JPH10307126A - 渦電流プローブ - Google Patents
渦電流プローブInfo
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Abstract
した面に対しても一様な圧力を加え得る渦電流プローブ
を提供する。 【解決手段】 プローブは、支持部材(12)、縦軸線
(28)を持ち且つ中孔(33)を画成する半径方向内
側を向いた面部分(32)を持つ外面(30)を含む環
状の第1の弾性部材(14)、前記中孔全体を覆う弾性
膜(16)、第1の弾性部材よりも大きい弾性係数を持
ち且つ前記中孔の中に配置された第2の弾性部材(1
8)、および可撓性の渦電流検知コイル(20)を有す
る。第1の弾性部材の外面の第1の端面部分(36)が
支持部材に接触している。弾性膜の第1の面(46)が
第1の弾性部材の第2の端面部分(38)に接触する。
第2の弾性部材の第1の面(50)が弾性膜の第2の面
(48)に接触する。渦電流検知コイルは第2の弾性部
材の第2の面(52)の一部分の上に配置されている。
Description
の傷を検出するための渦電流検査システムに関するもの
であり、更に詳しくは渦電流検査システム用の手持ち可
能なプローブに関するものである。
する傷または欠陥を検出するために非破壊性の渦電流を
使用する渦電流検査システムは周知である。このような
検査システムは典型的には円形渦電流プローブを用い、
各々のプローブは渦電流駆動コイルおよび渦電流検知コ
イルを有する(これらの駆動および検知コイルは同じコ
イルであっても、別々のコイルであってもよい)。しか
し、公知のプローブは、多数の個々に検知する大体同じ
の可撓性の渦電流検知コイルを、多数の行および多数の
オフセットした列に配列した矩形アレイに構成して含ん
でおり、各々の渦電流検知コイルは長さ対幅比が大体2
である矩形の形に形成されている。渦電流検知コイルの
最適な効率は、検知装置が検査中の部品と直接接触して
配置されたときに生じる。充分な信号対雑音比を持つ一
貫した且つ繰返し可能な検査結果を得るためには、一様
な圧力を加えることが必要である。従って、湾曲した面
(すなわち、丸まったかどを含む滑らかに変化する凸面
および凹面)は渦電流傷検出システムにとって問題を生
じる。公知の解決策は、渦電流プローブ内の可撓性の渦
電流検知コイル・アレイの背後に対して制御した圧力の
圧縮ガスを使用し、このプローブを多軸機械的制御シス
テムの制御の下に検査中の部品に対して正確に操作する
ことである。
手持ち可能であり、平坦な又は滑らかに湾曲した面に対
して一様な圧力を加えるように内蔵型であり、しかも本
質的に機械的位置決め制御システムに接続された従来の
プローブよりも良好な感度または同等な感度を有する渦
電流プローブが要望されている。
は、支持部材、全体的に環状の第1の弾性部材、弾性
膜、第2の弾性部材および可撓性の渦電流検知コイルを
含む。第2の弾性部材は、第1の弾性部材の第1の弾性
係数よりも大きい第2の弾性係数を持つ。第1の弾性部
材の外面が、中孔を画成する全体的に半径方向内側を向
いた面部分、全体的に半径方向外側を向いた面部分、並
びに各々がこれらの半径方向内側および半径方向外側を
向いた面部分に接続された全体的に対向する第1および
第2の端面部分を含む。第1の端面部分は支持部材に接
触する。弾性膜は、全体的に中孔全体を覆うように延在
し、対向する第1および第2の面を持つ。この第1の面
は、第1の弾性部材の外面の第2の端面部分と接触して
いるが、第1の弾性部材の外面の全体的に半径方向内側
を向いた面部分には付着していない。第2の弾性部材
は、中孔の中に配置されるが、第1の弾性部材に付着し
ていず、また全体的に対向する第1および第2の面を持
つ。第2の弾性部材の第1の面は弾性膜の第2の面に接
触する。可撓性の渦電流検知コイルは第2の弾性部材の
第2の面の一部分の上に配置される。
性部材の第2の面上に位置する唯一の渦電流検知コイル
であり、またこのコイルは、長さ方向軸線を持ち且つ長
さ対幅比が少なくとも3である全体的に矩形の形状を持
つ。一実施態様では、支持部材は基板であり、渦電流検
知コイルが基板に回転自在に取り付けられて、第1の弾
性部材の縦軸線の周りを回転できるようにされ、また渦
電流プローブが、基板に関して固定された基準方向に対
して、縦軸線の周りの渦電流検知コイルの長さ方向軸線
の回転角度を測定する手段を更に含む。
に取り付けられた信号増幅器を含み、この構成により必
然的に信号増幅器が渦電流検知コイルの近くに位置する
ことになる。本発明により幾つかの利益および利点が得
られる。本発明の渦電流プローブは、操作者が手で持つ
ことができ、また可撓性の渦電流検知コイルの背部に本
質的に一定の力を供給することができる。この力は、操
作者が高価な多軸機械的制御システムや扱い難い圧縮ガ
ス供給装置を必要とせずに被検査面に対してプローブを
押し付けたり被検査面に沿ってプローブを動かすために
加える可変の圧力から全体的にデカップリングされる。
好ましい細長の矩形の形状の単一の渦電流検知コイルは
公知の多コイル・システムと同じ検査範囲を提供する。
好ましい回転自在のプローブは、プローブを便利な一方
向に進行させながら、従来の渦電流探傷技術で検出し難
かった傷を検出できるように渦電流検知コイルを異なる
方向に沿って揃えることが出来る。信号増幅器の好まし
い配置位置により、公知の渦電流検査システムに比べて
信号対雑音比が改善される。
各々の図において同様な又は対応する部品には同じ参照
数字が付してある。図1および2は、本発明の第1の好
ましい実施態様による渦電流プローブ10を示す。ここ
で、渦電流検査システムは渦電流プローブ10からの信
号を処理して表示し、このような処理および表示は当業
者に周知であって、本発明の一部を構成しないことに留
意されたい。本発明の渦電流プローブ10は、支持部材
12、全体的に環状の第1の弾性部材14、弾性膜1
6、第2の弾性部材18および可撓性の渦電流検知コイ
ル20を含む。典型的には、渦電流プローブ10はま
た、当業者に理解されるように可撓性の渦電流駆動コイ
ル(図の簡単化のために図示していない)を含む。
1および第2の面24および26を持つプラスチック基
板22である。しかし、支持部材12は任意の形状を有
していてよい。支持部材12の好ましい材料はプラスチ
ックである。全体的に環状の第1の弾性部材14は第1
の弾性係数を持ち、また縦軸線28および外面30を持
つ。外面30は、中孔33を画成する全体的に半径方向
内側を向いた面部分32、全体的に半径方向外側を向い
た面部分34、並びに各々がこれらの面部分に接続され
た第1および第2の端面部分36および38を含む。第
1の端面部分36は支持部材12に接触する。好ましく
は、第1の弾性部材14の外面30の第1の端面部分3
6は、基板22の第1の面24に接触し且つそれに取り
付けられる。図1に示した第1の好ましい実施態様で
は、第1の弾性部材14は、これに限定されるものでは
ないが、RTV(室温加硫)シリコーンのような弾性材
料の単一のモノリシック・リングである。
様では、第1の弾性部材114は、縦軸線28とほぼ同
軸に配置されていて、基板22の第1の面24に取り付
けられているゲル(gel)リング140、縦軸線28
とほぼ同軸に配置されていて、ゲル・リング140に縦
方向に取り付けられているフォーム(foam)リング
142、および縦軸線28とほぼ同軸に配置されてい
て、フォーム・リング142に縦方向に取り付けられて
いる環状のゴム接触遮蔽体144で構成されている。フ
ォーム・リング142はゲル・リング140と環状のゴ
ム接触遮蔽体144との間に縦方向に配置されている。
ここで、ゲル・リング140、フォーム・リング142
および環状のゴム接触遮蔽体144は全体的に同心であ
ることに注意されたい。好ましくは、ゲル・リング14
0は本質的にRTVシリコーンで形成され、フォーム・
リング142は本質的にネオプレン・スポンジ・ゴムで
形成され、環状のゴム接触遮蔽体144は本質的にフォ
ーム・ゴムで形成される。環状のゴム接触遮蔽体144
は耐磨耗性を与え、ゲル・リング140(常に、フォー
ム・リング142よりも弾性である)は第1の弾性部材
114が被検査面45(図1参照)に対して一層良好に
順応できるようにし、フォーム・リング142は基板2
2を被検査面45から弾性隔離距離だけ隔てるための基
本的な機械的支持を行う。
れるような配置形状のゲル・リング240およびフォー
ム・リング242が、環状のゴム接触遮蔽体144と共
に、第1の弾性部材214を構成する。フォーム・リン
グ242は、縦軸線28とほぼ同軸に配置されていて、
ゲル・リング240に半径方向に取り付けられている。
フォーム・リング242の内径はゲル・リング240の
外径に大体等しい。このような設計は、凹面形の被検査
面45に対して良好な順応性を持つ。
れるような配置形状のゲル・リング340およびフォー
ム・リング342が、環状のゴム接触遮蔽体144と共
に、第1の弾性部材314を構成する。フォーム・リン
グ342の外径はゲル・リング340の内径に大体等し
い。このような設計は、凸面形の被検査面45に対して
良好な順応性を持つ。
うように延在し、対向する第1および第2の面46およ
び48を持つ。第1の面46は、第1の弾性部材14の
外面30の第2の端面部分38と接触しているが、第1
の弾性部材14の外面30の全体的に半径方向内側を向
いた面部分32には付着していない。一構成例では、弾
性膜16の第1の面46は第1の弾性部材14の外面3
0の第2の端面部分38に取り付けられる。弾性膜16
はまた基板22に取り付けることが望ましい。好ましく
は、弾性膜16は本質的にラテックス・ゴムで形成され
る。図3に示されるように第1の弾性部材114が環状
のゴム接触遮蔽体144を含んでいる場合、弾性膜16
の第1の面46は環状のゴム接触遮蔽体144に取り付
けられる。
4の第1の弾性係数よりも大きい第2の弾性係数を持
つ。第2の弾性部材18は、中孔33の中に配置される
が、第1の弾性部材14に付着していず、また全体的に
対向する第1および第2の面50および52を持つ。こ
こで、第2の弾性部材18の第1の面50が弾性膜16
の第2の面48に接触していることに注意されたい。
性部材18の第2の面52の一部分の上に配置される。
好ましくは、渦電流検知コイル20は第2の弾性部材1
8の第2の面52上に位置する唯一の渦電流検知コイル
である。好ましい構成では、渦電流検知コイル20は、
長さ方向軸線54を持ち且つ長さ対幅比が少なくとも3
(好ましくは、少なくとも6)である全体的に矩形の形
状を持つ。ここで、好ましい細長の矩形の形状の単一の
渦電流検知コイル20が公知の多コイル・システムと同
じ検査範囲を提供することに注意されたい。このような
好ましい構成の場合、第2の弾性部材18が全体的に楕
円体形状を持ち、その主軸を渦電流検知コイル20の長
さ方向軸線54と大体平行に揃えることが望ましい。し
かし、渦電流検知コイル20は任意の形状を持っていて
よく、また離間配置されて電気接続された複数のサブコ
イルの任意の組合せでもよい。
在に取り付けて、縦軸線28の周りを回転できるように
することが好ましい。回転自在の渦電流検知コイル20
の場合、渦電流プローブ10が、基板22に関して固定
された基準方向に対して、縦軸線28の周りの渦電流検
知コイル20の長さ方向軸線54の回転角度を測定する
手段を含んでいることが望ましい。このような測定手段
は、図2に示されているように基板22の第1の面24
上に角度マークを含んでいることが好ましい。他の測定
手段としては、当業者に周知のように、このような角度
のディジタル読出し手段などを含むものである。本発明
者は、被検査面45に沿った渦電流プローブ10の進行
方向からある角度だけ渦電流検知コイル20をずらすこ
とにより傷をより容易に検出できることを見出した。
ローブ10はまた、可撓性の電気リード58および60
を収容する可撓性のポリイミド・フィルム56を含む。
渦電流検知コイル20がポリイミド・フィルム56の中
に配置されて、電気リード58および60に接続され
る。望ましい構成では、ポリイミド・フィルム56は基
板22に取り付けられる(好ましくは、回転自在に取り
付けられる)。
して、ポリイミド・フィルム56を覆うようにポリアミ
ドのメッシュ生地62が配置される。ポリアミドのメッ
シュ生地62が実際に被検査面45に接触する部材にな
る。ポリアミドのメッシュ生地62の目的は、容易に取
り替えることができ、被検査面45との接触により磨耗
することである。この目的にはテフロン(登録商標)テ
ープを使用することが出来る。
更に、基板22の第2の面26に取り付けられ且つ渦電
流検知コイル20に電気接続された信号増幅器64を含
む。これにより、従来の渦電流検査システムと比べて、
信号増幅器64が渦電流検知コイル20の近くに配置さ
れる。信号増幅器64および渦電流検知コイル20を本
質的に同じ位置に置くことにより、信号対雑音比が改善
され、従って傷の検出が改善される。
手で持つことができ、また可撓性の渦電流検知コイル2
0の背部に本質的に一定の力を供給することができ、こ
の力は、操作者が被検査面に対してプローブ10を押し
付けたり又は被検査面に沿ってプローブ10を動かすた
めに加える可変の圧力から全体的にデカップリングされ
ることに注意されたい。希望により、プローブ10は機
械的制御システムによって移動させるようにしてもよい
が、好ましい操作モードはプローブ10を手で動かすこ
とである。安定性のために、手によるプローブの移動を
案内するためにジグを使用してもよい。図1は、手に順
応性のあるプラスチック・ハウジング66を更に示して
いる。このプラスチック・ハウジング66は、基板22
の第2の面26を覆うと共に、渦電流検査システムの信
号処理及び画像表示部分へ延在するケーブル68や図に
示されていない他の部分を覆う。
討することにより、当業者には、本願の基本的発明が
(前述のプローブ構成部品を含めて)より一般的に、傷
の有無を検査すべき物体の被検査面45に接近するよう
に移動可能な支持部材12、および支持部材12が被検
査面45に接近するように移動されたとき支持部材12
と被検査面45との間に隔離距離を定める第1の手段を
含む、渦電流プローブ10のような、プローブとして記
述されることが理解されよう。第1の手段は、支持部材
12が被検査面45に接近するように移動されたとき、
被検査面45および支持部材12に接触する。このよう
な接近移動は、被検査面45へ直接向かう接近移動を含
み、更に好ましくは被検査面45に沿った接近移動も含
む。好ましくは、第1の手段は、前述の第1の弾性部材
14、前述の弾性膜16の重なる部分、および前述のポ
リアミドのメッシュ生地62の重なる部分を含む。他の
第1の手段は、1つ以上の任意の形状の堅固な及び/又
は弾性のブロック部材を含み、弾性はバネ、ガス、液
体、エラストマーなどで与えることが出来る。
た、第1の手段が被検査面45に接触したとき被検査面
45に所定の力を加えるための第2の手段を含む。第2
の手段全体は、支持部材12の近くに位置決めされてい
て、支持部材12が被検査面45に接近するとき被検査
面45に接近する。第2の手段は、第1の手段が被検査
面45に接触したときに被検査面45に接触する。所定
の力は、第1の手段が被検査面45に接触したときに第
1の手段によって被検査面45に加えられる力から全体
的にデカップリングされる。第2の手段は、第1の手段
が被検査面45に接触したときに被検査面45の近くに
位置決めされる(可撓性の渦電流検知コイル20のよう
な)可撓性の検知装置を含む。好ましくは、第2の手段
はまた、前述の弾性膜16、前述の第2の弾性部材1
8、前述の可撓性のポリイミド・フィルム56、および
前述のポリアミドのメッシュ生地62の重なる部分を含
む。他の第2の手段はまた、渦電流検知コイル20の背
後に配置され、第1の手段に取り付けられていず、且つ
支持部材12に取り付けられる(或いは、支持部材12
の近くに留まるように何らかの手段で拘束される)ガス
または液体充填ブラダ(bladder)、バネ、エラ
ストマーなどを含む。当業者には理解されるように、上
述の第2の手段は所定の大体一定の力を供給し、この力
は第1の手段によって被検査面45に加えられる力から
全体的にデカップリングされる。可撓性の検知装置とし
ては、これに限定されないが、当業者に理解され得るよ
うに、前述の渦電流検知コイル20、超音波試験のため
のポリ弗化ビニリデンのような強誘電体ポリマー、圧力
試験のための2つのコンデンサ板、熱伝対など、および
それらの組合せが挙げられる。ここで、第2の手段が典
型的には(可撓性の渦電流駆動コイルのような)可撓性
の駆動装置も含んでおり、この駆動装置が用途によって
は検知装置と同じ構造(例えば、特定の超音波用途で使
用される共通の送信−受信トランスジューサ)を時分割
使用することに留意されたい。
0の好ましい実施態様を以下に示す。支持部材12、第
1の手段および第2の手段は一緒に手持ち可能である。
第2の手段は、被検査面45に接近する支持部材12の
移動によってのみ所定の力を供給する。第2の手段全体
は、第1の手段が被検査面45に接触したとき、支持部
材12と被検査面45との間の隔離距離内に配置され
る。第2の手段は第1の手段よりも一層弾性である。
の手段内に含まれる唯一の渦電流検知コイルであり、ま
た渦電流検知コイル20は、長さ方向軸線54を持ち且
つ長さ対幅比が少なくとも3(好ましくは、少なくとも
6)である全体的に矩形の形状を持つ。渦電流検知コイ
ル20は支持部材12に回転自在に取り付けられる。渦
電流プローブ10がまた、支持部材12に関して固定さ
れた基準方向に対して、渦電流検知コイル20の長さ方
向軸線54の回転角度を測定する第3の手段を含む。こ
のような第3の手段は、前に述べた角度測定手段と等価
である。渦電流プローブ10は更に、支持部材12に取
り付けられ且つ渦電流検知コイル20に電気接続された
信号増幅器64を含む。
実施態様の渦電流プローブ10′は、支持部材12′、
縦軸線28′を持つ全体的に環状の第1の弾性部材1
4′、第2の弾性部材18′、可撓性の渦電流検知コイ
ル20′、およびポリアミドのメッシュ生地62′を含
む。上記の幾つかの好ましい実施態様は例示の目的で提
示した。本発明は上記の形態そのものに限定されず、上
記の教示するところから種々の変更および変形をなし得
ることは明らかであろう。本発明の範囲は特許請求の範
囲によって定められるものである。
弾性部材を含む渦電流型検知システム用プローブの概略
断面図である。
ローブの底面図である。
態様による第1の弾性部材とその隣接部材とを示す概略
断面図である。
態様による第1の弾性部材とその隣接部材とを示す、図
3と同様な概略断面図である。
態様による第1の弾性部材とその隣接部材とを示す、図
3と同様な概略断面図である。
1と同様であるが一部分のみを示す概略断面図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 支持部材、 縦軸線を持ち、且つ第1の弾性係数を持つ全体的に環状
の第1の弾性部材であって、当該第1の弾性部材の外面
が、中孔を画成する全体的に半径方向内側を向いた面部
分、全体的に半径方向外側を向いた面部分、並びに各々
がこれらの半径方向内側および半径方向外側を向いた面
部分に接続された全体的に対向する第1および第2の端
面部分を含み、該第1の端面部分が前記支持部材に接触
している第1の弾性部材、 全体的に前記中孔全体を覆うように延在する弾性膜であ
って、対向する第1および第2の面を持ち、該第1の面
が、前記第1の弾性部材の前記外面の前記第2の端面部
分と接触しているが、前記第1の弾性部材の前記外面の
前記全体的に半径方向内側を向いた面部分には付着して
いない弾性膜、 全体的に対向する第1および第2の面を持ち、且つ前記
第1の弾性係数よりも大きい第2の弾性係数を持つ第2
の弾性部材であって、当該第2の弾性部材は、前記中孔
の中に配置されているが、前記第1の弾性部材に付着し
ていず、当該第2の弾性部材の前記第1の面が前記弾性
膜の前記第2の面に接触している第2の弾性部材、およ
び前記第2の弾性部材の前記第2の面の一部分の上に配
置されている可撓性の渦電流検知コイル、を有している
ことを特徴とする渦電流プローブ。 - 【請求項2】 前記支持部材が、対向する第1および第
2の面を持つ基板であり、前記第1の弾性部材の前記外
面の前記第1の端面部分が前記基板の前記第1の面に接
触し且つ該第1の面に取り付けられている請求項1記載
の渦電流プローブ。 - 【請求項3】 前記第1の弾性部材が、前記縦軸線とほ
ぼ同軸に配置されて、前記基板の前記第1の面に取り付
けられているゲル・リングを有している請求項2記載の
渦電流プローブ。 - 【請求項4】 前記第1の弾性部材が更に、前記縦軸線
とほぼ同軸に配置されて、前記ゲル・リングに縦軸線方
向に取り付けられているフォーム・リングを有している
請求項3記載の渦電流プローブ。 - 【請求項5】 前記第1の弾性部材がまた更に、前記縦
軸線とほぼ同軸に配置されて、前記フォーム・リングに
縦軸線方向に取り付けられている環状のゴム接触遮蔽体
を有しており、前記フォーム・リングが前記ゲル・リン
グと前記環状のゴム接触遮蔽体との間に縦軸線方向に配
置されており、前記弾性膜の前記第1の面が前記環状の
ゴム接触遮蔽体に取り付けられている請求項4記載の渦
電流プローブ。
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US08/803613 | 1997-02-21 |
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EP (1) | EP0860698B1 (ja) |
JP (1) | JP4048333B2 (ja) |
DE (1) | DE69838011T2 (ja) |
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