JPH1057954A - 紫外線照射装置の紫外線照射量測定装置 - Google Patents
紫外線照射装置の紫外線照射量測定装置Info
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- JPH1057954A JPH1057954A JP23125696A JP23125696A JPH1057954A JP H1057954 A JPH1057954 A JP H1057954A JP 23125696 A JP23125696 A JP 23125696A JP 23125696 A JP23125696 A JP 23125696A JP H1057954 A JPH1057954 A JP H1057954A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 透光管の洗浄時期と紫外線ランプの交換時期
を正確、適切に検知し、紫外線照射処理液の純度等を向
上させ、紫外線照射処理コストを低減させる。 【手段】 紫外線ランプを内蔵した透光管を挿填して被
処理液に紫外線照射を行う処理筒の側面に、二つの透過
窓を透光管との距離を異なえて設け、各透過窓にフォト
ダイオード等の光センサーを付設し、二つの光センサー
によってそれぞれ紫外線出力を測定して、被処理液中の
濁度等の不純物に起因する紫外線出力の低下値を算定
し、これを全紫外線出力低下値からカットすることによ
って、紫外線ランプの出力低下値のみを測定し、光セン
サーによって紫外線ランプの規定減衰出力値以下に低下
したことを検知して透光管に付着した汚染洗浄、紫外線
ランプの交換を行う紫外線照射装置の紫外線出力測定装
置。
を正確、適切に検知し、紫外線照射処理液の純度等を向
上させ、紫外線照射処理コストを低減させる。 【手段】 紫外線ランプを内蔵した透光管を挿填して被
処理液に紫外線照射を行う処理筒の側面に、二つの透過
窓を透光管との距離を異なえて設け、各透過窓にフォト
ダイオード等の光センサーを付設し、二つの光センサー
によってそれぞれ紫外線出力を測定して、被処理液中の
濁度等の不純物に起因する紫外線出力の低下値を算定
し、これを全紫外線出力低下値からカットすることによ
って、紫外線ランプの出力低下値のみを測定し、光セン
サーによって紫外線ランプの規定減衰出力値以下に低下
したことを検知して透光管に付着した汚染洗浄、紫外線
ランプの交換を行う紫外線照射装置の紫外線出力測定装
置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、紫外線照射によって被
処理液中の細菌の殺菌、有機物の酸化分解、有害物の分
解等の処理を行う紫外線照射装置の紫外線出力測定装置
に関するものである。
処理液中の細菌の殺菌、有機物の酸化分解、有害物の分
解等の処理を行う紫外線照射装置の紫外線出力測定装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体や医薬品の製造の分野等において
は、細菌、有機物、有害物等の不純物を除去した超純水
等の高純度の処理液が使用されているが、この高純度の
処理液を製造するについては、原液である被処理液に含
まれている細菌、有機物、有害物等の不純物を紫外線照
射処理、すなわち細菌の殺菌、有機物の酸化分解、有害
物の分解等を行うことによって除去している。
は、細菌、有機物、有害物等の不純物を除去した超純水
等の高純度の処理液が使用されているが、この高純度の
処理液を製造するについては、原液である被処理液に含
まれている細菌、有機物、有害物等の不純物を紫外線照
射処理、すなわち細菌の殺菌、有機物の酸化分解、有害
物の分解等を行うことによって除去している。
【０００３】被処理液に含まれている不純物の紫外線照
射処理を継続していると、透光管の表面に被処理液中の
不純物が付着することにより、あるいは紫外線ランプの
経時劣化による性能低下によって、紫外線出力（照度）
が低下することは避けられない。
射処理を継続していると、透光管の表面に被処理液中の
不純物が付着することにより、あるいは紫外線ランプの
経時劣化による性能低下によって、紫外線出力（照度）
が低下することは避けられない。
【０００４】したがって、前述した紫外線照射処理を効
率的に行うには、紫外線出力（照度）の低下を測定し
て、透光管を洗浄して表面に付着した不純物を除去した
り、あるいは経時劣化によって性能が低下した紫外線ラ
ンプを新しいものに交換する必要があり、従来の場合、
処理筒側面の透過窓に固定したフォトダイオード等の光
センサーによって、紫外線出力の低下を測定していた。
率的に行うには、紫外線出力（照度）の低下を測定し
て、透光管を洗浄して表面に付着した不純物を除去した
り、あるいは経時劣化によって性能が低下した紫外線ラ
ンプを新しいものに交換する必要があり、従来の場合、
処理筒側面の透過窓に固定したフォトダイオード等の光
センサーによって、紫外線出力の低下を測定していた。
【０００５】すなわち、フォトダイオード等の光センサ
ーで紫外線出力の低下を測定するについて、初期設定と
して、紫外線ランプを交換するシグナルを発信する紫外
線出力の規定減衰出力値を決めて置き、紫外線照射処理
中に、光センサーが紫外線出力の規定減衰出力値以下に
なったことを検知、シグナル発信をして、性能の低下し
た紫外線ランプを新しいものに交換していた。
ーで紫外線出力の低下を測定するについて、初期設定と
して、紫外線ランプを交換するシグナルを発信する紫外
線出力の規定減衰出力値を決めて置き、紫外線照射処理
中に、光センサーが紫外線出力の規定減衰出力値以下に
なったことを検知、シグナル発信をして、性能の低下し
た紫外線ランプを新しいものに交換していた。
【０００６】したがって、光センサーによって紫外線出
力の低下を測定するのは、（１）紫外線ランプの経時劣
化による性能低下、（２）透光管の表面に不純物が付着
して起こる汚染とをチェックすれば十分であり、これに
よって、紫外線ランプを性能のある限り使用し、汚染さ
れた透光管だけを洗浄すればよい。
力の低下を測定するのは、（１）紫外線ランプの経時劣
化による性能低下、（２）透光管の表面に不純物が付着
して起こる汚染とをチェックすれば十分であり、これに
よって、紫外線ランプを性能のある限り使用し、汚染さ
れた透光管だけを洗浄すればよい。
【０００７】しかし、紫外線照射処理において、光セン
サーによって紫外線出力の低下を測定する場合、光セン
サーが読み取る情報としては、前述した（１）紫外線ラ
ンプの経時劣化による性能低下、（２）透光管の表面に
不純物が付着して起こる汚染以外に、（３）被処理液中
の濁度等の不純物の増加（被処理液の透過率の低下）が
あり、光センサーはこれらを区別なく読み取って、紫外
線出力値として表示してしまう欠点がある。
サーによって紫外線出力の低下を測定する場合、光セン
サーが読み取る情報としては、前述した（１）紫外線ラ
ンプの経時劣化による性能低下、（２）透光管の表面に
不純物が付着して起こる汚染以外に、（３）被処理液中
の濁度等の不純物の増加（被処理液の透過率の低下）が
あり、光センサーはこれらを区別なく読み取って、紫外
線出力値として表示してしまう欠点がある。
【０００８】したがって、被処理液中の濁度等の不純物
量（被処理液の透過率）が一定である場合はよいが、被
処理液中の濁度等の不純物量が急激に増加して一時的に
紫外線出力が低下した場合には、これをストレートに読
み取って、紫外線出力が規定減衰出力値以下になったこ
とを検知、発信して、紫外線ランプの交換を行うことに
なり、性能の低下していない紫外線ランプを新しいもの
に交換する問題を抱えていた。
量（被処理液の透過率）が一定である場合はよいが、被
処理液中の濁度等の不純物量が急激に増加して一時的に
紫外線出力が低下した場合には、これをストレートに読
み取って、紫外線出力が規定減衰出力値以下になったこ
とを検知、発信して、紫外線ランプの交換を行うことに
なり、性能の低下していない紫外線ランプを新しいもの
に交換する問題を抱えていた。
【０００９】たとえば、紫外線照射を行う処理筒に挿填
した紫外線ランプを内蔵した透光管と処理筒の側面の透
過窓に付設した光センサー（フォトダイオード）との距
離を３ｃｍにし、光センサーが検知する規定紫外線出力
維持率を５５％にセットとして、以下に述べるような被
処理液の紫外線照射処理を行った（被処理液中の濁度等
の不純物量（紫外線透過率）は変動しないことを前提と
した）。
した紫外線ランプを内蔵した透光管と処理筒の側面の透
過窓に付設した光センサー（フォトダイオード）との距
離を３ｃｍにし、光センサーが検知する規定紫外線出力
維持率を５５％にセットとして、以下に述べるような被
処理液の紫外線照射処理を行った（被処理液中の濁度等
の不純物量（紫外線透過率）は変動しないことを前提と
した）。
【００１０】 初期設定 第１検知時 第１洗浄時 第２検知時 第２洗浄時 ＊被処理液の 紫外線透過率 70% 70% 70% 70% 70% ＊紫外線ランプ の出力維持率 100% 60% 60% 55% 55% ＊透光管の 非汚染度 100% 85% 100% 85% 100% ＊光センサー の表示値 100% 51% 60% 47% 55%
【００１１】第１検知時に光センサーの紫外線出力値が
５１％に低下したが、第１洗浄時に透光管を洗浄する
と、紫外線ランプの出力維持率は６０％に回復し、紫外
線ランプを新しいものに交換する必要はないと判断でき
た。また、第２検知時に光センサーの紫外線出力値は４
７％まで低下したが、第２洗浄時に透光管を洗浄して
も、紫外線ランプの出力維持率は５５％までしか回復せ
ず、紫外線ランプを新しいものに交換する必要があると
判断できた。
５１％に低下したが、第１洗浄時に透光管を洗浄する
と、紫外線ランプの出力維持率は６０％に回復し、紫外
線ランプを新しいものに交換する必要はないと判断でき
た。また、第２検知時に光センサーの紫外線出力値は４
７％まで低下したが、第２洗浄時に透光管を洗浄して
も、紫外線ランプの出力維持率は５５％までしか回復せ
ず、紫外線ランプを新しいものに交換する必要があると
判断できた。
【００１２】しかし、前述した紫外線照射処理におい
て、被処理液中の濁度等の不純物が増加（紫外線透過率
が低下）すると、光センサーが読み取る紫外線出力低下
情報としては、紫外線ランプの経時劣化による性能低下
のファクターと透光管の表面への不純物の付着のファク
ター以外に、被処理液中の濁度等の不純物の増加のファ
クターも入力されて、以下のように、紫外線ランプの交
換時期の判断を誤り易い問題がある。
て、被処理液中の濁度等の不純物が増加（紫外線透過率
が低下）すると、光センサーが読み取る紫外線出力低下
情報としては、紫外線ランプの経時劣化による性能低下
のファクターと透光管の表面への不純物の付着のファク
ター以外に、被処理液中の濁度等の不純物の増加のファ
クターも入力されて、以下のように、紫外線ランプの交
換時期の判断を誤り易い問題がある。
【００１３】 初期設定 第３検知時 第４検知時 ＊被処理液の 紫外線透過率 70% 80% 50% ＊紫外線ランプ の出力維持率 100% 55% 70% ＊透光管の 非汚染度 100% 85% 100% ＊光センサー の表示値 100% #1 70% #2 26% #1 (0.8/0.7)3 × 0.55 ×0.85 #2 (0.5/0.7)3× 0.70 ×1.00
【００１４】被処理液中の濁度等の不純物の急激な減少
の結果、第３検知時に光センサーの紫外線出力値は７０
％に上昇したために、紫外線ランプの出力維持率が５５
％に低下していたことを見逃して、紫外線ランプを新し
いものに交換する時期を逸して紫外線照射処理液の純度
等を低下させる問題があった。
の結果、第３検知時に光センサーの紫外線出力値は７０
％に上昇したために、紫外線ランプの出力維持率が５５
％に低下していたことを見逃して、紫外線ランプを新し
いものに交換する時期を逸して紫外線照射処理液の純度
等を低下させる問題があった。
【００１５】また、被処理液中の濁度等の不純物の急激
な増加の結果、第４検知時に光センサーの紫外線出力値
は２６％に低下したために、紫外線ランプの性能が低下
したと判断して、十分に寿命のある紫外線ランプを新し
いものに交換して紫外線照射処理コストを増加させる問
題があった。
な増加の結果、第４検知時に光センサーの紫外線出力値
は２６％に低下したために、紫外線ランプの性能が低下
したと判断して、十分に寿命のある紫外線ランプを新し
いものに交換して紫外線照射処理コストを増加させる問
題があった。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前述した従
来の紫外線照射装置の紫外線出力測定装置が抱えている
問題点を改善するもので、処理筒に付設したフォトダイ
オード等の光センサーによって、紫外線出力を測定し
て、被処理液中の濁度等の不純物の増加に起因する紫外
線出力低下値を算定して排除して、紫外線ランプの経時
劣化による性能低下に起因する紫外線出力低下値と透光
管の表面への不純物の付着による紫外線出力低下値を基
準として、透光管の洗浄時期と紫外線ランプの交換時期
を正確、適切に検知することによって、紫外線照射処理
液の純度等を向上させるとともに、被処理液の紫外線照
射処理コストを低減させることに目的がある。
来の紫外線照射装置の紫外線出力測定装置が抱えている
問題点を改善するもので、処理筒に付設したフォトダイ
オード等の光センサーによって、紫外線出力を測定し
て、被処理液中の濁度等の不純物の増加に起因する紫外
線出力低下値を算定して排除して、紫外線ランプの経時
劣化による性能低下に起因する紫外線出力低下値と透光
管の表面への不純物の付着による紫外線出力低下値を基
準として、透光管の洗浄時期と紫外線ランプの交換時期
を正確、適切に検知することによって、紫外線照射処理
液の純度等を向上させるとともに、被処理液の紫外線照
射処理コストを低減させることに目的がある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】本発明は、紫外線照射装
置の紫外線出力測定装置に関するものであり、紫外線ラ
ンプを内蔵した透光管を挿填して被処理液中の細菌の殺
菌、有機物の酸化分解、有害物の分解等の紫外線照射を
行う処理筒の側面に透過窓を設け、透過窓に近接させて
フォトダイオード等の光センサーを付設し、光センサー
によって紫外線出力の測定を行い、予め設定した紫外線
ランプの規定減衰出力値以下に低下したことを検知し
て、透光管の洗浄、紫外線ランプの交換を行うについ
て、処理筒の側面に二つの透過窓を透光管との距離を異
なえて設け、各透過窓にフォトダイオード等の光センサ
ーを付設し、二つの光センサーによってそれぞれ紫外線
出力を測定して、被処理液中の濁度等の不純物に起因す
る紫外線出力の低下値を算定し、これを全紫外線出力低
下値からカットすることによって、紫外線ランプの出力
低下値のみを測定し、光センサーによって紫外線ランプ
の規定減衰出力値以下に低下したことを検知して透光管
に付着した汚染洗浄、紫外線ランプの交換を行うことに
特徴がある。
置の紫外線出力測定装置に関するものであり、紫外線ラ
ンプを内蔵した透光管を挿填して被処理液中の細菌の殺
菌、有機物の酸化分解、有害物の分解等の紫外線照射を
行う処理筒の側面に透過窓を設け、透過窓に近接させて
フォトダイオード等の光センサーを付設し、光センサー
によって紫外線出力の測定を行い、予め設定した紫外線
ランプの規定減衰出力値以下に低下したことを検知し
て、透光管の洗浄、紫外線ランプの交換を行うについ
て、処理筒の側面に二つの透過窓を透光管との距離を異
なえて設け、各透過窓にフォトダイオード等の光センサ
ーを付設し、二つの光センサーによってそれぞれ紫外線
出力を測定して、被処理液中の濁度等の不純物に起因す
る紫外線出力の低下値を算定し、これを全紫外線出力低
下値からカットすることによって、紫外線ランプの出力
低下値のみを測定し、光センサーによって紫外線ランプ
の規定減衰出力値以下に低下したことを検知して透光管
に付着した汚染洗浄、紫外線ランプの交換を行うことに
特徴がある。
【００１８】また、本発明は、紫外線照射装置の紫外線
出力測定装置に関するもので、処理筒の側面にフォトダ
イオード等の光センサーを摺動可能に挿填し、この光セ
ンサーを摺動させて透光管との距離が異なる二個所にセ
ットして光センサーによって紫外線出力を測定して、被
処理液中の濁度等の不純物に起因する紫外線出力の低下
値を算定し、これを全紫外線出力低下値からカットする
ことによって、紫外線ランプの出力低下値のみを測定
し、光センサーによって紫外線ランプの規定減衰出力値
以下に低下したことを検知して透光管に付着した汚染洗
浄、紫外線ランプの交換を行うことに特徴がある。
出力測定装置に関するもので、処理筒の側面にフォトダ
イオード等の光センサーを摺動可能に挿填し、この光セ
ンサーを摺動させて透光管との距離が異なる二個所にセ
ットして光センサーによって紫外線出力を測定して、被
処理液中の濁度等の不純物に起因する紫外線出力の低下
値を算定し、これを全紫外線出力低下値からカットする
ことによって、紫外線ランプの出力低下値のみを測定
し、光センサーによって紫外線ランプの規定減衰出力値
以下に低下したことを検知して透光管に付着した汚染洗
浄、紫外線ランプの交換を行うことに特徴がある。
【００１９】
【発明の実施形態】以下、本発明の実施態様の一例を図
１にしたがって説明すると、被処理液中の細菌の殺菌、
有機物の酸化分解、有害物の分解等の紫外線照射処理を
行うステンレス製の処理槽１であって、その内部には、
紫外線ランプ２を内蔵した石英ガラスよりなる透光管３
を挿填した公知の構造を有するものである。
１にしたがって説明すると、被処理液中の細菌の殺菌、
有機物の酸化分解、有害物の分解等の紫外線照射処理を
行うステンレス製の処理槽１であって、その内部には、
紫外線ランプ２を内蔵した石英ガラスよりなる透光管３
を挿填した公知の構造を有するものである。
【００２０】そして、本発明においては、この処理槽１
の側面に二つの透過窓４ａと４ｂを設け、この透過窓４
ａと透過窓４ｂに石英ガラス板５を設ける。そして、透
過窓４ａの石英ガラス板５と透光管３との距離をＡ、透
過窓４ｂの石英ガラス板５と透光管３との距離をＢと異
なえ、たとえば、前者の距離を２〜１０ｃｍ、後者の距
離を３〜１２ｃｍと、距離を異なえる点に特徴がある。
の側面に二つの透過窓４ａと４ｂを設け、この透過窓４
ａと透過窓４ｂに石英ガラス板５を設ける。そして、透
過窓４ａの石英ガラス板５と透光管３との距離をＡ、透
過窓４ｂの石英ガラス板５と透光管３との距離をＢと異
なえ、たとえば、前者の距離を２〜１０ｃｍ、後者の距
離を３〜１２ｃｍと、距離を異なえる点に特徴がある。
【００２１】すなわち、透光管３との距離を異なえた透
過窓４ａと透過窓４ｂの石英ガラス板５に近接して、光
センサーとしてのフォトダイオード６ａと６ｂを付設し
て、処理槽１内に流入する被処理液中の濁度等の不純物
に起因する紫外線出力の低下値を、それぞれ、前述した
ように距離を異なえて測定し、フォトダイオード６ｂの
紫外線出力値より、フォトダイオード６ａの紫外線出力
値を差し引いて、被処理液中の濁度等の不純物に起因す
る紫外線出力の低下値を算出するようにする点に特徴が
ある。
過窓４ａと透過窓４ｂの石英ガラス板５に近接して、光
センサーとしてのフォトダイオード６ａと６ｂを付設し
て、処理槽１内に流入する被処理液中の濁度等の不純物
に起因する紫外線出力の低下値を、それぞれ、前述した
ように距離を異なえて測定し、フォトダイオード６ｂの
紫外線出力値より、フォトダイオード６ａの紫外線出力
値を差し引いて、被処理液中の濁度等の不純物に起因す
る紫外線出力の低下値を算出するようにする点に特徴が
ある。
【００２２】透過窓４ａ、４ｂには石英ガラス板５以外
に、フッ素樹脂等の紫外線の透過性のよい材質を使用で
き、またフォトダイオード６ａ、６ｂとしては、たとえ
ば、浜松ホトニックス社製のＳ１２２６−８ＢＱが最適
であるが、これ以外にもＳ１２２７−１６ＢＱも使用す
ることができ、またフォトダイオード７以外にも光電
管、たとえば、浜松ホトニックス社製のＲ１２２８もを
光センサーとして使用できる。なお、紫外線照射筒１に
挿填する紫外線ランプ２としては、主波長２５４ｎｍの
低圧殺菌ランプ、主波長１８５ｎｍ、２５４ｎｍの低圧
オゾンランプ、主波長１８５ｎｍ、２５４ｎｍ、３６５
ｎｍの中・高圧ランプを用い、たとえば、（株）日本フ
ォトサイエンス製のＡＹ−４、ＡＹ−６、ＡＶ−２の紫
外線ランプをそれぞれ使用すればよい。
に、フッ素樹脂等の紫外線の透過性のよい材質を使用で
き、またフォトダイオード６ａ、６ｂとしては、たとえ
ば、浜松ホトニックス社製のＳ１２２６−８ＢＱが最適
であるが、これ以外にもＳ１２２７−１６ＢＱも使用す
ることができ、またフォトダイオード７以外にも光電
管、たとえば、浜松ホトニックス社製のＲ１２２８もを
光センサーとして使用できる。なお、紫外線照射筒１に
挿填する紫外線ランプ２としては、主波長２５４ｎｍの
低圧殺菌ランプ、主波長１８５ｎｍ、２５４ｎｍの低圧
オゾンランプ、主波長１８５ｎｍ、２５４ｎｍ、３６５
ｎｍの中・高圧ランプを用い、たとえば、（株）日本フ
ォトサイエンス製のＡＹ−４、ＡＹ−６、ＡＶ−２の紫
外線ランプをそれぞれ使用すればよい。
【００２３】たとえば、透過窓４ａ（石英ガラス板５）
に設けたフォトダイオード６ａと透光管３との距離を３
ｃｍ、透過窓４ｂ（石英ガラス板５）に設けたフォトダ
イオード６ｂと透光管３との距離を４ｃｍにするが、紫
外線出力装置を製造する際に、フォトダイオード６ａと
６ｂと透光管３との距離を３ｃｍの同じ距離で、予め紫
外線ランプの規定減衰出力値に初期設定を行った後、フ
ォトダイオード６ｂのみを透光管３との距離を４ｃｍに
セットし直す。
に設けたフォトダイオード６ａと透光管３との距離を３
ｃｍ、透過窓４ｂ（石英ガラス板５）に設けたフォトダ
イオード６ｂと透光管３との距離を４ｃｍにするが、紫
外線出力装置を製造する際に、フォトダイオード６ａと
６ｂと透光管３との距離を３ｃｍの同じ距離で、予め紫
外線ランプの規定減衰出力値に初期設定を行った後、フ
ォトダイオード６ｂのみを透光管３との距離を４ｃｍに
セットし直す。
【００２４】そして、被処理液中の濁度等の不純物に起
因する紫外線出力値を、フォトダイオード６ａと６ｂに
よってそれぞれ測定し、フォトダイオード６ｂの紫外線
出力値をフォトダイオード６ａの紫外線出力値で割るこ
とによって紫外線透過率を算定し、フォトダイオード６
ａの紫外線出力値を、（フォトダイオード６ｂの初期設
定値÷紫外線透過率）の３乗で割って、紫外線ランプ１
の出力維持率と透光管３の非汚染度を算出する。
因する紫外線出力値を、フォトダイオード６ａと６ｂに
よってそれぞれ測定し、フォトダイオード６ｂの紫外線
出力値をフォトダイオード６ａの紫外線出力値で割るこ
とによって紫外線透過率を算定し、フォトダイオード６
ａの紫外線出力値を、（フォトダイオード６ｂの初期設
定値÷紫外線透過率）の３乗で割って、紫外線ランプ１
の出力維持率と透光管３の非汚染度を算出する。
【００２５】前述したように、たとえば、一方の透過窓
４ａに設けたフォトダイオード６ａ透光管３との距離を
３ｃｍ、他方の透過窓４ｂに設けたフォトダイオード６
ｂと透光管３との距離を４ｃｍにし、また、紫外線ラン
プ１の規定出力維持率を５５％以下になったときに紫外
線ランプ１の交換を行い、さらに透光管３の非汚染度８
５％以上になったときに透光管３の洗浄を行うように、
それぞれ設定し、さらに、以下に述べるような初期設定
をして、被処理液の紫外線照射処理を行って、紫外線ラ
ンプ１の交換時期または透光管３の洗浄時期を検知し
た。
４ａに設けたフォトダイオード６ａ透光管３との距離を
３ｃｍ、他方の透過窓４ｂに設けたフォトダイオード６
ｂと透光管３との距離を４ｃｍにし、また、紫外線ラン
プ１の規定出力維持率を５５％以下になったときに紫外
線ランプ１の交換を行い、さらに透光管３の非汚染度８
５％以上になったときに透光管３の洗浄を行うように、
それぞれ設定し、さらに、以下に述べるような初期設定
をして、被処理液の紫外線照射処理を行って、紫外線ラ
ンプ１の交換時期または透光管３の洗浄時期を検知し
た。
【００２６】 初期設定 第１検知 第２検知 第３検知 第４検知 (a) 被処理液の 紫外線透過率 70% 70% 70% 80% 50% (b) 紫外線ランプ の出力維持率 100% 60% 55% 55% 70% (c) 透光管の 非汚染度 100% 85% 85% 85% 100% (d)第1フォトタ゛イオート゛ ＵＶ出力値 100% 51% 47% 70% 26% （３ｃｍ） (e)第2フォトタ゛イオート゛ ＵＶ出力値 70% 36% 33% 56% 13% （４ｃｍ） (f)第2フォトタ゛イオート゛ ＵＶ出力／ 70% 70% 70% 80% 50% 第1フォトタ゛イオート゛ ＵＶ出力（×100)
【００２７】前述の表に示すように、被処理液中の濁度
等の不純物に起因する紫外線出力値を（ｄ）の第１フォ
トダイオードと（ｅ）の第２フォトダイオードで測定
し、（ｅ）の第２フォトダイオードの紫外線出力値を
（ｄ）の第１フォトダイオードの紫外線出力値で割るこ
とによって紫外線透過率を算定し、（ｄ）の第１フォト
ダイオードの紫外線出力値を、（（ｅ）の第２フォトダ
イオードの初期設定値÷紫外線透過率）の３乗で割っ
て、紫外線ランプの出力維持率と透光管の非汚染度を算
出して、紫外線ランプの交換または透光管の洗浄を行う
信号を出せばよい。
等の不純物に起因する紫外線出力値を（ｄ）の第１フォ
トダイオードと（ｅ）の第２フォトダイオードで測定
し、（ｅ）の第２フォトダイオードの紫外線出力値を
（ｄ）の第１フォトダイオードの紫外線出力値で割るこ
とによって紫外線透過率を算定し、（ｄ）の第１フォト
ダイオードの紫外線出力値を、（（ｅ）の第２フォトダ
イオードの初期設定値÷紫外線透過率）の３乗で割っ
て、紫外線ランプの出力維持率と透光管の非汚染度を算
出して、紫外線ランプの交換または透光管の洗浄を行う
信号を出せばよい。
【００２８】なお、装置使用前に、予め紫外線ランプの
規定出力維持率を５５％以下（紫外線ランプの交換）、
透光管の非汚染度８５％以上（透光管の洗浄）にそれぞ
れ設定しているので、０．５５×０．８５＝０．４７で
あり、すなわち、（ｄ）の第１フォトダイオードの紫外
線出力値の４７％以下で警報信号を発して、紫外線ラン
プの交換または透光管の洗浄を行う。
規定出力維持率を５５％以下（紫外線ランプの交換）、
透光管の非汚染度８５％以上（透光管の洗浄）にそれぞ
れ設定しているので、０．５５×０．８５＝０．４７で
あり、すなわち、（ｄ）の第１フォトダイオードの紫外
線出力値の４７％以下で警報信号を発して、紫外線ラン
プの交換または透光管の洗浄を行う。
【００２９】すなわち、前述した被処理液の紫外線照射
処理において、光センサーによって紫外線出力を測定し
て紫外線ランプの交換時期または透光管の洗浄時期を検
知するために必要な情報は（ｂ）の紫外線ランプの規定
出力維持率×（ｃ）の透光管の非汚染度の積であるが、
この値は（ｄ）の第一フォトダイオードの紫外線出力値
×（（ｆ）の初期設定値÷（ｆ）の各検知時の値）3 で
得ることができ、たとえば、第３検知時の場合には、７
０％×（７０％÷８０％）3 ＝４７％となり、警報信号
を発して、紫外線ランプの交換または透光管の洗浄を行
う。
処理において、光センサーによって紫外線出力を測定し
て紫外線ランプの交換時期または透光管の洗浄時期を検
知するために必要な情報は（ｂ）の紫外線ランプの規定
出力維持率×（ｃ）の透光管の非汚染度の積であるが、
この値は（ｄ）の第一フォトダイオードの紫外線出力値
×（（ｆ）の初期設定値÷（ｆ）の各検知時の値）3 で
得ることができ、たとえば、第３検知時の場合には、７
０％×（７０％÷８０％）3 ＝４７％となり、警報信号
を発して、紫外線ランプの交換または透光管の洗浄を行
う。
【００３０】なお、第１検知時の場合には、５１％×
（７０％÷７０％）＝５１％であり、警報信号を発せ
ず、紫外線ランプの交換または透光管の洗浄は行わな
い。
（７０％÷７０％）＝５１％であり、警報信号を発せ
ず、紫外線ランプの交換または透光管の洗浄は行わな
い。
【００３１】また、第２検知時の場合には、４７％×
（７０％÷７０％）＝４７％であるので、警報信号を発
して、紫外線ランプの交換または透光管の洗浄を行う。
（７０％÷７０％）＝４７％であるので、警報信号を発
して、紫外線ランプの交換または透光管の洗浄を行う。
【００３２】さらに、第４検知時の場合には、２６％×
（７０％÷５０％）＝７１％であり、警報信号を発せ
ず、紫外線ランプの交換または透光管の洗浄は行わな
い。
（７０％÷５０％）＝７１％であり、警報信号を発せ
ず、紫外線ランプの交換または透光管の洗浄は行わな
い。
【００３３】４７％以下になった場合に、すぐに紫外線
ランプの交換を行わず、まず、透光管の洗浄を行うこと
によって、４７％よりかなり回復した場合には、この紫
外線ランプは性能があるので、新しいものに交換せずに
使用し、透光管を洗浄行っても、４７％以下である場合
に、この能力の低下した紫外線ランプを新しいものに交
換するような確認操作を付け加えてもかまわない。
ランプの交換を行わず、まず、透光管の洗浄を行うこと
によって、４７％よりかなり回復した場合には、この紫
外線ランプは性能があるので、新しいものに交換せずに
使用し、透光管を洗浄行っても、４７％以下である場合
に、この能力の低下した紫外線ランプを新しいものに交
換するような確認操作を付け加えてもかまわない。
【００３４】本発明の他の実施態様の一例を図２にした
がって説明すると、ステンレス製の処理槽１であって、
その内部には、紫外線ランプ２を内蔵した石英ガラスよ
りなる透光管３を挿填した構造を有するものであること
は、前述した実施例の場合と同様である。
がって説明すると、ステンレス製の処理槽１であって、
その内部には、紫外線ランプ２を内蔵した石英ガラスよ
りなる透光管３を挿填した構造を有するものであること
は、前述した実施例の場合と同様である。
【００３５】しかし、前述した実施例の場合と異なる点
は、この処理槽１の側面に、光センサーとして、フォト
ダイオード６を内蔵した測定筒７を摺動可能に、水封状
態に挿填し、このフォトダイオード６を内蔵した測定筒
７を摺動させることによって、フォトダイオード６を透
光管３との距離が異なるＡ点とＢ点の二個所にセットで
きるように構成したことにある。
は、この処理槽１の側面に、光センサーとして、フォト
ダイオード６を内蔵した測定筒７を摺動可能に、水封状
態に挿填し、このフォトダイオード６を内蔵した測定筒
７を摺動させることによって、フォトダイオード６を透
光管３との距離が異なるＡ点とＢ点の二個所にセットで
きるように構成したことにある。
【００３６】そして、この二点の位置にセットしたフォ
トダイオード６によって紫外線出力を測定して、被処理
液中の濁度等の不純物に起因する紫外線出力の低下値を
算定し、これを全紫外線出力低下値からカットすること
によって、紫外線ランプ１の出力低下値のみを測定し、
フォトダイオード６によって紫外線ランプ１の規定減衰
出力値以下に低下したことを検知して透光管３に付着し
た汚染洗浄、紫外線ランプ１の交換を行う。
トダイオード６によって紫外線出力を測定して、被処理
液中の濁度等の不純物に起因する紫外線出力の低下値を
算定し、これを全紫外線出力低下値からカットすること
によって、紫外線ランプ１の出力低下値のみを測定し、
フォトダイオード６によって紫外線ランプ１の規定減衰
出力値以下に低下したことを検知して透光管３に付着し
た汚染洗浄、紫外線ランプ１の交換を行う。
【００３７】その他の点については、前述した実施態様
において述べた点と同じであるので説明を省略する。
において述べた点と同じであるので説明を省略する。
【００３８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によると、透
光管と距離を異なえて設けたフォトダイオード等の光セ
ンサーによって紫外線出力を測定して、低下被処理液中
の濁度等の不純物の増加に起因する紫外線出力低下値を
算定して排除し、紫外線ランプの経時劣化による性能低
下に起因する紫外線出力低下値と透光管の表面に不純物
が付着に起因する紫外線出力低下値を基準として、紫外
線ランプの交換時期と透光管の洗浄時期を正確、適切に
検知、警報することによって、紫外線照射処理液の純度
等を格段に向上できるとともに、紫外線照射処理コスト
を大幅に低減できる優れた効果を達成できる。
光管と距離を異なえて設けたフォトダイオード等の光セ
ンサーによって紫外線出力を測定して、低下被処理液中
の濁度等の不純物の増加に起因する紫外線出力低下値を
算定して排除し、紫外線ランプの経時劣化による性能低
下に起因する紫外線出力低下値と透光管の表面に不純物
が付着に起因する紫外線出力低下値を基準として、紫外
線ランプの交換時期と透光管の洗浄時期を正確、適切に
検知、警報することによって、紫外線照射処理液の純度
等を格段に向上できるとともに、紫外線照射処理コスト
を大幅に低減できる優れた効果を達成できる。
【図１】本発明の紫外線照射処理を行う処理槽の側面の
二個所に付設した紫外線照射測定装置の説明図である。
二個所に付設した紫外線照射測定装置の説明図である。
【図２】本発明の紫外線照射処理を行う処理槽の側面に
移動可能に付設した紫外線照射測定装置の説明図であ
る。
移動可能に付設した紫外線照射測定装置の説明図であ
る。
１ 処理槽 ２ 紫外線ランプ ３ 石英筒 ４ 透過窓 ５ 石英ガラス板 ６ フォトダイオード ７ 測定筒
Claims (2)
- 【請求項１】 紫外線ランプを内蔵した透光管を挿填し
て被処理液中の細菌の殺菌、有機物の酸化分解、有害物
の分解等の紫外線照射を行う処理筒の側面に透過窓を設
け、透過窓に近接させてフォトダイオード等の光センサ
ーを付設し、、光センサーによって紫外線出力の測定を
行い、予め設定した紫外線ランプの規定減衰出力値以下
に低下したことを検知して、透光管の洗浄、紫外線ラン
プの交換を行うについて、処理筒の側面に二つの透過窓
を透光管との距離を異なえて設け、各透過窓にフォトダ
イオード等の光センサーを付設し、二つの光センサーに
よってそれぞれ紫外線出力値を測定して、被処理液中の
濁度等の不純物に起因する紫外線出力の低下値を算定
し、これを全紫外線出力低下値からカットすることによ
って、紫外線ランプの出力低下値のみを測定し、光セン
サーによって紫外線ランプの規定減衰出力値以下に低下
したことを検知して透光管に付着した汚染洗浄、紫外線
ランプの交換を行う紫外線照射装置の紫外線出力測定装
置。 - 【請求項２】 処理筒の側面にフォトダイオード等の光
センサーを摺動可能に挿填し、この光センサーを摺動さ
せて透光管との距離が異なる二個所にセットして光セン
サーによって紫外線出力を測定して、被処理液中の濁度
等の不純物に起因する紫外線出力の低下値を算定し、こ
れを全紫外線出力低下値からカットすることによって、
紫外線ランプの出力低下値のみを測定し、光センサーに
よって紫外線ランプの規定減衰出力値以下に低下したこ
とを検知して透光管に付着した汚染洗浄、紫外線ランプ
の交換を行う紫外線照射装置の紫外線出力測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23125696A JPH1057954A (ja) | 1996-08-14 | 1996-08-14 | 紫外線照射装置の紫外線照射量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23125696A JPH1057954A (ja) | 1996-08-14 | 1996-08-14 | 紫外線照射装置の紫外線照射量測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1057954A true JPH1057954A (ja) | 1998-03-03 |
Family
ID=16920772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23125696A Pending JPH1057954A (ja) | 1996-08-14 | 1996-08-14 | 紫外線照射装置の紫外線照射量測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1057954A (ja) |
Cited By (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1996
- 1996-08-14 JP JP23125696A patent/JPH1057954A/ja active Pending
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