JP2001183348A - プローブの可撓性先端に装着された箔センサを持つ渦電流プローブとその使用方法 - Google Patents
プローブの可撓性先端に装着された箔センサを持つ渦電流プローブとその使用方法Info
- Publication number
- JP2001183348A JP2001183348A JP2000248044A JP2000248044A JP2001183348A JP 2001183348 A JP2001183348 A JP 2001183348A JP 2000248044 A JP2000248044 A JP 2000248044A JP 2000248044 A JP2000248044 A JP 2000248044A JP 2001183348 A JP2001183348 A JP 2001183348A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- eddy current
- probe
- coil
- tip
- current probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/72—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
- G01N27/82—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
- G01N27/90—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents
- G01N27/904—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents with two or more sensors
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 変わった表面形状に順応するのに十分な可撓
性をもち、検査される面との衝撃に耐えることが出来る
渦電流プローブの提供。 【解決手段】 １対の銅コイルが箔ストリップ内に埋込
まれる。この対の内の第１のコイルが、表面上に渦電流
を誘起する電磁界を発生し、第２のコイルが表面上の渦
電流の影響を受ける電流を通す。第２のコイルの電流を
解析して、表面渦電流に関する情報を求める。渦電流プ
ローブは、可撓性の導電箔ストリップによって覆われた
先端を持つ金属ハウジングを有する。箔ストリップが、
プローブの先端にある変形可能なノーズに取付けられ、
この為ストリップ及びコイルがそれを適用する表面と同
形になる。
性をもち、検査される面との衝撃に耐えることが出来る
渦電流プローブの提供。 【解決手段】 １対の銅コイルが箔ストリップ内に埋込
まれる。この対の内の第１のコイルが、表面上に渦電流
を誘起する電磁界を発生し、第２のコイルが表面上の渦
電流の影響を受ける電流を通す。第２のコイルの電流を
解析して、表面渦電流に関する情報を求める。渦電流プ
ローブは、可撓性の導電箔ストリップによって覆われた
先端を持つ金属ハウジングを有する。箔ストリップが、
プローブの先端にある変形可能なノーズに取付けられ、
この為ストリップ及びコイルがそれを適用する表面と同
形になる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、材料の表面に渦電
流を誘起して測定することにより、導電材料の表面及び
表面下の領域の傷及び厚さを検出する渦電流プローブに
関する。本発明は特に、金属及び半導電の材料の表面被
覆、表面下のひび割れ及び表面の傷を検出するのに適し
ている。渦電流プローブを使って、金属又は半導電の材
料の上にある絶縁被覆の厚さを測定することも出来る。
流を誘起して測定することにより、導電材料の表面及び
表面下の領域の傷及び厚さを検出する渦電流プローブに
関する。本発明は特に、金属及び半導電の材料の表面被
覆、表面下のひび割れ及び表面の傷を検出するのに適し
ている。渦電流プローブを使って、金属又は半導電の材
料の上にある絶縁被覆の厚さを測定することも出来る。
【０００２】
【従来技術】渦電流プローブは金属及び半導電の物体の
表面を検査する為に使われる。ある用途では、蒸気及び
ガスタービンのロータ動翼のような金属物体の表面を検
査するのに渦電流プローブが用いられる。渦電流プロー
ブは、ロータ動翼を検査する為の非破壊試験を提供す
る。
表面を検査する為に使われる。ある用途では、蒸気及び
ガスタービンのロータ動翼のような金属物体の表面を検
査するのに渦電流プローブが用いられる。渦電流プロー
ブは、ロータ動翼を検査する為の非破壊試験を提供す
る。
【０００３】渦電流プローブが、検査される金属又は半
導電性の物体の表面（又は表面の近く）に適用される。
導電面に役に立つ渦電流を誘起する為に、プローブが電
磁界を表面に加えて、渦電流を誘起する。この電磁界は
渦電流プローブの誘起（駆動）コイルの電流によって発
生される。表面に誘起された渦電流は比較的エネルギが
弱く、表面の上（又は少なくともその近く）に配置され
たプローブによって検出するのが最善である。渦電流プ
ローブ内の感知コイルを表面に当てて配置し、感知コイ
ルの電流が表面渦電流の影響を受けるようにする。表面
渦電流の感知コイルの電流に対する影響が、プローブに
関連する処理回路によって測定される。絶縁被覆の厚さ
を測定するには、被覆の下にある導電又は半導電の面上
の渦電流を測定する。この渦電流の測定値が、渦電流プ
ローブとこの被覆を持つ部分との間の結合度を表す。こ
のプローブとこの部分との間の結合度は、プローブのコ
イルと絶縁被覆の下にある導電又は半導電の面との間の
距離の関数である。従って、被覆の厚さを、プローブに
よって測定された渦電流から決定することが出来る。
導電性の物体の表面（又は表面の近く）に適用される。
導電面に役に立つ渦電流を誘起する為に、プローブが電
磁界を表面に加えて、渦電流を誘起する。この電磁界は
渦電流プローブの誘起（駆動）コイルの電流によって発
生される。表面に誘起された渦電流は比較的エネルギが
弱く、表面の上（又は少なくともその近く）に配置され
たプローブによって検出するのが最善である。渦電流プ
ローブ内の感知コイルを表面に当てて配置し、感知コイ
ルの電流が表面渦電流の影響を受けるようにする。表面
渦電流の感知コイルの電流に対する影響が、プローブに
関連する処理回路によって測定される。絶縁被覆の厚さ
を測定するには、被覆の下にある導電又は半導電の面上
の渦電流を測定する。この渦電流の測定値が、渦電流プ
ローブとこの被覆を持つ部分との間の結合度を表す。こ
のプローブとこの部分との間の結合度は、プローブのコ
イルと絶縁被覆の下にある導電又は半導電の面との間の
距離の関数である。従って、被覆の厚さを、プローブに
よって測定された渦電流から決定することが出来る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】渦電流プローブを用い
て検査される多くの物体は複雑な表面の輪郭を持ってい
る。例えば、ロータ動翼は、捩れた翼形柱体、フランジ
及びパイントリー（松の木形）の根元を持っている。渦
電流プローブをロータ動翼又はその他の物体の表面の輪
郭に当てることは困難であり、ロボット制御の検査器械
を用いるときは、特にそうである。渦電流プローブの先
端が被検体の表面と同形にならないことがある。渦電流
プローブと表面との間に良好な接触が得られないか、又
はプローブと表面の間に空隙があると、プローブが、導
電又は半導電の面の上に誘起された渦電流を正確に測定
することが出来ない。同様に、プローブの先端は、無理
に表面に押し当てると、破損することがある。従って、
変わった表面形状に順応するのに十分な可撓性をもち、
検査される面との衝撃に耐えることが出来る渦電流プロ
ーブに対する要望がある。
て検査される多くの物体は複雑な表面の輪郭を持ってい
る。例えば、ロータ動翼は、捩れた翼形柱体、フランジ
及びパイントリー（松の木形）の根元を持っている。渦
電流プローブをロータ動翼又はその他の物体の表面の輪
郭に当てることは困難であり、ロボット制御の検査器械
を用いるときは、特にそうである。渦電流プローブの先
端が被検体の表面と同形にならないことがある。渦電流
プローブと表面との間に良好な接触が得られないか、又
はプローブと表面の間に空隙があると、プローブが、導
電又は半導電の面の上に誘起された渦電流を正確に測定
することが出来ない。同様に、プローブの先端は、無理
に表面に押し当てると、破損することがある。従って、
変わった表面形状に順応するのに十分な可撓性をもち、
検査される面との衝撃に耐えることが出来る渦電流プロ
ーブに対する要望がある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】箔ストリップに埋設され
ていて、プローブのセンサ先端にある変形可能なノーズ
によって支持された１対の導電コイルを持つ新規な渦電
流プローブを開発した。箔ストリップが変形可能なノー
ズの上に巻付けられて、ストリップ内のコイルを可撓的
に支持する。この可撓性により、コイル、ストリップ及
びノーズが検査される表面と同形になることが出来ると
共に、この表面との衝撃に耐えることが出来る。１対の
導電コイルの内、誘起コイル（駆動コイル）が被検体の
表面に渦電流を誘起する。他方のコイル（感知コイル）
が導電又は半導電の面上の渦電流からの磁束によって誘
起された電流を通す。感知コイルの誘起された電流は、
表面渦電流を表し、被検体の表面渦電流の強さを測定す
るのに使われる。
ていて、プローブのセンサ先端にある変形可能なノーズ
によって支持された１対の導電コイルを持つ新規な渦電
流プローブを開発した。箔ストリップが変形可能なノー
ズの上に巻付けられて、ストリップ内のコイルを可撓的
に支持する。この可撓性により、コイル、ストリップ及
びノーズが検査される表面と同形になることが出来ると
共に、この表面との衝撃に耐えることが出来る。１対の
導電コイルの内、誘起コイル（駆動コイル）が被検体の
表面に渦電流を誘起する。他方のコイル（感知コイル）
が導電又は半導電の面上の渦電流からの磁束によって誘
起された電流を通す。感知コイルの誘起された電流は、
表面渦電流を表し、被検体の表面渦電流の強さを測定す
るのに使われる。
【０００６】渦電流プローブの箔ストリップが、一緒に
積層された可撓性の２枚の被膜の間に誘起コイル及び感
知コイルを挟む。コイルは箔ストリップの中心に配置し
て、被膜の長さに沿って横方向に伸びるワイヤの平行な
トラックにより、ストリップの端にある端子に接続する
ことが出来る。箔の中心部分では、各々のコイルは矩形
の渦巻形コイルに配置することが出来る。両方のコイル
はストリップ内で巣ごもりにすることが出来る。
積層された可撓性の２枚の被膜の間に誘起コイル及び感
知コイルを挟む。コイルは箔ストリップの中心に配置し
て、被膜の長さに沿って横方向に伸びるワイヤの平行な
トラックにより、ストリップの端にある端子に接続する
ことが出来る。箔の中心部分では、各々のコイルは矩形
の渦巻形コイルに配置することが出来る。両方のコイル
はストリップ内で巣ごもりにすることが出来る。
【０００７】コイルを埋設した箔ストリップを渦電流プ
ローブの可撓性ノーズに巻付ける。ノーズが被膜及びコ
イルを支持する柔らかい基部となる。ノーズはシリコー
ンゴム又はその他の変形可能な材料で形成することが出
来る。研削の用途では、切削流体の影響をより受け難い
ＶＩＴＯＮ（登録商標）のようなゴム材料が必要になる
ことがある。ノーズの基部をプローブハウジングに取付
ける。ノーズの外面は丸くした稜部であってもよいし、
或いは測定しようとする目的の表面と同形の他の何らか
の形を持っていてよい。ノーズを表面に押し付けると、
それが変形して、この表面と同形になる。ノーズは弾力
性があり、表面から持ち上げると、もとの形に戻る。箔
ストリップをノーズに巻付けて、ノーズの外面の上に滑
らかにはめる。従って、ノーズが箔及びコイルに対する
支持面となり、箔が、別の表面と接触するときに、撓む
ことが出来るようにする。
ローブの可撓性ノーズに巻付ける。ノーズが被膜及びコ
イルを支持する柔らかい基部となる。ノーズはシリコー
ンゴム又はその他の変形可能な材料で形成することが出
来る。研削の用途では、切削流体の影響をより受け難い
ＶＩＴＯＮ（登録商標）のようなゴム材料が必要になる
ことがある。ノーズの基部をプローブハウジングに取付
ける。ノーズの外面は丸くした稜部であってもよいし、
或いは測定しようとする目的の表面と同形の他の何らか
の形を持っていてよい。ノーズを表面に押し付けると、
それが変形して、この表面と同形になる。ノーズは弾力
性があり、表面から持ち上げると、もとの形に戻る。箔
ストリップをノーズに巻付けて、ノーズの外面の上に滑
らかにはめる。従って、ノーズが箔及びコイルに対する
支持面となり、箔が、別の表面と接触するときに、撓む
ことが出来るようにする。
【０００８】渦電流プローブを被検体の表面の上に位置
ぎめするとき、プローブのセンサ先端を、ノーズを変形
させる位の力で、表面に押し付け、箔とコイルが表面の
輪郭と同形になるようにする。コイルが表面と同形にな
ったとき、コイルが表面に渦電流を誘起すると共に、そ
れを測定するのに適切であるように、表面に対して正し
く位置ぎめされる。コイルを表面にぴったりと沿わせる
ことにより、コイルは本質的に、表面にすぐ隣接して、
コイルと表面の間に空気ポケットがなくなるように位置
ぎめされる。誘起コイルが表面にあるから、このコイル
の電流は、導電又は半導電の面上に測定可能な渦電流を
誘起するのに、比較的控え目にすることが必要である。
同様に、感知コイルが表面に接近している為に、表面上
の渦電流によって、このコイルは比較的大きな電流を誘
起することが出来る。従って、コイルを測定しようとす
る物体の表面に当ててそれと同形にすることが出来るこ
とは、本発明の渦電流プローブの有利な特徴である。
ぎめするとき、プローブのセンサ先端を、ノーズを変形
させる位の力で、表面に押し付け、箔とコイルが表面の
輪郭と同形になるようにする。コイルが表面と同形にな
ったとき、コイルが表面に渦電流を誘起すると共に、そ
れを測定するのに適切であるように、表面に対して正し
く位置ぎめされる。コイルを表面にぴったりと沿わせる
ことにより、コイルは本質的に、表面にすぐ隣接して、
コイルと表面の間に空気ポケットがなくなるように位置
ぎめされる。誘起コイルが表面にあるから、このコイル
の電流は、導電又は半導電の面上に測定可能な渦電流を
誘起するのに、比較的控え目にすることが必要である。
同様に、感知コイルが表面に接近している為に、表面上
の渦電流によって、このコイルは比較的大きな電流を誘
起することが出来る。従って、コイルを測定しようとす
る物体の表面に当ててそれと同形にすることが出来るこ
とは、本発明の渦電流プローブの有利な特徴である。
【０００９】本発明の渦電流プローブの箔ストリップ及
びコイルを表面に直接的に当てることは、１つには、渦
電流プローブにある変形可能なノーズの為である。プロ
ーブが表面と接触するとき、被膜がプローブのノーズに
よって表面に対してしっかりと圧接される。ノーズと表
面との間の力によってノーズが変形するとき、被膜が表
面にぴったりと沿い、こうして被膜ストリップと表面と
の間に良好な接触をもたらす。従って、変形可能なノー
ズは、コイルを表面と同形にさせ、渦電流の良好な測定
を行うのに役立つ。
びコイルを表面に直接的に当てることは、１つには、渦
電流プローブにある変形可能なノーズの為である。プロ
ーブが表面と接触するとき、被膜がプローブのノーズに
よって表面に対してしっかりと圧接される。ノーズと表
面との間の力によってノーズが変形するとき、被膜が表
面にぴったりと沿い、こうして被膜ストリップと表面と
の間に良好な接触をもたらす。従って、変形可能なノー
ズは、コイルを表面と同形にさせ、渦電流の良好な測定
を行うのに役立つ。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１はプローブを用いて検査され
る物体１６、例えばタービン動翼の表面１４上に渦電流
１２を誘起して感知する渦電流プローブ１０を示す。渦
電流プローブの先端１８が、電源２７からの交流電流を
通す誘起コイル２０（又は駆動コイル）を有する。電源
からの交流電流が誘起コイル２０を流れて、このコイル
を取巻く磁界を発生する。誘起コイルからの磁束が、表
面１４上にプローブ先端の近辺に渦電流１２を発生す
る。
る物体１６、例えばタービン動翼の表面１４上に渦電流
１２を誘起して感知する渦電流プローブ１０を示す。渦
電流プローブの先端１８が、電源２７からの交流電流を
通す誘起コイル２０（又は駆動コイル）を有する。電源
からの交流電流が誘起コイル２０を流れて、このコイル
を取巻く磁界を発生する。誘起コイルからの磁束が、表
面１４上にプローブ先端の近辺に渦電流１２を発生す
る。
【００１１】渦電流プローブ１０の先端１８が感知コイ
ル２２を持っている。感知コイルは、被検体の表面の上
並びに渦電流プローブの先端部の近辺にある渦電流１２
に対して敏感である。渦電流が表面のすぐ近辺の磁界に
影響を与える。感知コイル２２は、表面上の渦電流によ
って発生されたこの磁界の中にある。渦電流からの磁束
が感知コイル２２に電流を生ずる。感知コイル内の電流
に対する表面渦電流の影響が、渦電流プローブに結合さ
れた処理回路２５によって検出される。
ル２２を持っている。感知コイルは、被検体の表面の上
並びに渦電流プローブの先端部の近辺にある渦電流１２
に対して敏感である。渦電流が表面のすぐ近辺の磁界に
影響を与える。感知コイル２２は、表面上の渦電流によ
って発生されたこの磁界の中にある。渦電流からの磁束
が感知コイル２２に電流を生ずる。感知コイル内の電流
に対する表面渦電流の影響が、渦電流プローブに結合さ
れた処理回路２５によって検出される。
【００１２】渦電流プローブを、座標測定機械又は計算
機数値制御（ＣＮＣ）機械により、表面の１つの場所か
ら別の場所へ移動させることが出来る。渦電流プローブ
が表面の１つの場所から別の場所へ移動するとき、各々
の場所で渦電流の測定を行い、それを処理回路２５で解
析する。処理回路からの渦電流データが渦電流表示装置
２９又はその他の装置に入力され、そこで渦電流データ
を、そのデータを求めた表面の場所と相関させて評価す
る。
機数値制御（ＣＮＣ）機械により、表面の１つの場所か
ら別の場所へ移動させることが出来る。渦電流プローブ
が表面の１つの場所から別の場所へ移動するとき、各々
の場所で渦電流の測定を行い、それを処理回路２５で解
析する。処理回路からの渦電流データが渦電流表示装置
２９又はその他の装置に入力され、そこで渦電流データ
を、そのデータを求めた表面の場所と相関させて評価す
る。
【００１３】渦電流プローブ１０内の感知コイル２２の
電流が、被検体の表面上の渦電流に関する情報を提供す
る。渦電流プローブの感知コイルからの電流信号が処理
回路によって解析されて、表面の傷を示すかもしれない
ような、表面のある場所で、渦電流が突然に変化するか
どうかに関する情報を発生する。感知コイルからの電流
信号は、表面の１つの場所と、表面の別の場所とを比較
した渦電流の相対的な大きさに関する情報をも提供す
る。処理回路が、被検体の表面上のどこで、渦電流が強
く、どこで弱いかを示す情報を、報告書、表示画像並び
に／又はグラフの形で作成する。
電流が、被検体の表面上の渦電流に関する情報を提供す
る。渦電流プローブの感知コイルからの電流信号が処理
回路によって解析されて、表面の傷を示すかもしれない
ような、表面のある場所で、渦電流が突然に変化するか
どうかに関する情報を発生する。感知コイルからの電流
信号は、表面の１つの場所と、表面の別の場所とを比較
した渦電流の相対的な大きさに関する情報をも提供す
る。処理回路が、被検体の表面上のどこで、渦電流が強
く、どこで弱いかを示す情報を、報告書、表示画像並び
に／又はグラフの形で作成する。
【００１４】導電面が非導電被覆３１を持つ場合、渦電
流は、被覆の下方の導電性の表面下３３に流れることが
ある。渦電流プローブは、被覆３１の厚さだけ、渦電流
から隔たっている。プローブによって感知した渦電流の
相対的な強さは、導電面の上の被覆の厚さによるもので
あることがある。従って、感知コイルによってピックア
ップした信号の渦電流の相対的な強さを使って、表面下
３３の上にある被覆３１の厚さを測定することが出来
る。渦電流が強いところ及び弱いところでプローブから
得られた情報を比較することにより、物体の表面上の被
覆の相対的な厚さを決定することが出来る。
流は、被覆の下方の導電性の表面下３３に流れることが
ある。渦電流プローブは、被覆３１の厚さだけ、渦電流
から隔たっている。プローブによって感知した渦電流の
相対的な強さは、導電面の上の被覆の厚さによるもので
あることがある。従って、感知コイルによってピックア
ップした信号の渦電流の相対的な強さを使って、表面下
３３の上にある被覆３１の厚さを測定することが出来
る。渦電流が強いところ及び弱いところでプローブから
得られた情報を比較することにより、物体の表面上の被
覆の相対的な厚さを決定することが出来る。
【００１５】図２は、弾丸形金属ハウジング２４、ハウ
ジングの１端にあるプローブ先端１８及びハウジング及
びプローブに対する取付け部となる基部３８を持つ１実
施例の渦電流プローブ１０を示す。プローブの先端が、
箔ストリップ２６の中に埋設された１対の誘起及び感知
コイル２０、２２を持っている。ストリップ２６が、柔
らかくて形成可能な材料で形成されたノーズ２８に巻付
けられる。ストリップ２６内の感知コイル２０、２２
が、渦電流プローブの１番外側の先端に来るようにする
為に、ノーズ２８の先端の上に整合している。ストリッ
プ２６の反対側の端３０（１端が図１に示されており、
他端は見えない）が、プローブハウジング２４に取付け
られたプリント配線板（ＰＣＢ）３２に固定されてい
る。箔ストリップ内のワイヤ３４がプリント配線板とコ
イル２０、２２を接続している。ＰＣＢ ３２が電気端
子３５を持ち、これがワイヤ及び箔ストリップ内のコイ
ルを外部電気接続部に接続する。ＰＣＢの端子に取付け
られたリードワイヤ３６が、コイル並びにそのワイヤを
処理回路２５及び電源２７に結合する。更に、ＰＣＢと
ノーズの先端との間で、箔ストリップは３８に示すよう
に細めてあって、プローブのノーズの周りに巻付けるこ
とを容易にしている。
ジングの１端にあるプローブ先端１８及びハウジング及
びプローブに対する取付け部となる基部３８を持つ１実
施例の渦電流プローブ１０を示す。プローブの先端が、
箔ストリップ２６の中に埋設された１対の誘起及び感知
コイル２０、２２を持っている。ストリップ２６が、柔
らかくて形成可能な材料で形成されたノーズ２８に巻付
けられる。ストリップ２６内の感知コイル２０、２２
が、渦電流プローブの１番外側の先端に来るようにする
為に、ノーズ２８の先端の上に整合している。ストリッ
プ２６の反対側の端３０（１端が図１に示されており、
他端は見えない）が、プローブハウジング２４に取付け
られたプリント配線板（ＰＣＢ）３２に固定されてい
る。箔ストリップ内のワイヤ３４がプリント配線板とコ
イル２０、２２を接続している。ＰＣＢ ３２が電気端
子３５を持ち、これがワイヤ及び箔ストリップ内のコイ
ルを外部電気接続部に接続する。ＰＣＢの端子に取付け
られたリードワイヤ３６が、コイル並びにそのワイヤを
処理回路２５及び電源２７に結合する。更に、ＰＣＢと
ノーズの先端との間で、箔ストリップは３８に示すよう
に細めてあって、プローブのノーズの周りに巻付けるこ
とを容易にしている。
【００１６】プローブ１０は、プローブの先端を被検体
の表面に精密に位置ぎめする座標測定機械２３又はＣＮ
Ｃ機械に取付けることが出来る。座標測定機械が、渦電
流の測定をしようとする表面の位置を定める。コンピュ
ータ（図に示していない）がプローブの表面の場所と、
プローブから得られた渦電流データとを相関させる。こ
の相関により、渦電流データを、測定する物体の表面の
画像又は図面に写像することが出来る。
の表面に精密に位置ぎめする座標測定機械２３又はＣＮ
Ｃ機械に取付けることが出来る。座標測定機械が、渦電
流の測定をしようとする表面の位置を定める。コンピュ
ータ（図に示していない）がプローブの表面の場所と、
プローブから得られた渦電流データとを相関させる。こ
の相関により、渦電流データを、測定する物体の表面の
画像又は図面に写像することが出来る。
【００１７】渦電流プローブ１０は、レニショー（登録
商標）ＴＰ２スイッチのような接触トリガープローブス
イッチ４０に取付けることが出来る。接触トリガープロ
ーブスイッチは、渦電流プローブの先端が物体の表面と
接触するとき、信号を発生する。渦電流プローブ１０が
接触トリガープローブ４０に取付けられているとき、渦
電流プローブの先端１８が物体の表面と接触するとき、
スイッチ４０によって信号が発生される。接触トリガー
プローブスイッチは、接触スイッチ４０が信号を発生す
るに至るような、プローブ１０の先端１８に加えられる
力の大きさを設定するように調節することが出来る。接
触トリガースイッチ４０に対する力の設定は、それが、
渦電流プローブの先端１８を測定される物体の表面にし
っかりと圧接し、こうしてノーズ２８を変形させ、コイ
ル２０、２２を表面に対してぴったりさせるようにする
のに十分であるように選ぶことが出来る。接触トリガー
スイッチは、渦電流プローブが表面上の所定位置にある
という信号を発生する前に、コイル２０、２２が表面に
しっかりと当たっていることを保証する。更に、接触ト
リガースイッチ４０は、プローブの先端１８と表面との
間の力が、表面で渦電流の測定を行う度に、略同じ力の
大きさになることを保証する。接触トリガープローブか
らの信号を用いて、座標測定機械によって選ばれた表面
の場所に於ける渦電流の測定を開始することが出来る。
商標）ＴＰ２スイッチのような接触トリガープローブス
イッチ４０に取付けることが出来る。接触トリガープロ
ーブスイッチは、渦電流プローブの先端が物体の表面と
接触するとき、信号を発生する。渦電流プローブ１０が
接触トリガープローブ４０に取付けられているとき、渦
電流プローブの先端１８が物体の表面と接触するとき、
スイッチ４０によって信号が発生される。接触トリガー
プローブスイッチは、接触スイッチ４０が信号を発生す
るに至るような、プローブ１０の先端１８に加えられる
力の大きさを設定するように調節することが出来る。接
触トリガースイッチ４０に対する力の設定は、それが、
渦電流プローブの先端１８を測定される物体の表面にし
っかりと圧接し、こうしてノーズ２８を変形させ、コイ
ル２０、２２を表面に対してぴったりさせるようにする
のに十分であるように選ぶことが出来る。接触トリガー
スイッチは、渦電流プローブが表面上の所定位置にある
という信号を発生する前に、コイル２０、２２が表面に
しっかりと当たっていることを保証する。更に、接触ト
リガースイッチ４０は、プローブの先端１８と表面との
間の力が、表面で渦電流の測定を行う度に、略同じ力の
大きさになることを保証する。接触トリガープローブか
らの信号を用いて、座標測定機械によって選ばれた表面
の場所に於ける渦電流の測定を開始することが出来る。
【００１８】動作について説明すると、座標測定機械２
３が渦電流プローブを、被検体の表面上の予定の位置へ
移動させる。この表面の位置で、渦電流プローブの先端
は、プローブの柔らかいノーズ２８が変形してコイル２
０、２２を表面の輪郭と同形にさせるまで、表面に対し
て圧接される。表面からプローブの先端に加えられる力
が、接触トリガースイッチ４０の力の設定を超えると
き、スイッチによって信号が発生され、それが座標測定
機械による渦電流プローブの動きを停止し、渦電流測定
手順を開始する。渦電流プローブが、被検体上の新しい
表面位置へ移動する度に、この過程が繰り返される。
３が渦電流プローブを、被検体の表面上の予定の位置へ
移動させる。この表面の位置で、渦電流プローブの先端
は、プローブの柔らかいノーズ２８が変形してコイル２
０、２２を表面の輪郭と同形にさせるまで、表面に対し
て圧接される。表面からプローブの先端に加えられる力
が、接触トリガースイッチ４０の力の設定を超えると
き、スイッチによって信号が発生され、それが座標測定
機械による渦電流プローブの動きを停止し、渦電流測定
手順を開始する。渦電流プローブが、被検体上の新しい
表面位置へ移動する度に、この過程が繰り返される。
【００１９】図３は渦電流プローブ１０の分解端面図を
示す。ハウジング２４が円形凹部４２を持ち、これがば
ね４４と、渦電流プローブを接触トリガースイッチに結
合する為に使われるピストン４６とを受け容れる。円筒
形ハウジング２４が接触トリガースイッチ４０の端にあ
るポスト（図３ではスイッチの接触フィンガ４８によっ
て示されている）にはまる。ハウジングの側面にある溝
孔５０が、接触トリガースイッチの側面から伸びるねじ
５２を受け容れる。溝孔とねじの接続により、渦電流プ
ローブと接触トリガースイッチの間で限られた往復動が
出来る。ピストン４６が接触トリガースイッチの端に坐
着し、ばね４４が渦電流プローブを接触トリガースイッ
チから外向きに偏圧する。ばねのスチフネスは、渦電流
プローブの変形可能なノーズ２８よりも強くすべきであ
る。渦電流プローブの先端１８が表面と接触すると、ノ
ーズが変形し、その後ばね４４によって、トリガーフィ
ンガ４８が渦電流プローブのハウジング２４内の凹部４
２の底に接触するまで、渦電流プローブが接触トリガー
スイッチの中に若干摺動することが出来る。フィンガ４
８がプローブの凹部の底に接触すると、接触トリガース
イッチ４０が、座標測定機械による渦電流プローブのそ
れ以上の動きを停止する信号を発生する。
示す。ハウジング２４が円形凹部４２を持ち、これがば
ね４４と、渦電流プローブを接触トリガースイッチに結
合する為に使われるピストン４６とを受け容れる。円筒
形ハウジング２４が接触トリガースイッチ４０の端にあ
るポスト（図３ではスイッチの接触フィンガ４８によっ
て示されている）にはまる。ハウジングの側面にある溝
孔５０が、接触トリガースイッチの側面から伸びるねじ
５２を受け容れる。溝孔とねじの接続により、渦電流プ
ローブと接触トリガースイッチの間で限られた往復動が
出来る。ピストン４６が接触トリガースイッチの端に坐
着し、ばね４４が渦電流プローブを接触トリガースイッ
チから外向きに偏圧する。ばねのスチフネスは、渦電流
プローブの変形可能なノーズ２８よりも強くすべきであ
る。渦電流プローブの先端１８が表面と接触すると、ノ
ーズが変形し、その後ばね４４によって、トリガーフィ
ンガ４８が渦電流プローブのハウジング２４内の凹部４
２の底に接触するまで、渦電流プローブが接触トリガー
スイッチの中に若干摺動することが出来る。フィンガ４
８がプローブの凹部の底に接触すると、接触トリガース
イッチ４０が、座標測定機械による渦電流プローブのそ
れ以上の動きを停止する信号を発生する。
【００２０】柔らかいノーズ２０は接着剤によってハウ
ジング２４の前端に取付けられる。ノーズはシリコーン
ゴム又はＶＩＴＯＮ（登録商標）で形成することが出
来、外面は丸くした稜部にすることが出来る。ノーズの
形は、それに対してノーズを配置する表面の輪郭に応じ
て変えることが出来る。ノーズは、表面に対して圧接さ
れたとき、表面に対して平坦な接触区域を形成するよう
に、わざと変形可能にしてある。コイル２０、２２及び
箔ストリップ２６がノーズ２０の接触区域及び表面の間
に挟まれて、コイルが表面に対して正しく配置されるよ
うに保証される。ノーズが変形する為に、ノーズ並びに
コイルは、不規則な表面の形又はプローブと表面の間の
若干の不整合に対して容易に同形になることが出来る。
ジング２４の前端に取付けられる。ノーズはシリコーン
ゴム又はＶＩＴＯＮ（登録商標）で形成することが出
来、外面は丸くした稜部にすることが出来る。ノーズの
形は、それに対してノーズを配置する表面の輪郭に応じ
て変えることが出来る。ノーズは、表面に対して圧接さ
れたとき、表面に対して平坦な接触区域を形成するよう
に、わざと変形可能にしてある。コイル２０、２２及び
箔ストリップ２６がノーズ２０の接触区域及び表面の間
に挟まれて、コイルが表面に対して正しく配置されるよ
うに保証される。ノーズが変形する為に、ノーズ並びに
コイルは、不規則な表面の形又はプローブと表面の間の
若干の不整合に対して容易に同形になることが出来る。
【００２１】箔ストリップ２６がノーズ２０の外面の上
に巻付けられる。ノーズが箔ストリップに対する支持部
となる。箔ストリップは、接着剤によってノーズに取付
けることが出来、ストリップの端をプリント配線板３２
に固定することが出来る。ストリップ内にあるコイル２
０、２２は、渦電流プローブの外側末端にあるように、
ノーズ２０の稜部と整合している。
に巻付けられる。ノーズが箔ストリップに対する支持部
となる。箔ストリップは、接着剤によってノーズに取付
けることが出来、ストリップの端をプリント配線板３２
に固定することが出来る。ストリップ内にあるコイル２
０、２２は、渦電流プローブの外側末端にあるように、
ノーズ２０の稜部と整合している。
【００２２】図４は埋設コイル２０、２２を持つ可撓性
箔ストリップ２６の平面図である。ストリップ２６は上
側箔被膜及び下側箔被膜で形成されていて、コイル２
０、２２及びワイヤ３４が箔ストリップ上でその間に挟
まれている。箔ストリップは銅めっきのＫＡＰＴＯＮ
（登録商標）である。接着剤を使って、上側及び下側箔
被膜を積層すると共に、コイルを箔ストリップ内に密封
する。上側及び下側箔被膜及びコイルを箔ストリップに
組み立てた後、接着剤に熱を加えて硬化することが出来
る。ワイヤ及びコイルが被膜の間に配置され、被膜、ワ
イヤ及びコイルが熱によって積層されて、複合箔ストリ
ップを形成する。
箔ストリップ２６の平面図である。ストリップ２６は上
側箔被膜及び下側箔被膜で形成されていて、コイル２
０、２２及びワイヤ３４が箔ストリップ上でその間に挟
まれている。箔ストリップは銅めっきのＫＡＰＴＯＮ
（登録商標）である。接着剤を使って、上側及び下側箔
被膜を積層すると共に、コイルを箔ストリップ内に密封
する。上側及び下側箔被膜及びコイルを箔ストリップに
組み立てた後、接着剤に熱を加えて硬化することが出来
る。ワイヤ及びコイルが被膜の間に配置され、被膜、ワ
イヤ及びコイルが熱によって積層されて、複合箔ストリ
ップを形成する。
【００２３】コイル２０、２２は、矩形配置の中心に向
かってだんだん小さくなる巣ごもり状の矩形ワイヤルー
プとして配置することが出来る。この代わりに、コイル
は円形配置で渦巻き状のワイヤにしてもよい。コイルの
このような配置が、出願人に譲渡された米国特許第４、
５９３、２４５号、発明の名称「半導電材料の傷を検出
する渦電流方法」に示されている。
かってだんだん小さくなる巣ごもり状の矩形ワイヤルー
プとして配置することが出来る。この代わりに、コイル
は円形配置で渦巻き状のワイヤにしてもよい。コイルの
このような配置が、出願人に譲渡された米国特許第４、
５９３、２４５号、発明の名称「半導電材料の傷を検出
する渦電流方法」に示されている。
【００２４】図５は箔の断面図で、コイル構造を支持す
る積層された箔の層を示している。例えば、コイル構造
は、互いに上下に重ね合わされた箔層Ｌ１（６４）、Ｌ
２（６６）及びＬ３（６８）の上に分布させることが出
来る。感熱接着剤６９がこれらの層を一緒に積層する。
１番上の層（Ｌ１）は１つの感知コイル２２及び１つの
誘起（駆動）コイル２０を有する。２番目の層（Ｌ２）
は第２の駆動コイル７０を持ち、３番目の層（Ｌ３）は
第２の感知コイル７２を有する。層（Ｌ１）にある駆動
コイルの１端からの電気接続部が、この層（Ｌ１）を通
って２番目の層（Ｌ２）内にある駆動コイルまで伸び、
完全な駆動コイル回路を形成する。２番目の層（Ｌ２）
内の駆動コイルの戻りのリード線が層（Ｌ１）まで戻さ
れる。駆動コイル回路に対する戻りのリード線が、１番
面の層（Ｌ１）にある駆動回路に対する入力リード線に
隣接して、１番目の層（Ｌ１）の上側にある金めっき接
点で終端する。感知コイルも１番目の層の上にパターン
ぎめされ、２番目の層（Ｌ２）を通り抜けて、３番目の
層（Ｌ３）にある感知コイルに接続される。感知コイル
の戻りのリード線が、３番目の層（Ｌ３）から２番目及
び１番目の層を通り抜けて、１番目の層の上側にある金
めっき接点で終端する。実際、コイルに接続する為の全
ての電気パッドを、層Ｌ１の上側に持ってくることが出
来る。
る積層された箔の層を示している。例えば、コイル構造
は、互いに上下に重ね合わされた箔層Ｌ１（６４）、Ｌ
２（６６）及びＬ３（６８）の上に分布させることが出
来る。感熱接着剤６９がこれらの層を一緒に積層する。
１番上の層（Ｌ１）は１つの感知コイル２２及び１つの
誘起（駆動）コイル２０を有する。２番目の層（Ｌ２）
は第２の駆動コイル７０を持ち、３番目の層（Ｌ３）は
第２の感知コイル７２を有する。層（Ｌ１）にある駆動
コイルの１端からの電気接続部が、この層（Ｌ１）を通
って２番目の層（Ｌ２）内にある駆動コイルまで伸び、
完全な駆動コイル回路を形成する。２番目の層（Ｌ２）
内の駆動コイルの戻りのリード線が層（Ｌ１）まで戻さ
れる。駆動コイル回路に対する戻りのリード線が、１番
面の層（Ｌ１）にある駆動回路に対する入力リード線に
隣接して、１番目の層（Ｌ１）の上側にある金めっき接
点で終端する。感知コイルも１番目の層の上にパターン
ぎめされ、２番目の層（Ｌ２）を通り抜けて、３番目の
層（Ｌ３）にある感知コイルに接続される。感知コイル
の戻りのリード線が、３番目の層（Ｌ３）から２番目及
び１番目の層を通り抜けて、１番目の層の上側にある金
めっき接点で終端する。実際、コイルに接続する為の全
ての電気パッドを、層Ｌ１の上側に持ってくることが出
来る。
【００２５】駆動コイルは直列に接続される。これらは
矩形渦巻き形コイルである。感知コイルは、各層（Ｌ
１）及び（Ｌ３）で１ターン又は数ターンとして配置さ
れている。感知コイルも、導電面上の被覆の厚さを決定
する用途では、直列に接続することが出来る。並列、２
重又は差動の為の平衡対のようなこの他の接続の組合せ
も可能である。
矩形渦巻き形コイルである。感知コイルは、各層（Ｌ
１）及び（Ｌ３）で１ターン又は数ターンとして配置さ
れている。感知コイルも、導電面上の被覆の厚さを決定
する用途では、直列に接続することが出来る。並列、２
重又は差動の為の平衡対のようなこの他の接続の組合せ
も可能である。
【００２６】１番目の層（Ｌ１）にあるこれらの駆動及
び感知コイルの各々は、その下方にある駆動又は感知コ
イルと注意深く整合させる。取付け孔も、コイル構造に
対して注意深く位置ぎめする。このような幾何学的なパ
ラメータを制御することにより、プローブ箔毎の非常に
一貫性のある性能を保つ手段が得られる。コイルは、銅
のメタライズパターンを支持する薄手のＫＡＰＴＯＮ
（登録商標）シートの上に作られる。層の上に参照マー
クを使うことにより、接着剤を用いてシートを繋ぎ合わ
せる。典型的には、無めっきＫＡＰＴＯＮ（登録商標）
シートをＬ１の上側及びＬ３の下側の両方に結合する。
金めっき接点パッドはＫＡＰＴＯＮ（登録商標）層で覆
わない。ワイヤ−コイルは、円形、渦巻き形、楕円形の
コイル配置のような、矩形以外の配置にしてもよい。
び感知コイルの各々は、その下方にある駆動又は感知コ
イルと注意深く整合させる。取付け孔も、コイル構造に
対して注意深く位置ぎめする。このような幾何学的なパ
ラメータを制御することにより、プローブ箔毎の非常に
一貫性のある性能を保つ手段が得られる。コイルは、銅
のメタライズパターンを支持する薄手のＫＡＰＴＯＮ
（登録商標）シートの上に作られる。層の上に参照マー
クを使うことにより、接着剤を用いてシートを繋ぎ合わ
せる。典型的には、無めっきＫＡＰＴＯＮ（登録商標）
シートをＬ１の上側及びＬ３の下側の両方に結合する。
金めっき接点パッドはＫＡＰＴＯＮ（登録商標）層で覆
わない。ワイヤ−コイルは、円形、渦巻き形、楕円形の
コイル配置のような、矩形以外の配置にしてもよい。
【００２７】箔ストリップが誘起コイル２０及び感知コ
イル２２と、コイルからストリップの両端にある金属接
点５４まで伸びるワイヤ３４を含む。誘起コイル２０に
通ずるワイヤ３４は、ストリップの右側の端にある１対
の接点５４まで伸びていてよく、感知コイル２２に通ず
るワイヤは、ストリップの左側の端にある別の１対の接
点５４まで伸びていてもよいし、或いはその逆であって
もよい。ワイヤ及びコイルは、約２／１０００吋（２ミ
ル）の幅及び０．１乃至０．５ミルの厚さを持つ細い銅
のワイヤであってよい。アースストリップ７０が、コイ
ルから接点５４まで伸びるワイヤの両側に配置される。
アースストリップは例えば銅の導電ストリップであっ
て、コイル及びワイヤに対する電磁遮蔽になる。アース
ストリップが、アースストリップに合わせた導電端子６
０（図２）に接続される接点５８を持っていてよい。箔
ストリップ２６の端が孔６０を持ち、ねじ６２（図２）
がそれを通り抜けて、ストリップ及びプリント配線板４
２をプローブのハウジング２４に結合する。
イル２２と、コイルからストリップの両端にある金属接
点５４まで伸びるワイヤ３４を含む。誘起コイル２０に
通ずるワイヤ３４は、ストリップの右側の端にある１対
の接点５４まで伸びていてよく、感知コイル２２に通ず
るワイヤは、ストリップの左側の端にある別の１対の接
点５４まで伸びていてもよいし、或いはその逆であって
もよい。ワイヤ及びコイルは、約２／１０００吋（２ミ
ル）の幅及び０．１乃至０．５ミルの厚さを持つ細い銅
のワイヤであってよい。アースストリップ７０が、コイ
ルから接点５４まで伸びるワイヤの両側に配置される。
アースストリップは例えば銅の導電ストリップであっ
て、コイル及びワイヤに対する電磁遮蔽になる。アース
ストリップが、アースストリップに合わせた導電端子６
０（図２）に接続される接点５８を持っていてよい。箔
ストリップ２６の端が孔６０を持ち、ねじ６２（図２）
がそれを通り抜けて、ストリップ及びプリント配線板４
２をプローブのハウジング２４に結合する。
【００２８】本発明の好ましい実施例を説明したが、本
発明が好ましい実施例に制限されず、特許請求の範囲に
含まれる種々の変更及び均等物をもカバーすることを承
知されたい。
発明が好ましい実施例に制限されず、特許請求の範囲に
含まれる種々の変更及び均等物をもカバーすることを承
知されたい。
【図１】物体の表面の渦電流を測定する渦電流プローブ
を示す。
を示す。
【図２】図１に示す渦電流プローブの詳細側面図。
【図３】図１に示した渦電流プローブの部品の分解図。
【図４】図１に示した渦電流プローブの部品である埋込
みコイルを持つ可撓性箔の平面図。
みコイルを持つ可撓性箔の平面図。
【図５】図４に示した箔を線５−５で切った断面図。
１０ 渦電流プローブ １２ 渦電流 １４ タービン動翼表面 １６ タービン動翼 １８ 渦電流プローブの先端 ２０ 誘起コイル ２２ 感知コイル ２３ 座標測定機械 ２４ プローブハウジング ２５ 処理回路 ２６ 箔ストリップ ２７ 電源 ２８ ノーズ ２９ 渦電流表示装置 ３１ 非導電被覆 ３２ プリント配線板 ３４ ワイヤ ３５ 電気端子 ３６ リードワイヤ ３８ 基部 ４０ トリガープローブスイッチ ４２ 凹部 ４４ ばね ４６ ピストン ４８ 接触フィンガ ５０ 溝孔 ５２ ねじ ５４ 接点 ６０ 導電端子 ５８ 接点 ６０ 孔 ６２ ねじ ６９ 感熱接着剤 ７０ 第２駆動コイル ７２ 第２感知コイル Ｌ１ 第１層 Ｌ２ 第２層 Ｌ３ 第３層
フロントページの続き (72)発明者 マーティン・キン−フェイ・リー アメリカ合衆国、ニューヨーク州、ニスカ ユナ、チェシャイアー・プレイス、39番
Claims (11)
- 【請求項１】 ハウジングと、該ハウジングの先端に取
付けられた変形可能な材料のノーズと、該ノーズの外面
の上に巻付けられていて、誘起コイル及び感知コイルを
持つ可撓性ストリップと、前記誘起コイルを電源に接続
する誘起コイルに対する結合部と、前記感知コイルを渦
電流信号処理装置に接続する前記感知コイルに対する結
合部とを有する渦電流プローブ。 - 【請求項２】 前記ハウジングが接触トリガスイッチに
接続可能である請求項１記載の渦電流プローブ。 - 【請求項３】 前記可撓性ストリップが、誘起コイルと
可撓性ストリップの第１の端にあるコネクタ対の間に１
対の導電線を含む請求項１記載の渦電流プローブ。 - 【請求項４】 前記可撓性ストリップが、前記感知コイ
ルと、前記第１の端と向かい合った可撓性ストリップの
第２の端の間に第２対の導電線を含む請求項３記載の渦
電流プローブ。 - 【請求項５】 前記可撓性ストリップが、前記感知コイ
ルから伸びる導電線の境となるアース遮蔽体を含む請求
項４記載の渦電流プローブ。 - 【請求項６】 前記ノーズの外面が丸くした稜部の形を
有する請求項１記載の渦電流プローブ。 - 【請求項７】 前記ノーズがシリコーンゴムで構成され
る請求項２記載の渦電流プローブ。 - 【請求項８】 前記ハウジングが、１端に前記接触トリ
ガスイッチのフィンガを受入れる凹部を持つ円筒形本体
を有する請求項１記載の渦電流プローブ。 - 【請求項９】 前記凹部が更にコイルばね及び前記接触
トリガスイッチと係合するピストンを受入れる請求項８
記載の渦電流プローブ。 - 【請求項１０】 渦電流プローブを使って表面の渦電流
を測定する方法に於て、 ａ）プローブの先端を被検体の表面に位置ぎめし、 ｂ）プローブの先端を前記表面に押し付けることによっ
て、プローブの先端を変形させ、 ｃ）プローブの先端が変形するとき、渦電流プローブの
先端にある誘起コイル及び感知コイルを前記表面と同形
とさせると共に前記コイル及び表面の間から空隙をなく
し、 ｄ）前記誘起コイルに電流を加えて、前記表面に渦電流
を発生させ、 ｅ）前記プローブの感知コイルに渦電流によって発生さ
れた電流を感知することにより、前記表面渦電流を検出
する工程を含む方法。 - 【請求項１１】 更に、ｆ）測定される物体の上にある
非導電被覆の下にある導電面上の誘起コイルによって誘
起された渦電流を測定することにより、前記被覆の厚さ
を決定する工程を含む請求項１０記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US09/468,845 US6288537B1 (en) | 1999-12-22 | 1999-12-22 | Eddy current probe with foil sensor mounted on flexible probe tip and method of use |
| US09/468845 | 1999-12-22 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001183348A true JP2001183348A (ja) | 2001-07-06 |
| JP2001183348A5 JP2001183348A5 (ja) | 2007-10-04 |
| JP4646091B2 JP4646091B2 (ja) | 2011-03-09 |
Family
ID=23861478
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000248044A Expired - Fee Related JP4646091B2 (ja) | 1999-12-22 | 2000-08-18 | プローブの可撓性先端に装着された箔センサを持つ渦電流プローブ |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6288537B1 (ja) |
| EP (1) | EP1111379B1 (ja) |
| JP (1) | JP4646091B2 (ja) |
| KR (1) | KR100584186B1 (ja) |
| AT (1) | ATE330219T1 (ja) |
| CZ (1) | CZ20002684A3 (ja) |
| DE (1) | DE60028712T2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006145525A (ja) * | 2004-11-19 | 2006-06-08 | General Electric Co <Ge> | 部品を検査するための装置およびシステム |
| JP2007139769A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-06-07 | Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg | 特に、薄層の厚さ測定装置用の測定プローブ |
| JP2016142574A (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-08 | 新川センサテクノロジ株式会社 | 渦電流形変位センサ |
| JP7441467B2 (ja) | 2020-04-10 | 2024-03-01 | 日立Ｇｅニュークリア・エナジー株式会社 | 渦電流探傷プローブ |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8180585B2 (en) * | 1999-08-26 | 2012-05-15 | Tk Holdings, Inc. | Magnetic crash sensor |
| US7514917B2 (en) * | 2003-09-19 | 2009-04-07 | Automotive Systems Laboratory, Inc. | Magnetic crash sensor |
| US20080109177A1 (en) * | 2003-09-19 | 2008-05-08 | Cech Leonard S | Magnetic crash sensor |
| US6573706B2 (en) * | 1999-11-18 | 2003-06-03 | Intellijoint Systems Ltd. | Method and apparatus for distance based detection of wear and the like in joints |
| US6894492B1 (en) * | 2001-12-07 | 2005-05-17 | General Electric Company | Self-aligning probe and its use |
| US7259552B2 (en) * | 2002-05-31 | 2007-08-21 | Siemens Power Generation, Inc. | Wear monitor for turbo-machine |
| GB2397652B (en) * | 2002-11-15 | 2005-12-21 | Immobilienges Helmut Fischer | Measurement probe for measurement of the thickness of thin layers |
| US20040257072A1 (en) * | 2003-06-19 | 2004-12-23 | Rock Samson | Dual-sensitivity eddy current test probe |
| JP2007510134A (ja) * | 2003-09-19 | 2007-04-19 | オートモーティブ システムズ ラボラトリー インコーポレーテッド | 磁気衝突検知方法 |
| WO2005028254A2 (en) * | 2003-09-19 | 2005-03-31 | Automotive Systems Laboratory, Inc. | Magnetic crash sensor |
| US7772839B2 (en) * | 2003-09-19 | 2010-08-10 | Tk Holdings, Inc. | Eddy current magnetic crash sensor |
| US7839142B2 (en) * | 2003-09-19 | 2010-11-23 | Tk Holdings, Inc. | Magnetic crash sensor |
| US7839143B2 (en) * | 2003-09-19 | 2010-11-23 | Tk Holdings Inc. | Eddy current magnetic crash sensor |
| CN101035699A (zh) * | 2003-12-21 | 2007-09-12 | 汽车系统实验室公司 | 磁传感器 |
| US7154265B2 (en) * | 2004-12-21 | 2006-12-26 | General Electric Company | Eddy current probe and inspection method |
| JP2009507210A (ja) | 2005-07-29 | 2009-02-19 | オートモーティブ システムズ ラボラトリー インコーポレーテッド | 磁気衝突センサー |
| KR20100006607A (ko) * | 2008-07-10 | 2010-01-21 | (주)노바마그네틱스 | 비파괴 센서용 단일 박막의 제조방법 |
| US8395378B2 (en) | 2010-04-29 | 2013-03-12 | General Electric Company | Nondestructive robotic inspection method and system therefor |
| US9646599B2 (en) * | 2013-10-24 | 2017-05-09 | Spirit Aerosystems, Inc. | Remoldable contour sensor holder |
| DE102016205495B4 (de) * | 2016-04-04 | 2022-06-09 | Volkswagen Aktiengesellschaft | Messvorrichtung und Verfahren zur Schichtdickenbestimmung sowie zugehöriger Referenzkörper und Kalibrierkörper |
| CN109342554A (zh) * | 2018-11-20 | 2019-02-15 | 中国航发贵州黎阳航空动力有限公司 | 发动机异型薄壁空心零部件壁厚涡流判定方法 |
| CN109540210A (zh) * | 2018-11-28 | 2019-03-29 | 张春严 | 一种物理测量电气仪表 |
| CN112345632A (zh) * | 2020-11-20 | 2021-02-09 | 西安热工研究院有限公司 | 重型燃机带涂层透平叶片基体裂纹涡流检测探头及制作方法 |
| CN112345633A (zh) * | 2020-11-20 | 2021-02-09 | 西安热工研究院有限公司 | 一种重型燃机透平叶片TBCs层间裂纹涡流检测系统及方法 |
| DE102021211836A1 (de) | 2021-09-30 | 2023-03-30 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Messeinrichtung |
Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60142246A (ja) * | 1983-12-12 | 1985-07-27 | ゼネラル・エレクトリツク・カンパニイ | 半導電材料又は導電材料の表面領域及び表面下領域の欠陥を検出するための装置、及びそのための方法 |
| JPH05142205A (ja) * | 1991-05-06 | 1993-06-08 | General Electric Co <Ge> | 渦電流表面測定配列 |
| JPH05248807A (ja) * | 1992-03-03 | 1993-09-28 | Kiyota Seisakusho:Yugen | 位置検出プローブ |
| JPH08304252A (ja) * | 1995-04-28 | 1996-11-22 | Olympus Optical Co Ltd | 硬さ測定装置 |
| JPH08320221A (ja) * | 1995-05-25 | 1996-12-03 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 検査装置 |
| JPH10307126A (ja) * | 1997-02-21 | 1998-11-17 | General Electric Co <Ge> | 渦電流プローブ |
| JPH10307125A (ja) * | 1997-02-21 | 1998-11-17 | General Electric Co <Ge> | プローブ |
| JPH1164311A (ja) * | 1997-06-23 | 1999-03-05 | General Electric Co <Ge> | 物体を検査する為のプローブおよび方法 |
| WO1999023484A1 (de) * | 1997-11-04 | 1999-05-14 | Siemens Aktiengesellschaft | Tastkopf zur wirbelstromprüfung, verfahren zur herstellung eines tastkopfes für eine wirbelstromprüfung und wirbelstromprüfverfahren |
| JPH11183441A (ja) * | 1997-12-18 | 1999-07-09 | Tokyo Gas Co Ltd | 回転型渦流探傷装置 |
| JPH11309123A (ja) * | 1998-04-30 | 1999-11-09 | Omron Corp | 生体脂肪測定器 |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3475681A (en) | 1965-08-02 | 1969-10-28 | Magnaflux Corp | Apparatus display system for providing plural indications and threshold indications |
| US3737764A (en) | 1971-09-27 | 1973-06-05 | Commissariat Energie Atomique | Eddy-current test apparatus for detection of flaws in a metal seal placed within an electrically conductive tube |
| US3826132A (en) | 1973-06-01 | 1974-07-30 | Bethlehem Steel Corp | Device for producing a visual display of the transverse tension profile of a moving steel strip |
| US4194149A (en) | 1977-12-15 | 1980-03-18 | The Babcock & Wilcox Company | Method for generating the eddy current signature of a flaw in a tube proximate a contiguous member which obscures the flaw signal |
| US4268791A (en) | 1978-12-08 | 1981-05-19 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Dual trace automatic eddy current detection system for multilayer structures |
| SU903759A1 (ru) * | 1980-05-21 | 1982-02-07 | Кубанский Ордена Трудового Красного Знамени Сельскохозяйственный Институт | Матрица токовихревых накладных преобразователей |
| US4480225A (en) * | 1982-02-11 | 1984-10-30 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Improved multi-directional eddy current inspection test apparatus for detecting flaws in metal articles |
| US4706020A (en) * | 1983-12-12 | 1987-11-10 | General Electric Company | High frequency eddy current probe with planar, spiral-like coil on flexible substrate for detecting flaws in semi-conductive material |
| US4700134A (en) * | 1985-01-10 | 1987-10-13 | Anco Engineers, Inc. | Method and apparatus for determining the amount of magnetic debris adhering to the exterior of a tube |
| US4797613A (en) * | 1985-01-22 | 1989-01-10 | Combustion Engineering, Inc. | Expandable eddy current probe for inspecting the interior of tubular conduits |
| EP0228177A3 (en) * | 1985-11-19 | 1988-11-02 | Electric Power Research Institute, Inc | Flexible eddy-current coil and coil array for nondestructive testing |
| US5241280A (en) * | 1990-06-05 | 1993-08-31 | Defelsko Corporation | Coating thickness measurement gauge |
| US5463201A (en) * | 1993-02-04 | 1995-10-31 | Generla Electric Company | Seam-tracking apparatus for a welding system employing an array of eddy current elements |
| US5341678A (en) | 1993-05-12 | 1994-08-30 | General Electric Company | Method for determining thickness of ferromagnetic material deposition on nuclear fuel rods |
| US5793206A (en) * | 1995-08-25 | 1998-08-11 | Jentek Sensors, Inc. | Meandering winding test circuit |
| US5903147A (en) | 1997-03-18 | 1999-05-11 | General Electric Company | Eddy current array inspection device for shaped holes |
-
1999
- 1999-12-22 US US09/468,845 patent/US6288537B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-07-21 CZ CZ20002684A patent/CZ20002684A3/cs unknown
- 2000-08-01 KR KR1020000044559A patent/KR100584186B1/ko active IP Right Grant
- 2000-08-16 AT AT00306991T patent/ATE330219T1/de not_active IP Right Cessation
- 2000-08-16 EP EP00306991A patent/EP1111379B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-08-16 DE DE60028712T patent/DE60028712T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-08-18 JP JP2000248044A patent/JP4646091B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60142246A (ja) * | 1983-12-12 | 1985-07-27 | ゼネラル・エレクトリツク・カンパニイ | 半導電材料又は導電材料の表面領域及び表面下領域の欠陥を検出するための装置、及びそのための方法 |
| JPH05142205A (ja) * | 1991-05-06 | 1993-06-08 | General Electric Co <Ge> | 渦電流表面測定配列 |
| JPH05248807A (ja) * | 1992-03-03 | 1993-09-28 | Kiyota Seisakusho:Yugen | 位置検出プローブ |
| JPH08304252A (ja) * | 1995-04-28 | 1996-11-22 | Olympus Optical Co Ltd | 硬さ測定装置 |
| JPH08320221A (ja) * | 1995-05-25 | 1996-12-03 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 検査装置 |
| JPH10307126A (ja) * | 1997-02-21 | 1998-11-17 | General Electric Co <Ge> | 渦電流プローブ |
| JPH10307125A (ja) * | 1997-02-21 | 1998-11-17 | General Electric Co <Ge> | プローブ |
| JPH1164311A (ja) * | 1997-06-23 | 1999-03-05 | General Electric Co <Ge> | 物体を検査する為のプローブおよび方法 |
| WO1999023484A1 (de) * | 1997-11-04 | 1999-05-14 | Siemens Aktiengesellschaft | Tastkopf zur wirbelstromprüfung, verfahren zur herstellung eines tastkopfes für eine wirbelstromprüfung und wirbelstromprüfverfahren |
| JPH11183441A (ja) * | 1997-12-18 | 1999-07-09 | Tokyo Gas Co Ltd | 回転型渦流探傷装置 |
| JPH11309123A (ja) * | 1998-04-30 | 1999-11-09 | Omron Corp | 生体脂肪測定器 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006145525A (ja) * | 2004-11-19 | 2006-06-08 | General Electric Co <Ge> | 部品を検査するための装置およびシステム |
| US8013599B2 (en) | 2004-11-19 | 2011-09-06 | General Electric Company | Methods and apparatus for testing a component |
| JP2007139769A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-06-07 | Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg | 特に、薄層の厚さ測定装置用の測定プローブ |
| JP2016142574A (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-08 | 新川センサテクノロジ株式会社 | 渦電流形変位センサ |
| JP7441467B2 (ja) | 2020-04-10 | 2024-03-01 | 日立Ｇｅニュークリア・エナジー株式会社 | 渦電流探傷プローブ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CZ20002684A3 (cs) | 2001-08-15 |
| JP4646091B2 (ja) | 2011-03-09 |
| KR20010071111A (ko) | 2001-07-28 |
| US6288537B1 (en) | 2001-09-11 |
| KR100584186B1 (ko) | 2006-05-29 |
| EP1111379B1 (en) | 2006-06-14 |
| EP1111379A1 (en) | 2001-06-27 |
| ATE330219T1 (de) | 2006-07-15 |
| DE60028712T2 (de) | 2007-03-29 |
| DE60028712D1 (de) | 2006-07-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4646091B2 (ja) | プローブの可撓性先端に装着された箔センサを持つ渦電流プローブ | |
| US6914427B2 (en) | Eddy current probe having sensing elements defined by first and second elongated coils and an associated inspection method | |
| US4593245A (en) | Eddy current method for detecting a flaw in semi-conductive material | |
| US4706020A (en) | High frequency eddy current probe with planar, spiral-like coil on flexible substrate for detecting flaws in semi-conductive material | |
| US5966011A (en) | Apparatus for measuring bulk materials and surface conditions for flat and curved parts | |
| JP3197776B2 (ja) | 応力感応変換器及びその実装方法 | |
| CA2863843C (en) | Apparatus and method for measuring properties of a ferromagnetic material | |
| EP0427719A1 (en) | Inductive coil structure | |
| Damnjanovic et al. | A novel approach to extending the linearity range of displacement inductive sensor | |
| CN106270283A (zh) | 一种压力机冲压吨位监测装置 | |
| CN108024736A (zh) | 压力脉搏波传感器的检查方法及压力脉搏波传感器的制造方法 | |
| US7795863B2 (en) | Method and apparatus for forming coil for use in eddy current sensing probe | |
| CN110530501A (zh) | 振动传感器 | |
| CN206248105U (zh) | 用于爆轰实验的新型铜箔电探针 | |
| WO2019083807A1 (en) | GAUGE SYSTEM BASED ON PRINTED CIRCUIT BOARD | |
| CN211478151U (zh) | 一种用于曲面工件涡流检测的阵列探头 | |
| CN213580778U (zh) | 一种用于安全生产的平面线圈传感器 | |
| TW200427158A (en) | Inspecting apparatus of conductor position and inspecting method of conductor position | |
| CN115541701A (zh) | 一种提高柔性pcb板涡流检测性能的方法和检测装置 | |
| JPH06222021A (ja) | 材料の劣化計測方法及び装置 | |
| CN116306481A (zh) | 一种基于电容-磁致伸缩式多功能触觉传感器 | |
| CN116773054A (zh) | 一种基于电涡流原理的柔性压力传感器及其制备方法 | |
| KR20110082533A (ko) | 전기 소자의 특성 결정 | |
| CN107179107A (zh) | 用于使科里奥利质量流量测量仪器装备有电连接部的方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070817 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070817 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081201 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090303 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090603 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20090603 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20090603 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090609 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090703 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090714 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090803 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090806 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090902 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090929 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20091228 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100106 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100128 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100202 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100301 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100304 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100329 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100413 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100813 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20100813 |
|
| A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20100922 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101102 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20101202 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101202 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131217 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4646091 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |