセラミックグリーンシート21が積層ステージ30
の積層領域の上に載せられ、加圧される。この状態で
は、空気通路15の空気の流れを停止するか或は僅かに
逆流させる。これにより、セラミックグリーンシート2
1の吸着状態が解除され、或は吸着ヘッド13の吸着面
が弱加圧状態となり、その気圧でセラミックグリーンシ
ート21が押し離される。また、カッターブレード12
は、アクチュエーター33により上方にスライドされ、
その刃先が積層ステージ30に当たらないように逃げ
る。
Thus, the ceramic green sheet 21
The cutting head 11 that has sucked and held is moved to the next stacking stage 30 side, and is positioned just above the stacking area of the same stage 30. Thereafter, the cutting head 11 is lowered, and the ceramic green sheet 21 held on the suction surface of the suction head 13 is placed on the stacking stage 30.
And pressurized. In this state, the air flow in the air passage 15 is stopped or slightly reversed. Thereby, the ceramic green sheet 2
The suction state of 1 is released, or the suction surface of the suction head 13 is in a weakly pressurized state, and the ceramic green sheet 21 is pushed away by the pressure. Also, the cutter blade 12
Is slid upward by the actuator 33,
The blade edge escapes so as not to hit the stacking stage 30.

【0024】この動作に際して、吸着ヘッド13からセ
ラミックグリーンシート21に加える圧力はできるだけ
小さくし、最初のセラミックグリーンシート21には殆
ど圧力は加えない。その後、カッティングヘッド11が
上昇すると、セラミックグリーンシート21のみがセラ
ミックグリーンシート31の上に積層されたまま残され
る。以下、このサイクルを何度か繰り返すことにより、
所望の数の裁断されたセラミックグリーンシート21が
裁断され、積層される。この場合も、各セラミックグリ
ーンシート21を積み重ねるときに吸着ヘッド13から
セラミックグリーンシート21に加える圧力はできるだ
け小さくする。そして、最後のセラミックグリーンシー
ト21を積み重ねた後に、より強い圧力でセラミックグ
リーンシート21の積層体を加圧し、仮圧着する。
In this operation, the pressure applied to the ceramic green sheet 21 from the suction head 13 is made as small as possible, and almost no pressure is applied to the first ceramic green sheet 21. Thereafter, when the cutting head 11 is raised, only the ceramic green sheets 21 are left stacked on the ceramic green sheets 31. Hereinafter, by repeating this cycle several times,
A desired number of cut ceramic green sheets 21 are cut and laminated. Also in this case, the pressure applied from the suction head 13 to the ceramic green sheets 21 when stacking the ceramic green sheets 21 is made as small as possible. Then, after the last ceramic green sheets 21 are stacked, the stacked body of the ceramic green sheets 21 is pressurized with a stronger pressure, and temporarily pressed.

【0025】なお、この積層工程において、吸着ヘッド
13の吸着面がヒーター34により加熱されるが、その
温度はセラミックグリーンシート21のガラス転移点よ
り低い温度とする。他方、積層ステージ30の積層面が
ヒーター37により加熱されるが、その温度は前記ガラ
ス転移点より高い温度とする。例えば、セラミックグリ
ーンシート21に含まれる有機バインダーのガラス成分
のガラス転移点が70℃の場合、吸着ヘッド13の吸着
面を65℃とし、積層ステージ30の積層面を75℃と
する。これにより、セラミックグリーンシート21の伸
びが小さくなり、セラミックグリーンシート21の変形
を防止することができる。
In the laminating step, the suction surface of the suction head 13 is heated by the heater 34, and the temperature is set to a temperature lower than the glass transition point of the ceramic green sheet 21. On the other hand, the lamination surface of the lamination stage 30 is heated by the heater 37, and the temperature is set to a temperature higher than the glass transition point. For example, when the glass transition point of the glass component of the organic binder contained in the ceramic green sheet 21 is 70 ° C., the suction surface of the suction head 13 is set to 65 ° C., and the stacking surface of the stacking stage 30 is set to 75 ° C. Thereby, the elongation of the ceramic green sheet 21 is reduced, and the deformation of the ceramic green sheet 21 can be prevented.

【0026】所定の数のセラミックグリーンシート21
を所定の順序で積層した後、その積層体を圧着金型へ送
り、本圧着する。その後、積層体を1個の積層セラミッ
クインダクタの単位のチップ状に裁断し、この積層チッ
プを焼成し、その端面に導体ペーストを塗布し、焼き付
け、外部電極を形成する。その後、必要な部分にメッキ
を施したり、絶縁塗装を施したりすることで、積層セラ
ミックコンデンサや積層セラミックインダクタ等の積層
電子部品が作られる。
A predetermined number of ceramic green sheets 21
Are laminated in a predetermined order, and then the laminate is sent to a pressure-bonding mold and subjected to full-pressure bonding. Thereafter, the multilayer body is cut into a single chip of a single multilayer ceramic inductor, the multilayer chip is baked, a conductive paste is applied to the end face, and baked to form external electrodes. Then, by plating or insulating coating the necessary parts, multilayer electronic components such as multilayer ceramic capacitors and multilayer ceramic inductors are manufactured.

【0027】次に、図3及び図4に示す例について説明
すると、この例ではカッターブレード12を上下にスラ
イドさせるアクチュエーター33に代えて、カッターブ
レード12を常に下方に押し下げるように弾力が付勢さ
れたバネ等の弾性体35が使用されている。この例で
は、カッターブレード12を強制的に上下動させること
は出来ないが、カッターブレード12の刃先に加わる反
力に応じてそのカッターブレード12を上下にスライド
させることができる。そして、この弾性体35の弾力
は、吸着ヘッド13の吸着面がセラミックグリーンシー
ト27に接し、それを吸着した後に、同セラミックグリ
ーンシート27に切り込まれるよう設定されている。
Next, an example shown in FIGS. 3 and 4 will be described. In this example, instead of the actuator 33 for sliding the cutter blade 12 up and down, elastic force is urged so as to always push the cutter blade 12 downward. An elastic body 35 such as a spring is used. In this example, the cutter blade 12 cannot be forcibly moved up and down, but the cutter blade 12 can be slid up and down according to the reaction force applied to the cutting edge of the cutter blade 12. The elasticity of the elastic body 35 is set such that the suction surface of the suction head 13 comes into contact with the ceramic green sheet 27 and, after sucking it, is cut into the ceramic green sheet 27.

【0028】次に、図5及び図6に示す例について説明
すると、この例はセラミックグリーンシート21、27
としてフェライト等の磁性体を含む磁性体シートを吸着
し、裁断し、積層する例である。そして、ここではセラ
ミックグリーンシート21、27を吸着ヘッド13の吸
着面に吸着させる手段として磁力が使用される。すなわ
ち、図5及び図6の例では、吸着ヘッド13に電磁石3
6が組み込まれ、これに電流を流し或は電流を遮断する
ことにより、セラミックグリーンシート21、27の吸
着及びその解除をする。なお、この例でも、前述の図3
及び図4に示された例と同様に、カッターブレード12
に弾性体35を係装している。
Next, the example shown in FIGS. 5 and 6 will be described.
This is an example in which a magnetic material sheet containing a magnetic material such as ferrite is adsorbed, cut, and laminated. Here, a magnetic force is used as means for adsorbing the ceramic green sheets 21 and 27 on the adsorption surface of the adsorption head 13. That is, in the example of FIG. 5 and FIG.
The ceramic green sheets 21 and 27 are adsorbed and released by supplying a current to or interrupting the current. It should be noted that also in this example, FIG.
And the cutter blade 12 as in the example shown in FIG.
And an elastic body 35 is provided.

【0029】次に、図7及び図8に示す例について説明
すると、この例もまた、セラミックグリーンシート2
1、27としてフェライト等の磁性体を含む磁性体シー
トを吸着し、裁断し、積層する例である。そして、ここ
ではセラミックグリーンシート21、27を吸着ヘッド
13の吸着面に吸着させる手段としてやはり磁力が使用
されるが、図5及び図6の例のように電磁石36ではな
く、吸着ヘッド13に永久磁石32が組み込まれてい
る。そして、この永久磁石32は、ソレノイド等のアク
チュエーター31により、吸着ヘッド13内で上下動さ
せられる。従って、このアクチュエーター31により永
久磁石32を上下動することにより、セラミックグリー
ンシート21、27の吸着及びその解除をする。なお、
この例でも、前述の図1及び図2に示された例と同様
に、カッターブレード12をアクチュエーター33で上
下にスライドさせる。
Next, the example shown in FIGS. 7 and 8 will be described.
Examples 1 and 27 are examples in which a magnetic sheet containing a magnetic substance such as ferrite is adsorbed, cut, and laminated. Here, a magnetic force is also used as a means for attracting the ceramic green sheets 21 and 27 to the attracting surface of the attracting head 13, but the permanent magnet is not attached to the electromagnet 36 but to the attracting head 13 as in the examples of FIGS. A magnet 32 is incorporated. The permanent magnet 32 is moved up and down in the suction head 13 by an actuator 31 such as a solenoid. Accordingly, the ceramic green sheets 21 and 27 are attracted and released by vertically moving the permanent magnet 32 by the actuator 31. In addition,
Also in this example, the cutter blade 12 is slid up and down by the actuator 33 similarly to the example shown in FIGS. 1 and 2 described above.

【0030】[0030]

【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、セ
ラミックグリーンシートを積層しながら圧着する時の下
層側のセラミックグリーンシートの伸びを防止し、積層
精度が高く、剥がれにくい積層セラミックグリーンシー
トの積層体が得られるセラミックグリーンシート裁断積
層方法が得られる。
As described above, according to the present invention, the lower ceramic green sheet is prevented from elongating when the ceramic green sheets are laminated and pressed while being laminated, and the laminated ceramic green sheet has high lamination accuracy and is hardly peeled off. Is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明によるセラミックグリーンシートの裁断
積層方法の例において、カッティングヘッドでセラミッ
クグリーンシートを吸着し、保持する工程を示す概略断
面図である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a step of sucking and holding a ceramic green sheet with a cutting head in an example of a method for cutting and laminating a ceramic green sheet according to the present invention.

【図2】同セラミックグリーンシートの裁断積層方法の
例において、積層ステージでセラミックグリーンシート
を積層する工程を示す概略断面図である。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a step of laminating ceramic green sheets on a lamination stage in an example of the method for cutting and laminating ceramic green sheets.

【図3】本発明によるセラミックグリーンシートの裁断
積層方法の他の例において、カッティングヘッドでセラ
ミックグリーンシートを吸着し、保持する工程を示す概
略断面図である。
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a step of sucking and holding a ceramic green sheet with a cutting head in another example of the method for cutting and laminating a ceramic green sheet according to the present invention.

【図4】同セラミックグリーンシートの裁断積層方法の
例において、積層ステージでセラミックグリーンシート
を積層する工程を示す概略断面図である。
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing a step of laminating ceramic green sheets on a lamination stage in the example of the method for cutting and laminating ceramic green sheets.

【図5】本発明によるセラミックグリーンシートの裁断
積層方法の他の例において、カッティングヘッドでセラ
ミックグリーンシートを吸着し、保持する工程を示す概
略断面図である。
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing a step of sucking and holding a ceramic green sheet by a cutting head in another example of the method for cutting and laminating a ceramic green sheet according to the present invention.

【図6】同セラミックグリーンシートの裁断積層方法の
例において、積層ステージでセラミックグリーンシート
を積層する工程を示す概略断面図である。
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing a step of laminating ceramic green sheets on a lamination stage in an example of the method for cutting and laminating ceramic green sheets.

【図7】本発明によるセラミックグリーンシートの裁断
積層方法の他の例において、カッティングヘッドでセラ
ミックグリーンシートを吸着し、保持する工程を示す概
略断面図である。
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view showing a step of sucking and holding a ceramic green sheet by a cutting head in another example of the method for cutting and laminating a ceramic green sheet according to the present invention.

【図8】同セラミックグリーンシートの裁断積層方法の
例において、積層ステージでセラミックグリーンシート
を積層する工程を示す概略断面図である。
FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing a step of laminating ceramic green sheets on a lamination stage in the example of the method for cutting and laminating ceramic green sheets.

【図9】理想的なセラミックグリーンシート積層体の積
層状態を示す模式図である。
FIG. 9 is a schematic diagram showing a laminated state of an ideal ceramic green sheet laminate.

【図10】下層の伸びが大きくなったセラミックグリー
ンシートの積層圧着装置の概略図である。
FIG. 10 is a schematic diagram of an apparatus for laminating and pressing a ceramic green sheet in which the lower layer has increased elongation.

【図11】積層セラミックコンデンサの積層構造の例を
示す分解斜視図である。
FIG. 11 is an exploded perspective view showing an example of a multilayer structure of the multilayer ceramic capacitor.

【図12】同積層セラミックコンデンサを製造するため
のセラミックグリーンシートの積層順序の例を示す斜視
図である。
FIG. 12 is a perspective view showing an example of a lamination order of ceramic green sheets for manufacturing the multilayer ceramic capacitor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 カッティングヘッド 12 カッティングヘッドのカッターブレード 13 カッティングヘッドの吸着ヘッド 21 セラミックグリーンシート 27 セラミックグリーンシート 28 裁断ステージ 30 積層ステージ DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Cutting head 12 Cutter blade of cutting head 13 Suction head of cutting head 21 Ceramic green sheet 27 Ceramic green sheet 28 Cutting stage 30 Stacking stage

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 関 雅一 東京都台東区上野6丁目16番20号 太陽誘 電株式会社内 (72)発明者 真下 豊 東京都台東区上野6丁目16番20号 太陽誘 電株式会社内 (72)発明者 高柳 恵 東京都台東区上野6丁目16番20号 太陽誘 電株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Masakazu Seki 6-16-20 Ueno, Taito-ku, Tokyo Inside Taiyo Denki Co., Ltd. (72) Inventor Yutaka Shimo 6-16-20 Ueno, Taito-ku, Tokyo Taiyo Denki Co., Ltd. (72) Megumi Takayanagi Inventor Taiyo Denki Co., Ltd. 6-16-20 Ueno, Taito-ku, Tokyo

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 裁断ステージ(28)上に載ったセラミ
ックグリーンシート(27)をカッティングヘッド(1
1)で所定の形状に裁断する工程と、裁断したセラミッ
クグリーンシート(21)をカッティングヘッド(1
1)に吸着して保持しながら、積層ステージ(30)上
に搬送する工程と、この積層ステージ(30)上でセラ
ミックグリーンシート(21)を加圧する工程とを有
し、これらの工程を複数回繰り返して複数のセラミック
グリーンシート(21)を積層するセラミックグリーン
シート裁断積層方法において、下面にセラミックグリー
ンシート(27)を吸着する吸着面を有する吸着ヘッド
(13)の両側にカッターブレード(12)、(12)
を昇降自在に設けたカッティングヘッド(11)を使用
し、前記吸着ヘッド(13)の吸着面でセラミックグリ
ーンシート(27)を吸着・保持し、その後吸着・保持
したまま前記カッターブレード(12)、(12)によ
りセラミックグリーンシート(27)を裁断することを
特徴とするセラミックグリーンシート裁断積層方法。
A ceramic green sheet (27) placed on a cutting stage (28) is cut by a cutting head (1).
1) cutting into a predetermined shape, and cutting the cut ceramic green sheet (21) into a cutting head (1).
1) a step of transporting the ceramic green sheet (21) onto the stacking stage (30) while adsorbing and holding it, and a step of pressing the ceramic green sheet (21) on the stacking stage (30). In a ceramic green sheet cutting and laminating method for repeatedly laminating a plurality of ceramic green sheets (21), cutter blades (12) are provided on both sides of a suction head (13) having a suction surface for suctioning a ceramic green sheet (27) on a lower surface. , (12)
Using a cutting head (11) provided to be able to move up and down, the ceramic green sheet (27) is sucked and held on the suction surface of the suction head (13), and then the cutter blade (12) is sucked and held. A ceramic green sheet cutting and laminating method, wherein the ceramic green sheet (27) is cut according to (12).
【請求項2】 セラミックグリーンシート(27)を吸
着する手段が真空吸引であることを特徴とする請求項1
に記載のセラミックグリーンシート裁断積層方法。
2. A vacuum suction means for adsorbing the ceramic green sheet (27).
3. The method for cutting and laminating ceramic green sheets according to 1.).
【請求項3】 セラミックグリーンシート(27)を吸
着する手段が磁力吸引であることを特徴とする請求項1
に記載のセラミックグリーンシート裁断積層方法。
3. The method according to claim 1, wherein the means for attracting the ceramic green sheet is magnetic attraction.
3. The method for cutting and laminating ceramic green sheets according to 1.).
【請求項4】 裁断ステージ(28)上に載ったセラミ
ックグリーンシート(27)をカッティングヘッド(1
1)で所定の形状に裁断する工程と、裁断したセラミッ
クグリーンシート(21)をカッティングヘッド(1
1)に吸着して保持しながら、積層ステージ(30)上
に搬送する工程と、この積層ステージ(30)上でセラ
ミックグリーンシート(21)を加圧する工程とを有
し、これらの工程を複数回繰り返して複数のセラミック
グリーンシート(21)を積層するセラミックグリーン
シート裁断積層方法において、下面にセラミックグリー
ンシート(27)を吸着する吸着面を有する吸着ヘッド
(13)の両側にカッターブレード(12)、(12)
を昇降自在に設けたカッティングヘッド(11)を使用
し、積層ステージ(30)上で積み重ねられるセラミッ
クグリーンシート(21)を、前記吸着ヘッド(13)
により加圧しながら積み重ね、最後のセラミックグリー
ンシート(21)を積み重ねた後、より強い圧力を全て
のセラミックグリーンシート(21)に加えて、それら
を仮圧着することを特徴とするセラミックグリーンシー
ト裁断積層方法。
4. A ceramic green sheet (27) placed on a cutting stage (28) is cut by a cutting head (1).
1) cutting into a predetermined shape, and cutting the cut ceramic green sheet (21) into a cutting head (1).
1) a step of transporting the ceramic green sheet (21) onto the stacking stage (30) while adsorbing and holding it, and a step of pressing the ceramic green sheet (21) on the stacking stage (30). In a ceramic green sheet cutting and laminating method for repeatedly laminating a plurality of ceramic green sheets (21), cutter blades (12) are provided on both sides of a suction head (13) having a suction surface for suctioning a ceramic green sheet (27) on a lower surface. , (12)
The ceramic green sheets (21) stacked on the laminating stage (30) are attached to the suction head (13) by using a cutting head (11) provided so as to be movable up and down.
And stacking the last ceramic green sheets (21) while applying pressure, and then applying a stronger pressure to all the ceramic green sheets (21) and temporarily compressing them to obtain a ceramic green sheet cut and laminated. Method.
【請求項5】 カッティングヘッド(11)の吸着ヘッ
ド(13)の吸着面をセラミックグリーンシート(2
1)のガラス転移点より低い温度とすると共に、積層ス
テージ(30)の積層面を前記ガラス転移点より高い温
度としてセラミックグリーンシート(21)を仮圧着す
ることを特徴とする請求項4に記載のセラミックグリー
ンシート裁断積層方法。
5. The suction head (13) of the cutting head (11) is provided with a ceramic green sheet (2).
The ceramic green sheet (21) is temporarily pressure-bonded at a temperature lower than the glass transition point of (1) and at a temperature higher than the glass transition point on the lamination surface of the lamination stage (30). Ceramic green sheet cutting lamination method.
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KR100631135B1 (en) 2005-06-09 2006-10-02 삼성전기주식회사 Instrument for cutting ceramic green sheet and laminating apparatus of ceramic green sheet having the instrument and method for exfoliating ceramic green sheet
CN110203747A (en) * 2019-05-10 2019-09-06 海盐三湾塑业有限公司 A kind of transfer film cutting means

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