JPH10332785A - キャリブレーション回路 - Google Patents

キャリブレーション回路

Info

Publication number
JPH10332785A
JPH10332785A JP9155863A JP15586397A JPH10332785A JP H10332785 A JPH10332785 A JP H10332785A JP 9155863 A JP9155863 A JP 9155863A JP 15586397 A JP15586397 A JP 15586397A JP H10332785 A JPH10332785 A JP H10332785A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
circuit
voltage
output
calibration
input
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9155863A
Other languages
English (en)
Inventor
Masaki Okabe
真己 岡部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ando Electric Co Ltd
Original Assignee
Ando Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ando Electric Co Ltd filed Critical Ando Electric Co Ltd
Priority to JP9155863A priority Critical patent/JPH10332785A/ja
Publication of JPH10332785A publication Critical patent/JPH10332785A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 キャリブレーション時間を短縮し、複数の電
圧印加回路の同時キャリブレーションを可能にする。 【解決手段】 コンパレータ13は出力補正を必要とす
る電圧印加回路11の出力と基準電圧を入力とする。A
ND回路15はコンパレータ13の出力とデータインク
リメント用クロックCLOCKを入力とする。カウンタ
16はAND回路15の出力を入力とする。D/A変換
器18はカウンタ16の出力を入力とし加算する補正値
を出力する。加算回路20は設定電圧に補正値を加算す
る。以上の構成のキャリブレーション回路は同時に複数
の出力補正ができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えばICテス
タ等に用いられ、被測定デバイスに印加する電圧を補正
するキャリブレーション回路に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のICテスタにあっては、図3に示
すキャリブレーション回路がよく用いられる。キャリブ
レーション回路では、キャルONスイッチ1をオンする
ことでキャル動作状態となり、補正を必要とする電圧印
加回路2の出力を取り込みテスタのDCユニット3によ
り測定する。そして、この測定結果をテスタコンピュー
タ4に入力して、ソフト演算によるバイナリーサーチに
よりキャルデータを決定する。
【0003】このキャルデータをD/A(デジタル/ア
ナログ)変換器5に転送してアナログ電圧に変換し、加
算回路6によって、電圧印加回路2を駆動しているレベ
ル電源7の出力電圧に加算する。これにより、電圧印加
回路2の駆動電圧が自動的に修正され、その出力が補正
されてキャリブレーションが終了する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来のキャリブレーション回路では、DCユニッ
トの測定とテスタコンピュータのソフト演算のための時
間が必要であるため、高速化には不向きであり、また複
数の電圧印加回路を同時に電圧補正できないため、電圧
印加回路の数に比例してキャリブレーションにかかる時
間が増大してしまうという問題がある。本発明は、上記
の問題を解決するためになされたもので、キャリブレー
ションにかかる時間を短縮すると共に、複数の電圧印加
回路を同時にキャリブレーションを行うことのできるキ
ャリブレーション回路を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】この目的を実現するた
め、本発明のキャリブレーション回路は、以下のように
構成される。 (1)駆動電圧に応じて電圧印加回路11から出力され
る電圧の誤差を補正するキャリブレーション回路であっ
て、電圧印加回路11の出力と基準電圧とを比較するコ
ンパレータ13と、コンパレータ13の出力に応じてデ
ータインクリメント用クロックCLOCKを通過させる
ゲート回路15と、ゲート回路15の出力をカウントす
るカウンタ16と、カウンタ16から出力されるカウン
ト値を順次アナログ電圧に変換して補正電圧を生成する
デジタル/アナログ変換器18と、デジタル/アナログ
変換器18から出力される補正電圧を前記駆動電圧に加
算する加算回路20とを備えて構成される。
【0006】(2)(1)の構成において、キャル開始
信号のレベルに応じて電圧印加回路11の出力を選択的
に前記コンパレータ13に入力するキャルON/OFF
手段を備える。 (3)(2)の構成において、前記キャルON/OFF
手段のオン動作初期時にカウンタ16にリセット信号を
入力するようにする。 前記構成によるキャリブレーション回路を組むことによ
り、DCユニットの測定時間及びソフト演算時間を省略
することができ、キャリブレーションにかかる時間が短
縮される。また、この回路を複数備えることで、各電圧
印加回路を同時にキャリブレーションすることができ
る。したがって、電圧印加回路の数が増加しても、全電
圧印加回路のキャリブレーションを短時間に終わらせる
ことができる。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、図1及び図2を参照して本
発明の実施の形態を詳細に説明する。図1は本発明に係
るキャリブレーション回路の実施形態の構成を示す。図
1において、キャル開始信号がONのときは、スイッチ
12がONになり、電圧印加回路11の出力はコンパレ
ータ13に供給され、可変電圧源14からの基準電圧V
ref1と比較される。コンパレータ13の出力は第1
のAND回路15でデータインクリメント用クロックC
LOCKと論理積演算される。この演算結果はカウンタ
16に供給され、同時にOR回路17に供給される。
【0008】カウンタ16は第1のAND回路15の出
力をカウントするもので、リセット信号RESETによ
り初期化され、そのカウントデータDATAはD/A変
換器18に供給されてキャル電圧に変換される。一方、
OR回路17は第1のAND回路15の出力とリセット
信号RESETとの論理和を演算する。この演算結果は
第2のAND回路19に供給され、キャル開始信号CA
LONとの論理積が演算される。この演算結果は起動信
号LDとしてD/A変換器18に供給される。D/A変
換器18の出力は、加算回路20でレベル電源21から
の駆動電圧に加算されて電圧印加回路11に供給され
る。
【0009】図2は上記加算回路20の具体的な構成を
示すもので、レベル電源21からの駆動電圧Vinを抵
抗R1・R2により分圧入力し、オペアンプOPの
(+)端子に入力する。オペアンプOPは、抵抗R3を
介して供給される基準電圧Vref2と抵抗R4を介し
て入力されるD/A変換器18からのキャル電圧Vda
cとを、帰還抵抗R5からの帰還電圧と共に(−)端子
に入力する。すなわち、オペアンプOPは抵抗R3〜R
5と共に加算器を構成している。このオペアンプOPの
出力は駆動電圧Voutとして電圧印加回路11に供給
される。
【0010】上記構成において、以下にその動作を説明
する。まず、キャリブレーションの始めにキャル開始信
号CALONをオン状態とし、リセット信号RESET
を入力する。キャル開始信号CALONが”1”となる
ため、電圧印加回路11の出力電圧はスイッチ12を介
してコンパレータ13に供給される。また、キャル開始
信号CALONは、OR回路17を介して入力されるリ
セット信号RESETと共に第2のAND回路19に供
給される。両入力が共に”1”であるため、AND回路
19の出力も”1”となり、駆動信号LDとしてD/A
変換器18に供給される。これにより、カウンタ16と
D/A変換器18はそれぞれ初期化され、加算回路20
によりキャリブレーション範囲の最高電圧がレベル電源
21の出力に加算される。
【0011】加算回路20からの駆動電圧により電圧印
加回路11の出力電圧が決定されると、この電圧はコン
パレータ13で基準電圧Vref1と比較される。この
コンパレータ13の出力とデータインクリメント用クロ
ックCLOCKは第1のAND回路15で論理積演算さ
れる。このとき、基準電圧Vref1より電圧印加回路
11の出力電圧が高いため、コンパレータ13は”1”
を出力する。よって、データインクリメント用クロック
CLOCKは第1のAND回路15を通りカウンタ16
に入力される。
【0012】この状態からデータインクリメント用クロ
ックCLOCKを1発ずつ入力していくと、カウンタ1
6からD/A変換器18への出力データDATAは1ビ
ット分ずつ増加していく。このため、加算回路20及び
電圧印加回路11の出力電圧も増加していく。この出力
電圧が基準電圧Vref1を下回ったところで、コンパ
レータ13の出力は反転して”0”になり、データイン
クリメント用クロックCLOCKをマスクする。これに
よりキャリブレーションが終了する。
【0013】例えば、D/A変換器18の入力が8ビッ
トとすると、キャリブレーション電圧可変範囲を全て出
力するには、データインクリメント用クロックCLOC
Kを256回繰り返し入力する。最後にキャル開始信号
CALONをオフとし、電圧印加回路11とコンパレー
タ13の間の接続を切り終了する。
【0014】この発明の実施例について図1と図2を参
照して説明する。例えば、電圧印加回路11の出力電圧
が最高80mVの誤差が出るとする。図2の加算回路2
0でR1=10kΩ,R2=100kΩ,R3=R4=
150kΩ,R5=7.5kΩとし、レベル電源(6)
から駆動電圧Vinとして0Vを入力するものとし、D
/A変換器18の出力(Vdac)の可変幅が0〜5V
であるとする。このとき、出力Voutには次式によ
り、0V±125mVの可変電圧幅と1mVの分解能が
得られる。
【0015】
【数1】
【0016】図1に示す構成において、D/A変換器1
8の初期化により+125mVが電圧印加回路11に入
力されており、電圧印加回路11の誤差が+80mVと
して、+205mVが出力されているものとする。
【0017】コンパレータ13は、電圧印加回路11の
出力電圧+205mVと基準電圧0Vと比較して”1”
を出力する。この状態からデータインクリメント用クロ
ックCLOCKを1発ずつ入力すると、D/A変換器1
8の出力が1ビット分ずつ増加する。このため、加算回
路20の出力電圧は−1mVずつ下がっていく。データ
インクリメント用クロックCLOCKを1発入力する度
にD/A変換器18の出力は1ビット分ずつ増加する。
【0018】加算回路20で−1mV加算され、電圧印
加回路11の出力が基準電圧を下回ったところでコンパ
レータ13が”0”を出力し、データインクリメント用
クロックCLOCKをマスクする。以上でキャリブレー
ションは終了する。以上により、電圧印加回路11の出
力電圧の誤差を、キャリブレーション可変範囲で基準電
圧近くに補正することができる。
【0019】但し、キャリブレーション可変範囲は電圧
印加回路11の誤差より大きくとっていなければいけな
い。また、分解能とコンパレータ精度によってキャリブ
レーションの精度が決定するので、コンパレータ13の
誤差及び分解能は必要とする精度の半分以下にする必要
がある。
【0020】以上説明したように、本実施形態のキャリ
ブレーション回路は、従来のキャリブレーション時間の
最大の要因であるDCユニットの測定時間,テスターコ
ンピュータのソフト演算時間がないため、1度のキャリ
ブレーション時間を短くすることができる。また、この
回路を複数備えることで1度に複数の電圧印加回路の出
力電圧を補正できるため、電圧印加回路数が増加して
も、キャリブレーションにかかる時間が増大しない、等
の効果を有する。このことは、多ピン化に向け増大する
半導体試験装置のキャリブレーション時間の高速化に極
めて有効である。
【0021】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、キャリブ
レーションにかかる時間を短縮すると共に、複数の電圧
印加回路を同時にキャリブレーションを行うことのでき
るキャリブレーション回路を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態とするキャリブレーション
回路の構成を示すブロック回路図である。
【図2】図1の実施形態に用いられる加算回路の具体的
な構成を示す回路図である。
【図3】従来のキャリブレーション回路のブロック図で
ある。
【符号の説明】 1 キャルONスイッチ 2 電圧印加回路 3 DCユニット 4 テスターコンピュータ 5 D/A変換器 6 加算回路 7 レベル電源 11 電圧印加回路 12 スイッチ 13 コンパレータ 14 可変電圧源 15 AND回路 16 カウンタ 17 OR回路 18 D/A変換器 19 AND回路 20 加算回路 21 レベル電源 CLOCK データインクリメント用クロック RESET リセット信号 CALON キャル開始信号

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 駆動電圧に応じて電圧印加回路(11)から
    出力される電圧の誤差を補正するキャリブレーション回
    路であって、 電圧印加回路(11)の出力と基準電圧とを比較するコンパ
    レータ(13)と、 コンパレータ(13)の出力に応じてデータインクリメント
    用クロック(CLOCK) を通過させるゲート回路(15)と、 ゲート回路(15)の出力をカウントするカウンタ(16)と、 カウンタ(16)から出力されるカウント値を順次アナログ
    電圧に変換して補正電圧を生成するデジタル/アナログ
    変換器(18)と、 デジタル/アナログ変換器(18)から出力される補正電圧
    を前記駆動電圧に加算する加算回路(20)とを備えること
    を特徴とするキャリブレーション回路。
  2. 【請求項2】 キャル開始信号のレベルに応じて電圧印
    加回路(11)の出力を選択的に前記コンパレータ(13)に入
    力するキャルON/OFF手段を備えることを特徴とす
    る請求項1記載のキャリブレーション回路。
  3. 【請求項3】 前記キャルON/OFF手段のオン動作
    初期時にカウンタ(16)にリセット信号を入力することを
    特徴とする請求項2記載のキャリブレーション回路。
JP9155863A 1997-05-29 1997-05-29 キャリブレーション回路 Pending JPH10332785A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9155863A JPH10332785A (ja) 1997-05-29 1997-05-29 キャリブレーション回路

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9155863A JPH10332785A (ja) 1997-05-29 1997-05-29 キャリブレーション回路

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10332785A true JPH10332785A (ja) 1998-12-18

Family

ID=15615161

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9155863A Pending JPH10332785A (ja) 1997-05-29 1997-05-29 キャリブレーション回路

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10332785A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005351632A (ja) * 2004-06-08 2005-12-22 Yokogawa Electric Corp Icテスタ
JP2011125005A (ja) * 2009-12-08 2011-06-23 Advantest Corp 信号発生装置および試験装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005351632A (ja) * 2004-06-08 2005-12-22 Yokogawa Electric Corp Icテスタ
JP4600730B2 (ja) * 2004-06-08 2010-12-15 横河電機株式会社 Icテスタ
JP2011125005A (ja) * 2009-12-08 2011-06-23 Advantest Corp 信号発生装置および試験装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7288985B2 (en) Current mirror with programmable floating gate
US4336526A (en) Successive approximation analog-to-digital converter using non-binary series
EP0115897B1 (en) Current source arrangement
JP6407528B2 (ja) 半導体装置
US6919833B2 (en) Parallel converter topology for reducing non-linearity errors
US7026972B2 (en) A/D converter
US20070146182A1 (en) Self-calibrating current source arrays
JP2011081517A (ja) バンドギャップリファレンス回路及びこれを備えるadコンバータ、並びに、バンドギャップリファレンス回路の調整方法
JPH10332785A (ja) キャリブレーション回路
US6717393B2 (en) System for difference calculation using a quad slope converter
US6011500A (en) Integrated circuit with a built-in D/A converter
JP2002290236A (ja) アナログ/デジタル変換回路
US7796075B2 (en) Method and apparatus for internally calibrating mixed-signal devices
JPH0528831Y2 (ja)
US11936395B2 (en) Digital-to-analog converter with digitally controlled trim
JPH08116258A (ja) アナログデジタル変換回路
JPH02288616A (ja) 自己較正型da変換器およびこれを用いる自己較正型ad変換器
JPS61171226A (ja) アナログ・デジタル変換装置
JPH06224701A (ja) シュミットトリガ回路
JP2710458B2 (ja) A/d変換器
JPH10209865A (ja) Ad変換器のテスト回路
Jung et al. Circuits Ideas for IC Converters
JP3629327B2 (ja) 2重積分式a/d変換方法と回路および2重積分演算回路
JPS58181311A (ja) 基準電位発生回路
JPH0548459A (ja) アナログ・デイジタル変換装置