JPH1038741A - 圧力計の精度検査方法及びその装置 - Google Patents
圧力計の精度検査方法及びその装置Info
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- JPH1038741A JPH1038741A JP19801196A JP19801196A JPH1038741A JP H1038741 A JPH1038741 A JP H1038741A JP 19801196 A JP19801196 A JP 19801196A JP 19801196 A JP19801196 A JP 19801196A JP H1038741 A JPH1038741 A JP H1038741A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】有害ガスの設備配管に取り付けられた圧力計の
精度検査を安全に行う。 【解決手段】有害ガスボンベを設備配管２から取り外し
て、小タンク２２及び大タンク２４を有する圧力計精度
検査装置２０を設備配管２に接続する。そして、設備配
管２のバルブ５、１０を開放して、リークチェック用の
Ｎ2 ガスを、小タンク２２及び大タンク２４に充填す
る。次に、小タンク２２内のＮ2 ガスを基準圧に設定
し、この基準圧と検査対象の圧力計４、７が示す圧力と
を比較して、この圧力が基準圧に対して規定値内にある
か否かを検査する。基準圧を段階的に変化させて検査す
る場合には、圧力計精度検査装置２０のオリフィス内蔵
型電磁弁３８及びバルブ４２を閉じて、オリフィス内蔵
型電磁弁４０を開放すると、小タンク２２の圧力が大タ
ンク２４の圧力によって上昇する。そして、小タンク２
２の圧力が所定の基準圧に達した時に、オリフィス内蔵
型電磁弁４０を閉じる。
精度検査を安全に行う。 【解決手段】有害ガスボンベを設備配管２から取り外し
て、小タンク２２及び大タンク２４を有する圧力計精度
検査装置２０を設備配管２に接続する。そして、設備配
管２のバルブ５、１０を開放して、リークチェック用の
Ｎ2 ガスを、小タンク２２及び大タンク２４に充填す
る。次に、小タンク２２内のＮ2 ガスを基準圧に設定
し、この基準圧と検査対象の圧力計４、７が示す圧力と
を比較して、この圧力が基準圧に対して規定値内にある
か否かを検査する。基準圧を段階的に変化させて検査す
る場合には、圧力計精度検査装置２０のオリフィス内蔵
型電磁弁３８及びバルブ４２を閉じて、オリフィス内蔵
型電磁弁４０を開放すると、小タンク２２の圧力が大タ
ンク２４の圧力によって上昇する。そして、小タンク２
２の圧力が所定の基準圧に達した時に、オリフィス内蔵
型電磁弁４０を閉じる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は圧力計の精度検査方
法及びその装置に係り、特に有害ガスの設備配管に設け
られた圧力計の精度検査方法及びその装置に関する。
法及びその装置に係り、特に有害ガスの設備配管に設け
られた圧力計の精度検査方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造用のクリーンルームでは、ウ
ェーハにシリコン膜を形成する製造工程において、モノ
シラン、ホスフィン等の有害ガスが使用されている。こ
れらの有害ガスは、ボンベから設備配管を介して供給さ
れており、その設備配管には前記有害ガスの圧力計が取
り付けられている。この圧力計は、定期的にその精度を
検査する必要があり、従来では、圧力計を設備配管から
一旦取り外して検査を行い、検査精度が規定値内にある
か否かを検査している。
ェーハにシリコン膜を形成する製造工程において、モノ
シラン、ホスフィン等の有害ガスが使用されている。こ
れらの有害ガスは、ボンベから設備配管を介して供給さ
れており、その設備配管には前記有害ガスの圧力計が取
り付けられている。この圧力計は、定期的にその精度を
検査する必要があり、従来では、圧力計を設備配管から
一旦取り外して検査を行い、検査精度が規定値内にある
か否かを検査している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
圧力計の精度検査方法は、圧力計を設備配管から取り外
して行っているので、設備配管に残存する有害ガスで作
業者が汚染される場合があり、非常に危険を伴うという
欠点がある。本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、圧力計の精度検査を安全に行うことができる
圧力計の精度検査方法及びその装置を提供することを目
的とする。
圧力計の精度検査方法は、圧力計を設備配管から取り外
して行っているので、設備配管に残存する有害ガスで作
業者が汚染される場合があり、非常に危険を伴うという
欠点がある。本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、圧力計の精度検査を安全に行うことができる
圧力計の精度検査方法及びその装置を提供することを目
的とする。
【０００４】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、所定のガスが充填されたボンベが接続されて
該ボンベ内のガスをガス使用部に供給すると共に、該ガ
スの圧力を測定する圧力計が取り付けられた設備配管に
おいて、前記設備配管に、圧力検査用ガスが所定の圧力
で充填されたタンクを接続すると共に、前記圧力計に対
して下流側の設備配管を閉塞して、設備配管とタンクと
を気密状態で連通させたのち、前記タンクの圧力を可変
制御しながら、そのタンクの圧力と前記圧力計が示す圧
力とを比較して、圧力計の精度を検査することを特徴と
する。
する為に、所定のガスが充填されたボンベが接続されて
該ボンベ内のガスをガス使用部に供給すると共に、該ガ
スの圧力を測定する圧力計が取り付けられた設備配管に
おいて、前記設備配管に、圧力検査用ガスが所定の圧力
で充填されたタンクを接続すると共に、前記圧力計に対
して下流側の設備配管を閉塞して、設備配管とタンクと
を気密状態で連通させたのち、前記タンクの圧力を可変
制御しながら、そのタンクの圧力と前記圧力計が示す圧
力とを比較して、圧力計の精度を検査することを特徴と
する。
【０００５】本発明によれば、ボンベを設備配管から取
り外し、その設備配管の端部に、圧力検査用ガスが所定
の圧力で充填されたタンクを接続すると共に、圧力計に
対して下流側の設備配管を閉塞して、設備配管とタンク
とを気密状態で連通させる。そして、タンクの圧力を可
変制御しながら、そのタンクの圧力と圧力計が示す圧力
とを比較して、圧力計の精度を検査する。したがって、
本発明は、圧力計を設備配管に取り付けた状態で圧力計
の精度検査を行うことができるので、圧力計の精度検査
を安全に行うことができる。
り外し、その設備配管の端部に、圧力検査用ガスが所定
の圧力で充填されたタンクを接続すると共に、圧力計に
対して下流側の設備配管を閉塞して、設備配管とタンク
とを気密状態で連通させる。そして、タンクの圧力を可
変制御しながら、そのタンクの圧力と圧力計が示す圧力
とを比較して、圧力計の精度を検査する。したがって、
本発明は、圧力計を設備配管に取り付けた状態で圧力計
の精度検査を行うことができるので、圧力計の精度検査
を安全に行うことができる。
【０００６】一方、圧力計精度検査装置は、前記タンク
として第１のタンクと第２のタンクとを備えており、こ
れらはバルブによって接続されている。第１のタンクに
は、圧力検査用ガスが所定の圧力で充填され、また、第
２のタンクには、第１のタンクよりも高い圧力で圧力検
査用ガスが充填されている。前記バルブは、制御部によ
ってその開閉量が制御されており、これによって、第１
のタンクの圧力が第２のタンクの圧力に基づいて可変制
御される。
として第１のタンクと第２のタンクとを備えており、こ
れらはバルブによって接続されている。第１のタンクに
は、圧力検査用ガスが所定の圧力で充填され、また、第
２のタンクには、第１のタンクよりも高い圧力で圧力検
査用ガスが充填されている。前記バルブは、制御部によ
ってその開閉量が制御されており、これによって、第１
のタンクの圧力が第２のタンクの圧力に基づいて可変制
御される。
【０００７】この圧力計精度検査装置によれば、先ず、
第１のタンクを設備配管に接続すると共に、圧力計に対
して下流側の設備配管を閉塞して、設備配管と第１のタ
ンクとを気密状態で連通させる。次に、制御部によって
第１のタンクの圧力を段階的に可変制御しながら、第１
のタンクの圧力と圧力計が示す圧力とを比較して、圧力
計の精度を検査する。
第１のタンクを設備配管に接続すると共に、圧力計に対
して下流側の設備配管を閉塞して、設備配管と第１のタ
ンクとを気密状態で連通させる。次に、制御部によって
第１のタンクの圧力を段階的に可変制御しながら、第１
のタンクの圧力と圧力計が示す圧力とを比較して、圧力
計の精度を検査する。
【０００８】従って、本発明では、検査圧力の段階的な
制御を、バルブ（オリフィス内蔵型エアー作動弁）の開
閉量で制御することができるので、手動で検査圧力を段
階的に調整するよりも正確に制御することができる。こ
れにより、圧力計の検査精度が向上する。一方、第１の
タンク及び第２のタンクに充填される圧力検査用ガス
は、既設の高圧ガス配管から得られる高圧ガスを用いて
いる。即ち、空の第１のタンクを設備配管に連結する。
そして、前記高圧ガスを、高圧ガス配管から設備配管を
介して第１のタンク及び第２のタンクに充填する。した
がって、圧力検査用ガスを現場で充填することができる
ので、圧力計精度検査装置の取り扱いが容易になる。
制御を、バルブ（オリフィス内蔵型エアー作動弁）の開
閉量で制御することができるので、手動で検査圧力を段
階的に調整するよりも正確に制御することができる。こ
れにより、圧力計の検査精度が向上する。一方、第１の
タンク及び第２のタンクに充填される圧力検査用ガス
は、既設の高圧ガス配管から得られる高圧ガスを用いて
いる。即ち、空の第１のタンクを設備配管に連結する。
そして、前記高圧ガスを、高圧ガス配管から設備配管を
介して第１のタンク及び第２のタンクに充填する。した
がって、圧力検査用ガスを現場で充填することができる
ので、圧力計精度検査装置の取り扱いが容易になる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る圧力計の精度検査方法及びその装置の好ましい実施の
形態について詳説する。先ず、本実施の形態を説明する
まえに、クリーンルームに設置される有害ガス用設備配
管の実施例について図１を参照しながら説明する。同図
に示すように有害ガス（実ガス）ボンベ１は、実ガス使
用ラインを構成する設備配管２の取付口３に接続されて
いる。この設備配管２は、Ａ→Ｂ→Ｃ→Ｄの配管ライン
から構成され、上流側から下流側に向かうに従って第１
の圧力計（Ｐ3 ）４、バルブ５、圧力調整バルブ６、第
２の圧力計（Ｐ4 ）７、バルブ８、９が順に設けられて
いる。前記圧力計４、７は、デジタル表示式圧力計であ
る。
る圧力計の精度検査方法及びその装置の好ましい実施の
形態について詳説する。先ず、本実施の形態を説明する
まえに、クリーンルームに設置される有害ガス用設備配
管の実施例について図１を参照しながら説明する。同図
に示すように有害ガス（実ガス）ボンベ１は、実ガス使
用ラインを構成する設備配管２の取付口３に接続されて
いる。この設備配管２は、Ａ→Ｂ→Ｃ→Ｄの配管ライン
から構成され、上流側から下流側に向かうに従って第１
の圧力計（Ｐ3 ）４、バルブ５、圧力調整バルブ６、第
２の圧力計（Ｐ4 ）７、バルブ８、９が順に設けられて
いる。前記圧力計４、７は、デジタル表示式圧力計であ
る。
【００１０】設備配管２にはバルブ１０を介して配管Ｈ
が連結される。配管Ｈには、リークチェック用のＮ2 ガ
スが供給されるようになっている。更に、設備配管２に
はバルブ１１、及び配管Ｇを介してバキュームジェネレ
ータ１２が連結されている。このバキュームジェネレー
タ１２の上流側には、実ガス排出用のＮ2 ガスが供給さ
れる配管Ｅが接続され、バキュームジェネレータ１２の
下流側には、実ガス処理ラインを構成する配管Ｆが連結
されている。
が連結される。配管Ｈには、リークチェック用のＮ2 ガ
スが供給されるようになっている。更に、設備配管２に
はバルブ１１、及び配管Ｇを介してバキュームジェネレ
ータ１２が連結されている。このバキュームジェネレー
タ１２の上流側には、実ガス排出用のＮ2 ガスが供給さ
れる配管Ｅが接続され、バキュームジェネレータ１２の
下流側には、実ガス処理ラインを構成する配管Ｆが連結
されている。
【００１１】このように構成された有害ガス用設備配管
において、有害ガスを使用ラインに供給する場合には、
設備配管２の各バルブ５、６、８、９を全て開放し、そ
して、他のラインのバルブ１０、１１を閉鎖する。これ
により、ボンベ１の有害ガスは、設備配管２のみ流れて
使用ラインに供給される。また、この時の有害ガスの圧
力は、圧力計４、７によって計測される。
において、有害ガスを使用ラインに供給する場合には、
設備配管２の各バルブ５、６、８、９を全て開放し、そ
して、他のラインのバルブ１０、１１を閉鎖する。これ
により、ボンベ１の有害ガスは、設備配管２のみ流れて
使用ラインに供給される。また、この時の有害ガスの圧
力は、圧力計４、７によって計測される。
【００１２】図２は、本発明の圧力計精度検査装置の実
施の形態を示す構造図である。同図に示す圧力計精度検
査装置２０は小タンク（第１のタンク）２２、大タンク
（第２のタンク）２４及び実ガス除害装置２６等から構
成され、これらは複数のバルブを介して接続されてい
る。この圧力計精度検査装置２０は、小タンク２２に接
続されているコイルチューブ２８の口金３０を、設備配
管２の取付口３に接続することにより有害ガス用設備配
管に接続されて、圧力計４、７の精度を検査する。
施の形態を示す構造図である。同図に示す圧力計精度検
査装置２０は小タンク（第１のタンク）２２、大タンク
（第２のタンク）２４及び実ガス除害装置２６等から構
成され、これらは複数のバルブを介して接続されてい
る。この圧力計精度検査装置２０は、小タンク２２に接
続されているコイルチューブ２８の口金３０を、設備配
管２の取付口３に接続することにより有害ガス用設備配
管に接続されて、圧力計４、７の精度を検査する。
【００１３】前記小タンク２２及び大タンク２４には、
デジタル表示式の圧力計（Ｐ1 ）３２、（Ｐ2 ）３４が
取り付けられる。圧力計３２で検出された小タンク２２
の圧力情報は、図３に示す圧力キャリブレータ３６を介
してコントローラ４４に出力される。また、このコント
ローラ４４には、圧力計４、７で検出された設備配管２
の圧力情報が出力される。各圧力計４、７、３２からの
圧力情報は、コントローラ４４によって電気信号に変換
されて外部操作装置３７に出力される。外部操作装置３
７は、前記電気信号を取り込むと共にこれらの電気信号
を比較し、その比較結果をディスプレイ３７Ａに表示す
る。また、コントローラ４４は、外部操作装置３７から
の指令信号に基づいて圧力キャリブレータ３６を制御
し、圧力計精度検査装置２０のオリフィス内蔵型エアー
作動弁３８、４０及びバルブ４２の開閉量を制御する。
デジタル表示式の圧力計（Ｐ1 ）３２、（Ｐ2 ）３４が
取り付けられる。圧力計３２で検出された小タンク２２
の圧力情報は、図３に示す圧力キャリブレータ３６を介
してコントローラ４４に出力される。また、このコント
ローラ４４には、圧力計４、７で検出された設備配管２
の圧力情報が出力される。各圧力計４、７、３２からの
圧力情報は、コントローラ４４によって電気信号に変換
されて外部操作装置３７に出力される。外部操作装置３
７は、前記電気信号を取り込むと共にこれらの電気信号
を比較し、その比較結果をディスプレイ３７Ａに表示す
る。また、コントローラ４４は、外部操作装置３７から
の指令信号に基づいて圧力キャリブレータ３６を制御
し、圧力計精度検査装置２０のオリフィス内蔵型エアー
作動弁３８、４０及びバルブ４２の開閉量を制御する。
【００１４】次に、前記の如く構成された圧力計精度検
査装置２０による、圧力計４、７の精度検査方法につい
て説明する。先ず、検査を行うまえに設備配管２に残存
した有害ガスを、実ガス処理ラインに排出する作業を行
う。この作業は、図１に示したボンベ１のバルブを閉じ
たのち、配管ＥからＮ2 ガスをバキュームジェネレータ
１２を介して配管Ｆに通す。これによって設備配管２の
Ａ、Ｂ、Ｃラインに残存した有害ガスが、エジェクタ効
果によりＧラインを介して吸引されて、Ｎ2 ガスと共に
配管Ｆから実ガス処理ラインに排出される。この作業を
複数回行い、設備配管２に残存した有害ガスを確実に排
出したのち、前記ボンベ１を設備配管２から取り外す。
これにより、検査準備が終了する。
査装置２０による、圧力計４、７の精度検査方法につい
て説明する。先ず、検査を行うまえに設備配管２に残存
した有害ガスを、実ガス処理ラインに排出する作業を行
う。この作業は、図１に示したボンベ１のバルブを閉じ
たのち、配管ＥからＮ2 ガスをバキュームジェネレータ
１２を介して配管Ｆに通す。これによって設備配管２の
Ａ、Ｂ、Ｃラインに残存した有害ガスが、エジェクタ効
果によりＧラインを介して吸引されて、Ｎ2 ガスと共に
配管Ｆから実ガス処理ラインに排出される。この作業を
複数回行い、設備配管２に残存した有害ガスを確実に排
出したのち、前記ボンベ１を設備配管２から取り外す。
これにより、検査準備が終了する。
【００１５】次に、検査の手順について図３を参照しな
がら説明する。先ず、圧力計精度検査装置２０の口金３
０を、設備配管２の取付口３に接続する。次に、バルブ
５、１０を開放し、リークチェック用のＮ2 ガスをＨ→
Ｂ→Ａライン（図１参照）を介して圧力計精度検査装置
２０に供給し、圧力計精度検査装置２０の小タンク２
２、及び大タンク２４に前記Ｎ2 ガスを充填する。そし
て、小タンク２２の圧力が例えば１００ｋｇ／ｃｍ2 、
大タンク２４の圧力が１２０ｋｇ／ｃｍ2 に達した時に
Ｎ2 ガスの供給を停止する。
がら説明する。先ず、圧力計精度検査装置２０の口金３
０を、設備配管２の取付口３に接続する。次に、バルブ
５、１０を開放し、リークチェック用のＮ2 ガスをＨ→
Ｂ→Ａライン（図１参照）を介して圧力計精度検査装置
２０に供給し、圧力計精度検査装置２０の小タンク２
２、及び大タンク２４に前記Ｎ2 ガスを充填する。そし
て、小タンク２２の圧力が例えば１００ｋｇ／ｃｍ2 、
大タンク２４の圧力が１２０ｋｇ／ｃｍ2 に達した時に
Ｎ2 ガスの供給を停止する。
【００１６】次に、設備配管２のバルブ８、１０と圧力
計精度検査装置２０のオリフィス内蔵型エアー作動弁４
０、及びバルブ４２を閉じたのち、オリフィス内蔵型エ
アー作動弁３８を開放し、小タンク２２内のＮ2 ガスを
実ガス除害装置２６を介して外部に放出する。そして、
小タンク２２の圧力が、例えば７０ｋｇ／ｃｍ2 に達し
た時にオリフィス内蔵型エアー作動弁３８を閉じる。オ
リフィス内蔵型エアー作動弁３８の開閉制御は、小タン
ク２２の圧力計３２からの圧力情報に基づいてコントロ
ーラ４４で制御される。
計精度検査装置２０のオリフィス内蔵型エアー作動弁４
０、及びバルブ４２を閉じたのち、オリフィス内蔵型エ
アー作動弁３８を開放し、小タンク２２内のＮ2 ガスを
実ガス除害装置２６を介して外部に放出する。そして、
小タンク２２の圧力が、例えば７０ｋｇ／ｃｍ2 に達し
た時にオリフィス内蔵型エアー作動弁３８を閉じる。オ
リフィス内蔵型エアー作動弁３８の開閉制御は、小タン
ク２２の圧力計３２からの圧力情報に基づいてコントロ
ーラ４４で制御される。
【００１７】この時の圧力計３２の圧力情報（７０ｋｇ
／ｃｍ2 ：基準圧）と、検査対象の圧力計４、７からの
圧力情報とはコントローラ４４によって電気信号に変換
されて外部操作装置３７に出力される。外部操作装置３
７は前記信号を取り込み、これを比較してディスプレイ
３７Ａに表示する。即ち、圧力計４、７で計測された圧
力が、基準圧（７０ｋｇ／ｃｍ2 ）に対して規定値内に
あるか否かを比較して、規定値から外れた場合にはＮＧ
を表示する。
／ｃｍ2 ：基準圧）と、検査対象の圧力計４、７からの
圧力情報とはコントローラ４４によって電気信号に変換
されて外部操作装置３７に出力される。外部操作装置３
７は前記信号を取り込み、これを比較してディスプレイ
３７Ａに表示する。即ち、圧力計４、７で計測された圧
力が、基準圧（７０ｋｇ／ｃｍ2 ）に対して規定値内に
あるか否かを比較して、規定値から外れた場合にはＮＧ
を表示する。
【００１８】これは圧力計４、７の精度検査に対し、圧
力計精度検査装置２０側で一つの基準圧に対するもの
で、通常圧力計の比較検査は圧力計４、７の基準圧を段
階的に変化させて検査する。例えば、基準圧を図４中実
線で示すように０ｋｇ／ｃｍ2〜１００ｋｇ／ｃｍ2 ま
で５段階（２５ｋｇ／ｃｍ2 刻み）に間欠上昇させて、
それぞれの基準圧と、その時の圧力計４、７で計測され
たデータとの偏差が規定値以内に入っているか否かを検
討する。基準圧の制御は、オリフィス内蔵型エアー作動
弁３８、４０及びバルブ４２の開閉を制御することによ
り行うことができる。即ち、オリフィス内蔵型エアー作
動弁３８及びバルブ４２を閉じて、オリフィス内蔵型エ
アー作動弁４０を開放すると、小タンク２２の圧力が大
タンク２４の圧力によって上昇する。そして、小タンク
２２の圧力が所定の基準圧に達した時に、オリフィス内
蔵型エアー作動弁４０を閉じる。これにより、基準圧の
可変制御を容易に行うことができる。
力計精度検査装置２０側で一つの基準圧に対するもの
で、通常圧力計の比較検査は圧力計４、７の基準圧を段
階的に変化させて検査する。例えば、基準圧を図４中実
線で示すように０ｋｇ／ｃｍ2〜１００ｋｇ／ｃｍ2 ま
で５段階（２５ｋｇ／ｃｍ2 刻み）に間欠上昇させて、
それぞれの基準圧と、その時の圧力計４、７で計測され
たデータとの偏差が規定値以内に入っているか否かを検
討する。基準圧の制御は、オリフィス内蔵型エアー作動
弁３８、４０及びバルブ４２の開閉を制御することによ
り行うことができる。即ち、オリフィス内蔵型エアー作
動弁３８及びバルブ４２を閉じて、オリフィス内蔵型エ
アー作動弁４０を開放すると、小タンク２２の圧力が大
タンク２４の圧力によって上昇する。そして、小タンク
２２の圧力が所定の基準圧に達した時に、オリフィス内
蔵型エアー作動弁４０を閉じる。これにより、基準圧の
可変制御を容易に行うことができる。
【００１９】本実施の形態では、タンク２２、２４に充
填される圧力検査用ガスとして、既設の配管Ｈから得ら
れるリークチェック用Ｎ2 ガスを使用したので、検査を
行う場合には、タンク２２、２４を空にした状態で設備
配管２に接続することができる。よって、圧力計精度検
査装置２０の取り扱いが容易になる。
填される圧力検査用ガスとして、既設の配管Ｈから得ら
れるリークチェック用Ｎ2 ガスを使用したので、検査を
行う場合には、タンク２２、２４を空にした状態で設備
配管２に接続することができる。よって、圧力計精度検
査装置２０の取り扱いが容易になる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る圧力
計の精度検査方法及びその装置によれば、圧力計を設備
配管に取り付けた状態で圧力計の精度を検査することが
できるので、圧力計の精度検査を安全に行うことがで
き、また、検査の基準圧をバルブを使用して段階的に変
化させたので精度良く検査することができる。
計の精度検査方法及びその装置によれば、圧力計を設備
配管に取り付けた状態で圧力計の精度を検査することが
できるので、圧力計の精度検査を安全に行うことがで
き、また、検査の基準圧をバルブを使用して段階的に変
化させたので精度良く検査することができる。
【図１】クリーンルームの有害ガス用設備配管の実施例
を示す説明図
を示す説明図
【図２】圧力計精度検査装置の実施例を示す構造図
【図３】有害ガス用設備配管に圧力計精度検査装置が接
続されたブロック図
続されたブロック図
【図４】基準圧と検査対象の圧力計の圧力との比較説明
図
図
４、７…圧力計 ２０…圧力計精度検査装置 ２２…小タンク ２４…大タンク ３２、３４…圧力計 ３６…圧力キャリブレータ ３７…制御装置 ３８、４０…オリフィス内蔵型エアー作動弁
Claims (4)
- 【請求項１】所定のガスが充填されたボンベが接続され
て該ボンベ内のガスをガス使用部に供給すると共に、該
ガスの圧力を測定する圧力計が取り付けられた設備配管
において、 前記設備配管に、圧力検査用ガスが所定の圧力で充填さ
れたタンクを接続すると共に、前記圧力計に対して下流
側の設備配管を閉塞して、設備配管とタンクとを気密状
態で連通させたのち、 前記タンクの圧力を可変制御しながら、そのタンクの圧
力と前記圧力計が示す圧力とを比較して、圧力計の精度
を検査することを特徴とする圧力計の精度検査方法。 - 【請求項２】前記圧力検査用ガスは、前記設備配管に連
結された既設の高圧ガス配管から得られる高圧ガスであ
り、該高圧ガスは、空の前記タンクを前記設備配管に連
結したのち、高圧ガス配管から前記設備配管を介してタ
ンクに充填されることを特徴とする請求項１記載の圧力
計の精度検査方法。 - 【請求項３】所定のガスが充填されたボンベが端部に接
続されて該ボンベ内のガスをガス使用部に供給すると共
に、該ガスの圧力を測定する圧力計が取り付けられた設
備配管において、 圧力検査用ガスが所定の圧力で充填された第１のタンク
と、 第１のタンクよりも高い圧力で圧力検査用ガスが充填さ
れた第２のタンクと、 第１のタンクと第２のタンクとを連結するバルブと、 前記バルブの開閉量を制御して、第１のタンクの圧力を
第２のタンクの圧力に基づいて可変させる制御部と、 を備え、前記ボンベを設備配管から取り外し、その設備
配管に、前記第１のタンクを接続すると共に、前記圧力
計に対して下流側の設備配管を閉塞して、設備配管と第
１のタンクとを気密状態で連通させたのち、前記制御部
によって第１のタンクの圧力を可変制御しながら、第１
のタンクの圧力と前記圧力計が示す圧力とを比較して、
圧力計の精度を検査することを特徴とする圧力計の精度
検査装置。 - 【請求項４】前記第１のタンク及び第２のタンクに充填
される前記圧力検査用ガスは、前記設備配管に連結され
た既設の高圧ガス配管から得られる高圧ガスであり、該
高圧ガスは、空の第１のタンクを設備配管に連結したの
ち、高圧ガス配管から前記設備配管を介して第１のタン
ク及び第２のタンクに充填されることを特徴とする請求
項３記載の圧力計の精度検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19801196A JPH1038741A (ja) | 1996-07-26 | 1996-07-26 | 圧力計の精度検査方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19801196A JPH1038741A (ja) | 1996-07-26 | 1996-07-26 | 圧力計の精度検査方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1038741A true JPH1038741A (ja) | 1998-02-13 |
Family
ID=16384032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19801196A Pending JPH1038741A (ja) | 1996-07-26 | 1996-07-26 | 圧力計の精度検査方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1038741A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100444690B1 (ko) * | 2002-10-04 | 2004-08-18 | 현대자동차주식회사 | 멀티미터의 기압계 성능 시험용 기압측정 장치와 이를이용한 성능시험 방법 |
| CN104165727A (zh) * | 2013-05-17 | 2014-11-26 | 成都飞机工业（集团）有限责任公司 | 一种检定轮胎压力表的装置 |
| JP2019211477A (ja) * | 2018-05-31 | 2019-12-12 | 株式会社フジキン | 流体封止装置及び圧力検出器校正装置 |
-
1996
- 1996-07-26 JP JP19801196A patent/JPH1038741A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100444690B1 (ko) * | 2002-10-04 | 2004-08-18 | 현대자동차주식회사 | 멀티미터의 기압계 성능 시험용 기압측정 장치와 이를이용한 성능시험 방법 |
| CN104165727A (zh) * | 2013-05-17 | 2014-11-26 | 成都飞机工业（集团）有限责任公司 | 一种检定轮胎压力表的装置 |
| JP2019211477A (ja) * | 2018-05-31 | 2019-12-12 | 株式会社フジキン | 流体封止装置及び圧力検出器校正装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050128 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20050711 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20051102 |