CN117019761B - 超声波/兆声波清洗槽 - Google Patents

Abstract

本发明属于硅片清洗技术领域，具体涉及一种超声波/兆声波清洗槽。本超声波/兆声波清洗槽包括：清洗外槽、设置在清洗外槽内的清洗内槽；所述清洗内槽的各侧壁均采用非金属材质；所述清洗内槽的底部安装有若干个石英板单元依次拼接而成的大型石英板。本发明的超声波/兆声波清洗槽，将清洗内槽的各侧壁设置非金属材质，清洗内槽的底部设置大型石英板，有效的避免硅片清洗时的金属杂质污染，同时通过将小的石英板单元拼接成大型石英板，使其结构更稳定，不易破裂。

Description

超声波/兆声波清洗槽

技术领域

本发明属于硅片清洗技术领域，具体涉及一种超声波/兆声波清洗槽。

背景技术

硅片表面的湿法清洗是半导体和太阳能电池领域非常重要的一个环节，在半导体工业中，由于表面清洗不干净引起的芯片失效已超过制造环节总损失的一半以上，其清洗质量、清洗效率的高低将直接影响到产品的性能乃至可靠性、稳定性。在太阳能电池制造流程中，硅片需要经过多次清洗的环节以保证杂质、污染物、金属离子等成分的去除，清洗质量的好坏对太阳能电池的转换效率、可靠性、稳定性同样有极大的影响。

超声波/兆声波清洗技术在硅片表面的清洗的工序中可以起到重要的作用，超声波清洗的原理是由清洗槽底部的超声波电源发出高频振荡电流，经换能器转变为机械振动波传入到清洗介质中，从而在液体中产生空化和声波流两种现象，在这两种现象的合力下将附着在晶圆表面的颗粒去除。但是不锈钢的超声波/兆声波槽体不能直接用来清洗硅片或晶圆，易产生金属杂质污染；目前行业内使用石英内槽放置在不锈钢槽体内作为清洗工艺槽，由于石英材质的特殊性，无法焊接成大体积槽体，焊接时极易碎裂。

发明内容

本发明的目的是提供一种超声波/兆声波清洗槽，通过将小的石英板单元拼接成大型石英板，使其结构更稳定，不易破裂。

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种超声波/兆声波清洗槽，包括：

清洗外槽、设置在清洗外槽内的清洗内槽；所述清洗内槽的各侧壁均采用非金属材质；所述清洗内槽的底部安装有若干个石英板单元依次拼接而成的大型石英板；所述大型石英板包括：增加石英板单元强度的加固机构；所述加固机构包括：设置在石英板单元的下表面的加固框、设置在石英板单元未拼接侧边上的L型石英板架、设置在石英板单元拼接边处的T型石英板架，以及与T型石英板架相适配的拼接架；通过紧固件依次将L型石英板架、石英板单元与加固框固定连接，以固定石英板单元的未拼接侧边；通过紧固件依次将T型石英板架、石英板单元、加固框以及拼接架固定连接，以固定相邻的石英板单元的拼接处。

进一步，所述石英板单元的上表面设置有十字加强筋；所述加固框的底部设置有与十字加强筋相适配的十字托。

进一步，各所述加固框分别与清洗内槽各侧壁的底部卡接，并通过位于清洗外槽的底部的支撑件抵紧。

进一步，各所述加固框的底部间隔设置有倾斜排水面。

进一步，所述超声波/兆声波清洗槽还包括：设置在大型石英板上的清洗管路；所述清洗管路包括：依次对称分布的药液管、水管，以及分布在两个水管之间的三路气管。

进一步，所述药液管上均匀分布有若干个药液孔；所述药液孔的开孔方向朝向清洗内槽的底部。

进一步，所述水管上均匀分布有若干个出水孔；所述出水孔的开孔方向朝向内槽的开口处。

进一步，所述超声波/兆声波清洗槽还包括：依次贯穿清洗内槽、清洗外槽底部的内槽排液管。

进一步，所述内槽排液管的安装机构包括：设置在清洗外槽底部内侧的定位槽、设置在定位槽内的第一密封圈、抵紧第一密封圈的第一法兰、设置在清洗外槽底部外侧的第二密封圈，以及套设在内槽排液管外的第二法兰；通过紧固件依次贯穿第二法兰、第二密封圈、清洗外槽、第一密封圈以及第一法兰，以紧固内槽排液管。

本发明的有益效果是，本发明的超声波/兆声波清洗槽，将清洗内槽的各侧壁设置非金属材质，清洗内槽的底部设置大型石英板，有效的避免硅片清洗时的金属杂质污染，同时通过将小的石英板单元拼接成大型石英板，使其结构更稳定，不易破裂。

本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。

为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明的超声波/兆声波清洗槽的内部示意图；

图2是本发明的超声波/兆声波清洗槽的未放置清洗管路的俯视图；

图3是本发明的超声波/兆声波清洗槽的仰视图；

图4是本发明的超声波/兆声波清洗槽的俯视图；

图5是图4中A-A位置的剖视图；

图6是图4中B-B位置的剖视图。

图中：

清洗外槽1，清洗内槽2，石英板单元3，十字加强筋31，加固机构4，加固框41，倾斜排水面411，L型石英板架42，T型石英板架43，拼接架44，十字托45，十字托安装架46，密封圈47，支撑件5，清洗管路6，药液管61，水管62，气管63，内槽排液管7，安装机构8，定位槽81，第一密封圈82，第一法兰83，第二密封圈84，第二法兰85。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例，如图1至图3所示，本实施例提供了一种超声波/兆声波清洗槽，包括：清洗外槽1、设置在清洗外槽1内的清洗内槽2；所述清洗内槽2的各侧壁均采用非金属材质；所述清洗内槽2的底部安装有若干个石英板单元3依次拼接而成的大型石英板。将清洗内槽2的各侧壁设置非金属材质，清洗内槽2的底部设置大型石英板，有效的避免硅片清洗时的金属杂质污染，同时通过将小的石英板单元3拼接成大型石英板，使其结构更稳定，不易破裂。

其中，清洗内槽2的各侧壁可以但不限于采用PP材质；大型石英板通过两个石英板单元拼接而成。

可选的，所述大型石英板包括：增加石英板单元3强度的加固机构4；所述加固机构4包括：设置在石英板单元3的下表面的加固框41、设置在石英板单元3未拼接侧边上的L型石英板架42、设置在石英板单元3拼接边处的T型石英板架43，以及与T型石英板架43相适配的拼接架44；通过紧固件依次将L型石英板架42、石英板单元3与加固框41固定连接，以固定石英板单元3的未拼接侧边；通过紧固件依次将T型石英板架43、石英板单元3、加固框41以及拼接架44固定连接，以固定相邻的石英板单元3的拼接处。通过螺钉依次贯穿L型石英板架42、石英板单元3与加固框41，以固定石英板单元3的未拼接侧边，通过螺钉依次贯穿T型石英板架43、石英板单元3、加固框41以及拼接架44，以固定相邻的石英板单元3的拼接处，形成结构稳定的大型石英板。

本实施例中，所述石英板单元3的上表面设置有十字加强筋31；所述加固框41的底部设置有与十字加强筋31相适配的十字托45。通过设置十字加强筋31与十字托45，能够增加石英板单元3两面的强度。

其中，十字托45通过十字托安装架46与加固框41固定连接；石英板单元3与加固框41的连接处设置有密封圈47，通过设置密封圈47能够提高大型石英板的密封性。

由于石英板单元3与加固框41的连接处可能会有渗漏的水珠，将加固框41的底部间隔设置有倾斜排水面411，会令水珠沿斜面滚落，不易在加固框41的下方凝结。

如图4所示，所述超声波/兆声波清洗槽还包括：设置在大型石英板上的清洗管路6；所述清洗管路6包括：依次对称分布的药液管61、水管62，以及分布在两个水管62之间的三路气管63。

可选的，所述药液管61上均匀分布有若干个药液孔；所述药液孔的开孔方向朝向清洗内槽2的底部，从而防止药液飞溅和直接喷到硅片上。

可选的，所述水管62上均匀分布有若干个出水孔；所述出水孔的开孔方向朝向内槽的开口处。

其中，每路气管63设置有四个管路，四个管路又分为两两相连的管路。

如图5所示，各所述加固框41分别与清洗内槽2各侧壁的底部卡接，并通过位于清洗外槽1的底部的支撑件5抵紧。清洗内槽2的侧壁通过延伸的固定板与清洗外槽1固定连接，加固框41与清洗内槽2的侧壁的底部卡接后处于悬空状态，通过支撑件5将大型石英板支撑起来，既可以起到支撑的作用，又可以让加固框41与清洗内槽2连接更加稳定。

如图6所示，所述超声波/兆声波清洗槽还包括：依次贯穿清洗内槽2、清洗外槽1底部的内槽排液管7。

本实施例中，所述内槽排液管7的安装机构8包括：设置在清洗外槽1底部内侧的定位槽81、设置在定位槽81内的第一密封圈82、抵紧第一密封圈82的第一法兰83、设置在清洗外槽1底部外侧的第二密封圈84，以及套设在内槽排液管7外的第二法兰85；通过紧固件依次贯穿第二法兰85、第二密封圈84、清洗外槽1、第一密封圈82以及第一法兰83，以紧固内槽排液管7。安装时，可以先把第一密封圈82、套设于上第一法兰83放置于定位槽81，然后再从下方将第二密封圈84、第二法兰85使用螺栓紧固，安装和维护方便。

综上所述，本发明的超声波/兆声波清洗槽，将清洗内槽2的各侧壁设置非金属材质，清洗内槽2的底部设置大型石英板，有效的避免硅片清洗时的金属杂质污染，同时通过将小的石英板单元3拼接成大型石英板，使其结构更稳定，不易破裂；通过螺钉依次贯穿L型石英板架42、石英板单元3与加固框41，以固定石英板单元3的未拼接侧边，通过螺钉依次贯穿T型石英板架43、石英板单元3、加固框41以及拼接架44，以固定相邻的石英板单元3的拼接处，形成结构稳定的大型石英板；通过设置十字加强筋31与十字托45，能够增加石英板单元3两面的强度。

本申请中选用的各个器件（未说明具体结构的部件）均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

在本发明实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (6)

1.一种超声波/兆声波清洗槽，其特征在于，包括：

清洗外槽、设置在清洗外槽内的清洗内槽；

所述清洗内槽的各侧壁均采用非金属材质；

所述清洗内槽的底部安装有若干个石英板单元依次拼接而成的大型石英板；

所述大型石英板包括：增加石英板单元强度的加固机构；

所述加固机构包括：设置在石英板单元的下表面的加固框、设置在石英板单元未拼接侧边上的L型石英板架、设置在石英板单元拼接边处的T型石英板架，以及与T型石英板架相适配的拼接架；

通过紧固件依次将L型石英板架、石英板单元与加固框固定连接，以固定石英板单元的未拼接侧边；

通过紧固件依次将T型石英板架、石英板单元、加固框以及拼接架固定连接，以固定相邻的石英板单元的拼接处;

所述石英板单元的上表面设置有十字加强筋；

所述加固框的底部设置有与十字加强筋相适配的十字;

各所述加固框分别与清洗内槽各侧壁的底部卡接，并通过位于清洗外槽的底部的支撑件抵紧；

各所述加固框的底部间隔设置有倾斜排水面。

2.如权利要求1所述的超声波/兆声波清洗槽，其特征在于，

所述超声波/兆声波清洗槽还包括：设置在大型石英板上的清洗管路；

所述清洗管路包括：依次对称分布的药液管、水管，以及分布在两个水管之间的三路气管。

3.如权利要求2所述的超声波/兆声波清洗槽，其特征在于，

所述药液管上均匀分布有若干个药液孔；

所述药液孔的开孔方向朝向内槽的底部。

4.如权利要求2所述的超声波/兆声波清洗槽，其特征在于，

所述水管上均匀分布有若干个出水孔；

所述出水孔的开孔方向朝向清洗内槽的开口处。

5.如权利要求1所述的超声波/兆声波清洗槽，其特征在于，

所述超声波/兆声波清洗槽还包括：依次贯穿清洗内槽、清洗外槽底部的内槽排液管。

6.如权利要求5所述的超声波/兆声波清洗槽，其特征在于，

所述内槽排液管的安装机构包括：设置在清洗外槽底部内侧的定位槽、设置在定位槽内的第一密封圈、抵紧第一密封圈的第一法兰、设置在清洗外槽底部外侧的第二密封圈，以及套设在内槽排液管外的第二法兰；

通过紧固件依次贯穿第二法兰、第二密封圈、清洗外槽、第一密封圈以及第一法兰，以紧固内槽排液管。