JPH1053746A - 保護フィルム剥離方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、剥離装置を用いて連続的に剥離用
粘着テープにより被保護体から保護フィルムを剥がし、
光透過率の差で保護フィルムの存在を検知する方法にお
いて、剥離用粘着テープを通して保護フィルムの存在を
検知できるような剥離用粘着テープと、前記剥離用粘着
テープを使用した保護フィルムの検知方法を提供する。 【解決手段】 剥離用粘着テープにより被保護体から保
護フィルムを剥離する保護フィルム剥離方法において、
ＪＩＳ Ｋ ７１０５に従って測定された前記保護フィ
ルムのヘーズ値が２５〜１００％で、かつ、前記剥離用
粘着テープのヘーズ値が０〜２０％であり、連続した前
記剥離用粘着テープを用いて被保護体面から前記保護フ
ィルムを剥離した後、連続した剥離用粘着テープを光透
過率測定装置に通過させ、保護フィルムの被保護体から
の剥離状態を確認する保護フィルムの剥離方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、コンタクトレンズ
やシリコンウエハなどの裏面を研磨する工程で、該コン
タクトレンズやシリコンウエハなどの表面を保護する目
的で貼着されている保護フィルムを該研磨工程に続く剥
離工程で剥離するために使用される保護フィルム剥離用
粘着テープと、該剥離用粘着テープを使用した前記保護
テープの剥離方法に関する。特に本発明は、前記剥離工
程において、剥離用粘着テープに剥離保持されている保
護フィルムの存在を光学的手段によって検知して、保護
フィルムの剥離が正常に行われているかどうかを判別す
るための装置を用いた剥離方法への使用に適した剥離用
粘着テープと、該剥離用粘着テープを用いた保護フィル
ムの剥離方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】特公昭６３−２４１０８６号公報、特公
昭６４−６４７７２号公報等には、表面に保護フィルム
を貼着したコンタクトレンズやシリコンウエハ等の被研
磨体の該表面を真空プレート等で吸引固定したのち、水
流中で該研磨体の裏面を研磨処理することにより、該研
磨体の表面が研磨処理中に傷つくことを防止する措置が
とられていること、また該研磨工程後は引き続く剥離工
程で剥離用テープによる該保護フィルムの剥離処理が行
われていることが記載されている。

【０００３】前記被保護体の表面保護用に使用されてい
る保護フィルムは、研磨工程後に剥離が容易なように、
その被保護体に対する粘着力は通常、２０〜１５０ｇ／
２５ｍｍ程度に設定されている。この保護フィルムを被
保護体である研磨加工されたコンタクトレンズやシリコ
ンウエハ等から剥離する方法としては、特開平２−８１
４４５６号公報等に記載されているように、表面に保護
フィルムを貼着されているコンタクトレンズ等の研磨加
工体の表面側を上向きにテーブル上に配置してその裏面
側を真空吸引することによりテーブル上に固定した後、
該保護フィルム面に剥離用粘着テープを貼着してこの剥
離用粘着テープにより保護フィルムを剥離しつつ巻き取
ることが行われている。このような剥離方法では、剥ぎ
取られた保護フィルムが剥離用粘着テープ面に一定間隔
で保持された状態で該剥離テープが巻き取られることと
なる。

【０００４】この剥離工程が高速で行われる場合や該剥
離工程の結果が目視によって確認することができない箇
所で行われる場合には、研磨加工体表面から保護フィル
ムが確実に剥ぎ取られているかどうかを確認するため
に、一定間隔で保護フィルムを剥ぎ取り担持している剥
離テープを光電管の投光器と受光器の間を通過させて光
の透過率の差によって保護フィルムの存在を確認するこ
とが行われている。

【０００５】しかし、従来使用されている剥離用粘着テ
ープでは、光を遮ってしまうために剥離用粘着テープと
保護フィルムの重なり部分と非重なり部分の光透過率の
差で保護フィルムの存在の有無を判定することが困難で
あった。そのため、通常剥離テープの巾より保護フィル
ムの巾が広いことを利用して光電管の光軸と保護フィル
ムが接する点を剥離テープの巾より外側に位置せしめ、
光電管の光軸を剥離テープを通過させずに保護フィルム
の端部のみを通過させることによって保護フィルムを一
枚づつ検出している。このような従来方法の場合には、
測定箇所で剥離テープに蛇行が生じると光電管の光軸が
剥離テープ面に遮られて保護フィルムのみを検知するこ
とができず、剥離工程が正常に作動していることの確認
できなくなることがあった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】かかる事情に鑑み、本
発明は、前記の光透過率の差で保護フィルムの存在を検
知する方法において、剥離用粘着テープを通して保護フ
ィルムの存在を検知できるような剥離用粘着テープと、
該剥離用粘着テープを使用した保護フィルムの検知方法
を提供することを課題とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の保護フィルムの
剥離方法は、剥離用粘着テープにより被保護体から保護
フィルムを剥離する保護フィルムの剥離方法において、
ＪＩＳ Ｋ ７１０５に従って測定された前記保護フィ
ルムのヘーズ値が２５〜１００％で、かつ、前記剥離用
粘着テープのヘーズ値が０〜２０％であり、連続した前
記剥離用粘着テープを用いて被保護体面から前記保護フ
ィルムを剥離した後、連続した剥離用粘着テープを光透
過率測定装置に通過させ、保護フィルムの被保護体から
の剥離状態を確認することを特徴とするものである。

【０００８】本発明の保護フィルムの剥離方法において
は、前記剥離用粘着テープが、基材とこの基材の片面に
形成された粘着剤層とを有し、前記基材として二軸延伸
ポリエステルフィルム、二軸延伸ポリオレフィンフィル
ム、ナイロンフィルム及びポリカーボネートフィルムか
ら選ばれたフィルム基材が用いられ、かつ前記粘着剤層
が、天然ゴム、合成イソプレンゴム、スチレン−イソプ
レン−スチレンブロック共重合体、スチレン−ブタジエ
ン−スチレンブロック共重合体を主成分とするゴム系粘
着剤、およびアクリル酸エステル、メタアクリル酸エス
テルを主成分とする共重合体からなるアクリル系粘着剤
から選ばれた粘着剤を主体とし、さらに前記剥離用粘着
テープの前記保護フィルム背面に対する粘着力が、前記
保護フィルムの前記被保護体に対する粘着力の７〜１０
０倍であるのが好ましい。

【０００９】本発明の保護フィルムの剥離方法において
は、前記保護フィルムは、被研磨体の裏面を研磨する際
に前記被研磨体表面に貼着される保護フィルムであり、
前記被研磨体に対して２０〜３００ｇ／２５ｍｍの粘着
力を備えているのが好ましい。

【００１０】本発明の剥離用粘着テープは、被保護体か
ら保護フィルムを剥離するための剥離用粘着テープにお
いて、前記剥離用粘着テープが、基材とこの基材の片面
に形成された粘着剤層とを有し、前記基材として二軸延
伸ポリエステルフィルム、二軸延伸ポリオレフィンフィ
ルム、ナイロンフィルム及びポリカーボネートフィルム
から選ばれたフィルム基材が用いられ、かつ前記粘着剤
層が、天然ゴム、合成イソプレンゴム、スチレン−イソ
プレン−スチレンブロック共重合体、スチレン−ブタジ
エン−スチレンブロック共重合体を主成分とするゴム系
粘着剤、およびアクリル酸エステル、メタアクリル酸エ
ステルを主成分とする共重合体からなるアクリル系粘着
剤から選ばれた粘着剤を主体とし、前記剥離用粘着テー
プの前記保護フィルム背面に対する粘着力が５００〜２
５００ｇ／２５ｍｍであり、かつ前記剥離用粘着テープ
の前記保護フィルム背面に対する粘着力が、前記保護フ
ィルムの前記被保護体に対する粘着力の７〜１００倍で
あり、さらにＪＩＳ Ｋ７１０５に従って測定された剥
離用粘着テープのヘーズ値が０〜２０％であることを特
徴とするものである。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明に係わる保護フィルム剥離
用粘着テープは、コンタクトレンズや表面にパターンが
形成されたシリコンウエハ（Ｓｉウエハ）の裏面を研磨
する工程において、研磨後、被研磨物の表面を保護する
保護フィルムを連続的に剥がすための粘着テープであ
る。そして、剥離用粘着テープが光電管の光を遮ること
で保護フィルムと間違えて検知されないためには、光電
管の投光器の光が剥離用粘着テープを透過する際に、光
が分散、遮光せずに受光器へ入光しなければならない。

【００１２】本発明における保護フィルムの剥離方法と
しては、例えば、図１および図２に示すように、表面に
回路パターンが形成されたシリコンウエハ（Ｓｉウエ
ハ）などの裏面を研磨する際に、被研磨物３の表面（ウ
エハ回路面）に保護フィルム２を貼付して裏面側を研磨
した後、被研磨物３の裏面側を剥離装置の真空テーブル
４に吸引固定し、次いで、本発明の剥離用粘着テープ１
が被研磨物上の保護フィルム２の上面に貼着され、この
剥離用粘着テープ１と共に保護フィルム２が剥離され、
剥離された保護フィルム２が光電管５および６により検
知される。本発明に使用される保護フィルム剥離用装置
としては、特に限定するわけではないが、剥離用粘着テ
ープの巾が保護フィルムの巾より狭く、前記剥離用粘着
テープ巾からはみ出している前記保護フィルム端部の存
在を検知できる位置に、光透過率測定装置を備えた保護
フィルム剥離用装置が好ましく使用され、例えば、リン
テック（株）製のウエハ表面保護テープ剥離装置（商
標：ＲＡＤ−３２００）などが挙げられる。

【００１３】本発明において、保護フィルムとしては裏
面研磨時に被研磨体に付加される外力を緩和するために
フィルム基材にポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩
化ビニル、ポリエチレン酢酸ビニル、ポリブタジエンか
らなるフィルムや発泡体フィルムなどが使用されてお
り、各種の処理工程において、例えば、被研磨体におけ
る保護フィルムの有無や、被研磨体の表裏を目視で見分
けるために、基材自体を着色したり、あるいは光沢のあ
る被研磨体と区別するために、保護フィルムの背面をマ
ット化して用いる必要がある。そこで、保護フィルムと
して、ヘーズ値２５〜１００％の不透明体を選択し、剥
離用粘着テープのヘーズ値を０〜２０％とすることによ
って、光電管により剥離用粘着テープを保護フィルムと
して検出してしまう誤動作を生じることは全くなくなる
ことが判明した。たとえ、保護テープを剥離する際に、
作業者の手が剥離用粘着テープに触れることにより手に
付着した油等が剥離用粘着テープに付着するなどの要因
によるヘーズ値の増加があったとしても、ほとんど影響
を与えない程度である。ここで、ヘーズ値はＪＩＳＫ
７１０５に基づく値（％）である。

【００１４】剥離用粘着テープのヘーズ値が２０％を越
える場合には、光電管の投光器から発する光が剥離用粘
着テープを透過する際に分散、遮光されて所定の照度
（光量）で受光器へ届かず、光電管のスイッチが入り、
剥離用粘着テープを保護フィルムとして検出してしまう
ので、剥離した保護フィルムのみを検出するという本来
の目的は達成できない。また、剥離用粘着テープのヘー
ズが０％に限りなく近くなる場合には、光電管の投光器
の光が剥離用粘着テープを通過する際に、光が分散、遮
光されずに所定の光度で受光器へ届くことが可能とな
る。しかし、現状の技術で得られるフィルム、あるいは
粘着剤の透明性には限界があることや、さらに、剥離用
粘着テープは、粘着加工やスリット加工などの工程中に
ロールと剥離テープ基材との擦れによる傷が発生して剥
離用粘着テープのヘーズ値が増加する場合もあり、実用
的には、ヘーズ値２〜２０％の剥離用粘着テープが用い
られる。

【００１５】この剥離用粘着テープの基材としては、粘
着テープのヘーズ値が２０％以下となるためには、基材
のヘーズ値は１７％以下が好ましく、１０％以下がより
好ましい。さらに、保護フィルム背面に対して厚みのば
らつきのないこと、引張り強度が大きいこと、伸びが小
さいことなどが要求され、実際に保護フィルム裏面に貼
着、搬送する工程において、問題となるような伸びを生
じないためには、剥離用粘着テープ用基材の引張り強度
は、ＪＩＳ Ｋ ７１２７に準じて測定し、１０〜１０
０ｋｇ／２５ｍｍ巾が好ましく、２０〜１００ｋｇ／２
５ｍｍ巾がより好ましい。基材については、特に限定す
るものではないが、例えば二軸延伸ポリエステルフィル
ム、ポリプロピレン、ポリエチレンなどを主成分とする
二軸延伸ポリオレフィンフィルム、ナイロンフィルム、
ポリカーボネートフィルムなどが適宜選定され、この基
材の厚さは１０〜１０００μｍが好ましく、３０〜１０
０μｍの厚さがより好ましい。

【００１６】本発明のおいては、剥離用粘着テープの保
護フィルムの背面に対する粘着力が、保護フィルムの被
保護体に対する粘着力の７〜１００倍であることが好ま
しく、より好ましくは７〜６０倍である。ここで、保護
フィルム背面に対する剥離用粘着テープの粘着力は、被
着体としてＳＵＳ板に固定された保護フィルムの背面を
使用し、またＳｉウエハに対する保護フィルムの粘着力
は、被着体としてＳＵＳ板に固定されたＳｉウエハを使
用する以外は、それぞれＪＩＳ Ｚ ０２３７に準じて
測定される。

【００１７】上記剥離用粘着テープの保護フィルムの背
面に対する粘着力〔Ａ〕と、保護フィルムの被保護体に
対する粘着力〔Ｂ〕の比〔Ａ／Ｂ〕を７以上とすること
により、全くミスがなく確実に保護フィルムを剥がすこ
とができる。前記粘着力の比〔Ａ／Ｂ〕が７未満である
と被保護体から保護フィルムを剥がせない場合が起こ
り、連続的に保護フィルムを剥がす工程において、操業
効率が著しく低下する。また、前記粘着力の比〔Ａ／
Ｂ〕の上限については、剥離用粘着テープ用の粘着剤成
分、あるいは剥離剤などの選択において、スムーズなテ
ープ巻き戻し性が要求され、経済性など実用的な範囲で
定まる。

【００１８】本発明の剥離用粘着テープは、基材の片面
に粘着剤層が設けられており、ＪＩＳ Ｚ ０２３７に
基づき、ＳＵＳ板に対する粘着剤層の粘着力が、８００
〜５０００ｇ／２５ｍｍが好ましく、剥離装置を用いて
被保護体から保護フィルムを剥がす工程において、確実
に保護フィルムを剥がすことができる。剥離用粘着テー
プの粘着力は、より好ましくは２０００〜５０００ｇ／
２５ｍｍである。また、保護フィルムの背面の基材とし
てはポリオレフィン系フィルムが好ましく用いられ、本
発明の剥離用粘着テープとしては、ポリオレフィン系フ
ィルムに対する粘着力が５００〜２５００ｇ／２５ｍｍ
であることが好ましく、保護フィルムの背面に対する粘
着力としては、５００〜２５００ｇ／２５ｍｍの範囲が
好ましい。

【００１９】剥離用粘着テープの粘着剤層用組成物に用
いられるベースポリマー（もしくはベースエラストマ
ー）としては、天然ゴム、合成イソプレン、スチレン−
イソプレン−スチレンブロック共重合体（ＳＩＳ）、ス
チレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体（ＳＢ
Ｓ）等を主体とするゴム系粘着剤、２−エチルヘキシル
アクリレートまたはブチルアクリレートなどのアクリル
酸エステル、またはメタクリル酸エステルなどを主体と
して共重合させたアクリル系粘着剤などから適宜選択さ
れる。十分な粘着性能を発現させるために、上記の粘着
剤の中でも、天然ゴム、合成イソプレン、スチレン−イ
ソプレン−スチレンブロック共重合体（ＳＩＳ）、スチ
レン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体（ＳＢ
Ｓ）、２−エチルヘキシルアクリレート、またはブチル
アクリレートを主体として共重合させたアクリル系粘着
剤などが好ましく用いられる。剥離用粘着テープの粘着
剤層は２０〜１００μｍ、好ましくは３０〜７０μｍの
厚さとなるように塗布されていることが好ましい。

【００２０】剥離用粘着テープ用として、さらに高い粘
着力を得るためには、上記粘着剤に対して、粘着付与
剤、可塑剤、架橋剤などが添加され、好ましくは７０〜
１８０℃で流動性を示す粘着付与剤や、５０℃以下で流
動性を示す可塑剤や架橋剤などが添加される。剥離用粘
着テープは基材巻取り内側の面には粘着層が、反対側に
は剥離剤層が設けられ粘着剤層と剥離剤層が重なるよう
に巻き取られている。

【００２１】剥離用粘着テープの背面には剥離剤層が設
けられ、テープの巻き戻しがスムーズでかつテープの粘
着力が低下しないような剥離剤を塗布することが好まし
い。剥離剤としては３次元化したオルガノポリシロキサ
ンに代表されるシリコーン系剥離剤、ビニル基に長鎖ア
ルキル基を付加させた非シリコーン系剥離剤が適宜選択
され、その塗工量は、０．０１〜２．０ｇ／ｍ² が好ま
しく、０．０２〜１．０ｇ／ｍ² がより好ましい。剥離
用粘着テープ基材と粘着剤界面の密着性すなわち投錨性
を高めるために、フィルムのコロナ処理を行うか、フィ
ルムにＡＣ剤（アンカーコート剤）を塗工する方法を選
択または併用することも可能である。剥離用粘着テープ
を使用する際には、保護フィルム剥離装置はクリーンル
ーム内に設置されており、被研磨物のコンタクトレンズ
やシリコンウエハはほこりを嫌うため、剥離用粘着テー
プの基材には紙粉などの粉塵が発生しないことも要求さ
れる。

【００２２】被研磨物（被保護体）の表面を保護するた
めの保護フィルムに使用される粘着剤としては、一般に
公知のアクリル系粘着剤が用いられ、アクリル酸エステ
ルあるいはメタクリル酸エステルを主たる構成単位とす
る単独重合体および共重合体から選ばれたアクリル系重
合体その他の官能性単量体との共重合体およびこれらの
重合体の混合物が好ましく用いられる。アクリル酸エス
テルモノマーとして例えば、アクリル酸エチル、アクリ
ル酸ブチル、アクリル酸−２−エチルヘキシル、アクリ
ル酸グリシジル、アクリル酸−２−ヒドロキシエチル等
が用いられ、又上記のアクリル酸をメタクリル酸に代え
たもの等も好ましく使用できる。アクリル酸エステルを
主体として共重合させる粘着剤中にはアクリル酸、アク
リロニトリル、酢酸ビニルなどのモノマーを５０重量％
以下であれば適宜選択して共重合させてもよい。ＳＵＳ
板に対する保護フィルムの粘着力は、ＪＩＳ Ｚ ０２
３７に基づき、５０〜１０００ｇ／２５ｍｍが好まし
く、５０〜７００ｇ／２５ｍｍがより好ましい。またＳ
ｉウエハに対する保護フィルムの粘着力は２０〜３００
ｇ／２５ｍｍが好ましい。

【００２３】保護フィルムは被研磨物を破損せず剥離
し、剥離後には粘着剤の付着がないような粘着剤を選択
する必要があり、放射線重合性粘着剤や水膨潤性粘着剤
あるいは水溶性粘着剤が好ましく用いられる。放射線重
合性粘着剤とは、放射線の照射により粘着剤が重合反応
を起こし、硬化することで粘着力を失う粘着剤である。
尚、ここでの放射線とは、紫外線等の光線または電子線
の電離性放射線を意味する。水膨潤性粘着剤あるいは水
溶性粘着剤とは、水と接触すると有限膨張あるいは溶解
する粘着剤のことである。放射線重合性粘着剤は、公知
の粘着剤と放射線重合性オリゴマー、放射線重合性化合
物、放射線開始剤、増感剤、その他の安定剤を配合して
調製された粘着剤が使用される。

【００２４】例えば、電子線硬化型粘着剤、あるいはＵ
Ｖ硬化型粘着剤を用いた保護フィルムの場合には、保護
フィルムを被研磨物に貼ったまま被照射面の垂直方向
へ、ＥＢ、あるいはＵＶ光など（エネルギー光）を照射
して保護フィルムの粘着剤層を硬化させることにより、
照射前のＳｉウエハに対する粘着力が５０〜９０％低下
して、２０〜１５０ｇ／２５ｍｍとなり、剥離用粘着テ
ープを用いて容易に保護フィルムを剥がすことが可能で
ある。また、Ｓｉウエハ回路面などＵＶ照射ができない
ものについては水膨潤型粘着剤などが選択され、研磨後
のＳｉウエハに対する粘着力は通常１５０〜３００ｇ／
２５ｍｍである。

【００２５】放射線重合性化合物としては、光照射によ
って三次元網状化しうる分子内に光重合性炭素−炭素二
重結合を少なくとも２個以上有する低分子量アクリル系
化合物が用いられる。例えば、トリメチロールプロパン
トリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアク
リレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペ
ンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリ
スリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペン
タエリスリトールヘキサアクリレート、１，４−ブチレ
ングリコールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオー
ルジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレ
ート、オリゴエステルアクリレート等が用いられる。こ
のほかに放射線重合性化合物として、炭素−炭素二重結
合を少なくと１個以上有するウレタンアクリレート系オ
リゴマーも用いることが出来る。ウレタンアクリレート
系オリゴマーは、ポリエステル型またはポリエーテル型
等のポリオール化合物と、多価イソシアナート化合物、
例えば２，４−トリレンジイソシアナート、１，３−キ
シレンジイソシアナート、１，４−キシレンジイソシア
ナート、ジフェニルメタン４，４−ジイソシアナートな
どを反応させて得られる末端イソシアナートウレタンプ
レポリマーに、ヒドロキシル基を有する（メタ）アクリ
レート、例えば２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレ
ート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、
ポリエチレングリコール（メタ）アクリレートなどを反
応させて得られる。

【００２６】水膨潤性粘着剤は、不飽和カルボン酸含有
モノマーとアクリル酸エステル系モノマーを構成単位と
する共重合体において、その共重合体同士がからみあっ
たり、架橋していて、水と接触すると有限膨張する粘着
剤である。また、実用上、その粘着剤の水溶性あるいは
粘着特性を変化させる必要がある場合には、通常使用さ
れる親水性可塑剤あるいは親水性エポキシ化合物を上記
水膨潤性粘着剤と組み合わせて用いてもよい。係る水膨
潤性粘着剤あるいは水溶性粘着剤としては、例えば特公
昭４９−２３２９４号公報に記載されているような粘着
剤を用いることができる。

【００２７】保護フィルムの基材としては、裏面研磨時
にかかる被研磨物への外力を緩和するため、ポリエチレ
ンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリ塩化ビニル
フィルム、エチレン酢酸ビニルフィルム、ポリエチレン
テレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリブ
タジエンフィルムや、発泡フィルムなどが用いられ、こ
れらの中でも、ポリオレフィン系フィルムが好ましく用
いられる。

【００２８】粘着剤層、剥離剤層、その他の塗工層等の
形成方法は特に限定されないが、例えばグラビアコート
法、リバースコート法、リバースグラビアコート法、キ
スコート法、コンマコート法、ダイコート法、バーコー
ト法、ナイフコート法等の適当な塗布方法を適用でき
る。尚、塗布速度、塗膜乾燥条件は特に限定されるもの
ではないが、塗布乾燥条件は粘着剤層、剥離剤層、基材
の諸物性に悪影響を及ぼさない範囲で行うことが望まし
い。

【００２９】

〔粘着剤層用塗液〕

スチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体（ＳＩＳ） （商品名：クレイトンＤ１１１２、Ｓｈｅｌｌ Ｃｈｅｍｉｃａｌ ｃｏ．製） ４０重量部 粘着付与樹脂： 石油系樹脂（商品名：アルコンＰ−９０、荒川化学工業（株）製） ３０重量部 石油系樹脂（商品名：エスコレッツ１３０４、トーネックス（株）製） １８重量部 軟化剤（ナフテン系オイル） ７重量部 老化防止剤（フェノール系） １重量部

【００３０】実施例２ 粘着剤として下記の組成の粘着剤を使用した以外は実施
例１と同様にして剥離用粘着テープを得た。 〔粘着剤層用塗液〕 合成イソプレン（商品名：クラプレンＩＲ−１０、（株）クラレ製） ４５重量部 粘着付与樹脂： 石油系樹脂（商品名：クイントンＤ−１００、日本ゼオン（株）製） ４０重量部 石油系樹脂（商品名：アルコンＰ−１２５、荒川化学工業（株）製） １０重量部 軟化剤（液状テルペン樹脂） ５重量部 老化防止剤（フェノール系） １重量部 充填剤（炭酸カルシウム） ２重量部

【００３１】実施例３ 粘着剤として剥離テープの粘着剤としてアクリル系粘着
剤（商品名：ＫＰ−９７７、日本カーバイド工業（株
（株）製）を使用した以外は、実施例１と同様にして剥
離用粘着テープを得た。

【００３２】実施例４ 基材として６０μｍ厚の二軸延伸ポリプロピレンフィル
ム（商品名：Ｐ２１０８、東洋紡（株）製、ヘーズ値
６．３％）を使用した以外は実施例１と同様にして剥離
用粘着テープを得た。

【００３３】実施例５ 基材として６０μｍ厚の二軸延伸ポリプロピレンフィル
ム（商品名：Ｐ２１０８、東洋紡（株）製、ヘーズ値
６．３％）を使用した以外は実施例２と同様にして剥離
用粘着テープを得た。

【００３４】比較例１ 粘着剤として下記組成の粘着剤を使用した以外は、実施
例１と同様にして剥離用粘着テープを得た。 〔粘着剤層用塗液〕 天然ゴム（ペールクレープ）ＭＬ＝３５ ４５重量部 粘着付与樹脂： 石油系樹脂（商標：クイントンＤ−１００、日本ゼオン（株）製） ４２重量部 石油系樹脂（商標：アルコンＰ−１２５、荒川化学工業（株）製） １３重量部 軟化剤（液状テルペン樹脂） ５重量部 老化防止剤（フェノール系） １重量部 充填剤（炭酸カルシウム） ３重量部

【００３５】比較例２ 基材として６０μｍ厚の二軸延伸ポリプロピレンフィル
ム（商品名：Ｐ２１０８、東洋紡（株）製、ヘーズ値
６．３％）を使用した以外は比較例１と同様にして剥離
用粘着テープを得た。

【００３６】比較例３ 基材として６０μｍ厚の二軸延伸ポリプロピレンフィル
ム（商品名：Ｐ２１０８、東洋紡（株）製、ヘーズ値
６．３％）を使用し、粘着剤として下記組成の粘着剤を
使用した以外は、実施例１と同様にして剥離用粘着テー
プを得た。 〔粘着剤層用塗液〕 天然ゴム（ペールクレープ）ＭＬ＝３５ ４０重量部 粘着付与樹脂： ロジン系樹脂（商品名：スーパーエステルＡ−１００、 荒川化学工業（株）製） ４０重量部 軟化剤（液状イソプレン樹脂） ５重量部 老化防止剤（フェノール系） １重量部 充填剤（炭酸カルシウム） ３重量部

【００３７】比較例４ 基材として６０μｍ厚の二軸延伸ポリプロピレンフィル
ム（商品名：ＴＰＧ＃６０、王子油化合成紙（株）製、
ヘーズ値３０．１％）を使用した以外は実施例１と同様
にして剥離用粘着テープを得た。

【００３８】テスト 上記各実施例および比較例で得られた剥離用粘着テープ
に関連して、それぞれ下記の方法により評価を行い、そ
れらの結果を表１に示した。 〔ヘーズ値〕剥離用粘着テープのヘーズ値は、ＪＩＳ−
Ｋ−７１０５に定められた測定方法に準じて、積分球式
光線透過率測定装置（商品名：ＳＭ−４カラーコンピュ
ーター、スガ試験機（株）製）を用いて、テープの拡散
透過率及び全光線透過率を測定し、その比により求め
た。 ヘーズ値（曇価：％）＝拡散透過率（％）÷全光線透過
率（％）×１００

【００３９】〔粘着力測定〕剥離用粘着テープのステン
レススチール（ＳＵＳ）板に対する粘着力は、ＪＩＳ
Ｚ ０２３７に準じて、粘着テープの剥離速度３００ｍ
ｍ／分における１８０゜ピール試験を行い測定した。剥
離用粘着テープの保護フィルム背面に対する粘着力[A]
は、被着体としてＳＵＳ板に固定された保護フィルム
（商品名：Ａｄｗｉｌｌ Ｐ−１６０５，水膨潤型粘着
剤塗工品、およびＡｄｗｉｌｌ Ｅ−６１３１，ＵＶ硬
化型粘着剤塗工品、共にリンテック（株）製）の背面を
使用した以外はＪＩＳ規格に準じて測定した。また、保
護フィルムのＳｉウエハに対する粘着力[B] は、被着体
としてＳＵＳ板に固定されたＳｉウエハを使用した以外
はＪＩＳ規格に準じて測定した。なお、ＵＶ硬化型粘着
剤を使用した保護フィルム（商品名：Ａｄｗｉｌｌ Ｅ
−６１３１）の場合には、保護フィルムをＳｉウエハに
貼り付け、３０分後に、ＵＶを１秒間照射した後に粘着
力を測定した。前記の測定方法により求められた剥離用
粘着テープの保護フィルム背面に対する粘着力[A] を、
保護フィルムのＳｉウエハに対する粘着力[B] で除し
て、剥離用粘着テープと保護フィルムの粘着力の比[A/
B] とした。

【００４０】〔保護フィルム剥離適性〕Ｓｉウエハの表
面側に保護フィルム（商品名：（ａ）Ａｄｗｉｌｌ Ｐ
−１６０５、ヘーズ値２５．２％、または（ｂ）Ａｄｗ
ｉｌｌ Ｅ−６１３１、ヘーズ値８８．８％、共にリン
テック（株）製）を貼着し、バックグラインド後、この
Ｓｉウエハの裏面側を、リンテック（株）製のウエハ表
面保護テープ剥離装置（商標：ＲＡＤ−３２００）を用
いて真空テーブルに吸引固定し、次いで、Ｓｉウエハの
保護フィルム面上に、剥離用粘着テープを１０００ｍｍ
／分の速度で貼着直後に、１０００ｍｍ／分の速度にて
剥離用粘着テープを巻き取ることにより剥離用粘着テー
プと共に保護フィルムをＳｉウエハ表面より剥離する操
作を行った。保護フィルムをＳｉウエハ表面より剥がす
操作を１００回行った時の剥離状態を観察し、１００回
全て正常に剥離した時を○とし、１回以上剥離ミスがあ
った時は×とした。

【００４１】〔光電管適性〕前述と同様の表面保護テー
プ剥離装置と保護フィルムを用いて、保護フィルムがＳ
ｉウエハ表面より剥がれた直後に剥離用粘着テープに付
着した保護フィルムを光電管で検知するために保護フィ
ルムの面に対して垂直方向に投光器と受光器間の光軸が
接するようにして光電管を調整する。Ｓｉウエハ１枚に
付着した保護フィルムをＳｉウエハより剥離する操作を
１単位とする。１００回連続して保護フィルムをウエハ
より剥がすときに、光電管が剥離用粘着テープを検知せ
ずに保護フィルムのみを検知しているか否かを判定し
た。１００回全て保護フィルムのみを検知した場合を
○、１回以上剥離用粘着テープを検知した場合を×とし
た。

【００４２】

【表１】

【００４３】表１より明らかなように、各実施例におい
てはいずれも、保護フィルムのヘーズ値が２５％以上で
あり、かつ剥離用粘着テープのヘーズ値は２０％以下で
あり、光電管は常に保護フィルムのみを検知しており、
剥離用粘着テープを検知するようなミスは生じなかっ
た。一方、比較例においては、剥離用粘着テープのヘー
ズ値が２０％を越え、剥離用粘着テープを検知するミス
を生じた。さらに、比較例３では、剥離用粘着テープと
保護フィルムの粘着力の比[A/B] が７未満であり、剥離
ミスを生じ、操業上問題となるものであった。

【００４４】

【発明の効果】本発明は、剥離装置を用いて連続的に剥
離用粘着テープにより被保護体から保護フィルムを剥が
し、剥離用粘着テープに剥離・保持されている保護フィ
ルムの存在を光学的手段によって検知して、保護フィル
ムの剥離が正常に行われているかどうかを判別するため
の装置を用いた剥離方法への使用に適した剥離用粘着テ
ープを提供し、保護フィルムの剥離が正常に行われてい
るかどうかを確実に判別することが可能となり、産業界
に寄与するところが大である。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１図は、本発明の剥離用粘着テープによる保
護フィルム剥離工程の一実施態様の側面図である。

【図２】第２図は、本発明の剥離用粘着テープにより保
護フィルムを剥がす際の斜視図である。

【符号の説明】

１：剥離用粘着テープ ２：保護フィルム ３：被保護体（シリコンウエハ） ４：吸引テーブル ５：光電管投光器 ６：光電管受光器

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 剥離用粘着テープにより被保護体から保
   護フィルムを剥離する保護フィルムの剥離方法におい
   て、ＪＩＳ Ｋ ７１０５に従って測定された前記保護
   フィルムのヘーズ値が２５〜１００％で、かつ、前記剥
   離用粘着テープのヘーズ値が０〜２０％であり、連続し
   た前記剥離用粘着テープを用いて被保護体面から前記保
   護フィルムを剥離した後、連続した剥離用粘着テープを
   光透過率測定装置に通過させ、保護フィルムの被保護体
   からの剥離状態を確認することを特徴とする保護フィル
   ムの剥離方法。
2. 【請求項２】 前記剥離用粘着テープが、基材とこの基
   材の片面に形成された粘着剤層とを有し、前記基材とし
   て二軸延伸ポリエステルフィルム、二軸延伸ポリオレフ
   ィンフィルム、ナイロンフィルム及びポリカーボネート
   フィルムから選ばれたフィルム基材が用いられ、かつ前
   記粘着剤層が、天然ゴム、合成イソプレンゴム、スチレ
   ン−イソプレン−スチレンブロック共重合体、スチレン
   −ブタジエン−スチレンブロック共重合体を主成分とす
   るゴム系粘着剤、およびアクリル酸エステル、メタアク
   リル酸エステルを主成分とする共重合体からなるアクリ
   ル系粘着剤から選ばれた粘着剤を主体とし、さらに前記
   剥離用粘着テープの前記保護フィルム背面に対する粘着
   力が、前記保護フィルムの前記被保護体に対する粘着力
   の７〜１００倍である請求項１記載の保護フィルムの剥
   離方法。
3. 【請求項３】 前記保護フィルムは、被研磨体の裏面を
   研磨する際に前記被研磨体表面に貼着される保護フィル
   ムであり、前記被研磨体に対して２０〜３００ｇ／２５
   ｍｍの粘着力を備えている請求項１記載の保護フィルム
   の剥離方法。
4. 【請求項４】 被保護体から保護フィルムを剥離するた
   めの剥離用粘着テープにおいて、前記剥離用粘着テープ
   が、基材とこの基材の片面に形成された粘着剤層とを有
   し、前記基材として二軸延伸ポリエステルフィルム、二
   軸延伸ポリオレフィンフィルム、ナイロンフィルム及び
   ポリカーボネートフィルムから選ばれたフィルム基材が
   用いられ、かつ前記粘着剤層が、天然ゴム、合成イソプ
   レンゴム、スチレン−イソプレン−スチレンブロック共
   重合体、スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重
   合体を主成分とするゴム系粘着剤、およびアクリル酸エ
   ステル、メタアクリル酸エステルを主成分とする共重合
   体からなるアクリル系粘着剤から選ばれた粘着剤を主体
   とし、さらに前記剥離用粘着テープの前記保護フィルム
   背面に対する粘着力が５００〜２５００ｇ／２５ｍｍで
   あり、前記剥離用粘着テープの前記保護フィルム背面に
   対する粘着力が、前記保護フィルムの前記被保護体に対
   する粘着力の７〜１００倍であり、かつＪＩＳ Ｋ ７
   １０５に従って測定された剥離用粘着テープのヘーズ値
   が０〜２０％であることを特徴とする保護フィルム剥離
   用粘着テープ。