KR970075860A - 물체의 측광 및 측색 특성을 측정하는 장치 - Google Patents
물체의 측광 및 측색 특성을 측정하는 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR970075860A KR970075860A KR1019970022579A KR19970022579A KR970075860A KR 970075860 A KR970075860 A KR 970075860A KR 1019970022579 A KR1019970022579 A KR 1019970022579A KR 19970022579 A KR19970022579 A KR 19970022579A KR 970075860 A KR970075860 A KR 970075860A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- light
- lens
- angle
- aperture
- path
- Prior art date
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims 1
- 238000011002 quantification Methods 0.000 claims 1
- 239000012491 analyte Substances 0.000 abstract 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/10—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void
- G01J1/20—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle
- G01J1/22—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle using a variable element in the light-path, e.g. filter, polarising means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/46—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1306—Details
- G02F1/1309—Repairing; Testing
Abstract
본 발명은 상 초점 평면(Fi)내에 기본영역(101)의 푸리에 변환(102)을 형성하는 측정 렌즈(2), 검출기(4i, j)에 의해 형성되는 센서(4)상에 기본 영역의 상을 형성하는 트랜스퍼 렌즈(3), 기본 영역(101)의 개구를 한정하는 조리개(5) 및 처리회로(6)를 포함하는, 물체의 측광 및 측색 특성을 측정하는 장치를 제공한다. 푸리에 변환(102)을 발생시키는 측정 렌즈(2)는 시야 렌즈와 연관이 있고, 두개의 광학수단(2, 10)과, 조리개(5)에 의해 한정되는 직경(d)로 이루어진 원형 개구와의 조합으로 인해, 입사각 θ와 방위각 φ를 갖는 어떤 임의의 광성에 대해서, 분석 물체(1)상에 타원 형태의 측정 영역 선택이 가능하다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 분석중인 물체의 기본 영역에 의해 방사되는 평행 광선의 궤적을 갖는 본 발명에 따른 측정 장치를 나타낸 도면, 제2도는 제1도의 측정 장치를 도시한 것으로서, 분석중인 물체의 기본 영역에 의해 방사되는, 상이한 각도를 이루는 여러개의 광선을 개략적으로 나타낸 도면, 제3도는 분석중인 물체의 기본 영역을 투광하기 위한 장치를 개략적으로 도시한 도면, 제4도는 제3와 유사한 도면으로서, 분석중인 물체의 기본 영역에 대해 상이한 입사 각도를 이루는 여러개의 광선으로 상기 물체의 기본 영역을 투광하는 상태를 나타낸 도면.
Claims (6)
- 물체(1), 특히 액정 스크린의 기본 영역(101)의 특성을 그 기본 영역(101)의 관측 방향에서 결정하기 위해, 상기 물체의 측광 및 측색 특성을 측정하는 장치에 있어서, 상기 기본 영역(101)의 푸리에 변환(각도 세기 분포)(102)을 상기 기본 영역의 상 초점 평면(Fi)에 발생시키기 위한 측정 렌즈(2)와; 주어진 각도 좌표에 대해 상기 기본 영역(101)의 빛의 세기에 대응하는 전기적 신호(Si, j, φ)를 각각 제공하는 일련의 검출기(4i, j)로 구성되는 센서(4)상에 상기 각도 세기 분포의 상을 형성하기 위한 트랜스퍼 렌즈(3)와; 상기 기본 영역(101)의 개구를 한정하기 위해 상기 광선의 경로상에 위치하는 조리개(5)와; 상기 센서(4)의 각 검출 셀(4i, j)로부터 상기 전기적 신호를 수신하기 위한 처리 회로를 구비하고, 상기 측정 렌즈(2)는 시야 렌즈(10)와 연관이 있고, 상기 두개의 광학렌즈(2, 10)와, 상기 조리개(5)에 의해 한정되는 직경(d)로 이루어진 원형 개구와의 조합으로 인해, 입사각 θ와 방위각 φ를 갖는 어떤 임의의 광선에 대해서, 상기 분석 물체(1)상에서 타원 형태의 측정 영역 선택이 가능하고, 상기 타원 영역은 단축(D) 및 장축(D/cosθ)으로 구성되어, 1/cosθ, 정량(D) 및 (d)가 상기 측정 렌즈(2) 및 시야 렌즈(10)에 의해 형성되는 광학계의 배율과 관련이 있음으로 인해 상기 단축과 장축의 곱이 변하고; 상기 장축은 상기 광학계의 축 및, 상기 타원 영역의 중심에 의해 방사되는 각도θ를 이루는 광선을 통과하는 평면내에 위치하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 광선의 경로는 파장 선택 필터(8), 즉 일군의 파장중에서 선택가능한 필터 또는 편광 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 광선의 경로는 분석선 특히, 각도φ의 방위각선을 한정하는 슬릿(10)을 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 광선이 경로는 광 제어 요소로 구성되는 상기 렌즈(2)상의 초점 평면의 켤레 평면에 위치하는 광원에 의해 형성되고, 상기 렌즈(2)를 통해 조명 조리개에 의해 한정되는 일정한 횡단면을 갖는 일군의 광선으로 상기 물체(1)를 조명하는 조명 디바이스(11)를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제4항에 있어서, 상기 광선의 경로는 상기 조명 디바이스(11)를 광축으로부터 벗어나게 이동시키고, 분석 광선이 상기 물체(1)에 의해 방사되도록 하기 위한 반 투명 거울(12)을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제4항에 있어서, 상기 광원(11)은 상기 물체(1)에 대해 수행될 분석의 방식에 기초하여 주어진 방향으로 또는 주어진 조명 분포에 따라 선택 조명을 제공하기 위해, 특히 상기 센서(4)에 의해 절달되는 신호(Si, j, φ)의 분석결과에 따라 마이크로프로세서(7)에 의해 제어되는 것을 특징으로 하는 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR9606731 | 1996-05-31 | ||
FR9606731A FR2749388B1 (fr) | 1996-05-31 | 1996-05-31 | Appareil de mesure des caracteristiques photometriques et colorimetriques d'un objet |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR970075860A true KR970075860A (ko) | 1997-12-10 |
KR100425412B1 KR100425412B1 (ko) | 2004-07-19 |
Family
ID=9492600
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019970022579A KR100425412B1 (ko) | 1996-05-31 | 1997-05-31 | 물체의 측광 및 측색 특성을 측정하는 장치 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5880845A (ko) |
JP (1) | JP3921275B2 (ko) |
KR (1) | KR100425412B1 (ko) |
DE (1) | DE19722751B4 (ko) |
FR (1) | FR2749388B1 (ko) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19755655A1 (de) * | 1997-12-15 | 1999-06-17 | Logo Kommunikations Und Druckt | Verfahren zur farbmetrischen Charakterisierung eines selbstleuchtenden Abbildungssystems |
FR2800163B1 (fr) * | 1999-10-26 | 2002-01-18 | Eldim | Dispositif de mesure de la repartition spatiale de l'emission spectrale d'un objet |
US6678046B2 (en) * | 2001-08-28 | 2004-01-13 | Therma-Wave, Inc. | Detector configurations for optical metrology |
FR2833743B1 (fr) * | 2001-12-17 | 2004-02-20 | Eldim | Procede et dispositif a faible resolution d'acquisition pour le controle d'un ecran d'affichage |
FR2859781B1 (fr) | 2003-09-17 | 2007-07-06 | Commissariat Energie Atomique | Utilisation de la transformee de fourier optique pour le controle dimensionnel en microelectronique |
WO2006091913A1 (en) * | 2005-02-25 | 2006-08-31 | Nanometrics Incorporated | Apparatus and method for enhanced critical dimension scatterometry |
US7463369B2 (en) * | 2006-03-29 | 2008-12-09 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Systems and methods for measuring one or more characteristics of patterned features on a specimen |
US7502104B2 (en) * | 2006-08-10 | 2009-03-10 | Kla-Tencor Corporation | Probe beam profile modulated optical reflectance system and methods |
US8045179B1 (en) | 2008-07-30 | 2011-10-25 | Kla-Tencor Corporation | Bright and dark field scatterometry systems for line roughness metrology |
CN102692207B (zh) | 2011-03-25 | 2014-07-30 | 财团法人工业技术研究院 | 量测方法与量测装置 |
FR2986337B1 (fr) * | 2012-01-31 | 2014-09-05 | Jean-Pierre Lauret | Systeme optique destine a mesurer la brdf, bsdf et bdtf |
US9138362B2 (en) | 2013-07-29 | 2015-09-22 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Folded absorbent article with a fastening system |
US10349707B2 (en) | 2016-07-05 | 2019-07-16 | Alfatex Nv | Fastener tape |
FR3079612B1 (fr) | 2018-03-29 | 2021-06-04 | Eldim | Dispositif optique permettant de mesurer simultanement l'emission angulaire et spectrale d'un objet |
US10872403B2 (en) | 2018-08-10 | 2020-12-22 | Micron Technology, Inc. | System for predicting properties of structures, imager system, and related methods |
FR3107766B1 (fr) | 2020-02-28 | 2022-07-15 | Eldim | Dispositif optique permettant de mesurer rapidement l’émission angulaire d’une source de lumière de surface finie |
EP4177659A4 (en) * | 2020-07-02 | 2023-12-27 | Konica Minolta, Inc. | OPTICAL SYSTEM FOR MEASURING OPTICAL PROPERTIES AND DEVICE FOR MEASURING OPTICAL PROPERTIES |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1472290B2 (de) * | 1966-07-16 | 1970-05-06 | Ernst Leitz Gmbh, 6330 Wetzlar | Zusatzeinrichtung für ein Polarisationsmikroskop |
JPS58211731A (ja) * | 1982-06-04 | 1983-12-09 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 偏光顕微鏡のコノスコ−プ光学系 |
FR2613830B1 (fr) * | 1987-04-08 | 1990-11-02 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif pour determiner le contraste d'un ecran d'affichage en fonction de la direction d'observation |
US5106183A (en) * | 1987-11-25 | 1992-04-21 | Taunton Technologies, Inc. | Topography measuring apparatus |
US5182614A (en) * | 1991-01-31 | 1993-01-26 | Fmc Corporation | Two-dimensional profile detection system |
JP2769405B2 (ja) * | 1992-04-10 | 1998-06-25 | 浜松ホトニクス株式会社 | 液晶表示パネルの二次元配光分布測定装置 |
US5477332A (en) * | 1992-12-17 | 1995-12-19 | Mcdonnell Douglas Corporation | Digital image system and method for determining surface reflective and refractive characteristics of objects |
FR2729220B1 (fr) * | 1995-01-06 | 1997-04-04 | Eldim | Dispositif de mesure colorimetrique d'un ecran d'affichage |
-
1996
- 1996-05-31 FR FR9606731A patent/FR2749388B1/fr not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-05-30 DE DE19722751A patent/DE19722751B4/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-05-30 US US08/866,508 patent/US5880845A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-05-31 KR KR1019970022579A patent/KR100425412B1/ko active IP Right Grant
- 1997-06-02 JP JP14410397A patent/JP3921275B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2749388B1 (fr) | 1998-08-07 |
JP3921275B2 (ja) | 2007-05-30 |
KR100425412B1 (ko) | 2004-07-19 |
JPH1062303A (ja) | 1998-03-06 |
DE19722751A1 (de) | 1997-12-04 |
DE19722751B4 (de) | 2006-08-03 |
US5880845A (en) | 1999-03-09 |
FR2749388A1 (fr) | 1997-12-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR970075860A (ko) | 물체의 측광 및 측색 특성을 측정하는 장치 | |
KR100293126B1 (ko) | 검사장치 | |
US4053229A (en) | 2°/90° Laboratory scattering photometer | |
EP0856728B1 (en) | Optical method and apparatus for detecting defects | |
WO1993016373A1 (en) | Apparatus for optical inspection of patterned substrates | |
US3600568A (en) | Lighting arrangement | |
JPH05142159A (ja) | 光学検査装置 | |
HU229699B1 (en) | Imaging optical checking device with pinhole camera (reflectometer, polarimeter, ellipsicmeter) | |
GB1266971A (ko) | ||
US6166813A (en) | Retroreflectometer and method for measuring retroreflectivity of materials | |
FI78355B (fi) | Metod foer maetning av glans och apparatur foer tillaempning av metoden. | |
JPH0694515A (ja) | 光発散特性測定装置 | |
JP4054424B2 (ja) | 光学レンズ又はミラートレインにおけるフーリエ操作の方法及び装置 | |
JPH11183326A (ja) | レンズの測定装置及び測定方法 | |
JPH11230823A (ja) | 測光装置 | |
EP0022506A1 (en) | Optical measuring apparatus | |
JPH08166514A (ja) | 斜光照明装置 | |
JP3388285B2 (ja) | 検査装置 | |
US4181435A (en) | Holographic field lens detector | |
JP3871415B2 (ja) | 分光透過率測定装置 | |
US11054365B2 (en) | Microscopic analysis device | |
KR970071042A (ko) | 광학 모니터용 텔레센트릭 반사 헤드 | |
US4968139A (en) | Illuminating system for the visual inspection of objects | |
GB1598648A (en) | Method of determining a characteristic of an optical component | |
US5053629A (en) | Microdensitometer with submicron resolution having dual diaphragms and dual microscopes |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130314 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140306 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160307 Year of fee payment: 13 |