JPH10309546A - プレート型超音波振動子、及び超音波洗浄装置 - Google Patents
プレート型超音波振動子、及び超音波洗浄装置Info
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- JPH10309546A JPH10309546A JP13775397A JP13775397A JPH10309546A JP H10309546 A JPH10309546 A JP H10309546A JP 13775397 A JP13775397 A JP 13775397A JP 13775397 A JP13775397 A JP 13775397A JP H10309546 A JPH10309546 A JP H10309546A
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- piezoelectric element
- cleaning tank
- ultrasonic
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 洗浄槽への取り付け位置制御が容易に行え、
位置ずれのない信頼性を向上させたプレート型超音波振
動子、並びに超音波洗浄装置を提供する。 【解決手段】 圧電素子に駆動電極が形成されたプレー
ト型超音波振動子であって、前記圧電素子には、孔部、
又は切り欠き部が形成された事を特徴とする。
位置ずれのない信頼性を向上させたプレート型超音波振
動子、並びに超音波洗浄装置を提供する。 【解決手段】 圧電素子に駆動電極が形成されたプレー
ト型超音波振動子であって、前記圧電素子には、孔部、
又は切り欠き部が形成された事を特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電セラミックス
素子を用いたプレート型超音波振動子に関し、特に超音
波洗浄装置等に使用されるプレート型超音波振動子に関
するものである。
素子を用いたプレート型超音波振動子に関し、特に超音
波洗浄装置等に使用されるプレート型超音波振動子に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】プレート型超音波振動子が用いられた超
音波洗浄装置は、数ＭＨｚまでの周波数を利用した精密
洗浄装置がある。周波数の違いは被洗浄物や洗浄の対象
となる固体性の汚れの大きさによって決まり、小さな洗
浄物や微細な汚れに対しては周波数の高い（すなわち波
長の短い）超音波を使用することになる。そして、洗浄
槽の底面あるいは側面に振動子を接合材等で貼着すると
とともに、発振器に接続され、この発振器により同期さ
せた出力信号を入力して所定の周波数の超音波を放射す
ることにより使用されている。そして、洗浄槽内に被洗
浄物と洗浄液を入れ、これらに超音波を放射して、この
衝撃力により被洗浄物に付着している汚れを取り除いて
洗浄を行っていた。
音波洗浄装置は、数ＭＨｚまでの周波数を利用した精密
洗浄装置がある。周波数の違いは被洗浄物や洗浄の対象
となる固体性の汚れの大きさによって決まり、小さな洗
浄物や微細な汚れに対しては周波数の高い（すなわち波
長の短い）超音波を使用することになる。そして、洗浄
槽の底面あるいは側面に振動子を接合材等で貼着すると
とともに、発振器に接続され、この発振器により同期さ
せた出力信号を入力して所定の周波数の超音波を放射す
ることにより使用されている。そして、洗浄槽内に被洗
浄物と洗浄液を入れ、これらに超音波を放射して、この
衝撃力により被洗浄物に付着している汚れを取り除いて
洗浄を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、洗浄槽
にプレート型超音波振動子を貼り付ける際、位置ずれし
て貼付の位置制御が困難であった。また、厚み共振を利
用する場合、低周波（例えば１００ＫＨｚ以下）向けの
用途に使用されるプレート型超音波振動子は、厚みが厚
くなり焼成が困難なため、薄い圧電素子を張り合わせた
積層圧電素子を用いることで代用することができる。し
かし、この圧電素子同士を張り合わせる時に、お互いに
位置ずれしてしまい、超音波放射面の有効面積を低下さ
せるという問題点があった。
にプレート型超音波振動子を貼り付ける際、位置ずれし
て貼付の位置制御が困難であった。また、厚み共振を利
用する場合、低周波（例えば１００ＫＨｚ以下）向けの
用途に使用されるプレート型超音波振動子は、厚みが厚
くなり焼成が困難なため、薄い圧電素子を張り合わせた
積層圧電素子を用いることで代用することができる。し
かし、この圧電素子同士を張り合わせる時に、お互いに
位置ずれしてしまい、超音波放射面の有効面積を低下さ
せるという問題点があった。
【０００４】本発明は、洗浄槽に取り付けられるプレー
ト型超音波振動子において、洗浄槽への取り付け位置制
御が容易に行え、位置ずれのない信頼性を向上させたプ
レート型超音波振動子、並びに超音波洗浄装置を提供す
ることを目的とするものである。
ト型超音波振動子において、洗浄槽への取り付け位置制
御が容易に行え、位置ずれのない信頼性を向上させたプ
レート型超音波振動子、並びに超音波洗浄装置を提供す
ることを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そこで本発明は、圧電素
子に駆動電極が形成されたプレート型超音波振動子であ
って、前記圧電素子には、孔部、又は切り欠き部が形成
された事を特徴とする。
子に駆動電極が形成されたプレート型超音波振動子であ
って、前記圧電素子には、孔部、又は切り欠き部が形成
された事を特徴とする。
【０００６】この構成により、プレート型超音波振動子
の洗浄槽への貼着作業が前記孔部、又は切り欠き部を介
して位置決めすることができる。
の洗浄槽への貼着作業が前記孔部、又は切り欠き部を介
して位置決めすることができる。
【０００７】また、圧電素子に駆動電極が形成されたプ
レート型超音波振動子を、洗浄槽に接合材を用いて貼着
されてなる超音波洗浄装置であって、前記圧電素子に
は、孔部、又は切り欠き部が形成されているとともに、
前記洗浄槽のうち前記圧電素子の孔部、又は切り欠きに
対応した位置には、前記孔部、又は切り欠きと嵌合する
位置決め部材が形成されている事を特徴とする。
レート型超音波振動子を、洗浄槽に接合材を用いて貼着
されてなる超音波洗浄装置であって、前記圧電素子に
は、孔部、又は切り欠き部が形成されているとともに、
前記洗浄槽のうち前記圧電素子の孔部、又は切り欠きに
対応した位置には、前記孔部、又は切り欠きと嵌合する
位置決め部材が形成されている事を特徴とする。
【０００８】この構成により、プレート型超音波振動子
の洗浄槽への貼着作業が前記位置決め部材を介して位置
決めされた後に洗浄槽へ貼着されるため位置ずれするこ
となく、確実に取り付けることができる。
の洗浄槽への貼着作業が前記位置決め部材を介して位置
決めされた後に洗浄槽へ貼着されるため位置ずれするこ
となく、確実に取り付けることができる。
【０００９】また、圧電素子に駆動電極が形成されたプ
レート型超音波振動子を複数枚用いて、お互いに接合材
により貼り合わせ、かつ、洗浄槽に接合材を用いて貼着
されてなる超音波洗浄装置であって、前記各圧電素子に
は、孔部、又は切り欠き部が形成されているとともに、
前記洗浄槽のうち前記各圧電素子の孔部、又は切り欠き
に対応した位置には、前記孔部、又は切り欠きと嵌合す
る位置決め部材が形成されている事を特徴とする。
レート型超音波振動子を複数枚用いて、お互いに接合材
により貼り合わせ、かつ、洗浄槽に接合材を用いて貼着
されてなる超音波洗浄装置であって、前記各圧電素子に
は、孔部、又は切り欠き部が形成されているとともに、
前記洗浄槽のうち前記各圧電素子の孔部、又は切り欠き
に対応した位置には、前記孔部、又は切り欠きと嵌合す
る位置決め部材が形成されている事を特徴とする。
【００１０】この構成により、プレート型超音波振動子
の洗浄槽への貼着作業が前記位置決め部材を介して位置
決めされた後に洗浄槽へ貼着されるため位置ずれするこ
となく、確実に取り付けることができるとともに、複数
の素子の貼着作業も前記位置決め部材を介して位置決め
された後に各圧電素子が貼着されるため位置ずれするこ
となく、確実に取り付けることができ、各圧電素子のズ
レによる超音波放射面の有効面積を低下させることがな
い。そして、これらの貼着作業（洗浄槽への貼付と素子
同士の貼付）が同時に行えるため極めて効率よく製造で
きる。
の洗浄槽への貼着作業が前記位置決め部材を介して位置
決めされた後に洗浄槽へ貼着されるため位置ずれするこ
となく、確実に取り付けることができるとともに、複数
の素子の貼着作業も前記位置決め部材を介して位置決め
された後に各圧電素子が貼着されるため位置ずれするこ
となく、確実に取り付けることができ、各圧電素子のズ
レによる超音波放射面の有効面積を低下させることがな
い。そして、これらの貼着作業（洗浄槽への貼付と素子
同士の貼付）が同時に行えるため極めて効率よく製造で
きる。
【００１１】また、前記孔部、又は切り欠きと嵌合する
位置決め部材が螺合部材よりなる事を特徴とする特許請
求項２，３記載の超音波洗浄装置。
位置決め部材が螺合部材よりなる事を特徴とする特許請
求項２，３記載の超音波洗浄装置。
【００１２】この構成により、前記螺合部材を締め付け
れば、プレート型超音波振動子と洗浄槽に介在する接合
材、並びに前記圧電素子間の接合材を加圧してこれらの
密着性を高め接合強度を向上させるとともに、接合材に
混入する気泡等を前記孔部、又は切り欠きから取り除
き、超音波の伝達を低下させることがない。そして、接
合材の硬化後、前記螺合部材を取り外せば、省スペース
化が図れる。
れば、プレート型超音波振動子と洗浄槽に介在する接合
材、並びに前記圧電素子間の接合材を加圧してこれらの
密着性を高め接合強度を向上させるとともに、接合材に
混入する気泡等を前記孔部、又は切り欠きから取り除
き、超音波の伝達を低下させることがない。そして、接
合材の硬化後、前記螺合部材を取り外せば、省スペース
化が図れる。
【００１３】
【実施例】次に、第１の実施例につき図面を参照しなが
ら詳述する。図１は第１の実施例を示す超音波洗浄装置
の分解断面図であり、図２は図１を組み立てた状態の断
面図である。図３は図２の接合材硬化後の正面図であ
る。
ら詳述する。図１は第１の実施例を示す超音波洗浄装置
の分解断面図であり、図２は図１を組み立てた状態の断
面図である。図３は図２の接合材硬化後の正面図であ
る。
【００１４】洗浄槽１はステンレス等の金属材料からな
り、その底部の所定の位置に超音波振動子取り付け用の
雄ねじ部１１，１２が設けられている。洗浄槽に取り付
けられる超音波振動子はプレート型超音波振動子であ
り、矩形状の圧電素子２の表裏面に駆動電極２１，２２
が構成されている。前記圧電素子はＰＺＴ（チタンジル
コン酸鉛）等の圧電セラミックスが用いられ、駆動電極
は銀ペースト等により形成されている。そして、前記圧
電素子の長手方向両端部付近で、かつ前記雄ねじ部１
１，１２に対応した位置に貫通孔２３，２４が設けられ
ている。この貫通孔は研削、プレスなどにより形成する
ことができる。
り、その底部の所定の位置に超音波振動子取り付け用の
雄ねじ部１１，１２が設けられている。洗浄槽に取り付
けられる超音波振動子はプレート型超音波振動子であ
り、矩形状の圧電素子２の表裏面に駆動電極２１，２２
が構成されている。前記圧電素子はＰＺＴ（チタンジル
コン酸鉛）等の圧電セラミックスが用いられ、駆動電極
は銀ペースト等により形成されている。そして、前記圧
電素子の長手方向両端部付近で、かつ前記雄ねじ部１
１，１２に対応した位置に貫通孔２３，２４が設けられ
ている。この貫通孔は研削、プレスなどにより形成する
ことができる。
【００１５】このような圧電素子２の超音波放射面２５
に接合材Ｓ（例えばエポキシ系樹脂）を塗布し、前記貫
通孔２３，２４に前記雄ねじ部１１，１２を貫通させて
位置決めした後、洗浄槽１の底部に圧電素子を押さえつ
けて接着する。そして、前記雄ねじ部１１，１２に対応
した位置に貫通孔３１，３２が同様に形成された加圧治
具としての押し板３を同様に前記雄ねじ部１１，１２を
貫通させ、雌ねじ具５１，５２を前記押し板上部から締
め付けて固定する。そして、前記接合材の硬化後、前記
雌ねじ具５１，５２、並びに押し板３をを取り外して、
超音波振動子の取付が完了する。尚、図示していない
が、前記超音波振動子には電極を引き出すためのリード
線などが取り付けられている。
に接合材Ｓ（例えばエポキシ系樹脂）を塗布し、前記貫
通孔２３，２４に前記雄ねじ部１１，１２を貫通させて
位置決めした後、洗浄槽１の底部に圧電素子を押さえつ
けて接着する。そして、前記雄ねじ部１１，１２に対応
した位置に貫通孔３１，３２が同様に形成された加圧治
具としての押し板３を同様に前記雄ねじ部１１，１２を
貫通させ、雌ねじ具５１，５２を前記押し板上部から締
め付けて固定する。そして、前記接合材の硬化後、前記
雌ねじ具５１，５２、並びに押し板３をを取り外して、
超音波振動子の取付が完了する。尚、図示していない
が、前記超音波振動子には電極を引き出すためのリード
線などが取り付けられている。
【００１６】次に、第２の実施例につき図面を参照しな
がら詳述する。図４は第２の実施例を示す超音波洗浄装
置の分解断面図であり、図５は図４を組み立てた状態の
断面図である。図６は図５の接合材硬化後の正面図であ
る。尚、第１の実施例と同様の部分については同番号を
付した。
がら詳述する。図４は第２の実施例を示す超音波洗浄装
置の分解断面図であり、図５は図４を組み立てた状態の
断面図である。図６は図５の接合材硬化後の正面図であ
る。尚、第１の実施例と同様の部分については同番号を
付した。
【００１７】洗浄槽１はステンレス等の金属材料からな
り、その底部の所定の位置に超音波振動子取り付け用の
雄ねじ部１１，１２が設けられている。洗浄槽に取り付
けられる超音波振動子はプレート型の積層超音波振動子
であり、矩形状の圧電素子４１，４２の２枚からなり、
各圧電素子の表裏面に駆動電極４１１，４１２，４２
１，４２２が構成されている。前記圧電素子はＰＺＴ
（チタンジルコン酸鉛）等の圧電セラミックスが用いら
れ、駆動電極は銀ペースト等により形成されている。そ
して、前記各圧電素子の長手方向両端部で、かつ前記雄
ねじ部１１，１２に対応した位置に切り欠き４１３，４
１４，４２３，４２４が設けられている。この切り欠き
は研削、プレスなどにより形成することができる。
り、その底部の所定の位置に超音波振動子取り付け用の
雄ねじ部１１，１２が設けられている。洗浄槽に取り付
けられる超音波振動子はプレート型の積層超音波振動子
であり、矩形状の圧電素子４１，４２の２枚からなり、
各圧電素子の表裏面に駆動電極４１１，４１２，４２
１，４２２が構成されている。前記圧電素子はＰＺＴ
（チタンジルコン酸鉛）等の圧電セラミックスが用いら
れ、駆動電極は銀ペースト等により形成されている。そ
して、前記各圧電素子の長手方向両端部で、かつ前記雄
ねじ部１１，１２に対応した位置に切り欠き４１３，４
１４，４２３，４２４が設けられている。この切り欠き
は研削、プレスなどにより形成することができる。
【００１８】このような圧電素子４１，４２の超音波放
射面４１５，４２５（分極方向を同一方向として電気的
に直列に接続する必要がある）に接合材Ｓ（例えばエポ
キシ系樹脂）を塗布し、前記切り欠き４１３，４１４，
４２３，４２４に前記雄ねじ部１１，１２を貫通させて
位置決めした後、洗浄槽１の底部に圧電素子４１を押さ
えつけ、圧電素子４１の裏面に圧電素子４２を押さえつ
けて接着する。そして、前記雄ねじ部１１，１２に対応
した位置に貫通孔３１，３２が同様に形成された加圧治
具としての押し板３を同様に前記雄ねじ部１１，１２を
貫通させ、雌ねじ具５１，５２を前記押し板上部から締
め付けて固定する。そして、前記接合材の硬化後、前記
雌ねじ具５１，５２、並びに押し板３をを取り外して、
超音波振動子の取付が完了する。尚、図示していない
が、前記超音波振動子には電極を引き出すためのリード
線などが取り付けられている。
射面４１５，４２５（分極方向を同一方向として電気的
に直列に接続する必要がある）に接合材Ｓ（例えばエポ
キシ系樹脂）を塗布し、前記切り欠き４１３，４１４，
４２３，４２４に前記雄ねじ部１１，１２を貫通させて
位置決めした後、洗浄槽１の底部に圧電素子４１を押さ
えつけ、圧電素子４１の裏面に圧電素子４２を押さえつ
けて接着する。そして、前記雄ねじ部１１，１２に対応
した位置に貫通孔３１，３２が同様に形成された加圧治
具としての押し板３を同様に前記雄ねじ部１１，１２を
貫通させ、雌ねじ具５１，５２を前記押し板上部から締
め付けて固定する。そして、前記接合材の硬化後、前記
雌ねじ具５１，５２、並びに押し板３をを取り外して、
超音波振動子の取付が完了する。尚、図示していない
が、前記超音波振動子には電極を引き出すためのリード
線などが取り付けられている。
【００１９】次に、第３の実施例につき図面を参照しな
がら詳述する。図７は第３の実施例を示す超音波洗浄装
置の分解断面図であり、図８は図７を組み立てた状態の
断面図である。図９は図８の接合材硬化後の正面図であ
る。尚、第１の実施例、第２の実施例と同様の部分につ
いては同番号を付した。
がら詳述する。図７は第３の実施例を示す超音波洗浄装
置の分解断面図であり、図８は図７を組み立てた状態の
断面図である。図９は図８の接合材硬化後の正面図であ
る。尚、第１の実施例、第２の実施例と同様の部分につ
いては同番号を付した。
【００２０】洗浄槽１Ａはステンレス等の金属材料から
なり、その底部の所定の位置に超音波振動子取り付け用
の雌ねじ部１３，１４が形成されている。洗浄槽に取り
付けられる超音波振動子はプレート型の積層超音波振動
子であり、矩形状の圧電素子４１，４２の２枚からな
り、各圧電素子の表裏面に駆動電極４１１，４１２，４
２１，４２２が構成されている。前記圧電素子はＰＺＴ
（チタンジルコン酸鉛）等の圧電セラミックスが用いら
れ、駆動電極は銀ペースト等により形成されている。そ
して、前記各圧電素子の長手方向両端部で、かつ前記雌
ねじ部１３，１４に対応した位置に切り欠き４１３，４
２３と、貫通孔４１５，４２５が設けられている。これ
らの切り欠き、貫通孔は研削、プレスなどにより形成す
ることができる。
なり、その底部の所定の位置に超音波振動子取り付け用
の雌ねじ部１３，１４が形成されている。洗浄槽に取り
付けられる超音波振動子はプレート型の積層超音波振動
子であり、矩形状の圧電素子４１，４２の２枚からな
り、各圧電素子の表裏面に駆動電極４１１，４１２，４
２１，４２２が構成されている。前記圧電素子はＰＺＴ
（チタンジルコン酸鉛）等の圧電セラミックスが用いら
れ、駆動電極は銀ペースト等により形成されている。そ
して、前記各圧電素子の長手方向両端部で、かつ前記雌
ねじ部１３，１４に対応した位置に切り欠き４１３，４
２３と、貫通孔４１５，４２５が設けられている。これ
らの切り欠き、貫通孔は研削、プレスなどにより形成す
ることができる。
【００２１】また、前記雌ねじ部１３，１４に対応した
位置に貫通孔３１，３２が同様に形成された加圧治具と
しての押し板３に雄ねじ具５３，５４を貫通させる。そ
の後、前記圧電素子４１，４２の超音波放射面４１５，
４２５（分極方向を同一方向として電気的に直列に接続
する必要がある）に接合材Ｓ（例えばエポキシ系樹脂）
を塗布し、前記押し板３から突出した雄ねじ具５３，５
４を前記各圧電素子の切り欠き４１３，４２３、貫通孔
４１５，４２５貫通させて位置合わせを行い、さらに、
前記圧電素子から突出した雄ねじ具と、前記雌ねじ部の
位置合わせを行い、雄ねじ具５３，５４を前記押し板上
部から締め付けて固定する。この結果、洗浄槽１Ａの底
部に圧電素子４１を押さえつけ、圧電素子４１の裏面に
圧電素子４２を押さえつけて接着することができる。そ
して、前記接合材の硬化後、前記雄ねじ具５３，５４、
並びに押し板３をを取り外して、超音波振動子の取付が
完了する。尚、図示していないが、前記超音波振動子に
は電極を引き出すためのリード線などが取り付けられて
いる。
位置に貫通孔３１，３２が同様に形成された加圧治具と
しての押し板３に雄ねじ具５３，５４を貫通させる。そ
の後、前記圧電素子４１，４２の超音波放射面４１５，
４２５（分極方向を同一方向として電気的に直列に接続
する必要がある）に接合材Ｓ（例えばエポキシ系樹脂）
を塗布し、前記押し板３から突出した雄ねじ具５３，５
４を前記各圧電素子の切り欠き４１３，４２３、貫通孔
４１５，４２５貫通させて位置合わせを行い、さらに、
前記圧電素子から突出した雄ねじ具と、前記雌ねじ部の
位置合わせを行い、雄ねじ具５３，５４を前記押し板上
部から締め付けて固定する。この結果、洗浄槽１Ａの底
部に圧電素子４１を押さえつけ、圧電素子４１の裏面に
圧電素子４２を押さえつけて接着することができる。そ
して、前記接合材の硬化後、前記雄ねじ具５３，５４、
並びに押し板３をを取り外して、超音波振動子の取付が
完了する。尚、図示していないが、前記超音波振動子に
は電極を引き出すためのリード線などが取り付けられて
いる。
【００２２】尚、前記実施例では圧電素子を直接洗浄槽
に貼着した構成を示したが、図１０に示すように、ガラ
スエポキシ系の基板６を圧電素子２と洗浄槽１間に介在
させた構成であってもよい。この場合、前記ガラスエポ
キシ系の基板にも雄ねじ部、あるいは雌ねじ部に対応し
た位置に貫通孔、並びに切り欠きを形成する必要があ
る。また、前記実施例では、雄ねじ部、又は雌ねじ部の
いずれか一方を洗浄槽底部に形成したが、これら両方を
組み合わせて形成しても特に問題はない。
に貼着した構成を示したが、図１０に示すように、ガラ
スエポキシ系の基板６を圧電素子２と洗浄槽１間に介在
させた構成であってもよい。この場合、前記ガラスエポ
キシ系の基板にも雄ねじ部、あるいは雌ねじ部に対応し
た位置に貫通孔、並びに切り欠きを形成する必要があ
る。また、前記実施例では、雄ねじ部、又は雌ねじ部の
いずれか一方を洗浄槽底部に形成したが、これら両方を
組み合わせて形成しても特に問題はない。
【００２３】
【発明の効果】特許請求項１によれば、プレート型超音
波振動子の洗浄槽への貼着作業が前記孔部、又は切り欠
き部を介して位置決めすることができる。このため、洗
浄槽への取り付け位置制御が容易に行え、製造の簡素化
が図れる信頼性の高いプレート型超音波振動子を得るこ
とができる。
波振動子の洗浄槽への貼着作業が前記孔部、又は切り欠
き部を介して位置決めすることができる。このため、洗
浄槽への取り付け位置制御が容易に行え、製造の簡素化
が図れる信頼性の高いプレート型超音波振動子を得るこ
とができる。
【００２４】特許請求項２によれば、プレート型超音波
振動子の洗浄槽への貼着作業が前記位置決め部材を介し
て位置決めされた後に洗浄槽へ貼着されるため位置ずれ
することなく、確実に取り付けることができる。このた
め、洗浄槽への取り付け位置制御が容易に行え、製造の
簡素化が図れる信頼性の高い超音波洗浄装置を得ること
ができる。
振動子の洗浄槽への貼着作業が前記位置決め部材を介し
て位置決めされた後に洗浄槽へ貼着されるため位置ずれ
することなく、確実に取り付けることができる。このた
め、洗浄槽への取り付け位置制御が容易に行え、製造の
簡素化が図れる信頼性の高い超音波洗浄装置を得ること
ができる。
【００２５】請求項３の発明によれば、プレート型超音
波振動子の洗浄槽への貼着作業が前記位置決め部材を介
して位置決めされた後に洗浄槽へ貼着されるため位置ず
れすることなく、確実に取り付けることができるととも
に、複数の素子の貼着作業も前記位置決め部材を介して
位置決めされた後に各圧電素子が貼着されるため位置ず
れすることなく、確実に取り付けることができ、各圧電
素子のズレによる超音波放射面の有効面積を低下させる
ことがない。そして、これらの貼着作業（洗浄槽への貼
付と素子同士の貼付）が同時に行えるため極めて効率よ
く製造できる。このため、洗浄槽への取り付け位置制
御、並びに素子同士の張り合わせ位置制御が容易に行
え、製造の簡素化が図れる信頼性の高い超音波洗浄装置
を得ることができる。
波振動子の洗浄槽への貼着作業が前記位置決め部材を介
して位置決めされた後に洗浄槽へ貼着されるため位置ず
れすることなく、確実に取り付けることができるととも
に、複数の素子の貼着作業も前記位置決め部材を介して
位置決めされた後に各圧電素子が貼着されるため位置ず
れすることなく、確実に取り付けることができ、各圧電
素子のズレによる超音波放射面の有効面積を低下させる
ことがない。そして、これらの貼着作業（洗浄槽への貼
付と素子同士の貼付）が同時に行えるため極めて効率よ
く製造できる。このため、洗浄槽への取り付け位置制
御、並びに素子同士の張り合わせ位置制御が容易に行
え、製造の簡素化が図れる信頼性の高い超音波洗浄装置
を得ることができる。
【００２６】請求項４の発明によれば、前記螺合部材を
締め付ければ、プレート型超音波振動子と洗浄槽に介在
する接合材、並びに前記圧電素子間の接合材を加圧して
これらの密着性を高め接合強度を向上させるとともに、
接合材に混入する気泡等を前記孔部、又は切り欠きから
取り除き、超音波の伝達を低下させることがない。そし
て、接合材の硬化後、前記螺合部材を取り外せば、省ス
ペース化が図れる。このため、洗浄槽への接合する点、
並びに素子同士を接合する点で信頼性の高い超音波洗浄
装置を得ることができる。
締め付ければ、プレート型超音波振動子と洗浄槽に介在
する接合材、並びに前記圧電素子間の接合材を加圧して
これらの密着性を高め接合強度を向上させるとともに、
接合材に混入する気泡等を前記孔部、又は切り欠きから
取り除き、超音波の伝達を低下させることがない。そし
て、接合材の硬化後、前記螺合部材を取り外せば、省ス
ペース化が図れる。このため、洗浄槽への接合する点、
並びに素子同士を接合する点で信頼性の高い超音波洗浄
装置を得ることができる。
【図１】本発明の第１の実施例を示す超音波洗浄装置の
分解断面図である。
分解断面図である。
【図２】図１を組み立てた断面図である。
【図３】図２の接合材硬化後の正面図である。
【図４】本発明の第２の実施例を示す超音波洗浄装置の
分解断面図である。
分解断面図である。
【図５】図４を組み立てた断面図である。
【図６】図５の接合材硬化後の正面図である。
【図７】本発明の第３の実施例を示す超音波洗浄装置の
分解断面図である。
分解断面図である。
【図８】図７を組み立てた断面図である。
【図９】図８の接合材硬化後の正面図である。
【図１０】本発明の第４の実施例を示す超音波洗浄装置
の正面図である。
の正面図である。
１・・・洗浄槽 １１，１２・・・雄ねじ部 １３，１４・・・雌ねじ部 ２，４１，４２・・・圧電素子 ３・・・押し板 ５１，５２，５３，５４・・・ねじ具
Claims (4)
- 【請求項１】 圧電素子に駆動電極が形成されたプレー
ト型超音波振動子であって、前記圧電素子には、孔部、
又は切り欠き部が形成された事を特徴とするプレート型
超音波振動子。 - 【請求項２】 圧電素子に駆動電極が形成されたプレー
ト型超音波振動子を、洗浄槽に接合材を用いて貼着され
てなる超音波洗浄装置であって、前記圧電素子には、孔
部、又は切り欠き部が形成されているとともに、前記洗
浄槽のうち前記圧電素子の孔部、又は切り欠きに対応し
た位置には、前記孔部、又は切り欠きと嵌合する位置決
め部材が形成されている事を特徴とする超音波洗浄装
置。 - 【請求項３】 圧電素子に駆動電極が形成されたプレー
ト型超音波振動子を複数枚用いて、お互いに接合材によ
り貼り合わせ、かつ、洗浄槽に接合材を用いて貼着され
てなる超音波洗浄装置であって、前記各圧電素子には、
孔部、又は切り欠き部が形成されているとともに、前記
洗浄槽のうち前記各圧電素子の孔部、又は切り欠きに対
応した位置には、前記孔部、又は切り欠きと嵌合する位
置決め部材が形成されている事を特徴とする超音波洗浄
装置。 - 【請求項４】 前記孔部、又は切り欠きと嵌合する位置
決め部材が螺合部材よりなる事を特徴とする特許請求項
２，３記載の超音波洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13775397A JPH10309546A (ja) | 1997-05-12 | 1997-05-12 | プレート型超音波振動子、及び超音波洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13775397A JPH10309546A (ja) | 1997-05-12 | 1997-05-12 | プレート型超音波振動子、及び超音波洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10309546A true JPH10309546A (ja) | 1998-11-24 |
Family
ID=15206038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13775397A Pending JPH10309546A (ja) | 1997-05-12 | 1997-05-12 | プレート型超音波振動子、及び超音波洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10309546A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100473785B1 (ko) * | 2002-06-20 | 2005-03-08 | 주식회사 울쏘하이텍 | 수조에 체결되는 초음파진동장치 |
| JP2005337480A (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-08 | Toyota Motor Corp | 圧電式制振装置の構成方法 |
| JP2008068221A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Pre-Tech Co Ltd | 超音波洗浄装置 |
| KR100928038B1 (ko) | 2009-06-30 | 2009-11-24 | 이호수 | 디스크 타입의 진동자 |
| JP2013189941A (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-26 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 超音波清掃装置 |
| CN117019761A (zh) * | 2023-10-10 | 2023-11-10 | 常州捷佳创精密机械有限公司 | 超声波/兆声波清洗槽 |
-
1997
- 1997-05-12 JP JP13775397A patent/JPH10309546A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN117019761A (zh) * | 2023-10-10 | 2023-11-10 | 常州捷佳创精密机械有限公司 | 超声波/兆声波清洗槽 |
| CN117019761B (zh) * | 2023-10-10 | 2024-01-23 | 常州捷佳创精密机械有限公司 | 超声波/兆声波清洗槽 |
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