JPS62122130A - 紫外線洗浄装置の紫外線ランプのモニタ方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、紫外線洗浄装置に係り、特に紫外線ランプの
光量変化をモニタする方法に関する〔発明の背景〕 従来の装置は上記記載のように波長１８５ｎｍと波２５
４ｎｍ　の紫外線を被洗浄体の表面に照射し両者の強度
比２よび波長１１１５ｎｍの放射強度を一定値に設定す
る必要がある。しかし、使用する紫外線ランプの寿命に
はある程度変動かあるため、上記１８５ｎｍと２５４ｎ
ｍの紫外線照射強度を一定に保つことが困難であった。

なお、この種の技術として関連するものに、例えば、特
開昭５９−９４８２！１号、同５９−９４８２４号等が
ある。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、紫外線洗浄装置の紫外線ランプの光量
変化をモニタする方法を提供することにある。

〔発明の概要〕

従来紫外線ランプの寿命による紫外線照射強度の減衰を
検出する方法としては、被洗浄体表面の洗浄評価を行い
検出していた。また、波長２５４ｎｍの紫外線を光電変
換素子で検出する方法も行なわれているが、照射強度が
強いため光電変換素子が劣化し、長期にわたって検出す
ることが困難であった。そこで、本発明では、紫外線ラ
ンプから照射される波長５１３ｎｍの光と波長２５４ｎ
ｍの光との間に相関があることを見出し、照射強度の強
い波長２５４１ｍの光をカットし、波長３１３ｎｍの光
のみを検出できる干渉フィルタと光電変換素子から成る
光検器を用いて紫外線ランプの光量をモニタし、紫外線
ランプの寿命による減衰時を正確に把握できる方法であ
る。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明する。

第１図は紫外線洗浄装置の主要部構成図である。第２図
光検器の構成図である。

先ず、第１図において、紫外線洗浄装置１内にある紫外
線ランプ２から照射さねる波長１８５及び２５４ｎｍの
光３．４は被洗浄体５の表面に付着している有機汚染物
６を分解除去する。また、該紫外線ランプ２から照射さ
れる波長Ｓ１”ｒｎｍの光７を検出器已により検出し、
光強度変化を連続的にモニタする。光強度が設足値以下
になった時に紫外線ランプを新しいものに交換するよう
にする。

第２図は光検出器の構成を示すものであり、波長３１３
ｎｍ　の光のみを透過する干渉フィルタ９と波長３［１
［］ｎｍ付近に感度の良いホトダイオード１０から構成
されている。該波長６１３ｎｍの強度は該光検出器８に
より光強度を電気信号に変換され、記録計に表示される
、 〔発明の効果〕 本発明によれば、紫外線ランプの寿命を正確に検知でき
ることから、常に安定した紫外線を照射することが可能
になり、洗浄能力の安定化に効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の紫外線洗浄装置主要部構成
図、第２図は光検出器の構成図である。 １・・・紫外線洗浄装置、 ２・・・紫外線ランプ、 ７・・・光検出器、８・・・干渉フィルタ、９・・・ホ
トダイオード。 ゛・、−

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、紫外線ランプを用いて、このランプの光により被洗
   浄体表面に付着する有機汚染物等を分解して洗浄する紫
   外線洗浄装置において、干渉フィルタと光電変換素子か
   ら成る光検出器により、該紫外線ランプの光量変化をモ
   ニタし、該紫外ランプの交換周期を正確に行なうことを
   特徴とした紫外線洗浄装置の紫外線ランプのモニタ方法
   。