JPH104133A - ノッチ付きウェーハ整列装置 - Google Patents
ノッチ付きウェーハ整列装置Info
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- JPH104133A JPH104133A JP27132896A JP27132896A JPH104133A JP H104133 A JPH104133 A JP H104133A JP 27132896 A JP27132896 A JP 27132896A JP 27132896 A JP27132896 A JP 27132896A JP H104133 A JPH104133 A JP H104133A
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- wafer
- roller
- notched
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 カセット内の多数枚のノッチ付きウェーハの
ノッチ位置がずれて来たものを一定位置に整合させた
り、或いは任意の位置に容易に変更することのできるノ
ッチ付きウェーハ整列装置を提供する。 【解決手段】 多数のノッチ付きウェーハaのノッチb
を同じ向きに整合するため、カセットcの開口下部から
露出した各ウェーハaの下部に当接して回転する多数の
ノッチ検出用ローラ1を回転駆動軸2上に転動可能に並
列配備する。そして、各ノッチ検出用ローラ1を回転駆
動軸2との間の摩擦力で個別に回転駆動するようにす
る。
ノッチ位置がずれて来たものを一定位置に整合させた
り、或いは任意の位置に容易に変更することのできるノ
ッチ付きウェーハ整列装置を提供する。 【解決手段】 多数のノッチ付きウェーハaのノッチb
を同じ向きに整合するため、カセットcの開口下部から
露出した各ウェーハaの下部に当接して回転する多数の
ノッチ検出用ローラ1を回転駆動軸2上に転動可能に並
列配備する。そして、各ノッチ検出用ローラ1を回転駆
動軸2との間の摩擦力で個別に回転駆動するようにす
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェーハ、
詳しくは、切欠やくぼみなどのノッチを外周に設けたノ
ッチ付きウェーハで、該ノッチを使用してウェーハを同
方向に揃えて整合するとともに、ノッチ付きウェーハを
所定の方向に並べるノッチ付きウェーハ整列装置に関す
るものである。
詳しくは、切欠やくぼみなどのノッチを外周に設けたノ
ッチ付きウェーハで、該ノッチを使用してウェーハを同
方向に揃えて整合するとともに、ノッチ付きウェーハを
所定の方向に並べるノッチ付きウェーハ整列装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】一般に、半導体ウェーハは、キャリアな
どのカセットに入れて処理取扱われることが多く、その
ウェーハの特性上、特定の仕様範囲内にあることを保証
するため、同じ位置や向きに整合されることが要求され
る。従来のウェーハ揃えは、オリエーテンションフラッ
ト揃え(OF揃え)やVノッチ揃えにより、ウェーハを
位置決めすることが知られているが、OF揃えでは、カ
セット内に多数枚収納されるウェーハに位置ずれが多
く、誤差なく正確に一定位置に整合させるには、ウェー
ハの外周にノッチを形成し、このノッチを使用して同じ
向きに揃えるノッチ揃えの方が精度上でも、或いは、位
置、ノッチ検出、方向、又は処理などの作業上でも好ま
しい。
どのカセットに入れて処理取扱われることが多く、その
ウェーハの特性上、特定の仕様範囲内にあることを保証
するため、同じ位置や向きに整合されることが要求され
る。従来のウェーハ揃えは、オリエーテンションフラッ
ト揃え(OF揃え)やVノッチ揃えにより、ウェーハを
位置決めすることが知られているが、OF揃えでは、カ
セット内に多数枚収納されるウェーハに位置ずれが多
く、誤差なく正確に一定位置に整合させるには、ウェー
ハの外周にノッチを形成し、このノッチを使用して同じ
向きに揃えるノッチ揃えの方が精度上でも、或いは、位
置、ノッチ検出、方向、又は処理などの作業上でも好ま
しい。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、多数枚のノ
ッチ付きウェーハのノッチを揃える場合、取付具に備え
た整合ピンを使用して位置決めしたとしても、ノッチの
寸法や寸法許容値を仕様範囲内にあることを保証するの
が煩雑で、微小な誤差で位置ずれが多く、高精度に整合
することが困難であるという問題があった。また、ウェ
ーハの外周とカセットの内部に滑り部があるから、パー
ティクル増や静電気増のおそれがあり、調整が微妙で、
各種のノッチ付きウェーハの仕様にそれぞれ対応した一
定位置に整合調整したり、任意の位置に変更することが
難しく、作業取扱い上問題があった。
ッチ付きウェーハのノッチを揃える場合、取付具に備え
た整合ピンを使用して位置決めしたとしても、ノッチの
寸法や寸法許容値を仕様範囲内にあることを保証するの
が煩雑で、微小な誤差で位置ずれが多く、高精度に整合
することが困難であるという問題があった。また、ウェ
ーハの外周とカセットの内部に滑り部があるから、パー
ティクル増や静電気増のおそれがあり、調整が微妙で、
各種のノッチ付きウェーハの仕様にそれぞれ対応した一
定位置に整合調整したり、任意の位置に変更することが
難しく、作業取扱い上問題があった。
【0004】本発明は、上述した従来の欠点を排除しよ
うとするもので、カセット内にある全てのウェーハのノ
ッチ位置をノッチ検出ローラ部に整列させ、ノッチ付き
ウェーハ位置がずれて来たものを一定位置に整合させた
り、任意の位置に容易に変更でき、パーティクル増や静
電気増もなく、誤差も少なく、信頼性の高いウェーハ揃
の整列が自在で、調整作業も少なく、作業性も大幅に向
上させることのできるノッチ付きウェーハ整列装置を簡
易な構成で、安価な形態で提供することを目的としたも
のである。
うとするもので、カセット内にある全てのウェーハのノ
ッチ位置をノッチ検出ローラ部に整列させ、ノッチ付き
ウェーハ位置がずれて来たものを一定位置に整合させた
り、任意の位置に容易に変更でき、パーティクル増や静
電気増もなく、誤差も少なく、信頼性の高いウェーハ揃
の整列が自在で、調整作業も少なく、作業性も大幅に向
上させることのできるノッチ付きウェーハ整列装置を簡
易な構成で、安価な形態で提供することを目的としたも
のである。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明においては、上述
の目的を達成するため、ウェーハ収容用のカセットに多
数枚並列配備されたノッチ付きウェーハのノッチを同じ
向きに揃えるため各ウェーハに当接して駆動されるロー
ラを回転自在に備えたものにおいて、カセット内の多数
のノッチ付きウェーハの中心より偏心させた位置で、カ
セット内の多数のノッチ付きウェーハそれぞれに対応す
る多数のノッチ検出用ローラを回転駆動軸上に転動自在
に並列配備し、各ノッチ検出用ローラを回転駆動軸との
間の摩擦力で個別に駆動し、ノッチ付きウェーハをカセ
ット内で移動して同じ向きに揃える構成にするようにし
ている。なお、前記各ノッチ検出用ローラを回転駆動軸
上に設けた環状溝に嵌入した止め輪を介在して嵌装する
ことが好ましい。また、前記各ノッチ検出用ローラを、
回転駆動軸に嵌装された片側フランジ付きカラーに嵌装
することが好ましい。また、前記各ノッチ検出用ローラ
の内周面に環状突起を設け、回転駆動軸上に前記環状突
起の嵌入用の環状溝を設け、回転駆動軸上にノッチ検出
用ローラ間にギャップを形成して嵌装することが好まし
い。また、ノッチ検出用ローラの回転駆動軸が、昇降自
在の取付ベースに軸支され、ベルトで伝動されるプーリ
からなる巻掛伝動機構を介して取付ベース上の駆動用モ
ータに連結されて回転するものであって、取付ベースの
シリンダで昇降動し、ノッチ検出ローラをノッチ付きウ
ェーハに接離する構成にすることが望ましい。また、ノ
ッチ検出用ローラが、ローラの回転により回動するノッ
チ付きウェーハの回動方向で所定間隔離れた位置にノッ
チ付きウェーハの外周を受けてノッチ付きウェーハの回
転を案内するガイドローラを設けることが望ましい。ま
た、ノッチ検出用ローラの回転により回動するノッチ付
きウェーハのノッチによる整合後にノッチ検出用ローラ
からノッチ付きウェーハを離間移動させる上揃えローラ
を昇降自在に配備することが望ましい。さらに、上揃え
ローラが、駆動用モータによりベルトで伝動されるプー
リからなる巻掛伝動機構と、シリンダを含む昇降機構と
を備え、カセット内のノッチ整合後のノッチ付きウェー
ハをノッチ検出用ローラより持ち上げて離した後に回転
駆動させてノッチ付きウェーハのノッチを所定位置に移
動させると良い。
の目的を達成するため、ウェーハ収容用のカセットに多
数枚並列配備されたノッチ付きウェーハのノッチを同じ
向きに揃えるため各ウェーハに当接して駆動されるロー
ラを回転自在に備えたものにおいて、カセット内の多数
のノッチ付きウェーハの中心より偏心させた位置で、カ
セット内の多数のノッチ付きウェーハそれぞれに対応す
る多数のノッチ検出用ローラを回転駆動軸上に転動自在
に並列配備し、各ノッチ検出用ローラを回転駆動軸との
間の摩擦力で個別に駆動し、ノッチ付きウェーハをカセ
ット内で移動して同じ向きに揃える構成にするようにし
ている。なお、前記各ノッチ検出用ローラを回転駆動軸
上に設けた環状溝に嵌入した止め輪を介在して嵌装する
ことが好ましい。また、前記各ノッチ検出用ローラを、
回転駆動軸に嵌装された片側フランジ付きカラーに嵌装
することが好ましい。また、前記各ノッチ検出用ローラ
の内周面に環状突起を設け、回転駆動軸上に前記環状突
起の嵌入用の環状溝を設け、回転駆動軸上にノッチ検出
用ローラ間にギャップを形成して嵌装することが好まし
い。また、ノッチ検出用ローラの回転駆動軸が、昇降自
在の取付ベースに軸支され、ベルトで伝動されるプーリ
からなる巻掛伝動機構を介して取付ベース上の駆動用モ
ータに連結されて回転するものであって、取付ベースの
シリンダで昇降動し、ノッチ検出ローラをノッチ付きウ
ェーハに接離する構成にすることが望ましい。また、ノ
ッチ検出用ローラが、ローラの回転により回動するノッ
チ付きウェーハの回動方向で所定間隔離れた位置にノッ
チ付きウェーハの外周を受けてノッチ付きウェーハの回
転を案内するガイドローラを設けることが望ましい。ま
た、ノッチ検出用ローラの回転により回動するノッチ付
きウェーハのノッチによる整合後にノッチ検出用ローラ
からノッチ付きウェーハを離間移動させる上揃えローラ
を昇降自在に配備することが望ましい。さらに、上揃え
ローラが、駆動用モータによりベルトで伝動されるプー
リからなる巻掛伝動機構と、シリンダを含む昇降機構と
を備え、カセット内のノッチ整合後のノッチ付きウェー
ハをノッチ検出用ローラより持ち上げて離した後に回転
駆動させてノッチ付きウェーハのノッチを所定位置に移
動させると良い。
【0006】
【発明の実施の形態】本発明の実態形態において、基台
10上に載置されているカセットc内の多数枚のノッチ
付ウェーハaの下方に、ノッチ検出用ローラ1及びガイ
ドローラ8が昇降自在な取付ベース3の上昇移動により
上昇してくる。上昇したノッチ検出用ローラ1とガイド
ローラ8は、カセットc内のノッチ付ウェーハaの下部
に接触し、ウェーハaを押し上げて上昇端において停止
する。この際、ノッチ検出用ローラ1の中心はカセット
c内のノッチ付ウェーハaの中心より若干ずれたところ
に位置するとともに、ガイドローラ8の中心はノッチ検
出用ローラ1中心からノッチ付きウェーハaの中心を挟
み込む形で離れたところに位置する。
10上に載置されているカセットc内の多数枚のノッチ
付ウェーハaの下方に、ノッチ検出用ローラ1及びガイ
ドローラ8が昇降自在な取付ベース3の上昇移動により
上昇してくる。上昇したノッチ検出用ローラ1とガイド
ローラ8は、カセットc内のノッチ付ウェーハaの下部
に接触し、ウェーハaを押し上げて上昇端において停止
する。この際、ノッチ検出用ローラ1の中心はカセット
c内のノッチ付ウェーハaの中心より若干ずれたところ
に位置するとともに、ガイドローラ8の中心はノッチ検
出用ローラ1中心からノッチ付きウェーハaの中心を挟
み込む形で離れたところに位置する。
【0007】次いで、駆動モータ6により、ベルト4で
伝動された駆動力でプーリ5を介して回転力を得た回転
駆動軸2が回転すると、回転駆動軸2と連結されずに同
軸上に配置された多数のノッチ検出用ローラ1はカセッ
トc内の個々(例えば、25〜26枚)のノッチ付きウ
ェーハaに対応する個別のローラであるため、回転駆動
軸2との個々の摩擦力により、ノッチ付きウェーハaを
搭載したまま回転駆動軸2の回転に同期して駆動回転す
る。
伝動された駆動力でプーリ5を介して回転力を得た回転
駆動軸2が回転すると、回転駆動軸2と連結されずに同
軸上に配置された多数のノッチ検出用ローラ1はカセッ
トc内の個々(例えば、25〜26枚)のノッチ付きウ
ェーハaに対応する個別のローラであるため、回転駆動
軸2との個々の摩擦力により、ノッチ付きウェーハaを
搭載したまま回転駆動軸2の回転に同期して駆動回転す
る。
【0008】ノッチ検出用ローラ1の回転により、ノッ
チ付きウェーハaが回転移動を続けると、ウェーハaの
ノッチbがノッチ検出用ローラ1に接する所まで回転移
動して来る。そして、ノッチbがノッチ検出用ローラ1
に接触し、ノッチbの切欠きがノッチ検出用ローラ1の
直上部位置でまたがった状態になると、抵抗が増加して
ウェーハaを回転させるためには所定以上の力が必要と
なるため、ノッチ検出用ローラ1は、回転駆動軸2に対
し滑って停止し、回転駆動軸2のみが回転する。したが
って、全てのノッチ付きウェーハaは、それぞれノッチ
bがノッチ検出用ローラ1上に来たところで回転を停止
し、同じ位置、同じ向きに確実に揃えられることとな
り、多数のノッチ付きウェーハaを誤差なく整合したも
のに迅速に整列する処理が容易にできる。
チ付きウェーハaが回転移動を続けると、ウェーハaの
ノッチbがノッチ検出用ローラ1に接する所まで回転移
動して来る。そして、ノッチbがノッチ検出用ローラ1
に接触し、ノッチbの切欠きがノッチ検出用ローラ1の
直上部位置でまたがった状態になると、抵抗が増加して
ウェーハaを回転させるためには所定以上の力が必要と
なるため、ノッチ検出用ローラ1は、回転駆動軸2に対
し滑って停止し、回転駆動軸2のみが回転する。したが
って、全てのノッチ付きウェーハaは、それぞれノッチ
bがノッチ検出用ローラ1上に来たところで回転を停止
し、同じ位置、同じ向きに確実に揃えられることとな
り、多数のノッチ付きウェーハaを誤差なく整合したも
のに迅速に整列する処理が容易にできる。
【0009】
【実施例】以下、本発明の実施例を図1ないし図5の例
で説明すると、本発明は、基台10上に載置されるウェ
ーハ収容用のカセットcに多数枚並列配備されたノッチ
付きウェーハaのノッチbを同じ向きに揃えるため各ウ
ェーハaの下部に当接して回転駆動されるノッチ検出用
ローラ1を回転自在に備えたものであって、カセットc
内のノッチ付きウェーハaの中心より偏心f(例えば、
4〜8mm)させた位置で、カセットc内のノッチ付き
ウェーハaのそれぞれに対応して多数のノッチ検出用ロ
ーラ1を回転駆動軸2上に転動自在に並列配備し、各ノ
ッチ検出用ローラ1を回転駆動軸2との間の摩擦力で個
別に駆動してノッチ付きウェーハaをカセットc内で移
動させて同じ向きに揃える構成としたノッチ付きウェー
ハ整列装置である。このノッチ付きウェーハ整列装置
は、ウェーハaを洗浄、乾燥させるウエットステーショ
ン(図示せず)のFA取り入れ部や取り出し部などに設
けられている。
で説明すると、本発明は、基台10上に載置されるウェ
ーハ収容用のカセットcに多数枚並列配備されたノッチ
付きウェーハaのノッチbを同じ向きに揃えるため各ウ
ェーハaの下部に当接して回転駆動されるノッチ検出用
ローラ1を回転自在に備えたものであって、カセットc
内のノッチ付きウェーハaの中心より偏心f(例えば、
4〜8mm)させた位置で、カセットc内のノッチ付き
ウェーハaのそれぞれに対応して多数のノッチ検出用ロ
ーラ1を回転駆動軸2上に転動自在に並列配備し、各ノ
ッチ検出用ローラ1を回転駆動軸2との間の摩擦力で個
別に駆動してノッチ付きウェーハaをカセットc内で移
動させて同じ向きに揃える構成としたノッチ付きウェー
ハ整列装置である。このノッチ付きウェーハ整列装置
は、ウェーハaを洗浄、乾燥させるウエットステーショ
ン(図示せず)のFA取り入れ部や取り出し部などに設
けられている。
【0010】この場合、ノッチ検出用ローラ1は、機械
的強度、耐候性、耐薬品性、又は量産性などに優れる合
成樹脂(例えば、CTFE、PEEK、PVC、又はP
Cなど)から構成されている。このノッチ検出用ローラ
1は、カセットc内に整列収納されたノッチ付ウェーハ
aの中心より約3〜20mm、好ましくは、5mm程度
ずらした偏心位置、即ちノッチ付きウェーハaの重量の
殆んどを受け、なおかつ一定方向に偏心させることがで
きる位置に設置するのが良く、駆動用モータ6などによ
りベルト4にて伝動された駆動力で、プーリ5を介して
回転力を得る回転駆動軸2と、その軸外周に軸と連結さ
れないでカセットc内に整列収納されたノッチ付ウェー
ハaの25〜26枚をそれぞれ個々に回転させるための
25〜26個のノッチ検出用ローラ1とからなる(図1
及び図2参照)。
的強度、耐候性、耐薬品性、又は量産性などに優れる合
成樹脂(例えば、CTFE、PEEK、PVC、又はP
Cなど)から構成されている。このノッチ検出用ローラ
1は、カセットc内に整列収納されたノッチ付ウェーハ
aの中心より約3〜20mm、好ましくは、5mm程度
ずらした偏心位置、即ちノッチ付きウェーハaの重量の
殆んどを受け、なおかつ一定方向に偏心させることがで
きる位置に設置するのが良く、駆動用モータ6などによ
りベルト4にて伝動された駆動力で、プーリ5を介して
回転力を得る回転駆動軸2と、その軸外周に軸と連結さ
れないでカセットc内に整列収納されたノッチ付ウェー
ハaの25〜26枚をそれぞれ個々に回転させるための
25〜26個のノッチ検出用ローラ1とからなる(図1
及び図2参照)。
【0011】ノッチ検出用ローラ1の回転駆動軸2は、
昇降自在の取付ベース3に軸支され、ベルト4で伝動さ
れるプーリ5からなる巻掛伝動機構を介して取付ベース
3上の駆動用モータ6に連結されて回転するものであっ
て、取付ベース3に備えたシリンダ7で昇降動してノッ
チ検出ノッチ検出用ローラ1をノッチ付きウェーハaに
接離する構成としてある。
昇降自在の取付ベース3に軸支され、ベルト4で伝動さ
れるプーリ5からなる巻掛伝動機構を介して取付ベース
3上の駆動用モータ6に連結されて回転するものであっ
て、取付ベース3に備えたシリンダ7で昇降動してノッ
チ検出ノッチ検出用ローラ1をノッチ付きウェーハaに
接離する構成としてある。
【0012】また、ノッチ検出用ローラ1の中心は、カ
セットc内のノッチ付きウェーハaの中心より若干、例
えば5mm程度ずらしたところに位置し、ノッチ検出用
ローラ1と並列してローラの回転により回動するノッチ
付きウェーハaの回転方向で所定間隔約40mm程度離
れた位置にノッチ付きウェーハaの外周を受けてノッチ
付きウェーハaの回転を案内するガイドローラ8を昇降
自在の取付ベースに設けるとともに、ノッチ検出用ロー
ラ1の回転により回動するノッチ付きウェーハaのノッ
チbによる整合後にノッチ検出用ローラ1及びガイドロ
ーラ8からノッチ付きウェーハaを離間移動させる上揃
えローラ9を昇降自在に配備してある。
セットc内のノッチ付きウェーハaの中心より若干、例
えば5mm程度ずらしたところに位置し、ノッチ検出用
ローラ1と並列してローラの回転により回動するノッチ
付きウェーハaの回転方向で所定間隔約40mm程度離
れた位置にノッチ付きウェーハaの外周を受けてノッチ
付きウェーハaの回転を案内するガイドローラ8を昇降
自在の取付ベースに設けるとともに、ノッチ検出用ロー
ラ1の回転により回動するノッチ付きウェーハaのノッ
チbによる整合後にノッチ検出用ローラ1及びガイドロ
ーラ8からノッチ付きウェーハaを離間移動させる上揃
えローラ9を昇降自在に配備してある。
【0013】また、ガイドローラは8は、機械的強度、
耐候性、耐薬品性、又は量産性などに優れる合成樹脂
(例えば、CTFE、PEEK、PVC、又はPCな
ど)から構成されている。このガイドローラは8は、ノ
ッチ検出用ローラ1によりカセットc内のノッチ付きウ
ェーハaを回転させる際、ウェーハaの回転を案内する
ものでノッチ付きウェーハaの中心を挟み込む形(ウェ
ーハ・センターに対しノッチ検出用ローラ1と反対側)
でノッチ検出用ローラ1から離れた位置に固定設置され
る。ガイドローラ8は、支軸81 上に回転自在に備えら
れカセットc内の各ノッチ付きウェーハaの回転をそれ
ぞれ受けて個別に追従案内するローラであって、ノッチ
検出用ローラ1と並設されている。したがって、回転さ
れない支軸81 の外周に軸と連結されないで回転し、カ
セットc内に収納されたノッチ付きウェーハaの25〜
26枚の回転を個々に案内するためのローラを25〜2
6個を並列配備してある(図3参照)。
耐候性、耐薬品性、又は量産性などに優れる合成樹脂
(例えば、CTFE、PEEK、PVC、又はPCな
ど)から構成されている。このガイドローラは8は、ノ
ッチ検出用ローラ1によりカセットc内のノッチ付きウ
ェーハaを回転させる際、ウェーハaの回転を案内する
ものでノッチ付きウェーハaの中心を挟み込む形(ウェ
ーハ・センターに対しノッチ検出用ローラ1と反対側)
でノッチ検出用ローラ1から離れた位置に固定設置され
る。ガイドローラ8は、支軸81 上に回転自在に備えら
れカセットc内の各ノッチ付きウェーハaの回転をそれ
ぞれ受けて個別に追従案内するローラであって、ノッチ
検出用ローラ1と並設されている。したがって、回転さ
れない支軸81 の外周に軸と連結されないで回転し、カ
セットc内に収納されたノッチ付きウェーハaの25〜
26枚の回転を個々に案内するためのローラを25〜2
6個を並列配備してある(図3参照)。
【0014】なお、ガイドローラ8は、ノッチ検出用ロ
ーラ1の取付ベース3と同一のベースに取付けられてお
り、取付ベース3の上下動に伴ない、ノッチ検出用ロー
ラ1がノッチ付きウェーハaの下部に接触するときガイ
ドローラ8も同時にウェーハaの下部に接触する構造に
なっている。
ーラ1の取付ベース3と同一のベースに取付けられてお
り、取付ベース3の上下動に伴ない、ノッチ検出用ロー
ラ1がノッチ付きウェーハaの下部に接触するときガイ
ドローラ8も同時にウェーハaの下部に接触する構造に
なっている。
【0015】さらに、上揃えローラ9としては、駆動用
モータ11によりベルト12で伝動されるプーリ13と
からなる巻掛伝動機構と、シリンダを含む昇降機構とを
備え、カセットc内のノッチ整合後のノッチ付きウェー
ハaをノッチ検出用ローラ1より持ち上げて離した後
に、回転駆動されてノッチ付きウェーハaのノッチbを
所定位置に移動定置できるようにしてある(図5参
照)。
モータ11によりベルト12で伝動されるプーリ13と
からなる巻掛伝動機構と、シリンダを含む昇降機構とを
備え、カセットc内のノッチ整合後のノッチ付きウェー
ハaをノッチ検出用ローラ1より持ち上げて離した後
に、回転駆動されてノッチ付きウェーハaのノッチbを
所定位置に移動定置できるようにしてある(図5参
照)。
【0016】この場合、上揃えローラ9は、ノッチ検出
用ローラ1及びガイドローラ8によりカセットc内にて
ノッチ付きウェーハaのノッチ揃えを行っている際は、
下方に待機していて、ノッチの下揃えが完了すると、上
昇してカセットc内のウェーハaをノッチ検出用ローラ
1より離れる位置迄持ち上げた後(隙間をあけた後)、
回転させノッチ検出用ローラ1に移動させたノッチ付き
ウェーハaのノッチbを回転により上方に移動させるも
のである。なお、上揃えローラ9は、シリコンゴムなど
でその外周をライニングした円筒体で、その一端部には
プーリ13が結合され、ベルト12を介して駆動モータ
11などからの駆動力により回転力を得る様になってい
る。
用ローラ1及びガイドローラ8によりカセットc内にて
ノッチ付きウェーハaのノッチ揃えを行っている際は、
下方に待機していて、ノッチの下揃えが完了すると、上
昇してカセットc内のウェーハaをノッチ検出用ローラ
1より離れる位置迄持ち上げた後(隙間をあけた後)、
回転させノッチ検出用ローラ1に移動させたノッチ付き
ウェーハaのノッチbを回転により上方に移動させるも
のである。なお、上揃えローラ9は、シリコンゴムなど
でその外周をライニングした円筒体で、その一端部には
プーリ13が結合され、ベルト12を介して駆動モータ
11などからの駆動力により回転力を得る様になってい
る。
【0017】ノッチ付きウェーハ入りのカセットcの下
方から上昇してくるノッチ検出用ローラ1は、ウェーハ
aをカセットc内に押し上げ上昇端で停止すると、駆動
モータ6によりベルト4で伝動された駆動力でプーリ5
を介して回転力を得た回転駆動軸2が回転すると、回転
駆動軸2とは連結されないで、同軸上に配置されたノッ
チ検出用ローラ1はカセットc内の個々(25〜26
枚)のノッチ付きウェーハaに対応する個別のローラで
あるため、回転駆動軸2と個々のノッチ検出用ローラ1
との摩擦力によりノッチ付きウェーハaをノッチ検出用
ローラ1に搭載したまま回転駆動軸2の回転に同期して
駆動回転する。
方から上昇してくるノッチ検出用ローラ1は、ウェーハ
aをカセットc内に押し上げ上昇端で停止すると、駆動
モータ6によりベルト4で伝動された駆動力でプーリ5
を介して回転力を得た回転駆動軸2が回転すると、回転
駆動軸2とは連結されないで、同軸上に配置されたノッ
チ検出用ローラ1はカセットc内の個々(25〜26
枚)のノッチ付きウェーハaに対応する個別のローラで
あるため、回転駆動軸2と個々のノッチ検出用ローラ1
との摩擦力によりノッチ付きウェーハaをノッチ検出用
ローラ1に搭載したまま回転駆動軸2の回転に同期して
駆動回転する。
【0018】このように、ノッチ検出用ローラ1を回転
させるためには、ノッチ検出用ローラ1と回転駆動軸2
との間の摩擦力によるが、ノッチ検出用ローラ1と回転
駆動軸2とのそれぞれの材質を選択し、滑り摩擦係数が
例えば0.3になるようにした場合、ノッチ検出用ロー
ラ1と回転駆動軸2との間に発生する最大静止摩擦によ
るノッチ検出用ローラ1の外周での最大駆動力は次の数
1式により9.6gになる。
させるためには、ノッチ検出用ローラ1と回転駆動軸2
との間の摩擦力によるが、ノッチ検出用ローラ1と回転
駆動軸2とのそれぞれの材質を選択し、滑り摩擦係数が
例えば0.3になるようにした場合、ノッチ検出用ロー
ラ1と回転駆動軸2との間に発生する最大静止摩擦によ
るノッチ検出用ローラ1の外周での最大駆動力は次の数
1式により9.6gになる。
【0019】
【数1】
【0020】ところで、ノッチ検出用ローラ1がノッチ
付きウェーハaの下部より当接してウェーハaを回転さ
せるとき、ガイドローラ8もウェーハa下部に接触して
おり、同ウェーハaの回転を案内する場合には、ガイド
ローラ8はノッチ付きウェーハaに対して次の数2式に
示す抑止力を発生させる。
付きウェーハaの下部より当接してウェーハaを回転さ
せるとき、ガイドローラ8もウェーハa下部に接触して
おり、同ウェーハaの回転を案内する場合には、ガイド
ローラ8はノッチ付きウェーハaに対して次の数2式に
示す抑止力を発生させる。
【0021】
【数2】
【0022】さらに、ノッチ付きウェーハaがカセット
c内に収納されている時、ウェーハaはカセットcの支
切り用リブc1 に対して寄りかかり、左右いずれかに傾
いている(図3(b)参照)。したがって、ノッチ検出
用ローラ1がノッチ付きウェーハaを搭載したまま回転
する際には、カセットcとウェーハaの接触点eにより
摩擦力を受けることになる(図3参照)。即ち、数3の
通りとなる。
c内に収納されている時、ウェーハaはカセットcの支
切り用リブc1 に対して寄りかかり、左右いずれかに傾
いている(図3(b)参照)。したがって、ノッチ検出
用ローラ1がノッチ付きウェーハaを搭載したまま回転
する際には、カセットcとウェーハaの接触点eにより
摩擦力を受けることになる(図3参照)。即ち、数3の
通りとなる。
【0023】
【数3】
【0024】ノッチ付きウェーハaの回転に対してF1
及びF2 の抑止力が働くが、F>F1 +F2 のため、ノ
ッチ検出用ローラ1の個々のノッチ検出用ローラ1は回
転駆動軸2上をすべることなく同期回転することができ
る。このノッチ検出用ローラ1の回転により、ノッチ付
きウェーハaは回転を続けると、ウェーハaのノッチ1
aが案内ノッチ検出用ローラ1に接する所までくること
になる。ノッチbがノッチ検出用ローラ1に接触する状
態、即ちノッチbがノッチ検出用ローラ1の真上部にま
たがった状態になると、ノッチ検出用ローラ1がウェー
ハaをさらに回転させるためには、次の数4式の通り力
Pが必要となる(図4参照)。
及びF2 の抑止力が働くが、F>F1 +F2 のため、ノ
ッチ検出用ローラ1の個々のノッチ検出用ローラ1は回
転駆動軸2上をすべることなく同期回転することができ
る。このノッチ検出用ローラ1の回転により、ノッチ付
きウェーハaは回転を続けると、ウェーハaのノッチ1
aが案内ノッチ検出用ローラ1に接する所までくること
になる。ノッチbがノッチ検出用ローラ1に接触する状
態、即ちノッチbがノッチ検出用ローラ1の真上部にま
たがった状態になると、ノッチ検出用ローラ1がウェー
ハaをさらに回転させるためには、次の数4式の通り力
Pが必要となる(図4参照)。
【0025】
【数4】
【0026】数3式及び数4式の通り、P>Fなので、
ノッチ検出用ローラ1は、回転駆動軸2に対して滑り
(ガイドローラ8は静止し、回転駆動軸2のみ回転す
る)、ノッチ付きウェーハaの(25〜26枚)全ての
ウェーハaは、そのノッチbが各ノッチ検出用ローラ1
上に来たところで回転を停止することとなり、同じ向き
に精度良く揃えられることになる。
ノッチ検出用ローラ1は、回転駆動軸2に対して滑り
(ガイドローラ8は静止し、回転駆動軸2のみ回転す
る)、ノッチ付きウェーハaの(25〜26枚)全ての
ウェーハaは、そのノッチbが各ノッチ検出用ローラ1
上に来たところで回転を停止することとなり、同じ向き
に精度良く揃えられることになる。
【0027】なお、必要に応じて上揃えローラ9を用い
てノッチ付きウェーハaのノッチbを整列したままで所
定位置に移動する。即ち、ノッチ検出用ローラ1上にノ
ッチ付きウェーハaのノッチbが整列したところで、ノ
ッチ検出用ローラ1及びガイドローラ8より下方に位置
していた上揃えローラ9を上昇させ、ウェーハa下部に
当てて、さらにこれを持ち上げる(図5参照)。
てノッチ付きウェーハaのノッチbを整列したままで所
定位置に移動する。即ち、ノッチ検出用ローラ1上にノ
ッチ付きウェーハaのノッチbが整列したところで、ノ
ッチ検出用ローラ1及びガイドローラ8より下方に位置
していた上揃えローラ9を上昇させ、ウェーハa下部に
当てて、さらにこれを持ち上げる(図5参照)。
【0028】そして、ノッチ検出用ローラ1からノッチ
付きウェーハaを離して上昇端にて停止した上揃えロー
ラ9は、ローラ9上にノッチ付きウェーハaを搭載した
まま駆動用モータ13によりベルト12により伝動され
た駆動力でプーリを介して受けることにより、回転して
ノッチ付きウェーハaを回転させる。このノッチ付きウ
ェーハaを一定時間回転させることにより、多数枚(2
5〜26枚)の全てのウェーハaのノッチbを整合させ
たまま上方などの任意位置へ移動させることができる。
付きウェーハaを離して上昇端にて停止した上揃えロー
ラ9は、ローラ9上にノッチ付きウェーハaを搭載した
まま駆動用モータ13によりベルト12により伝動され
た駆動力でプーリを介して受けることにより、回転して
ノッチ付きウェーハaを回転させる。このノッチ付きウ
ェーハaを一定時間回転させることにより、多数枚(2
5〜26枚)の全てのウェーハaのノッチbを整合させ
たまま上方などの任意位置へ移動させることができる。
【0029】なお、ノッチ付きウェーハaと同数、又は
それ以上のノッチ検出用ローラ1を回転駆動軸2上に並
列し、各ノッチ検出用ローラ1は回転駆動軸2に対して
回転自在に緩く嵌合されていて、ノッチ検出用ローラ1
と回転駆動軸2との摩擦係数を適当な値とし、ウェーハ
aの回転方向の力Fがウェーハaのノッチbのない部分
では回転駆動させるに十分な値で、ウェーハaのノッチ
bがノッチ検出用ローラ1の上にまたがった時(図4参
照)からさらにノッチbを移動させるための力Pより小
さくなるようにすることが考慮されている。
それ以上のノッチ検出用ローラ1を回転駆動軸2上に並
列し、各ノッチ検出用ローラ1は回転駆動軸2に対して
回転自在に緩く嵌合されていて、ノッチ検出用ローラ1
と回転駆動軸2との摩擦係数を適当な値とし、ウェーハ
aの回転方向の力Fがウェーハaのノッチbのない部分
では回転駆動させるに十分な値で、ウェーハaのノッチ
bがノッチ検出用ローラ1の上にまたがった時(図4参
照)からさらにノッチbを移動させるための力Pより小
さくなるようにすることが考慮されている。
【0030】また、ノッチ検出用ローラ1は、ウェーハ
aを一定方向に回転しやすくするため、ウェーハ円の中
心線を通る基準線より少しずらしたところに位置させる
のが良く、カセットcに入れられた多数枚のウェーハa
の不規則なノッチbをノッチ検出用ローラ1の位置に正
確に一度整列させるようにすることが配慮される。さら
に、ガイドローラ8の代用として、ウェーハaをカセッ
トcのウェーハ溝の片端に押し当てることでも良いし、
他のガイド部材を用いノッチ付きウェーハaの回転を個
別に案内し、ウェーハaに対して抑止力を発生させてノ
ッチ検出用ローラ1の回転力を調整しやすくするのが良
い。
aを一定方向に回転しやすくするため、ウェーハ円の中
心線を通る基準線より少しずらしたところに位置させる
のが良く、カセットcに入れられた多数枚のウェーハa
の不規則なノッチbをノッチ検出用ローラ1の位置に正
確に一度整列させるようにすることが配慮される。さら
に、ガイドローラ8の代用として、ウェーハaをカセッ
トcのウェーハ溝の片端に押し当てることでも良いし、
他のガイド部材を用いノッチ付きウェーハaの回転を個
別に案内し、ウェーハaに対して抑止力を発生させてノ
ッチ検出用ローラ1の回転力を調整しやすくするのが良
い。
【0031】さらにまた、上揃えローラ9は、一旦整列
させたノッチ付きウェーハaのノッチbを一括して上方
位置などの任意位置に移動させ、各種の仕様に合わせや
すくするものである。
させたノッチ付きウェーハaのノッチbを一括して上方
位置などの任意位置に移動させ、各種の仕様に合わせや
すくするものである。
【0032】ところで、ノッチ検出用ローラ1とガイド
ローラ8については、ウェーハaが垂直状態で接触する
ことを前提として説明したが、図6や図7に示すよう
に、ウェーハaは微小な傾きθ1 でノッチ検出用ローラ
1とガイドローラ8上に接触している。この場合、ノッ
チ検出用ローラ1とガイドローラ8には横方向の力P
(図7参照)が作用し、ノッチ検出用ローラ1とガイド
ローラ8が間隔l(図6参照)をもって回転駆動軸2又
は支軸81 に摩擦嵌合していても、回転中に横方向にス
ライドして隣接のノッチ検出用ローラ1又はガイドロー
ラ8が相互に接触することとなる。
ローラ8については、ウェーハaが垂直状態で接触する
ことを前提として説明したが、図6や図7に示すよう
に、ウェーハaは微小な傾きθ1 でノッチ検出用ローラ
1とガイドローラ8上に接触している。この場合、ノッ
チ検出用ローラ1とガイドローラ8には横方向の力P
(図7参照)が作用し、ノッチ検出用ローラ1とガイド
ローラ8が間隔l(図6参照)をもって回転駆動軸2又
は支軸81 に摩擦嵌合していても、回転中に横方向にス
ライドして隣接のノッチ検出用ローラ1又はガイドロー
ラ8が相互に接触することとなる。
【0033】なお、上記スライド現象は、回転駆動軸2
の振動だけではなく、回転駆動軸2の加工跡やウェーハ
aの傾斜に伴う分力Eによっても発生する(図8(b)
参照)。すなわち、回転駆動軸2は、一般的に旋盤加工
されるが、その加工の際、周面に微妙なラセン状の加工
跡が残り、この加工跡が大部分のノッチ検出用ローラ群
14を送り作用でスライドさせることとなる。また、大
部分のノッチ検出用ローラ群14がウェーハaを支持す
る際、ウェーハaに微小な傾きθ1 (図6参照)がある
と、分力Eが発生する。この分力Eは、僅かなものでは
あるが、大部分のノッチ検出用ローラ群14が支持する
ウェーハaの全てが同方向に傾斜している場合には無視
できない大きな力となる。例えば、大部分のノッチ検出
用ローラ群14が当接支持するウェーハaが20枚ある
場合、分力Eは、20倍にもなり、この大きな力が大部
分のノッチ検出用ローラ群14を横方向にスライドさせ
ることとなる。
の振動だけではなく、回転駆動軸2の加工跡やウェーハ
aの傾斜に伴う分力Eによっても発生する(図8(b)
参照)。すなわち、回転駆動軸2は、一般的に旋盤加工
されるが、その加工の際、周面に微妙なラセン状の加工
跡が残り、この加工跡が大部分のノッチ検出用ローラ群
14を送り作用でスライドさせることとなる。また、大
部分のノッチ検出用ローラ群14がウェーハaを支持す
る際、ウェーハaに微小な傾きθ1 (図6参照)がある
と、分力Eが発生する。この分力Eは、僅かなものでは
あるが、大部分のノッチ検出用ローラ群14が支持する
ウェーハaの全てが同方向に傾斜している場合には無視
できない大きな力となる。例えば、大部分のノッチ検出
用ローラ群14が当接支持するウェーハaが20枚ある
場合、分力Eは、20倍にもなり、この大きな力が大部
分のノッチ検出用ローラ群14を横方向にスライドさせ
ることとなる。
【0034】以上の振動、加工跡、及び又は分力Eを原
因として大部分のノッチ検出用ローラ群14が横方向に
スライドすると、一部のノッチ検出用ローラ群14aに
対する押しつけ力が増加して一部のノッチ検出用ローラ
群14a間の摩擦力が増大し、これらの押しつけ力及び
摩擦力がノッチbを整合していない一部のノッチ検出用
ローラ群14aの回転を強制的に誤って停止させること
となる(図8(c)参照)。また、大部分のノッチ検出
用ローラ群14の横方向へのスライドに伴い、傾きθ1
が大きくなってθ2 (図7参照)となり、一部のノッチ
検出用ローラ群14aに対する押しつけ力をさらに増大
させることとなる。このような問題を解消するには、摩
擦係数がきわめて小さい材料を選択してノッチ検出用ロ
ーラ1やガイドローラ8の外周面を構成すれば良いが、
材料の選択がきわめて困難であり、しかも、コストの増
加につながるおそれもある。
因として大部分のノッチ検出用ローラ群14が横方向に
スライドすると、一部のノッチ検出用ローラ群14aに
対する押しつけ力が増加して一部のノッチ検出用ローラ
群14a間の摩擦力が増大し、これらの押しつけ力及び
摩擦力がノッチbを整合していない一部のノッチ検出用
ローラ群14aの回転を強制的に誤って停止させること
となる(図8(c)参照)。また、大部分のノッチ検出
用ローラ群14の横方向へのスライドに伴い、傾きθ1
が大きくなってθ2 (図7参照)となり、一部のノッチ
検出用ローラ群14aに対する押しつけ力をさらに増大
させることとなる。このような問題を解消するには、摩
擦係数がきわめて小さい材料を選択してノッチ検出用ロ
ーラ1やガイドローラ8の外周面を構成すれば良いが、
材料の選択がきわめて困難であり、しかも、コストの増
加につながるおそれもある。
【0035】本実施形態によれば、図9(a)に示すよ
うに、回転駆動軸2及び支軸81 の周面に多数の環状溝
15が間隔をおいてそれぞれ形成され、この多数の環状
溝15に止め輪16を嵌合しながら各ノッチ検出用ロー
ラ1又はガイドローラ8を順次嵌装して行く。そのた
め、多数のノッチ検出用ローラ1又はガイドローラ8同
士の接触を防止することができる。また、押しつけ力や
摩擦力が止め輪16にのみ作用するので、各ノッチ検出
用ローラ1又はガイドローラ8が独立して動作し、他の
ローラ1又は8に作用することがない。したがって、簡
易な構成で一部のウェーハaのノッチbが不揃いになる
のを確実に防止することができ、これを通じて信頼性を
大幅に向上させることが可能になる。
うに、回転駆動軸2及び支軸81 の周面に多数の環状溝
15が間隔をおいてそれぞれ形成され、この多数の環状
溝15に止め輪16を嵌合しながら各ノッチ検出用ロー
ラ1又はガイドローラ8を順次嵌装して行く。そのた
め、多数のノッチ検出用ローラ1又はガイドローラ8同
士の接触を防止することができる。また、押しつけ力や
摩擦力が止め輪16にのみ作用するので、各ノッチ検出
用ローラ1又はガイドローラ8が独立して動作し、他の
ローラ1又は8に作用することがない。したがって、簡
易な構成で一部のウェーハaのノッチbが不揃いになる
のを確実に防止することができ、これを通じて信頼性を
大幅に向上させることが可能になる。
【0036】次に、図9(b)は第2の実施形態を示す
もので、この場合には、摩擦係数の小さいステンレス製
のフランジ17付きカラー18を回転駆動軸2及び支軸
81に順次嵌合しながらノッチ検出用ローラ1、又はガ
イドローラ8をそれぞれ回転可能に嵌め、回転駆動軸2
及び支軸81 に止め輪19とステンレス製の押しつけリ
ング19とをそれぞれ嵌着して多数のフランジ17付き
カラー18のスライドを規制するようにしている。その
他の部分については、上記実施形態と同様であるので省
略する。
もので、この場合には、摩擦係数の小さいステンレス製
のフランジ17付きカラー18を回転駆動軸2及び支軸
81に順次嵌合しながらノッチ検出用ローラ1、又はガ
イドローラ8をそれぞれ回転可能に嵌め、回転駆動軸2
及び支軸81 に止め輪19とステンレス製の押しつけリ
ング19とをそれぞれ嵌着して多数のフランジ17付き
カラー18のスライドを規制するようにしている。その
他の部分については、上記実施形態と同様であるので省
略する。
【0037】本実施形態によれば、多数のフランジ17
付きカラー18が接触して多数のノッチ検出用ローラ1
又はガイドローラ8同士の接触を防止することができ
る。また、押しつけ力や摩擦力がフランジ17付きカラ
ー18にのみ作用するので、各ノッチ検出用ローラ1や
ガイドローラ8が独立して動作し、他のローラ1、8に
作用することがない。したがって、簡易な構成で一部の
ウェーハaのノッチbが不揃いになるのを確実に防止す
ることができ、これを通じて、製品の歩止まりを良くし
て信頼性を大幅に向上させることが可能になる。
付きカラー18が接触して多数のノッチ検出用ローラ1
又はガイドローラ8同士の接触を防止することができ
る。また、押しつけ力や摩擦力がフランジ17付きカラ
ー18にのみ作用するので、各ノッチ検出用ローラ1や
ガイドローラ8が独立して動作し、他のローラ1、8に
作用することがない。したがって、簡易な構成で一部の
ウェーハaのノッチbが不揃いになるのを確実に防止す
ることができ、これを通じて、製品の歩止まりを良くし
て信頼性を大幅に向上させることが可能になる。
【0038】次に、図9(c)は第3の実施形態を示す
もので、この場合には、回転駆動軸2又は支軸81 の周
面に多数の凹溝20を間隔をおいてそれぞれ形成すると
ともに、多数のノッチ検出用ローラ1又はガイドローラ
8の内周面には突条21をそれぞれ形成し、回転駆動軸
2又は支軸81 の凹溝20に多数のノッチ検出用ローラ
1又はガイドローラ8の突条21を熱間嵌装し、各ロー
ラ間にギャップを設けて相互に独立するようにしてい
る。その他の部分については、上記実施形態と同様であ
るので省略する。本実施形態においても、簡易な構成
で、上記実施形態と同様の作用効果が期待できるのは明
らかである。
もので、この場合には、回転駆動軸2又は支軸81 の周
面に多数の凹溝20を間隔をおいてそれぞれ形成すると
ともに、多数のノッチ検出用ローラ1又はガイドローラ
8の内周面には突条21をそれぞれ形成し、回転駆動軸
2又は支軸81 の凹溝20に多数のノッチ検出用ローラ
1又はガイドローラ8の突条21を熱間嵌装し、各ロー
ラ間にギャップを設けて相互に独立するようにしてい
る。その他の部分については、上記実施形態と同様であ
るので省略する。本実施形態においても、簡易な構成
で、上記実施形態と同様の作用効果が期待できるのは明
らかである。
【0039】なお、上記実施形態においては、回転駆動
軸2又は支軸81 に凹溝20を、ノッチ検出用ローラ1
とガイドローラ8には突条21をそれぞれ形成したもの
を示したが、なんらこれに限定されるものではなく、回
転駆動軸2又は支軸81 に突条21を、ノッチ検出用ロ
ーラ1又はガイドローラ8には凹溝20をそれぞれ形成
しても良いのはいうまでもない。
軸2又は支軸81 に凹溝20を、ノッチ検出用ローラ1
とガイドローラ8には突条21をそれぞれ形成したもの
を示したが、なんらこれに限定されるものではなく、回
転駆動軸2又は支軸81 に突条21を、ノッチ検出用ロ
ーラ1又はガイドローラ8には凹溝20をそれぞれ形成
しても良いのはいうまでもない。
【0040】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、多数枚の
ノッチ付きウェーハをそれぞれ回転させる多数のノッチ
検出用ローラが単一駆動源で回転駆動でき、しかも、各
ノッチ付きウェーハに対して必要以上の負荷を加えずに
確実に整列させることができるという効果がある。ま
た、ノッチ付きウェーハをノッチ検出用ローラ上に搭載
することにより、ローラと回転駆動軸の間に発生する摩
擦力を有効利用してノッチ付きウェーハのノッチがロー
ラに当ると、ローラと回転駆動軸との間で滑りが生じ、
カセット内にある全てのウェーハのノッチ位置をローラ
部に精確に整列させることができ、ウェーハを効率良く
同じ向きに揃えることができる。
ノッチ付きウェーハをそれぞれ回転させる多数のノッチ
検出用ローラが単一駆動源で回転駆動でき、しかも、各
ノッチ付きウェーハに対して必要以上の負荷を加えずに
確実に整列させることができるという効果がある。ま
た、ノッチ付きウェーハをノッチ検出用ローラ上に搭載
することにより、ローラと回転駆動軸の間に発生する摩
擦力を有効利用してノッチ付きウェーハのノッチがロー
ラに当ると、ローラと回転駆動軸との間で滑りが生じ、
カセット内にある全てのウェーハのノッチ位置をローラ
部に精確に整列させることができ、ウェーハを効率良く
同じ向きに揃えることができる。
【0041】また、ノッチ付きウェーハ位置がずれて来
たものを一定位置に整合させたり、任意の位置に変更す
ることを容易に処理でき、パーティクル増や静電気増も
なく、誤差も少なく、信頼性の高いウェーハ揃え及び整
列が可能で、調整作業も少なく、作業性も大幅に向上さ
せることのできるウェーハ揃え装置を簡易な構成で、し
かも、安価な形態で提供することができるという効果が
ある。さらに、ノッチ検出用ローラの軸方向へのスライ
ドに伴い、一部のウェーハ群のノッチが不揃いになるこ
とがなく、製品の安定性や信頼性の向上が期待できる。
たものを一定位置に整合させたり、任意の位置に変更す
ることを容易に処理でき、パーティクル増や静電気増も
なく、誤差も少なく、信頼性の高いウェーハ揃え及び整
列が可能で、調整作業も少なく、作業性も大幅に向上さ
せることのできるウェーハ揃え装置を簡易な構成で、し
かも、安価な形態で提供することができるという効果が
ある。さらに、ノッチ検出用ローラの軸方向へのスライ
ドに伴い、一部のウェーハ群のノッチが不揃いになるこ
とがなく、製品の安定性や信頼性の向上が期待できる。
【図1】本発明に係るノッチ付きウェーハ整列装置の実
施例を示す模式図で、その一部の正面図である。
施例を示す模式図で、その一部の正面図である。
【図2】図1のA−A線における拡大縦断面図である。
【図3】図1の例の一部の拡大説明図で、(a)は正面
図、(b)はB−B線における縦断面図である。
図、(b)はB−B線における縦断面図である。
【図4】図1の例の一使用状態を示し、ウェーハの整合
状態の拡大正面図である。
状態の拡大正面図である。
【図5】図1の例のウェーハの上揃え機構を示し、
(a)は一部の拡大正面図、(b)はC−C線における
縦断面図である。
(a)は一部の拡大正面図、(b)はC−C線における
縦断面図である。
【図6】ノッチ検出用ローラ及びガイドローラのスライ
ド現象を説明する説明図である。
ド現象を説明する説明図である。
【図7】ノッチ検出用ローラ及びガイドローラのスライ
ド現象を示す説明図である。
ド現象を示す説明図である。
【図8】ノッチ検出用ローラ及びガイドローラのスライ
ド現象の原因を説明する説明図で、(a)図は全てのノ
ッチ検出用ローラが回転してウェーハを回転させている
正常状態を示す説明図、(b)は大部分のノッチ検出用
ローラ群が停止し、一部のノッチ検出用ローラ群が回転
してウェーハを回転させている状態を示す説明図、
(c)は全てのノッチ検出用ローラ群に押しつけ力が作
用して停止した状態を示す説明図である。
ド現象の原因を説明する説明図で、(a)図は全てのノ
ッチ検出用ローラが回転してウェーハを回転させている
正常状態を示す説明図、(b)は大部分のノッチ検出用
ローラ群が停止し、一部のノッチ検出用ローラ群が回転
してウェーハを回転させている状態を示す説明図、
(c)は全てのノッチ検出用ローラ群に押しつけ力が作
用して停止した状態を示す説明図である。
【図9】本発明に係るノッチ検出用ローラ又はガイドロ
ーラを回転駆動軸に嵌合した実施例を示すもので、
(a)は第1の実施例を示す要部拡大図、(b)は第2
の実施例を示す要部拡大図、(c)は第3の実施例を示
す要部拡大図である。
ーラを回転駆動軸に嵌合した実施例を示すもので、
(a)は第1の実施例を示す要部拡大図、(b)は第2
の実施例を示す要部拡大図、(c)は第3の実施例を示
す要部拡大図である。
a…ウェーハ b…ノッチ c…カセット 1…ノッチ検出用ローラ 2…回転駆動軸 3…取付ベース 4…ベルト 5…プーリ 6…駆動モータ 7…シリンダ 8…ガイドローラ 81 …支軸 9…上揃えローラ 10…基台 11…モータ 12…ベルト 13…プーリ 14…大部分のノッチ検出用ローラ群 14a…一部のノッチ検出用ローラ群 15…環状溝 16…止め輪 17…フランジ 18…カラー 19…押しつけリング 20…凹溝 21…突条
Claims (8)
- 【請求項1】 ウェーハ収容用のカセットに多数枚並列
配備されたノッチ付きウェーハのノッチを同じ向きに揃
えるため各ウェーハに当接して駆動されるローラを回転
自在に備えたノッチ付きウェーハ整列装置において、カ
セット内の多数のノッチ付きウェーハの中心より偏心さ
せた位置で、カセット内の多数のノッチ付きウェーハそ
れぞれに対応する多数のノッチ検出用ローラを回転駆動
軸上に転動自在に並列配備し、各ノッチ検出用ローラを
回転駆動軸との間の摩擦力で個別に駆動し、ノッチ付き
ウェーハをカセット内で移動して同じ向きに揃える構成
としたことを特徴とするノッチ付きウェーハ整列装置。 - 【請求項2】 前記各ノッチ検出用ローラを回転駆動軸
上に設けた環状溝に嵌入した止め輪を介在して嵌装した
請求項1記載のノッチ付きウェーハ整列装置。 - 【請求項3】 前記各ノッチ検出用ローラを、回転駆動
軸に嵌装された片側フランジ付きカラーに嵌装した請求
項1記載のノッチ付きウェーハ整列装置。 - 【請求項4】 前記各ノッチ検出用ローラの内周面に環
状突起を設け、回転駆動軸上に前記環状突起の嵌入用の
環状溝を設け、回転駆動軸上にノッチ検出用ローラ間に
ギャップを形成して嵌装した請求項1記載のノッチ付き
ウェーハ整列装置。 - 【請求項5】 ノッチ検出用ローラの回転駆動軸が、昇
降自在の取付ベースに軸支され、ベルトで伝動されるプ
ーリからなる巻掛伝動機構を介して取付ベース上の駆動
用モータに連結されて回転するものであって、取付ベー
スのシリンダで昇降動し、ノッチ検出ローラをノッチ付
きウェーハに接離する構成とした請求項1乃至4のいず
れか一項に記載のノッチ付きウェーハ整列装置。 - 【請求項6】 ノッチ検出用ローラが、ローラの回転に
より回動するノッチ付きウェーハの回動方向で所定間隔
離れた位置にノッチ付きウェーハの外周を受けてノッチ
付きウェーハの回転を案内するガイドローラを設けた請
求項1乃至5のいずれか一項に記載のノッチ付きウェー
ハ整列装置。 - 【請求項7】 ノッチ検出用ローラの回転により回動す
るノッチ付きウェーハのノッチによる整合後にノッチ検
出用ローラからノッチ付きウェーハを離間移動させる上
揃えローラを昇降自在に配備した請求項1乃至6のいず
れか一項に記載のノッチ付きウェーハ整列装置。 - 【請求項8】 上揃えローラが、駆動用モータによりベ
ルトで伝動されるプーリからなる巻掛伝動機構と、シリ
ンダを含む昇降機構とを備え、カセット内のノッチ整合
後のノッチ付きウェーハをノッチ検出用ローラより持ち
上げて離した後に回転駆動させてノッチ付きウェーハの
ノッチを所定位置に移動させるものである請求項7記載
のノッチ付きウェーハ整列装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27132896A JP3478682B2 (ja) | 1996-04-17 | 1996-09-24 | ノッチ付きウェーハ整列装置 |
US08/926,607 US5853284A (en) | 1996-09-24 | 1997-09-10 | Notched wafer aligning apparatus |
DE19741520A DE19741520B4 (de) | 1996-09-24 | 1997-09-20 | Vorrichtung zum Ausrichten gekerbter Wafer |
FR9711866A FR2753693B1 (fr) | 1996-09-24 | 1997-09-24 | Appareil d'alignement d'encoches de tranches |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11824896 | 1996-04-17 | ||
JP8-118248 | 1996-04-17 | ||
JP27132896A JP3478682B2 (ja) | 1996-04-17 | 1996-09-24 | ノッチ付きウェーハ整列装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH104133A true JPH104133A (ja) | 1998-01-06 |
JP3478682B2 JP3478682B2 (ja) | 2003-12-15 |
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Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP27132896A Expired - Fee Related JP3478682B2 (ja) | 1996-04-17 | 1996-09-24 | ノッチ付きウェーハ整列装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP3478682B2 (ja) |
-
1996
- 1996-09-24 JP JP27132896A patent/JP3478682B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP3478682B2 (ja) | 2003-12-15 |
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