JPH1040849A - 透過電子顕微鏡 - Google Patents
透過電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH1040849A JPH1040849A JP8191780A JP19178096A JPH1040849A JP H1040849 A JPH1040849 A JP H1040849A JP 8191780 A JP8191780 A JP 8191780A JP 19178096 A JP19178096 A JP 19178096A JP H1040849 A JPH1040849 A JP H1040849A
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- Japan
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- electron microscope
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Abstract
(57)【要約】
【課題】透過電子顕微鏡で、観察時間の大幅短縮が可能
でかつ操作性の良い電子顕微鏡を提供する。 【解決手段】試料４を装着したステージ７を自動的に動
かし、試料を透過してきた電子線を電子線強度検出器１
９で検出し、演算素子で、電子線強度が観察可能なしき
い値を超えるかどうかを判断し、その結果をＣＲＴディ
スプレイに表示する。
でかつ操作性の良い電子顕微鏡を提供する。 【解決手段】試料４を装着したステージ７を自動的に動
かし、試料を透過してきた電子線を電子線強度検出器１
９で検出し、演算素子で、電子線強度が観察可能なしき
い値を超えるかどうかを判断し、その結果をＣＲＴディ
スプレイに表示する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、透過電子顕微鏡に
関し、特に試料観察時の効率的な視野選択および試料へ
のダメージ低減に関する。
関し、特に試料観察時の効率的な視野選択および試料へ
のダメージ低減に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子線は試料に対して透過能力が小さ
く、厚い試料の観察は不可能である。このため試料を超
薄切片にしてメッシュ上にのせて観察したり、イオンシ
ニング等の方法により試料の一部を薄く削って観察して
いた。しかし実際に観察可能な部分は試料の全体ではな
くごく一部であり、その箇所を探すのは、オペレータが
試料の端から順に試料微動装置により走査していくとい
う方法であり、あらかじめ観察可能な箇所を記録し、オ
ペレータは、この記録された中から観察箇所を任意に選
び、試料の観察を行っていた。この測定箇所を探す作業
に費やす時間は多く、その分オペレータの負担となって
いた。公知例として、特開平3−211844 号公報では一度
観察した点を記録し、その点の軌跡を連続的に表示する
という方法が示されており、これによりオペレータへの
負担を軽減し、観察作業の簡素化がなされていた。
く、厚い試料の観察は不可能である。このため試料を超
薄切片にしてメッシュ上にのせて観察したり、イオンシ
ニング等の方法により試料の一部を薄く削って観察して
いた。しかし実際に観察可能な部分は試料の全体ではな
くごく一部であり、その箇所を探すのは、オペレータが
試料の端から順に試料微動装置により走査していくとい
う方法であり、あらかじめ観察可能な箇所を記録し、オ
ペレータは、この記録された中から観察箇所を任意に選
び、試料の観察を行っていた。この測定箇所を探す作業
に費やす時間は多く、その分オペレータの負担となって
いた。公知例として、特開平3−211844 号公報では一度
観察した点を記録し、その点の軌跡を連続的に表示する
という方法が示されており、これによりオペレータへの
負担を軽減し、観察作業の簡素化がなされていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし従来技術では、
透過電子顕微鏡で試料のどの部分が観察可能な箇所か一
度観察しないと判らず、オペレータの技量に頼る部分が
多かった。またその場所を探すのに時間と手間がかかる
という問題を有していた。さらに観察可能箇所を探すた
めに長時間試料に電子線を照射することになり、試料に
ダメージを与えるという問題も有していた。
透過電子顕微鏡で試料のどの部分が観察可能な箇所か一
度観察しないと判らず、オペレータの技量に頼る部分が
多かった。またその場所を探すのに時間と手間がかかる
という問題を有していた。さらに観察可能箇所を探すた
めに長時間試料に電子線を照射することになり、試料に
ダメージを与えるという問題も有していた。
【０００４】本発明の目的は、試料の像観察を行う前に
あらかじめ試料中の測定可能な箇所を識別し、その場所
を自動的に記録表示することにより、試料観察時の操作
性を向上させ、電子線照射時間の削減による試料へのダ
メージを軽減させるような電子顕微鏡を提供することに
ある。
あらかじめ試料中の測定可能な箇所を識別し、その場所
を自動的に記録表示することにより、試料観察時の操作
性を向上させ、電子線照射時間の削減による試料へのダ
メージを軽減させるような電子顕微鏡を提供することに
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、試料を透過してきた電子線を検出し、
演算素子で電子線の強度が測定可能なしきい値内である
かどうか判断し、観察可能な領域の分布を識別できるよ
う構成した。また電子線強度分布を調べる際、最初は照
射電子線強度を弱くして測定を行い、測定可能なしきい
値内の透過電子が検出されない場合、測定可能なしきい
値を越える透過電子が出てくる値まで電子線強度を自動
的に上げていくよう構成した。
に、本発明では、試料を透過してきた電子線を検出し、
演算素子で電子線の強度が測定可能なしきい値内である
かどうか判断し、観察可能な領域の分布を識別できるよ
う構成した。また電子線強度分布を調べる際、最初は照
射電子線強度を弱くして測定を行い、測定可能なしきい
値内の透過電子が検出されない場合、測定可能なしきい
値を越える透過電子が出てくる値まで電子線強度を自動
的に上げていくよう構成した。
【０００６】上記構成によれば、あらかじめ観察可能な
箇所が全て分かる。したがって、観察時間の大幅な短縮
が可能である。また測定可能な箇所をＣＲＴディスプレ
イに表示し、そこから任意に観察箇所を選択できること
から操作性が格段に向上し、オペレータへの負担が大幅
に削減できる。さらに照射電子線強度をコントロールす
ることにより、試料へのダメージも軽減されるようにな
る。
箇所が全て分かる。したがって、観察時間の大幅な短縮
が可能である。また測定可能な箇所をＣＲＴディスプレ
イに表示し、そこから任意に観察箇所を選択できること
から操作性が格段に向上し、オペレータへの負担が大幅
に削減できる。さらに照射電子線強度をコントロールす
ることにより、試料へのダメージも軽減されるようにな
る。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、図を用いて本発明の一実施
例を説明する。
例を説明する。
【０００８】図１は本発明の電子顕微鏡のシステム構成
を示している。電子銃１より放出された電子線２は照射
レンズ系３によって収束された後に試料４に照射され
る。試料４を透過した電子線２は対物レンズをはじめと
する結像レンズ系５によって拡大され蛍光板６上で、試
料の拡大像を結ぶ。
を示している。電子銃１より放出された電子線２は照射
レンズ系３によって収束された後に試料４に照射され
る。試料４を透過した電子線２は対物レンズをはじめと
する結像レンズ系５によって拡大され蛍光板６上で、試
料の拡大像を結ぶ。
【０００９】試料４はステージ７上に置かれ、ステージ
７はモータ１０Ｘ，１０Ｙの回転を、ステージ７が接続
されたリニアアクチュエータ８Ｘ，８Ｙで直進運動に変
換することによってＸ，Ｙ方向に移動することができ
る。これにより、オペレータが見たい箇所に任意に試料
を動かして観察することが可能である。
７はモータ１０Ｘ，１０Ｙの回転を、ステージ７が接続
されたリニアアクチュエータ８Ｘ，８Ｙで直進運動に変
換することによってＸ，Ｙ方向に移動することができ
る。これにより、オペレータが見たい箇所に任意に試料
を動かして観察することが可能である。
【００１０】モータ１０Ｘ，１０Ｙには、その回転軸を
共用するロータリエンコーダ１１Ｘ，１１Ｙが接続され
ている。ロータリエンコーダ１１Ｘ，１１Ｙから出力さ
れ、モータの回転数に応じたパルスＰＸ１，ＰＹ１は演
算素子１２で積算される。
共用するロータリエンコーダ１１Ｘ，１１Ｙが接続され
ている。ロータリエンコーダ１１Ｘ，１１Ｙから出力さ
れ、モータの回転数に応じたパルスＰＸ１，ＰＹ１は演
算素子１２で積算される。
【００１１】演算素子１２は、モータ駆動用電源１３
Ｘ，１３Ｙを介してモータの駆動制御を行う。試料ステ
ージ７を移動するための入力装置１４は、その移動量を
入力するための回転つまみ１８Ｘ，１８Ｙの軸にロータ
リエンコーダ１４Ｘ，１４Ｙが直結されたものであり、
その回転量に比例した数のパルスを演算素子１２に対し
て出力する。つまり試料ステージの移動は、ロータリエ
ンコーダによって発生されたパルスの数に従って動かさ
れ、同時に試料及び試料ステージの位置もパルスに比例
した数で記録される。
Ｘ，１３Ｙを介してモータの駆動制御を行う。試料ステ
ージ７を移動するための入力装置１４は、その移動量を
入力するための回転つまみ１８Ｘ，１８Ｙの軸にロータ
リエンコーダ１４Ｘ，１４Ｙが直結されたものであり、
その回転量に比例した数のパルスを演算素子１２に対し
て出力する。つまり試料ステージの移動は、ロータリエ
ンコーダによって発生されたパルスの数に従って動かさ
れ、同時に試料及び試料ステージの位置もパルスに比例
した数で記録される。
【００１２】試料を透過した電子線２は電子線強度検出
器１９によって強度を検出される。電子線強度検出はモ
ータ１０Ｘ，１０Ｙ及びリニアアクチュエータ８Ｘ，８
Ｙによって試料全面を測定し、電子線の強度のデータを
電子線強度検出器を通して演算素子に入る。演算素子の
中では透過電子線強度が観察可能なしきい値を越えるか
どうかを判断し、観察可能と判断された箇所の座標を、
ロータリエンコーダ１１Ｘ，１１Ｙから出力されモータ
の回転数に応じたパルスＰＸ１，ＰＸ２として記憶素子
２０に記憶する。一回に透過電子線強度を見る範囲は、
オペレータが設定した倍率にて一回に観察する範囲と
し、まずこの範囲で試料上の横軸（あるいは縦軸）一行
分をスキャンする。そしてその行の検出が終わると次の
行に移り、同様に試料上をスキャンする。これを繰り返
すことにより、試料全体の透過電子線強度を検出するこ
とが可能である。
器１９によって強度を検出される。電子線強度検出はモ
ータ１０Ｘ，１０Ｙ及びリニアアクチュエータ８Ｘ，８
Ｙによって試料全面を測定し、電子線の強度のデータを
電子線強度検出器を通して演算素子に入る。演算素子の
中では透過電子線強度が観察可能なしきい値を越えるか
どうかを判断し、観察可能と判断された箇所の座標を、
ロータリエンコーダ１１Ｘ，１１Ｙから出力されモータ
の回転数に応じたパルスＰＸ１，ＰＸ２として記憶素子
２０に記憶する。一回に透過電子線強度を見る範囲は、
オペレータが設定した倍率にて一回に観察する範囲と
し、まずこの範囲で試料上の横軸（あるいは縦軸）一行
分をスキャンする。そしてその行の検出が終わると次の
行に移り、同様に試料上をスキャンする。これを繰り返
すことにより、試料全体の透過電子線強度を検出するこ
とが可能である。
【００１３】照射電子線強度は、電子線強度検出スター
ト時には弱くし、試料全面を一度スキャンした後、観察
可能な電子線強度の箇所があったかどうかを確認し、無
ければ測定可能な電子線強度の箇所が出てくるまで電子
線強度を上げながら試料全面をスキャンしていく。結果
はＣＲＴディスプレイ２２に表示される(図３参照)。Ｃ
ＲＴディスプレイに絵的に表示された観察可能な箇所か
ら、オペレータが観測したい箇所を、ＣＲＴディスプレ
イ中のカーソルを移動させて任意に選ぶことができる。
あらかじめ観察可能箇所は記憶素子にて記憶されている
から、リニアアクチュエータによって試料が移動する。
ト時には弱くし、試料全面を一度スキャンした後、観察
可能な電子線強度の箇所があったかどうかを確認し、無
ければ測定可能な電子線強度の箇所が出てくるまで電子
線強度を上げながら試料全面をスキャンしていく。結果
はＣＲＴディスプレイ２２に表示される(図３参照)。Ｃ
ＲＴディスプレイに絵的に表示された観察可能な箇所か
ら、オペレータが観測したい箇所を、ＣＲＴディスプレ
イ中のカーソルを移動させて任意に選ぶことができる。
あらかじめ観察可能箇所は記憶素子にて記憶されている
から、リニアアクチュエータによって試料が移動する。
【００１４】図２は、電子線強度検出開始から観察開始
までの制御動作方法を示したフローチャートである。電
子線強度検出開始スイッチをオンするＦ１。試料上のス
キャン開始位置を決定するＦ２。試料に対して一回で観
察する範囲における透過電子線強度を検出するＦ３。こ
の範囲が観察可能な箇所であったか判断するＦ４。Ｆ４
でＹｅｓの場合、その観察可能な箇所の座標を記録する
Ｆ５。まだこの行にスキャンする範囲が残っているか判
断するＦ６。Ｆ６でＹｅｓの場合、その箇所の座標を記
録するＦ７。Ｆ６でＮｏの場合、まだスキャンする行が
残っているかどうか判断するＦ８。Ｆ８でＹｅｓの場
合、次の行へ移動するＦ９。Ｆ８でＮｏの場合、今一回
全体のスキャンを行った中に、観察可能な箇所があった
か判断するＦ１０。Ｆ１０でＮｏの場合、照射電子線強
度を上げるＦ１１。
までの制御動作方法を示したフローチャートである。電
子線強度検出開始スイッチをオンするＦ１。試料上のス
キャン開始位置を決定するＦ２。試料に対して一回で観
察する範囲における透過電子線強度を検出するＦ３。こ
の範囲が観察可能な箇所であったか判断するＦ４。Ｆ４
でＹｅｓの場合、その観察可能な箇所の座標を記録する
Ｆ５。まだこの行にスキャンする範囲が残っているか判
断するＦ６。Ｆ６でＹｅｓの場合、その箇所の座標を記
録するＦ７。Ｆ６でＮｏの場合、まだスキャンする行が
残っているかどうか判断するＦ８。Ｆ８でＹｅｓの場
合、次の行へ移動するＦ９。Ｆ８でＮｏの場合、今一回
全体のスキャンを行った中に、観察可能な箇所があった
か判断するＦ１０。Ｆ１０でＮｏの場合、照射電子線強
度を上げるＦ１１。
【００１５】図３は、観察可能箇所をＣＲＴディスプレ
イに表示した一例を示している。オペレータが任意に決
めた倍率により、１回に観察できる範囲は試料Ｓ１中の
点線で区切った正方形１つ分となる。この大きさで試料
全面を走査させ、観察可能箇所を検出する。観察可能箇
所はＳ２の様に示される。オペレータはこのＳ２の中か
ら画面上のカーソルＳ３を移動して測定したい箇所を任
意に選択することができる。
イに表示した一例を示している。オペレータが任意に決
めた倍率により、１回に観察できる範囲は試料Ｓ１中の
点線で区切った正方形１つ分となる。この大きさで試料
全面を走査させ、観察可能箇所を検出する。観察可能箇
所はＳ２の様に示される。オペレータはこのＳ２の中か
ら画面上のカーソルＳ３を移動して測定したい箇所を任
意に選択することができる。
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば以下のような効果が達成
される。
される。
【００１７】あらかじめ測定可能な箇所が全て分かり、
測定可能な箇所がＣＲＴディスプレイに絵的に表示さ
れ、その中から任意に測定箇所を選択できることから操
作性が格段に向上し、観察時間も大幅に短縮できるとと
もにオペレータへの負担も軽減され、透過電子顕微鏡の
操作にあまり慣れていない人にも観察が容易に行えるよ
うになる。また照射電子線の強度が弱くなることから照
射電子線による試料へのダメージも軽減されるようにな
る。
測定可能な箇所がＣＲＴディスプレイに絵的に表示さ
れ、その中から任意に測定箇所を選択できることから操
作性が格段に向上し、観察時間も大幅に短縮できるとと
もにオペレータへの負担も軽減され、透過電子顕微鏡の
操作にあまり慣れていない人にも観察が容易に行えるよ
うになる。また照射電子線の強度が弱くなることから照
射電子線による試料へのダメージも軽減されるようにな
る。
【図１】本発明の一実施例である透過電子顕微鏡のブロ
ック図。
ック図。
【図２】本発明の一実施例である透過電子顕微鏡での透
過電子線強度検出の制御方法を示したフローチャート。
過電子線強度検出の制御方法を示したフローチャート。
【図３】本発明の一実施例である透過電子顕微鏡での透
過電子線強度検出による観察可能箇所の一表事例の説明
図。
過電子線強度検出による観察可能箇所の一表事例の説明
図。
６…蛍光板、７…試料ステージ、８Ｘ，８Ｙ…アクチュ
エータ、１０Ｘ，１０Ｙ…モータ、１１Ｘ，１１Ｙ，１
４Ｘ，１４Ｙ…エンコーダ、１２…演算素子、１３Ｘ，
１３Ｙ…電源、２０…記憶素子、２１…スイッチ、２２
…表示素子。
エータ、１０Ｘ，１０Ｙ…モータ、１１Ｘ，１１Ｙ，１
４Ｘ，１４Ｙ…エンコーダ、１２…演算素子、１３Ｘ，
１３Ｙ…電源、２０…記憶素子、２１…スイッチ、２２
…表示素子。
Claims (6)
- 【請求項１】透過電子顕微鏡において、試料ステージを
移動させる試料微動機構と、電子線強度を測定できる検
出器と、検出電子線強度を所定の複数の値と比較演算す
る手段を備え、試料微動装置を用いて試料を走査移動さ
せる事により、前記照射電子線のうち試料を透過した電
子線を前記検出器で走査移動毎に検出し、前記透過電子
線の強度が所定の値の範囲内であるか前記比較演算手段
で判断させ、観察可能領域を自動的に識別することを特
徴とする透過電子顕微鏡。 - 【請求項２】請求項１において、前記電子線強度分布を
調べる際、オペレータが設定した倍率で一回に観察でき
る視野範囲ごとに試料ステージを移動させ、試料全体を
走査させることにより、試料全体の前記透過電子線強度
分布を調べる請求項１に記載の透過電子顕微鏡。 - 【請求項３】請求項１または２において、前記観察可能
領域を表示手段に表示し、該表示手段に表示された前記
観察可能領域から、実際に観察する箇所の選択が可能で
ある透過電子顕微鏡。 - 【請求項４】請求項３において、観察する箇所の選択を
行うとその箇所に対応した視野位置になるように試料ス
テージを自動的に移動することができる試料微動機構を
備えた透過電子顕微鏡。 - 【請求項５】請求項１，２，３または４において、検出
電子線強度と比較演算する値を任意に設定できる手段及
びその値を表示する手段を有した透過電子顕微鏡。 - 【請求項６】請求項１，２，３，４または５において、
前記透過電子線強度分布を調べる際、最初は照射電子線
を強度を弱い状態で照射させ、前記電子線強度検出器で
検出し、前記比較演算手段にて検出可能領域の有無を判
断させ、前記照射電子線の強度を検出可能なまで自動的
に上げていく透過電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8191780A JPH1040849A (ja) | 1996-07-22 | 1996-07-22 | 透過電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8191780A JPH1040849A (ja) | 1996-07-22 | 1996-07-22 | 透過電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1040849A true JPH1040849A (ja) | 1998-02-13 |
Family
ID=16280421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8191780A Pending JPH1040849A (ja) | 1996-07-22 | 1996-07-22 | 透過電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1040849A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007141866A (ja) * | 2007-02-26 | 2007-06-07 | Hitachi Ltd | 電子顕微方法及びそれを用いた電子顕微鏡並び生体試料検査方法及び生体検査装置 |
| JP5464535B1 (ja) * | 2013-07-23 | 2014-04-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | Ｅｂｓｄ検出器で所望箇所を容易に分析できる荷電粒子線装置およびその制御方法 |
-
1996
- 1996-07-22 JP JP8191780A patent/JPH1040849A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007141866A (ja) * | 2007-02-26 | 2007-06-07 | Hitachi Ltd | 電子顕微方法及びそれを用いた電子顕微鏡並び生体試料検査方法及び生体検査装置 |
| JP5464535B1 (ja) * | 2013-07-23 | 2014-04-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | Ｅｂｓｄ検出器で所望箇所を容易に分析できる荷電粒子線装置およびその制御方法 |
| WO2015011975A1 (ja) * | 2013-07-23 | 2015-01-29 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | Ｅｂｓｄ検出器で所望箇所を容易に分析できる荷電粒子線装置およびその制御方法 |
| CN105359249A (zh) * | 2013-07-23 | 2016-02-24 | 株式会社日立高新技术 | 能够用ebsd检测器容易地分析所期望位置的带电粒子线装置以及其控制方法 |
| CN105359249B (zh) * | 2013-07-23 | 2017-03-29 | 株式会社日立高新技术 | 能够用ebsd检测器容易地分析所期望位置的带电粒子线装置以及其控制方法 |
| US9741531B2 (en) | 2013-07-23 | 2017-08-22 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam device enabling facilitated EBSD detector analysis of desired position and control method thereof |
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