JPH10309658A - ウェーハ面取り部の加工装置 - Google Patents
ウェーハ面取り部の加工装置Info
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- JPH10309658A JPH10309658A JP9121134A JP12113497A JPH10309658A JP H10309658 A JPH10309658 A JP H10309658A JP 9121134 A JP9121134 A JP 9121134A JP 12113497 A JP12113497 A JP 12113497A JP H10309658 A JPH10309658 A JP H10309658A
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- JP
- Japan
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- wafer
- workpiece
- machining
- orientation flat
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 面取り部を均一に加工することができる、ウ
ェーハの面取り部の加工装置を提供する。 【解決手段】 ウェーハのオリフラ部、外周部及び角部
の面取り部に押接させる回転砥石あるいは回転バフから
構成される加工体と、この加工体が付設され前記ウェー
ハに対して接離する方向に移動可能な支承体と、この支
承体を前記ウェーハに対して接離させる方向に送る螺進
式移動手段と、この支承体に取り付けられ前記加工体を
駆動させる駆動モータとを備え、前記加工体は、前記ウ
ェーハに対して接離する方向に移動可能となるように前
記支承体に付設されると共に、前記支承体とはシリンダ
装置を介して連結されていて該シリンダ装置の作動流体
圧によって前記ウェーハの面取り部に押接されるように
なっていることを特徴とする。
ェーハの面取り部の加工装置を提供する。 【解決手段】 ウェーハのオリフラ部、外周部及び角部
の面取り部に押接させる回転砥石あるいは回転バフから
構成される加工体と、この加工体が付設され前記ウェー
ハに対して接離する方向に移動可能な支承体と、この支
承体を前記ウェーハに対して接離させる方向に送る螺進
式移動手段と、この支承体に取り付けられ前記加工体を
駆動させる駆動モータとを備え、前記加工体は、前記ウ
ェーハに対して接離する方向に移動可能となるように前
記支承体に付設されると共に、前記支承体とはシリンダ
装置を介して連結されていて該シリンダ装置の作動流体
圧によって前記ウェーハの面取り部に押接されるように
なっていることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェーハ
（以下、単に「ウェーハ」という。）の面取り部を軟研
削したり研磨したりするための、ウェーハ面取り部の加
工装置に関するものである。
（以下、単に「ウェーハ」という。）の面取り部を軟研
削したり研磨したりするための、ウェーハ面取り部の加
工装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ウェーハには、半導体製造の後工程で、
その位置合わせや方位合わせをするために、オリエンテ
ーションフラット（オリフラ）部やノッチ部を設けるこ
とが行われているが、特に、オリフラ部を有するウェー
ハ（オリフラ付きウェーハ）の場合、その面取り部を研
磨するには特別の配慮が必要である。なぜなら、オリフ
ラ付きウェーハを研磨する場合、曲率の異なるオリフラ
部、外周部、角部で研磨能力が変わるからである。
その位置合わせや方位合わせをするために、オリエンテ
ーションフラット（オリフラ）部やノッチ部を設けるこ
とが行われているが、特に、オリフラ部を有するウェー
ハ（オリフラ付きウェーハ）の場合、その面取り部を研
磨するには特別の配慮が必要である。なぜなら、オリフ
ラ付きウェーハを研磨する場合、曲率の異なるオリフラ
部、外周部、角部で研磨能力が変わるからである。
【０００３】そこで、従来、オリフラ付きウェーハを研
磨する場合、オリフラ部、外周部、角部での研磨能力を
均一化するため、オリフラ部、外周部、角部に応じて、
回転バフとウェーハとの押付力を制御する方法、ウ
ェーハの回転速度を制御する方法、回転バフの回転を
制御する方法の３つが考えられている。の方法は、研
磨能力が回転バフとウェーハとの押付力に比例すること
を利用し、エアシリンダ装置のエア圧力をオリフラ部、
外周部、角部で変えるようにしたものである。の方法
は、研磨能力がウェーハの回転速度に反比例することを
利用したものであり、ウェーハの回転速度をオリフラ
部、外周部、角部で変えるようにしたものである。の
方法は、研磨能力がウェーハに対する回転バフのすべり
速度に比例することを利用したもので、回転バフの回転
速度をオリフラ部、外周部、角部で変えるようにしたも
のである。
磨する場合、オリフラ部、外周部、角部での研磨能力を
均一化するため、オリフラ部、外周部、角部に応じて、
回転バフとウェーハとの押付力を制御する方法、ウ
ェーハの回転速度を制御する方法、回転バフの回転を
制御する方法の３つが考えられている。の方法は、研
磨能力が回転バフとウェーハとの押付力に比例すること
を利用し、エアシリンダ装置のエア圧力をオリフラ部、
外周部、角部で変えるようにしたものである。の方法
は、研磨能力がウェーハの回転速度に反比例することを
利用したものであり、ウェーハの回転速度をオリフラ
部、外周部、角部で変えるようにしたものである。の
方法は、研磨能力がウェーハに対する回転バフのすべり
速度に比例することを利用したもので、回転バフの回転
速度をオリフラ部、外周部、角部で変えるようにしたも
のである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】これらの方法は、確か
に、オリフラ部、外周部、角部での研磨能力を均一化す
るのに一定の役割を果たしてきたが、今後、益々、半導
体集積回路の高集積化が進んでくると、これらの方法で
は十分に対処できないことが予想される。すなわち、
の方法では、回転バフとウェーハとの押付力を制御する
のに圧縮流体であるエアを用いているため、制御追従性
が悪いという問題がある。特に、加工体である回転バフ
と、この回転バフを回転駆動するための駆動モータとを
エアシリンダ装置によって一緒に動作させるようにして
いるため、その動作重量が大容量となり、その制御追従
性が悪い。また、の方法では、２台の回転バフの間で
ウェーハを挟持して研磨する方式には適用できない。つ
まり、２台の回転バフによってウェーハを両側から研磨
するものでは、それぞれの回転バフはウェーハの異なる
場所を研磨することになる。この場合、例えば、一方の
回転バフがオリフラ部、他方の回転バフが外周部に当接
していることを考えると、ウェーハが一の回転速度で回
転しているため、オリフラ部と外周部との研磨能力に差
がでてしまう。また、の方法では、回転バフと、この
回転バフを回転駆動するための駆動モータとの慣性モー
メントが大きいため、制御指令に対する動作の遅れが生
じてしまうという問題があった。
に、オリフラ部、外周部、角部での研磨能力を均一化す
るのに一定の役割を果たしてきたが、今後、益々、半導
体集積回路の高集積化が進んでくると、これらの方法で
は十分に対処できないことが予想される。すなわち、
の方法では、回転バフとウェーハとの押付力を制御する
のに圧縮流体であるエアを用いているため、制御追従性
が悪いという問題がある。特に、加工体である回転バフ
と、この回転バフを回転駆動するための駆動モータとを
エアシリンダ装置によって一緒に動作させるようにして
いるため、その動作重量が大容量となり、その制御追従
性が悪い。また、の方法では、２台の回転バフの間で
ウェーハを挟持して研磨する方式には適用できない。つ
まり、２台の回転バフによってウェーハを両側から研磨
するものでは、それぞれの回転バフはウェーハの異なる
場所を研磨することになる。この場合、例えば、一方の
回転バフがオリフラ部、他方の回転バフが外周部に当接
していることを考えると、ウェーハが一の回転速度で回
転しているため、オリフラ部と外周部との研磨能力に差
がでてしまう。また、の方法では、回転バフと、この
回転バフを回転駆動するための駆動モータとの慣性モー
メントが大きいため、制御指令に対する動作の遅れが生
じてしまうという問題があった。
【０００５】本発明は、かかる点に鑑みなされたもので
あり、面取り部を均一に加工することができる、ウェー
ハの面取り部の加工装置を提供することを目的とする。
あり、面取り部を均一に加工することができる、ウェー
ハの面取り部の加工装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】ウェーハ面取り部の加工
（研磨や軟研削等）能力Ｃは、一般に、近似式として、 Ｃ=ａ1ｐＶbＴ の関係式で表せる。 ここで、ａ1 ：定数（以下ａ2、・・・ａn同じ） ｐ ：接触圧力 Ｖb ：相対速度∞Ｎb（Ｎb：加工体回転速度） Ｔ ：接触時間∞１／Ｎs（Ｎs＝ウェーハ回転速度） ∴Ｃ=ａ2ｐＮb／Ｎs また、ウェーハ円と砥石円の２円接触で近似すれば、 ｐ=ａ3｛Ｆ（１／Ｒ1＋１／Ｒ2）｝1/2（Ｆ：押付力）・・・（１） ∴Ｃ=ａ4Ｎb｛Ｆ（１／Ｒ1＋１／Ｒ2）｝1/2／Ｎs Ｒ1 ：ウェーハ径 Ｒ2 ：加工体径 という関係式が成立する。したがって、押付力Ｆが一定
であるとすると、図１に示すオリフラ付きウェーハＷで
は、オリフラ部Ｗ1、外周部Ｗ2、角部Ｗ3で（１／Ｒ1）
が変化するので、オリフラ部Ｗ1、外周部Ｗ2、角部Ｗ3
における加工能力は一律とはならない。加工能力を均一
化するためには、押付力Ｆを、オリフラ部Ｗ1、外周部
Ｗ2、角部Ｗ3に応じて変える必要がある。つまり、オリ
フラ部Ｗ1、外周部Ｗ2、角部Ｗ3での押付力Ｆをそれぞ
れＦ1、Ｆ2、Ｆ3とした場合、Ｆ1＞Ｆ2＞Ｆ3の関係が成
立するように押付力Ｆを制御する必要がある。
（研磨や軟研削等）能力Ｃは、一般に、近似式として、 Ｃ=ａ1ｐＶbＴ の関係式で表せる。 ここで、ａ1 ：定数（以下ａ2、・・・ａn同じ） ｐ ：接触圧力 Ｖb ：相対速度∞Ｎb（Ｎb：加工体回転速度） Ｔ ：接触時間∞１／Ｎs（Ｎs＝ウェーハ回転速度） ∴Ｃ=ａ2ｐＮb／Ｎs また、ウェーハ円と砥石円の２円接触で近似すれば、 ｐ=ａ3｛Ｆ（１／Ｒ1＋１／Ｒ2）｝1/2（Ｆ：押付力）・・・（１） ∴Ｃ=ａ4Ｎb｛Ｆ（１／Ｒ1＋１／Ｒ2）｝1/2／Ｎs Ｒ1 ：ウェーハ径 Ｒ2 ：加工体径 という関係式が成立する。したがって、押付力Ｆが一定
であるとすると、図１に示すオリフラ付きウェーハＷで
は、オリフラ部Ｗ1、外周部Ｗ2、角部Ｗ3で（１／Ｒ1）
が変化するので、オリフラ部Ｗ1、外周部Ｗ2、角部Ｗ3
における加工能力は一律とはならない。加工能力を均一
化するためには、押付力Ｆを、オリフラ部Ｗ1、外周部
Ｗ2、角部Ｗ3に応じて変える必要がある。つまり、オリ
フラ部Ｗ1、外周部Ｗ2、角部Ｗ3での押付力Ｆをそれぞ
れＦ1、Ｆ2、Ｆ3とした場合、Ｆ1＞Ｆ2＞Ｆ3の関係が成
立するように押付力Ｆを制御する必要がある。
【０００７】一方で、エアシリンダ装置を用いて加工体
（砥石あるいはバフ）をウェーハＷに押し付ける場合、
ウェーハ中心から当接部までの径Ｒの変化により、押付
力Ｆは次のような影響を受ける。すなわち、図２（ａ）
に示すようにウェーハのオリフラ部に加工体が当接して
いる間は、ウェーハの回転に伴って、ウェーハ中心から
当接部までの径Ｒが変化するので、その当接位置によっ
て、押付力Ｆはエア圧力をＦx、加工体を含む浮動体
（エアシリンダ装置によって動作される部分）の質量を
Ｍ、とした場合、Ｆ1＝Ｆx＋Ｍ×（ｄ／ｄｔ2）Ｒとな
る。したがって、エア圧力Ｆxを一定にし、Ｍ×（ｄ／
ｄｔ2）Ｒの項を解消することができるように、すなわ
ち、オリフラ部に対して加工体を接離させる方向に、加
工体を動作させれば、オリフラ部全域において加工体を
安定的な押付力（エア圧力Ｆx）でウェーハＷに押し付
けることができる。また、図２（ｂ）に示すようにウェ
ーハの外周部（ウェーハの外縁のうち前述のオリフラ部
および後述の角部を除いた部分）に加工体が当接してい
る間は、エア圧力Ｆxがそのまま押付力Ｆ2となる。つま
り、Ｆx＝Ｆ2である。その結果、エア圧力Ｆxを一定に
することにより、ウェーハの外周部において加工体を安
定的な押付力（エア圧力Ｆx）でウェーハＷに押し付け
ることができる。またさらに、図２（ｃ）に示すように
ウェーハの角部に加工体が当接している間は、ウェーハ
中心から当接部までの径Ｒの変化が小さいので、エアシ
リンダ装置は一種のエアばねと考えられるので、押付力
Ｆ3は、エア圧力をＦx、ばね定数をｋ、ウェーハ中心か
ら当接部までの径Ｒの変化量をｘとすれば、押付力Ｆ3
＝Ｆx−ｋｘとなる。したがって、ウェーハ中心から当
接部までの径Ｒの変化量分だけ、螺進式送り手段によっ
て加工体を移動させるようにすれば、ｋｘの項は無視す
ることができる。その結果、エア圧力Ｆxを一定にする
ことにより、角部全域において加工体を安定的な押付力
でウェーハに押し付けることができるので、角部の加工
が均一化されることになる。
（砥石あるいはバフ）をウェーハＷに押し付ける場合、
ウェーハ中心から当接部までの径Ｒの変化により、押付
力Ｆは次のような影響を受ける。すなわち、図２（ａ）
に示すようにウェーハのオリフラ部に加工体が当接して
いる間は、ウェーハの回転に伴って、ウェーハ中心から
当接部までの径Ｒが変化するので、その当接位置によっ
て、押付力Ｆはエア圧力をＦx、加工体を含む浮動体
（エアシリンダ装置によって動作される部分）の質量を
Ｍ、とした場合、Ｆ1＝Ｆx＋Ｍ×（ｄ／ｄｔ2）Ｒとな
る。したがって、エア圧力Ｆxを一定にし、Ｍ×（ｄ／
ｄｔ2）Ｒの項を解消することができるように、すなわ
ち、オリフラ部に対して加工体を接離させる方向に、加
工体を動作させれば、オリフラ部全域において加工体を
安定的な押付力（エア圧力Ｆx）でウェーハＷに押し付
けることができる。また、図２（ｂ）に示すようにウェ
ーハの外周部（ウェーハの外縁のうち前述のオリフラ部
および後述の角部を除いた部分）に加工体が当接してい
る間は、エア圧力Ｆxがそのまま押付力Ｆ2となる。つま
り、Ｆx＝Ｆ2である。その結果、エア圧力Ｆxを一定に
することにより、ウェーハの外周部において加工体を安
定的な押付力（エア圧力Ｆx）でウェーハＷに押し付け
ることができる。またさらに、図２（ｃ）に示すように
ウェーハの角部に加工体が当接している間は、ウェーハ
中心から当接部までの径Ｒの変化が小さいので、エアシ
リンダ装置は一種のエアばねと考えられるので、押付力
Ｆ3は、エア圧力をＦx、ばね定数をｋ、ウェーハ中心か
ら当接部までの径Ｒの変化量をｘとすれば、押付力Ｆ3
＝Ｆx−ｋｘとなる。したがって、ウェーハ中心から当
接部までの径Ｒの変化量分だけ、螺進式送り手段によっ
て加工体を移動させるようにすれば、ｋｘの項は無視す
ることができる。その結果、エア圧力Ｆxを一定にする
ことにより、角部全域において加工体を安定的な押付力
でウェーハに押し付けることができるので、角部の加工
が均一化されることになる。
【０００８】本発明は、かかる知見に基づいてなされた
もので、請求項１記載の加工装置は、ウェーハのオリフ
ラ部、外周部及び角部の面取り部に押接させる回転砥石
あるいは回転バフから構成される加工体と、この加工体
が付設され前記ウェーハに対して接離する方向に移動可
能な支承体と、この支承体を前記ウェーハに対して接離
させる方向に送る螺進式移動手段と、この支承体に取り
付けられ前記加工体を駆動させる駆動モータとを備え、
前記加工体は、前記ウェーハに対して接離する方向に移
動可能となるように前記支承体に付設されると共に、前
記支承体とはシリンダ装置を介して連結されていて該シ
リンダ装置の作動流体圧によって前記ウェーハの面取り
部に押接させるようになっていることを特徴とするもの
である。この請求項１記載の加工装置によれば、オリフ
ラ部、外周部、角部での押付力ＦをそれぞれＦ1、Ｆ2、
Ｆ3とした場合、Ｆ1＞Ｆ2＞Ｆ3の関係が成立するように
押付力Ｆを制御する一方で、オリフラ部、外周部、角部
かに応じて、螺進式送り手段が支承体ひいては加工体を
適宜に移動させることができるので、ウェーハの面取り
部全域において加工体を安定的で適切な押付力でウェー
ハに押し付けることができる。またＦ1＞Ｆ2＞Ｆ3の関
係が成立するように押付力Ｆを制御する場合、支承体と
は独立して加工体を動作できるようにされているので、
エアシリンダ装置の制御追従性に優れるものとなる。
もので、請求項１記載の加工装置は、ウェーハのオリフ
ラ部、外周部及び角部の面取り部に押接させる回転砥石
あるいは回転バフから構成される加工体と、この加工体
が付設され前記ウェーハに対して接離する方向に移動可
能な支承体と、この支承体を前記ウェーハに対して接離
させる方向に送る螺進式移動手段と、この支承体に取り
付けられ前記加工体を駆動させる駆動モータとを備え、
前記加工体は、前記ウェーハに対して接離する方向に移
動可能となるように前記支承体に付設されると共に、前
記支承体とはシリンダ装置を介して連結されていて該シ
リンダ装置の作動流体圧によって前記ウェーハの面取り
部に押接させるようになっていることを特徴とするもの
である。この請求項１記載の加工装置によれば、オリフ
ラ部、外周部、角部での押付力ＦをそれぞれＦ1、Ｆ2、
Ｆ3とした場合、Ｆ1＞Ｆ2＞Ｆ3の関係が成立するように
押付力Ｆを制御する一方で、オリフラ部、外周部、角部
かに応じて、螺進式送り手段が支承体ひいては加工体を
適宜に移動させることができるので、ウェーハの面取り
部全域において加工体を安定的で適切な押付力でウェー
ハに押し付けることができる。またＦ1＞Ｆ2＞Ｆ3の関
係が成立するように押付力Ｆを制御する場合、支承体と
は独立して加工体を動作できるようにされているので、
エアシリンダ装置の制御追従性に優れるものとなる。
【０００９】また、請求項２記載の加工装置は、請求項
１記載の加工装置において、前記駆動モータから前記加
工体へ動力を伝達する軸の一部を可撓性継手で構成した
ことを特徴とするものである。この請求項２記載の加工
装置によれば、駆動モータから加工体へ動力を伝達する
軸の一部を可撓性継手で構成しているので、加工体と駆
動モータとの相対位置がずれる状況下でも、加工体への
動力伝達に支障がでることはない。
１記載の加工装置において、前記駆動モータから前記加
工体へ動力を伝達する軸の一部を可撓性継手で構成した
ことを特徴とするものである。この請求項２記載の加工
装置によれば、駆動モータから加工体へ動力を伝達する
軸の一部を可撓性継手で構成しているので、加工体と駆
動モータとの相対位置がずれる状況下でも、加工体への
動力伝達に支障がでることはない。
【００１０】
【発明の実施の形態】図３には本発明に係る加工装置が
示されている。また、この加工装置１にて加工するウェ
ーハＷが示されている。この加工装置１は、ベース２を
有している。また、ベース２上には支承体３が設けられ
ている。この支承体３は、ウェーハＷに対して接離する
方向に移動可能となっている。つまり、支承体３は、ウ
ェーハＷに対して接離する方向に直線的に延びるリニア
ガイド２０（図４参照）を介して、ベース２に支持され
ている。
示されている。また、この加工装置１にて加工するウェ
ーハＷが示されている。この加工装置１は、ベース２を
有している。また、ベース２上には支承体３が設けられ
ている。この支承体３は、ウェーハＷに対して接離する
方向に移動可能となっている。つまり、支承体３は、ウ
ェーハＷに対して接離する方向に直線的に延びるリニア
ガイド２０（図４参照）を介して、ベース２に支持され
ている。
【００１１】この支承体３は、螺進式送り手段３０によ
って、ウェーハＷに対して接離する方向に移動すること
ができるようになっている。すなわち、ベース２には起
立部２１が設けられており、この起立部２１には支承体
駆動モータＭ１が取り付けられている。この支承体駆動
モータＭ１の軸はスクリュねじ４となっており、このス
クリュねじ４は支承体３の起立部３１に付設したナット
５に噛み合っている。
って、ウェーハＷに対して接離する方向に移動すること
ができるようになっている。すなわち、ベース２には起
立部２１が設けられており、この起立部２１には支承体
駆動モータＭ１が取り付けられている。この支承体駆動
モータＭ１の軸はスクリュねじ４となっており、このス
クリュねじ４は支承体３の起立部３１に付設したナット
５に噛み合っている。
【００１２】また、支承体３の下側にはバフ駆動モータ
Ｍ２が取り付けられている。このバフ駆動モータＭ２
は、ベース２に前記リニアガイド２０に沿って設けた溝
２２内に位置している。
Ｍ２が取り付けられている。このバフ駆動モータＭ２
は、ベース２に前記リニアガイド２０に沿って設けた溝
２２内に位置している。
【００１３】さらに、支承体３上には加工体６が設けら
れている。この実施形態では、加工体６として回転バフ
を用いている。この加工体６には、図示はしないが、ウ
ェーハＷの外周の面取り部と相補的形状である総形溝を
周面に有している。この加工体６は、支承体３上でウェ
ーハＷに対して接離する方向に移動可能となっている。
つまり、加工体６は、ウェーハＷに対して接離する方向
に直線的に延びるリニアガイド３０（図４参照）を介し
て、支承体３に支持されている。
れている。この実施形態では、加工体６として回転バフ
を用いている。この加工体６には、図示はしないが、ウ
ェーハＷの外周の面取り部と相補的形状である総形溝を
周面に有している。この加工体６は、支承体３上でウェ
ーハＷに対して接離する方向に移動可能となっている。
つまり、加工体６は、ウェーハＷに対して接離する方向
に直線的に延びるリニアガイド３０（図４参照）を介し
て、支承体３に支持されている。
【００１４】この加工体６は、エアシリンダ装置６０に
よって、ウェーハＷに対して接離する方向に移動するこ
とができるようになっている。すなわち、支承体６の起
立部３１にはシリンダ６１が取り付けられている。エア
シリンダ装置６０のビストンロッド６２の先端は加工体
６の基部に連結されている。
よって、ウェーハＷに対して接離する方向に移動するこ
とができるようになっている。すなわち、支承体６の起
立部３１にはシリンダ６１が取り付けられている。エア
シリンダ装置６０のビストンロッド６２の先端は加工体
６の基部に連結されている。
【００１５】なお、バフ駆動モータＭ２から加工体６へ
動力を伝達する軸の一部は可撓性継手７０で構成されて
いる。その結果、バフ駆動モータＭ２が取り付けられた
支承体３に対して加工体６が相対的に移動しても、確実
に、バフ駆動モータＭ２からの動力が加工体６へ伝達さ
れる。また、図３および図４において符号７１は軸受を
示している。
動力を伝達する軸の一部は可撓性継手７０で構成されて
いる。その結果、バフ駆動モータＭ２が取り付けられた
支承体３に対して加工体６が相対的に移動しても、確実
に、バフ駆動モータＭ２からの動力が加工体６へ伝達さ
れる。また、図３および図４において符号７１は軸受を
示している。
【００１６】また、この加工装置１はウェーハ駆動機構
８を有している。このウェーハ駆動機構８は、ウェーハ
Ｗを保持するための吸着盤８０を備えている。この吸着
盤８０は、図示しない空気管（図示せず）を通じて、同
じく図示しない吸引ポンプに連結され、この吸引ポンプ
による吸引力で、ウェーハＷを吸着盤８０上に保持でき
るようになっている。また、このウェーハ駆動機構８は
ウェーハＷを吸着盤８０ごと回転駆動させるためのウェ
ーハ駆動モータＭ３を備えている。また、この加工装置
１は図示はしないがスラリー供給装置を備えている。そ
して、このスラリー供給装置からは、研磨の際に、研磨
部に向けてスラリーが適宜に供給される。
８を有している。このウェーハ駆動機構８は、ウェーハ
Ｗを保持するための吸着盤８０を備えている。この吸着
盤８０は、図示しない空気管（図示せず）を通じて、同
じく図示しない吸引ポンプに連結され、この吸引ポンプ
による吸引力で、ウェーハＷを吸着盤８０上に保持でき
るようになっている。また、このウェーハ駆動機構８は
ウェーハＷを吸着盤８０ごと回転駆動させるためのウェ
ーハ駆動モータＭ３を備えている。また、この加工装置
１は図示はしないがスラリー供給装置を備えている。そ
して、このスラリー供給装置からは、研磨の際に、研磨
部に向けてスラリーが適宜に供給される。
【００１７】次に、この加工装置１によるウェーハＷの
加工方法を図５に基づいて説明する。なお、ウェーハＷ
の回転速度は例えば１０〜３０ｍｍ／ｓｅｃ、加工体６
の回転速度は例えば２００〜８００ｍ／ｍｉｎに設定し
ておく。
加工方法を図５に基づいて説明する。なお、ウェーハＷ
の回転速度は例えば１０〜３０ｍｍ／ｓｅｃ、加工体６
の回転速度は例えば２００〜８００ｍ／ｍｉｎに設定し
ておく。
【００１８】まず、ウェーハＷのオリフラ部を研磨する
場合には、エアシリンダ装置６０によるエア圧力を例え
ば６００ｇｆに設定し、押付力を例えば６００ｇｆに維
持する。すなわち、このオリフラ部の研磨では、ウェー
ハＷの回転に伴って、ウェーハＷの中心から加工体６と
当接する点までの径Ｒが変わるので、押付力が６００ｇ
ｆに維持されるように、螺進式送り手段３０によって、
その径Ｒが減少する場合には支承体３をウェーハＷに近
づける方向に、反対に、その径Ｒが増加する場合には支
承体３をウェーハＷから遠ざける方向に移動させる。
場合には、エアシリンダ装置６０によるエア圧力を例え
ば６００ｇｆに設定し、押付力を例えば６００ｇｆに維
持する。すなわち、このオリフラ部の研磨では、ウェー
ハＷの回転に伴って、ウェーハＷの中心から加工体６と
当接する点までの径Ｒが変わるので、押付力が６００ｇ
ｆに維持されるように、螺進式送り手段３０によって、
その径Ｒが減少する場合には支承体３をウェーハＷに近
づける方向に、反対に、その径Ｒが増加する場合には支
承体３をウェーハＷから遠ざける方向に移動させる。
【００１９】また、ウェーハＷの角部を研磨する場合、
エアシリンダ装置６０によるエア圧力を例えば２００ｇ
ｆに設定し、押付力が例えば２００ｇｆになるように維
持する。この場合、エアシリンダ装置６０の設定エア圧
力の制御だけでは制御追従性が悪いので、早くエア圧力
ひいては押付力が２００ｇｆになるように、支承体３を
ウェーハＷから遠ざける方向に移動させる。また、角部
の研磨中は、押付力が２００ｇｆに維持されるように、
螺進式送り手段３０により支承体３を移動させる。つま
り、ウェーハＷの回転に伴う、ウェーハ中心から当接部
までの径Ｒの変化量に応じて、螺進式送り手段３０によ
って加工体２をウェーハＷから遠ざけたり、ウェーハＷ
に近づけたりする。なお、この角部においては、ウェー
ハＷの回転に伴う、ウェーハ中心から当接部までの径Ｒ
の変化量はオリフラ部に比べて小さいので、角部の研磨
中、螺進式送り手段３０によって加工体２をウェーハＷ
から遠ざけたり、ウェーハＷに近づけたりしなくてもそ
れ程の影響はない。
エアシリンダ装置６０によるエア圧力を例えば２００ｇ
ｆに設定し、押付力が例えば２００ｇｆになるように維
持する。この場合、エアシリンダ装置６０の設定エア圧
力の制御だけでは制御追従性が悪いので、早くエア圧力
ひいては押付力が２００ｇｆになるように、支承体３を
ウェーハＷから遠ざける方向に移動させる。また、角部
の研磨中は、押付力が２００ｇｆに維持されるように、
螺進式送り手段３０により支承体３を移動させる。つま
り、ウェーハＷの回転に伴う、ウェーハ中心から当接部
までの径Ｒの変化量に応じて、螺進式送り手段３０によ
って加工体２をウェーハＷから遠ざけたり、ウェーハＷ
に近づけたりする。なお、この角部においては、ウェー
ハＷの回転に伴う、ウェーハ中心から当接部までの径Ｒ
の変化量はオリフラ部に比べて小さいので、角部の研磨
中、螺進式送り手段３０によって加工体２をウェーハＷ
から遠ざけたり、ウェーハＷに近づけたりしなくてもそ
れ程の影響はない。
【００２０】また、ウェーハＷの外周部を研磨する場
合、エアシリンダ装置６０による設定エア圧力を例えば
５００ｇｆにし、押付力が例えば５００ｇｆになるよう
に維持する。この場合、エアシリンダ装置６０のエア圧
力の制御だけでは制御追従性が悪いので、早くエア圧力
ひいては押付力が５００ｇｆになるように、支承体３を
ウェーハＷに近づける方向に移動させる。そして、押付
力が５００ｇｆになったら、加工体２の位置を固定して
おく。
合、エアシリンダ装置６０による設定エア圧力を例えば
５００ｇｆにし、押付力が例えば５００ｇｆになるよう
に維持する。この場合、エアシリンダ装置６０のエア圧
力の制御だけでは制御追従性が悪いので、早くエア圧力
ひいては押付力が５００ｇｆになるように、支承体３を
ウェーハＷに近づける方向に移動させる。そして、押付
力が５００ｇｆになったら、加工体２の位置を固定して
おく。
【００２１】以上、本発明の実施形態について説明した
が、本発明は、かかる実施形態に限定されるものではな
く、その要旨を逸脱しない範囲で、種々の変形が可能で
ある。
が、本発明は、かかる実施形態に限定されるものではな
く、その要旨を逸脱しない範囲で、種々の変形が可能で
ある。
【００２２】例えば、前記実施形態では、研磨の場合に
ついて説明したが、砥石を所定圧力でウェーハＷに当接
させて研削する軟研削の場合にも適用できる。この場合
には、軟研削部への切削液の供給が行われる。
ついて説明したが、砥石を所定圧力でウェーハＷに当接
させて研削する軟研削の場合にも適用できる。この場合
には、軟研削部への切削液の供給が行われる。
【００２３】
【発明の効果】本発明によれば、面取り部を均一に加工
することができる。
することができる。
【図１】ウェーハの平面図である。
【図２】ウェーハの径変化に伴う押付力変化を説明する
ための図である。
ための図である。
【図３】本発明の加工装置の一部を切り欠いて示す正面
図である。
図である。
【図４】本発明の加工装置の一部を切り欠いて示す左側
面図である。
面図である。
【図５】本発明の加工装置の制御方法を説明するための
図である。
図である。
１ 加工装置 ３ 支承部 ４ 螺進式送り手段 ６ 加工体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山田 正幸 福島県西白河郡西郷村大字小田倉字大平 150番地 信越半導体株式会社半導体白河 研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】 ウェーハのオリフラ部、外周部及び角部
の面取り部に押接させる回転砥石あるいは回転バフから
構成される加工体と、この加工体が付設され前記ウェー
ハに対して接離する方向に移動可能な支承体と、この支
承体を前記ウェーハに対して接離させる方向に送る螺進
式移動手段と、この支承体に取り付けられ前記加工体を
駆動させる駆動モータとを備え、前記加工体は、前記ウ
ェーハに対して接離する方向に移動可能となるように前
記支承体に付設されると共に、前記支承体とはシリンダ
装置を介して連結されていて該シリンダ装置の作動流体
圧によって前記ウェーハの面取り部に押接されるように
なっていることを特徴とする、ウェーハ面取り部の加工
装置。 - 【請求項２】 前記駆動モータから前記加工体へ動力を
伝達する軸の一部を可撓性継手で構成したことを特徴と
する請求項１記載の、ウェーハ面取り部の加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9121134A JPH10309658A (ja) | 1997-05-12 | 1997-05-12 | ウェーハ面取り部の加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9121134A JPH10309658A (ja) | 1997-05-12 | 1997-05-12 | ウェーハ面取り部の加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10309658A true JPH10309658A (ja) | 1998-11-24 |
Family
ID=14803723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9121134A Pending JPH10309658A (ja) | 1997-05-12 | 1997-05-12 | ウェーハ面取り部の加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10309658A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06155263A (ja) * | 1992-11-26 | 1994-06-03 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ウエーハ面取部研磨装置 |
| JPH06226625A (ja) * | 1991-12-24 | 1994-08-16 | Sanritsu Seiki Kk | 曲面研削加工機 |
-
1997
- 1997-05-12 JP JP9121134A patent/JPH10309658A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06226625A (ja) * | 1991-12-24 | 1994-08-16 | Sanritsu Seiki Kk | 曲面研削加工機 |
| JPH06155263A (ja) * | 1992-11-26 | 1994-06-03 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ウエーハ面取部研磨装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040621 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040629 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040830 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050201 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050616 |