JPH10339623A - 穴径，穴位置測定方法及び装置 - Google Patents
穴径，穴位置測定方法及び装置Info
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- JPH10339623A JPH10339623A JP14948097A JP14948097A JPH10339623A JP H10339623 A JPH10339623 A JP H10339623A JP 14948097 A JP14948097 A JP 14948097A JP 14948097 A JP14948097 A JP 14948097A JP H10339623 A JPH10339623 A JP H10339623A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワークの測定穴の穴径，穴位置および穴の傾
斜を測定することのできる測定方法及び装置を提供す
る。 【解決手段】 適数箇所の所定位置に予め測定器５を装
着したワーク位置決め冶具３にワークＷをセットし、前
記測定器５に長手方向へ移動自在に備えた測定子２１を
前記ワークＷに形成した測定穴ＷＨ内に挿入し、この測
定子２１の先端部付近に備えた複数のエアー噴出口２３
Ａ，２３Ｂ，２３Ｃから上記測定子２１の長手方向に対
して直交する方向へエアーを噴出して各エアーの背圧を
検出することによって各エアー噴出口２３Ａ，２３Ｂ，
２３Ｃから前記測定穴ＷＨの内周面までの距離を算出し
て測定穴ＷＨの穴径を演算すると共に測定穴の中心位置
を演算し、また、測定穴ＷＨの深さ方向の複数箇所の穴
径，穴位置を測定し、測定器５における測定子２１の移
動方向に対する測定穴ＷＨの傾斜を測定する穴径，穴位
置測定方法及び装置である。
斜を測定することのできる測定方法及び装置を提供す
る。 【解決手段】 適数箇所の所定位置に予め測定器５を装
着したワーク位置決め冶具３にワークＷをセットし、前
記測定器５に長手方向へ移動自在に備えた測定子２１を
前記ワークＷに形成した測定穴ＷＨ内に挿入し、この測
定子２１の先端部付近に備えた複数のエアー噴出口２３
Ａ，２３Ｂ，２３Ｃから上記測定子２１の長手方向に対
して直交する方向へエアーを噴出して各エアーの背圧を
検出することによって各エアー噴出口２３Ａ，２３Ｂ，
２３Ｃから前記測定穴ＷＨの内周面までの距離を算出し
て測定穴ＷＨの穴径を演算すると共に測定穴の中心位置
を演算し、また、測定穴ＷＨの深さ方向の複数箇所の穴
径，穴位置を測定し、測定器５における測定子２１の移
動方向に対する測定穴ＷＨの傾斜を測定する穴径，穴位
置測定方法及び装置である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばワーク等に
形成した穴の径および位置を測定する方法及び装置に係
り、さらに詳細には、基準に対する穴の傾斜をも測定す
ることのできる測定方法及び装置に関する。
形成した穴の径および位置を測定する方法及び装置に係
り、さらに詳細には、基準に対する穴の傾斜をも測定す
ることのできる測定方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ワーク等に加工された穴の径を測
定する方法として、内側マイクロメータを使用したり、
検査用の限界ゲージを使用している。
定する方法として、内側マイクロメータを使用したり、
検査用の限界ゲージを使用している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】内側マイクロメータ
は、マイクロメータに接近離反自在に備えた一対の内側
測定面を穴の内面に接触せしめることによって穴径を測
定するものであり、検査用の限界ゲージは、ピンの一端
側に備えた一方の円板状のゲージ板が穴内に入り、ピン
の他端側に備えた他方のゲージ板が穴内に入らないとき
に穴径が許容値であると計測するものである。
は、マイクロメータに接近離反自在に備えた一対の内側
測定面を穴の内面に接触せしめることによって穴径を測
定するものであり、検査用の限界ゲージは、ピンの一端
側に備えた一方の円板状のゲージ板が穴内に入り、ピン
の他端側に備えた他方のゲージ板が穴内に入らないとき
に穴径が許容値であると計測するものである。
【０００４】上記内側マイクロメータ，検査用限界ゲー
ジにおいては穴径の測定を行うことができるものの、ワ
ークの基準位置に対する穴位置が正確であるか否かの測
定を行うことができず、まして穴の傾斜を測定すること
はできないものである。
ジにおいては穴径の測定を行うことができるものの、ワ
ークの基準位置に対する穴位置が正確であるか否かの測
定を行うことができず、まして穴の傾斜を測定すること
はできないものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上述のごとき従
来の問題に鑑みてなされたもので、請求項１に係る発明
は、適数箇所の所定位置に予め測定器を装着したワーク
位置決め冶具にワークをセットし、前記測定器に長手方
向へ移動自在に備えた測定子を前記ワークに形成した測
定穴内に挿入し、この測定子の先端部付近に備えた複数
のエアー噴出口から上記測定子の長手方向に対して直交
する方向へエアーを噴出して各エアーの背圧を検出する
ことによって各エアー噴出口から前記測定穴の内周面ま
での距離を算出して測定穴の穴径を演算すると共に測定
穴の中心位置を演算する穴径，穴位置測定方法である。
来の問題に鑑みてなされたもので、請求項１に係る発明
は、適数箇所の所定位置に予め測定器を装着したワーク
位置決め冶具にワークをセットし、前記測定器に長手方
向へ移動自在に備えた測定子を前記ワークに形成した測
定穴内に挿入し、この測定子の先端部付近に備えた複数
のエアー噴出口から上記測定子の長手方向に対して直交
する方向へエアーを噴出して各エアーの背圧を検出する
ことによって各エアー噴出口から前記測定穴の内周面ま
での距離を算出して測定穴の穴径を演算すると共に測定
穴の中心位置を演算する穴径，穴位置測定方法である。
【０００６】請求項２に係る発明は、請求項１に記載の
発明において、測定穴の深さ方向の複数箇所の穴径，穴
位置を測定し、測定器における測定子の移動方向に対す
る測定穴の傾斜を測定する穴径，穴位置測定方法であ
る。
発明において、測定穴の深さ方向の複数箇所の穴径，穴
位置を測定し、測定器における測定子の移動方向に対す
る測定穴の傾斜を測定する穴径，穴位置測定方法であ
る。
【０００７】請求項３に係る発明は、適数箇所の所定位
置に予め測定器を装着したワーク位置決め冶具と、前記
測定器に長手方向へ移動可能に支持されかつ長手方向に
対して直交する方向へエアーを噴出する複数のエアー噴
出口を先端部付近に備えた測定子と、前記測定子を長手
方向へ移動するための測定子移動装置と、前記測定子の
長手方向への移動位置を検出するための測定子位置検出
装置と、前記各エアーの噴出口から噴出されるエアーの
背圧を電気的に検出する複数の圧力電圧変換器と、前記
圧力電圧変換器によって検出した検出値とエアー噴出口
から測定穴の内周面までの距離との関係を示す関係式又
はデータテーブルを格納したメモリと、前記圧力電圧変
換器の検出値と前記メモリに格納された関係式又はデー
タテーブルに基いて各エアー噴出口から測定穴の内周面
までの距離を算出して測定穴の穴径及び穴位置を演算す
る演算処理部と、を備えてなる穴径，穴位置測定装置で
ある。
置に予め測定器を装着したワーク位置決め冶具と、前記
測定器に長手方向へ移動可能に支持されかつ長手方向に
対して直交する方向へエアーを噴出する複数のエアー噴
出口を先端部付近に備えた測定子と、前記測定子を長手
方向へ移動するための測定子移動装置と、前記測定子の
長手方向への移動位置を検出するための測定子位置検出
装置と、前記各エアーの噴出口から噴出されるエアーの
背圧を電気的に検出する複数の圧力電圧変換器と、前記
圧力電圧変換器によって検出した検出値とエアー噴出口
から測定穴の内周面までの距離との関係を示す関係式又
はデータテーブルを格納したメモリと、前記圧力電圧変
換器の検出値と前記メモリに格納された関係式又はデー
タテーブルに基いて各エアー噴出口から測定穴の内周面
までの距離を算出して測定穴の穴径及び穴位置を演算す
る演算処理部と、を備えてなる穴径，穴位置測定装置で
ある。
【０００８】請求項４に係る発明は、請求項３に記載の
発明において、演算処理部は、位置検出装置の検出値と
圧力電圧変換器の検出値とメモリに格納された関係式又
はデータテーブルに基いて各エアー噴出口から測定穴の
内周面までの距離を演算して測定穴の深さ方向の複数箇
所の穴径及び穴位置を演算すると共に測定器における測
定子の移動方向に対する測定穴の傾斜を演算する機能を
有する穴径，穴位置測定装置である。
発明において、演算処理部は、位置検出装置の検出値と
圧力電圧変換器の検出値とメモリに格納された関係式又
はデータテーブルに基いて各エアー噴出口から測定穴の
内周面までの距離を演算して測定穴の深さ方向の複数箇
所の穴径及び穴位置を演算すると共に測定器における測
定子の移動方向に対する測定穴の傾斜を演算する機能を
有する穴径，穴位置測定装置である。
【０００９】請求項５に係る発明は、請求項３又は４に
記載の発明において、エアー噴出口は測定子の円周方向
の少なくとも３箇所に等間隔に配置してあり、かつ各エ
アー噴出口に対応してエアー通路，圧力電圧変換器を個
別に独立して備えているものである。
記載の発明において、エアー噴出口は測定子の円周方向
の少なくとも３箇所に等間隔に配置してあり、かつ各エ
アー噴出口に対応してエアー通路，圧力電圧変換器を個
別に独立して備えているものである。
【００１０】請求項６に係る発明は、請求項５に記載の
発明において、複数のエアー噴出口は測定子の長手方向
に位置をずらして配置してあるものである。
発明において、複数のエアー噴出口は測定子の長手方向
に位置をずらして配置してあるものである。
【００１１】請求項７に係る発明は、請求項５又は６に
記載の発明において、測定子の周面でかつ各エアー噴出
口の間に、エアーの逃し溝を形成してなるものである。
記載の発明において、測定子の周面でかつ各エアー噴出
口の間に、エアーの逃し溝を形成してなるものである。
【００１２】請求項８に係る発明は、請求項３，４，
５，６又は７に記載の発明において、測定移動装置は制
御用モータよりなるものである。
５，６又は７に記載の発明において、測定移動装置は制
御用モータよりなるものである。
【００１３】
【発明の効果】請求項１に係る発明は、適数箇所の所定
位置に予め測定器を装着したワーク位置決め冶具にワー
クをセットし、前記測定器に長手方向へ移動自在に備え
た測定子を前記ワークに形成した測定穴内に挿入し、こ
の測定子の先端部付近に備えた複数のエアー噴出口から
上記測定子の長手方向に対して直交する方向へエアーを
噴出して各エアーの背圧を検出することによって各エア
ー噴出口から前記測定穴の内周面までの距離を算出して
測定穴の穴径を演算すると共に測定穴の中心位置を演算
する穴径，穴位置測定方法であるから、ワーク位置決め
冶具に対してワークを正確にセットすると、ワーク位置
決め冶具に予め精確な座標位置に正確に装着してある測
定器とワークの測定穴とが対応するものである。そし
て、上記測定器に備えた測定子を測定穴内に挿入して測
定子に備えた複数のエアー噴出口からエアーを噴出し、
エアーの背圧を検出して各エアー噴出口から測定穴の内
周面までの距離を算出することにより穴径を測定するこ
とができると共に測定穴の中心位置を演算することがで
きる。
位置に予め測定器を装着したワーク位置決め冶具にワー
クをセットし、前記測定器に長手方向へ移動自在に備え
た測定子を前記ワークに形成した測定穴内に挿入し、こ
の測定子の先端部付近に備えた複数のエアー噴出口から
上記測定子の長手方向に対して直交する方向へエアーを
噴出して各エアーの背圧を検出することによって各エア
ー噴出口から前記測定穴の内周面までの距離を算出して
測定穴の穴径を演算すると共に測定穴の中心位置を演算
する穴径，穴位置測定方法であるから、ワーク位置決め
冶具に対してワークを正確にセットすると、ワーク位置
決め冶具に予め精確な座標位置に正確に装着してある測
定器とワークの測定穴とが対応するものである。そし
て、上記測定器に備えた測定子を測定穴内に挿入して測
定子に備えた複数のエアー噴出口からエアーを噴出し、
エアーの背圧を検出して各エアー噴出口から測定穴の内
周面までの距離を算出することにより穴径を測定するこ
とができると共に測定穴の中心位置を演算することがで
きる。
【００１４】すなわち、ワークに形成した穴の径と位置
とを同時に正確に測定することができるものである。
とを同時に正確に測定することができるものである。
【００１５】請求項２に係る発明は、請求項１に記載の
発明において、測定穴の深さ方向の複数箇所の穴径，穴
位置を測定し、測定器における測定子の移動方向に対す
る測定穴の傾斜を測定する穴径，穴位置測定方法である
から、測定穴の深さ方向の複数箇所の穴径の変化状態を
測定することができると共に穴の傾斜状態を測定するこ
とができる。
発明において、測定穴の深さ方向の複数箇所の穴径，穴
位置を測定し、測定器における測定子の移動方向に対す
る測定穴の傾斜を測定する穴径，穴位置測定方法である
から、測定穴の深さ方向の複数箇所の穴径の変化状態を
測定することができると共に穴の傾斜状態を測定するこ
とができる。
【００１６】請求項３に係る発明は、適数箇所の所定位
置に予め測定器を装着したワーク位置決め冶具と、前記
測定器に長手方向へ移動可能に支持されかつ長手方向に
対して直交する方向へエアーを噴出する複数のエアー噴
出口を先端部付近に備えた測定子と、前記測定子を長手
方向へ移動するための測定子移動装置と、前記測定子の
長手方向への移動位置を検出するための測定子位置検出
装置と、前記各エアーの噴出口から噴出されるエアーの
背圧を電気的に検出する複数の圧力電圧変換器と、前記
圧力電圧変換器によって検出した検出値とエアー噴出口
から測定穴の内周面までの距離との関係を示す関係式又
はデータテーブルを格納したメモリと、前記圧力電圧変
換器の検出値と前記メモリに格納された関係式又はデー
タテーブルに基いて各エアー噴出口から測定穴の内周面
までの距離を算出して測定穴の穴径及び穴位置を演算す
る演算処理部と、を備えてなるものである。
置に予め測定器を装着したワーク位置決め冶具と、前記
測定器に長手方向へ移動可能に支持されかつ長手方向に
対して直交する方向へエアーを噴出する複数のエアー噴
出口を先端部付近に備えた測定子と、前記測定子を長手
方向へ移動するための測定子移動装置と、前記測定子の
長手方向への移動位置を検出するための測定子位置検出
装置と、前記各エアーの噴出口から噴出されるエアーの
背圧を電気的に検出する複数の圧力電圧変換器と、前記
圧力電圧変換器によって検出した検出値とエアー噴出口
から測定穴の内周面までの距離との関係を示す関係式又
はデータテーブルを格納したメモリと、前記圧力電圧変
換器の検出値と前記メモリに格納された関係式又はデー
タテーブルに基いて各エアー噴出口から測定穴の内周面
までの距離を算出して測定穴の穴径及び穴位置を演算す
る演算処理部と、を備えてなるものである。
【００１７】したがって、ワーク位置決め冶具にワーク
を正確にセットしてワークの測定穴を、ワーク位置決め
冶具に予め正確に装着した測定器に対応せしめ、上記測
定器に備えた測定子を前記測定穴内へ挿入して穴径を測
定することができると共に測定穴の中心位置を知ること
ができるものである。
を正確にセットしてワークの測定穴を、ワーク位置決め
冶具に予め正確に装着した測定器に対応せしめ、上記測
定器に備えた測定子を前記測定穴内へ挿入して穴径を測
定することができると共に測定穴の中心位置を知ること
ができるものである。
【００１８】さらに、測定子位置検出装置によって測定
子の位置を検出して、測定穴の深さ方向の複数箇所の穴
径及び穴位置を測定することができ、測定穴の穴径の変
化状態及び測定穴の傾斜状態を測定することができる。
子の位置を検出して、測定穴の深さ方向の複数箇所の穴
径及び穴位置を測定することができ、測定穴の穴径の変
化状態及び測定穴の傾斜状態を測定することができる。
【００１９】請求項４に係る発明は、請求項３に記載の
発明において、演算処理部は、位置検出装置の検出値と
圧力電圧変換器の検出値とメモリに格納された関係式又
はデータテーブルに基いて各エアー噴出口から測定穴の
内周面までの距離を演算して測定穴の深さ方向の複数箇
所の穴径及び穴位置を演算すると共に測定器における測
定子の移動方向に対する測定穴の傾斜を演算する機能を
有するものであるから、ワークに形成された測定穴の深
さ方向の穴径の変化及び測定穴の傾斜量を測定すること
ができるものである。
発明において、演算処理部は、位置検出装置の検出値と
圧力電圧変換器の検出値とメモリに格納された関係式又
はデータテーブルに基いて各エアー噴出口から測定穴の
内周面までの距離を演算して測定穴の深さ方向の複数箇
所の穴径及び穴位置を演算すると共に測定器における測
定子の移動方向に対する測定穴の傾斜を演算する機能を
有するものであるから、ワークに形成された測定穴の深
さ方向の穴径の変化及び測定穴の傾斜量を測定すること
ができるものである。
【００２０】請求項５に係る発明は、請求項３又は４に
記載の発明において、エアー噴出口は測定子の円周方向
の少なくとも３箇所に等間隔に配置してあり、かつ各エ
アー噴出口に対応してエアー通路，圧力電圧変換器を個
別に独立して備えているものであるから、各エアー噴出
口から測定穴の内周面までの距離を個別に正確に測定で
き、測定穴の穴径，穴位置を正確に測定することができ
る。
記載の発明において、エアー噴出口は測定子の円周方向
の少なくとも３箇所に等間隔に配置してあり、かつ各エ
アー噴出口に対応してエアー通路，圧力電圧変換器を個
別に独立して備えているものであるから、各エアー噴出
口から測定穴の内周面までの距離を個別に正確に測定で
き、測定穴の穴径，穴位置を正確に測定することができ
る。
【００２１】請求項６に係る発明は、請求項５に記載の
発明において、複数のエアー噴出口は測定子の長手方向
に位置をずらして配置してあるから、互に隣接するエア
ー噴出口の間隔の距離が長くなり、各エアー噴出口から
噴出されたエアーが測定子の周囲に拡散するとき、エア
ーの干渉を防止でき、より高精度の測定を行うことがで
きるものである。
発明において、複数のエアー噴出口は測定子の長手方向
に位置をずらして配置してあるから、互に隣接するエア
ー噴出口の間隔の距離が長くなり、各エアー噴出口から
噴出されたエアーが測定子の周囲に拡散するとき、エア
ーの干渉を防止でき、より高精度の測定を行うことがで
きるものである。
【００２２】請求項７に係る発明は、請求項５又は６に
記載の発明において、測定子の周面でかつ各エアー噴出
口の間に、エアーの逃し溝を形成してなるものであるか
ら、各エアー噴出口から噴出されたエアーは逃し溝に沿
って外部へ排出されることとなり、各エアー噴出口から
噴出されたエアーが互いに干渉するようなことがなく、
より高精度の測定を行うことができるものである。
記載の発明において、測定子の周面でかつ各エアー噴出
口の間に、エアーの逃し溝を形成してなるものであるか
ら、各エアー噴出口から噴出されたエアーは逃し溝に沿
って外部へ排出されることとなり、各エアー噴出口から
噴出されたエアーが互いに干渉するようなことがなく、
より高精度の測定を行うことができるものである。
【００２３】請求項８に係る発明は、請求項３，４，
５，６又は７に記載の発明において、測定移動装置は制
御用モータよりなるものであるから、ワークの測定穴に
対する測定子の挿入，離脱を自動的に行うことができる
と共に、測定穴の所定深さ位置への測定子の位置決めを
も容易に行うことができる。
５，６又は７に記載の発明において、測定移動装置は制
御用モータよりなるものであるから、ワークの測定穴に
対する測定子の挿入，離脱を自動的に行うことができる
と共に、測定穴の所定深さ位置への測定子の位置決めを
も容易に行うことができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】図１を参照するに、本発明の実施
の形態例に係る穴径，穴位置測定装置１は、測定穴ＷＨ
を形成した被測定物としてのワークＷを正確に位置決め
可能のワーク位置決め冶具３を備えており、このワーク
位置決め冶具３の適数箇所の所定位置（基準位置）には
測定器５が精確な座標位置に正確に装着してある。
の形態例に係る穴径，穴位置測定装置１は、測定穴ＷＨ
を形成した被測定物としてのワークＷを正確に位置決め
可能のワーク位置決め冶具３を備えており、このワーク
位置決め冶具３の適数箇所の所定位置（基準位置）には
測定器５が精確な座標位置に正確に装着してある。
【００２５】前記ワーク位置決め冶具３におけるベース
７には、ワークＷの位置決めを正確にかつ高精度に行う
ために、位置決めブロックや位置決めピン等のごとき位
置決め部材９がワークＷの形状に対応して複数箇所に設
けてある。したがって、上記位置決め部材９を利用して
ワーク位置決め冶具３にワークＷをセットすると、ワー
ク位置決め冶具３に対してワークＷのＸ，Ｙ方向の座標
位置決めが正確に行われることになる。
７には、ワークＷの位置決めを正確にかつ高精度に行う
ために、位置決めブロックや位置決めピン等のごとき位
置決め部材９がワークＷの形状に対応して複数箇所に設
けてある。したがって、上記位置決め部材９を利用して
ワーク位置決め冶具３にワークＷをセットすると、ワー
ク位置決め冶具３に対してワークＷのＸ，Ｙ方向の座標
位置決めが正確に行われることになる。
【００２６】なお、位置決め部材９の形状やベース７に
対する設置位置は、ワークＷの形状，大きさ及びワーク
Ｗに設ける位置決め孔などの条件によって異なるもので
あるから、位置決め部材９についての詳細な説明は省略
する。
対する設置位置は、ワークＷの形状，大きさ及びワーク
Ｗに設ける位置決め孔などの条件によって異なるもので
あるから、位置決め部材９についての詳細な説明は省略
する。
【００２７】前記位置決め冶具３におけるベース７には
支持ブラケット１１が立設してあり、この支持ブラケッ
ト１１には前記測定器５を装着した支持部材１３が支持
されている。前記測定器５は、前記ベース７上にワーク
Ｗを正確にセットしたとき、ワークＷの測定穴ＷＨと正
確に対応するように所定位置に予め正確に装着してあ
る。
支持ブラケット１１が立設してあり、この支持ブラケッ
ト１１には前記測定器５を装着した支持部材１３が支持
されている。前記測定器５は、前記ベース７上にワーク
Ｗを正確にセットしたとき、ワークＷの測定穴ＷＨと正
確に対応するように所定位置に予め正確に装着してあ
る。
【００２８】なお、前記ベース７に対するワークＷの着
脱時に測定器５が邪魔にならないように、支持ブラケッ
ト１１に対して支持部材１３を着脱可能に構成すること
や、ワークＷに対応した位置から退避した位置へ支持部
材１３を移動可能に構成することが望ましい。
脱時に測定器５が邪魔にならないように、支持ブラケッ
ト１１に対して支持部材１３を着脱可能に構成すること
や、ワークＷに対応した位置から退避した位置へ支持部
材１３を移動可能に構成することが望ましい。
【００２９】前記測定器５において前記支持部材１３に
装着したベースプレート１５にはカバー１７が設けてあ
ると共に筒状の測定子案内部材１９が下方向へ突出して
設けてある。上記測定子案内部材１９には、前記ワーク
Ｗの測定穴ＷＨへ挿入可能の細径の測定子２１が上下動
可能に案内支持されている。
装着したベースプレート１５にはカバー１７が設けてあ
ると共に筒状の測定子案内部材１９が下方向へ突出して
設けてある。上記測定子案内部材１９には、前記ワーク
Ｗの測定穴ＷＨへ挿入可能の細径の測定子２１が上下動
可能に案内支持されている。
【００３０】上記測定子２１の先端部（下端部）付近に
は、当該測定子２１の長手方向に対して直交する方向へ
エアーを噴出する複数のエアー噴出口２３Ａ，２３Ｂ，
２３Ｃが、図２に示すように、測定子２１の円周方向に
等間隔に、かつ測定子２１の長手方向に互いに位置をず
らして設けてある。前記各エアー噴出口２３Ａ，２３
Ｂ，２３Ｃから噴出されたエアーが互いに干渉すること
を防止するために、図２（３）に示すように、前記各エ
アー噴出口２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃの間において測定子
２１の外周面に長手方向のエアー逃し溝２５を設けるこ
とが望ましい。
は、当該測定子２１の長手方向に対して直交する方向へ
エアーを噴出する複数のエアー噴出口２３Ａ，２３Ｂ，
２３Ｃが、図２に示すように、測定子２１の円周方向に
等間隔に、かつ測定子２１の長手方向に互いに位置をず
らして設けてある。前記各エアー噴出口２３Ａ，２３
Ｂ，２３Ｃから噴出されたエアーが互いに干渉すること
を防止するために、図２（３）に示すように、前記各エ
アー噴出口２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃの間において測定子
２１の外周面に長手方向のエアー逃し溝２５を設けるこ
とが望ましい。
【００３１】前記測定器５の前記カバー１７内には、前
記測定子２１の往復動（上下動）を行うために、前記ベ
ースプレート１５上に設けたブラケット２５には測定子
移動装置２７が装着してある。上記測定子移動装置２７
は、例えばリニアモータ等のごとき制御用モータよりな
るものであって、制御装置２９の制御の下に駆動される
ものであり、この測定子移動装置２７に往復動可能に備
えた可動子２７Ｍが前記測定子２１の上端部と適宜に連
結してある。
記測定子２１の往復動（上下動）を行うために、前記ベ
ースプレート１５上に設けたブラケット２５には測定子
移動装置２７が装着してある。上記測定子移動装置２７
は、例えばリニアモータ等のごとき制御用モータよりな
るものであって、制御装置２９の制御の下に駆動される
ものであり、この測定子移動装置２７に往復動可能に備
えた可動子２７Ｍが前記測定子２１の上端部と適宜に連
結してある。
【００３２】さらに、前記ブラケット２５には、前記測
定子２１の往復動の移動位置を検出するための測定子位
置検出装置３１が装着してある。本例において、上記測
定子位置検出装置３１は適宜のリニアスケールよりなる
ものであって、その測定スライダは前記測定子２１に適
宜に連結してある。
定子２１の往復動の移動位置を検出するための測定子位
置検出装置３１が装着してある。本例において、上記測
定子位置検出装置３１は適宜のリニアスケールよりなる
ものであって、その測定スライダは前記測定子２１に適
宜に連結してある。
【００３３】前記測定子２１は一種のエアーマイクロメ
ータを構成するものであって、測定子２１に備えた各エ
アー噴出口２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃは、一定圧のエアー
を供給するエアー供給源（図示省略）にエアー通路３３
Ａ，３３Ｂ，３３Ｃ（図２参照）を介して個別に独立し
て接続してある。そして、上記各エアー通路３３Ａ，３
３Ｂ，３３Ｃには、各エアー噴出口２３Ａ，２３Ｂ，２
３Ｃからエアーを噴出したときのエアーの背圧を電気的
に検出する圧力電圧変換器３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃ（図
３参照）が接続してある。
ータを構成するものであって、測定子２１に備えた各エ
アー噴出口２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃは、一定圧のエアー
を供給するエアー供給源（図示省略）にエアー通路３３
Ａ，３３Ｂ，３３Ｃ（図２参照）を介して個別に独立し
て接続してある。そして、上記各エアー通路３３Ａ，３
３Ｂ，３３Ｃには、各エアー噴出口２３Ａ，２３Ｂ，２
３Ｃからエアーを噴出したときのエアーの背圧を電気的
に検出する圧力電圧変換器３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃ（図
３参照）が接続してある。
【００３４】上記各圧力電圧変換器３５Ａ，３５Ｂ，３
５Ｃは、それぞれアンプ３７Ａ，３７Ｂ，３７Ｃを介し
て前記制御装置２９におけるＡ／Ｄ変換器３９に接続し
てあり、このＡ／Ｄ変換器３９は制御装置２９における
演算処理部４１に接続してある。
５Ｃは、それぞれアンプ３７Ａ，３７Ｂ，３７Ｃを介し
て前記制御装置２９におけるＡ／Ｄ変換器３９に接続し
てあり、このＡ／Ｄ変換器３９は制御装置２９における
演算処理部４１に接続してある。
【００３５】前記制御装置２９は、前記圧力電圧変換器
３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃによって検出した検出値と前記
エアー噴出口２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃから測定穴の内周
面までの距離との関係を示す関係式又はデータテーブル
を格納したメモリ４３を備えると共に、前記圧力電圧変
換器３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃの検出値と前記メモリ４３
に格納された関係式又はデータテーブルに基いて各エア
ー噴出口２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃから測定穴ＷＨの内周
面までの距離を演算して上記測定穴ＷＨの穴径および穴
位置を演算する前記演算処理部４１を備えている。
３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃによって検出した検出値と前記
エアー噴出口２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃから測定穴の内周
面までの距離との関係を示す関係式又はデータテーブル
を格納したメモリ４３を備えると共に、前記圧力電圧変
換器３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃの検出値と前記メモリ４３
に格納された関係式又はデータテーブルに基いて各エア
ー噴出口２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃから測定穴ＷＨの内周
面までの距離を演算して上記測定穴ＷＨの穴径および穴
位置を演算する前記演算処理部４１を備えている。
【００３６】上記演算処理部４１の演算結果は、プリン
タ或は表示装置等のごとき出力部４５に出力表示され
る。前記制御装置２９はコントローラ４７を備えてい
る。このコントローラ４７は、前記測定子移動装置２７
の移動を制御するものである。
タ或は表示装置等のごとき出力部４５に出力表示され
る。前記制御装置２９はコントローラ４７を備えてい
る。このコントローラ４７は、前記測定子移動装置２７
の移動を制御するものである。
【００３７】以上のごとき構成において、ワークＷに形
成した測定穴ＷＨの穴径及び穴位置を測定するには、先
ず、内径を高精度に加工した基準用測定穴（図示省略）
を備えた基準ブロック（図示省略）をワーク位置決め冶
具３に装着し、測定器５に備えた測定子２１の軸心と上
記基準用測定穴の軸心が一致するようにセットする。そ
して、前記測定子２１の各エアー噴出口２３Ａ，２３
Ｂ，２３Ｃから一定圧のエアーを噴出したときの背圧を
各圧力電圧変換器３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃによって検出
することを複数径の基準用測定穴毎に行って、図４に示
すように、圧力電圧変換器３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃの検
出値と各エアー噴出口２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃから各基
準用測定穴の内周面までの距離との関係を示すデータテ
ーブル又は関係式を各エアー噴出口２３Ａ，２３Ｂ，２
３Ｃ毎に予め作成し前記メモリ４３に格納しておくもの
である。なお、図４には、例えばエアー噴出口２３Ａの
場合のみを例示して示してある。
成した測定穴ＷＨの穴径及び穴位置を測定するには、先
ず、内径を高精度に加工した基準用測定穴（図示省略）
を備えた基準ブロック（図示省略）をワーク位置決め冶
具３に装着し、測定器５に備えた測定子２１の軸心と上
記基準用測定穴の軸心が一致するようにセットする。そ
して、前記測定子２１の各エアー噴出口２３Ａ，２３
Ｂ，２３Ｃから一定圧のエアーを噴出したときの背圧を
各圧力電圧変換器３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃによって検出
することを複数径の基準用測定穴毎に行って、図４に示
すように、圧力電圧変換器３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃの検
出値と各エアー噴出口２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃから各基
準用測定穴の内周面までの距離との関係を示すデータテ
ーブル又は関係式を各エアー噴出口２３Ａ，２３Ｂ，２
３Ｃ毎に予め作成し前記メモリ４３に格納しておくもの
である。なお、図４には、例えばエアー噴出口２３Ａの
場合のみを例示して示してある。
【００３８】メモリ４３に対する上記データテーブル或
は関係式の格納時期は、制御装置２９の製造時であって
も、又はワークＷの測定穴ＷＨの測定を行う直前であっ
ても良いものである。すなわち、要は、メモリ４３に予
めデータテーブル等が格納してあれば良いものである。
は関係式の格納時期は、制御装置２９の製造時であって
も、又はワークＷの測定穴ＷＨの測定を行う直前であっ
ても良いものである。すなわち、要は、メモリ４３に予
めデータテーブル等が格納してあれば良いものである。
【００３９】次に、ワーク位置決め冶具３にワークＷを
セットしてワークＷの測定穴ＷＨを測定器５に対向せし
めた後、制御装置２９の制御の下に測定子移動装置２７
を作動して測定子２１を上記測定穴ＷＨ内に挿入する。
そして、測定子２１に備えた各エアー噴出口２３Ａ，２
３Ｂ，２３Ｃから一定圧のエアーを噴出し、そのときの
エアーの背圧を各圧力電圧変換器３５Ａ，３５Ｂ，３５
Ｃによって各エアー噴出口２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃ毎に
検出する。
セットしてワークＷの測定穴ＷＨを測定器５に対向せし
めた後、制御装置２９の制御の下に測定子移動装置２７
を作動して測定子２１を上記測定穴ＷＨ内に挿入する。
そして、測定子２１に備えた各エアー噴出口２３Ａ，２
３Ｂ，２３Ｃから一定圧のエアーを噴出し、そのときの
エアーの背圧を各圧力電圧変換器３５Ａ，３５Ｂ，３５
Ｃによって各エアー噴出口２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃ毎に
検出する。
【００４０】上記各エアー噴出口２３Ａ，２３Ｂ，２３
Ｃの背圧の検出値を前記メモリ４３に格納したデータテ
ーブル又は関係式に対応せしめて各エアー噴出口２３
Ａ，２３Ｂ，２３Ｃから測定穴ＷＨの内周面までの距離
をそれぞれ算出する。この際、測定子２１の直径は予め
正確に形成してありかつ測定してあって既知であり、ま
たワーク位置決め冶具３上におけるＸ，Ｙ座標上におけ
る測定子２１の中心位置の座標位置は予め正確に設定し
てあって既知である。さらに各エアー噴出口２３Ａ，２
３Ｂ，２３ＣのＸ，Ｙ座標上における噴出方向（傾斜方
向）が既知であるから、前記各エアー噴出口２３Ａ，２
３Ｂ，２３Ｃから測定穴ＷＨの内周面までの距離を算出
することにより、測定穴ＷＨの穴径と測定穴ＷＨの中心
位置とを演算処理部４１において演算することができ
る。
Ｃの背圧の検出値を前記メモリ４３に格納したデータテ
ーブル又は関係式に対応せしめて各エアー噴出口２３
Ａ，２３Ｂ，２３Ｃから測定穴ＷＨの内周面までの距離
をそれぞれ算出する。この際、測定子２１の直径は予め
正確に形成してありかつ測定してあって既知であり、ま
たワーク位置決め冶具３上におけるＸ，Ｙ座標上におけ
る測定子２１の中心位置の座標位置は予め正確に設定し
てあって既知である。さらに各エアー噴出口２３Ａ，２
３Ｂ，２３ＣのＸ，Ｙ座標上における噴出方向（傾斜方
向）が既知であるから、前記各エアー噴出口２３Ａ，２
３Ｂ，２３Ｃから測定穴ＷＨの内周面までの距離を算出
することにより、測定穴ＷＨの穴径と測定穴ＷＨの中心
位置とを演算処理部４１において演算することができ
る。
【００４１】したがって、演算した測定穴ＷＨの中心位
置のＸ，Ｙ座標値と測定子２１の軸心位置の既知のＸ，
Ｙ座標値とを比較することにより、測定子２１を基準に
して測定穴ＷＨの変位方向及び変位量を演算処理部４１
において演算することができる。
置のＸ，Ｙ座標値と測定子２１の軸心位置の既知のＸ，
Ｙ座標値とを比較することにより、測定子２１を基準に
して測定穴ＷＨの変位方向及び変位量を演算処理部４１
において演算することができる。
【００４２】さらに、前記測定穴ＷＨの深さ方向におけ
る測定子２１の位置を測定子位置検出装置３１によって
検出し、測定穴ＷＨの深さ方向の複数箇所（例えば４箇
所）における穴径を算出して、図５に示すようグラフ化
することにより、測定穴ＷＨの深さ方向における穴径の
変化状態を知ることができる。したがって、穴径の規格
値と対比することによって測定穴ＷＨの良否を検出する
ことができる。
る測定子２１の位置を測定子位置検出装置３１によって
検出し、測定穴ＷＨの深さ方向の複数箇所（例えば４箇
所）における穴径を算出して、図５に示すようグラフ化
することにより、測定穴ＷＨの深さ方向における穴径の
変化状態を知ることができる。したがって、穴径の規格
値と対比することによって測定穴ＷＨの良否を検出する
ことができる。
【００４３】また、測定穴ＷＨの深さ方向の複数箇所に
おける穴位置を演算し、図６に示すようにグラフ化する
ことにより、測定子２１の移動方向に対する測定穴ＷＨ
の傾斜角θおよび傾斜量Ｑを求めることができる。した
がって、上記傾斜角θまたは傾斜量Ｑを規格値と比較す
ることにより、仮に穴径が許容値内であっても測定穴Ｗ
Ｈの良否を検知することができるものである。なお、図
６において、深さ方向の複数箇所の穴位置を三次元的に
表示することによっては測定穴の捩れ状態も知ることが
できるものである。
おける穴位置を演算し、図６に示すようにグラフ化する
ことにより、測定子２１の移動方向に対する測定穴ＷＨ
の傾斜角θおよび傾斜量Ｑを求めることができる。した
がって、上記傾斜角θまたは傾斜量Ｑを規格値と比較す
ることにより、仮に穴径が許容値内であっても測定穴Ｗ
Ｈの良否を検知することができるものである。なお、図
６において、深さ方向の複数箇所の穴位置を三次元的に
表示することによっては測定穴の捩れ状態も知ることが
できるものである。
【００４４】以上のごとき説明より理解されるように、
本例によれば、ワークＷにおける測定穴ＷＨの穴径およ
び穴位置を正確に測定できると共に、上記測定穴ＷＨの
傾斜および深さ方向の穴径の変化状態をも測定できるも
のである。
本例によれば、ワークＷにおける測定穴ＷＨの穴径およ
び穴位置を正確に測定できると共に、上記測定穴ＷＨの
傾斜および深さ方向の穴径の変化状態をも測定できるも
のである。
【図１】本発明に係る穴径，穴位置測定装置の全体的構
成を概略的に示した説明図である。
成を概略的に示した説明図である。
【図２】測定子の形状を示す説明図である。
【図３】制御装置の機能を示すブロック図である。
【図４】メモリに格納されるデータテーブルの説明図で
ある。
ある。
【図５】測定穴の深さ方向の穴径の測定結果を示す説明
図である。
図である。
【図６】測定穴の傾斜状態を示す説明図である。
３ ワーク位置決め冶具 ５ 測定器 １５ ベースプレート １９ 測定子案内部材 ２１ 測定子 ２３Ａ，Ｂ，Ｃ エアー噴出口 ２７ 測定子移動装置 ２９ 制御装置 ３１ 測定子位置検出装置 ３５Ａ，Ｂ，Ｃ 圧力電圧変換器 ４１ 演算処理部 ４３ メモリ
Claims (8)
- 【請求項１】 適数箇所の所定位置に予め測定器を装着
したワーク位置決め冶具にワークをセットし、前記測定
器に長手方向へ移動自在に備えた測定子を前記ワークに
形成した測定穴内に挿入し、この測定子の先端部付近に
備えた複数のエアー噴出口から上記測定子の長手方向に
対して直交する方向へエアーを噴出して各エアーの背圧
を検出することによって各エアー噴出口から前記測定穴
の内周面までの距離を算出して測定穴の穴径を演算する
と共に測定穴の中心位置を演算することを特徴とする穴
径，穴位置測定方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載の発明において、測定穴
の深さ方向の複数箇所の穴径，穴位置を測定し、測定器
における測定子の移動方向に対する測定穴の傾斜を測定
することを特徴とする穴径，穴位置測定方法。 - 【請求項３】 適数箇所の所定位置に予め測定器を装着
したワーク位置決め冶具と、前記測定器に長手方向へ移
動可能に支持されかつ長手方向に対して直交する方向へ
エアーを噴出する複数のエアー噴出口を先端部付近に備
えた測定子と、前記測定子を長手方向へ移動するための
測定子移動装置と、前記測定子の長手方向への移動位置
を検出するための測定子位置検出装置と、前記各エアー
の噴出口から噴出されるエアーの背圧を電気的に検出す
る複数の圧力電圧変換器と、前記圧力電圧変換器によっ
て検出した検出値とエアー噴出口から測定穴の内周面ま
での距離との関係を示す関係式又はデータテーブルを格
納したメモリと、前記圧力電圧変換器の検出値と前記メ
モリに格納された関係式又はデータテーブルに基いて各
エアー噴出口から測定穴の内周面までの距離を算出して
測定穴の穴径及び穴位置を演算する演算処理部と、を備
えてなることを特徴とする穴径，穴位置測定装置。 - 【請求項４】 請求項３に記載の発明において、演算処
理部は、位置検出装置の検出値と圧力電圧変換器の検出
値とメモリに格納された関係式又はデータテーブルに基
いて各エアー噴出口から測定穴の内周面までの距離を演
算して測定穴の深さ方向の複数箇所の穴径及び穴位置を
演算すると共に測定器における測定子の移動方向に対す
る測定穴の傾斜を演算する機能を有することを特徴とす
る穴径，穴位置測定装置。 - 【請求項５】 請求項３又は４に記載の発明において、
エアー噴出口は測定子の円周方向の少なくとも３箇所に
等間隔に配置してあり、かつ各エアー噴出口に対応して
エアー通路，圧力電圧変換器を個別に独立して備えてい
ることを特徴とする穴径，穴位置測定装置。 - 【請求項６】 請求項５に記載の発明において、複数の
エアー噴出口は測定子の長手方向に位置をずらして配置
してあることを特徴とする穴径，穴位置測定装置。 - 【請求項７】 請求項５又は６に記載の発明において、
測定子の周面でかつ各エアー噴出口の間に、エアーの逃
し溝を形成してなることを特徴とする穴径，穴位置測定
装置。 - 【請求項８】 請求項３，４，５，６又は７に記載の発
明において、測定移動装置は制御用モータよりなること
を特徴とする穴径，穴位置測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14948097A JPH10339623A (ja) | 1997-06-06 | 1997-06-06 | 穴径，穴位置測定方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14948097A JPH10339623A (ja) | 1997-06-06 | 1997-06-06 | 穴径，穴位置測定方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10339623A true JPH10339623A (ja) | 1998-12-22 |
Family
ID=15476081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14948097A Pending JPH10339623A (ja) | 1997-06-06 | 1997-06-06 | 穴径，穴位置測定方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10339623A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100467210B1 (ko) * | 2002-03-16 | 2005-01-24 | 텔스타엔지니어링 주식회사 | 분사공기 개폐수단을 구비한 공기마이크로미터용 측정헤드 |
| JP2006007369A (ja) * | 2004-06-25 | 2006-01-12 | Nippei Toyama Corp | 工作機械における被測定物の表面形状判定装置 |
| CN104006771A (zh) * | 2014-05-28 | 2014-08-27 | 山东国运量仪精密机械有限公司 | 底座式外径测量头 |
| CN104567768A (zh) * | 2015-01-08 | 2015-04-29 | 江苏天宏机械工业有限公司 | 一种轮毂中心孔和盖口尺寸检测机 |
| CN107421411A (zh) * | 2017-05-26 | 2017-12-01 | 江苏汉格智能科技有限公司 | 一种用于同时实现孔位置度测量和孔径或孔通止的机构 |
| CN109141212A (zh) * | 2018-10-31 | 2019-01-04 | 南京新尼亚文汽车零部件有限公司 | 一种对称式球窝球径盘毂气电测量仪 |
| CN110657727A (zh) * | 2019-11-13 | 2020-01-07 | 中国航发动力股份有限公司 | 一种检查孔位置度偏差的测具及方法 |
| CN111238347A (zh) * | 2020-03-16 | 2020-06-05 | 江山跟政科技有限公司 | 工件表面凹坑检验装置 |
| CN111238346A (zh) * | 2020-03-16 | 2020-06-05 | 江山跟政科技有限公司 | 工件表面凹坑检验方法 |
| CN111854657A (zh) * | 2020-07-15 | 2020-10-30 | 武汉一冶钢结构有限责任公司 | 压力容器封头开孔定位装置 |
| WO2021187192A1 (ja) * | 2020-03-17 | 2021-09-23 | 株式会社東京精密 | 内面形状測定機、及び内面形状測定機のアライメント方法 |
| US11740072B2 (en) | 2020-03-17 | 2023-08-29 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Inner surface shape measurement device, and alignment method and magnification calibration method for inner surface shape measurement device |
-
1997
- 1997-06-06 JP JP14948097A patent/JPH10339623A/ja active Pending
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100467210B1 (ko) * | 2002-03-16 | 2005-01-24 | 텔스타엔지니어링 주식회사 | 분사공기 개폐수단을 구비한 공기마이크로미터용 측정헤드 |
| JP2006007369A (ja) * | 2004-06-25 | 2006-01-12 | Nippei Toyama Corp | 工作機械における被測定物の表面形状判定装置 |
| US7231277B2 (en) | 2004-06-25 | 2007-06-12 | Nippei Toyama Corporation | Surface shape determining device for a machining apparatus and surface shape determining method |
| KR101141373B1 (ko) * | 2004-06-25 | 2012-05-03 | 코마츠 엔티씨 가부시끼가이샤 | 가공장치를 위한 표면형상 결정장치 및 표면형상 결정방법 |
| CN104006771A (zh) * | 2014-05-28 | 2014-08-27 | 山东国运量仪精密机械有限公司 | 底座式外径测量头 |
| CN104567768A (zh) * | 2015-01-08 | 2015-04-29 | 江苏天宏机械工业有限公司 | 一种轮毂中心孔和盖口尺寸检测机 |
| CN107421411A (zh) * | 2017-05-26 | 2017-12-01 | 江苏汉格智能科技有限公司 | 一种用于同时实现孔位置度测量和孔径或孔通止的机构 |
| CN109141212A (zh) * | 2018-10-31 | 2019-01-04 | 南京新尼亚文汽车零部件有限公司 | 一种对称式球窝球径盘毂气电测量仪 |
| CN110657727A (zh) * | 2019-11-13 | 2020-01-07 | 中国航发动力股份有限公司 | 一种检查孔位置度偏差的测具及方法 |
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| CN111238346A (zh) * | 2020-03-16 | 2020-06-05 | 江山跟政科技有限公司 | 工件表面凹坑检验方法 |
| CN111238347B (zh) * | 2020-03-16 | 2021-07-27 | 常州市鑫亿莱精密机械有限公司 | 工件表面凹坑检验装置 |
| CN111238346B (zh) * | 2020-03-16 | 2022-02-25 | 江山跟政科技有限公司 | 工件表面凹坑检验方法 |
| WO2021187192A1 (ja) * | 2020-03-17 | 2021-09-23 | 株式会社東京精密 | 内面形状測定機、及び内面形状測定機のアライメント方法 |
| US11740074B2 (en) | 2020-03-17 | 2023-08-29 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Inner surface shape measurement device, and alignment method for inner surface shape measurement device |
| US11740072B2 (en) | 2020-03-17 | 2023-08-29 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Inner surface shape measurement device, and alignment method and magnification calibration method for inner surface shape measurement device |
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