JPH10339958A - 感光性ポリイミド用リンス液 - Google Patents
感光性ポリイミド用リンス液Info
- Publication number
- JPH10339958A JPH10339958A JP14803097A JP14803097A JPH10339958A JP H10339958 A JPH10339958 A JP H10339958A JP 14803097 A JP14803097 A JP 14803097A JP 14803097 A JP14803097 A JP 14803097A JP H10339958 A JPH10339958 A JP H10339958A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water
- photosensitive polyimide
- diethylene glycol
- organic solvent
- rinsing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Detergent Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】引火点の存在しない感光性ポリイミド用リンス
液を提供する。 【解決手段】水および水と任意の割合で混和可能な有機
溶剤を含みかつ、引火点の存在しないことを特徴とする
感光性ポリイミド用リンス液。
液を提供する。 【解決手段】水および水と任意の割合で混和可能な有機
溶剤を含みかつ、引火点の存在しないことを特徴とする
感光性ポリイミド用リンス液。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子材料として有
用な感光性ポリイミド組成物の現像工程で使用した現像
液を除くためのリンス工程で使用するリンス液に関する
ものである。
用な感光性ポリイミド組成物の現像工程で使用した現像
液を除くためのリンス工程で使用するリンス液に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来感光性ポリイミド用リンス液として
は、メタノール、エタノール、イソプロパノールなどの
低級アルコールが使用されていた（特開昭６４ー４８８
５７号公報）。しかし、このようなリンス液は、引火点
が通常のクリーンルームの室温である２３℃より低いた
めに、現像装置などにより火花が発生した場合引火する
恐れがあることから現像装置を防爆仕様にし、さらには
装置全体を防爆室に設置することが必要であった。
は、メタノール、エタノール、イソプロパノールなどの
低級アルコールが使用されていた（特開昭６４ー４８８
５７号公報）。しかし、このようなリンス液は、引火点
が通常のクリーンルームの室温である２３℃より低いた
めに、現像装置などにより火花が発生した場合引火する
恐れがあることから現像装置を防爆仕様にし、さらには
装置全体を防爆室に設置することが必要であった。
【０００３】また、引火点の無いリンス液として水を使
用した場合は、膜中へのクラック発生や、基板と接着面
にしみこみ現象が発生し実質上使用できなかった。
用した場合は、膜中へのクラック発生や、基板と接着面
にしみこみ現象が発生し実質上使用できなかった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる従来技
術の諸欠点に鑑み創案されたもので、その目的とすると
ころは現像リンス工程で引火などの恐れがなく、非防爆
設備で安全に使用できる感光性ポリイミド用リンス液を
提供することにある。
術の諸欠点に鑑み創案されたもので、その目的とすると
ころは現像リンス工程で引火などの恐れがなく、非防爆
設備で安全に使用できる感光性ポリイミド用リンス液を
提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】かかる本発明の目的は、
水および水と任意の割合で混和可能な有機溶剤を含みか
つ、引火点の存在しないことを特徴とする感光性ポリイ
ミド用リンス液、という構成を採ることにより達成され
る。
水および水と任意の割合で混和可能な有機溶剤を含みか
つ、引火点の存在しないことを特徴とする感光性ポリイ
ミド用リンス液、という構成を採ることにより達成され
る。
【０００６】本発明におけるリンス液としては、引火点
が存在せず非防爆設備で使用できることが必要である点
から、水と任意の割合で混和可能な有機溶剤／水の比率
が８０／２０重量比から５／９５重量比であることが好
ましく、７０／３０重量比から１５／８５重量比である
ことがさらに好ましい。
が存在せず非防爆設備で使用できることが必要である点
から、水と任意の割合で混和可能な有機溶剤／水の比率
が８０／２０重量比から５／９５重量比であることが好
ましく、７０／３０重量比から１５／８５重量比である
ことがさらに好ましい。
【０００７】水と任意の割合で混和可能な有機溶剤とし
ては、沸点が１１５℃以上の分子内に水酸基をもつ化合
物および／またはジエチレングリコール誘導体が好まし
く、具体例としては、３−メチルー３ーメトキシブタノ
ール、エチレングリコール、１−メトキシー２−プロパ
ノール、乳酸エチル、乳酸メチル、エチレングリコール
モノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエ
ーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エ
チレングリコールモノブチルエーテル、２ー（メトキシ
メトキシ）エタノール、プロピレングリコール、プロピ
レングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコ
ールモノエチルエーテル、メトキシブタノール、テトラ
ヒドロフルフリルアルコール、シ゛エチレングリコールジ
メチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテ
ル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテー
ト、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテー
ト、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチ
レングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリ
コール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、
ジプロピレングリコールモノエチルエーテルなどを例示
することができる。中でも３−メチルー３ーメトキシブ
タノール、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジ
エチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリ
コールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリ
コールモノエチルエーテルアセテートが特に好ましい。
これらは単独で使用してもよいし、２種以上を混合して
使用することもできる。また、沸点が１１５℃以下であ
っても少量を水に添加することにより、引火点の無いリ
ンス液であれば使用可能である。
ては、沸点が１１５℃以上の分子内に水酸基をもつ化合
物および／またはジエチレングリコール誘導体が好まし
く、具体例としては、３−メチルー３ーメトキシブタノ
ール、エチレングリコール、１−メトキシー２−プロパ
ノール、乳酸エチル、乳酸メチル、エチレングリコール
モノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエ
ーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エ
チレングリコールモノブチルエーテル、２ー（メトキシ
メトキシ）エタノール、プロピレングリコール、プロピ
レングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコ
ールモノエチルエーテル、メトキシブタノール、テトラ
ヒドロフルフリルアルコール、シ゛エチレングリコールジ
メチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテ
ル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテー
ト、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテー
ト、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチ
レングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリ
コール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、
ジプロピレングリコールモノエチルエーテルなどを例示
することができる。中でも３−メチルー３ーメトキシブ
タノール、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジ
エチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリ
コールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリ
コールモノエチルエーテルアセテートが特に好ましい。
これらは単独で使用してもよいし、２種以上を混合して
使用することもできる。また、沸点が１１５℃以下であ
っても少量を水に添加することにより、引火点の無いリ
ンス液であれば使用可能である。
【０００８】本発明の感光性ポリイミド用リンス液は、
現在知られているすべての感光性ポリイミド（たとえ
ば、特公昭５９−５２８２２号公報、米国特許第３９５
７５１２号明細書、特開平２−５０１６１号公報、高分
子学会予稿集ｐ８０７（１９９０年）などに記載されて
いるもの）に適応可能である。
現在知られているすべての感光性ポリイミド（たとえ
ば、特公昭５９−５２８２２号公報、米国特許第３９５
７５１２号明細書、特開平２−５０１６１号公報、高分
子学会予稿集ｐ８０７（１９９０年）などに記載されて
いるもの）に適応可能である。
【０００９】次に、本発明の感光性ポリイミド用リンス
液を用いた感光性ポリイミドの現像方法について説明す
る。
液を用いた感光性ポリイミドの現像方法について説明す
る。
【００１０】まず、感光性ポリイミドのワニスをシリコ
ンウエハーや金属箔などの上にスピンコートなどの手法
で塗布を行い、ホットプレート上やオーブン中で溶剤を
飛散させる。その後、所定量の露光を行った後にスピン
ナ上に該ウエハーを固定して、毎分５０回転から３００
０回転で回転させながら現像液をスプレーで噴射するス
プレー現像、または、スピンナ上に現像液を盛り、静置
して現像を行うパドル現像、または、現像液の槽にウエ
ハーを浸漬する浸漬現像や浸漬現像において超音波を照
射する超音波浸漬現像などの方式で現像を行い、レリー
フパターンを得る。
ンウエハーや金属箔などの上にスピンコートなどの手法
で塗布を行い、ホットプレート上やオーブン中で溶剤を
飛散させる。その後、所定量の露光を行った後にスピン
ナ上に該ウエハーを固定して、毎分５０回転から３００
０回転で回転させながら現像液をスプレーで噴射するス
プレー現像、または、スピンナ上に現像液を盛り、静置
して現像を行うパドル現像、または、現像液の槽にウエ
ハーを浸漬する浸漬現像や浸漬現像において超音波を照
射する超音波浸漬現像などの方式で現像を行い、レリー
フパターンを得る。
【００１１】この後、本発明の感光性ポリイミド用リン
ス液を用いてリンスを行う。リンスの方法としては、リ
ンス液を回転させたウエハー上にノズルやスプレー等に
より噴射する噴射リンス方式、リンス槽にウエハーを浸
漬する浸漬方式あるいは浸漬時に超音波を照射する超音
波浸漬方式などがある。このリンス工程後に、オーブン
あるいはホットプレート上で１００℃から４５０℃程度
の熱処理を行い、ポリイミドに交換することで最終的な
製品が得られる。
ス液を用いてリンスを行う。リンスの方法としては、リ
ンス液を回転させたウエハー上にノズルやスプレー等に
より噴射する噴射リンス方式、リンス槽にウエハーを浸
漬する浸漬方式あるいは浸漬時に超音波を照射する超音
波浸漬方式などがある。このリンス工程後に、オーブン
あるいはホットプレート上で１００℃から４５０℃程度
の熱処理を行い、ポリイミドに交換することで最終的な
製品が得られる。
【００１２】本発明におけるリンス液の引火点測定は、
次の方法による。すなわち、タグ密閉式容器で８０℃ま
で測定し、その後、ペンスキーマルテンス密閉式試験器
で１００℃まで測定した。なお、１００℃以上では、水
溶液であるために引火点は観測されない
次の方法による。すなわち、タグ密閉式容器で８０℃ま
で測定し、その後、ペンスキーマルテンス密閉式試験器
で１００℃まで測定した。なお、１００℃以上では、水
溶液であるために引火点は観測されない
【００１３】
【実施例】以下、実施例に基いて本発明を具体的に説明
するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００１４】実施例１ 感光性ポリイミドのワニスとして東レ（株）製ＵＲ−３
１４０を用いて、４インチのシリコンウエハ上に、２０
００回転で３０秒間スピンコートした。その後、ＹＡＭ
ＡＴＯ製クリーンオーブンＤＴ４２を用い９０℃で２０
分の乾燥を行った後に、キャノン（株）製コンタクトア
ライナーＰＬＡ５０１Ｆを用いてテストパターンをマス
クとして３６５ｎｍの波長をカットした波長で３００ｍ
Ｊ／ｃｍ２の露光を行った。
１４０を用いて、４インチのシリコンウエハ上に、２０
００回転で３０秒間スピンコートした。その後、ＹＡＭ
ＡＴＯ製クリーンオーブンＤＴ４２を用い９０℃で２０
分の乾燥を行った後に、キャノン（株）製コンタクトア
ライナーＰＬＡ５０１Ｆを用いてテストパターンをマス
クとして３６５ｎｍの波長をカットした波長で３００ｍ
Ｊ／ｃｍ２の露光を行った。
【００１５】この試料を東レ製現像液ＤＶー８２２を用
いて、超音波現像を行った。現像は、２５℃にコントロ
ールされた超音波現像槽中で５分間浸漬し行った。この
後、沸点が１７４℃の３−メチルー３ーメトキシブタノ
ール８０重量％と水２０重量％とからなるリンス液を用
い、２５℃にコントロールされた超音波リンス槽で１分
間超音波浸漬リンスを行った。なお、上記リンス液につ
いて引火点は観測されなかった。
いて、超音波現像を行った。現像は、２５℃にコントロ
ールされた超音波現像槽中で５分間浸漬し行った。この
後、沸点が１７４℃の３−メチルー３ーメトキシブタノ
ール８０重量％と水２０重量％とからなるリンス液を用
い、２５℃にコントロールされた超音波リンス槽で１分
間超音波浸漬リンスを行った。なお、上記リンス液につ
いて引火点は観測されなかった。
【００１６】現像の結果を光学顕微鏡で観察すると中央
部から周辺部までスカムは全く観察されず、一様な解像
がなされていた。
部から周辺部までスカムは全く観察されず、一様な解像
がなされていた。
【００１７】実施例２ リンス液として沸点が１６０℃のジエチレングリコール
ジメチルエーテル５０重量％と水５０重量％とからなる
リンス液を使用した以外は実施例１と同様にしてポリイ
ミド被膜の形成、現像およびリンスを行った。なお、上
記リンス液について引火点は観測されなかった。
ジメチルエーテル５０重量％と水５０重量％とからなる
リンス液を使用した以外は実施例１と同様にしてポリイ
ミド被膜の形成、現像およびリンスを行った。なお、上
記リンス液について引火点は観測されなかった。
【００１８】現像の結果を光学顕微鏡で観察すると中央
部から周辺部までスカムは全く観察されず、一様な解像
がなされていた。
部から周辺部までスカムは全く観察されず、一様な解像
がなされていた。
【００１９】実施例３ リンス液として沸点が２１７℃のジエチレングリコール
モノエチルエーテルアセテート５重量％と水９５重量％
とからなるリンス液を使用した以外は実施例１と同様に
してポリイミドの形成、現像およびリンスを行った。な
お、上記リンス液について引火点は観測されなかった。
モノエチルエーテルアセテート５重量％と水９５重量％
とからなるリンス液を使用した以外は実施例１と同様に
してポリイミドの形成、現像およびリンスを行った。な
お、上記リンス液について引火点は観測されなかった。
【００２０】現像の結果を光学顕微鏡で観察すると中央
部から周辺部までスカムは全く観察されず、一様な解像
がなされていた。
部から周辺部までスカムは全く観察されず、一様な解像
がなされていた。
【００２１】実施例４ ４インチシリコンウエハーのかわりに基板として１０ｃ
ｍ角のＳＵＳ箔を使用した以外は実施例１と同様にして
ポリイミドの形成、現像およびリンスを行った。
ｍ角のＳＵＳ箔を使用した以外は実施例１と同様にして
ポリイミドの形成、現像およびリンスを行った。
【００２２】現像の結果を光学顕微鏡で観察すると中央
部から周辺部までスカムは全く観察されず、一様な解像
がなされていた。
部から周辺部までスカムは全く観察されず、一様な解像
がなされていた。
【００２３】比較例１ リンス液として水を使用した以外は実施例１と同様にし
てポリイミドの形成、現像およびリンスを行った。
てポリイミドの形成、現像およびリンスを行った。
【００２４】現像の結果を光学顕微鏡で観察すると中央
部から周辺部までスカムは観察されなかったが、膜中に
クラックが発生した。
部から周辺部までスカムは観察されなかったが、膜中に
クラックが発生した。
【００２５】比較例２ リンス液として引火点１１．７℃のイソプロパノールを
使用した以外は実施例１と同様にしてポリイミドの形
成、現像およびリンスを行った。
使用した以外は実施例１と同様にしてポリイミドの形
成、現像およびリンスを行った。
【００２６】現像の結果を光学顕微鏡で観察すると中央
部から周辺部までスカムは全く観察されず、一様な解像
がなされていた。
部から周辺部までスカムは全く観察されず、一様な解像
がなされていた。
【００２７】
【発明の効果】本発明は感光性ポリイミド用リンス液と
して、水と任意の割合で混和可能な有機溶剤と水を混合
することにより、引火点を消すようにしたものであり、
現像リンス工程で引火などの恐れがなく、非防爆設備で
安全に使用できる利点がある。
して、水と任意の割合で混和可能な有機溶剤と水を混合
することにより、引火点を消すようにしたものであり、
現像リンス工程で引火などの恐れがなく、非防爆設備で
安全に使用できる利点がある。
Claims (4)
- 【請求項１】水および水と任意の割合で混和可能な有機
溶剤を含みかつ、引火点の存在しないことを特徴とする
感光性ポリイミド用リンス液。 - 【請求項２】水の割合が２０％から９５％の範囲である
ことを特徴とする請求項１記載の感光性ポリイミド用リ
ンス液。 - 【請求項３】水と任意の割合で混和可能な有機溶剤が、
沸点１１５℃以上の分子内に水酸基をもつ化合物および
/またはジエチレングリコール誘導体であることを特徴
とする請求項１記載の感光性ポリイミド用リンス液。 - 【請求項４】水と任意の割合で混和可能な有機溶剤が、
３−メチル−３−メトキシブタノール、ジエチレングリ
コールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチ
ルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル
アセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル
アセテートであることを特徴とする請求項３記載の感光
性ポリイミド用リンス液。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14803097A JPH10339958A (ja) | 1997-06-05 | 1997-06-05 | 感光性ポリイミド用リンス液 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14803097A JPH10339958A (ja) | 1997-06-05 | 1997-06-05 | 感光性ポリイミド用リンス液 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10339958A true JPH10339958A (ja) | 1998-12-22 |
Family
ID=15443554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14803097A Pending JPH10339958A (ja) | 1997-06-05 | 1997-06-05 | 感光性ポリイミド用リンス液 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10339958A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018127573A (ja) * | 2017-02-10 | 2018-08-16 | 荒川化学工業株式会社 | 電子材料用リンス剤 |
| WO2019163465A1 (ja) * | 2018-02-26 | 2019-08-29 | 化研テック株式会社 | リンス剤及びリンス剤の使用方法 |
-
1997
- 1997-06-05 JP JP14803097A patent/JPH10339958A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018127573A (ja) * | 2017-02-10 | 2018-08-16 | 荒川化学工業株式会社 | 電子材料用リンス剤 |
| WO2019163465A1 (ja) * | 2018-02-26 | 2019-08-29 | 化研テック株式会社 | リンス剤及びリンス剤の使用方法 |
| CN110741738A (zh) * | 2018-02-26 | 2020-01-31 | 化研科技株式会社 | 漂洗剂以及漂洗剂的使用方法 |
| JPWO2019163465A1 (ja) * | 2018-02-26 | 2020-12-17 | 化研テック株式会社 | リンス剤及びリンス剤の使用方法 |
| CN110741738B (zh) * | 2018-02-26 | 2023-08-29 | 化研科技株式会社 | 漂洗剂以及漂洗剂的使用方法 |
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