JPH10333599A - プロジェクタ装置 - Google Patents

プロジェクタ装置

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JPH10333599A
JPH10333599A JP9138163A JP13816397A JPH10333599A JP H10333599 A JPH10333599 A JP H10333599A JP 9138163 A JP9138163 A JP 9138163A JP 13816397 A JP13816397 A JP 13816397A JP H10333599 A JPH10333599 A JP H10333599A
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array
light emitting
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projector
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Kiichi Kamiyanagi
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光利用効率が高くて表示画面が明るく、小型
・低消費電力で光源寿命の長いプロジェクタ装置を提供
する。 【解決手段】 発光素子アレイ部2が時系列的に発光し
たR,G,Bの3原色光Lr,Lg,Lbは、整形光学
系3によって平行光に整形され、合成光学系4で合成さ
れた後、2次元マイクロ偏向ミラーアレイ50に入射
し、2次元マイクロ偏向ミラーアレイ50によって各色
の画像信号Sr,Sg,Sbに応じて時系列的に空間変
調が施され、投影光学系7によってスクリーン6に拡大
投影される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、単一の2次元の空
間光変調器を用いて多階調の画像を投影するプロジェク
タ装置に関し、特に、光利用効率が高くて表示画面が明
るく、小型・低消費電力で光源寿命の長いプロジェクタ
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】昨今、高精細テレビ(HDTV)等の出
現やパーソナルコンピュータの普及とそのマルチメディ
ア化により、複数人で使用する数十インチから200イ
ンチの高精細・大画面の画像表示と小型・軽量化への要
求が高まってきており、それに向けた各種方式の製品が
開発されてきている。この要求に対応するものとして、
従来より、液晶ディスプレイ,プラズマディスプレイ,
発光ダイオードディスプレイ等の平面ディスプレイがあ
る。
【0003】液晶ディスプレイは、近年、14インチの
卓上型から大型化が進み、液晶空間光変調器を2枚張り
合わせた25インチのものも発表されている。しかし、
液晶ディスプレイの場合、液晶空間光変調器を作製する
プロセスが複雑で長く、大型のものができない、高価格
となる等の本質的な問題があり、数十インチ以上の大型
化は難しく、なされたとしても数枚の液晶空間光変調器
を張り合わせて作られるため、そのつなぎ目が問題とな
る外、高価格となることは否めない。
【0004】プラズマディスプレイは、上記液晶ディス
プレイに対抗する大画面ディスプレイとして、最近出現
し注目を集めている。それは、プラズマディスプレイ
は、構造が簡単で、作製プロセスが短く、大画面のもの
が作り易いこと、プラズマからの紫外光による励起に適
した蛍光体の開発により、色再現性の良いディスプレイ
が可能になったこと等による。しかし、プラズマディス
プレイの場合、発光効率が悪いため、40インチでも3
00W程度の大入力が必要である、放電電圧が200〜
300Vと高いため、高耐圧の駆動回路が必要となる等
の問題がある。また、平面ディスプレイといっても実際
には筐体も含めて10センチ程度の厚さとなり、重量も
40インチ程度で数十キログラムと重く、壁掛け型とし
て使用するには特別の工事が必要となる。
【0005】発光ダイオードディスプレイは、近年開発
された高輝度・高効率の緑色や青色の発光ダイオード
と、既存の高効率の赤色発光ダイオードとを組み合わせ
て画素を構成したものが開発されている。この場合、1
画素を3つの発光ダイオードで構成するため、通常のパ
ソコン程度の画素数(480×600)でも約90万個
の発光ダイオードが必要となる。従って、将来発光ダイ
オードの価格が1個10円程度に下がったとしても、発
光ダイオードのコストだけでも1千万円程度と高価格に
なり、家庭や小会議室で用いるには不向きである。
【0006】上述した平面ディスプレイの有する問題を
回避するものとして、プロジェクタ装置が知られてい
る。このプロジェクタ装置は、従来より、光源や空間光
変調器、3原色分離合成用光学系等の種類により種々の
タイプのものが開発されており、空間光変調器として
は、透過型あるいは反射型の液晶空間光変調器や、2次
元マイクロ偏向ミラーアレイ等の各種のものがある。こ
のプロジェクタ装置では、画像表示部として画像光を投
影するスクリーンないし白色の壁があればよく、像表示
部は軽量にできる、また、使用場所の広さに応じて画面
サイズを自由に変えられる等の利点がある。また、空間
光変調器で形成された画像光を投影レンズを用いて数十
倍に拡大投影するため、空間光変調器自体は2〜3イン
チと通常のディスプレイに比べて非常に小型のものでよ
く、低価格化の可能性を内包した装置であると言える。
【0007】図9は、従来のプロジェクタ装置として空
間光変調器に単一の2次元マイクロ偏向ミラーアレイを
用いたものを示す(Projection Displ
ayII ,P.193,1996:Proceedin
gs of SPIE,Vol.2650)。このプロ
ジェクタ装置100は、白色光を発光するキセノンラン
プ,ハロゲンランプ,メタルハライドランプ等のランプ
101、およびこのランプ101の出力光を一旦集光し
た後、所定の方向に反射する放物線状のリフレクタ10
2からなる光源部103と、光源部103の出力光から
赤外成分を取り除くコールドミラー104と、コールド
ミラー104からの光を回転フィルター板105に取り
付けられた赤,緑,青(R,G,Bと略す。)3色のフ
ィルター105r,105g,105b上に集光する集
光レンズ106と、フィルター105r,105g,1
05bによって色分離されたR,G,Bの3色光Lr,
Lg,Lbを折り返しミラー108に導くリレイレンズ
107と、折り返しミラー108からのR,G,Bの3
色光Lr,Lg,Lbを偏向してR,G,B3色の画像
信号光109r,109g,109bを出力する2次元
マイクロ偏向ミラーアレイ109と、2次元マイクロ偏
向ミラーアレイ109からの画像信号光109r,10
9g,109bと折り返しミラー108からのR,G,
Bの3色光Lr,Lg,Lbとを分離する全反射プリズ
ム110と、2次元マイクロ偏向ミラーアレイ109か
らの画像信号光109r,109g,109bを図示し
ないスクリーンに投影する投影レンズ111とを備えて
いる。
【0008】このプロジェクタ装置100において、光
源部103の出力光103aは、コールドミラー104
で赤外成分が取り除かれた後、集光レンズ106によっ
て集光され、回転フィルター板105のR,G,B3色
のフィルター105r,105g,105bを透過す
る。回転フィルター板105の回転速度は、画像のフレ
ーム表示速度に等しく、毎秒60回転である。その1回
転の間に、回転フィルター板105の透過光(103
a)は、フィルター105r,105g,105bによ
ってR,G,Bの3色光Lr,Lg,Lbに時分割的に
色分離され、折り返しミラー108および全反射プリズ
ム110を介して2次元マイクロ偏向ミラーアレイ10
9に入射する。2次元マイクロ偏向ミラーアレイ109
に入射したR,G,Bの3色光Lr,Lg,Lbは、各
色の画像信号に基づいて偏向され、画像信号光109
r,109g,109bとして形成される。この画像信
号光109r,109g,109bは、投影レンズ11
1によって図示しないスクリーンに投影される。ところ
で、R,G,Bのフィルター105r,105g,10
5bの面積比率は、R,G,B光の強度により若干異な
るが、R,G,B光それぞれの持続時間は平均5.6ミ
リ秒である。2次元マイクロ偏向ミラーアレイ109中
の各マイクロ偏向ミラーの偏向時定数は、5マイクロ秒
と上記の持続時間の1/1000であり、マイクロ偏向
ミラーの偏向時間の調節により、R,G,Bそれぞれ8
ビット以上の階調を付けることが可能である。このよう
に単一の2次元マイクロ偏向ミラーアレイ109を用い
ることにより、部品点数が少なく、小型で、低価格化が
望め、家庭用の表示装置として適したプロジェクタ装置
を実現することができる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のプロジ
ェクタ装置100によると、以下の問題がある。
【0010】(1) 光利用効率が悪い。光源としてキセノ
ンランプやハロゲンランプ、メタルハライドランプが使
用されているため、光源の寿命が短い上にオンオフ変調
ができないので連続点灯をすることになる。また、上記
のように時分割でR,G,B光の変調を行うため、R,
G,B光は、それぞれ他の色光を変調している間はフィ
ルター105r,105g,105bでカットされる。
このため、光利用効率はその分低下し、3つのマイクロ
偏向ミラーアレイを用いてR,G,B光を個別に変調す
る方式に比べて約1/3に減少する。一方、プロジェク
タ装置に使用されるハロゲンランプやキセノンランプ等
の光源は放電のための数センチ大のガラス球内に封じ込
められており、リフレクタのサイズはそれに制限されて
あまり小さくできないため、この出力光を10〜20m
mサイズの平行光に整形した時の集光効率は低く、50
%以下である。また、偏向ミラーにはアルミが使用で
き、反射率は90%であるが、他の光学系でのけられや
吸収を考慮すると、総合の光利用効率は10%と小さく
なる。また、メタルハライドランンプの場合、R色のス
ペクトルの光強度は弱いため、カラーバランスを良くし
ようとすると、他のG色,B色のスペクトルの光強度を
減じなければならず、さらに利用効率は低下する。現在
開発されている単板型のマイクロ偏向ミラーアレイを用
いたプロジェクタ装置の投影光束は、光源電気入力30
0Wとしてもせいぜい300lm程度であり、発光効率
が悪い。
【0011】(2) 消費電力が大きく、装置が大型にな
る。光利用効率が悪いことから、メタルハライドランン
プのように高輝度の光源を使用しなければならず、その
ために消費電力が300Wと大きくなり、電源部の大型
化に伴い、プロジェクタ装置も大型になる。
【0012】(3) ランプの寿命が短く、頻繁なランプ交
換が必要となる。光源としてキセノンランプやハロゲン
ランプ、メタルハライドランプが使用されているため、
光源の寿命が短い上にオンオフ変調ができないので連続
点灯をすることになることから、頻繁なランプ交換が必
要となる。例えば、メタルハライドランンプの場合で
は、中心強度が50%低下するまでの時間で評価して1
000時間である(照明学会誌、第77巻、第12号、
P.748、平成5年)。これは8時間/日の使用頻度
で4か月程度の寿命となり、頻繁なランプ交換が必要と
なる。しかし、ランプ表面は高温となるため、わずかで
も汚れがあるとランプが爆発する危険がある、ランプに
位置ずれがあると集光効率が下がったり、画質が低下す
る等の問題があり、素人によるランプ交換は難しく、専
門の技術者が取り替えている状況である(たとえば10
00万台普及したとすると、1日に10万件のランプ交
換が発生し、1万人以上の技術者が必要となる)。
【0013】(4) その他 回転フィルター板105の透過光のうち表示に利用され
ない光はフィルター105r,105g,105bに吸
収され、このときの熱でフィルター105r,105
g,105bや装置100内が加熱され、装置の信頼性
を低下させる、空冷用のファンが必要となる等の問題が
ある。
【0014】これらのことが、高価格であることの外
に、プロジェクタ装置が家庭や小会議室等になかなか普
及しないことの大きな原因である。
【0015】従って、本発明の目的は、光利用効率の向
上を図り、表示画面の明るいプロジェクタ装置を提供す
ることにある。また、本発明の他の目的は、低消費電力
化を達成でき、小型化を図ったプロジェクタ装置を提供
することにある。また、本発明の他の目的は、光源の長
寿命化を図ったプロジェクタ装置を提供することにあ
る。
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するため、複数の半導体発光素子からなり、異なる色
の複数の出力光を時系列的に出射する複数の発光素子ア
レイと、前記複数の発光素子アレイから出射された前記
複数の出力光を平行光に整形する整形光学系と、前記整
形光学系からの前記平行光に前記異なる色の画像信号に
応じた空間変調を施して複数の画像信号光を時系列的に
出力する単一の空間光変調手段と、前記空間光変調手段
からの前記複数の画像信号光をスクリーンに投影する投
影光学系を備えたことを特徴とするプロジェクタ装置を
提供する。
【0017】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の第1の実施の形
態に係るプロジェクタ装置を示す。このプロジェクタ装
置1は、R(赤),G(緑),B(青)の3原色光L
r,Lg,Lbを時系列的に発光する発光素子アレイ部
2と、発光素子アレイ部2からの3原色光Lr,Lg,
Lbを平行光に整形する整形光学系3と、平行光に整形
された3原色光Lr,Lg,Lbを合成する合成光学系
4と、合成された3原色光Lr,Lg,Lbに各色の画
像信号Sr,Sg,Sbに応じて反射光量が変化する処
理(空間変調)を時系列的に施してR,G,Bの画像信
号光5r,5g,5bとして出力する空間光変調部5
と、空間光変調部5からのR,G,Bの画像信号光5
r,5g,5bを時系列的にスクリーン6に拡大投影す
る投影レンズの如き投影光学系7と、発光素子アレイ部
2を駆動する発光素子アレイ部ドライバー8と、空間光
変調部5を駆動する空間光変調部ドライバー9と、R,
G,Bの画像信号Sr,Sg,Sbに基づいて発光素子
アレイ部ドライバー8および空間光変調部ドライバー9
を制御する制御部10とを具備し、この第1の実施の形
態では、発光素子アレイ部2に半導体発光素子としての
発光ダイオード(以下「LED」という。)を用いてい
る。
【0018】発光素子アレイ部2は、赤色光Lrを発光
する赤色LEDアレイ20Rと、緑色光Lgを発光する
緑色LEDアレイ20Gと、青色光Lbを発光する青色
LEDアレイ20Bと、各LEDアレイ20R,20
G,20Bの前面にそれぞれ配置されたマスク21とを
備えている。
【0019】整形光学系3は、発光素子アレイ部2から
の3原色光Lr,Lg,Lbを平行光に整形する2次元
のマイクロレンズアレイ30と、マイクロレンズアレイ
30によって整形された3原色光Lr,Lg,Lbを空
間光変調部5の後述する2次元マイクロ偏向ミラーアレ
イ50の画素範囲に対応して縮小する、凸レンズ31お
よび凹レンズ32を組み合わせて構成された縮小光学器
33とを備えている。なお、マイクロレンズアレイ30
の代わりに、ガラス等の透明媒体からなる微小な凹凸面
を有するホモジナイザ等を用いてもよい。この場合は、
LEDアレイ20R,20G,20Bからの入射光が微
小凹凸面により散乱され、この微小凹凸面が2次的な光
源面として機能し、この散乱光は縮小光学器33によっ
て平行光に整形される。
【0020】合成光学系4は、発光素子アレイ部2から
の赤色光Lrを反射するとともに、ダイクロイックミラ
ー4Bからの青色光Lbおよびダイクロイックミラー4
Gからの緑色光Lgを透過させるダイクロイックミラー
4Rと、発光素子アレイ部2からの緑色光Lgを反射す
るとともに、ダイクロイックミラー4Bからの青色光L
bを透過させるダイクロイックミラー4Gと、発光素子
アレイ部2からの青色光Lbを反射するダイクロイック
ミラー4Bとからなる。
【0021】空間光変調部5は、ダイクロイックミラー
4R,4G,4Bからの3原色光Lr,Lg,Lbに空
間変調を画素毎に施す2次元マイクロ偏向ミラーアレイ
50と、2次元マイクロ偏向ミラーアレイ50に入射し
たR,G,Bの3原色光Lr,Lg,Lbの無効反射光
を受光するストッパー51とを備えている。
【0022】次に、発光素子アレイ部2および整形光学
系3の詳細について図2および図3を参照して説明す
る。
【0023】図2は、LEDの出力光の指向性を示し、
図3は、発光素子アレイ部2と整形光学系3との関係を
示す。各LEDアレイ20R,20G,20Bは、共
に、図2に示すような出力光の光量分布22aを有した
サイズ3mmφのLED22を図3に示すように基板2
3上に配列ピッチ4mmで2次元に192(12×1
6)個配列し、アレイサイズを約48×64mmとし、
LED22を行単位(16個)で直列に配線し、かつ、
各行を並列に配線したものである。LED22を2次元
に配列することにより、必要な光束を得ることができ
る。また、各LEDアレイ20R,20G,20Bのサ
イズの縦横比を3:4とし、2次元マイクロ偏向ミラー
アレイ50の画素範囲と合わせることで、光利用効率を
さらに高めることができる。半導体発光素子(ここでは
LED22)の出力光は、指向性が強く、発光部面積も
小さいため、集光効率が高くなる。また、半導体発光素
子のスペクトル幅が数十nm以下と比較的狭い単色光を
出力するので、色合成効率が高くなる。
【0024】マスク21は、図3に示すように、開口部
21aによって各LED22の出力光22aのうち周辺
部をカットし、中心部の出力光22bのみを透過させる
ように構成されている。
【0025】マイクロレンズアレイ30は、図3に示す
ように、LEDアレイ20R,20G,20Bの各LE
D22の光軸と一致するように正方形の複数のマイクロ
レンズ30aを隙間なく2次元に配列し、各マイクロレ
ンズ30aの焦点距離をLEDアレイ20R,20G,
20Bとマイクロレンズアレイ30との距離D1 にほぼ
等しくしている。また、マイクロレンズアレイ30の各
マイクロレンズ30aの開口数WをLED22の中心部
の出力光22bの広がり角(約30度)θに対応させて
いる。これにより、LED22の出力光22bは、ほぼ
均一な光強度分布を有する平行光30bとなる。
【0026】図4は、縮小光学器33の詳細を示す。縮
小光学器33は、マイクロレンズアレイ30の各マイク
ロレンズ30aからの平行光30bを凸レンズ31と凹
レンズ32によって縮小し、平行光33aとしてダイク
ロイックミラー4R,4G,4Bを介して2次元マイク
ロ偏向ミラーアレイ50に入射するようになっている。
縮小光学器33の縮小率は、2次元マイクロ偏向ミラー
アレイ50のサイズとLEDアレイ20R,20G,2
0Bのサイズの比率より若干小さい値(例えば、0.1
6/1)とする。これにより、マイクロレンズアレイ3
0からの平行光30bを再度平行光33aとして2次元
マイクロ偏向ミラーアレイ50にほぼ均一に照射するこ
とができる。
【0027】図5は、空間光変調部5の詳細を示す。2
次元マイクロ偏向ミラーアレイ50は、16μm程度の
正方形状の複数のマイクロ偏向ミラー52を半導体基板
53上にピボット54によって2次元アレイ状に配列し
て構成されている。ここでは、画素数(ミラー数)48
0×640ドット、画素範囲約7.7×10.2mmの
ものを用いる。各マイクロ偏光ミラー52は、空間光変
調部ドライバー9の駆動によって半導体基板53にアレ
イ状に形成されたトランジスタ(図示省略)がオンして
発生する静電力に基づいて偏向し、LEDアレイ20
R,20G,20Bからの3原色光Lr,Lg,Lbを
有効反射光とする場合は、マイクロ偏向ミラー52は図
5の実線で示す状態に配置され、3原色光Lr,Lg,
Lbを投影光学系7に順次反射し、無効反射光とする場
合は、マイクロ偏向ミラー52は図5の破線で示す状態
に配置され、3原色光Lr,Lg,Lbをストッパー5
1に順次反射するようになっている。また、各マイクロ
偏向ミラー52は、制御部10の制御に基づく空間光変
調部ドライバー9の駆動によってR,G,Bの画像信号
Sr,Sg,Sbを構成する画素信号の大きさに応じて
投影光学系7への反射時間(最大で4.5ミリ秒、最小
で17.6マイクロ秒)が制御され、反射光量が256
階調(8ビット)で変化するようになっている。
【0028】図6(a) は、本装置1各部の動作タイミン
グ、同図(b) は、LED22の印加可能電流のパルスデ
ュティ比に対する依存性を示し、同図(c) は、LED2
2の入力電流に対する出力特性を示す。制御部10は、
同図(a) に示すように、R,G,Bの画像信号Sr,S
g,Sbが入力されると、その入力のタイミングに同期
して1フレーム間にLEDアレイ20R,20G,20
Bが所定のデュディ比(約1/3)で時系列的に点灯す
るように発光素子アレイ部ドライバー8に対する点灯制
御を行うとともに、2次元マイクロ偏向ミラーアレイ5
0が時系列的に偏向を行うように空間光変調部ドライバ
ー9に対する光量制御を行うものである。この光量制御
により多階調(フルカラー)の画像表示が可能になる。
また、制御部10は、2次元マイクロ偏向ミラーアレイ
50における水平および垂直ブランキング期間は、LE
Dアレイ20R,20G,20Bを消灯するように発光
素子アレイ部ドライバー8を制御するようになってい
る。
【0029】図6(b) から明らかなように、デュティ比
を100%(連続入力(CW))から約1/3に下げる
ことで、印加可能電流を2.5 倍に増加させることが
でき、出力もこれに比例して3倍あるいはそれ以上に増
加させることができる。これは、LED22の印加電流
および出力は、主に発熱量で制限されているため、印加
可能電流を点灯時間に逆比例して増加させることがで
き、出力もこれに比例してあるいはそれ以上に増加させ
ることができるからである。
【0030】また、図6(c) から明らかなように、入力
電流に対する出力は、CWの場合(破線)入力電流の増
加に連れて飽和傾向を示すのに対して、パルス入力の場
合(デュティ比30%)には60mAまで入力電流に比
例して増加する。LED22の定格電流値はCWの場合
20mA程度である。従って、デュティ比を30%程度
に下げることにより、出力は3倍以上に増加できる。言
い換えると、時系列的にR,G,B光を分割しても総出
力はCWの場合と同程度以上にできることが分かる。さ
らに、画像フレームの水平および垂直のブランキング期
間の間に全LED22を消灯することにより、さらにパ
ルス光出力の増加が可能となる。NTSC信号の場合、
ブランキング期間は全体の20%であるが、この間は全
LED22の消灯が可能なので、それぞれのLED22
のデュティ比は27%まで下げられ、この結果、パルス
電気入力はCWの場合の約3倍、出力は約3.5倍にで
き、光利用効率をさらに高めることができる。
【0031】次に、上記構成の第1の実施の形態に係る
プロジェクタ装置1の動作を説明する。制御部10は、
各色の画像信号Sr,Sg,Sbに同期して発光素子ア
レイ部ドライバー8を制御し、各LEDアレイ20R,
20G,20Bを時系列的に点灯させる。すなわち、制
御部10は、図6(a) に示すように、Rの画像信号Sr
が入力されると、赤色LEDアレイ20Rを点灯させ、
Gの画像信号Sgが入力されると、緑色LEDアレイ2
0Gを点灯させ、Bの画像信号Sbが入力されると、青
色LEDアレイ20Bを点灯させる。各LEDアレイ2
0R,20G,20Bで発光した赤色光Lr,緑色光L
gおよび青色光Lbは、マスク21によって周辺部がカ
ットされた後、整形光学系3のマイクロレンズアレイ3
0を構成するマイクロレンズ30aによって平行光に整
形され、縮小光学器33によって縮小され、合成光学系
4の各ダイクロイックミラー4R,4G,4Bに入射す
る。赤色LEDアレイ20Rからの赤色光Lrは、ダイ
クロイックミラー4Rで反射し、緑色LEDアレイ20
Gからの緑色光Lgは、ダイクロイックミラー4Gで反
射してダイクロイックミラー4Rを透過し、青色LED
アレイ20Bからの青色光Lbは、ダイクロイックミラ
ー4Bで反射し、ダイクロイックミラー4Gおよびダイ
クロイックミラー4Rを透過し、空間光変調部5の2次
元マイクロ偏向ミラーアレイ50にそれぞれ入射する。
一方、制御部10は、各色の画像信号Sr,Sg,Sb
に同期して空間光変調部ドライバー9を制御し、空間光
変調部5の2次元マイクロ偏向ミラーアレイ50にて
R,G,Bの3色光Lr,Lg,Lbを時系列的に空間
変調させる。すなわち、LEDアレイ20R,20G,
20Bからの3原色光Lr,Lg,Lbを有効反射光と
する場合は、制御部10は、Rの画像信号Srが入力さ
れると、赤色光Lrに画像信号Srを構成する画素信号
に応じて反射光量が変化する空間変調を2次元マイクロ
偏向ミラーアレイ50にて画素毎に施し、Gの画像信号
Sgが入力されると、緑色光Lgに画像信号Sgを構成
する画素信号に応じて反射光量が変化する空間変調を2
次元マイクロ偏向ミラーアレイ50にて画素毎に施し、
Bの画像信号Sbが入力されると、青色光Lbに画像信
号Sbを構成する画素信号に応じて反射光量が変化する
空間変調を2次元マイクロ偏向ミラーアレイ50にて画
素毎に施す。このとき、2次元マイクロ偏向ミラーアレ
イ50は、LEDアレイ20R,20G,20Bからの
3原色光Lr,Lg,Lbを有効反射光とする場合は、
3原色光Lr,Lg,Lbを投影光学系7に反射し、無
効反射光とする場合は、3原色光Lr,Lg,Lbをス
トッパー51に反射する。2次元マイクロ偏向ミラーア
レイ50によって有効反射光として空間変調されたR,
G,Bの画像信号光5r,5g,5bは、投影光学系7
によってスクリーン6に拡大投影される。このようにし
て、フルカラー画像がスクリーン6に大画面で表示され
る。
【0032】次に、上記第1の実施の形態に係るプロジ
ェクタ装置1の効果を説明する。 (イ) 光利用効率が向上し、明るい表示画面が得られる。
R,G,Bの各色別の光源を用いているので、色分離が
不要となり、色分離時の光損失を避けることができる。
このため、従来の光源に比べて集光効率と色合成効率の
積を0.77と従来の3倍以上に高めることが可能にな
る。また、指向性良く集光できるため、投影光学系7の
投影効率を85%以上に高くできる。この結果、この装
置1の光学系における光透過効率は、発光素子アレイ部
2および整形光学系3では90%、合成光学系4では8
5%、2次元マイクロ偏向ミラーアレイ50の反射率は
90%、投影光学系7では85%であるので、総合の光
利用効率は約58%と従来の約6倍以上に向上した。ま
た、R,G,BのLED22の出力光の波長、色度座
標、およびパルス光出力が、それぞれ650nm:
(0.7、0.28):30mW、520nm:(0.
17、0.7):10.5mW、450nm:(0.1
3、0.075):6mWであるので、合成白色光の色
度座標は(0.36、0.37)で僅かに黄色味がかっ
た白色となり、全アレイ20R,20G,20Bで約6
50lm、投影光束である画像信号光5r,5g,5b
として380lmの明るさが得られた。なお、各R,
G,BのLED22の点灯時間を多少変えることで、色
度座標の中心を変えることができる。例えば、Bの光の
時間を長くすることで色度座標の中心(0.33、0.
33)にシフトさせることも可能である。
【0033】(ロ) 低消費電力化を達成でき、小型化が図
れる。LED(22)1個当たりの消費電力は、R,
G,Bそれぞれ120mW、165mW、210mW
(電流は各60mA)、各アレイ20R,20G,20
Bの点灯デュティ比を27%とすることにより、全消費
電力は30W以下と従来の1/10になった。LED
(22)1個当たりの動作電圧は2〜3.6Vであり、
LEDアレイ20R,20G,20Bの動作電圧と電流
を扱い易い値(<100V、<1A)に抑えるために、
LEDアレイ20R,20G,20B中のLED22を
行単位(16個)を直列に配線し、かつ、各行を並列に
配線しているので、アレイ20R,20G,20B毎の
動作電圧と電流は、それぞれ40〜80V、0.5Aと
なった。また、各LEDアレイ20R,20G,20B
は、水平ブランキング(NTSC信号では約13%)と
垂直ブランキング(8%)の期間は消灯した。これによ
り、約2割の電力と発熱量の低減が図られ、LEDアレ
イ20R,20G,20Bの全消費電力を更に抑えるこ
とができる。また、単一の空間光変調器を用いているの
で、プロジェクタ装置の小型化が図れる。
【0034】(ハ) 光源の長寿命化が図れる。光源である
LED22の寿命は1万時間以上と、ハロゲンランプ等
の10倍以上であるため、光源の大幅な長寿命化が図
れ、8時間/日程度の使用頻度で4年近く継続して使用
可能になる。
【0035】(ニ) コスト低減が図れる。LED22の価
格は10〜数十円/個であり、アレイ全体では数千円〜
1万円と若干従来の光源(千数百円)に比べて割高とな
るが、この間まったくランプの交換が要らないこと、消
費電力が1/10であることや安全性などを考慮すれ
ば、光源のコストが1桁高くても十分見合うものであ
る。
【0036】なお、上記実施の形態では、空間光変調器
として、単一の2次元マイクロ偏向ミラーアレイを使用
したが、強誘電液晶を用いた反射型や透過型の空間光変
調器を用いても同様の効果の得られることは言うまでも
ない。また、ネマチック液晶や分散型液晶を用いた反射
型や透過型の空間光変調器においても、変調速度が数十
ミリ秒と遅いため、画像のちらつきが生じるがやはり同
様の効果を得ることができる。また、上記実施の形態で
は、発光素子アレイとして、R,G,Bの出力光を出射
するものを用いたが、このうちの2色、あるいは他の2
色以上の組合せでもよい。2色の出力光を用いた場合
に、2色とその混色で画像信号光を時系列的に表示して
もよい。
【0037】図6は、本発明の第2の実施の形態に係る
プロジェクタ装置を示す。この第2の実施の形態に係る
プロジェクタ装置1は、発光素子アレイ部2に、直線偏
光の赤色レーザ光Lr′、緑色レーザ光Lg′、青色レ
ーザ光Lb′を発光する面発光レーザ(VCSEL)ア
レイ24R,24G,24Bを用い、整形光学系3に拡
大光学器34を用いたものであり、他は第1の実施の形
態と同様に構成されている。
【0038】VCSELアレイ24は、VCSEL素子
を単一のGaAs基板上に直径15μmのVCSEL素
子を配列ピッチ60μmで2次元アレイ状に191(1
2×16)個配列し、アレイサイズを約5.5×7.5
mmとしたものである。また、一般に、VCSELアレ
イ中の各VCSEL素子は、陰極が共通で陽極が個別電
極を有するように形成されているが、本実施の形態のV
CSELアレイ24は、VCSEL素子の陽極を行単位
で直列に接続し、かつ、各行を並列に接続している。
【0039】図8(a) ,(b) は、G用のVCSELアレ
イ24Gを示す。G用のVCSELアレイ24Gは、同
図(a) に示すように、GaAs基板240の上に、Ga
InP系の化合物半導体で形成されたVCSEL素子2
41を2次元アレイ状に複数個配列したものであり、V
CSEL素子241の陽極は、ストライプ状のAu配線
により行単位で直列に接続され、かつ、各行を並列に接
続するようにp型電極242が形成されている。このp
型電極242には、各VCSEL素子241に対応する
位置に発光孔242aを形成している。また、VCSE
Lアレイ24Gは、同図(b) に示すように、GaAs基
板240の下に各VCSEL素子241の共通の陰極と
なるn型電極243を形成し、GaAs基板240の上
に、n型ミラー層244、n型クラッド層245、活性
層246、p型クラッド層247、p型ミラー層24
8、プロトン注入領域249が形成されている。なお、
同図において250はワイアボンディング用パッドであ
り、放熱フィンを兼ねたアルミ合金製のホルダー(図示
省略)に直接ボンディングすることにより、放熱特性を
高めている。
【0040】また、G用およびB用のVCSELアレイ
(図示省略)の場合は、VCSEL素子はGaInN系
の化合物半導体で形成されており、基板にはサファイア
が使用されている。この材料は絶縁性であるため、各素
子の陰極は陽極と同様にAu配線により行毎に接続し
た。G用のVCSELアレイと同様に、放熱フィンを兼
ねたアルミ合金製のホルダーに直接ボンディングするこ
とにより、放熱特性を高めている。また、並列信号処理
用のVCSELでは、各素子を独立に駆動する必要性か
ら各素子の陽極は個別にパッドを介してアレイ外部の電
極と接続されるが、本実施の形態に示す用途では全素子
が同時にオンオフされるのでこのように行毎に接続する
ことが可能であり、またこれにより、配線面積が減らせ
ると共に素子間隔を狭めること、および配線抵抗を下げ
ることが可能となった。本用途では、素子あたりの消費
電力が信号処理用に比べて大きいため、このことは発熱
を防ぎ、信頼性を高める上で重要である。
【0041】整形光学系3は、VCSELアレイ24
R,24G,24BからのR,G,Bのレーザ光L
r′,Lg′,Lb′を平行光に整形する2次元のマイ
クロレンズアレイ30と、マイクロレンズアレイ30に
よって整形されたR,G,Bのレーザ光Lr′,L
g′,Lb′を2次元マイクロ偏向ミラーアレイ50の
画素範囲(7.7×10.2mm)に対応して拡大す
る、凹レンズ32および凸レンズ31を組み合わせて構
成された拡大光学器34とを備えている。また、マイク
ロレンズアレイ30とVCSELアレイ24R,24
G,24Bとの距離は、マイクロレンズアレイ30の各
マイクロレンズの焦点距離とほぼ等しく、1.4mmと
している。なお、マイクロレンズアレイ30の代わりに
ホモジナイザを用いてもよい。
【0042】制御部10は、第1の実施の形態と同様
に、図6(a) に示すように、R,G,Bの画像信号S
r,Sg,Sbが入力されると、その入力のタイミング
に同期して1フレーム間にVCSELアレイ24R,2
4G,24Bが所定のデュディ比(約1/3)で時系列
的に点灯するように発光素子アレイ部ドライバー8に対
する点灯制御を行うとともに、2次元マイクロ偏向ミラ
ーアレイ50が時系列的に偏向を行うように空間光変調
部ドライバー9に対する光量制御を行うものである。こ
の光量制御により多階調(フルカラー)の画像表示が可
能になる。また、制御部10は、2次元マイクロ偏向ミ
ラーアレイ50における水平および垂直ブランキング期
間は、VCSELアレイ24R,24G,24Bを消灯
するように発光素子アレイ部ドライバー8を制御するよ
うになっている。VCSELアレイ中の各VCSEL素
子の間隔が発振領域に比べて十分大きい場合には、横モ
ードの高次化によって最大出力が抑えられているが、発
振領域の3倍程度まで素子の間隔を狭めると、むしろ発
熱の影響が強くなる。VCSELの場合、GaAs基板
あるいはGaInN基板上に作製されるため、低価格化
のためには素子間隔を近づけ、素子収量を上げるのが好
ましく、また、LED22のような光取り出し用のエポ
キシのドームは必要としないことから、素子間隔を近づ
けることが可能である。従って、VCSELアレイ24
R,24G,24Bにおいても実用上は光出力は発熱に
より抑えられ、オンオフ点灯が出力効率の改善と高光出
力化に有効となる。なお、端面発光型のレーザでは、最
大出力は共振器を形成する端面の光損傷(Catast
raphic Optical Damage)で抑え
られており、20〜30%のデュティ比のパルスでは、
CWに比べてあまり出力の増大は期待されない。
【0043】次に、上記構成の第2の実施の形態に係る
プロジェクタ装置1の動作を説明する。VCSELアレ
イ24R,24G,24Bから時系列的に出射された
R,G,Bのレーザ光Lr′,Lg′,Lb′は、拡大
光学器34により2次元マイクロ偏向ミラーアレイ50
の画素範囲に拡大し、ダイクロイックミラー4R、4
G、4Bで合成された後、空間光変長部5に入射する。
空間光変長部5において各色の画像信号Sr,Sg,S
bに応じて偏向された画像信号光5r,5g,5bは、
投影光学系7によりスクリーン6に拡大投影される。
【0044】次に、上記第2の実施の形態に係るプロジ
ェクタ装置1の効果を説明する。 (イ) 光利用効率が向上し、明るい表示画面が得られる。
この装置1の光学系における光透過効率は、VCSEL
アレイ24R,24G,24Bおよび整形光学系3では
90%、合成光学系4では85%、2次元マイクロ偏向
ミラーアレイ50の反射率は90%、投影光学系7では
85%であるので、総合の光利用効率は第1の実施の形
態と同様に約58%となった。また、各R,G,BのV
CSEL素子の出力光の波長、色度座標、およびパルス
光出力は、それぞれ650nm:(0.7、0.2
8):30mW、520nm:(0.17、0.7):
30mW、450nm:(0.13、0.075):3
0mWであり、合成白色光の色度座標は(0.34、
0.35)であり、標準に近い白色となり、VCSEL
アレイ24R,24G,24Bで1200lm、投影光
束である画像信号光5r,5g,5bで700lmの明
るさが得られた。VCSELは、光出力は発熱の影響の
外に、横モードのマルチビーム化によっても限定され
る。これは、光出力の増大に連れてビーム中心部へのキ
ャリアの供給が間に合わなくなり、その部分の利得が周
辺部の利得よりも低下することにより、より周辺部の光
強度の強い高次の横モードが発振しやすくなるためであ
る。
【0045】(ロ) 低消費電力化を達成でき、小型化が図
れる。また、VCSEL素子の1個当たりの動作電圧は
2.5〜3V、動作電流値は約80mAであり、全消費
電力は約40W弱に抑えられる。VCSELアレイ24
のVCSEL素子の陽極を行単位で直列に接続し、か
つ、各行を並列に接続しているので、第1の実施の形態
と同様に全電流電圧を適当な値(1A以下、100V以
下)に抑えることができた。また、第1の実施の形態と
同様に、VCSELアレイ24R,24G,24Bは、
水平および垂直ブランキング期間は消灯した。この結
果、第1の実施の形態と同様に約2割の消費電力と発熱
の低減が図れ、VCSELアレイ24の消費電力は30
Wと従来の約1/10に抑えられた。また、光源面積を
微小化でき、単一の空間光変調器を用いているので、プ
ロジェクタ装置の小型化が図れる。
【0046】(ハ) 光源の長寿命化が図れる。第1の実施
の形態と同様に、光源であるVCSEL素子の寿命は1
万時間以上と従来の10倍以上であるため、光源の大幅
な長寿命化が図れ、途中での光源の交換が不要となっ
た。
【0047】(ニ) コスト低減が図れる。3インチウェハ
を用いても、1枚のウェハからVCSELアレイを10
0個程度作製でき、数千円以下への低価格化が可能であ
る。
【0048】なお、レーザダイオードを画像表示に使用
した場合、出力光の可干渉長さが長いために、スペック
ルノイズや眼球による網膜への集光が問題となるが、2
次元マイクロ偏向ミラーアレイの各画素がレーザ光L
r′,Lg′,Lb′に対して位相シフタとして働くた
め、画素間での干渉性が薄れることから、本実施の形態
では問題とならなかった。また、本実施の形態では2次
元の面発光レーザアレイを使用したが、小型のプロジェ
クタ装置の場合には、1次元の面発光レーザアレイを用
いてもその出力光をシリンドリカルレンズなどにより2
次元に拡大することで実現可能である。
【0049】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、光
源の出力光が指向性を有しているので、光利用効率の大
幅な改善を図ることができ、明るい表示画面が得られ、
光源に発光効率の高い半導体発光素子を用いているの
で、低消費電力化が達成できる。また、光利用効率が高
くなり、低消費電力化が図れることから、光源の長寿命
化が図れる。さらに、単一の空間光変調手段を用いてい
るので、小型化が図れる。この結果、家庭や小会議室等
への普及が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係るプロジェクタ
装置の構成図である。
【図2】第1の実施の形態に係るLEDの出力光の指向
性を示す図である。
【図3】第1の実施の形態に係る発光素子アレイ部と整
形光学系との関係を示す図である。
【図4】第1の実施の形態に係る縮小光学器の詳細を示
す図である。
【図5】第1の実施の形態に係る空間光変調部の詳細を
示す図である。
【図6】(a) は本装置各部の動作タイミングを示す図、
(b) はLEDの印加可能電流のパルスデュティ比に対す
る依存性を示し、(c) はLEDの入力電流に対する出力
特性を示す図である。
【図7】本発明の第2の実施の形態に係るプロジェクタ
装置の構成図である。
【図8】(a) は第2の実施の形態に係るG用のVCSE
Lアレイの正面図、(b) はその断面図である。
【図9】従来のプロジェクタ装置の構成図である。
【符号の説明】
1 プロジェクタ装置 2 発光素子アレイ部 20R 赤色LEDアレイ 20G 緑色LEDアレイ 20B 青色LEDアレイ 21 マスク 21a 開口部 22 LED 22a 光量分布 22b 出力光 23 基板 24R,24G,24G 面発光レーザ(VCSEL)
アレイ 240 GaAs基板 241 VCSEL素子 242 p型電極 242a 発光孔 243 n型電極 244 n型ミラー層 245 n型クラッド層 246 活性層 247 p型クラッド層 248 p型ミラー層 249 プロトン注入領域 250 ワイアボンディング用パッド 3 整形光学系 30 マイクロレンズアレイ 30a マイクロレンズ 30b,33a 平行光 31 凸レンズ 32 凹レンズ 33 縮小光学器 34 拡大光学器 4 合成光学系 4R,4G,4B ダイクロイックミラー 5 空間光変調部 50 2次元マイクロ偏向ミラーアレイ 51 ストッパー 52 マイクロ偏向ミラー 53 半導体基板 54 ピボット 5r,5g,5b 画像信号光 6 スクリーン 7 投影光学系 8 発光素子アレイ部ドライバー 9 空間光変調部ドライバー 10 制御部 D1 距離 Lr 赤色光 Lr′ 赤色レーザ光 Lg 緑色光 Lg′ 緑色レーザ光 Lb 青色光 Lb′ 青色レーザ光 Sr,Sg,Sb 画像信号 W 開口数 θ 広がり角

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数の半導体発光素子からなり、異なる色
    の複数の出力光を時系列的に出射する複数の発光素子ア
    レイと、 前記複数の発光素子アレイから出射された前記複数の出
    力光を平行光に整形する整形光学系と、 前記整形光学系からの前記平行光に前記異なる色の画像
    信号に応じた空間変調を施して複数の画像信号光を時系
    列的に出力する単一の空間光変調手段と、 前記空間光変調手段からの前記複数の画像信号光をスク
    リーンに投影する投影光学系を備えたことを特徴とする
    プロジェクタ装置。
  2. 【請求項2】前記複数の発光素子アレイは、赤色、緑色
    および青色の前記複数の出力光を出射する構成の請求項
    1記載のプロジェクタ装置。
  3. 【請求項3】前記発光素子アレイは、前記複数の半導体
    発光素子を1次元あるいは2次元に配列した構成の請求
    項1記載のプロジェクタ装置。
  4. 【請求項4】前記発光素子アレイは、面発光レーザダイ
    オードアレイを用いた構成の請求項1記載のプロジェク
    タ装置。
  5. 【請求項5】前記発光素子アレイは、発光ダイオードア
    レイを用いた構成の請求項1記載のプロジェクタ装置。
  6. 【請求項6】2次元に配列された前記複数の半導体発光
    素子は、前記空間光変調手段における前記空間変調の水
    平および垂直のブランキング期間に消灯される構成の請
    求項3記載のプロジェクタ装置。
  7. 【請求項7】2次元に配列された前記複数の半導体発光
    素子は、縦横比を前記スクリーンに投影される画面の縦
    横比と同程度とした構成の請求項3記載のプロジェクタ
    装置。
  8. 【請求項8】2次元に配列された前記複数の半導体発光
    素子は、行単位で直列に接続され、かつ、各行が並列に
    接続された構成の請求項3記載のプロジェクタ装置。
  9. 【請求項9】前記発光素子アレイは、前記複数の面発光
    レーザ素子を1次元あるいは2次元に配列した面発光レ
    ーザダイオードアレイであり、前記複数の面発光レーザ
    素子の陽陰両電極の少なくとも一方を行単位で直列に接
    続し、かつ、各行を並列に接続した構成の請求項1記載
    のプロジェクタ装置。
  10. 【請求項10】前記整形光学系は、前記複数の半導体発
    光素子の前記出力光を均一な光強度分布を有する前記平
    行光に整形する構成の請求項1記載のプロジェクタ装
    置。
  11. 【請求項11】前記整形光学系は、前記発光素子アレイ
    の前面に前記複数の半導体発光素子に対向するように配
    置され、前記複数の半導体発光素子から出射された前記
    複数の出力光を前記平行光に整形する複数のマイクロレ
    ンズによって構成される請求項1記載のプロジェクタ装
    置。
  12. 【請求項12】前記整形光学系は、主として2つのレン
    ズにより前記複数の半導体発光素子から出射された前記
    複数の出力光を拡大あるいは縮小して前記平行光に整形
    する構成の請求項1記載のプロジェクタ装置。
  13. 【請求項13】前記空間光変調手段は、透過型若しくは
    反射型の液晶空間光変調器、又は2次元光偏向ミラーア
    レイを用いた構成の請求項1記載のプロジェクタ装置。
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