JPH1062303A - 物体の光度および色度を測定するための装置 - Google Patents
物体の光度および色度を測定するための装置Info
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- G—PHYSICS
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
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Abstract
(57)【要約】
像焦点面（Ｆｉ）内に、単位領域（１０１）のフーリエ
変換の像（１０２）を形成する測定レンズ（２）と、検
出器（４ｉ，ｊ）によって構成されたセンサ（４）上
に、単位領域の像を形成する転送レンズ（３）と、単位
領域（１０１）の開口を規定するための絞り（５）と、
処理回路（６）とを備えた装置。フーリエ変換を生成す
るレンズ（２）は、視野レンズ（１０）と組み合わさ
れ、これらの２つの手段（２，１０）と、絞り（５）に
よって規定された直径（ｄ）の円形開口との組み合わせ
により、入射角θおよび方位角φを有する光線に対し
て、解析される物体（１）上に楕円形の測定領域を選定
することを可能にする。
変換の像（１０２）を形成する測定レンズ（２）と、検
出器（４ｉ，ｊ）によって構成されたセンサ（４）上
に、単位領域の像を形成する転送レンズ（３）と、単位
領域（１０１）の開口を規定するための絞り（５）と、
処理回路（６）とを備えた装置。フーリエ変換を生成す
るレンズ（２）は、視野レンズ（１０）と組み合わさ
れ、これらの２つの手段（２，１０）と、絞り（５）に
よって規定された直径（ｄ）の円形開口との組み合わせ
により、入射角θおよび方位角φを有する光線に対し
て、解析される物体（１）上に楕円形の測定領域を選定
することを可能にする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、物体の単位領域の
特性を、単位領域の観察方向において判定するために、
物体、特に液晶画面の光度および色度を測定するための
装置に関する。その装置は、像焦点面内に、単位領域の
フーリエ変換（角度強度分布）を生成する測定レンズ
と、一組の検出器から成るセンサ上にこの分布の像を形
成する転送レンズであって、各検出器は与えられた角度
座標について単位領域の光度に対応する電気信号を生じ
る転送レンズと、単位領域の開口を規定するために、光
線の光路上に存在する絞りと、センサの各検出セルから
電気信号を受信する処理回路とを備えた装置に関する。
特性を、単位領域の観察方向において判定するために、
物体、特に液晶画面の光度および色度を測定するための
装置に関する。その装置は、像焦点面内に、単位領域の
フーリエ変換（角度強度分布）を生成する測定レンズ
と、一組の検出器から成るセンサ上にこの分布の像を形
成する転送レンズであって、各検出器は与えられた角度
座標について単位領域の光度に対応する電気信号を生じ
る転送レンズと、単位領域の開口を規定するために、光
線の光路上に存在する絞りと、センサの各検出セルから
電気信号を受信する処理回路とを備えた装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】コノスコープ法および装置は多くの刊行
物、特に、フランス特許出願第８７０４９４４号および
第９５００１１８号や日本公開番号第３４８５８号およ
び特開平５−２８８６３８号に取り上げられてきた。し
かしながら、これらの公知の解決法は各種の問題点を提
起している。すなわち、システムの利得は、検査対象の
サンプル自体が発光体であるかどうかにかかわらず角度
に強く依存する。
物、特に、フランス特許出願第８７０４９４４号および
第９５００１１８号や日本公開番号第３４８５８号およ
び特開平５−２８８６３８号に取り上げられてきた。し
かしながら、これらの公知の解決法は各種の問題点を提
起している。すなわち、システムの利得は、検査対象の
サンプル自体が発光体であるかどうかにかかわらず角度
に強く依存する。
【０００３】工業生産の用途については測定は高速でな
ければならない。
ければならない。
【０００４】第一の欠点は、測定レンズに関して解析領
域が絞りと光学的に共役であることから、容易に説明さ
れる（フランス特許出願第８７０４９４４号、第９５０
０１１８号および特開平５−２８８６３８号）。
域が絞りと光学的に共役であることから、容易に説明さ
れる（フランス特許出願第８７０４９４４号、第９５０
０１１８号および特開平５−２８８６３８号）。
【０００５】すなわち、表示画面、特に液晶表示画面の
光度あるいは色度を判定するために用いられるこれらの
解析装置は、有用ではあるが、その光学系は、解析対象
物体の単位領域から出射された光線の横断面の減少を考
慮していない。これは、光線の傾斜角の関数であり、実
際、解析対象物体の基本出射領域の法線に対して角度θ
を成す光線の横断面は、１：ｃｏｓθの比率で変化す
る。解析された見掛けの領域は、解析角度θに応じて非
常に広い範囲で変化する。これらの条件の下では、解析
結果を修正すること、すなわち、センサから送られた信
号を修正条件を用いて処理することが必要である。実際
には、このことは、特に計算という形での広範な手段の
利用を含み、装置を複雑にして、解析速度をかなり低下
させるとともに、とりわけ光線の入射角が大きくなるに
つれて、信号対雑音比が減少することによって解析結果
の品質が低下してしまう。
光度あるいは色度を判定するために用いられるこれらの
解析装置は、有用ではあるが、その光学系は、解析対象
物体の単位領域から出射された光線の横断面の減少を考
慮していない。これは、光線の傾斜角の関数であり、実
際、解析対象物体の基本出射領域の法線に対して角度θ
を成す光線の横断面は、１：ｃｏｓθの比率で変化す
る。解析された見掛けの領域は、解析角度θに応じて非
常に広い範囲で変化する。これらの条件の下では、解析
結果を修正すること、すなわち、センサから送られた信
号を修正条件を用いて処理することが必要である。実際
には、このことは、特に計算という形での広範な手段の
利用を含み、装置を複雑にして、解析速度をかなり低下
させるとともに、とりわけ光線の入射角が大きくなるに
つれて、信号対雑音比が減少することによって解析結果
の品質が低下してしまう。
【０００６】本発明の目的は、これらの欠点を改善し、
正確な解析を高速で実行できるようにした光出射領域、
特に透過モードあるいは反射モードで動作する液晶画面
などの画面の光度および色度解析のための装置を作成す
ることである。
正確な解析を高速で実行できるようにした光出射領域、
特に透過モードあるいは反射モードで動作する液晶画面
などの画面の光度および色度解析のための装置を作成す
ることである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的のために、本発
明によれば、上述の種類の装置において、フーリエ変換
を生成するレンズに視野レンズを組み合わせ、これら２
つの光学系と、絞りによって規定される直径（ｄ）の円
形開口との組み合わせにより、入射角θおよび方位角φ
を有する光線に対して、解析される物体上に楕円形の測
定領域を選定することを可能にし、この楕円形領域は、
およそ（Ｄ）の短軸とおよそ（Ｄ／ｃｏｓθ）の長軸を
有し、短軸に長軸を乗算した積が１／ｃｏｓθずつ変化
し、（Ｄ）および（ｄ）は、測定レンズおよび視野レン
ズから成る光学系の倍率によって関係づけられ、上記長
軸は、光学系の軸と楕円形領域の中心から出射される角
度の光線とを通過する平面上にあることにより特徴づけ
られる装置に関する。
明によれば、上述の種類の装置において、フーリエ変換
を生成するレンズに視野レンズを組み合わせ、これら２
つの光学系と、絞りによって規定される直径（ｄ）の円
形開口との組み合わせにより、入射角θおよび方位角φ
を有する光線に対して、解析される物体上に楕円形の測
定領域を選定することを可能にし、この楕円形領域は、
およそ（Ｄ）の短軸とおよそ（Ｄ／ｃｏｓθ）の長軸を
有し、短軸に長軸を乗算した積が１／ｃｏｓθずつ変化
し、（Ｄ）および（ｄ）は、測定レンズおよび視野レン
ズから成る光学系の倍率によって関係づけられ、上記長
軸は、光学系の軸と楕円形領域の中心から出射される角
度の光線とを通過する平面上にあることにより特徴づけ
られる装置に関する。
【０００８】レンズの設計のため、この解析装置は、解
析された光線の傾斜角に依存するｃｏｓθ係数（あるい
はこの係数の逆数）から得られる信号を解放することが
できる。
析された光線の傾斜角に依存するｃｏｓθ係数（あるい
はこの係数の逆数）から得られる信号を解放することが
できる。
【０００９】このことは、センサ、好ましくは電荷結合
デバイス（ＣＣＤ）センサによって収集された結果が直
接送られるため、解析がかなり簡素化されることを示し
ている。これらの結果が直接利用できるばかりでなく、
従来の装置を用いて得られた信号と結果に比較して、信
号対雑音比が著しく改善される。
デバイス（ＣＣＤ）センサによって収集された結果が直
接送られるため、解析がかなり簡素化されることを示し
ている。これらの結果が直接利用できるばかりでなく、
従来の装置を用いて得られた信号と結果に比較して、信
号対雑音比が著しく改善される。
【００１０】別の特徴によれば、光線の光路は、波長選
択性フィルタすなわち一群の波長に対して選択性を持つ
フィルタあるいは偏光フィルタを備えている。これによ
り、例えば、肉眼で感知できる波長に限定した選択的解
析が可能となる。
択性フィルタすなわち一群の波長に対して選択性を持つ
フィルタあるいは偏光フィルタを備えている。これによ
り、例えば、肉眼で感知できる波長に限定した選択的解
析が可能となる。
【００１１】別の特徴によれば、光線の光路は、解析ラ
イン、特に方位角ラインを規定するスリットが設けられ
ている。
イン、特に方位角ラインを規定するスリットが設けられ
ている。
【００１２】その位置づけによって、このスリットは、
与えられた方位角ラインに沿った物体の解析を可能と
し、これにより解析の速度を上げる。この場合、解析
は、セルのラインに限定され、センサのセルマトリクス
に対してではない。
与えられた方位角ラインに沿った物体の解析を可能と
し、これにより解析の速度を上げる。この場合、解析
は、セルのラインに限定され、センサのセルマトリクス
に対してではない。
【００１３】物体が発光体である場合、解析装置は物体
から出射された光線を受ける。
から出射された光線を受ける。
【００１４】また、物体の反射特性を解析することも有
用である。このことを実行するためには、有意かつ再現
性ある解析を可能とするために、正確に物体を照明する
ことが必要である。
用である。このことを実行するためには、有意かつ再現
性ある解析を可能とするために、正確に物体を照明する
ことが必要である。
【００１５】この目的のために、本装置は、物体の焦点
面と共役なレンズの像焦点面内にあり、制御された発光
素子から成り、照明用絞りによって規定された一定の横
断面を持つ多数の光線を用いて物体の解析単位領域を、
レンズを介して、照明する光源によって構成されている
照明装置を備えている。
面と共役なレンズの像焦点面内にあり、制御された発光
素子から成り、照明用絞りによって規定された一定の横
断面を持つ多数の光線を用いて物体の解析単位領域を、
レンズを介して、照明する光源によって構成されている
照明装置を備えている。
【００１６】特に好ましくは、この装置は、光源を脇に
ずらし、物体の基本出射領域から出射された解析光線が
それを通過するようにさせるための半透明ミラーを含ん
でいる。
ずらし、物体の基本出射領域から出射された解析光線が
それを通過するようにさせるための半透明ミラーを含ん
でいる。
【００１７】物体の照明を利用したこの解析は、物体の
反射特性の研究に関し、さらに、例えば、一般には画面
である物体の判読性に作用する不要な照明の影響の研究
にも関している。
反射特性の研究に関し、さらに、例えば、一般には画面
である物体の判読性に作用する不要な照明の影響の研究
にも関している。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の実施例について説明する。
の実施例について説明する。
【００１９】図１によると、本発明の装置は物体１の光
度および色度を測定するためのものである。物体１は、
例えば、液晶画面であり、その特性は物体全体あるいは
その一部を含む単位領域上で測定される。
度および色度を測定するためのものである。物体１は、
例えば、液晶画面であり、その特性は物体全体あるいは
その一部を含む単位領域上で測定される。
【００２０】装置はレンズ２を備え、その物体焦点面に
解析される物体１が置かれる。このレンズ２の次に、転
送レンズがあり、これは、平面Ｆｉ内の与えられた角度
座標についてのフーリエ変換から、センサ４上に像を与
える。絞り５は直径３の円形開口を規定し、レンズ２お
よび視野レンズ１０と連携して、物体１上に基本出射領
域１０１の範囲を定める。さらに、絞り５は、レンズ２
に向かって単位領域１０１から出射される光線１００
と、その光線が系の軸ＸＸに対して成す角度θとを規定
する。
解析される物体１が置かれる。このレンズ２の次に、転
送レンズがあり、これは、平面Ｆｉ内の与えられた角度
座標についてのフーリエ変換から、センサ４上に像を与
える。絞り５は直径３の円形開口を規定し、レンズ２お
よび視野レンズ１０と連携して、物体１上に基本出射領
域１０１の範囲を定める。さらに、絞り５は、レンズ２
に向かって単位領域１０１から出射される光線１００
と、その光線が系の軸ＸＸに対して成す角度θとを規定
する。
【００２１】絞り５は、転送レンズ３の上流側に位置す
るのが好ましく、その手前には、ある波長のみあるいは
ある波長群のみを通過させるフィルタ８が配されてい
る。これは偏光フィルタでもよい。
るのが好ましく、その手前には、ある波長のみあるいは
ある波長群のみを通過させるフィルタ８が配されてい
る。これは偏光フィルタでもよい。
【００２２】最後に、本装置は、センサ４あるいはその
検出セル４ｉ，ｊが照明される時間を規定できるシャッ
タ９を有していても良い。各セルは、物体１の単位領域
１０１からの方向θに出射された光線１００を経由し
た、フラックスを受ける。
検出セル４ｉ，ｊが照明される時間を規定できるシャッ
タ９を有していても良い。各セルは、物体１の単位領域
１０１からの方向θに出射された光線１００を経由し
た、フラックスを受ける。
【００２３】レンズ２の２つの主要な機能は、レンズ１
０および絞り５と連携して、絞り５と光学的に共役な単
位領域１０１を規定することと、物体１から出射された
光の角度分布を表わす像を、平面Ｆｉ内に送ることであ
る。この楕円形の単位領域１０１の長軸は図１の平面内
にあり、短軸は図１の平面に直交する。
０および絞り５と連携して、絞り５と光学的に共役な単
位領域１０１を規定することと、物体１から出射された
光の角度分布を表わす像を、平面Ｆｉ内に送ることであ
る。この楕円形の単位領域１０１の長軸は図１の平面内
にあり、短軸は図１の平面に直交する。
【００２４】さらに具体的には、レンズ２は、短軸がお
よそＤであり、長軸がおよそＤ／ｃｏｓθである楕円形
の単位領域１０１を規定する。
よそＤであり、長軸がおよそＤ／ｃｏｓθである楕円形
の単位領域１０１を規定する。
【００２５】ここで、Ｄは、光学系による絞り５の直径
ｄの共役測定値であり、これら２つの量は倍率Ｇによっ
て関係づけられている。
ｄの共役測定値であり、これら２つの量は倍率Ｇによっ
て関係づけられている。
【００２６】さらに具体的には、楕円形の単位領域１０
１の長軸は、光学軸ＸＸと、楕円形領域１０１の中心を
通る光線１００（この光線は図１の平面内に含まれてい
る）とを通過する平面上にある。
１の長軸は、光学軸ＸＸと、楕円形領域１０１の中心を
通る光線１００（この光線は図１の平面内に含まれてい
る）とを通過する平面上にある。
【００２７】したがって、焦点面Ｆｉは物体１から出射
された光強度分布の平面像を含むことになる。
された光強度分布の平面像を含むことになる。
【００２８】本装置は、視野レンズ１０によって完成
し、これは絞り５の平面に物体１の実像を与え、したが
って、光線を絞り、その代わりに、解析のための単位領
域１０１を得ることができる。
し、これは絞り５の平面に物体１の実像を与え、したが
って、光線を絞り、その代わりに、解析のための単位領
域１０１を得ることができる。
【００２９】平面Ｆｉ内に形成された像は、レンズ１０
および３によってセンサ４に転送される。センサ４の各
検出セル４ｉ，ｊは、面１０１から出射された光線１０
０の入射角θおよび方位角φによって特定された出射方
向に直接結合される。
および３によってセンサ４に転送される。センサ４の各
検出セル４ｉ，ｊは、面１０１から出射された光線１０
０の入射角θおよび方位角φによって特定された出射方
向に直接結合される。
【００３０】これらの角度が変化すると、光線を受ける
単位センサも変化する。
単位センサも変化する。
【００３１】これらの条件の下では、センサ４は、セン
サの各基本セル４ｉ，ｊに結合された信号Ｓｉ，ｊ、す
なわち、物体１から出射された光線１００の各角度位置
に直接結合された信号Ｓｉ，ｊを集めることができるＣ
ＣＤセンサであることが特に有利である。
サの各基本セル４ｉ，ｊに結合された信号Ｓｉ，ｊ、す
なわち、物体１から出射された光線１００の各角度位置
に直接結合された信号Ｓｉ，ｊを集めることができるＣ
ＣＤセンサであることが特に有利である。
【００３２】図２は、この状態を概略的に示している。
測定装置は図１のものと同一であるが、セル４ｉ，ｊ
（θ１，φ）．．．４ｉ，ｊ（θ４，φ）に結合された
いくつかの光線１００（θ１，φ），１００（θ２，
φ），１００（θ３，φ）および１００（θ４，φ）を
追加して描いているだけである。
測定装置は図１のものと同一であるが、セル４ｉ，ｊ
（θ１，φ）．．．４ｉ，ｊ（θ４，φ）に結合された
いくつかの光線１００（θ１，φ），１００（θ２，
φ），１００（θ３，φ）および１００（θ４，φ）を
追加して描いているだけである。
【００３３】センサ４のこれらのセルは、一般的に、参
照符号Ｓｉ，ｊ（θｎ，φ）によって表わされる一連の
信号を送る。
照符号Ｓｉ，ｊ（θｎ，φ）によって表わされる一連の
信号を送る。
【００３４】また、この図２は、図２の平面（方位角φ
に対応する平面）内に軸を持つ光線１００（θｎ，φ）
は、やはり図２の平面内にある、すなわち、直線セグメ
ント上に並ぶセンサ４のセル４ｉ，ｊ（θｎ，φ）に必
然的に収束することを示している。
に対応する平面）内に軸を持つ光線１００（θｎ，φ）
は、やはり図２の平面内にある、すなわち、直線セグメ
ント上に並ぶセンサ４のセル４ｉ，ｊ（θｎ，φ）に必
然的に収束することを示している。
【００３５】図１および図２は、物体１から出射され
た、角度θの光線を解析するための測定装置の使用を説
明する図である。
た、角度θの光線を解析するための測定装置の使用を説
明する図である。
【００３６】このような解析を可能にするためには、物
体１が発光体であるか、あるいは入射光を反射すること
が必要である。
体１が発光体であるか、あるいは入射光を反射すること
が必要である。
【００３７】物体１自体が発光体であり、外光を受けた
場合の光学的反応を測定することもまた、有用である。
場合の光学的反応を測定することもまた、有用である。
【００３８】図３は、上述に対応し、物体１を照明でき
る手段を備えた本発明による装置を示している。
る手段を備えた本発明による装置を示している。
【００３９】この図には、本装置のうち照明用に用いら
れる主要素のみが示されている。これらの要素には先の
各図と同一の参照符号が付されている。
れる主要素のみが示されている。これらの要素には先の
各図と同一の参照符号が付されている。
【００４０】角度位置（θ，φ）の光線２００を用いて
物体１を照明するために、本装置は、一線に、例えば図
の平面内に線状に、あるいはマトリクス状（２次元分
布）に配置された発光素子Ｌｉ，ｊから成る光源１１に
よって構成された照明装置から成る。これらの発光素子
Ｌｉ，ｊは、マイクロコンピュータ７などの制御装置に
よって制御され、この制御装置は、例えば、処理回路６
から送られた信号Ｓｉ，ｊ（θｎ，φ）から得られた信
号を受信し、処理する。
物体１を照明するために、本装置は、一線に、例えば図
の平面内に線状に、あるいはマトリクス状（２次元分
布）に配置された発光素子Ｌｉ，ｊから成る光源１１に
よって構成された照明装置から成る。これらの発光素子
Ｌｉ，ｊは、マイクロコンピュータ７などの制御装置に
よって制御され、この制御装置は、例えば、処理回路６
から送られた信号Ｓｉ，ｊ（θｎ，φ）から得られた信
号を受信し、処理する。
【００４１】これにより、センサ４から送られた信号Ｓ
ｉ，ｊ（θｎ，φ）から取り出された結果を適宜考慮す
る解析プログラムの機能として、単位領域１０１、ある
いは、より一般的には物体１の照明を制御することが可
能となる。
ｉ，ｊ（θｎ，φ）から取り出された結果を適宜考慮す
る解析プログラムの機能として、単位領域１０１、ある
いは、より一般的には物体１の照明を制御することが可
能となる。
【００４２】光源１１はレンズ２（視野レンズ１０を考
慮して）の像焦点面内にある。
慮して）の像焦点面内にある。
【００４３】実際には、本装置の光学軸ＸＸの周りの領
域を空け、物体１から出射される光線を自由に通過させ
るために、光源１１を半透明ミラー１２を用いて脇にず
らす。
域を空け、物体１から出射される光線を自由に通過させ
るために、光源１１を半透明ミラー１２を用いて脇にず
らす。
【００４４】照明装置は、さらに、レンズ１３および絞
り１４を備え、レンズ２の像焦点面Ｆｉ内に収束光線を
形成し、単位領域１０１に衝突する角度位置（θ，φ）
の平行光線を発生させている。
り１４を備え、レンズ２の像焦点面Ｆｉ内に収束光線を
形成し、単位領域１０１に衝突する角度位置（θ，φ）
の平行光線を発生させている。
【００４５】入射角θは、光線を送出する制御された発
光素子Ｌｉ，ｊの状態によって決まる。
光素子Ｌｉ，ｊの状態によって決まる。
【００４６】絞り１４は円形の絞りであり、レンズ２か
ら発する光線が、物体１から出射された光線の場合に上
述したもののような、レンズ２の光学的可逆性の恩恵を
受けることができる。
ら発する光線が、物体１から出射された光線の場合に上
述したもののような、レンズ２の光学的可逆性の恩恵を
受けることができる。
【００４７】単位領域１０１を照明するための角度位置
（θ，φ）は、実行される解析プログラムの機能として
選択される。このプログラムは、例えば、図１および図
２に関して述べたように、最初は光源を用いずに、次に
角度位置（θ，φ）の光線を送出する光源を用いて、様
々な角度θｉによって物体１を解析することから成る。
この角度は、光源１１の各種発光素子Ｌｉ，ｊを用いた
制御回路７による解析中に変更することができる。
（θ，φ）は、実行される解析プログラムの機能として
選択される。このプログラムは、例えば、図１および図
２に関して述べたように、最初は光源を用いずに、次に
角度位置（θ，φ）の光線を送出する光源を用いて、様
々な角度θｉによって物体１を解析することから成る。
この角度は、光源１１の各種発光素子Ｌｉ，ｊを用いた
制御回路７による解析中に変更することができる。
【００４８】図４は、異なる照明方向における、すなわ
ち、与えられた照明分布を再現するために、光源１１の
別の発光素子Ｌｉ，ｊを活性化させることによる、単位
領域１０１の照明を概略的に示している。図４に示す各
要素には、先の各図と同一の参照符号が付されている。
ち、与えられた照明分布を再現するために、光源１１の
別の発光素子Ｌｉ，ｊを活性化させることによる、単位
領域１０１の照明を概略的に示している。図４に示す各
要素には、先の各図と同一の参照符号が付されている。
【図１】本発明による測定装置を解析される物体の単位
領域から出射された平行光線の軌跡とともに示す図であ
る。
領域から出射された平行光線の軌跡とともに示す図であ
る。
【図２】図１の装置を示す図であり、但し、解析される
物体の同じ単位領域から異なった角度で出射された様々
な光線を概略的に示す図である。
物体の同じ単位領域から異なった角度で出射された様々
な光線を概略的に示す図である。
【図３】解析される物体の単位領域を照明するための装
置を概略的に示す図である。
置を概略的に示す図である。
【図４】物体の単位領域に対して異なる入射角の様々な
光線によって、物体の単位領域を照明した場合を示す図
３と同様な図である。
光線によって、物体の単位領域を照明した場合を示す図
３と同様な図である。
Claims (6)
- 【請求項１】 物体（１）の単位領域（１０１）の特性
を、上記単位領域（１０１）の観察方向において判定す
るために、上記物体、特に液晶画面の光度および色度を
測定するための装置であって、 像焦点面（Ｆｉ）内に、上記単位領域（１０１）のフー
リエ変換（角度強度分布［ａｎｇｕｌａｒ ｉｎｔｅｎ
ｓｉｔｙ ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ］）（１０２）を
生成する測定レンズ（２）と、 一組の検出器（４ｉ，ｊ）から成るセンサ（４）上に、
この角度強度分布の像を形成する転送レンズであって、
上記各検出器は与えられた角度座標について、上記単位
領域（１０１）の光度に対応する電気信号（Ｓｉ，ｊ，
φ）を生じる転送レンズ（３）と、 上記単位領域（１０１）の開口を規定するために、光線
の光路上に存在する絞り（５）と、 上記センサ（４）の各検出セル（４ｉ，ｊ）から上記電
気信号を受信する処理回路（６）とを備えた装置におい
て、 フーリエ変換を生成する上記レンズ（２）に視野レンズ
（１０）を組み合わせ、 これら２つの光学的手段（２，１０）と、上記絞り
（５）によって規定される直径（ｄ）の円形開口との組
み合わせにより、入射角θおよび方位角φを有する光線
に対して、解析される上記物体（１）上に楕円形の測定
領域を選定することを可能とし、 この楕円形領域は、およそ（Ｄ）の短軸とおよそ（Ｄ／
ｃｏｓθ）の長軸を有し、上記短軸に上記長軸を乗算し
た積が１／ｃｏｓθずつ変化し、大きさ（Ｄ）および
（ｄ）は、上記測定レンズ（２）および上記視野レンズ
（１０）によって構成された光学系の倍率によって関係
づけられ、 上記長軸は、光学系の軸および上記楕円形領域（１０
１）の中心から出射される角度（θ）の光線とを通過す
る平面上にあることを特徴とする装置。 - 【請求項２】 光線の光路が、波長選択性フィルタ
（８）すなわち一群の波長に対して選択性を持つフィル
タあるいは偏光フィルタを備えたことを特徴とする請求
項１に記載の装置。 - 【請求項３】 光線の光路が、角度（φ）の解析ライ
ン、特に方位角のラインを規定するスリット（１０）が
設けられていることを特徴とする請求項１に記載の装
置。 - 【請求項４】 上記レンズ（２）の像焦点面の共役平面
内にあり、制御された発光素子から成り、照明用絞りに
よって規定された一定の横断面を持つ光束を用いて上記
物体（１）を上記レンズ（２）を介して照明する光源に
よって構成されている照明装置（１１）を備えたことを
特徴とする請求項１に記載の装置。 - 【請求項５】 上記照明用光源（１１）を上記光学軸か
ら離れるようにずらし、上記物体（１）から出射された
解析光線がそれを通過するようにさせるための半透明ミ
ラー（１２）を備えたことを特徴とする請求項４に記載
の装置。 - 【請求項６】 上記照明用光源（１１）は、特に、セン
サ（４）から送られた信号（Ｓｉ，ｊ，φ）の解析
（６）の結果に応じてマイクロプロセッサ（７）によっ
て制御され、上記物体（１）上で実行される解析の種類
に応じて、与えられた方向においてあるいは与えられた
照度分布にしたがって、選択的な照明を提供することを
特徴とする請求項４に記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9606731 | 1996-05-31 | ||
| FR9606731A FR2749388B1 (fr) | 1996-05-31 | 1996-05-31 | Appareil de mesure des caracteristiques photometriques et colorimetriques d'un objet |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1062303A true JPH1062303A (ja) | 1998-03-06 |
| JP3921275B2 JP3921275B2 (ja) | 2007-05-30 |
Family
ID=9492600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14410397A Expired - Fee Related JP3921275B2 (ja) | 1996-05-31 | 1997-06-02 | 物体の光度および色度を測定するための装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5880845A (ja) |
| JP (1) | JP3921275B2 (ja) |
| KR (1) | KR100425412B1 (ja) |
| DE (1) | DE19722751B4 (ja) |
| FR (1) | FR2749388B1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2007506082A (ja) * | 2003-09-17 | 2007-03-15 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | マイクロエレクトロニクスにおける寸法検査のための光学フーリエ変換の使用 |
| KR100849921B1 (ko) * | 1999-10-26 | 2008-08-04 | 엘딤 | 목적물의 스펙트럼 방사의 공간 분포를 측정하는 장치 |
| US9138362B2 (en) | 2013-07-29 | 2015-09-22 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Folded absorbent article with a fastening system |
| JP2021519927A (ja) * | 2018-03-29 | 2021-08-12 | エルディム | 物体の角度放射とスペクトル放射を同時に測定できるようにする光学装置 |
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|---|---|---|---|---|
| DE19755655A1 (de) * | 1997-12-15 | 1999-06-17 | Logo Kommunikations Und Druckt | Verfahren zur farbmetrischen Charakterisierung eines selbstleuchtenden Abbildungssystems |
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| FR2833743B1 (fr) * | 2001-12-17 | 2004-02-20 | Eldim | Procede et dispositif a faible resolution d'acquisition pour le controle d'un ecran d'affichage |
| WO2006093800A1 (en) * | 2005-02-25 | 2006-09-08 | Nanometrics Incorporated | Apparatus and method for enhanced critical dimension scatterometry |
| US7463369B2 (en) * | 2006-03-29 | 2008-12-09 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Systems and methods for measuring one or more characteristics of patterned features on a specimen |
| US7502104B2 (en) * | 2006-08-10 | 2009-03-10 | Kla-Tencor Corporation | Probe beam profile modulated optical reflectance system and methods |
| US8045179B1 (en) | 2008-07-30 | 2011-10-25 | Kla-Tencor Corporation | Bright and dark field scatterometry systems for line roughness metrology |
| CN102692207B (zh) | 2011-03-25 | 2014-07-30 | 财团法人工业技术研究院 | 量测方法与量测装置 |
| FR2986337B1 (fr) * | 2012-01-31 | 2014-09-05 | Jean-Pierre Lauret | Systeme optique destine a mesurer la brdf, bsdf et bdtf |
| US10349707B2 (en) | 2016-07-05 | 2019-07-16 | Alfatex Nv | Fastener tape |
| US10872403B2 (en) | 2018-08-10 | 2020-12-22 | Micron Technology, Inc. | System for predicting properties of structures, imager system, and related methods |
| FR3107766B1 (fr) | 2020-02-28 | 2022-07-15 | Eldim | Dispositif optique permettant de mesurer rapidement l’émission angulaire d’une source de lumière de surface finie |
| WO2022004147A1 (ja) * | 2020-07-02 | 2022-01-06 | コニカミノルタ株式会社 | 光学特性測定光学系および光学特性測定装置 |
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| DE1472290B2 (de) * | 1966-07-16 | 1970-05-06 | Ernst Leitz Gmbh, 6330 Wetzlar | Zusatzeinrichtung für ein Polarisationsmikroskop |
| JPS58211731A (ja) * | 1982-06-04 | 1983-12-09 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 偏光顕微鏡のコノスコ−プ光学系 |
| FR2613830B1 (fr) * | 1987-04-08 | 1990-11-02 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif pour determiner le contraste d'un ecran d'affichage en fonction de la direction d'observation |
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| JP2769405B2 (ja) * | 1992-04-10 | 1998-06-25 | 浜松ホトニクス株式会社 | 液晶表示パネルの二次元配光分布測定装置 |
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-
1996
- 1996-05-31 FR FR9606731A patent/FR2749388B1/fr not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-05-30 DE DE19722751A patent/DE19722751B4/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-05-30 US US08/866,508 patent/US5880845A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-05-31 KR KR1019970022579A patent/KR100425412B1/ko active IP Right Grant
- 1997-06-02 JP JP14410397A patent/JP3921275B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
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| DE19722751B4 (de) | 2006-08-03 |
| FR2749388B1 (fr) | 1998-08-07 |
| US5880845A (en) | 1999-03-09 |
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| FR2749388A1 (fr) | 1997-12-05 |
| JP3921275B2 (ja) | 2007-05-30 |
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