JPH10339942A - Layout pattern verification device - Google Patents
Layout pattern verification deviceInfo
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- JPH10339942A JPH10339942A JP15128297A JP15128297A JPH10339942A JP H10339942 A JPH10339942 A JP H10339942A JP 15128297 A JP15128297 A JP 15128297A JP 15128297 A JP15128297 A JP 15128297A JP H10339942 A JPH10339942 A JP H10339942A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、マスクROM内
蔵型LSIのROM工程マスクを作成する際に必要であ
るROM工程のレイアウトパターンデータを検証するレ
イアウトパターン検証装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a layout pattern verification apparatus for verifying layout pattern data of a ROM process required when a ROM process mask for an LSI with a built-in mask ROM is prepared.
【0002】[0002]
【従来の技術】図5は従来のレイアウトパターン検証装
置の構成を示すブロック図である。図において、1はR
OMコードデータ読込部、2はROMコード変換パラメ
ータ読込部、3は全入出力データを記憶するデータ記憶
部、4は全入出力データを制御するデータ制御部、5は
入出力データを画面表示する画面表示部、6はROMコ
ードデータをROM工程レイアウトパターンデータに変
換するROM工程レイアウトパターンデータ変換部であ
る。2. Description of the Related Art FIG. 5 is a block diagram showing a configuration of a conventional layout pattern verification device. In the figure, 1 is R
OM code data reading unit, 2 is a ROM code conversion parameter reading unit, 3 is a data storage unit that stores all input / output data, 4 is a data control unit that controls all input / output data, and 5 is a screen display of input / output data. A screen display unit 6 is a ROM process layout pattern data conversion unit that converts ROM code data into ROM process layout pattern data.
【0003】図7は、マスクROM内蔵型LSI内のR
OMブロックの論理回路モデルを示す説明図である。な
お、図7に示すROMブロックの論理回路モデルでは説
明を簡単にするため、以下の条件を前堤とする。 (ア)この論理回路モデルのレイアウト構造はCMOS
チャネルカット型ROMとし、1ビットに相当するレイ
アウトパターンデータ(以後、ROM矩形パターンデー
タと呼ぶ)は本来チャネルカット工程であるが、本明細
書ではROM工程レイアウトパターンデータとする。 (イ)この論理回路モデルは1ビット構成(nビット構
成の場合は図7に示す論理回路モデルをn個並列で構
成)とする。 (ウ)ROMコードの変換は正論理(ビット1でレイア
ウトパターン発生)とする。[0003] FIG. 7 shows a circuit diagram of an R in a mask ROM built-in LSI.
FIG. 3 is an explanatory diagram illustrating a logic circuit model of an OM block. Note that, in the logic circuit model of the ROM block shown in FIG. (A) The layout structure of this logic circuit model is CMOS
The layout pattern data corresponding to one bit (hereinafter, referred to as ROM rectangular pattern data) is a channel cut step, but is herein referred to as ROM step layout pattern data. (A) This logic circuit model has a 1-bit configuration (in the case of an n-bit configuration, n logic circuit models shown in FIG. 7 are configured in parallel). (C) The conversion of the ROM code is positive logic (a layout pattern is generated at bit 1).
【0004】図7において、11はマスクROM内蔵型
LSI内部のROMアドレスバスである信号線であり、
A0〜A7の8ビット構成とする。12はROM領域内
のX座標のROM矩形を選択するXアドレスデコーダで
あり、前記ROMアドレスバスの下位4ビット、A0〜
A3の組み合わせにより選択されるものとする。13は
同様にROM領域内のY座標のROM矩形を選択するY
アドレスデコーダであり、同様に前記ROMアドレスバ
スの上位4ビット、A4〜A7の組み合わせで選択され
るものとする。14はXアドレスデコーダ12で選択さ
れるX方向のセレクト信号線であり、ROMアドレス値
に対してセレクト信号線X0〜X7のどれか1つが選択
されるものとする。15はYアドレスデコーダで選択さ
れるY方向のセレクト信号線であり、同様にROMアド
レス値に対してセレクト信号線Y0〜Y7のどれか1つ
が選択されるものとする。16はXアドレスデコーダ1
2およびYアドレスデコーダ13で選択されたセレクト
信号線の交差部分のROM矩形パターンデータの位置を
示す。この論理回路モデルでは1つのROMアドレス番
地に必ず1つROM矩形パターンデータが対応し、8×
8=64番地分のROMアドレスに対応する。In FIG. 7, reference numeral 11 denotes a signal line which is a ROM address bus in an LSI with a built-in mask ROM.
It has an 8-bit configuration of A0 to A7. An X address decoder 12 selects a ROM rectangle at the X coordinate in the ROM area. The lower 4 bits of the ROM address bus, A0 to A0,
It shall be selected by the combination of A3. 13 is a Y for selecting a ROM rectangle at the Y coordinate in the ROM area.
An address decoder, which is also selected by a combination of the upper four bits of the ROM address bus and A4 to A7. Reference numeral 14 denotes a select signal line in the X direction selected by the X address decoder 12, and it is assumed that any one of the select signal lines X0 to X7 is selected for the ROM address value. Reference numeral 15 denotes a Y-direction select signal line selected by the Y address decoder. Similarly, any one of the select signal lines Y0 to Y7 is selected for the ROM address value. 16 is the X address decoder 1
2 shows the position of the ROM rectangular pattern data at the intersection of the select signal lines selected by the Y and Y address decoders 13. In this logic circuit model, one ROM address always corresponds to one ROM rectangular pattern data.
8 = 64 ROM addresses.
【0005】次に、従来のレイアウトパターン検証装置
の動作について説明する。図6は、従来のレイアウトパ
ターン検証装置の動作を示すフローチャートである。先
ず、ROMコードデータをROMコードデータ読込部1
より読み込む(ステップST1)。図8に、読み込むR
OMコードデータの例を示す。なお、この説明における
論理回路モデルは1ビット構成のため、ROMコードの
値も1ビットとする。さらにROMコード変換パラメー
タをROMコード変換パラメータ読込部2より読み込む
(ステップST2)。Next, the operation of the conventional layout pattern verification device will be described. FIG. 6 is a flowchart showing the operation of the conventional layout pattern verification device. First, the ROM code data is read from the ROM code data reading unit 1.
(Step ST1). FIG.
The example of OM code data is shown. It should be noted that the logic circuit model in this description has a one-bit configuration, so the ROM code value is also one bit. Further, the ROM code conversion parameter is read from the ROM code conversion parameter reading unit 2 (step ST2).
【0006】図9は、ROMコード変換パラメータ読込
部2により読み込まれるROMコード変換パラメータの
例を示す。図において、21はオフセットX座標位置お
よびオフセットY座標位置、22はROM矩形の幅Wと
高さH、23はX方向のROM矩形間隔およびY方向の
ROM矩形間隔、24はXアドレスデコーダ12のアド
レスビット番号、25はアドレスビット番号、26はX
0〜X7のセレクト信号線14に対応するアドレスビッ
ト番号の真理値ならび、27はYアドレスデコーダ13
のアドレスビット番号、28はアドレスビット番号、2
9はY0〜Y7のセレクト信号線15に対応するアドレ
スビット番号の真理値ならびを示すデータである。FIG. 9 shows an example of ROM code conversion parameters read by the ROM code conversion parameter reading section 2. In the figure, 21 is the offset X coordinate position and offset Y coordinate position, 22 is the width W and height H of the ROM rectangle, 23 is the ROM rectangle interval in the X direction and Y direction ROM rectangle, and 24 is the X address decoder 12. Address bit number, 25 is address bit number, 26 is X
The truth values of the address bit numbers corresponding to the select signal lines 14 of 0 to X7 and 27 are the Y address decoder 13
, 28 is the address bit number, 2
Reference numeral 9 denotes the data indicating the truth value and the address bit number corresponding to the select signal line 15 of Y0 to Y7.
【0007】図6に戻り、前記読み込んだROMコード
変換パラメータに従い、ROMコードデータの全アドレ
スを以下の(a)〜(e)の手順で変換する(ステップ
ST3)。 (a)ROMコードデータ読込部1によりROMコード
データを1アドレス番地読み込み、当該アドレス番地の
データ値が“1”の場合は(b)以降の処理を行い、ま
たデータ値が“0”の場合はデータ値が“1”のアドレ
ス番地まで読み飛ばす。Returning to FIG. 6, according to the read ROM code conversion parameters, all addresses of the ROM code data are converted according to the following procedures (a) to (e) (step ST3). (A) The ROM code data reading unit 1 reads the ROM code data at one address, and if the data value of the address is "1", performs the processing from (b) onward, and if the data value is "0". Skips to the address address where the data value is "1".
【0008】(b)ROMコードのアドレス番地を2進
数に変換する。図8はROMコードデータの一例であ
り、17はアドレス番地、18はROMコード値を示
す。このROMコードデータにおけるアドレス番地、0
010Hの変換例を示すと、0010H(HEX)は0
000 0000 0001 0000(binal
y)となる。なお、2進数のLSB側から各ビットをA
0〜A15として説明する。 (c)Xアドレスデコーダ12およびYアドレスデコー
ダ13の選択位置を求める。この選択位置は、前記RO
Mコード変換パラメータを参照して求める。図9のRO
Mコード変換パラメータによる変換例を示すと、Xアド
レスデコーダ12による選択位置は、A0〜A3ビッ
ト,0000(binaly)による選択位置である左
より1列目のX0のセレクト信号線である。また、Yア
ドレスデコーダ13による選択位置は、A4〜A7ビッ
ト,0001(binaly)による選択位置である下
より2行目のY1のセレクト信号線である。(B) Convert the address of the ROM code into a binary number. FIG. 8 shows an example of ROM code data, in which 17 indicates an address, and 18 indicates a ROM code value. Address address in this ROM code data, 0
In the conversion example of 010H, 0010H (HEX) is 0
000 0000 0001 0000 (binal
y). Note that each bit is A from the LSB side of the binary number.
Description will be given as 0 to A15. (C) Find selected positions of X address decoder 12 and Y address decoder 13. This selection position is determined by the RO
Determined with reference to the M code conversion parameters. RO in FIG.
In the conversion example using the M code conversion parameters, the position selected by the X address decoder 12 is the X0 select signal line in the first column from the left, which is the position selected by bits A0 to A3 and 0000 (binary). The position selected by the Y address decoder 13 is the Y1 select signal line in the second row from the bottom, which is the position selected by bits A4 to A7, 0001 (binary).
【0009】(d)前記各セレクト信号線により選択さ
れた選択位置に対応するROM矩形は図7に示すROM
矩形16であり、このROM矩形16のX座標,Y座標
を求める。このROM矩形16のX座標は当該ROM矩
形の左下頂点のX座標であり、図7に示すROM矩形1
6の左下頂点のX座標であるオフセットX座標を基準に
求める。また、Y座標は当該ROM矩形の左下頂点のY
座標であり、ROM矩形16の左下頂点のY座標である
オフセットY座標+(矩形高さ+矩形間隔)×(左下か
らの矩形数−1)で求められる。 (e)上記(d)で求めたX座標,Y座標に、前記RO
Mコード変換パラメータで指定されたROM矩形の幅W
と高さHで、ROM矩形パターンデータを作成すること
で、前記各セレクト信号線により選択された選択位置に
ROM矩形パターンデータが形成される。(D) The ROM rectangle corresponding to the selected position selected by each of the select signal lines is the ROM rectangle shown in FIG.
The X coordinate and the Y coordinate of the ROM rectangle 16 are obtained. The X coordinate of the ROM rectangle 16 is the X coordinate of the lower left vertex of the ROM rectangle.
6 is determined based on the offset X coordinate which is the X coordinate of the lower left vertex. The Y coordinate is the Y coordinate of the lower left vertex of the ROM rectangle.
It is a coordinate and is obtained by an offset Y coordinate which is a Y coordinate of a lower left vertex of the ROM rectangle 16+ (rectangle height + rectangular interval) × (number of rectangles from lower left-1). (E) The RO coordinate is added to the X coordinate and Y coordinate obtained in (d) above.
ROM rectangle width W specified by M code conversion parameter
By creating the ROM rectangular pattern data at the height H, the ROM rectangular pattern data is formed at the selected position selected by each of the select signal lines.
【0010】以上の手順でROMコードデータの全アド
レスを変換した後、前記ROM工程レイアウトパターン
データを画面表示部に表示し(ステップST4)、RO
Mコードデータが正しくROM工程レイアウトパターン
データに変換されているか目視にて確認する。図10
は、このようにして表示されたROM工程レイアウトパ
ターンデータの例を示す説明図であり、30がROM工
程レイアウトパターンデータである。After converting all the addresses of the ROM code data in the above procedure, the ROM process layout pattern data is displayed on the screen display section (step ST4), and the RO
It is visually confirmed that the M code data is correctly converted to the ROM process layout pattern data. FIG.
Is an explanatory diagram showing an example of the ROM process layout pattern data displayed in this way, and 30 is the ROM process layout pattern data.
【0011】[0011]
【発明が解決しようとする課題】従来のレイアウトパタ
ーン検証装置は以上のように構成されているので、以下
に示すような課題があった。ROMコードデータが正し
くROM工程レイアウトパターンデータに変換されてい
るかどうかを容易に検証することが困難であり、検証し
たROM矩形パターンデータの配置座標の検証は、全ビ
ットのROM矩形パターンデータを発生させて確認する
ことで容易になるが、前記各ROM矩形パターンデータ
が論理的にどのアドレス番地に対応しているかを容易に
確認することができず、図8に示したROMコードデー
タのリストと図10に示したROM工程レイアウトパタ
ーンデータを目視で検証することが容易でない課題があ
った。Since the conventional layout pattern verification apparatus is configured as described above, there are the following problems. It is difficult to easily verify whether the ROM code data is correctly converted to the ROM process layout pattern data, and verification of the arrangement coordinates of the verified ROM rectangular pattern data requires generation of all-bit ROM rectangular pattern data. However, it is not easy to confirm which address address each of the ROM rectangular pattern data logically corresponds to. Therefore, the ROM code data list shown in FIG. There is a problem that it is not easy to visually verify the ROM process layout pattern data shown in FIG.
【0012】また、前記検証を行う場合、図10に示し
たROM工程レイアウトパターンデータはROMコード
データに依存し、ROMコードデータの内容を理解して
照合しなければならないため検証作業が困難であり、さ
らにROMコード変換パラメータはオペレータにより設
定されるため、例えば図8に示したROMコードデータ
が全て“1”または“0”である場合には、ROMコー
ド変換パラメータが誤っていても、ROMコード変換パ
ラメータに誤りがない場合と同様なROM工程レイアウ
トパターンデータが作成されてしまう可能性があり、R
OMコード変換パラメータの誤りが表に出ないなどの課
題があった。Further, when performing the verification, the ROM process layout pattern data shown in FIG. 10 depends on the ROM code data, and it is necessary to understand and collate the contents of the ROM code data. Further, since the ROM code conversion parameter is set by the operator, for example, when all the ROM code data shown in FIG. 8 are “1” or “0”, even if the ROM code conversion parameter is incorrect, There is a possibility that ROM process layout pattern data similar to the case where there is no error in the conversion parameters may be created.
There has been a problem that an error in the OM code conversion parameter does not appear in the table.
【0013】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたもので、ROMコードデータが正しくRO
M工程レイアウトパターンデータに変換されているかど
うか、特にROM矩形パターンデータが論理的にどのア
ドレス番地に対応しているかを容易に確認でき、また、
ROMコード変換パラメータの誤りを容易に知ることの
可能なレイアウトパターン検証装置を得ることを目的と
する。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problem, and the ROM code data can be correctly stored in the RO.
Whether or not the data has been converted to the M-process layout pattern data, in particular, which address address logically corresponds to the ROM rectangular pattern data can be easily confirmed.
It is an object of the present invention to obtain a layout pattern verification device capable of easily knowing an error in a ROM code conversion parameter.
【0014】[0014]
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明に係
るレイアウトパターン検証装置は、ROM工程レイアウ
トパターンデータ変換手段により変換したROM工程レ
イアウトパターンと、照査用レイアウトパターンデータ
作成手段により作成した照査用レイアウトパターンデー
タとを重ね合わせてディスプレイに表示する表示制御手
段とを備えるようにしたものである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a layout pattern verification apparatus comprising: a ROM process layout pattern converted by a ROM process layout pattern data converting unit; Display control means for superimposing the data on the layout pattern data for display on the display.
【0015】請求項2記載の発明に係るレイアウトパタ
ーン検証装置は、ROM工程レイアウトパターンを、照
査用レイアウトパターンデータに対し識別可能にしてデ
ィスプレイに重ね合わせて表示する表示制御手段を備え
るようにしたものである。According to a second aspect of the present invention, there is provided a layout pattern verifying apparatus including a display control means for displaying a ROM process layout pattern on a display so as to be distinguishable from the inspection layout pattern data. It is.
【0016】[0016]
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
説明する。 実施の形態1.図1は、この発明の実施の形態1のレイ
アウトパターン検証装置の構成を示すブロック図であ
る。この実施の形態1のレイアウトパターン検証装置
は、ROMコード変換パラメータから全ビット分の座標
およびアドレス番地を抽出し、全ビット分のROM矩形
と当該各ROM矩形に対応するアドレス番地とを照査用
レイアウトパターンデータとしてROM工程レイアウト
パターンデータと共に同一画面上に視覚的に表示する。
そして、ROM工程レイアウトパターンデータと前記照
査用レイアウトパターンデータとを重ねて表示すること
で、ROMコードデータが正しくROM工程レイアウト
パターンデータに変換されているかどうか、特にROM
矩形パターンデータが論理的にどのアドレス番地に対応
しているかの確認を容易にするとともにROMコード変
換パラメータの設定誤りなどの確認を容易にする。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below. Embodiment 1 FIG. FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of the layout pattern verification device according to the first embodiment of the present invention. The layout pattern verification apparatus according to the first embodiment extracts coordinates and address addresses for all bits from the ROM code conversion parameter, and compares the ROM rectangle for all bits and the address address corresponding to each ROM rectangle with a layout for verification. The pattern data is visually displayed on the same screen together with the ROM process layout pattern data.
Then, by displaying the ROM process layout pattern data and the inspection layout pattern data in a superimposed manner, whether or not the ROM code data is correctly converted to the ROM process layout pattern data,
It is easy to confirm which address address the rectangular pattern data logically corresponds to, and also to easily confirm a setting error of the ROM code conversion parameter and the like.
【0017】図1において41はアドレス番地と当該各
アドレス番地に設定されるデータ値からなるROMコー
ドデータを読み込むROMコードデータ読込部(ROM
コードデータ読込手段)、42は前記ROMコードデー
タをROM工程レイアウトパターンに変換するためRO
Mコード変換パラメータを読み込むROMコード変換パ
ラメータ読込部(ROMコード変換パラメータ読込手
段)、43は全入出力データを記憶するデータ記憶部、
44は全入出力データの読み込み、処理、記憶、さらに
ROM工程レイアウトパターンデータ変換部46により
変換したROM工程レイアウトパターンデータと、照査
用レイアウトパターンデータ作成部47により作成した
照査用レイアウトパターンデータとを重ね合わせて図示
していないディスプレイに表示する処理などを行うデー
タ制御部(表示制御手段)である。In FIG. 1, reference numeral 41 denotes a ROM code data reading section (ROM) for reading ROM code data consisting of an address address and a data value set at each of the address addresses.
Code data reading means), 42 is an RO for converting the ROM code data into a ROM process layout pattern.
ROM code conversion parameter reading unit (ROM code conversion parameter reading means) for reading M code conversion parameters; 43, a data storage unit for storing all input / output data;
44 reads, processes, and stores all input / output data, and further stores ROM process layout pattern data converted by the ROM process layout pattern data conversion unit 46 and reference layout pattern data created by the reference layout pattern data creation unit 47. It is a data control unit (display control unit) that performs a process of superimposing and displaying on a display (not shown).
【0018】45は入出力データを画面表示する画面表
示部、46は前記ROMコードデータをROM工程レイ
アウトパターンデータに変換するROM工程レイアウト
パターンデータ変換部(ROM工程レイアウトパターン
データ変換手段)、47は前記ROMコード変換パラメ
ータをもとに、ROM工程の全ビットのレイアウトパタ
ーンが“0”または“1”(この実施の形態では全ビッ
ト“1”)であるときのROM矩形と、当該各ROM矩
形についてのアドレス値とを示す照査用レイアウトパタ
ーンデータを作成する照査用レイアウトパターンデータ
作成部(照査用レイアウトパターンデータ作成手段)で
ある。Reference numeral 45 denotes a screen display unit for displaying input / output data on a screen; 46, a ROM process layout pattern data converting unit (ROM process layout pattern data converting means) for converting the ROM code data into ROM process layout pattern data; Based on the ROM code conversion parameters, a ROM rectangle when the layout pattern of all bits in the ROM process is “0” or “1” (all bits “1” in this embodiment), A check layout pattern data creating unit (check layout pattern data creating means) for creating check layout pattern data indicating the address value of the check pattern.
【0019】次に動作について説明する。図2は、この
実施の形態1のレイアウトパターン検証装置の動作を示
すフローチャートである。なお、以下の説明においても
図7に示した論理回路モデルを前提とする。先ず、RO
MコードデータをROMコードデータ読込部41により
読み込む(ステップST11)。この場合に読み込むR
OMコードデータは、図8に示したROMコードデータ
と同一のものとする。次にROMコード変換パラメータ
をROMコード変換パラメータ読込部42により読み込
む(ステップST12)。この場合に読み込むROMコ
ード変換パラメータは図9に示したものと同一のものと
する。そして、このROMコード変換パラメータに従い
前記ROMコードデータをROM工程レイアウトパター
ンデータ変換部46によりROM工程レイアウトパター
ンデータへ変換する(ステップST13)。Next, the operation will be described. FIG. 2 is a flowchart showing the operation of the layout pattern verification apparatus according to the first embodiment. The following description is based on the logic circuit model shown in FIG. First, RO
The M code data is read by the ROM code data reading unit 41 (step ST11). R to read in this case
The OM code data is the same as the ROM code data shown in FIG. Next, the ROM code conversion parameter is read by the ROM code conversion parameter reading unit 42 (step ST12). The ROM code conversion parameters to be read in this case are the same as those shown in FIG. Then, the ROM code data is converted into ROM process layout pattern data by the ROM process layout pattern data converter 46 according to the ROM code conversion parameter (step ST13).
【0020】このROM工程レイアウトパターンデータ
への変換は、以下の手順により行う。 (a) ROMコードデータ読込部41によりROMコ
ードデータを1アドレス番地読み込み、当該アドレス番
地のデータ値が“1”の場合は(b)以降の処理を行
い、またデータ値が“0”の場合はデータ値が“1”の
アドレス番地まで読み飛ばす。 (b) ROMコードのアドレス番地を2進数に変換す
る。図8に示すROMコードデータを例にしてアドレス
番地、0010Hの変換例を示すと、0010H(HE
X)は0000 0000 0001 0000(bi
naly)となる。なお、2進数のLSB側から各ビッ
トをA0〜A15として説明する。The conversion into the ROM process layout pattern data is performed according to the following procedure. (A) ROM code data is read by the ROM code data reading unit 41 at one address, and if the data value of the address is "1", the processing after (b) is performed; if the data value is "0", Skips to the address address where the data value is "1". (B) Convert the address of the ROM code into a binary number. An example of conversion of the address 0010H using the ROM code data shown in FIG.
X) is 0000 0000 0001 0000 (bi
nally). Note that each bit is described as A0 to A15 from the LSB side of the binary number.
【0021】(c) 次に、Xアドレスデコーダ12お
よびYアドレスデコーダ13の選択位置を求める。この
選択位置は、図9に示すROMコード変換パラメータを
参照して求める。このROMコード変換パラメータによ
る変換例を示すと、図7に示すXアドレスデコーダ12
による選択位置は、A0〜A3ビット,0000(bi
naly)による選択位置である左より1列目のX0の
セレクト信号線である。また、Yアドレスデコーダ13
による選択位置は、A4〜A7ビット,0001(bi
naly)による選択位置である下より2行目のY1の
セレクト信号線である。(C) Next, the selected positions of the X address decoder 12 and the Y address decoder 13 are obtained. This selection position is obtained with reference to the ROM code conversion parameters shown in FIG. An example of conversion using the ROM code conversion parameter is shown in FIG.
A0 to A3 bits, 0000 (bi)
2) is a select signal line of X0 in the first column from the left, which is the position selected by (nary). Also, the Y address decoder 13
Is selected at bits A4 to A7, 0001 (bi
2) is the select signal line of Y1 in the second row from the bottom, which is the position selected by (nary).
【0022】(d) 前記各セレクト信号線により選択
された選択位置に対応するROM矩形(図10の符号3
0により示されるROM矩形)のX座標,Y座標を求め
る。この場合、前記ROM矩形30のX座標は当該RO
M矩形の左下頂点のX座標であり、図7に示すROM矩
形16の左下頂点のX座標であるオフセットX座標を基
準に求める。また、Y座標は当該ROM矩形の左下頂点
のY座標であり、図7に示すROM矩形16の左下頂点
のY座標であるオフセットY座標+(矩形高さ+矩形間
隔)×(左下からの矩形数−1)で求める。 (e) 上記(d)で求めたX座標,Y座標に、前記R
OMコード変換パラメータで指定されたROM矩形の幅
Wと高さHで、ROM矩形パターンデータを作成する。(D) A ROM rectangle (reference numeral 3 in FIG. 10) corresponding to the selected position selected by each of the select signal lines.
The X coordinate and the Y coordinate of the ROM rectangle indicated by 0 are obtained. In this case, the X coordinate of the ROM rectangle 30 is the RO coordinate.
The X coordinate of the lower left vertex of the M rectangle is obtained based on the offset X coordinate which is the X coordinate of the lower left vertex of the ROM rectangle 16 shown in FIG. The Y coordinate is the Y coordinate of the lower left vertex of the ROM rectangle, and is the offset Y coordinate which is the Y coordinate of the lower left vertex of the ROM rectangle 16 shown in FIG. It is determined by the equation (1). (E) The X coordinate and Y coordinate obtained in (d) above are added to the R
ROM rectangular pattern data is created with the width W and height H of the ROM rectangle specified by the OM code conversion parameters.
【0023】以上の手順で前記ROMコードデータの全
アドレス番地を変換し、図10に示すROM矩形パター
ンデータを作成し、ROM工程レイアウトパターンデー
タへの変換を行う。なお、図10に示すROM矩形パタ
ーンデータは例えば着色して表示出力する。この結果、
ROM矩形パターンデータと照査用レイアウトパターン
データとがディスプレイに重ね合わせて表示された場合
に、前記ROM矩形パターンデータが前記照査用レイア
ウトパターンデータに対し容易に識別できるようにな
る。また、ROM矩形パターンデータが論理的にROM
コードデータのどのアドレス番地に対応しているかの確
認を容易にする。また、ROM矩形と同時出力される1
6進表記によるROMアドレス番地によりROMコード
変換パラメータの誤りを容易に知ることを可能にする。In accordance with the above procedure, all the addresses of the ROM code data are converted, the ROM rectangular pattern data shown in FIG. 10 is created, and the ROM rectangular pattern data is converted into the ROM process layout pattern data. The ROM rectangular pattern data shown in FIG. 10 is displayed and output, for example, by coloring. As a result,
When the ROM rectangular pattern data and the inspection layout pattern data are displayed in a superimposed manner on the display, the ROM rectangular pattern data can be easily identified from the inspection layout pattern data. Also, ROM rectangular pattern data is logically
It is easy to confirm which address of the code data corresponds to which address. Also, 1 which is output simultaneously with the ROM rectangle
An error in the ROM code conversion parameter can be easily known from the ROM address in hexadecimal notation.
【0024】次に、前記ROMコード変換パラメータに
従い照査用レイアウトパターンデータを作成する(ステ
ップST14)。図3は、この照査用レイアウトパター
ンデータを示す。この照査用レイアウトパターンデータ
の作成手順は、 (1) 図7に示すROMコード変換パラメータを参照
し、図7に示すX0セレクト信号線とY0セレクト信号
線の交点に対応するアドレス番地(この場合、下位8ビ
ット分のアドレス番地)を求める。Xアドレスデコーダ
12の左端位置のX0セレクト信号線に対応するアドレ
ス番地のビット値は、A0〜A3ビットの値であり00
00(binaly)で示され、またYアドレスデコー
ダ13の下端位置のY0セレクト信号線に対応するアド
レス番地のビット値はA4〜A7ビットの値であり00
000(binaly)で示される。Next, reference layout pattern data is created according to the ROM code conversion parameters (step ST14). FIG. 3 shows the layout pattern data for reference. The procedure for creating the layout pattern data for inspection is as follows: (1) Referring to the ROM code conversion parameters shown in FIG. 7, an address address corresponding to the intersection of the X0 select signal line and the Y0 select signal line shown in FIG. (Lower 8 bits). The bit value of the address corresponding to the X0 select signal line at the left end position of the X address decoder 12 is a value of A0 to A3 bits, and is 00
00 (binary), and the bit value of the address address corresponding to the Y0 select signal line at the lower end position of the Y address decoder 13 is the value of A4 to A7 bits,
000 (binary).
【0025】(2) このアドレス番地のビット値が
“0”または“1”であるとき、この実施の形態では
“1”であるとして前記アドレス番地のビット値をRO
Mアドレス値に変換する。このROMアドレス値への変
換は上位4ビットが0000、下位4ビットが0000
であり、16進で示すと00Hとなる。 (3) 次に、X0セレクト信号線とY0セレクト信号
線の交点に対応するROM矩形16(図3のROM矩形
51に対応)のX座標,Y座標を求める。X座標は、X
0セレクト信号線上のROM矩形16の左下頂点のX座
標であり、オフセットX座標である。Y座標は、Y0セ
レクト信号線上のROM矩形16の左下頂点のY座標で
あり、オフセットY座標である。(2) When the bit value of the address is "0" or "1", the bit value of the address is determined to be "1" in this embodiment and the bit value of the address is set to RO.
Convert to M address value. The conversion to the ROM address value is such that the upper 4 bits are 0000 and the lower 4 bits are 0000.
Which is 00H in hexadecimal. (3) Next, the X coordinate and the Y coordinate of the ROM rectangle 16 (corresponding to the ROM rectangle 51 in FIG. 3) corresponding to the intersection of the X0 select signal line and the Y0 select signal line are obtained. X coordinate is X
This is the X coordinate of the lower left vertex of the ROM rectangle 16 on the 0 select signal line, and is the offset X coordinate. The Y coordinate is the Y coordinate of the lower left vertex of the ROM rectangle 16 on the Y0 select signal line, and is the offset Y coordinate.
【0026】(4) 上記(3)で求めたX座標,Y座
標に、前記ROMコード変換パラメータで指定されたR
OM矩形の幅Wと高さHで、ROM矩形パターンデータ
を作成する。また、このROM矩形パターンデータのR
OM矩形内に上位8ビット分のROMアドレス番地00
Hと前記(1)で求めた下位8ビット分のアドレス番地
00HとからなるROMアドレス番地0000Hを示す
テキストを作成する。 (5) 上記(1)〜(4)の手順をX0セレクト信号
線〜X7セレクト信号線、Y0セレクト信号線〜Y7セ
レクト信号線の全交点に対応するROM矩形(ROM工
程の全ビットのレイアウトパターン)について行う。こ
の結果、図3に示すROMアドレス番地とROM矩形と
が同時表示される照査用レイアウトパターンデータが作
成される。(4) The X coordinate and the Y coordinate obtained in the above (3) are added to the R coordinate specified by the ROM code conversion parameter.
ROM rectangular pattern data is created using the width W and the height H of the OM rectangle. The ROM rectangular pattern data R
ROM address 00 for upper 8 bits in OM rectangle
A text indicating a ROM address 0000H composed of H and the lower 8 bits of the address 00H obtained in (1) is created. (5) The above procedure (1) to (4) is performed according to the ROM rectangle (the layout pattern of all the bits in the ROM process) corresponding to all the intersections of the X0 select signal line to the X7 select signal line and the Y0 select signal line to the Y7 select signal line. ). As a result, the layout pattern data for inspection in which the ROM address and the ROM rectangle shown in FIG. 3 are simultaneously displayed is created.
【0027】図2に戻り、表示画面部45に前記(1)
〜(5)の手順で作成した照査用レイアウトパターンデ
ータと前記(a)〜(e)の手順で変換したROM工程
レイアウトパターンデータとを重ねて表示し(ステップ
ST15)、ROM工程レイアウトパターンデータに問
題がないか目視にて照査する。図4に照査用レイアウト
パターンデータとROM工程レイアウトパターンデータ
を重ねて表示したイメージ図を示す。Returning to FIG. 2, the display screen section 45 displays (1)
The layout pattern data for reference created in the procedures (5) to (5) and the ROM process layout pattern data converted in the procedures (a) to (e) are displayed in a superimposed manner (step ST15). Check visually for any problems. FIG. 4 shows an image diagram in which the layout pattern data for reference and the ROM process layout pattern data are displayed in an overlapping manner.
【0028】以上のように、この実施の形態1では、R
OMコードデータのROMアドレス番地およびデータ値
から作成されたROM矩形パターンデータと、16進表
記されたROMアドレス番地およびROM矩形が同時出
力された照査用レイアウトパターンデータとが重ねて表
示され、さらに前記ROM矩形パターンデータが前記照
査用レイアウトパターンデータに対し識別可能に表示さ
れるため、ROM矩形パターンデータが論理的にROM
コードデータのどのアドレス番地に対応しているかを容
易に確認でき、また、ROM矩形と重ねて同時出力され
る16進表記によるROMアドレス番地によりROMコ
ード変換パラメータの誤りを容易に知ることが可能なレ
イアウトパターン検証装置が得られる効果がある。As described above, in the first embodiment, R
The ROM rectangular pattern data created from the ROM address and the data value of the OM code data and the layout pattern data for inspection in which the hexadecimal ROM address and the ROM rectangle are simultaneously output are displayed in a superimposed manner. Since the ROM rectangular pattern data is displayed so as to be distinguishable from the reference layout pattern data, the ROM rectangular pattern data
It is possible to easily confirm which address address of the code data corresponds, and it is possible to easily know the error of the ROM code conversion parameter by the hexadecimal ROM address address which is output simultaneously with the ROM rectangle. There is an effect that a layout pattern verification device can be obtained.
【0029】[0029]
【発明の効果】以上のように、請求項1記載の発明によ
れば、ROM工程レイアウトパターンデータ変換手段に
より変換したROM工程レイアウトパターンと、ROM
コード変換パラメータをもとに照査用レイアウトパター
ンデータ作成手段により作成したROM工程の全ビット
のレイアウトパターンが“0”または“1”であるとき
のROM矩形、および当該各ROM矩形のアドレス値を
示す照査用レイアウトパターンデータとを重ね合わせて
ディスプレイに表示するように構成したので、ROMコ
ードデータが正しくROM工程レイアウトパターンデー
タに変換されているかどうか、特にROM矩形パターン
データが論理的にROMコードデータのどのアドレス番
地に対応しているかを容易に確認でき、また、ROM矩
形パターンデータと重ねて同時出力される照査用レイア
ウトパターンデータの前記アドレス値によりROMコー
ド変換パラメータの誤りを容易に知ることが可能になる
効果がある。As described above, according to the first aspect of the present invention, the ROM process layout pattern converted by the ROM process layout pattern data conversion means and the ROM process layout pattern
The ROM rectangle when the layout pattern of all the bits in the ROM process created by the reference layout pattern data creating means based on the code conversion parameter is “0” or “1”, and the address value of each ROM rectangle. Since the layout pattern data for inspection is superimposed and displayed on the display, whether or not the ROM code data is correctly converted to the ROM process layout pattern data, in particular, the ROM rectangular pattern data is logically converted to the ROM code data. It is possible to easily confirm which address address corresponds, and it is also possible to easily know an error in the ROM code conversion parameter from the address value of the layout pattern data for inspection which is simultaneously output while being superimposed on the ROM rectangular pattern data. Has the effect of becoming
【0030】請求項2記載の発明によれば、ROM工程
レイアウトパターンを、照査用レイアウトパターンデー
タに対し識別可能にしてディスプレイに重ね合わせて表
示するように構成したので、データ値が“0”または
“1”であるROMコードデータに対応するROM工程
レイアウトパターンを照査用レイアウトパターンデータ
に対し容易に識別して、ROMコードデータが正しくR
OM工程レイアウトパターンデータに変換されているか
どうかを知ることが可能になる効果がある。According to the second aspect of the present invention, the layout pattern of the ROM process is configured to be distinguishable from the layout pattern data for inspection and superimposed on the display, so that the data value is "0" or The ROM process layout pattern corresponding to the ROM code data of "1" is easily identified from the reference layout pattern data, and the
There is an effect that it is possible to know whether or not the data has been converted to the OM process layout pattern data.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図1】 この発明の実施の形態1によるレイアウトパ
ターン検証装置の構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a layout pattern verification device according to a first embodiment of the present invention.
【図2】 この発明の実施の形態1によるレイアウトパ
ターン検証装置の動作を示すフローチャートである。FIG. 2 is a flowchart showing an operation of the layout pattern verification device according to the first embodiment of the present invention;
【図3】 この発明の実施の形態1によるレイアウトパ
ターン検証装置の照査用レイアウトパターンデータ作成
部により作成された照査用レイアウトパターンデータを
示す説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing inspection layout pattern data created by an inspection layout pattern data creation unit of the layout pattern verification device according to the first embodiment of the present invention;
【図4】 この発明の実施の形態1によるレイアウトパ
ターン検証装置における照査用レイアウトパターンデー
タとROM工程レイアウトパターンデータを重ねて表示
したイメージ図である。FIG. 4 is an image diagram in which reference layout pattern data and ROM process layout pattern data are displayed in a superimposed manner in the layout pattern verification device according to the first embodiment of the present invention.
【図5】 従来のレイアウトパターン検証装置の構成を
示すブロック図である。FIG. 5 is a block diagram showing a configuration of a conventional layout pattern verification device.
【図6】 従来のレイアウトパターン検証装置の動作を
示すフローチャートである。FIG. 6 is a flowchart showing the operation of a conventional layout pattern verification device.
【図7】 マスクROM内蔵型LSI内のROMブロッ
クの論理回路モデルを示す説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram showing a logic circuit model of a ROM block in an LSI with a built-in mask ROM.
【図8】 ROMコードデータ読込部により読み込まれ
るROMコードデータの例を示す説明図である。FIG. 8 is an explanatory diagram showing an example of ROM code data read by a ROM code data reading unit.
【図9】 ROMコード変換パラメータ読込部により読
み込まれるROMコード変換パラメータの例を示す説明
図である。FIG. 9 is an explanatory diagram illustrating an example of ROM code conversion parameters read by a ROM code conversion parameter reading unit.
【図10】 ROM工程レイアウトパターンデータの例
を示す説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram showing an example of ROM process layout pattern data.
41 ROMコードデータ読込部(ROMコードデータ
読込手段)、42 ROMコード変換パラメータ読込部
(ROMコード変換パラメータ読込手段)、44 デー
タ制御部(表示制御手段)、46 ROM工程レイアウ
トパターンデータ変換部(ROM工程レイアウトパター
ンデータ変換手段)、47 照査用レイアウトパターン
データ作成部(照査用レイアウトパターンデータ作成手
段)。41 ROM code data reading unit (ROM code data reading unit), 42 ROM code conversion parameter reading unit (ROM code conversion parameter reading unit), 44 data control unit (display control unit), 46 ROM process layout pattern data conversion unit (ROM) A process layout pattern data conversion unit), 47 a check layout pattern data creation unit (check layout pattern data creation unit);
Claims (2)
ードデータ読込手段と、 前記ROMコードデータをROM工程レイアウトパター
ンに変換するためのROMコード変換パラメータを読み
込むROMコード変換パラメータ読込手段と、 前記ROMコードデータ読込手段により読み込んだRO
Mコードデータを前記ROMコード変換パラメータ読込
手段により読み込んだROMコード変換パラメータに従
いROM工程レイアウトパターンに変換するROM工程
レイアウトパターンデータ変換手段と、 前記ROMコード変換パラメータをもとに、ROM工程
の全ビットのレイアウトパターンが“0”または“1”
であるときのROM矩形と当該ROM矩形のアドレス値
とを示す照査用レイアウトパターンデータを作成する照
査用レイアウトパターンデータ作成手段と、 前記ROM工程レイアウトパターンデータ変換手段によ
り変換したROM工程レイアウトパターンと、前記照査
用レイアウトパターンデータ作成手段により作成した照
査用レイアウトパターンデータとを重ね合わせてディス
プレイに表示する表示制御手段とを備えたレイアウトパ
ターン検証装置。1. ROM code data reading means for reading ROM code data; ROM code conversion parameter reading means for reading ROM code conversion parameters for converting the ROM code data into a ROM process layout pattern; RO read by means
ROM process layout pattern data conversion means for converting M code data into a ROM process layout pattern in accordance with the ROM code conversion parameter read by the ROM code conversion parameter reading means; and all bits of the ROM process based on the ROM code conversion parameter. Layout pattern is “0” or “1”
Checking layout pattern data creating means for creating checking layout pattern data indicating the ROM rectangle and the address value of the ROM rectangle at the time of: ROM process layout pattern converted by the ROM process layout pattern data converting means; A layout pattern verification apparatus comprising: display control means for superimposing the layout pattern data for inspection created by the layout pattern data creating means for overlay on the display.
パターンを、照査用レイアウトパターンデータに対し識
別可能にしてディスプレイに重ね合わせて表示すること
を特徴とする請求項1記載のレイアウトパターン検証装
置。2. The layout pattern verification apparatus according to claim 1, wherein the display control means displays the ROM process layout pattern on the display so as to be distinguishable from the inspection layout pattern data.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15128297A JPH10339942A (en) | 1997-06-09 | 1997-06-09 | Layout pattern verification device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15128297A JPH10339942A (en) | 1997-06-09 | 1997-06-09 | Layout pattern verification device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10339942A true JPH10339942A (en) | 1998-12-22 |
Family
ID=15515281
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15128297A Pending JPH10339942A (en) | 1997-06-09 | 1997-06-09 | Layout pattern verification device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10339942A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101041263B1 (en) * | 2007-09-04 | 2011-06-14 | 가부시키가이샤 지닷토 | Reticle inspection system and program recording medium |
-
1997
- 1997-06-09 JP JP15128297A patent/JPH10339942A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101041263B1 (en) * | 2007-09-04 | 2011-06-14 | 가부시키가이샤 지닷토 | Reticle inspection system and program recording medium |
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