JPH10320049A - 自走式搬送台車の走行制御方法および搬送システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＡＧＶ（自走式搬送台車）の入線時における
ステーションマークの確認間違いによる入線作業ミスを
なくし、移動先として指定した目的のステーションに確
実に移動できるようにする。 【解決手段】 ＡＧＶ２の停止位置（ステーション）に
停止位置情報を持ったバーコード６を貼るとともに、Ａ
ＧＶ２にバーコードリーダ４を設け、停止位置情報の読
み取りおよびＡＧＶ２への登録等をバーコードの読み取
りによって自動的に行うようにすることにより、人手に
よる停止位置情報の目視確認作業や人手による入力作業
を不要となし、ＡＧＶ入線作業を簡略化するとともに、
停止位置情報の登録ミスをなくすことができるようにす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は自走式搬送台車の走
行制御方法および搬送システムに関し、特に、半導体製
造ライン等においてウエハ等の搬送物を搬送する搬送ロ
ボットシステムに用いて好適なものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体等の製造ラインにおいて
は、作業効率等のためにウエハ等の搬送ロボットシステ
ムが用いられることが多い。この搬送ロボットシステム
は、一般的には自走式搬送台車（Automated Guided Veh
icle：以下ＡＧＶという）と、床上に敷設された走行ガ
イドテープおよびステーションマークと、ステーション
マーク付近に設置されたロボットアーム等とから構成さ
れる。通常、ステーションマークは、ガイドテープに沿
って複数箇所に設けられている。

【０００３】ＡＧＶは、走行のためにエンコーダ付きモ
ータを使用し、設定されたエンコーダ値量だけ床に貼ら
れたガイドテープ上を走行した後停止する。そして、Ａ
ＧＶが備えるステーションマーク検知用センサにてステ
ーションマークの有無を確認し、ロボットアーム等によ
り搬送物を移載する。

【０００４】このような搬送ロボットシステムを自動で
立ち上げる際に必要な作業として、ＡＧＶ入線作業があ
る。この入線作業の内容はおおよそ以下の通りである。 １）ＡＧＶを手動で走行させ、ガイドテープ上にのせ
る。 ２）ＡＧＶ操作パネルよりガイドテープおよびステーシ
ョンマークをサーチさせる。 ３）ＡＧＶがサーチし、停止したステーションが何番の
ステーションかを目視にて確認する。 ４）確認したステーション番号をＡＧＶ操作パネルより
入力する。 ５）ＡＧＶ操作パネルよりオンライン（自動走行）に設
定する。

【０００５】図４は、従来の搬送ロボットシステムにお
けるＡＧＶ立ち上げ時の操作フローを説明するためのフ
ローチャートである。以下、このフローチャートに従っ
て上記１）〜５）の流れを更に詳しく説明する。

【０００６】図４において、まず最初に作業者は、ＡＧ
Ｖ手動操作パネルにて操作をするためのスイッチをオン
にする（ステップＳ１）。次に、ＡＧＶにガイドテープ
をサーチさせるために、ＡＧＶが備えるガイドテープ検
知用センサがオンとなる場所（ガイドテープ上）にＡＧ
Ｖを手動操作にて移動させる（ステップＳ２）。そし
て、ＡＧＶにガイドテープとステーションマークとの両
方を検知する動作を行わせるために、サーチ開始ボタン
を押す（ステップＳ３）。

【０００７】上記ステップＳ３にてサーチ開始ボタンが
押されたことに対応してＡＧＶは、サーチ動作を開始す
る（ステップＳ４１）。ここでは、ＡＧＶはまず、ガイ
ドテープをサーチしながら低速で走行を開始し、ステー
ションマークを検知するまで前進する。そして、ガイド
テープとステーションマークとの両方を最初に検知した
状態でＡＧＶは走行を停止する。

【０００８】ＡＧＶの走行が停止したら、作業者は、Ａ
ＧＶがサーチ動作の結果現在どのステーションに停止し
ているのかを目視にて確認する（ステップＳ４２）。す
なわち、ステーションマークには番号が付されているの
で、作業者はそのステーション番号を確認する作業をこ
こで行う。このステーション番号は、後述するようにＡ
ＧＶに登録して自動走行を行わせるために重要な要素で
あるので、見間違わないように注意することが必要であ
る。

【０００９】目視にてステーション番号を確認した後、
作業者は、ＡＧＶ本体の操作パネルよりＡＧＶが何番の
ステーションに停止しているのかを登録する（ステップ
Ｓ４３）。この作業を行わないと、ＡＧＶが備える上位
制御部は、ＡＧＶが現在どのステーションに停止してい
るのかを把握できないため、的確な移動指示を出すこと
ができなくなってしまう。

【００１０】以上のようにしてステーション番号の入力
が完了したら、ＡＧＶをオンラインモードに切り替える
（ステップＳ５）。すなわち、上位制御部からの指示に
基づき、移動指示を受け付けてＡＧＶを動作させるため
のモードに切り替える。このオンライン運用時のＡＧＶ
走行制御フローは、次の図５に示す通りである。

【００１１】図５に示すオンラインモード時において、
まず最初に作業者は、複数あるステーションのうち、Ａ
ＧＶをどのステーションまで走行させるのかの指示を入
力する（ステップＳ１１）。この移動指示は、例えば目
的のステーションの番号を入力することによって行う。
このＡＧＶ移動指示の入力後、移動指示を受けたＡＧＶ
は、故障状態でない限り、現在の位置（入線作業により
登録されたステーション位置）から自動走行を開始する
（ステップＳ１２）。

【００１２】上述したように、ＡＧＶの走行モータには
エンコーダ付きのモータが使用されており、このエンコ
ーダのカウント値で走行量を制御している。エンコーダ
は、ＡＧＶの走行開始によりモータが回転を開始すると
同時に、カウント動作を始める（ステップＳ１３）。

【００１３】次に、図４のＡＧＶ入線作業により番号の
入力されたステーションから、上記ステップＳ１１にて
移動先として指示された目的ステーションの方向にＡＧ
Ｖが走行した場合に、次に検出されるべきステーション
までのエンコーダ値がいくつなのかという値を、あらか
じめＡＧＶに初期設定として登録してある各ステーショ
ン情報から算出する（ステップＳ１４）。

【００１４】ＡＧＶは、上記ステップＳ１２にて走行を
開始してからずっと走行を続けている。このとき、ＡＧ
Ｖの走行により増加するモータの回転数に応じて、エン
コーダのカウント値も増加していく。そして、上記ステ
ップＳ１４で算出されたエンコーダ値の分だけＡＧＶが
走行（移動）を完了すると（ステップＳ１５）、ＡＧＶ
は、ステーションマーク用センサがＯＮになっているか
否か、すなわち、ステーションマークを検出したか否か
を判断する（ステップＳ１８）。

【００１５】ステーションマークを検出した場合には、
そのステーションが目的のステーション（ＡＧＶに指示
入力された移動先ステーション）であるか否かを更に判
断する（ステップＳ１９）。ＡＧＶは、オンラインモー
ドへの移行時に位置していたステーションの番号と目的
ステーションの番号とを把握しているので、最終目的地
までの走行中に幾つのステーションを経由するかを知る
ことができる。そこで、例えば経由したステーションの
数をカウントすることにより、ＡＧＶが目的のステーシ
ョンに到着したか否かを判断することができる。また、
オンラインモードへの移行時に位置していたステーショ
ンから目的のステーションに至るまでのエンコーダ値を
算出しておき、エンコーダカウンタの値がそれに達した
かどうかを見ることによっても判断することができる。

【００１６】いずれにしても、ＡＧＶが目的の移動先ス
テーションに到着した場合には、ＡＧＶは走行を停止す
る（ステップＳ２０）。一方、ＡＧＶがまだ目的ステー
ションに到着していない場合、すなわち、そのステーシ
ョンが目的ステーションに至るまでの途中にある経由ス
テーションである場合には、ステップＳ１２に戻って更
に走行を続ける。

【００１７】また、上記ステップＳ１８において、設定
されたエンコーダ値の分だけＡＧＶが移動したにもかか
わらずそこでステーションマークが検出されなかった場
合には、何らかの異常があると見なしてＡＧＶはエラー
にて走行を停止する（ステップＳ２１）。このとき作業
者は、異常の原因が何であるかを判断して、適切な処置
を行う必要がある。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】上述の異常の原因とし
ては、ＡＧＶ入線作業時におけるステーション番号の入
力間違いによる場合と、ＡＧＶが機械的に故障している
場合等とが考えられる。すなわち、各ステーション間の
距離が異なる場合には、ＡＧＶ入線作業時にステーショ
ン番号の入力間違いがあると、図５のステップＳ１４で
は、次のステーションに至るまでのエンコーダ値が間違
って算出されてしまうことになる。そのため、ＡＧＶが
そのエンコーダ値の分だけ正確に移動しても、そこでは
ステーションマークが検出されずエラーとなってしま
う、つまり、ＡＧＶが正しい位置に走行（移動）されな
くなってしまうという事態が生じ得る。

【００１９】このように、ＡＧＶ入線作業時にステーシ
ョン番号を正しく入力することは、エラー発生を防止す
る上で非常に重要なことである。しかしながら、上記従
来の技術では、ステーションマーク検知用センサはＡＧ
Ｖの下面に備えられているため、人手によるステーショ
ン番号の目視確認作業時に、ステーションマークがＡＧ
Ｖの下に隠れてしまい、目視での確認は非常に困難であ
った。そのため、ステーション番号の確認ミスを完全に
防ぐことはできなかった。

【００２０】また、ステーションマーク用センサは、一
般的には、マーク下に埋めた電線に低周波電流を流して
おき、そこから発生する磁界をコイルで検出する磁気セ
ンサや、光を照射しながら光学誘導式のマークから反射
する光量を検出する反射センサが使用されている。

【００２１】これらのセンサは磁界や光量によるＯＮ／
ＯＦＦ制御でマーク検知精度が±１０mmとあいまいなの
で、各ステーション間の距離がほぼ同じ場合（距離差が
±１０mm以内の場合）には、入線作業時にステーション
番号の入力ミスがあっても一応はステーションマークが
検出されてしまい、エラーが発生しない。

【００２２】よって、上記従来の技術では、各ステーシ
ョン間の距離がほぼ同じ場合には実際にＡＧＶの移動し
た場所が正しい場所に移動したかどうかを確認すること
ができず、最終的にＡＧＶが間違った場所に移動してし
まう場合もあった。そのため、最初の入線作業ミスが複
雑困難なトラブルを発生させ、大きな事故となりかねな
いという問題点があった。

【００２３】本発明は、このような問題を解決するため
に成されたものであり、ＡＧＶ（自走式搬送台車）の入
線時におけるステーションマークの確認間違いによる入
線作業ミスをなくし、これによるエラー発生を有効に防
止できるようにするとともに、移動先として指定した目
的のステーションにＡＧＶが確実に移動できるようにす
ることを目的とする。

【００２４】

【課題を解決するための手段】本発明の搬送システム
は、自走式搬送台車を用いた物品の搬送システムにおい
て、上記自走式搬送台車の停止位置部の床上に停止位置
情報を持ったバーコードを設けるとともに、上記自走式
搬送台車に上記停止位置情報を読み取るバーコードリー
ダを設けたことを特徴とする。

【００２５】本発明の他の特徴とするところは、上記自
走式搬送台車の入線作業時に上記バーコードリーダによ
り読み取った停止位置情報を、自動走行時における停止
位置確認のための初期停止位置として登録する制御装置
を備える。

【００２６】本発明のその他の特徴とするところは、上
記制御装置は、上記自走式搬送台車の自動走行時に上記
バーコードリーダに停止位置情報を読み取らせ、読み取
った停止位置情報と上記初期停止位置から導かれる正し
い停止位置情報とから、停止位置を確認する処理を行
う。

【００２７】本発明の自走式搬送台車の走行制御方法
は、床に貼られたガイドテープを検知しながら当該ガイ
ドテープに沿って自動的に走行する自走式搬送台車の走
行制御方法であって、上記自走式搬送台車の入線作業時
に、停止位置部の床上に貼られたバーコードで示される
停止位置情報を、上記自走式搬送台車に設けたバーコー
ドリーダを用いて読み取り、読み取った停止位置情報
を、上記自走式搬送台車の自動走行時における停止位置
確認のための初期停止位置として登録し、上記入線作業
後の自動走行時に、上記バーコードリーダを用いて停止
位置情報を読み取り、読み取った停止位置情報と、上記
入線作業時に登録された初期停止位置から導かれる停止
位置情報とから、上記自走式搬送台車が自動走行により
正しい位置に停止したかどうかを確認するようにしたこ
とを特徴とする。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の一
実施形態を説明する。図１は、本発明を適用した一実施
形態による搬送ロボットシステムの概要を示す図であ
る。

【００２９】図１において、走行ガイドテープ１は、半
導体製造ライン等においてウエハカセット等の搬送物３
を搬送するためのＡＧＶ（自走式搬送台車）２用の走行
路である。このガイドテープ１は、例えば低周波電流を
流す電線を備えて構成されたり、あるいはステンレスや
アルミニウムなどの光反射テープにより構成される。Ａ
ＧＶ２は、このガイドテープ１を磁気センサや反射セン
サ等で感知しながら、ガイドテープ１に沿って、図示し
ない走行エンコーダモータにて設定されたエンコーダ値
通り走行する。なお、このようなエンコーダ値に基づく
ＡＧＶ２の走行制御は、以下に述べる停止位置の確認も
含めて主に制御装置８が行っている。

【００３０】上記ウエハカセット等の搬送物３は、ＡＧ
Ｖ２上に載せ、搬送指示を出すことによって床上に貼ら
れたステーションマーク７の所まで自動で搬送させるこ
とができる。図１に示すように、ステーションマーク７
は、ガイドテープ１から一定距離のところに、ガイドテ
ープ１に沿って所定間隔をあけて複数個設けられてお
り、それぞれにはＮo.１、Ｎo.２、・・・のようなステ
ーション番号が順に割り当てられている。図１の例で
は、Ｎo.１−Ｎo.２間の距離と、Ｎo.２−Ｎo.３間の距
離とは異なっている。これら複数のステーションマーク
７のうち、搬送物３をどこまで搬送させるかは、作業者
が自由に指示することができる。

【００３１】本実施形態では、各ステーションに割り当
てられたＮo.１、Ｎo.２、・・・のステーション番号等
を含むステーション情報（停止位置情報）を表すものと
して、バーコード６をステーションマーク７の近傍に設
けている。また、本実施形態では、ＡＧＶ２の停止後に
（エンコーダ値の分だけ走行して自動的に停止した後
に）走行が正常に完了したかどうかの確認用として、Ａ
ＧＶ２の下面にバーコードリーダ４とステーションマー
ク用センサ５とを取り付けている。これにより、走行し
ながら常にステーション情報を得ることができるように
している。

【００３２】図１の例では、ＡＧＶ２の移動に対してバ
ーコード６→ステーションマーク７の順番で検出が行わ
れるように、進行方向である図の左側からステーション
マーク７、バーコード６の順で床にマークを貼るととも
に、ＡＧＶ２の前方からバーコードリーダ４、ステーシ
ョンマーク用センサ５の順に検知器を設置する。これに
より、ステーションマーク用センサ５がステーションマ
ーク７を検知するときには、既にバーコードリーダ４が
バーコード６を読み取っている状態にすることができ
る。

【００３３】ステーションマーク用センサ５は、ＡＧＶ
２の停止後の位置確認用のセンサであり、一般的に磁気
センサあるいは反射センサが使用される。これにより、
センサのＯＮ／ＯＦＦで、設定されたエンコーダの値に
従って実際にＡＧＶ２が移動した場所が正しい場所に移
動したかどうかを確認することができる。しかし、従来
例で述べたように、このセンサは精度が±１０mmとあい
まいなため、各ステーション間のエンコーダ値がほぼ同
数値の場合（距離がほぼ同じである場合）は、移動場所
が正しくなくてもＯＮとなってしまう場合があり、移動
場所が本当に正しいかどうかは確実なものとは言えな
い。

【００３４】一方、本実施形態で取り付けたバーコード
リーダ４は、各ステーションマーク７の横に貼られたバ
ーコード（ステーション情報マーク）６よりステーショ
ン番号等のステーション情報をＡＧＶ２の走行中に常に
読み取っている。これにより、読み取ったステーション
番号と、ＡＧＶ入線作業での初期停止位置から導かれる
正しいステーション番号とを比較することによって、Ａ
ＧＶ２の移動場所が本当に正しいかどうかを確実に判断
することができる。

【００３５】また、このバーコードリーダ４とバーコー
ド６とを設けることにより、システム（パソコン等）上
でＡＧＶ２の初期停止位置を認識させるための入線作業
を、次のように簡略、確実なものとすることもできる。
すなわち、ＡＧＶ２を手動操作にてガイドテープ１上に
誘導し、ＡＧＶ２の図示しない操作パネルよりガイドテ
ープ１およびステーションマーク７を感知（サーチ）さ
せる作業を行うことにより、ＡＧＶ２は、ガイドテープ
１を感知しながら走行し、ステーションマーク７を感知
したところで停止する。

【００３６】その後バーコードリーダ４は、停止した位
置のバーコード（ステーション情報用マーク）６を読み
とる。ＡＧＶ２は、ガイドーテープ１、ステーションマ
ーク７およびバーコード６を一回の操作で全て自動で感
知（サーチ）したところで、そのまま自動的にオンライ
ン状態で立ち上がる。このように、本実施形態によれ
ば、作業者がステーション番号を目視にて確認する作業
を行わなくて済むとともに、オンライン状態に切り替え
る作業も行わなくて済む。

【００３７】図２は、本実施形態による搬送システムの
ＡＧＶ立ち上げ時（ＡＧＶ入線時）における操作フロー
を示すフローチャートである。なお、図２において、図
４に示した従来の処理ステップと同じ処理には同一のス
テップ番号を付して説明を省略し、以下では従来方式と
の違う部分についてのみ説明する。

【００３８】図２において、ステップＳ３にてガイドテ
ープ１およびステーションマーク７のサーチを開始した
後、サーチ動作によりガイドテープ１とステーションマ
ーク７との両方を検知した時点でＡＧＶ２の走行は停止
するが、そのステーションマーク７の脇には必ずバーコ
ード（ステーション情報マーク）６が貼られているの
で、そのステーション情報マークもバーコードリーダ４
にて自動的に読みとる（ステップＳ４）。

【００３９】このように、本実施形態のＡＧＶ２では、
バーコードリーダ４によりステーション情報（ステーシ
ョン番号）が自動的に得られるので、サーチ動作が完了
して走行が停止した時点で何番のステーションに停止し
たのかを把握している状態となっている。よって、作業
者は、ステーション番号を目視にて確認してＡＧＶ２に
登録する作業や、登録後にオンライン状態に切り替える
作業を行わなくても済む。これにより、ステーション番
号の入力ミスも確実に防ぐことができる。

【００４０】図３は、本実施形態による搬送システムの
オンライン運用時におけるＡＧＶ走行制御フローを示す
フローチャートである。なお、図３において、図５に示
した従来の処理ステップと同じ処理には同一のステップ
番号を付して説明を省略し、以下では従来方式との違う
部分についてのみ説明する。

【００４１】図３において、ステップＳ１４にて算出さ
れたエンコーダ値の分だけＡＧＶ２が走行（移動）を完
了した後（ステップＳ１５）、ＡＧＶ２に備えられたバ
ーコードリーダ４は、停止位置のステーションマーク７
の横に貼られたバーコード（ステーション情報マーク）
６によりステーション番号等のステーション情報を読み
取る（ステップＳ１６）。

【００４２】そして、その読み取ったステーション番号
が、制御上読み取られるべきステーション番号（図２の
ＡＧＶ入線作業で設定された初期停止位置から導かれる
正しいステーション番号。例えば、入線作業でＮo.２の
ステーションからオンライン動作を開始した場合は、次
にＡＧＶ２が停止すべきステーションはＮo.３のステー
ションである）と同じである否かを確認する（ステップ
Ｓ１７）。

【００４３】ここで、同じである場合にはステップＳ１
８に進むが、同じでない場合にはステップＳ２１に進
み、何らかの異常があると見なしてＡＧＶ２はエラーに
て走行を停止する。ただし、従来の技術との違いは、こ
のステップＳ１７およびステップＳ１８での判断の結果
ＡＧＶエラー停止となった場合、入線ミスはないのでＡ
ＧＶ２が機械的に故障していると直ちに判断することが
できる。したがって、エラー発生に対する対応をより迅
速、確実に行うことができるようになる。これを言い換
えると、本実施形態によれば入線ミスは全くなくなるの
で、ＡＧＶ２に故障がない限り、各ステーション間の距
離によらず目的ステーションまで搬送物３を確実に搬送
することができるようになる。

【００４４】なお、ステップＳ１９において、従来は目
的ステーションまでのエンコーダ値や経由ステーション
の数をもとにＡＧＶ２が目的ステーションに到着したか
否かを判定していたが、本実施形態ではバーコードリー
ダ４によりステーション番号を走行中に常に読み取って
いるので、読み取ったステーション番号をもとにＡＧＶ
２が目的ステーションに到着したか否かを簡単に判定す
ることができる。

【００４５】以上詳しく説明したように、本実施形態に
よれば、ＡＧＶ２の停止位置となる床上にステーション
情報を持ったバーコード６を貼るとともに、ＡＧＶ２に
バーコードリーダ４を取り付けることにより、ステーシ
ョン情報の読み取りおよびＡＧＶ２への登録等を人手に
よらず自動的に行えるようにしているので、入線作業時
におけるステーション情報の確認ミスや入力ミスを確実
に防ぐことができ、これによるトラブルを全くなくすこ
とができる。

【００４６】すなわち、図１のように各ステーション間
の距離が異なっている場合には、入線作業時におけるス
テーション情報の入力ミスによって、オンライン動作時
にＡＧＶ２が次に停止すべき位置までのエンコーダ値が
誤って算出されてしまうことを防ぐことができ、エラー
発生を確実に防ぐことができる。また、各ステーション
間の距離がほぼ同じである場合には、ＡＧＶ２の停止位
置が正しいかどうかを判断できなくなってしまうために
エラー発生すべきであるのに発生されないという不都合
を確実に防ぐことができる。これにより、故障がない限
りＡＧＶ２を常に正しい位置に走行（移動）させること
ができる。

【００４７】なお、以上の実施形態では、ステーション
マーク７とバーコード６とを床上に並べて貼るようにし
ているが、各ステーション間でステーション情報を必ず
読み取ることができるようにすれば、必ずしもこのよう
に並べて設ける必要はない。また、ステーションマーク
７は省略し、バーコード６のみをＡＧＶ２の停止位置と
なる場所に貼るようにしても良い。

【００４８】

【発明の効果】本発明は上述したように、自走式搬送台
車の停止位置部の床上に停止位置情報を持ったバーコー
ドを設けるとともに、自走式搬送台車に停止位置情報を
読み取るバーコードリーダを設けたので、第１に、バー
コードにより停止位置情報を自動で得ることができるた
め、人手による目視確認作業や人手による入力作業が不
要となる。これにより、ＡＧＶ入線作業を簡略化して作
業効率を上げることができるとともに、停止位置情報の
確認ミスや入力ミスによるトラブルを全くなくすことが
できる。第２に、自動走行時に停止位置情報を常に得な
がら走行ができるので、何らかの走行系トラブルが発生
した場合に走行を即停止させることができ、より確実な
安全運転を確保することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した一実施形態による搬送システ
ムの概要を示す図である。

【図２】本実施形態による搬送システムのＡＧＶ立ち上
げ時（ＡＧＶ入線時）における操作フローを示すフロー
チャートである。

【図３】本実施形態による搬送システムのオンライン運
用時におけるＡＧＶ走行制御フローを示すフローチャー
トである。

【図４】従来の搬送システムのＡＧＶ立ち上げ時（ＡＧ
Ｖ入線時）における操作フローを示すフローチャートで
ある。

【図５】従来の搬送システムのオンライン運用時におけ
るＡＧＶ走行制御フローを示すフローチャートである。

【符号の説明】

１ 走行ガイドテープ ２ ＡＧＶ（自走式搬送台車） ３ 搬送物 ４ バーコードリーダ ５ ステーションマーク用センサ ６ バーコード（ステーション情報マーク） ７ ステーションマーク ８ 制御装置

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 自走式搬送台車を用いた物品の搬送シス
   テムにおいて、 上記自走式搬送台車の停止位置部の床上に停止位置情報
   を持ったバーコードを設けるとともに、上記自走式搬送
   台車に上記停止位置情報を読み取るバーコードリーダを
   設けたことを特徴とする搬送システム。
2. 【請求項２】 上記自走式搬送台車の入線作業時に上記
   バーコードリーダにより読み取った停止位置情報を、自
   動走行時における停止位置確認のための初期停止位置と
   して登録する制御装置を備えたことを特徴とする請求項
   １に記載の搬送システム。
3. 【請求項３】 上記制御装置は、上記自走式搬送台車の
   自動走行時に上記バーコードリーダに停止位置情報を読
   み取らせ、読み取った停止位置情報と上記初期停止位置
   から導かれる正しい停止位置情報とから、停止位置を確
   認する処理を行うことを特徴とする請求項２に記載の搬
   送システム。
4. 【請求項４】 床に貼られたガイドテープを検知しなが
   ら当該ガイドテープに沿って自動的に走行する自走式搬
   送台車の走行制御方法であって、 上記自走式搬送台車の入線作業時に、停止位置部の床上
   に貼られたバーコードで示される停止位置情報を、上記
   自走式搬送台車に設けたバーコードリーダを用いて読み
   取り、読み取った停止位置情報を、上記自走式搬送台車
   の自動走行時における停止位置確認のための初期停止位
   置として登録し、 上記入線作業後の自動走行時に、上記バーコードリーダ
   を用いて停止位置情報を読み取り、読み取った停止位置
   情報と、上記入線作業時に登録された初期停止位置から
   導かれる停止位置情報とから、上記自走式搬送台車が自
   動走行により正しい位置に停止したかどうかを確認する
   ようにしたことを特徴とする自走式搬送台車の走行制御
   方法。