JPH10326807A - Solder ball mount equipment - Google Patents

Solder ball mount equipment

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JPH10326807A
JPH10326807A JP15007197A JP15007197A JPH10326807A JP H10326807 A JPH10326807 A JP H10326807A JP 15007197 A JP15007197 A JP 15007197A JP 15007197 A JP15007197 A JP 15007197A JP H10326807 A JPH10326807 A JP H10326807A
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JP
Japan
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solder ball
image recognition
recognition camera
substrate
flux
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JP15007197A
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Tatsuharu Kobayashi
樹治 小林
Satoshi Kinoshita
智 木下
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Shibuya Corp
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Shibuya Kogyo Co Ltd
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3457Solder materials or compositions; Methods of application thereof
    • H05K3/3478Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns

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  • Wire Bonding (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To confirm the position of a target mark or land position on which a solder ball is mounted, to confirm the residual amount of solder balls and to confirm whether a solder ball has been placed on a substrate by holding an image recognition camera with a holding body as same as that for a solder ball absorption head. SOLUTION: A solder ball mount equipment has a mount head group 2, a solder ball absorption head 13, a flux transfer head 14, and an image recognition camera 15 fixed in the same head base 16 in the group 2. The head base 16 performs the position control in X and Y-directions for the solder ball absorption head 13, a flux transfer head 14, and an image recognition camera 15, by controlling the movement in X-axis direction and Y-axis direction by an XY-axes drive mechanism 20. The image recognition camera 15 is not only movable in the XY-axis directions together with its base 16 as a single body but also independently has a Z-axis drive mechanism (motions in the vertical direction).

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、基板へ半田ボールを搭
載するに際して、半田ボール搭載前の基板の画像認識に
よる位置決め及びボール搭載後の検査、及び半田ボール
の残量の確認やフラックスの残量の確認等の付随検査を
も同一の画像認識カメラにより行いうる半田ボールマウ
ント装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to positioning of a board by soldering before solder ball mounting by image recognition and inspection after ball mounting, confirmation of the remaining amount of solder balls, and residual flux. The present invention relates to a solder ball mounting device capable of performing an accompanying inspection such as confirmation of an amount using the same image recognition camera.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の半田ボールマウント装置では、半
田ボール搭載前に基板のターゲットマーク等を認識し、
XYテーブルにて位置補正をし、その後、半田ボール搭
載を行っていた。更に、半田ボール搭載後は別ステーシ
ョン、あるいは全く別のユニットにて画像処理による半
田ボール搭載検査を行っていた。
2. Description of the Related Art A conventional solder ball mounting apparatus recognizes a target mark or the like on a substrate before mounting a solder ball.
The position was corrected on the XY table, and then the solder balls were mounted. Further, after the solder balls are mounted, the solder ball mounting inspection is performed by image processing in another station or a completely different unit.

【0003】従って従来の半田ボールマウント装置で
は、基板認識用の画像認識カメラと半田ボール塔載検査
用の画像認識カメラの2台のカメラと各々のコントロー
ラが必要であった。更に、ターゲットマーク等が無い基
板における半田ボール搭載検査では、基板自体が移動し
ているため相対位置しか見えずランド(基板上のボール
搭載位置)に対する位置ずれは検査できなかった。
Accordingly, the conventional solder ball mounting apparatus requires two cameras, an image recognition camera for board recognition and an image recognition camera for solder ball mounting inspection, and respective controllers. Furthermore, in a solder ball mounting inspection on a substrate having no target mark or the like, only the relative position is visible because the substrate itself is moving, and a positional shift with respect to a land (a ball mounting position on the substrate) cannot be inspected.

【0004】[0004]

【本発明が解決しようとする課題】本発明は、1台の画
像認識カメラにより、半田ボール搭載前の基板の画像認
識による位置決め及び半田ボール搭載後の検査、更には
半田ボール残量確認やフラックス残量確認といった付随
検査をも行いうるだけでなく、基板の位置あわせと半田
ボール塔載検査を同じ場所で行いうるようにして、ター
ゲットマーク等が無い場合でも絶対位置を検出でき、正
確なる半田ボール塔載検査が可能な半田ボールマウント
装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, a single image recognition camera is used for positioning by image recognition of a board before solder ball mounting and inspection after solder ball mounting, as well as for checking the remaining amount of solder balls and flux. In addition to performing the accompanying inspection such as checking the remaining amount, the positioning of the board and the inspection of the mounting of the solder ball can be performed in the same place, and the absolute position can be detected even when there is no target mark etc. An object of the present invention is to provide a solder ball mounting device capable of performing a ball tower mounting inspection.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、半田ボールを基板上の所定位置に搭載する半田ボー
ルマウント装置において、画像認識カメラを半田ボール
吸着ヘッドと同一の保持体にて保持し、該同一の画像認
識カメラにより、基板上のターゲットマークの位置また
は半田ボールが搭載されるランド位置の確認と、半田ボ
ールの残量の確認と、基板に半田ボールが適正に搭載さ
れたかどうかの確認とを行うことを特徴とする半田ボー
ルマウント装置を提供する。上記画像認識カメラでの確
認事項中半田ボールの残量の確認の代わりにフラックス
残量の確認を行うもの、更には両残量を確認するものも
同時に提供する。
In order to solve the above problem, in a solder ball mounting apparatus for mounting a solder ball at a predetermined position on a substrate, an image recognition camera is held by the same holding member as a solder ball suction head. Then, the same image recognition camera checks the position of the target mark on the board or the land position where the solder ball is mounted, the remaining amount of the solder ball, and whether the solder ball is properly mounted on the board. And a solder ball mounting device characterized by performing the following. Among the items to be confirmed by the above-mentioned image recognition camera, one for confirming the remaining amount of flux instead of confirming the remaining amount of solder balls, and one for confirming both remaining amounts are also provided.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態につき第
1実施例とともに説明する。半田ボールマウント装置
は、図2に示されるマウントステージ1と図3に示され
るマウントヘッド群2を有する。図2に示されるように
マウントステージ1には、主たる要素として半田ボール
搭載対象となる基板3及び基板3の固定載置される基板
ステージ6、半田ボール供給トレイ4、フラックス供給
トレイ5が配置されている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below together with a first embodiment. The solder ball mounting apparatus has a mount stage 1 shown in FIG. 2 and a mount head group 2 shown in FIG. As shown in FIG. 2, the mount stage 1 includes, as main elements, a substrate 3 on which a solder ball is to be mounted, a substrate stage 6 on which the substrate 3 is fixedly mounted, a solder ball supply tray 4, and a flux supply tray 5. ing.

【0007】更に、マウントステージ1には、基板3を
搬入搬出するインプットコンベア7及びアウトプットコ
ンベア8が配置されており、その付近に基板3をインプ
ットコンベア7から基板ステージ6に搬送し、半田ボー
ルをマウントした後の基板3をアウトプットコンベア8
に搬出する基板搬送ユニット9、10が配置されてい
る。尚、図2中11はミッシングボール検出用光源であ
り、12は、フラックススキージである。そして、ミッ
シングボール検出用光源11、半田ボール供給トレイ
4、基板ステージ6、フラックス供給トレイ5は、この
順番で等間隔に配置されている。
[0007] Further, an input conveyor 7 and an output conveyor 8 for carrying in and out the substrate 3 are arranged on the mount stage 1. Is mounted on the output conveyor 8
The substrate transfer units 9 and 10 for unloading are arranged. In FIG. 2, reference numeral 11 denotes a missing ball detecting light source, and reference numeral 12 denotes a flux squeegee. The missing ball detection light source 11, the solder ball supply tray 4, the substrate stage 6, and the flux supply tray 5 are arranged at regular intervals in this order.

【0008】他方、マウントヘッド群2は、図3の正面
図に示されるように、半田ボール吸着ヘッド13、フラ
ックス転写ヘッド14、画像認識カメラ15が同一のヘ
ッドベース16に固着されている。ヘッドベース16
が、請求項記載の保持体に該当する。半田ボール吸着ヘ
ッド13及び画像認識カメラ15、フラックス転写ヘッ
ド14は、各々半田ボール供給トレイ4、基板3、フラ
ックス供給トレイ5に対応した位置及び間隔で配置され
ている。
On the other hand, as shown in the front view of FIG. 3, the mount head group 2 has a solder ball suction head 13, a flux transfer head 14, and an image recognition camera 15 fixed to the same head base 16. Head base 16
Corresponds to the holder described in the claims. The solder ball suction head 13, the image recognition camera 15, and the flux transfer head 14 are arranged at positions and intervals corresponding to the solder ball supply tray 4, the substrate 3, and the flux supply tray 5, respectively.

【0009】ヘッドベース16はXY軸駆動機構20に
より、X軸方向(図3中左右方向)及びY軸方向(図3
中前後方向)への移動を制御することにより、半田ボー
ル吸着ヘッド13、フラックス転写ヘッド14、画像認
識カメラ15のXY方向の位置制御を行っている。図中
21がX軸駆動モータで、22がY軸駆動モータであ
る。
The head base 16 is driven by an XY-axis driving mechanism 20 in the X-axis direction (left-right direction in FIG. 3) and the Y-axis direction (FIG. 3).
The position of the solder ball suction head 13, the flux transfer head 14, and the image recognition camera 15 in the XY directions is controlled by controlling the movement of the solder ball suction head 13, the flux transfer head 14, and the image recognition camera 15. In the figure, 21 is an X-axis drive motor, and 22 is a Y-axis drive motor.

【0010】半田ボール吸着ヘッド13,フラックス転
写ヘッド14、画像認識カメラ15は、ベース16と一
体としてXY軸方向に移動可能なだけでなく、独立にZ
軸駆動機構(図3中上下方向の移動)を有し、Θ駆動機
構(水平方向の回転)については半田ボール吸着ヘッド
13とフラックス転写ヘッド14が該機構を有してい
る。図4は、半田ボール吸着ヘッド13のZ軸駆動機構
23とΘ駆動機構24を現したものであるが、フラック
ス転写ヘッド14のZ軸駆動機構、Θ駆動機構及び画像
認識カメラ15のZ軸駆動機構もほぼ同様の構成をして
いる。図中25がZ軸駆動モータであり、26がΘ駆動
モータである。画像認識カメラ15は、下方とレンズ先
端部に画像認識カメラ17、18を装備している。画像
認識カメラ用光源17、18は画像認識カメラ15とは
独立にZ軸駆動機構を有してもよい。
The solder ball suction head 13, the flux transfer head 14, and the image recognition camera 15 can not only move in the X and Y directions integrally with the base 16 but also independently move in the Z direction.
It has a shaft drive mechanism (movement in the vertical direction in FIG. 3), and the Θ drive mechanism (rotation in the horizontal direction) includes the solder ball suction head 13 and the flux transfer head 14. FIG. 4 shows the Z-axis drive mechanism 23 and the Θ drive mechanism 24 of the solder ball suction head 13. The Z-axis drive mechanism of the flux transfer head 14, the Θ drive mechanism, and the Z-axis drive of the image recognition camera 15 are shown. The mechanism has almost the same configuration. In the figure, 25 is a Z-axis drive motor, and 26 is a Θ drive motor. The image recognition camera 15 is equipped with image recognition cameras 17 and 18 below and on the front end of the lens. The image recognition camera light sources 17 and 18 may have a Z-axis drive mechanism independently of the image recognition camera 15.

【0011】以下図1に示す動作説明図に従って、動作
手順を説明する。先ず図1Aが基板の認識状態である
が、この状態に至る前の動作として、基板3をインプッ
トコンベア7によりマウントステージ1に導入し、イン
プットコンベア7から基板搬送ユニット9にて基板ステ
ージ6に搬送され、マウントポジションに位置決め固定
される。
The operation procedure will be described below with reference to the operation explanatory diagram shown in FIG. First, FIG. 1A shows a board recognition state. As an operation before reaching this state, the board 3 is introduced into the mount stage 1 by the input conveyor 7 and is transferred from the input conveyor 7 to the board stage 6 by the board transfer unit 9. Then, it is positioned and fixed at the mount position.

【0012】ここで画像認識カメラ15と画像認識カメ
ラ用光源18により基板3の位置認識が行われる。基板
3の位置認識は、基板3上のターゲットマークの位置ま
たは基板3の半田ボールが搭載されるランドの位置の認
識により行われる。この結果に従って、XY軸駆動機構
20によるXY位置補正及び半田ボール吸着ヘッド1
3、フラックス転写ヘッド14の回転によるΘ補正が行
われる。その後、図1Bに示されるように、半田ボール
吸着ヘッド13及びフラックス転写ヘッド14が下降
し、半田ボールの吸着及びフラックス供給を行う。
Here, the position of the substrate 3 is recognized by the image recognition camera 15 and the light source 18 for the image recognition camera. Recognition of the position of the substrate 3 is performed by recognizing the position of a target mark on the substrate 3 or the position of a land on the substrate 3 on which a solder ball is mounted. According to the result, the XY position correction by the XY axis driving mechanism 20 and the solder ball suction head 1
3. Θ correction by rotation of the flux transfer head 14 is performed. Thereafter, as shown in FIG. 1B, the solder ball suction head 13 and the flux transfer head 14 descend to perform the suction of the solder ball and the supply of the flux.

【0013】次に、XY軸駆動機構20によりマウント
ヘッド群2は、図1Cに示されるようにフラックス転写
ヘッド14が基板3上方に位置するよう移動し、その後
下降して基板3にフラックスを転写する。このとき画像
認識カメラ15は、半田ボール供給トレイ4の上方に位
置するので、画像認識カメラ用光源18を同17に切り
替えて半田ボールの残量確認が行われる。同時に、半田
ボール吸着ヘッド13はミッシングボール検出用光源1
1の上方にあるため半田ボール吸着検査が行われる。
Next, the mount head group 2 is moved by the XY-axis driving mechanism 20 so that the flux transfer head 14 is positioned above the substrate 3 as shown in FIG. I do. At this time, since the image recognition camera 15 is located above the solder ball supply tray 4, the image recognition camera light source 18 is switched to 17 to check the remaining amount of the solder balls. At the same time, the solder ball suction head 13 is connected to the missing ball detecting light source 1.
1, the solder ball suction inspection is performed.

【0014】半田ボールの残量確認は、画像認識カメラ
用光源17により照射して、画像認識カメラ15で上方
から半田ボール供給トレイ4内の半田ボールの残量を確
認することにより行われる。半田ボール供給トレイ4内
側の底面及び側面を黒色に塗っておくと、半田ボールは
銀色なので、半田ボールがボール供給トレイ4内に十分
あれば明るく、画像処理装置の2値化処理により明の部
分が多いと判断されることにより検知できるのである。
The remaining amount of the solder balls is confirmed by irradiating with the light source 17 for the image recognition camera and confirming the remaining amount of the solder balls in the solder ball supply tray 4 from above by the image recognition camera 15. If the bottom and side surfaces inside the solder ball supply tray 4 are painted black, the solder balls are silver. Therefore, if the solder balls are sufficient in the ball supply tray 4, the solder balls will be bright and will be bright by the binarization processing of the image processing apparatus. Can be detected when it is determined that there is a large number.

【0015】次に、図1Dに示されるように、XY軸駆
動機構20により半田ボール吸着ヘッド13が基板3上
方にへ移動し、その後下降して半田ボールを基板3に搭
載する。このとき画像認識カメラ15は、フラックス供
給トレイ5上方にあり、フラックス残量の確認を行って
いる。
Next, as shown in FIG. 1D, the solder ball suction head 13 is moved above the substrate 3 by the XY axis driving mechanism 20, and then descends to mount the solder balls on the substrate 3. At this time, the image recognition camera 15 is located above the flux supply tray 5 and checks the remaining flux.

【0016】フラックス残量の確認は、画像認識カメラ
用光源17により照射して、画像認識カメラ15で上方
からフラックス供給トレイ5上のフラックスの残量を確
認するが、フラックス供給トレイ5はステンレス製のも
のを利用するため内側底面は銀色であり、フラックスは
通常有色であるのでフラックス残量が少なくなってくる
とフラックス層の厚さが薄くなり、次第に底面の銀色が
現れ、明るくなり、画像処理装置の2値化処理による明
の部分の領域によりフラックス残量の検知ができるので
ある。尚、フラックスの色によってはフラックス供給ト
レイ5の内側底面を黒色にしてもよい。
The remaining amount of the flux is confirmed by irradiating the light source 17 for the image recognition camera and checking the remaining amount of the flux on the flux supply tray 5 from above by the image recognition camera 15. The flux supply tray 5 is made of stainless steel. Because the inner bottom surface is silver color, and the flux is usually colored, the flux layer becomes thinner when the remaining amount of flux decreases, gradually the silver color of the bottom surface appears, becomes brighter, and image processing The remaining amount of the flux can be detected by the area of the light portion by the binarization processing of the apparatus. The inner bottom surface of the flux supply tray 5 may be black depending on the color of the flux.

【0017】その後、図1Eに示されるようにXY軸駆
動機構20により、画像認識カメラ15は、最初の基板
3上方のカメラポジションへ移動し、画像認識カメラ1
5による半田ボール搭載検査を行う。基板3上に搭載さ
れた半田ボールの確認は、半田ボール搭載漏れ、半田ボ
ール搭載位置不良、半田ボール過搭載、半田ボールのサ
イズ不良、半田ボールの外観不良等の確認がなされる。
確認後の基板3は、基板搬送ユニット10によりアウト
プットコンベア8へ移され、搬出される。
Thereafter, as shown in FIG. 1E, the image recognition camera 15 is moved to the first camera position above the substrate 3 by the XY axis driving mechanism 20, and
Then, a solder ball mounting test is performed according to Step 5. The confirmation of the solder balls mounted on the substrate 3 includes checking for solder ball mounting leakage, solder ball mounting position failure, solder ball overloading, solder ball size defect, solder ball appearance defect, and the like.
The board 3 after the confirmation is transferred to the output conveyor 8 by the board transport unit 10 and carried out.

【0018】本実施例でのXYΘ方向への駆動は、マウ
ントヘッド群2の駆動機構により行っているが、XYテ
ーブル上のΘテーブルにマウントステージを形成し、基
板3側の駆動機構により駆動させてもよい。また、基板
ステージ6にXY軸方向の駆動機構を設け、Θ駆動機構
のみをマウントヘッド群2の半田ボール吸着ヘッド13
及びフラックス転写ヘッド14に持たせることとしても
よい。
In the present embodiment, the drive in the XY direction is performed by the drive mechanism of the mount head group 2. A mount stage is formed on the Θ table on the XY table, and the drive mechanism is driven by the drive mechanism on the substrate 3 side. You may. Further, a drive mechanism in the XY axis direction is provided on the substrate stage 6, and only the drive mechanism is mounted on the solder ball suction head 13 of the mount head group 2.
Alternatively, the flux transfer head 14 may be provided.

【0019】以上の実施例はフラックス転写ヘッド14
を別個装備する半田ボールマウント装置に関しての例で
あるが、フラックス転写ピンを必要としない場合、フラ
ックス転写ヘッド14は不必要であり、半田ボール吸着
ヘッド13の動作によりフラックスを半田ボールに直接
転写する方法でもよい。
In the above embodiment, the flux transfer head 14 is used.
This is an example of a solder ball mounting device which is separately equipped, but when a flux transfer pin is not required, the flux transfer head 14 is unnecessary, and the flux is directly transferred to the solder ball by the operation of the solder ball suction head 13. It may be a method.

【0020】この場合の動作が図5及び図6に示されて
いる。図5の例では、先ず画像認識カメラ15が基板3
を認識し(図5A)、次に半田ボールを吸着し(図5
B)、半田ボールにフラックスを付着させ(図5C)、
基板3に半田ボールを搭載する(図5D)。その後、フ
ラックス残量を確認し(図5E)、半田ボール搭載を確
認し(図5F)、基板3を搬出するとともに半田ボール
残量を確認する(図5G)という動作手順となる。
The operation in this case is shown in FIG. 5 and FIG. In the example of FIG. 5, first, the image recognition camera 15
(FIG. 5A), and then adsorbs the solder ball (FIG. 5A).
B), flux is applied to the solder balls (FIG. 5C),
The solder balls are mounted on the substrate 3 (FIG. 5D). Thereafter, the operation procedure is such that the remaining amount of the flux is confirmed (FIG. 5E), the mounting of the solder ball is confirmed (FIG. 5F), the substrate 3 is carried out, and the remaining amount of the solder ball is confirmed (FIG. 5G).

【0021】図6に示される第3実施例では、半田ボー
ル吸着ヘッド13と画像認識カメラ15の位置関係が、
基板3とフラックス供給トレイ5の位置関係と同じ条件
に設定されたマウントヘッド群2を利用したものであっ
て、先ず画像認識カメラ15が基板3を認識し(図6
A)、次に半田ボールを吸着し(図6B)、半田ボール
にフラックスを付着させ(図6C)、次に基板3に半田
ボールを搭載するが、その時同時に、フラックス残量を
確認し(図6D)、半田ボール搭載を確認する(図6
E)。その後に基板3を搬送するとともに半田ボール残
量を確認する(図6F)という動作手順となる。
In the third embodiment shown in FIG. 6, the positional relationship between the solder ball suction head 13 and the image recognition camera 15 is as follows.
This is a mount head group 2 set under the same conditions as the positional relationship between the substrate 3 and the flux supply tray 5, and the image recognition camera 15 first recognizes the substrate 3 (FIG. 6).
A) Then, the solder balls are adsorbed (FIG. 6B), flux is attached to the solder balls (FIG. 6C), and then the solder balls are mounted on the substrate 3. At the same time, the remaining flux is checked (FIG. 6B). 6D), confirm solder ball mounting (FIG. 6)
E). Thereafter, the operation procedure is such that the substrate 3 is transported and the remaining amount of the solder balls is confirmed (FIG. 6F).

【0022】以上の第1実施例より第3実施例まではと
もに図2のマウントステージ1を利用したものである
が、マウントステージ1はこれに限定されるものではな
く、図7に示すようなマウントステージ1においても利
用できる。この場合にも図8に示すように前例と同じマ
ウントヘッド群2を利用することが可能である。
Although the first to third embodiments use the mount stage 1 shown in FIG. 2, the mount stage 1 is not limited to this. It can also be used in the mount stage 1. Also in this case, as shown in FIG. 8, the same mount head group 2 as the previous example can be used.

【0023】図7のマウントステージ1での動作手順の
一例を示せば、基板3を導入して、基板3をマウントポ
ジションに移動し、クランプして位置決めを行う。この
時、フラックス転写ヘッド14及び半田ボール吸着ヘッ
ド13は、同時にフラックス供給及び半田ボール吸着を
行う。半田ボール吸着ヘッド13は、ミッシングボール
検出用光源11を受け、ミッシング検査及びダブルボー
ル検査を行う。この検査で不合格の場合、吸着された半
田ボールは、半田ボール排出ボックス27に戻される。
If an example of the operation procedure in the mount stage 1 in FIG. 7 is shown, the substrate 3 is introduced, the substrate 3 is moved to the mount position, and the position is determined by clamping. At this time, the flux transfer head 14 and the solder ball suction head 13 simultaneously perform flux supply and solder ball suction. The solder ball suction head 13 receives the missing ball detection light source 11 and performs a missing inspection and a double ball inspection. If the inspection fails, the sucked solder balls are returned to the solder ball discharge box 27.

【0024】マウントヘッド群2のXY軸駆動機構20
により、画像認識カメラ15は、カメラポジションであ
る基板3上方へ移動し、画像認識カメラ15により基板
3の位置を認識し、その結果に従ってXY軸駆動機構2
0によるXY位置補正を行う。該位置補正は、半田ボー
ル吸着ヘッド13、フラックス転写ヘッド14の回転に
よるΘ補正でも行われる。尚、ここで行われる位置認識
は、第1実施例の場合と同様である。
XY axis drive mechanism 20 of mount head group 2
, The image recognition camera 15 moves above the board 3 which is a camera position, recognizes the position of the board 3 by the image recognition camera 15, and according to the result, the XY-axis driving mechanism 2
XY position correction using 0 is performed. The position correction is also performed by Θ correction by rotation of the solder ball suction head 13 and the flux transfer head 14. Note that the position recognition performed here is the same as in the first embodiment.

【0025】続いてXY軸駆動機構20により、フラッ
クス転写ヘッド14は、基板3のフラックスポジション
へ移動し、フラックスを転写する。更に、XY軸駆動機
構20により半田ボール吸着ヘッド13は、基板3のボ
ールポジションへ移動し、半田ボールを基板3に搭載す
る。そして、XY軸駆動機構20により、画像認識カメ
ラ15は、上記カメラポジションへ移動し、基板3上の
半田ボール搭載検査を行う。
Subsequently, the flux transfer head 14 is moved to the flux position of the substrate 3 by the XY-axis drive mechanism 20, and transfers the flux. Further, the XY-axis drive mechanism 20 moves the solder ball suction head 13 to a ball position on the substrate 3, and mounts the solder ball on the substrate 3. Then, the image recognition camera 15 is moved to the above-mentioned camera position by the XY-axis drive mechanism 20, and performs a solder ball mounting inspection on the substrate 3.

【0026】その後、XY軸駆動機構20により画像認
識カメラ15が、ボールトレイポジションである半田ボ
ール供給トレイ4へ移動し、画像認識カメラ15による
半田ボールの残量の確認を行い、更に画像認識カメラ1
5をフラックストレイポジションであるフラックス供給
トレイ5へ移動し、画像認識カメラ15によりフラック
スの残量の確認を行う。
Thereafter, the image recognition camera 15 is moved to the solder ball supply tray 4 at the ball tray position by the XY axis drive mechanism 20, and the image recognition camera 15 confirms the remaining amount of the solder balls. 1
5 is moved to the flux supply tray 5 which is a flux tray position, and the remaining amount of the flux is confirmed by the image recognition camera 15.

【0027】以上で1サイクルの動作が完了し、XY軸
駆動機構20により原点に戻る。続いて、マウント箇所
に対応した回数のフラックス供給ボール吸着の工程から
の工程を繰り返すこととなる。
Thus, one cycle of the operation is completed, and the XY-axis driving mechanism 20 returns to the origin. Subsequently, the steps from the step of sucking the flux supply ball corresponding to the mounting position are repeated.

【0028】[0028]

【発明の効果】本発明は以下のような効果を発揮する。
第1に画像認識カメラが半田ボール吸着ヘッドと同一の
保持体に保持されるものであるため、独立の駆動機構を
設けることなく、マウントステージ上の半田ボール供給
トレイやフラックス供給トレイ上に移動することが容易
であり、一台の画像認識カメラにより請求項1の発明で
は、半田ボール残量の確認を行うことができ、請求項2
の発明ではフラックス残量の確認を行うことができ、請
求項3の発明では両残量の確認を行うことができるもの
となった。
The present invention has the following effects.
First, since the image recognition camera is held on the same holder as the solder ball suction head, it moves onto the solder ball supply tray or the flux supply tray on the mount stage without providing an independent drive mechanism. According to the first aspect of the present invention, the remaining amount of the solder balls can be confirmed by one image recognition camera.
According to the invention, the remaining amount of flux can be confirmed, and in the invention of claim 3, both remaining amounts can be confirmed.

【0029】第2に、各種駆動を半田ボール吸着ヘッド
及び画像認識カメラ側で行うこととすれば、基板の認識
及びそれにともなう位置補正、半田ボール搭載後の検査
とも基板を動かさないで行えるのでターゲットマークが
無い基板であっても絶対的位置が検出でき、正確なる半
田ボール塔載検査が可能となった。
Second, if various kinds of driving are performed by the solder ball suction head and the image recognition camera, the recognition of the board, the position correction accompanying the same, and the inspection after the solder ball is mounted can be performed without moving the board. The absolute position can be detected even on a substrate having no mark, and accurate solder ball mounting inspection can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る第1実施例の動作説明図FIG. 1 is a diagram illustrating the operation of a first embodiment according to the present invention.

【図2】マウントステージの平面図FIG. 2 is a plan view of a mount stage.

【図3】マウントヘッド群の正面図FIG. 3 is a front view of a mount head group.

【図4】半田ボール吸着ヘッドの側面図FIG. 4 is a side view of a solder ball suction head.

【図5】本発明の第2実施例の動作説明図FIG. 5 is an operation explanatory diagram of a second embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第3実施例の動作説明図FIG. 6 is an operation explanatory diagram of a third embodiment of the present invention.

【図7】マウントステージの他の例を示す平面図FIG. 7 is a plan view showing another example of the mount stage.

【図8】同ステージとマウントヘッド群との関係を示す
平面図
FIG. 8 is a plan view showing a relationship between the stage and a mount head group.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 マウントステージ 2 マウントヘッド群 3 基板 4 半田ボール供給トレイ 5 フラックス供給トレイ 6 基板ステージ 7 インプットコンベア 8 アウトプットコンベア 9、10 基板搬送ユニット 11 ミッシングボール検出用光源 12 フラックススキージ 13 半田ボール吸着ヘッド 14 フラックス転写ヘッド 15 画像認識カメラ 16 ヘッドベース 17、18 画像認識カメラ用光源 20 XY軸駆動機構 21 X軸駆動モータ 22 Y軸駆動モータ 23 Z軸駆動機構 24 Θ駆動機構 25 Z軸駆動モータ 26 Θ駆動モータ 27 半田ボール排出ボックス DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Mount stage 2 Mount head group 3 Substrate 4 Solder ball supply tray 5 Flux supply tray 6 Substrate stage 7 Input conveyor 8 Output conveyor 9, 10 Substrate transfer unit 11 Missing ball detection light source 12 Flux squeegee 13 Solder ball suction head 14 Flux Transfer head 15 Image recognition camera 16 Head base 17, 18 Light source for image recognition camera 20 XY axis drive mechanism 21 X axis drive motor 22 Y axis drive motor 23 Z axis drive mechanism 24 Θ Drive mechanism 25 Z axis drive motor 26 Θ drive motor 27 Solder ball discharge box

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】半田ボールを基板上の所定位置に搭載する
半田ボールマウント装置において、画像認識カメラを半
田ボール吸着ヘッドと同一の保持体にて保持し、該同一
の画像認識カメラにより、基板上のターゲットマークの
位置または半田ボールが搭載されるランド位置の確認
と、半田ボールの残量の確認と、基板に半田ボールが適
正に搭載されたかどうかの確認とを行うことを特徴とす
る半田ボールマウント装置。
In a solder ball mounting apparatus for mounting a solder ball at a predetermined position on a substrate, an image recognition camera is held by the same holder as a solder ball suction head, and the image recognition camera is mounted on the substrate by the same image recognition camera. A solder ball characterized by confirming the position of the target mark or the land position where the solder ball is mounted, checking the remaining amount of the solder ball, and checking whether the solder ball is properly mounted on the substrate. Mounting device.
【請求項2】半田ボールを基板上の所定位置に搭載する
半田ボールマウント装置において、画像認識カメラを半
田ボール吸着ヘッドと同一の保持体にて保持し、該同一
の画像認識カメラにより、基板上のターゲットマークの
位置または半田ボールが搭載されるランド位置の確認
と、フラックスの残量の確認と、基板に半田ボールが適
正に搭載されたかどうかの確認とを行うことを特徴とす
る半田ボールマウント装置。
2. In a solder ball mounting apparatus for mounting a solder ball at a predetermined position on a substrate, an image recognition camera is held by the same holder as a solder ball suction head, and the image recognition camera is mounted on the substrate by the same image recognition camera. A solder ball mount characterized by checking the position of the target mark or the land position where the solder ball is mounted, checking the remaining amount of flux, and checking whether the solder ball is properly mounted on the board. apparatus.
【請求項3】半田ボールを基板上の所定位置に搭載する
半田ボールマウント装置において、画像認識カメラを半
田ボール吸着ヘッドと同一の保持体にて保持し、該同一
の画像認識カメラにより、基板上のターゲットマークの
位置または半田ボールが搭載されるランド位置の確認
と、半田ボールの残量の確認と、フラックスの残量の確
認と、基板に半田ボールが適正に搭載されたかどうかの
確認とを行うことを特徴とする半田ボールマウント装
置。
3. A solder ball mounting apparatus for mounting a solder ball at a predetermined position on a substrate, wherein the image recognition camera is held by the same holder as the solder ball suction head, and the image recognition camera is mounted on the substrate by the same image recognition camera. Check the target mark position or land position where the solder ball is mounted, check the remaining solder ball, check the remaining flux, and check whether the solder ball is properly mounted on the board. A solder ball mounting apparatus.
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