JPH10305208A - ガス吸・脱着処理装置 - Google Patents

ガス吸・脱着処理装置

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JPH10305208A
JPH10305208A JP10109944A JP10994498A JPH10305208A JP H10305208 A JPH10305208 A JP H10305208A JP 10109944 A JP10109944 A JP 10109944A JP 10994498 A JP10994498 A JP 10994498A JP H10305208 A JPH10305208 A JP H10305208A
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JP
Japan
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gas
area
adsorption
region
desorption
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JP10109944A
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English (en)
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Soichiro Tsujimoto
聡一郎 辻本
Manabu Asano
学 浅野
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Toyobo Co Ltd
Original Assignee
Toyobo Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 吸着体の吸着領域における吸着性能を向上す
ると共に、脱着排ガス中の所定成分濃度を高め、効率的
なガス吸・脱着処理を行なうことのできる装置を提供す
ることを目的とする。 【解決手段】 吸着領域,再生領域を巡回する円筒状又
は円柱状の吸着体を備えた回転式ガス吸・脱着処理装置
であり、再生領域12と吸着領域11の間に冷却領域2
0が設けられている。冷却領域20のガス排出側が再生
領域12のガス導入側に接続されている。吸着体がハニ
カム状である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は吸着体における吸着
領域及び再生領域を順次連続的に移動させつつ所定成分
の吸着及び脱着を行なうガス吸・脱着処理装置に関し、
詳細には吸着性能及び脱着性能をいずれも高度に発揮し
て効率の良いガス分離処理を行なうことのできるガス吸
・脱着処理装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】有機溶剤含有ガスから有機溶剤を分離す
る方法や空気を酸素富化ガスに変換する方法等において
は、活性炭やゼオライト等の吸着剤を使った吸着体が利
用される。図4,5は吸着体の代表的な構成例を示す斜
視説明図である。図4に示す吸着体1は円筒状に形成さ
れ、軸芯と交差する方向(半径方向)に隔壁2,2…が
設けられ、それによって円周方向に分断された吸着室1
a,1b,…,1hが形成され、該吸着体1は矢印X方
向に回転する様に構成される。
【0003】そして各吸着室1a…1hには吸着剤を含
有させた波形の吸着部材3が複層に積み重ねられる。
【0004】今図4において例えば有機溶剤を含む原料
ガスを矢印Aa方向から吸着体1中に流通させると、有
機溶剤は吸着部材3に吸着され、その排ガス(ここでは
清浄化ガス)は矢印Ab方向へ導出される。この様に吸
着体1において所定成分の吸着を行なう部分を吸着領域
という。一方、前記吸着部材3に吸着された有機溶剤を
脱着させるときは、矢印Ea方向から高温の脱着用ガス
を導入し吸着体1を貫通させ、吸着部材3から有機溶剤
を脱着して矢印Eb方向へ導出する。この脱着を行なう
部分を再生領域という。
【0005】また上記吸着体1は矢印X方向に回転する
ので、吸着領域と再生領域は交互に変換され、例えば吸
着室1hで吸着された有機溶剤は吸着室1eの位置に移
ったところで脱着を受ける。
【0006】また図5は吸着部材3を半径方向に積層し
て円柱状の吸着体1を形成すると共に、矢印X方向に回
転できる様に構成し、原料ガスを矢印Aa−Ab方向に
流入すると共に、脱着用ガスをEa−Eb方向へ流入す
る様に構成している。
【0007】上記した様な吸着体を使ったガス吸・脱着
処理装置において、脱着排ガス中の所定成分濃度を向上
させる目的(脱着効率を向上させる目的)で、本出願人
は先に図6(説明図)に示す様な装置を特開昭63−2
36514号によって提案している。
【0008】即ち吸着体1には吸着領域11と2分割さ
れた再生領域12,13を形成すると共に、再生領域1
3と吸着領域11の間に再吸着領域14を形成する。
【0009】尚該図6において吸着体1を貫通する実線
は吸着部材3に接触しながらガスが吸着体1を通過する
状態を示し、一方鎖線は単に吸着部材3を避けつつ配管
が接続されていることを示すものである。
【0010】即ち吸着領域11においては供給ファン5
aによって原料ガスを矢印A1 方向へ流入させると共
に、脱着用ガスはファン5b及びヒータ6aを介して矢
印E1方向に再生領域12を流通させ、その脱着排ガス
の一部は再吸着領域14へ導入し、所定成分の吸着量を
増加させておく。この結果再生領域13の脱着(矢印E
2 に示す)排ガスは所定成分を高濃度に含んだ状態で回
収できる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】ところで上記再生領域
12,13の入口側における脱着用ガスはヒータ6a又
は6bによって加熱し、吸着部材3に吸着された所定成
分の脱着効果を高める様に構成している。そのため該脱
着用ガスと接触する再生領域12,13の吸着部材3は
それ自体が昇温し、高温状態のまま吸着領域11に移動
していくことになる。吸着部材3がこの様な高温状態に
なると、吸着剤の吸着量が低下し、吸着目的成分を設計
通りに吸着できなくなる。そのため吸着されずに吸着排
ガスと共に系外へ排出される吸着目的成分量が増加した
り、或は吸着量が少なくなるので、再生領域における脱
着排ガス中の所定成分濃度が低くなって効率的なガス吸
・脱着処理ができなくなるという問題を生じていた。
【0012】そこで本発明者らは吸着体の吸着領域にお
ける吸着性能を向上すると共に、脱着排ガス中の所定成
分濃度を高め、効率的なガス吸・脱着処理を行なうこと
のできる装置を提供する目的で研究を重ね、本発明を完
成した。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成し得た本
発明は、吸着領域,再生領域を巡回する円筒状又は円柱
状の吸着体を備えた回転式ガス吸・脱着処理装置におい
て、前記再生領域と前記吸着領域の間に冷却領域が設け
られ、該冷却領域のガス排出側が前記再生領域のガス導
入側に接続され、且つ前記吸着体がハニカム状であるこ
とを要旨とする。
【0014】
【発明の実施の形態及び実施例】図1〜3は図4に示し
た円筒状吸着体1を用いた本発明ガス吸・脱着処理装置
の実施例を示す説明図である。図1に示す装置は図6の
例と同様、円筒状吸着体1において吸着領域11,再生
領域12,13及び再吸着領域14が形成される。さら
に該実施例装置においては、吸着領域11から再生領域
12へ移りかわる間の位置に冷却領域20を形成し、該
冷却領域20の入口側には、供給ファン5aを介して吸
着領域11を通過(矢印A1 で示す)した排ガスの一部
を導入する様に構成する。そして矢印C方向に沿って冷
却領域20の吸着部材を通過した排ガスはヒータ6aの
入口側へ導入し、再生領域12における脱着用ガスとし
て使用できる様に構成する。
【0015】即ち吸着領域11は冷却領域20を設ける
ことによって常温に近い温度となり、ここを通過した後
の排ガスを冷却領域20へ流通させることによって、再
生領域12,13において加熱された吸着部材3を常温
近くの温度まで冷却できる。また該冷却領域20におい
て昇温された冷却排ガスはヒータ6aを介して再生領域
12の入口側へ脱着用ガスとして導入する構成としてい
るので、ヒータ6aにおける脱着用ガスの加熱エネルギ
ーは少なくて済む。なお前記再生領域12を通過(矢印
1 方向に示す)した排ガスはファン5bにより加圧し
て一部はクーラ9を介して再吸着領域14を流通(矢印
2 方向に示す)させ、さらにその排ガスは原料ガス供
給ファン5aの入口側へ循環させる。
【0016】他方上記ファン5bの出口側において分岐
されたガスの一部はファン5cによって加圧されたガス
と共にヒータ6bへ送り込み、矢印E2 方向に再生領域
13を流通した後、そのうちの一部は最終的な脱着排ガ
スとして系外へ導出する。この再生領域13を流通する
ガスはヒータ6b及びファン5cを設けた循環系路を循
回することになるので、該循環系路で脱着された所定成
分は一定濃度まで高められ、この循環ガスの一部を定量
的に取出して凝縮器8へ導入できるので、凝縮器8を効
率的に運転できる。
【0017】上記冷却領域20を通過するガスを吸着成
分濃度の面から観察すると、冷却領域20の入口側ガス
は吸着領域11における排ガスの一部であるため、吸着
され得なかった所定成分を少量含んでいると推察される
が、該冷却領域20において再生領域12を経た直後の
吸着部材を冷却しつつ流通させることにより、前記未吸
着の吸着成分をここでほぼ完全に吸着処理することがで
きる。さらにこの冷却済み排ガスを再生領域12の脱着
用ガスとして用いたとき、該ガス中の吸着成分は極めて
低濃度であるため、吸着部材に対して優れた脱着性能を
発揮させることができる。
【0018】さらに吸着領域11を通過した後の排ガス
は従来はそのまま排気口11aから系外へ放出すること
になっていた(図6参照)が、本発明の上記実施例にお
いてはこの排ガスの一部を循環して利用できる様にな
り、未吸着成分を排気口11aからそのまま放出してし
まう量は低減できる様になった。
【0019】また機械構造面においては、冷却領域20
を通過させるガスとして吸着領域11を通過した後の排
ガスの一部を利用する構成とすることにより、図4に示
す様なヘッダー部材4bは冷却領域の入口側と吸着領域
11の出口側を連通する1つのヘッダーとして形成する
ことができ、上記入口側と出口側を分離する必要がなく
なるので簡単な構造で済む様になる。
【0020】図2は本発明の他の実施例を示す説明図で
あり、図1に示す実施例と相違する点は、冷却領域20
を通過させる冷却ガスとして、吸着領域11へ導入する
前の原料ガスの一部を利用する様にしたところにあり、
この構成であれば吸着部材3の冷却と共に、吸着目的成
分の吸着を該冷却領域20において行なうことができ、
吸着領域11における原料ガス供給量を減らすことがで
きる。さらに構造面においては、上記冷却領域20及び
吸着領域11における入口側並びに出口側を夫々連通し
たヘッダー部材とすることができ、構造は簡単となる。
【0021】他方再生領域12を通過した排ガスは全量
再吸着領域14の入口側へ導入して吸着部材を矢印A2
方向へ流通する様にして吸着目的成分の吸収量を増加す
る構造としている。さらに再生領域13を通過した(矢
印E2 に示す)排ガスは凝縮器8へ導入する以前に高濃
度とするため、バイパス路10及びファン5cを設けて
凝縮器8の出口側排ガスを再生領域13の入口側へ循環
する系路を形成し、効率的な脱着を行なえる様に構成し
ている。
【0022】図3は図2の実施例において、冷却領域2
0へ導入するガスを図1の例と同様、吸着領域11を通
過した排ガスとしたものである。
【0023】なお図1又は図3の例においては、上述の
通り吸着領域11には冷却を終えた安定温度の吸着部材
3を移動させることができるので、該吸着部材3には吸
着目的成分を確実に吸着できる。
【0024】本発明は上記実施例に限定されず、吸着体
1の形状は図7に示す如く円柱形に形成したものや吸着
体1を固定型とし、ヘッダー等を回転する様に構成した
ものであっても良く、さらに吸着領域及び再生領域等は
任意の比率に形成したものであっても良い。
【0025】
【発明の効果】本発明は以上の様に構成されているの
で、吸着工程を行なう以前に、再生工程において昇温さ
れた吸着体を冷却して吸着性能を高めることができる様
になった。また冷却領域を通過した排ガスは再生領域で
再利用できるので、熱利用の面及び所定成分回収の面で
効率的なガス吸・脱着処理が行なえる様になった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の代表的な実施例を示す説明図。
【図2】本発明の代表的な実施例を示す説明図。
【図3】本発明の代表的な実施例を示す説明図。
【図4】従来の吸着体を示す斜視説明図。
【図5】従来の吸着体を示す斜視説明図。
【図6】従来のガス吸・脱着処理装置の例を示す説明
図。
【図7】本発明の他の実施例を示す説明図。
【符号の説明】
1…吸着体 2…隔壁 3…吸着部材 4a,4b…ヘッダー部材 5a…供給ファン 5b,5c…ファン 6a,6b…ヒータ 8…凝縮器 9…クーラ 10…バイパス路 11…吸着領域 12,13…再生領域 14…再吸着領域 20…冷却領域
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成10年5月20日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 ガス吸・脱着処理装置
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は吸着体における吸着
領域及び再生領域を順次連続的に移動させつつ所定成分
の吸着及び脱着を行なうガス吸・脱着処理装置に関し、
詳細には吸着性能及び脱着性能をいずれも高度に発揮し
て効率の良いガス分離処理を行なうことのできるガス吸
・脱着処理装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】有機溶剤含有ガスから有機溶剤を分離す
る方法や空気を酸素富化ガスに変換する方法等において
は、活性炭やゼオライト等の吸着剤を使った吸着体が利
用される。図3,4は吸着体の代表的な構成例を示す斜
視説明図である。図3に示す吸着体1は円筒状に形成さ
れ、軸芯と交差する方向(半径方向)に隔壁2,2…が
設けられ、それによって円周方向に分断された吸着室1
a,1b,…,1hが形成され、該吸着体1は矢印X方
向に回転する様に構成される。
【0003】そして各吸着室1a…1hには吸着剤を含
有させた波形の吸着部材3が複層に積み重ねられる。
【0004】今図3において例えば有機溶剤を含む原料
ガスを矢印Aa方向から吸着体1中に流通させると、有
機溶剤は吸着部材3に吸着され、その排ガス(ここでは
清浄化ガス)は矢印Ab方向へ導出される。この様に吸
着体1において所定成分の吸着を行なう部分を吸着領域
という。一方、前記吸着部材3に吸着された有機溶剤を
脱着させるときは、矢印Ea方向から高温の脱着用ガス
を導入し吸着体1を貫通させ、吸着部材3から有機溶剤
を脱着して矢印Eb方向へ導出する。この脱着を行なう
部分を再生領域という。
【0005】また上記吸着体1は矢印X方向に回転する
ので、吸着領域と再生領域は交互に変換され、例えば吸
着室1hで吸着された有機溶剤は吸着室1eの位置に移
ったところで脱着を受ける。
【0006】また図4は吸着部材3を半径方向に積層し
て円柱状の吸着体1を形成すると共に、矢印X方向に回
転できる様に構成し、原料ガスを矢印Aa−Ab方向に
流入すると共に、脱着用ガスをEa−Eb方向へ流入す
る様に構成している。
【0007】再生領域に導入する脱着ガスを原料ガスよ
りも少量とすると、再生領域通過後の脱着ガスとして、
原料ガスよりも少量で高濃度のガスが得られる様にな
る。従ってこの様な吸・脱着処理装置が有機溶剤等の濃
縮に良く用いられている。
【0008】また、上記した様な吸着体を使ったガス吸
・脱着処理装置において、脱着排ガス中の所定成分濃度
を向上させる目的(脱着効率を向上させる目的)で、本
出願人は先に図5(説明図)に示す様な装置を特開昭6
3−236514号によって提案している。
【0009】即ち吸着体1には吸着領域11と2分割さ
れた再生領域(第1再生領域13及び第2再生領域1
2)を形成すると共に、第1再生領域13と吸着領域1
1の間に再吸着領域14を形成する。
【0010】尚該図5において吸着体1を貫通する実線
は吸着部材3に接触しながらガスが吸着体1を通過する
状態を示し、一方鎖線は単に吸着部材3を避けつつ配管
が接続されていることを示すものである。
【0011】即ち吸着領域11においては供給ファン5
aによって原料ガスを矢印A1 方向へ流入させて吸着目
的成分を吸着させ、該吸着後の排ガスの全量を大気に放
出させている。一方、脱着用ガスはファン5b及びヒー
タ6aを介して矢印E1 方向に再生領域12を流通さ
せ、その脱着排ガスの一部は再吸着領域14へ導入し、
所定成分の吸着量を増加させておく。この結果再生領域
13の脱着(矢印E2 に示す)排ガスは所定成分を高濃
度に含んだ状態で回収できる。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】ところで上記再生領域
12,13の入口側における脱着用ガスはヒータ(ヒー
タ6a,ヒータ6b)によって加熱され、吸着部材3に
吸着された所定成分の脱着効果が高められる様に構成さ
れている。そのため該脱着用ガスと接触する再生領域1
2,13の吸着部材3はそれ自体が昇温し、高温状態の
まま吸着領域11に移動していくことになる。吸着部材
3がこの様な高温状態になると、吸着剤の吸着量が低下
し、吸着目的成分を設計通りに吸着できなくなる。その
ため吸着されずに吸着排ガスと共に系外へ排出される吸
着目的成分濃度が高くなり、しかも吸着領域11を通過
したガスの全量を大気に放出しているので、大量の吸着
目的成分を大気中に放出するという問題があった。また
吸着領域11への吸着量が少なくなるので、再生領域に
おける脱着排ガス中の所定成分濃度が低くなって効率的
なガス吸・脱着処理ができなくなるという問題を生じて
いた。
【0013】そこで本発明者らは吸着体の吸着領域にお
ける吸着性能を向上すると共に、脱着排ガス中の所定成
分濃度を高め、効率的なガス吸・脱着処理を行なうこと
のできる装置を提供する目的で研究を重ね、本発明を完
成した。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成し得た本
発明は、円筒状又は円柱状のハニカム状吸着体が、吸着
領域,再生領域を巡回する回転式ガス吸・脱着処理装置
において、前記巡回方向に見て再生領域と吸着領域の間
に冷却領域が設けられ、原料ガスの一部または前記吸着
領域を通過した排ガスの一部を前記冷却領域に導入する
様に接続し、更に前記冷却領域から排出されたガスを前
記再生領域に導入する様に接続してなることを要旨とす
るものである。
【0015】
【発明の実施の形態及び実施例】図1,2は図3に示し
た円筒状吸着体1を用いた本発明ガス吸・脱着処理装置
の実施例を示す説明図である。
【0016】図1に示す装置は図5の例と同様、円筒状
吸着体1において吸着領域11,再生領域12,13及
び再吸着領域14が形成される。さらに該実施例装置に
おいては、吸着領域11から第2再生領域12へ移りか
わる間の位置に冷却領域20を形成し、該冷却領域20
の入口側には、供給ファン5aを介して原料ガスが吸着
領域11を通過(矢印A1 で示す)した後の排ガスの一
部を導入する様に構成する。そして矢印C方向に沿って
冷却領域20の吸着部材を通過した排ガスはヒータ6a
の入口側へ導入し、第2再生領域12における脱着用ガ
スとして使用できる様に構成する。
【0017】吸着領域11を通過した排ガスはほぼ常温
に近い温度であるので、このガスを冷却領域20へ流通
させることによって、第1,第2再生領域13,12に
おいて加熱された吸着部材3を充分に常温近くの温度ま
で冷却できる。また該冷却領域20において昇温された
冷却排ガスはヒータ6aを介して第2再生領域12の入
口側へ脱着用ガスとして導入する構成としているので、
ヒータ6aにおける脱着用ガスの加熱エネルギーは少な
くて済む。なお前記第2再生領域12を通過(矢印E1
方向に示す)した排ガスはファン5bにより加圧してク
ーラ9を介して再吸着領域14を流通(矢印A2 方向に
示す)させ、さらにその排ガスは原料ガス供給ファン5
aの入口側へ合流,循環させる。
【0018】第1再生領域13には該第1再生領域13
から流出する排ガスが再び第1再生領域13の入口側に
向かう循環経路が設けられており、即ち第1再生領域1
3を通過した(矢印E2 方向に示す)排ガスの一部はバ
イパス路10からファン5cにより再び第1再生領域1
3に導入されて循環し、一方第1再生領域13を通過し
た排ガスの残りは、凝縮機8へ導入されて回収液が回収
され、次いで回収済みの凝縮機8出口排ガスがファン5
cにより再び第1再生領域13に導入されて循環する構
成となっている。この様な循環経路により凝縮機8へ導
入される排ガスは高濃度となり、効率的な脱着が行え
る。
【0019】上記冷却領域20を通過するガスを吸着成
分濃度の面から観察すると、冷却領域20の入口側ガス
は吸着領域11における排ガスの一部であるため、吸着
され得なかった所定成分を少量含んでいると推察される
が、該冷却領域20において再生領域12を経た直後の
吸着部材を冷却しつつ流通させることにより、前記未吸
着の吸着成分をここでほぼ完全に吸着処理することがで
きる。さらにこの冷却済み排ガスを再生領域12の脱着
用ガスとして用いたとき、該ガス中の吸着成分は極めて
低濃度であるため、吸着部材に対して優れた脱着性能を
発揮させることができる。
【0020】さらに吸着領域11を通過した後の排ガス
は従来はそのまま排気口11aから系外へ放出すること
になっていた(図5参照)が、本発明の上記実施例にお
いてはこの排ガスの一部を循環して利用できる様にな
り、未吸着成分を排気口11aからそのまま放出してし
まう量は低減できる様になった。
【0021】また機械構造面においては、吸着領域11
を通過した後の排ガスの一部が冷却領域20を通過する
構成であるから、図3に示す様なヘッダー部材4bは冷
却領域の入口側と吸着領域11の出口側を連通する1つ
のヘッダーとして形成することができ、即ち上記入口側
と出口側を分離する必要がなくなるので、簡単な構造で
済み、よって装置のコストダウンが図れ、メンテナンス
も容易となる。
【0022】加えてハニカム状吸着体を用いているの
で、吸着体内でガスの流路が個々に独立し、隣接する流
路にガスが漏れることなく出口側まで到達する。
【0023】なお、上述の通り吸着領域11には冷却を
終えた安定温度の吸着部材3を移動させることができる
ので、該吸着部材3には吸着目的成分を確実に吸着でき
る。
【0024】図2は本発明の他の実施例を示す説明図で
あり、図1に示す実施例と相違する点は、冷却領域20
を通過させる冷却ガスとして、吸着領域11へ導入する
前の原料ガスの一部を利用する様にしたところにあり、
そして冷却領域20から排出されたガスを、吸着領域1
1を通過した後のガスの一部に合流して、再生領域12
に導入している。
【0025】この構成であれば吸着部材3の冷却と共
に、吸着目的成分の吸着を該冷却領域20において行な
うことができ、吸着領域11における原料ガス供給量を
減らすことができると共に、図1に示す実施例の場合と
同様に、未吸着成分をそのまま排気口11aから放出し
てしまう量も低減できる。
【0026】さらに構造面においては、上記冷却領域2
0及び吸着領域11における入口側並びに出口側を夫々
連通したヘッダー部材とすることができ、構造は簡単と
なる。
【0027】本発明は上記実施例に限定されず、吸着体
1の形状は図6に示す如く円柱形に形成したものや吸着
体1を固定型とし、ヘッダー等を回転する様に構成した
ものであっても良く、さらに吸着領域及び再生領域等は
任意の比率に形成したものであっても良い。
【0028】
【発明の効果】本発明は以上の様に構成されているの
で、吸着工程を行なう以前に、再生工程において昇温さ
れた吸着体を冷却して吸着性能を高めることができる様
になった。また吸着領域を通過した後の排ガスの一部や
原料ガスの一部を冷却領域に導入し、さらに冷却領域の
排出ガスを循環して利用することにより、系外に放出し
てしまう排出ガスの量を低減できる様になった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の代表的な実施例を示す説明図。
【図2】本発明の代表的な実施例を示す説明図。
【図3】従来の吸着体を示す斜視説明図。
【図4】従来の吸着体を示す斜視説明図。
【図5】従来のガス吸・脱着処理装置の例を示す説明
図。
【図6】本発明の他の実施例を示す説明図である。
【符号の説明】 1…吸着体 2…隔壁 3…吸着部材 4a,4b…ヘッダー部材 5a…供給ファン 5b,5c…ファン 6a,6b…ヒータ 8…凝縮器 9…クーラ 10…バイパス路 11…吸着領域 12,13…再生領域 14…再吸着領域 20…冷却領域
【手続補正2】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 吸着領域,再生領域を巡回する円筒状又
    は円柱状の吸着体を備えた回転式ガス吸・脱着処理装置
    において、 前記再生領域と前記吸着領域の間に冷却領域が設けら
    れ、該冷却領域のガス排出側が前記再生領域のガス導入
    側に接続され、 且つ前記吸着体がハニカム状であることを特徴とするガ
    ス吸・脱着処理装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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