JPH1044303A - Gas barrier film - Google Patents

Gas barrier film

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JPH1044303A
JPH1044303A JP11951897A JP11951897A JPH1044303A JP H1044303 A JPH1044303 A JP H1044303A JP 11951897 A JP11951897 A JP 11951897A JP 11951897 A JP11951897 A JP 11951897A JP H1044303 A JPH1044303 A JP H1044303A
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metal oxide
thin film
gas barrier
oxide thin
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Megumi Kojima
めぐみ 小島
Shigenobu Yoshida
重信 吉田
Kunio Takeda
邦夫 武田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve gas barrier properties and to give chemical resistance by forming the cured coat of an active energy ray curable composition containing a silane coupling agent having an acryloyl group and/or a methacryloyl group on a metal oxide thin film formed on the surface of a plastic film. SOLUTION: In a gas barrier film, an active energy ray curable composition containing 0.2-45wt.% of a silane coupling agent having an acryloyl group and/or a metacryloyl group is applied on a metal oxide thin film formed on a plastic film by a vacuum vapor deposition method, etc., irradiated with active energy rays, and cured to form a cured coat. The improvement in the adhesion between the metal oxide thin film and the cured coat is attained by the chemical bond of the silane coupling agent to the metal oxide thin film and by the reaction of the acryloyl group and the methacryloyl group with another coexistent coat forming component, and the improvement in gas barrier properties is attained by the packing of the coat forming component in the gaps between the particles of the metal oxide coat.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はガスバリア性に優れ
たフィルム、特に液晶表示素子用透明電極の基板フィル
ムとして好適な、ガスバリア性フィルムに関するもので
ある。
The present invention relates to a film having excellent gas barrier properties, and more particularly to a gas barrier film suitable as a substrate film for a transparent electrode for a liquid crystal display device.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、液晶表示素子の需要が拡大し、こ
れに用いられる透明電極の重要性も増加しつつある。従
来、液晶表示素子用透明電極には、酸化スズ−酸化イン
ジウム薄膜を薄いガラス基板上に形成したものが広く使
用されてきたが、素子の薄型化、軽量化、量産化の要求
に伴い、プラスチックフィルムを基板とした透明電極が
使用されてきている。
2. Description of the Related Art In recent years, the demand for liquid crystal display devices has been expanding, and the importance of transparent electrodes used in the devices has been increasing. Conventionally, as a transparent electrode for a liquid crystal display device, a thin film formed of a tin oxide-indium oxide thin film on a thin glass substrate has been widely used, but with the demand for thinner, lighter, and mass-produced devices, plastics have been developed. Transparent electrodes based on films have been used.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、プラス
チックフィルムを基板とした液晶表示素子用透明電極に
は、いくつかの問題点がある。例えば液晶セルの信頼性
の点から要求される基板フィルムの酸素、水蒸気に対す
るバリア性、形成された電極とフィルムの密着性、エッ
チング加工において要求されるフィルムの耐薬品性など
である。これらの問題点を解決する手段として、積層構
造の液晶表示素子用透明電極フィルムが提案されてい
る。例えば、特開昭61−32749号公報や特開昭6
1−32750号公報には、金属酸化物層を基材フィル
ム上に設けることにより、水蒸気や酸素の透過を防止し
た積層導電フィルムが記載されている。しかし、特開昭
61−32749号公報における積層導電フィルムの層
構成は、珪素酸化物などの金属酸化物層/高分子フィル
ム/有機物層/導電層であり、金属酸化物薄膜上に有機
物層が存在しない。このような層構成では、液晶表示素
子用透明電極フィルムとして要求される酸素透過度が1
cc/m2 ・atm・24hrs、水蒸気透過度が1g
/m2 ・24hrsという高バリア性に到達するのは困
難である。
However, the transparent electrode for a liquid crystal display device using a plastic film as a substrate has several problems. For example, the barrier properties against oxygen and water vapor of the substrate film required from the viewpoint of the reliability of the liquid crystal cell, the adhesion between the formed electrode and the film, the chemical resistance of the film required in etching, and the like. As means for solving these problems, a transparent electrode film for a liquid crystal display element having a laminated structure has been proposed. For example, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 61-32749 and
Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-332750 describes a laminated conductive film in which a metal oxide layer is provided on a base film to prevent the transmission of water vapor and oxygen. However, the layered structure of the laminated conductive film in JP-A-61-32749 is a metal oxide layer such as a silicon oxide / polymer film / organic material layer / conductive layer, and an organic material layer is formed on the metal oxide thin film. not exist. In such a layer configuration, the oxygen permeability required as a transparent electrode film for a liquid crystal display element is 1
cc / m 2 · atm · 24 hrs, water vapor permeability 1 g
It is difficult to attain a high barrier property of / m 2 · 24 hrs.

【0004】また、特開昭61−32750号公報にお
ける積層導電フィルムの層構成は、高分子フィルム/珪
素酸化物などの金属酸化物層/有機物層/導電層であ
り、金属酸化物薄膜上にアクリル樹脂の有機物層が存在
する。しかし一般的に、アクリル系の熱硬化性又は活性
エネルギー線硬化性組成物を塗布して硬化させることに
よって形成された被膜は、プラスチックフィルムとは密
着しても、金属酸化物薄膜との密着性は必ずしも良くな
く、液晶表示素子用導電フィルムとして満足できるもの
ではない。従って、本発明は、上記の問題点を解決し
て、金属酸化物薄膜との密着性が優れた硬化被膜を有す
ることにより、ガスバリア性が改良され、耐薬品性が付
与されたガスバリア性フィルムを提供することを目的と
するものである。
The layer structure of a laminated conductive film disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-32750 is composed of a polymer film / a metal oxide layer such as silicon oxide / an organic material layer / a conductive layer. There is an organic layer of acrylic resin. However, in general, a coating formed by applying and curing an acrylic thermosetting or active energy ray-curable composition, even if it adheres to a plastic film, adheres to a metal oxide thin film. Is not always good and is not satisfactory as a conductive film for a liquid crystal display element. Therefore, the present invention solves the above problems, by having a cured film having excellent adhesion to a metal oxide thin film, gas barrier properties are improved, and a gas barrier film with chemical resistance is provided. It is intended to provide.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記の目的は、表面に金
属酸化物薄膜が形成されているプラスチックフィルムの
該金属酸化物薄膜上に、アクリロイル基及び/又はメタ
クリロイル基を有するシランカップリング剤を含有する
活性エネルギー線硬化性組成物の硬化被膜を形成してな
るフィルムにより達成される。
An object of the present invention is to provide a plastic film having a metal oxide thin film formed on a surface thereof, on the metal oxide thin film, a silane coupling agent having an acryloyl group and / or a methacryloyl group. This is achieved by a film having a cured film of the active energy ray-curable composition contained therein.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】本発明について詳細に説明する
と、本発明に係るガスバリア性フィルムの基材であるプ
ラスチックフィルムとしては、広く各種の合成樹脂から
なるものを用いることができる。例えば、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン、ポリブテンなどのポリオレフィン
系樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−
2,6−ナフタレートなどのポリエステル系樹脂、ナイ
ロン6、ナイロン12などのポリアミド系樹脂、ポリビ
ニルアルコールやエチレン−ビニルアルコール共重合体
等のビニルアルコール系樹脂、さらにはポリイミド、ポ
リエーテルイミド、ポリサルホン、ポリエーテルサルホ
ン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、
ポリビニルブチラール、ポリアリレート、環状ポリオレ
フィンなどの合成樹脂からなるフィルムが用いられる。
また、2種以上の合成樹脂の混合物からなるフィルムや
積層フィルムも用いられる。プラスチックフィルムに
は、公知の添加剤、例えば、帯電防止剤、紫外線吸収
剤、可塑剤、滑剤、着色剤などが添加されていても良
い。プラスチックフィルムは延伸されていても良いし、
未延伸であっても良い。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be described in detail. As a plastic film as a base material of a gas barrier film according to the present invention, a wide variety of synthetic resins can be used. For example, polyethylene, polypropylene, polyolefin resins such as polybutene, polyethylene terephthalate, polyethylene
Polyester resins such as 2,6-naphthalate, polyamide resins such as nylon 6 and nylon 12, vinyl alcohol resins such as polyvinyl alcohol and ethylene-vinyl alcohol copolymer, furthermore, polyimide, polyetherimide, polysulfone, poly Ether sulfone, polyetheretherketone, polycarbonate,
A film made of a synthetic resin such as polyvinyl butyral, polyarylate, and cyclic polyolefin is used.
Further, a film or a laminated film composed of a mixture of two or more synthetic resins is also used. Known additives such as an antistatic agent, an ultraviolet absorber, a plasticizer, a lubricant, and a coloring agent may be added to the plastic film. The plastic film may be stretched,
It may not be stretched.

【0007】プラスチックフィルムの厚さは、特に制限
を受けるものではないが、3〜2000μmの範囲が望
ましく、機械強度と可撓性の点で5〜1000μmの範
囲であることが好ましい。また、液晶表示素子用透明電
極の基板フィルムは透明であることが要求されるので、
上述のプラスチックフィルムも透明なものを用いるのが
好ましい。プラスチックフィルムには、金属酸化物薄膜
を形成するに先立ち、コロナ放電処理、火炎処理、プラ
ズマ処理、グロー放電処理、粗面化処理などの表面処理
を施したり、アンカーコート層を設けておいてもよい。
アンカーコート層を設けると、一般にガスバリア性をさ
らに向上させることができる。
[0007] The thickness of the plastic film is not particularly limited, but is preferably in the range of 3 to 2000 µm, and more preferably in the range of 5 to 1000 µm in terms of mechanical strength and flexibility. Also, since the substrate film of the transparent electrode for a liquid crystal display element is required to be transparent,
It is preferable that the above-mentioned plastic film is also transparent. Prior to forming the metal oxide thin film, the plastic film may be subjected to a surface treatment such as a corona discharge treatment, a flame treatment, a plasma treatment, a glow discharge treatment, a surface roughening treatment, or may be provided with an anchor coat layer. Good.
When an anchor coat layer is provided, the gas barrier properties can generally be further improved.

【0008】アンカーコート層の材質としてはポリエス
テル樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、ビニル変性樹
脂、エポキシ樹脂、変性スチレン樹脂、変性シリコン樹
脂などの熱硬化性樹脂あるいはアルキルチタネートなど
が用いられる。これらは単独で使用してもよいが、2種
類以上を併用してもよい。また、シランカップリング剤
や紫外線吸収剤等の添加剤を加えてもよい。
As the material of the anchor coat layer, a thermosetting resin such as a polyester resin, a urethane resin, an acrylic resin, a vinyl-modified resin, an epoxy resin, a modified styrene resin, a modified silicon resin, or an alkyl titanate is used. These may be used alone or in combination of two or more. Further, additives such as a silane coupling agent and an ultraviolet absorber may be added.

【0009】アンカーコート層の厚みは0.005〜5
μmの範囲が好ましい。アンカーコート層が0.005
μmより薄いと塗布むらができ、ガスバリア性が向上し
ない。また5μmより厚いと密着性が悪くなる。アンカ
ーコート層を形成する方法としてはグラビアコート法、
リバースコート法等の各種樹脂塗布方法があげられる。
プラスチックフィルム上の金属酸化物薄膜としては、酸
化珪素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ス
ズ、さらにはこれらの2種以上の混合物から成るものな
ど、プラスチックフィルムにガスバリア性を付与するた
めに用いられている任意の金属酸化物薄膜を用いること
ができる。本発明に係るガスバリア性フィルムにおいて
も、金属酸化物薄膜はフィルムに酸素バリア性と水蒸気
バリア性を付与する機能を奏している。
The thickness of the anchor coat layer is 0.005 to 5
The range of μm is preferred. 0.005 anchor coat layer
If the thickness is less than μm, coating unevenness occurs, and the gas barrier property is not improved. On the other hand, if the thickness is more than 5 μm, the adhesion becomes poor. The method of forming the anchor coat layer is a gravure coating method,
Various resin coating methods such as a reverse coating method can be used.
Examples of the metal oxide thin film on a plastic film include silicon oxide, aluminum oxide, magnesium oxide, tin oxide, and a mixture of two or more of these, which are used to impart gas barrier properties to a plastic film. Any metal oxide thin film can be used. Also in the gas barrier film according to the present invention, the metal oxide thin film has a function of giving the film an oxygen barrier property and a water vapor barrier property.

【0010】金属酸化物薄膜の厚さは、フィルムの使用
目的により異なるが、通常50〜5000Åである。5
0Å未満ではガスバリア性が概して不十分である。また
5000Åを超えるような厚さとなると、薄いプラスチ
ックフィルム、例えば15μm以下のプラスチックフィ
ルムを基材とする場合にカールが発生するなど、平面性
が損なわれ易い。また、珪素酸化物薄膜は若干黄色を呈
するので、膜厚が厚くなると無色透明性が要求される用
途に適さなくなる。また膜厚の変化により色に濃淡が生
ずるという問題もある。一般に金属酸化物薄膜の好適な
厚さは100〜2000Åである。
The thickness of the metal oxide thin film varies depending on the purpose of use of the film, but is usually 50 to 5000 °. 5
If it is less than 0 °, the gas barrier properties are generally insufficient. On the other hand, when the thickness exceeds 5000 °, flatness tends to be impaired, for example, when a thin plastic film, for example, a plastic film having a thickness of 15 μm or less is used as a base material, curling occurs. In addition, since the silicon oxide thin film has a slightly yellow color, it is not suitable for applications requiring colorless transparency when the film thickness is large. There is also a problem that the color is shaded by a change in the film thickness. Generally, the preferred thickness of the metal oxide thin film is 100 to 2000 °.

【0011】プラスチックフィルム上への金属酸化物薄
膜の形成は、真空蒸着、イオンプレーティング、スパッ
タリング、CVDなど公知の任意の方法で行うことがで
きる。真空蒸着で珪素酸化物薄膜を形成する場合には、
雰囲気に酸素ガスや水蒸気を導入すると、生成する薄膜
の透明性を向上させることができる。この場合には、雰
囲気の圧力が通常1×10-5〜1×10-3(Torr)
の範囲にあるようにガスの導入を行うのが好ましい。圧
力が1×10-3(Torr)以上となると、生成する薄
膜のガスバリア性が著しく低下する。また、圧力を1×
10-5(Torr)以下にしようとすると生産性の低下
が大きい。
The metal oxide thin film can be formed on the plastic film by any known method such as vacuum deposition, ion plating, sputtering, and CVD. When forming a silicon oxide thin film by vacuum deposition,
When oxygen gas or water vapor is introduced into the atmosphere, the transparency of the resulting thin film can be improved. In this case, the pressure of the atmosphere is usually 1 × 10 −5 to 1 × 10 −3 (Torr).
It is preferable to introduce the gas so as to fall within the range described above. When the pressure is 1 × 10 −3 (Torr) or more, the gas barrier property of the formed thin film is significantly reduced. The pressure is 1 ×
If it is set to 10 −5 (Torr) or less, the productivity is greatly reduced.

【0012】本発明では、このようにして形成された金
属酸化物薄膜の上に、アクリロイル基やメタクリロイル
基を有するシランカップリング剤を含有する活性エネル
ギー線硬化性組成物を塗布し、次いで活性エネルギー線
を照射して硬化させ、硬化被膜を形成する。本発明者ら
の検討によれば、アクリロイル基やメタクリロイル基を
有するシランカップリング剤を含む活性エネルギー線硬
化性組成物を用いると、金属酸化物薄膜と硬化被膜との
密着性がよくなり、かつ、ガスバリア性が向上する。そ
の理由は詳らかでないが、密着性の向上は、シランカッ
プリング剤が金属酸化物薄膜と化学結合し、かつシラン
カップリング剤のアクリロイル基やメタクリロイル基が
共存する他の被膜形成々分と反応して硬化被膜を金属酸
化物薄膜に強固に結合させることによるものと考えられ
る。また、ガスバリア性の向上も、金属酸化物薄膜を構
成している金属酸化物粒子間の間隙を、シランカップリ
ング剤ないしはそのアクリロイル基やメタクリロイル基
と反応した被膜形成成分が充填することによるものと考
えられる。
In the present invention, an active energy ray-curable composition containing a silane coupling agent having an acryloyl group or a methacryloyl group is applied on the metal oxide thin film thus formed, and then the active energy ray-curable composition is applied. The film is irradiated and cured to form a cured film. According to the study of the present inventors, when an active energy ray-curable composition containing a silane coupling agent having an acryloyl group or a methacryloyl group is used, the adhesion between the metal oxide thin film and the cured film is improved, and The gas barrier property is improved. Although the reason is not clear, the improvement in adhesion is due to the fact that the silane coupling agent chemically reacts with the metal oxide thin film and reacts with other film formations where acryloyl groups and methacryloyl groups of the silane coupling agent coexist. It is considered that the cured film is firmly bonded to the metal oxide thin film. In addition, the improvement in gas barrier properties is also attributable to the fact that the gap between metal oxide particles constituting the metal oxide thin film is filled with a silane coupling agent or a film-forming component that has reacted with the acryloyl group or methacryloyl group. Conceivable.

【0013】シランカップリング剤は、アクリロイル基
及びメタクリロイル基の少くとも一方を有するものであ
ればよいが、反応速度の大きいアクリロイル基を有する
ものの方が好ましい。例えば、反応性基としてイソシア
ネート基やメルカプト基のみを有し、アクリロイル基や
メタクリロイル基を有しないシランカップリング剤を使
用したのでは、密着性は改良されない。これはシランカ
ップリング剤と金属酸化物薄膜との結合は形成されて
も、このシランカップリング剤が共存する他の被膜形成
々分と反応して被膜中に取込まれ難いことによるものと
思われる。
The silane coupling agent only needs to have at least one of an acryloyl group and a methacryloyl group, but preferably has an acryloyl group having a high reaction rate. For example, if a silane coupling agent having only an isocyanate group or a mercapto group as a reactive group and not having an acryloyl group or a methacryloyl group is used, the adhesion is not improved. This seems to be due to the fact that even though the bond between the silane coupling agent and the metal oxide thin film is formed, the silane coupling agent reacts with other co-existing film formations and is hardly taken into the film. It is.

【0014】本発明で用いるアクリロイル基やメタクリ
ロイル基を有するシランカップリング剤としては、例え
ばγ−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−
メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−アク
リロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−メタクリロ
キシプロピルトリエトキシシラン、γ−アクリロキシプ
ロピルメチルジメトキシシラン、γ−アクリロキシプロ
ピルメチルジエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロ
ピルメチルジメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロ
ピルメチルジエトキシシラン、γ−アクリロキシプロピ
ル−トリス(β−メトキシエトキシ)シラン、γ−メタ
クリロキシプロピル−トリス(β−メトキシエトキシ)
シランなどが挙げられる。
The silane coupling agent having an acryloyl group or a methacryloyl group used in the present invention includes, for example, γ-acryloxypropyltrimethoxysilane,
Methacryloxypropyltrimethoxysilane, γ-acryloxypropyltriethoxysilane, γ-methacryloxypropyltriethoxysilane, γ-acryloxypropylmethyldimethoxysilane, γ-acryloxypropylmethyldiethoxysilane, γ-methacryloxypropylmethyl Dimethoxysilane, γ-methacryloxypropylmethyldiethoxysilane, γ-acryloxypropyl-tris (β-methoxyethoxy) silane, γ-methacryloxypropyl-tris (β-methoxyethoxy)
Examples include silane.

【0015】これらのシランカップリング剤は、活性エ
ネルギー線硬化性組成物中で、通常0.1〜60重量
%、好ましくは0.2〜45重量%を占める。シランカ
ップリング剤が少な過ぎると硬化被膜と金属酸化物薄膜
との密着性が十分に発現され難い。これは組成物中の金
属酸化物薄膜と反応する官能基の量が十分でないためと
考えられる。逆にシランカップリング剤が過剰に存在す
ると、硬化被膜の耐アルカリ性が低下するようになるこ
とがある。これは金属酸化物薄膜と反応しないシランカ
ップリング剤が、硬化被膜中に多量に残存し、これがア
ルカリと反応するためと考えられる。
These silane coupling agents account for usually 0.1 to 60% by weight, preferably 0.2 to 45% by weight in the active energy ray-curable composition. If the amount of the silane coupling agent is too small, it is difficult for the adhesion between the cured film and the metal oxide thin film to be sufficiently exhibited. This is presumably because the amount of the functional group that reacts with the metal oxide thin film in the composition is not sufficient. Conversely, if the silane coupling agent is present in excess, the alkali resistance of the cured film may decrease. This is probably because a large amount of the silane coupling agent that does not react with the metal oxide thin film remains in the cured film and reacts with the alkali.

【0016】活性エネルギー線硬化性組成物は、シラン
カップリング剤を含む以外は、活性エネルギー線の照射
により重合して硬化被膜を形成する常用のモノマーやオ
リゴマー、ポリマー等から成っている。例えばエポキシ
(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレー
ト、ポリエステル(メタ)アクリレート等のモノマーや
オリゴマーが用いられる。これらのいくつかを例示する
と、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメ
チロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリ
トールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメ
タクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレー
ト、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペ
ンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリ
スリトールヘキサメタクリレート、イソアミルアクリレ
ート、エトキシジエチレングリコールアクリレート、メ
トキシジエチレングリコールアクリレート、N−ビニル
ピロリドンなど、1個以上の炭素−炭素二重結合を有す
る単官能および多官能のアクリルモノマー、メタクリル
モノマー、ビニルモノマー類が挙げられる。 また、活
性エネルギー線硬化性組成物には、公知の添加剤、例え
ば、紫外線吸収剤、熱重合禁止剤などが配合されていて
も良い。
The active energy ray-curable composition comprises a conventional monomer, oligomer, polymer or the like which polymerizes by irradiation with an active energy ray to form a cured film, except for containing a silane coupling agent. For example, monomers or oligomers such as epoxy (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, and polyester (meth) acrylate are used. Examples of some of these include trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate. Monofunctional and polyfunctional acrylic monomers, methacrylic monomers, and vinyl monomers having one or more carbon-carbon double bonds, such as methacrylate, isoamyl acrylate, ethoxydiethylene glycol acrylate, methoxydiethylene glycol acrylate, and N-vinylpyrrolidone. The active energy ray-curable composition may contain known additives such as an ultraviolet absorber and a thermal polymerization inhibitor.

【0017】活性エネルギー線硬化性組成物で硬化被膜
を形成するには、活性エネルギー線硬化性組成物をグラ
ビアコート法、リバースコート法、ダイコート法などの
各種塗布方法で塗布し、活性エネルギー線を照射して硬
化させればよい。このとき、塗布してから硬化させる前
に予備加熱を行っても良い。活性エネルギー線硬化性組
成物が溶剤で希釈されている場合は、この予備加熱の工
程において溶剤を除去しなければならない。硬化被膜の
厚みは、通常0.5〜200μmの範囲とするのが好ま
しい。硬化被膜の厚みが0.5μmより薄いと塗布ムラ
が発生し、ガスバリア性や耐薬品性が十分に向上しな
い。また、この硬化被膜の厚みが200μmより厚いと
密着性が悪くなる。
In order to form a cured film with the active energy ray-curable composition, the active energy ray-curable composition is applied by various coating methods such as a gravure coating method, a reverse coating method, a die coating method and the like, and the active energy ray is applied. Irradiation and curing may be used. At this time, preheating may be performed after application and before curing. When the active energy ray-curable composition is diluted with a solvent, the solvent must be removed in this preheating step. The thickness of the cured film is usually preferably in the range of 0.5 to 200 μm. If the thickness of the cured film is less than 0.5 μm, application unevenness occurs, and the gas barrier properties and chemical resistance are not sufficiently improved. On the other hand, if the thickness of the cured film is greater than 200 μm, the adhesion will be poor.

【0018】照射する活性エネルギー線は、通常、紫外
線と電子線である。これらの活性エネルギー線を照射す
ると、組成物中にラジカルが発生して重合反応により硬
化が進行する。活性エネルギー線として紫外線を使用す
るときは、通常、ラジカル発生源として3〜5重量%の
光重合開始剤を配合しておく。電子線を使用するとき
は、組成物分子中にラジカルが発生するので、光重合開
始剤を配合する必要はない。以上のような本発明のガス
バリア性フィルムは、通常、透明性においても優れたも
のが得られ、透明性フィルムを必要とする用途において
は、全光線透過率が好ましくは80%以上、特に好まし
くは85%以上である。
The active energy rays to be irradiated are usually ultraviolet rays and electron beams. When these active energy rays are irradiated, radicals are generated in the composition and curing proceeds by a polymerization reaction. When ultraviolet rays are used as the active energy rays, usually, 3 to 5% by weight of a photopolymerization initiator is blended as a radical generation source. When an electron beam is used, it is not necessary to mix a photopolymerization initiator since radicals are generated in the composition molecules. The gas barrier film of the present invention as described above generally has excellent transparency, and in applications requiring a transparent film, the total light transmittance is preferably 80% or more, and particularly preferably. 85% or more.

【0019】[0019]

【実施例】以下に実施例及び比較例により本発明を更に
具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定さ
れるものではない。なお、以下の例における金属酸化物
薄膜の膜厚、酸素透過度、透湿度、全光線透過率、密着
性、耐薬品性及び硬化被膜の膜厚は下記により測定し
た。 金属酸化物薄膜の膜厚;電子顕微鏡(日立製作所製;H
−600型)により測定した。 酸素透過度;ASTM D−3985に準じて、酸素透
過測定装置(モダンコントロール社製、商品名;OX−
TRAN100)を用いて、25℃−wetの条件にて
測定した。
The present invention will be described more specifically with reference to the following examples and comparative examples, but the present invention is not limited to these examples. In the following examples, the thickness of the metal oxide thin film, oxygen permeability, moisture permeability, total light transmittance, adhesion, chemical resistance, and thickness of the cured film were measured as described below. Thickness of metal oxide thin film; electron microscope (Hitachi Ltd .; H
-600 type). Oxygen permeability; Oxygen permeability measuring device (trade name: OX-, manufactured by Modern Control Co., Ltd.) according to ASTM D-3985
TRAN100) at 25 ° C.-wet.

【0020】透湿度;ASTM F−1249に準じ
て、透湿度測定装置(モダンコントロール社製、商品
名;Permatran−W1)を用いて、40℃−9
0%RHの条件にて測定した。 全光線透過率;JIS K−7105に準じて、分光光
度計を用いて測定した。
Moisture permeability: 40 ° C.-9 using a moisture permeability measuring device (trade name: Permatran-W1 manufactured by Modern Control Co.) according to ASTM F-1249.
It was measured under the condition of 0% RH. Total light transmittance: Measured using a spectrophotometer according to JIS K-7105.

【0021】密着性;JIS K−5400に準じて、
活性エネルギー線硬化性組成物からなる硬化被膜上で、
碁盤の目セロテープ剥離試験を行った。1mm×1mm
のマス目100個のうち、剥離せずに残ったマス目の個
数により下記の判定を行った。 剥離せずに残ったマス目の個数100個;○ 〃 99〜75個;△ 〃 74〜 0個;×
Adhesion: According to JIS K-5400,
On the cured film composed of the active energy ray-curable composition,
A cross-cut cellophane tape peel test was performed. 1mm x 1mm
The following determination was made based on the number of squares remaining without being peeled out of the 100 squares. 100 pieces of squares remaining without peeling; ○ 〃 99-75; △ 74 74-0; ×

【0022】耐薬品性;活性エネルギー線硬化性組成物
からなる硬化被膜上に、5%−NaOH水溶液を滴下し
て10分間放置し、ふき取った後の表面状態を、目視ま
たは400倍の微分干渉顕微鏡で観察して下記の判定を
行った。 微分干渉顕微鏡で観察しても浸食されていない; ○ 目視では判り難いが、微分干渉顕微鏡で観察すると浸食されている;△ 目視でも判る程度に浸食されている; × 硬化被膜の膜厚;JIS K−5400に準じて、電磁
式膜厚計を用いて測定した。
Chemical resistance: A 5% -NaOH aqueous solution is dropped on a cured film made of the active energy ray-curable composition, left for 10 minutes, and the surface state after wiping is visually observed or 400-fold differential interference. The following judgment was made by observing with a microscope. No erosion when observed with a differential interference microscope; ○ It is hard to see visually, but eroded when observed with a differential interference microscope; △ Eroded enough to be seen visually; × Thickness of cured film; JIS It measured using the electromagnetic-type film thickness gauge according to K-5400.

【0023】また、金属酸化物蒸着フィルムとしては、
下記により製造したものを用いた。 珪素酸化物蒸着ポリエーテルサルホンフィルム(PES
−SiO);ポリエーテルサルホンフィルム(PES;
三井東圧社製、商品名;TALPA1000、厚さ10
0μm)に、イソシアネート化合物(日本ポリウレタン
工業社製、商品名;コロネートL)と、飽和ポリエステ
ル(東洋紡社製、商品名;バイロン300)とを1:1
で配合した塗料をコーターで塗布して乾燥し、厚さ約
0.1μmのアンカーコート層を形成した。巻取り式真
空蒸着装置を用いて、上記のポリエーテルサルホンフィ
ルムのアンカーコート面に、8×10-5Torrの真空
下、酸化珪素(SiO、住友シチックス社製)を高周波
誘導加熱方式で蒸着させて厚さ350Åの珪素酸化物薄
膜を有するフィルムを製造した。
Further, as the metal oxide vapor-deposited film,
The one manufactured as follows was used. Silicon oxide deposited polyether sulfone film (PES
—SiO); polyether sulfone film (PES;
Manufactured by Mitsui Toatsu, trade name: TALPA1000, thickness 10
0 μm) and an isocyanate compound (manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., trade name; Coronate L) and a saturated polyester (manufactured by Toyobo Co., trade name; Byron 300) in a ratio of 1: 1.
Was coated with a coater and dried to form an anchor coat layer having a thickness of about 0.1 μm. Silicon oxide (SiO, manufactured by Sumitomo Citix Co.) was vapor-deposited on the anchor coat surface of the polyethersulfone film by a high-frequency induction heating method using a roll-up type vacuum vapor deposition apparatus under a vacuum of 8 × 10 −5 Torr. Thus, a film having a silicon oxide thin film having a thickness of 350 ° was manufactured.

【0024】アルミニウム酸化物蒸着ポリエーテルサル
ホンフィルム(PES−Al2 3);酸化珪素の代り
にアルミニウム(三菱化学社製)を用い、且つ圧力が4
×10 -4Torrとなるように酸素ガスを導入しながら
蒸着を行なった以外は上記と同様にして、厚さ350Å
の酸化アルミニウム(Al2 3 )薄膜を有するフィル
ムを製造した。 珪素酸化物蒸着ポリアリレートフィルム(PAR−Si
O);ポリエーテルサルホンフィルムの代りにポリアリ
レートフィルム(PAR、鐘淵化学社製、商品名;エル
メックAIF、厚さ75μm)を用いた以外は上記と同
様にして、厚さ350Åの珪素酸化物薄膜を有するフィ
ルムを製造した。
Aluminum oxide vapor deposited polyether monkey
Phone film (PES-AlTwoOThree); Instead of silicon oxide
Aluminum (Mitsubishi Chemical Corporation) and pressure 4
× 10 -FourWhile introducing oxygen gas so that it becomes Torr
The same procedure as described above was carried out except that vapor deposition was performed.
Aluminum oxide (AlTwoOThree) Fill with thin film
Manufactured. Silicon oxide deposited polyarylate film (PAR-Si
O); Polyant instead of polyethersulfone film
Rate film (PAR, manufactured by Kanegafuchi Chemical Co., Ltd., trade name: L
Same as above, except for using MEC AIF (thickness 75 μm).
In this manner, a filter having a silicon oxide thin film having a thickness of 350.degree.
Lum manufactured.

【0025】実施例1〜19及び比較例1〜2 金属酸化物薄膜を有するフィルムの金属酸化物薄膜上
に、シランカップリング剤及び表−1に示す他の被膜形
成々分、並びに全体に対して3重量%となる量の光重合
開始剤(日本チバ・ガイギー社製、商品名;IRGAC
URE−184)からなる紫外線硬化性組成物を塗布
し、120w/cmのメタルハライドランプで約150
0mJ/cm2 の紫外線を照射して硬化させ、厚さ10
μmの硬化被膜を形成した。このフィルムの物性を表−
2に示す。
Examples 1 to 19 and Comparative Examples 1 to 2 On the metal oxide thin film of the film having the metal oxide thin film, a silane coupling agent and other coatings shown in Table 1 were formed, and Of photopolymerization initiator (manufactured by Ciba-Geigy Japan, trade name; IRGAC)
URE-184) is applied, and about 120 w / cm of a metal halide lamp is used.
It is cured by irradiating it with ultraviolet rays of 0 mJ / cm 2 and has a thickness of 10
A cured film of μm was formed. Table 1 shows the physical properties of this film.
It is shown in FIG.

【0026】比較例3 実施例で用いた珪素酸化物蒸着ポリエーテルサルホンフ
ィルムの物性を表−2に示す。 比較例4 アンカーコート層を設ける前のポリエーテルサルホンフ
ィルムを用いた以外は、実施例1と同様にして紫外線硬
化性組成物の硬化被膜を形成した。このフィルムの物性
を表−2に示す。 比較例5 実施例で用いた珪素酸化物蒸着ポリアリレートフィルム
の物性を表−2に示す。
Comparative Example 3 The physical properties of the silicon oxide-deposited polyethersulfone film used in the examples are shown in Table 2. Comparative Example 4 A cured film of an ultraviolet curable composition was formed in the same manner as in Example 1, except that the polyether sulfone film before the anchor coat layer was provided. Table 2 shows the physical properties of this film. Comparative Example 5 Table 2 shows the physical properties of the silicon oxide-deposited polyarylate film used in the examples.

【0027】比較例6 アンカーコート層を設ける前のポリアリレートフィルム
を用いた以外は、実施例1と同様にして紫外線硬化性組
成物の硬化被膜を形成した。このフィルムの物性を表−
2に示す。 比較例7 実施例1において、ポリエーテルサルホンフィルムに珪
素酸化物を蒸着したフィルムの、珪素酸化物薄膜面とは
反対側の面(ポリエーテルサルホン面)に紫外線硬化性
組成物を塗布した以外は、実施例1と全く同様に行なっ
た。結果を表−2に示す。
Comparative Example 6 A cured film of an ultraviolet-curable composition was formed in the same manner as in Example 1 except that the polyarylate film before the anchor coat layer was provided. Table 1 shows the physical properties of this film.
It is shown in FIG. Comparative Example 7 In Example 1, an ultraviolet-curable composition was applied to a surface (polyethersulfone surface) of a polyethersulfone film on which silicon oxide was vapor-deposited, opposite to the silicon oxide thin film surface. Except for the above, the procedure was exactly the same as in Example 1. Table 2 shows the results.

【0028】[0028]

【表1】 [Table 1]

【0029】[0029]

【表2】 [Table 2]

【0030】表−1の符号の説明 A:γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン
(信越化学工業社製、商品名;KBM503) B:γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン
(信越化学工業社製、商品名;KBE503) C:γ−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラ
ン(信越化学工業社製、商品名;KBM502) D:γ−メタクリロキシプロピルトリス(β−メトキシ
エトキシ)シラン(日本ユニカー社製、商品名;A−1
75) E:γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン(信越
化学工業社製、商品名;KBM803) F:エポキシアクリレート(新中村化学社製、商品名;
NKオリゴEA−1020) G:トリメチロールプロパントリアクリレート(新中村
化学社製、商品名;NKエステルA−TMPT) H:ペンタエリスリトールトリアクリレート(共栄社化
学社製、商品名;ライト アクリレート PE−3A)I:ウレタンアクリレート
(新中村化学社製、商品名;NKオリゴ U−340A
X) J:イソアミルアクリレート(共栄社化学社製、商品
名;ライトアクリレート1A−A) K:ペンタエリスリトールテトラアクリレート(共栄社
化学社製、商品名;ライトアクリレート PE−4A)
Description of reference numerals in Table 1 A: γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd .; trade name: KBM503) B: γ-methacryloxypropyltriethoxysilane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) Name: KBE503) C: γ-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name: KBM502) D: γ-methacryloxypropyltris (β-methoxyethoxy) silane (manufactured by Nippon Unicar, trade name; A-1
75) E: γ-mercaptopropyltrimethoxysilane (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd .; trade name; KBM803) F: Epoxy acrylate (Shin-Nakamura Chemical Co., trade name;
NK oligo EA-1020) G: Trimethylolpropane triacrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd .; trade name: NK ester A-TMPT) H: Pentaerythritol triacrylate (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., trade name; light acrylate PE-3A) I: Urethane acrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., trade name; NK Oligo U-340A)
X) J: isoamyl acrylate (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., trade name; light acrylate 1A-A) K: pentaerythritol tetraacrylate (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., trade name; light acrylate PE-4A)

【0031】[0031]

【発明の効果】本発明に係る、金属酸化物薄膜を有する
プラスチックフィルムの該金属酸化物薄膜上に(メタ)
アクリロイル基を有するシランカップリング剤を含有す
る活性エネルギー線硬化性組成物を塗布し、活性エネル
ギー線を照射して硬化させたものは、硬化被膜の密着性
がよく、著しく優れたガスバリア性を示し、且つ耐薬品
性に優れている。
According to the present invention, the plastic film having a metal oxide thin film has (meth)
An active energy ray-curable composition containing a silane coupling agent having an acryloyl group is applied and cured by irradiating with an active energy ray, and the cured film has excellent adhesion and excellent gas barrier properties. And excellent in chemical resistance.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 表面に金属酸化物薄膜が形成されている
プラスチックフィルムの該金属酸化物薄膜上に、アクリ
ロイル基及び/又はメタクリロイル基を有するシランカ
ップリング剤を含有する活性エネルギー線硬化性組成物
の硬化被膜が形成されていることを特徴とするガスバリ
ア性フィルム。
1. An active energy ray-curable composition comprising a silane coupling agent having an acryloyl group and / or a methacryloyl group on a metal oxide thin film of a plastic film having a metal oxide thin film formed on a surface thereof. A gas barrier film, wherein a cured film of the above is formed.
【請求項2】 活性エネルギー線硬化性組成物が、シラ
ンカップリング剤を0.2〜45重量%含有するもので
あることを特徴とする請求項1記載のガスバリア性フィ
ルム。
2. The gas barrier film according to claim 1, wherein the active energy ray-curable composition contains a silane coupling agent in an amount of 0.2 to 45% by weight.
【請求項3】 プラスチックフィルムと金属酸化物薄膜
との間に、厚さ0.005〜5μmのアンカーコート層
が介在していることを特徴とする請求項1又は2記載の
ガスバリア性フィルム。
3. The gas barrier film according to claim 1, wherein an anchor coat layer having a thickness of 0.005 to 5 μm is interposed between the plastic film and the metal oxide thin film.
【請求項4】 金属酸化物薄膜の厚さが50〜5000
Åであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか
に記載のガスバリア性フィルム。
4. The metal oxide thin film has a thickness of 50 to 5000.
The gas barrier film according to any one of claims 1 to 3, wherein?
【請求項5】 硬化被膜の厚さが0.5〜200μmで
あることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記
載のガスバリア性フィルム。
5. The gas barrier film according to claim 1, wherein the thickness of the cured film is 0.5 to 200 μm.
【請求項6】 全光線透過率が80%以上であることを
特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載のガスバ
リア性フィルム。
6. The gas barrier film according to claim 1, wherein the total light transmittance is 80% or more.
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