JPH1040513A - Magnetic head - Google Patents

Magnetic head

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Publication number
JPH1040513A
JPH1040513A JP19754996A JP19754996A JPH1040513A JP H1040513 A JPH1040513 A JP H1040513A JP 19754996 A JP19754996 A JP 19754996A JP 19754996 A JP19754996 A JP 19754996A JP H1040513 A JPH1040513 A JP H1040513A
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JP
Japan
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magnetic
magnetic head
gap
metal
magnetic layer
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP19754996A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Seiichi Ogata
誠一 小形
Tadashi Saito
正 斎藤
Shinji Takahashi
伸司 高橋
Teruyuki Inaguma
輝往 稲熊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP19754996A priority Critical patent/JPH1040513A/en
Publication of JPH1040513A publication Critical patent/JPH1040513A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/187Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
    • G11B5/23Gap features
    • G11B5/235Selection of material for gap filler
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B33/00Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
    • G11B33/10Indicating arrangements; Warning arrangements

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  • Magnetic Heads (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To visually identify the position of a magnetic gap of a magnetic head. SOLUTION: On a non-magnetic substrate 5, a magnetic head 1 is composed of a metal magnetic layer 5 forming a magnetic core, and a thin film coil 7 winding the magnetic head 5. A pair of magnetic head halves filled with glass 6 is joined, at least, on a part of the metal magnetic layer 5 through a gap material 3 made of non-magnetic material. The gap material 3 is made of a material visually different from the metal magnetic layer 5.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する分野】本発明は、例えばビデオカセット
レコーダ等の磁気記録再生装置に搭載される磁気ヘッド
に関し、特に、磁気ギャップの位置を視覚的に容易に識
別可能とした新規な磁気ヘッドに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head mounted on a magnetic recording / reproducing apparatus such as a video cassette recorder, and more particularly to a novel magnetic head capable of easily and visually identifying the position of a magnetic gap.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気ヘッドは、磁気記録媒体の高密度化
及び情報信号のデジタル化に対応するために、より高周
波帯域にて良好な電磁変換特性を示す必要があり、しか
も更なる小型化が要望されている。
2. Description of the Related Art A magnetic head must exhibit good electromagnetic conversion characteristics in a higher frequency band in order to cope with a higher density of a magnetic recording medium and digitization of an information signal. Requested.

【0003】これまで、ビデオカセットレコーダ等に使
用される磁気ヘッドとしては、フェライトよりなる磁気
コアの磁気ギャップ形成面に金属磁性膜を成膜したMI
G(メタル・イン・ギャップ)型の磁気ヘッドや、非磁
性セラミック基板にて金属磁性層を挟み込んだ積層型の
磁気ヘッド等が実用化されている。
Heretofore, as a magnetic head used in a video cassette recorder or the like, a magnetic head formed of a magnetic core formed of ferrite and having a metal magnetic film formed on a magnetic gap forming surface thereof has been proposed.
A G (metal-in-gap) type magnetic head, a laminated magnetic head in which a metal magnetic layer is sandwiched between nonmagnetic ceramic substrates, and the like have been put to practical use.

【0004】しかし、MIG型の磁気ヘッドにおいて
は、インピーダンスが大きく高周波帯域での使用には適
さない。一方、積層型の磁気ヘッドにおいては、高密度
記録化によるトラック幅の縮小に伴い、磁路を構成する
金属磁性層の厚さ寸法を縮小させる必要があり、このた
め、再生効率が低下してしまう。
However, the MIG type magnetic head has a large impedance and is not suitable for use in a high frequency band. On the other hand, in the stacked magnetic head, it is necessary to reduce the thickness dimension of the metal magnetic layer constituting the magnetic path with the reduction of the track width due to the high-density recording. I will.

【0005】そこで、高周波帯域における再生効率の良
い磁気ヘッドとして、磁気コアとして機能する金属磁性
層を、磁路が短くなるように、非磁性基板上の一部に形
成するとともに、上記金属磁性層を巻回するように、薄
膜形成プロセスによって磁気ギャップ形成面に薄膜コイ
ルを形成したタイプの磁気ヘッドが提案されている。
Therefore, as a magnetic head having high reproduction efficiency in a high frequency band, a metal magnetic layer functioning as a magnetic core is formed on a part of a non-magnetic substrate so as to shorten a magnetic path. There has been proposed a magnetic head of a type in which a thin film coil is formed on a magnetic gap forming surface by a thin film forming process so as to wind.

【0006】この磁気ヘッドは、磁気コアとなる金属磁
性層と、薄膜コイルとが基板上に形成されてなる一対の
磁気ヘッド半体が接合されてなる。この磁気ヘッド半体
では、一方の磁気ヘッド半体の薄膜コイルの中心に位置
するコイル接続端子と、他方の磁気ヘッド半体の薄膜コ
イルの中心に位置するコイル接続端子とが一対の磁気ヘ
ッド半体を接合することによって接続される。また、こ
の磁気ヘッドでは、一方の磁気ヘッド半体の金属磁性層
と、他方の磁気ヘッド半体の金属磁性層とが突き合わさ
れており、これらが突き合わされた部分にフロントギャ
ップ及びバックギャップが形成される。
[0006] This magnetic head is formed by joining a pair of magnetic head halves each having a metal magnetic layer serving as a magnetic core and a thin film coil formed on a substrate. In this magnetic head half, a coil connection terminal located at the center of the thin film coil of one magnetic head half and a coil connection terminal located at the center of the thin film coil of the other magnetic head half have a pair of magnetic head halves. Connected by joining the bodies. In this magnetic head, the metal magnetic layer of one half of the magnetic head and the metal magnetic layer of the other half of the magnetic head abut against each other, and a front gap and a back gap are formed at the abutted portion. Is done.

【0007】このように構成された磁気ヘッドは、それ
ぞれの磁気ヘッド半体のフロントギャップ部、バックギ
ャップ部及びコイル接続部に例えばAu等の金属を形成
し、このAuを低温金属拡散接合させることによって、
一対の磁気ヘッド半体を一体化させてなる。
In the magnetic head constructed as described above, a metal such as Au is formed in the front gap portion, the back gap portion and the coil connection portion of each magnetic head half, and this Au is subjected to low-temperature metal diffusion bonding. By
A pair of magnetic head halves are integrated.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】上述の磁気ヘッドを、
ビデオカセットレコーダ等に使用される記録再生用のド
ラムに搭載する際には、ドラムの所定の位置に磁気ギャ
ップを高精度に配設することが要求される。したがっ
て、この磁気ヘッドは、磁気ギャップの位置を容易に識
別できることが要求される。
SUMMARY OF THE INVENTION
When mounting on a recording / reproducing drum used in a video cassette recorder or the like, it is required to arrange a magnetic gap at a predetermined position on the drum with high precision. Therefore, this magnetic head is required to be able to easily identify the position of the magnetic gap.

【0009】しかしながら、上述の磁気ヘッドは、磁気
コア及び磁気ギャップが金属により形成されているため
に磁気コアと磁気ギャップの外観が似たものとなり、媒
体摺動面における磁気ギャップの位置を視覚的に識別す
ることが困難である。このため、この磁気ヘッドは、ド
ラム製造工程におけるヘッドマウント工程において磁気
ギャップの合わせ込み精度が大幅に劣化し、ドラムの製
造歩留まりが低下するという問題点がある。
However, in the above-described magnetic head, since the magnetic core and the magnetic gap are formed of metal, the appearance of the magnetic core and the magnetic gap are similar, and the position of the magnetic gap on the medium sliding surface can be visually determined. Difficult to identify. For this reason, this magnetic head has a problem that the alignment accuracy of the magnetic gap is greatly deteriorated in the head mounting step in the drum manufacturing step, and the manufacturing yield of the drum is reduced.

【0010】そこで本発明は、上記のような実状に鑑み
て提案されたものであり、磁気コアとなる金属磁性層と
磁気ギャップとの識別を容易にした磁気ヘッドを提供す
ること目的とする。
Accordingly, the present invention has been proposed in view of the above situation, and has as its object to provide a magnetic head which facilitates discrimination between a metal magnetic layer serving as a magnetic core and a magnetic gap.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決する本
発明にかかる磁気ヘッドは、磁気コアとなる金属磁性層
と、金属磁性層を巻回する薄膜コイルとが非磁性基板上
に形成されるとともに、少なくとも金属磁性層上の一部
にガラスが充填されてなる一対の磁気ヘッド半体が、非
磁性材料からなるギャップ材を介して接合されてなる磁
気ヘッドであって、ギャップ材が、金属磁性層と外観が
異なる材料からなり、ギャップ材と金属磁性層とが視覚
的に識別可能とされていることを特徴とするものであ
る。
A magnetic head according to the present invention for solving the above-mentioned problems has a metal magnetic layer serving as a magnetic core and a thin-film coil wound around the metal magnetic layer formed on a non-magnetic substrate. In addition, a pair of magnetic head halves at least partially filled with glass on the metal magnetic layer is a magnetic head that is joined via a gap material made of a non-magnetic material, wherein the gap material is The metal magnetic layer is made of a material having a different appearance from that of the metal magnetic layer, and the gap material and the metal magnetic layer are visually distinguishable.

【0012】このように構成された磁気ヘッドは、金属
磁性層とギャップ材との外観が異なり、視覚的に金属磁
性層とギャップ材との識別が可能である。
In the magnetic head thus configured, the appearances of the metal magnetic layer and the gap material are different, and the metal magnetic layer and the gap material can be visually distinguished.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下本発明にかかる磁気ヘッドの
実施の形態について、図面を参照しながら具体的に説明
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of a magnetic head according to the present invention will be specifically described below with reference to the drawings.

【0014】本実施の形態にかかる磁気ヘッド1は、ビ
デオテープレコーダやビデオカセットレコーダ等に用い
られる磁気ヘッドであり、図1及び図2に示すように、
一対の磁気ヘッド半体2a、2bが磁気ギャップgを介
して突き合わされて接合一体化してなる。
A magnetic head 1 according to the present embodiment is a magnetic head used for a video tape recorder, a video cassette recorder, and the like. As shown in FIGS.
A pair of magnetic head halves 2a and 2b are abutted through a magnetic gap g and joined and integrated.

【0015】この磁気ヘッド半体2a、2bは、非磁性
基板4と、この非磁性基板4上に成膜されて磁気コアと
して機能する金属磁性層5と、これら非磁性基板4及び
金属磁性層5上に充填されたガラス6と、ガラス6部分
に薄膜形成プロセスによって形成された薄膜コイル7と
を有してなる。そして、一対の磁気ヘッド半体2a、2
bは、それぞれの金属磁性層5が突き合わされてそれぞ
れの金属磁性層5間にフロントギャップfg及びバック
ギャップbgとが形成されるように接合される。また、
この一対の磁気ヘッド半体2a、2bには、ガラス部分
に形成された薄膜コイル7の端子部8a、8bが設けら
れている。
The magnetic head halves 2a and 2b are composed of a non-magnetic substrate 4, a metal magnetic layer 5 formed on the non-magnetic substrate 4 and functioning as a magnetic core, a non-magnetic substrate 4 and a metal magnetic layer. 5, a glass 6 filled on a glass 5 and a thin film coil 7 formed on the glass 6 by a thin film forming process. Then, a pair of magnetic head halves 2a, 2a
b is joined such that the respective metal magnetic layers 5 abut each other to form a front gap fg and a back gap bg between the respective metal magnetic layers 5. Also,
The pair of magnetic head halves 2a and 2b are provided with terminal portions 8a and 8b of the thin-film coil 7 formed on the glass portion.

【0016】また、フロントギャップfgは、金属磁性
層5と外観が異なるギャップ材3により形成されてお
り、金属磁性層5と視覚的に容易に識別が可能となって
いる。
The front gap fg is formed of the gap material 3 having an appearance different from that of the metal magnetic layer 5 so that the front gap fg can be easily visually distinguished from the metal magnetic layer 5.

【0017】このように構成された磁気ヘッド1では、
フロントギャップfgが金属磁性層5と外観が異なるギ
ャップ材3にて形成されている。すなわち、磁気コアと
して形成される金属磁性層5と、このギャップ材3とが
視覚的な外観が異なっており、このため、上記磁気ヘッ
ド1では磁気ギャップgの位置を識別することが可能で
ある。
In the magnetic head 1 configured as described above,
The front gap fg is formed by the gap material 3 having a different appearance from the metal magnetic layer 5. That is, the metal magnetic layer 5 formed as a magnetic core and the gap material 3 have different visual appearances. Therefore, in the magnetic head 1, the position of the magnetic gap g can be identified. .

【0018】以下、上記磁気ヘッド1について、その製
造方法を通じて詳細に説明する。
Hereinafter, the magnetic head 1 will be described in detail through a method of manufacturing the same.

【0019】この磁気ヘッド1を製造する際は、先ず図
3に示すように、MnO−NiO系等の非磁性基板4を
用意する。
In manufacturing the magnetic head 1, first, as shown in FIG. 3, a non-magnetic substrate 4 of MnO--NiO or the like is prepared.

【0020】次に、図4に示すように、この非磁性基板
4上に磁気コアが形成される傾斜面、すなわち磁気コア
形成面を形成するために、複数の磁気コア溝4aを磁気
コア溝4a内の一方が傾斜面となるように、平行且つ等
間隔に形成する。この磁気コア溝4aは、例えば、片面
を約45度に成形した研削砥石を用いて、傾斜面の傾き
が約45度となるように、数十本形成する。この傾斜面
の傾きは、25度〜60度程度が望ましいが疑似ギャッ
プやトラック幅精度を考慮して35度〜50度程度がよ
り望ましい。
Next, as shown in FIG. 4, a plurality of magnetic core grooves 4a are formed on the non-magnetic substrate 4 to form an inclined surface on which a magnetic core is formed, that is, a magnetic core forming surface. 4a are formed in parallel and at equal intervals so that one of the surfaces 4a becomes an inclined surface. For example, several tens of the magnetic core grooves 4a are formed using a grinding wheel having one surface formed at about 45 degrees so that the inclination of the inclined surface is about 45 degrees. The inclination of the inclined surface is preferably about 25 to 60 degrees, but is more preferably about 35 to 50 degrees in consideration of the pseudo gap and track width accuracy.

【0021】次いでこの傾斜面が形成された非磁性基板
4上には、図5に示すように、金属磁性層5が形成され
る。この金属磁性層5は、膜厚約5μmのセンダスト
(Fe−Al−Si合金)からなる金属磁性膜と、膜厚
約0.15μmのAl23からなる絶縁膜とを交互に金
属磁性膜が3層となるように積層されてなる。
Next, as shown in FIG. 5, a metal magnetic layer 5 is formed on the nonmagnetic substrate 4 on which the inclined surface is formed. The metal magnetic layer 5 has a metal magnetic film made of sendust (Fe-Al-Si alloy) having a thickness of about 5 μm and an insulating film made of Al 2 O 3 having a thickness of about 0.15 μm alternately. Are laminated in three layers.

【0022】ここで、金属磁性層5は、主として金属磁
性体から構成されるので、いわゆる金属光沢を有する外
観となっている。
Here, since the metal magnetic layer 5 is mainly made of a metal magnetic material, it has a so-called metallic luster appearance.

【0023】この金属磁性層5の構造は、単一の金属磁
性膜としても良いが、渦電流損を低減し、高周波帯域に
おいて高感度をもたせるために、上述のように絶縁膜に
より金属磁性層を複数に分断する積層構造とすることが
好ましい。このとき、絶縁膜の膜厚は、少なくとも絶縁
効果の得られる厚み以上が必要であるが、厚すぎると疑
似ギャップとして作用してしまうことから、薄くする必
要がある。
The structure of the metal magnetic layer 5 may be a single metal magnetic film. However, in order to reduce eddy current loss and to provide high sensitivity in a high frequency band, the metal magnetic layer 5 is formed of an insulating film as described above. Is preferably divided into a plurality of layers. At this time, the thickness of the insulating film needs to be at least a thickness at which an insulating effect can be obtained, but if it is too thick, it acts as a pseudo gap, so it is necessary to make it thin.

【0024】この金属磁性層5の成膜方法は、スパッタ
リング法が好適であるが、蒸着や分子エピタキシー(M
BE)等のようなスパッタリング法以外の物理的な成膜
方法や、化学的な成膜方法等を用いても良い。
As a method for forming the metal magnetic layer 5, a sputtering method is preferable.
A physical film forming method other than the sputtering method such as BE), a chemical film forming method, or the like may be used.

【0025】また、この金属磁性膜の材料としては、セ
ンダストが好適であるがその他の金属磁性体、例えば、
センダストに類似した合金、窒化系軟磁性合金、炭化系
軟磁性合金等も使用可能である。ギャップ材3の材料と
しては、Al23、SiO2及びSiOも使用可能であ
り、これらAl23、SiO2、SiOの混合状態でも
使用可能である。
As a material of the metal magnetic film, Sendust is preferable, but other metal magnetic materials, for example,
Alloys similar to Sendust, nitrided soft magnetic alloys, carbonized soft magnetic alloys, and the like can also be used. As the material of the gap material 3, Al 2 O 3 , SiO 2 and SiO can also be used, and a mixture of these Al 2 O 3 , SiO 2 and SiO can also be used.

【0026】次いで、この金属磁性層5が成膜された基
板4上には、図6に示すように、磁気コア溝4aに対し
て直角に、薄膜コイル7を形成するための巻線溝4b
と、金属磁性層5を磁気コア毎に分離する分離溝4cと
が形成される。
Next, as shown in FIG. 6, a winding groove 4b for forming a thin film coil 7 is formed on the substrate 4 on which the metal magnetic layer 5 is formed, at right angles to the magnetic core groove 4a.
And a separation groove 4c for separating the metal magnetic layer 5 for each magnetic core.

【0027】この巻線溝4bは、図2に示すように、フ
ロントギャップfg側の金属磁性層5がフロントギャッ
プfgに向けて斜めに絞り込んだ形となるように、例え
ば、巻線溝4bのフロントギャップfg側を約45の斜
面をもつ砥石にて形成する。このように、フロントギャ
ップfg側の金属磁性層5がフロントギャップfgに向
けて絞り込んだ形になっていると、磁束が集中して高い
記録感度が得られる。
As shown in FIG. 2, the winding groove 4b is formed, for example, so that the metal magnetic layer 5 on the front gap fg side is obliquely narrowed down toward the front gap fg. The front gap fg side is formed by a grindstone having a slope of about 45. As described above, when the metal magnetic layer 5 on the front gap fg side is narrowed toward the front gap fg, the magnetic flux is concentrated and high recording sensitivity is obtained.

【0028】ただし、巻線溝4bの形状は、フロントギ
ャップfg側の金属磁性層5がフロントギャップfgに
向けて絞り込んだ形となっていれば、巻線溝4bのフロ
ントギャップfg側の斜面の角度は、45度でなくても
良い。さらに、巻線溝4bのフロントギャプfg側の形
状は、円弧上又は多角形状等であっても良い。
However, if the shape of the winding groove 4b is such that the metal magnetic layer 5 on the front gap fg side is narrowed down toward the front gap fg, the slope of the winding groove 4b on the front gap fg side is formed. The angle need not be 45 degrees. Further, the shape of the winding groove 4b on the front gap fg side may be an arc or a polygon.

【0029】また、巻線溝4bの深さは、金属磁性層5
が分断されない深さであれば良いが、深すぎると、磁路
長が大きくなり磁束伝達効率が低下する。そこで、本実
施の形態においては、後の工程にて形成される薄膜コイ
ル7の厚みよりも若干深くなるように巻線溝4bを形成
した。そして、巻線溝4bの幅は、後の工程にて形成さ
れる薄膜コイル7の幅と巻線数によって決定される。そ
して、本実施の形態では、巻線溝4bの幅は、約140
μmとした。
The depth of the winding groove 4b depends on the metal magnetic layer 5
However, if it is too deep, the magnetic path length increases and the magnetic flux transmission efficiency decreases. Therefore, in the present embodiment, the winding groove 4b is formed so as to be slightly deeper than the thickness of the thin film coil 7 formed in a later step. The width of the winding groove 4b is determined by the width and the number of windings of the thin film coil 7 formed in a later step. In the present embodiment, the width of the winding groove 4b is about 140
μm.

【0030】一方、分離溝4cは、金属磁性層5が分断
されていれば任意の形状で良く、例えば加工が容易な矩
形とする。この分離溝4cの深さは、金属磁性層5が完
全に分断されるだけの深さであれば良い。また、分離溝
4cの幅は、金属磁性層5のフロントギャップ側部分で
あるフロントギャップfgの長さと、金属磁性層5のバ
ックギャップ側部分であるバックギャップbgの長さと
を規定し、所望する磁気ヘッド1のフロントギャップf
gの長さとバックギャップbgの長さの兼ね合いによっ
て決定される。先ず、フロントギャップfgの長さは、
最終的に磁気ヘッド1を所定の形状に加工する際に媒体
摺動面をラップするため、最終的に所望するフロントギ
ャップfgの長さよりも長めに設定する。また、バック
ギャップbgの長さは、磁気ヘッド1の効率が十分得ら
れる長さとしている。これらに基づいて分離溝の幅が決
定される。して分離溝4cを形成する。したがって、本
実施の形態においては、フロントギャップfgの長さが
約300μm、バックギャップbgの長さが約85μm
となるように分離溝4cを形成している。
On the other hand, the separation groove 4c may have any shape as long as the metal magnetic layer 5 is divided, and for example, has a rectangular shape which is easy to process. The depth of the separation groove 4c may be such that the metal magnetic layer 5 is completely separated. Further, the width of the separation groove 4c defines the length of the front gap fg, which is the front gap side portion of the metal magnetic layer 5, and the length of the back gap bg, which is the back gap side portion of the metal magnetic layer 5, and is desired. Front gap f of magnetic head 1
It is determined by a balance between the length of g and the length of the back gap bg. First, the length of the front gap fg is
Finally, in order to wrap the medium sliding surface when the magnetic head 1 is processed into a predetermined shape, the front gap fg is set to be longer than the finally desired front gap fg. The length of the back gap bg is set to a length at which the efficiency of the magnetic head 1 is sufficiently obtained. The width of the separation groove is determined based on these. Thus, a separation groove 4c is formed. Therefore, in the present embodiment, the length of the front gap fg is about 300 μm, and the length of the back gap bg is about 85 μm
The separation groove 4c is formed such that

【0031】次いで、図7に示すように、磁気コア溝4
a、巻線溝4b及び分離溝4cに低融点のガラス6を溶
解充填し、その後、ガラス6表面に対して鏡面処理を施
す。
Next, as shown in FIG.
a, the winding groove 4b and the separation groove 4c are melt-filled with glass 6 having a low melting point, and then the surface of the glass 6 is subjected to mirror finishing.

【0032】次に、図8に示すように、ガラス6によっ
て充填された分離溝4c内に端子溝9を形成する。な
お、この端子溝9の深さ及び幅寸法は、任意で良い。
Next, as shown in FIG. 8, a terminal groove 9 is formed in the separation groove 4c filled with the glass 6. The depth and width of the terminal groove 9 may be arbitrary.

【0033】次に、図9に示すように、端子溝9内にメ
ッキ等によりCu等の良導電性の材料を充填した後に、
再び表面を平滑化する。この端子溝9内に形成された良
導電性の材料は、後工程で形成される薄膜コイルの端子
部8a、8bとなるものである。
Next, as shown in FIG. 9, after filling the terminal groove 9 with a highly conductive material such as Cu by plating or the like,
The surface is smoothed again. The highly conductive material formed in the terminal groove 9 becomes the terminal portions 8a and 8b of the thin film coil formed in a later step.

【0034】次に、薄膜形成プロセスによって、図10
に示すように、ガラス6部分に、巻線溝4bを通過する
ように、磁気コア毎に渦巻状の薄膜コイル7を形成す
る。ここで、薄膜コイル7は、その外周側の端部が、端
子溝9に至るように形成される。
Next, FIG.
As shown in (1), a spiral thin film coil 7 is formed for each magnetic core in the glass 6 so as to pass through the winding groove 4b. Here, the thin-film coil 7 is formed such that the end on the outer peripheral side reaches the terminal groove 9.

【0035】次に、金属磁性層5により形成されるフロ
ントギャップfg及びバックギャップbg以外の部分を
マスクにより覆った後に、ギャップ材3をスパッタリン
グ法等にて形成する。フロントギャップfg、バックギ
ャップbg以外の部分は、マスクによって覆われている
ため、ギャップ材3がフロントギャップfg、バックギ
ャップbgのみに形成されることになる。なお、本実施
の形態においては、ギャップ材3としてSiO2をスパ
ッタリング法により膜厚約10nmにて形成した。
Next, after a portion other than the front gap fg and the back gap bg formed by the metal magnetic layer 5 is covered with a mask, the gap material 3 is formed by a sputtering method or the like. Since portions other than the front gap fg and the back gap bg are covered with the mask, the gap material 3 is formed only in the front gap fg and the back gap bg. In this embodiment, SiO 2 is formed as the gap material 3 to a thickness of about 10 nm by a sputtering method.

【0036】このギャップ材3は、金属磁性体5と外観
が異なり、ギャップ材3と金属磁性層5とを視覚的に識
別することが可能な材料からなるものであれば良く、例
えば、非磁性の絶縁材料が広く使用可能である。具体的
には、SiO、SiO2、Ta25、Al23、Cr2
3、ZrO2等の酸化物絶縁材料からなる薄膜や、これら
の積層膜等が好適である。
The gap material 3 has a different appearance from that of the metal magnetic material 5 and may be made of a material capable of visually distinguishing the gap material 3 from the metal magnetic layer 5. Insulation materials are widely available. Specifically, SiO, SiO 2 , Ta 2 O 5 , Al 2 O 3 , Cr 2 O
3 , a thin film made of an oxide insulating material such as ZrO 2 , a laminated film thereof, and the like are preferable.

【0037】次に、フロントギャップfg及びバックギ
ャップbgは、マスクによって覆われて、フロントギャ
ップfg及びバックギャップbg以外の部分には、一対
の磁気コアを接合するために、スパッタリング法により
金属膜がフロントギャップfg及びバックギャップbg
上に形成されたギャップ材3と同一の膜厚にて形成され
る。このとき、フロントギャップfg及びバックギャッ
プbgには、マスクに覆われているために金属膜が形成
されない。この金属膜は、低温金属拡散接合によって一
対の磁気コアを接合するためのものである。この金属膜
としては、ガラス6の融点よりも低い温度で低温金属拡
散接合が可能な材料である必要があり、Au、Ag、P
t、Pd等の貴金属が好ましい。なお、本実施の形態に
おいては、Auをスパッタリング法により膜厚約10n
mにて形成している。
Next, the front gap fg and the back gap bg are covered with a mask, and a metal film is formed on a portion other than the front gap fg and the back gap bg by a sputtering method to join a pair of magnetic cores. Front gap fg and back gap bg
It is formed with the same thickness as the gap material 3 formed thereon. At this time, no metal film is formed on the front gap fg and the back gap bg because they are covered with the mask. This metal film is for bonding a pair of magnetic cores by low-temperature metal diffusion bonding. The metal film needs to be a material capable of low-temperature metal diffusion bonding at a temperature lower than the melting point of the glass 6, and Au, Ag, P
Noble metals such as t and Pd are preferred. In this embodiment mode, Au is formed to a thickness of about 10 n by a sputtering method.
m.

【0038】上述のように、磁気ギャップgは、フロン
トギャップfg及びバックギャップbgが、磁気コアと
して機能する金属磁性層5と視覚的な識別が容易なギャ
ップ材3にて形成されている。したがって、この磁気ヘ
ッド1は、例えばビデオテープレコーダやカセットテー
プレコーダ用のドラムにマウントされる工程においても
磁気ヘッド位置決めが高精度に且つ正確に行うことがで
きる。したがって、ドラム作製工程において歩留まりを
向上させることが可能となる。
As described above, the magnetic gap g has the front gap fg and the back gap bg formed of the metal material 5 functioning as a magnetic core and the gap material 3 which can be easily visually identified. Therefore, the magnetic head 1 can perform high-precision and accurate positioning of the magnetic head even in a process of being mounted on a drum for a video tape recorder or a cassette tape recorder, for example. Therefore, it is possible to improve the yield in the drum manufacturing process.

【0039】次に、磁気コアや薄膜コイル7等が形成さ
れた非磁性基板4は、図11に示すように、端子溝9と
平行に磁気コア毎に1列ずつ切断されて、一対の磁気ヘ
ッド半体ブロックとされる。その後、このように作製さ
れた一対の磁気ヘッド半体ブロックは、それぞれの金属
磁性層5が対向するように突き合わされた上で、低温金
属拡散接合される。
Next, as shown in FIG. 11, the non-magnetic substrate 4 on which the magnetic core, the thin film coil 7 and the like are formed is cut in a row for each magnetic core in parallel with the terminal groove 9 to form a pair of magnetic cores. It is a head half block. Thereafter, the pair of magnetic head half blocks manufactured as described above are abutted so that the respective metal magnetic layers 5 face each other, and then are subjected to low-temperature metal diffusion bonding.

【0040】そして、最後に、磁気コア毎に1つずつ切
断し、その後、所定の形状に加工して、上述の図1に示
したような、一対の磁気ヘッド半体2a、2bを接合し
てなる磁気ヘッド1が製造される。
Finally, the magnetic cores are cut one by one, and then processed into a predetermined shape to join the pair of magnetic head halves 2a and 2b as shown in FIG. Is manufactured.

【0041】[0041]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明にか
かる磁気ヘッドは、磁気ギャップを形成するギャップ材
として、磁気コアとなる金属磁性層と外観が異なる材料
を用いているので、ギャップ材と金属磁性層とが視覚的
に容易に識別可能とされている。
As described above in detail, the magnetic head according to the present invention uses a material having a different appearance from the metal magnetic layer serving as the magnetic core as the gap material for forming the magnetic gap. And the metal magnetic layer can be easily distinguished visually.

【0042】このように構成された磁気ヘッドは、ギャ
ップ材が金属磁性層と外観が異なる材料により構成され
ることによって、ギャップ材と金属磁性層とが視覚的に
容易に識別可能であるので、磁気ギャップ位置を容易か
つ正確に認識することが可能となる。
In the magnetic head thus configured, since the gap material is made of a material having a different appearance from that of the metal magnetic layer, the gap material and the metal magnetic layer can be easily distinguished visually. The magnetic gap position can be easily and accurately recognized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明にかかる磁気ヘッドの一構成例を示す斜
視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a magnetic head according to the present invention.

【図2】同磁気ヘッドの磁気ギャップ近傍を示す要部拡
大斜視図である。
FIG. 2 is an enlarged perspective view of a main part showing the vicinity of a magnetic gap of the magnetic head.

【図3】基板を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a substrate.

【図4】基板に磁気コア溝を形成した状態を示す斜視図
である。
FIG. 4 is a perspective view showing a state where a magnetic core groove is formed in a substrate.

【図5】基板上に磁性層を形成した状態を示す斜視図で
ある。
FIG. 5 is a perspective view showing a state where a magnetic layer is formed on a substrate.

【図6】基板上に巻線溝と分離溝を形成した状態を示す
斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing a state in which a winding groove and a separation groove are formed on a substrate.

【図7】基板上にガラスを充填した状態を示す斜視図で
ある。
FIG. 7 is a perspective view showing a state where glass is filled on a substrate.

【図8】ガラス上に端子溝を形成した状態を示す斜視図
である。
FIG. 8 is a perspective view showing a state where a terminal groove is formed on glass.

【図9】端子溝に導体を形成した状態を示す斜視図であ
る。
FIG. 9 is a perspective view showing a state where a conductor is formed in a terminal groove.

【図10】薄膜コイルを形成した状態を示す斜視図であ
る。
FIG. 10 is a perspective view showing a state where a thin film coil is formed.

【図11】基板を磁気コア毎に切断し、磁気ヘッド半体
ブロックを接合する様子の一例を示す斜視図である。
FIG. 11 is a perspective view showing an example of how the substrate is cut for each magnetic core and the magnetic head half blocks are joined.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 磁気ヘッド、2 磁気ヘッド半体、3 ギャップ
材、4 非磁性基板、5金属磁性層、6 ガラス、7
薄膜コイル
REFERENCE SIGNS LIST 1 magnetic head, 2 magnetic head halves, 3 gap material, 4 non-magnetic substrate, 5 metal magnetic layer, 6 glass, 7
Thin film coil

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 稲熊 輝往 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (72) Inventor Teruichi Inuma 6-7-35 Kita Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Inside Sony Corporation

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 磁気コアとなる金属磁性層と、上記金属
磁性層を巻回する薄膜コイルとが非磁性基板上に形成さ
れるとともに、少なくとも上記金属磁性層上の一部にガ
ラスが充填されてなる一対の磁気ヘッド半体が、非磁性
材料からなるギャップ材を介して接合されてなる磁気ヘ
ッドにおいて、 上記ギャップ材は、上記金属磁性層と外観が異なる材料
からなり、上記ギャップ材と金属磁性層とが視覚的に識
別可能とされていることを特徴とする磁気ヘッド。
A metal magnetic layer serving as a magnetic core and a thin-film coil wound around the metal magnetic layer are formed on a non-magnetic substrate, and at least a part of the metal magnetic layer is filled with glass. A magnetic head comprising a pair of magnetic head halves joined together via a gap material made of a non-magnetic material, wherein the gap material is made of a material having a different appearance from the metal magnetic layer, A magnetic head characterized in that it can be visually distinguished from a magnetic layer.
【請求項2】 上記ギャップ材は、絶縁材料からなるこ
とを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド。
2. The magnetic head according to claim 1, wherein the gap material is made of an insulating material.
【請求項3】 上記ギャップ材は、酸化物絶縁材料から
なることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド。
3. The magnetic head according to claim 1, wherein the gap material is made of an oxide insulating material.
【請求項4】 一方の磁気ヘッド半体に形成された薄膜
コイルと、他方の磁気ヘッド半体に形成された薄膜コイ
ルとが、一対の磁気ヘッド半体の間に配された導体を介
して接続されていることを特徴とする請求項1記載の磁
気ヘッド。
4. A thin film coil formed on one half of the magnetic head and a thin film coil formed on the other half of the magnetic head are connected via a conductor arranged between the pair of magnetic head halves. The magnetic head according to claim 1, wherein the magnetic head is connected.
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