JPH10300548A - フローセンサ出力補正方法 - Google Patents
フローセンサ出力補正方法Info
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- JPH10300548A JPH10300548A JP9108716A JP10871697A JPH10300548A JP H10300548 A JPH10300548 A JP H10300548A JP 9108716 A JP9108716 A JP 9108716A JP 10871697 A JP10871697 A JP 10871697A JP H10300548 A JPH10300548 A JP H10300548A
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- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F7/00—Volume-flow measuring devices with two or more measuring ranges; Compound meters
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F25/00—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume
- G01F25/10—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume of flowmeters
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- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F25/00—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume
- G01F25/10—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume of flowmeters
- G01F25/15—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume of flowmeters specially adapted for gas meters
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フローセンサの経時変化に伴い生ずるセンサ
出力の変動、特にそのゼロ点の変動に対する補正を適正
に行えるフローセンサ出力補正方法を提供する。 【解決手段】 流体が現実に流れてフローセンサが閾値
以上の流量を検出していた状態から流れなくなって閾値
以下になった場合にはそのセンサ出力が或る程度安定し
た特性を示す。そこで、フローセンサが現実に閾値以上
の流量を検出していた状態から閾値以下になった後の比
較的安定したセンサ出力に基づきフローセンサのゼロ点
を補正することで、フローセンサの経時変化に伴うゼロ
点の変動に対する補正が適正となる。
出力の変動、特にそのゼロ点の変動に対する補正を適正
に行えるフローセンサ出力補正方法を提供する。 【解決手段】 流体が現実に流れてフローセンサが閾値
以上の流量を検出していた状態から流れなくなって閾値
以下になった場合にはそのセンサ出力が或る程度安定し
た特性を示す。そこで、フローセンサが現実に閾値以上
の流量を検出していた状態から閾値以下になった後の比
較的安定したセンサ出力に基づきフローセンサのゼロ点
を補正することで、フローセンサの経時変化に伴うゼロ
点の変動に対する補正が適正となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プロパンガス用の
ガスメータ、自動車の空気吸入量制御等に用いられて流
量を測定するためのフローセンサ出力制御方法、特に、
フローセンサとフルイディックセンサとを併用する複合
流量計におけるフローセンサ出力制御方法に関する。
ガスメータ、自動車の空気吸入量制御等に用いられて流
量を測定するためのフローセンサ出力制御方法、特に、
フローセンサとフルイディックセンサとを併用する複合
流量計におけるフローセンサ出力制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、この種の流量計としてはフルイ
ディックセンサが用いられているが、フルイディックセ
ンサの場合、低流量域では感度が急激に低下し、満足に
流量を測定できない欠点がある。そこで、フルイディッ
クセンサを用いるが、この他、低流量域まで測定可能な
異なる検出方式のフローセンサ、例えば、感熱式のフロ
ーセンサを併用することで、低流量域から高流量域まで
測定可能とした複合流量計が各種提案されている。
ディックセンサが用いられているが、フルイディックセ
ンサの場合、低流量域では感度が急激に低下し、満足に
流量を測定できない欠点がある。そこで、フルイディッ
クセンサを用いるが、この他、低流量域まで測定可能な
異なる検出方式のフローセンサ、例えば、感熱式のフロ
ーセンサを併用することで、低流量域から高流量域まで
測定可能とした複合流量計が各種提案されている。
【０００３】ここに、例えば、プロパンガス用ガス流量
計に関しては、流量Ｌ／Ｈ（Ｌは、リットルを表す）に
応じて、 ０〔Ｌ／Ｈ〕；出力しないこと ３〔Ｌ／Ｈ〕；流れていることを検知
できること １２５〜２５０〔Ｌ／Ｈ〕；公差±３％ ２５０〜２５００〔Ｌ／Ｈ〕；公差±１．５％ のような精度規格が設けられている。一般に、流量ゼ
ロ、即ち、０〔Ｌ／Ｈ〕ではガス流量計、特にフローセ
ンサが出力しないために、不感帯が設けられている。こ
の不感帯としては、一般に、ガス漏れ検知の３〔Ｌ／
Ｈ〕を考慮して中間値の１．５〔Ｌ／Ｈ〕が用いられ、
フローセンサ出力が１．５〔Ｌ／Ｈ〕以下の場合にはガ
ス流量計は流量０〔Ｌ／Ｈ〕なる出力を出すように設定
されている。また、経時変化に対しては１０年間で±２
％以下であるという規格もある。
計に関しては、流量Ｌ／Ｈ（Ｌは、リットルを表す）に
応じて、 ０〔Ｌ／Ｈ〕；出力しないこと ３〔Ｌ／Ｈ〕；流れていることを検知
できること １２５〜２５０〔Ｌ／Ｈ〕；公差±３％ ２５０〜２５００〔Ｌ／Ｈ〕；公差±１．５％ のような精度規格が設けられている。一般に、流量ゼ
ロ、即ち、０〔Ｌ／Ｈ〕ではガス流量計、特にフローセ
ンサが出力しないために、不感帯が設けられている。こ
の不感帯としては、一般に、ガス漏れ検知の３〔Ｌ／
Ｈ〕を考慮して中間値の１．５〔Ｌ／Ｈ〕が用いられ、
フローセンサ出力が１．５〔Ｌ／Ｈ〕以下の場合にはガ
ス流量計は流量０〔Ｌ／Ｈ〕なる出力を出すように設定
されている。また、経時変化に対しては１０年間で±２
％以下であるという規格もある。
【０００４】このような精度規格を考慮し、規格を満た
すためにフローセンサ出力に関して各種の補正方法が提
案されている。
すためにフローセンサ出力に関して各種の補正方法が提
案されている。
【０００５】第１に、特開平３−２６４８２１号公報に
よれば、例えば１２５〜２５００〔Ｌ／Ｈ〕の高流量域
側をフルイディックセンサにより計測し、０〜１５０
〔Ｌ／Ｈ〕の低流量域側をフローセンサにより計測する
複合ガス流量計において、両者の計測範囲が重複する範
囲（１２５〜１５０〔Ｌ／Ｈ〕）におけるフルイディッ
クセンサの出力でフローセンサの出力を校正する補正方
法が開示されている。
よれば、例えば１２５〜２５００〔Ｌ／Ｈ〕の高流量域
側をフルイディックセンサにより計測し、０〜１５０
〔Ｌ／Ｈ〕の低流量域側をフローセンサにより計測する
複合ガス流量計において、両者の計測範囲が重複する範
囲（１２５〜１５０〔Ｌ／Ｈ〕）におけるフルイディッ
クセンサの出力でフローセンサの出力を校正する補正方
法が開示されている。
【０００６】第２に、特開平４−２０８８１８号公報に
よれば、不感帯を規定する閾値以下のフローセンサ出力
値をゼロ点と見做して一律にゼロ点を補正する方法が開
示されている。即ち、許容し得るシフト量の絶対値の最
大値を閾値に設定し、フローセンサ出力の絶対値が閾値
以下の場合に限ってその出力を仮想的にフローセンサの
ゼロ点と見做すように補正する方法である。
よれば、不感帯を規定する閾値以下のフローセンサ出力
値をゼロ点と見做して一律にゼロ点を補正する方法が開
示されている。即ち、許容し得るシフト量の絶対値の最
大値を閾値に設定し、フローセンサ出力の絶対値が閾値
以下の場合に限ってその出力を仮想的にフローセンサの
ゼロ点と見做すように補正する方法である。
【０００７】第３に、特開平８−２７１３０７号公報に
よれば、複合流量計において、所定時間毎にフローセン
サのゼロ点補正を行うのが適切かどうかを判断し、適切
な時期であればフローセンサ出力の絶対値を計測し、そ
の絶対値の標準偏差を求め、標準偏差に基づきフローセ
ンサのゼロ点を補正する方法が開示されている。
よれば、複合流量計において、所定時間毎にフローセン
サのゼロ点補正を行うのが適切かどうかを判断し、適切
な時期であればフローセンサ出力の絶対値を計測し、そ
の絶対値の標準偏差を求め、標準偏差に基づきフローセ
ンサのゼロ点を補正する方法が開示されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところが、第１の特開
平３−２６４８２１号公報方式の場合、以下のような不
具合がある。
平３−２６４８２１号公報方式の場合、以下のような不
具合がある。
【０００９】まず、ガス流量範囲（使用量）は使用者
（ガス需要者）の都合によって決まる恣意的な要素であ
り、校正可能な範囲の流量が発生する保証はない。従っ
て、必要期間毎にフローセンサの出力が校正される保証
もないものとなる。
（ガス需要者）の都合によって決まる恣意的な要素であ
り、校正可能な範囲の流量が発生する保証はない。従っ
て、必要期間毎にフローセンサの出力が校正される保証
もないものとなる。
【００１０】また、フローセンサを強制的に経時変化さ
せてその出力変化を調べたところ、図２に示すように、
経時変化の初期ではセンサ出力のシフトのみが起こり
（傾きは変わらず、全体的に移動する）、経時変化が大
きくなるとセンサ出力のシフトに伴い傾きの変化が生ず
ることが判明したものである。ここに、フローセンサの
強制的な経時変化の手法は、フローセンサ中に含まれる
発熱抵抗体（ヒータ）の温度上昇によるものとした。流
量〔Ｌ／Ｈ〕を示す横軸をｘ軸、センサ出力を示す縦軸
をｙ軸とすると、初期出力ｙ0 は ｙ0 ＝０．０６２８ｘ＋３．２５２４ なるセンサ出力特性を示したが、経時変化の初期時であ
る強制経時変化１後出力ｙ1 は ｙ1 ＝０．０６２８ｘ＋２．９１５４ となり、経時変化の大きい強制経時変化２後出力ｙ2 は ｙ2 ＝０．０６１６ｘ＋５．５４９５ となったものである。即ち、初期出力ｙ0 と強制経時変
化１後出力ｙ1 とでは傾きは変化せず、切片のみが変化
（出力に平行にシフト）している。一方、初期出力ｙ0
に対して強制経時変化出力ｙ2 は、傾き及び切片の両方
が変化している。このように、経時変化の初期には出力
特性のシフトのみが起こり、経時変化が進むに従ってそ
の出力特性の傾きも変化するようになる。
せてその出力変化を調べたところ、図２に示すように、
経時変化の初期ではセンサ出力のシフトのみが起こり
（傾きは変わらず、全体的に移動する）、経時変化が大
きくなるとセンサ出力のシフトに伴い傾きの変化が生ず
ることが判明したものである。ここに、フローセンサの
強制的な経時変化の手法は、フローセンサ中に含まれる
発熱抵抗体（ヒータ）の温度上昇によるものとした。流
量〔Ｌ／Ｈ〕を示す横軸をｘ軸、センサ出力を示す縦軸
をｙ軸とすると、初期出力ｙ0 は ｙ0 ＝０．０６２８ｘ＋３．２５２４ なるセンサ出力特性を示したが、経時変化の初期時であ
る強制経時変化１後出力ｙ1 は ｙ1 ＝０．０６２８ｘ＋２．９１５４ となり、経時変化の大きい強制経時変化２後出力ｙ2 は ｙ2 ＝０．０６１６ｘ＋５．５４９５ となったものである。即ち、初期出力ｙ0 と強制経時変
化１後出力ｙ1 とでは傾きは変化せず、切片のみが変化
（出力に平行にシフト）している。一方、初期出力ｙ0
に対して強制経時変化出力ｙ2 は、傾き及び切片の両方
が変化している。このように、経時変化の初期には出力
特性のシフトのみが起こり、経時変化が進むに従ってそ
の出力特性の傾きも変化するようになる。
【００１１】ここに、第１の特開平３−２６４８２１号
公報方式の場合、校正流量範囲（１２５〜１５０〔Ｌ／
Ｈ〕）に関して規定されている公差は±３％であり、例
えば、１２５〔Ｌ／Ｈ〕の場合の流量の公差は±３．７
５〔Ｌ／Ｈ〕となり、これは、ゼロ流量時の不感帯の範
囲（１．５〔Ｌ／Ｈ〕以下）を超えてしまう。従って、
第１の特開平３−２６４８２１号公報方式によって出力
特性のシフトの補正を行うことはできない。また、傾き
の校正を行うのであれば、ゼロ点の校正は行われなくな
り、結局、フローセンサの経時変化に対応することがで
きない。従って、特開平３−２６４８２１号公報方式に
よってフローセンサの経時変化を校正することはできな
い。
公報方式の場合、校正流量範囲（１２５〜１５０〔Ｌ／
Ｈ〕）に関して規定されている公差は±３％であり、例
えば、１２５〔Ｌ／Ｈ〕の場合の流量の公差は±３．７
５〔Ｌ／Ｈ〕となり、これは、ゼロ流量時の不感帯の範
囲（１．５〔Ｌ／Ｈ〕以下）を超えてしまう。従って、
第１の特開平３−２６４８２１号公報方式によって出力
特性のシフトの補正を行うことはできない。また、傾き
の校正を行うのであれば、ゼロ点の校正は行われなくな
り、結局、フローセンサの経時変化に対応することがで
きない。従って、特開平３−２６４８２１号公報方式に
よってフローセンサの経時変化を校正することはできな
い。
【００１２】また、第２の特開平４−２０８８１８号公
報方式や第３の特開平８−２７１３０７号公報方式の場
合には、以下のような不具合がある。
報方式や第３の特開平８−２７１３０７号公報方式の場
合には、以下のような不具合がある。
【００１３】まず、フローセンサの低流量域でのセンサ
出力のばらつきを測定したところ、図３に示すように流
量０〔Ｌ／Ｈ〕時のばらつきの大きいことが判明したも
のである。この原因は、感熱式フローセンサ中のヒータ
部の蓄熱やガスの対流によるものと考えられる。ちなみ
に、この測定は、幅５mm、長さ２５mmの流路を有してこ
の流路の上面にフローセンサを設置して空気流量に関す
るセンサ出力を測ったもので、横軸は流量〔Ｌ／Ｈ〕を
示し、縦軸は設定流量からのずれ〔Ｌ／Ｈ〕を示してい
る。このような状況下に、特開平４−２０８８１８号公
報方式によりゼロ点補正を行うと、例えば、図３中に示
す流量０〔Ｌ／Ｈ〕時のばらつきの最低点の出力を新た
なゼロ点と補正してしまう可能性がある。このような補
正直後に、例えば、図３中に示す流量０〔Ｌ／Ｈ〕時の
ばらつきの最高点が発生した場合には、実際の流量が０
〔Ｌ／Ｈ〕であるにも関わらず、ガスメータとしては或
る流量を出力してしまう。このような事情は、特開平８
−２７１３０７号公報方式による場合にも基本的には同
様である。ここに、ガスメータの場合には、ガスメータ
の出力に基づきガス料金を徴収するので、流量０〔Ｌ／
Ｈ〕の状態で出力が出るということは、致命的な欠点と
なる。即ち、プロパンガス用ガス流量計に要求される精
度規格等によれば、フローセンサ出力のゼロ点の補正が
重要であることがわかるが、図３に示すような流量０
〔Ｌ／Ｈ〕に対するセンサ出力のばらつきが大きい点を
考えると、不感帯にある任意の点を新たなゼロ点として
補正することは適正でない。
出力のばらつきを測定したところ、図３に示すように流
量０〔Ｌ／Ｈ〕時のばらつきの大きいことが判明したも
のである。この原因は、感熱式フローセンサ中のヒータ
部の蓄熱やガスの対流によるものと考えられる。ちなみ
に、この測定は、幅５mm、長さ２５mmの流路を有してこ
の流路の上面にフローセンサを設置して空気流量に関す
るセンサ出力を測ったもので、横軸は流量〔Ｌ／Ｈ〕を
示し、縦軸は設定流量からのずれ〔Ｌ／Ｈ〕を示してい
る。このような状況下に、特開平４−２０８８１８号公
報方式によりゼロ点補正を行うと、例えば、図３中に示
す流量０〔Ｌ／Ｈ〕時のばらつきの最低点の出力を新た
なゼロ点と補正してしまう可能性がある。このような補
正直後に、例えば、図３中に示す流量０〔Ｌ／Ｈ〕時の
ばらつきの最高点が発生した場合には、実際の流量が０
〔Ｌ／Ｈ〕であるにも関わらず、ガスメータとしては或
る流量を出力してしまう。このような事情は、特開平８
−２７１３０７号公報方式による場合にも基本的には同
様である。ここに、ガスメータの場合には、ガスメータ
の出力に基づきガス料金を徴収するので、流量０〔Ｌ／
Ｈ〕の状態で出力が出るということは、致命的な欠点と
なる。即ち、プロパンガス用ガス流量計に要求される精
度規格等によれば、フローセンサ出力のゼロ点の補正が
重要であることがわかるが、図３に示すような流量０
〔Ｌ／Ｈ〕に対するセンサ出力のばらつきが大きい点を
考えると、不感帯にある任意の点を新たなゼロ点として
補正することは適正でない。
【００１４】そこで、本発明は、フローセンサの経時変
化に伴い生ずるセンサ出力の変動を適正に校正し得るよ
うに、そのゼロ点の補正等を適正に行うことができるフ
ローセンサ出力補正方法を提供することを目的とする。
化に伴い生ずるセンサ出力の変動を適正に校正し得るよ
うに、そのゼロ点の補正等を適正に行うことができるフ
ローセンサ出力補正方法を提供することを目的とする。
【００１５】より詳細には、まず、経時変化の初期時に
生ずるフローセンサ出力のシフトの校正を適正に行うこ
とができ、さらには経時変化の大きくなった時点で生ず
るフローセンサ出力のシフトと傾きの校正を適正に行う
ことができるフローセンサ出力制御方法を提供すること
を目的とする。
生ずるフローセンサ出力のシフトの校正を適正に行うこ
とができ、さらには経時変化の大きくなった時点で生ず
るフローセンサ出力のシフトと傾きの校正を適正に行う
ことができるフローセンサ出力制御方法を提供すること
を目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
許容し得るシフト量の絶対値の最大値を閾値に設定し、
センサ出力の絶対値が前記閾値以下の場合には流量ゼロ
と判定するフローセンサにおいて、前記フローセンサが
前記閾値以上の流量を検出していた状態から前記閾値以
下になった後のセンサ出力に基づき前記フローセンサの
ゼロ点を補正するようにした。従って、センサ出力の絶
対値が閾値以下なる不感帯内にあっても必ずしもゼロ点
の補正には適さないが、流体が現実に流れてフローセン
サが閾値以上の流量を検出していた状態から流れなくな
って閾値以下になった場合にはそのセンサ出力は或る程
度安定していることを見出し、この時点以降のセンサ出
力に基づきゼロ点を補正するので、フローセンサの経時
変化に伴うゼロ点の変動に対して適正なゼロ点の補正を
行える。
許容し得るシフト量の絶対値の最大値を閾値に設定し、
センサ出力の絶対値が前記閾値以下の場合には流量ゼロ
と判定するフローセンサにおいて、前記フローセンサが
前記閾値以上の流量を検出していた状態から前記閾値以
下になった後のセンサ出力に基づき前記フローセンサの
ゼロ点を補正するようにした。従って、センサ出力の絶
対値が閾値以下なる不感帯内にあっても必ずしもゼロ点
の補正には適さないが、流体が現実に流れてフローセン
サが閾値以上の流量を検出していた状態から流れなくな
って閾値以下になった場合にはそのセンサ出力は或る程
度安定していることを見出し、この時点以降のセンサ出
力に基づきゼロ点を補正するので、フローセンサの経時
変化に伴うゼロ点の変動に対して適正なゼロ点の補正を
行える。
【００１７】この場合、一旦流体が流れていた後で流量
が０になった場合のセンサ出力の安定の仕方、特に、安
定時間の様子は、流路形状、センサ取付位置、流体の種
類、センサの駆動条件等の各種条件によって異なる。従
って、ゼロ点の補正は、これらの条件に応じて適宜行え
ばよい。例えば、 請求項２記載の発明のように、センサ出力が閾値以
下になった直後から一定時間内におけるセンサ出力の絶
対値の最小値を新たなゼロ点とする補正 請求項３記載の発明のように、センサ出力が閾値以
下になった直後から一定時間内におけるセンサ出力の平
均値を新たなゼロ点とする補正 請求項４記載の発明のように、センサ出力が閾値以
下になって一定時間経過時点から一定時間内におけるセ
ンサ出力の平均値を新たなゼロ点とする補正 請求項５記載の発明のように、センサ出力が閾値以
下になってセンサ出力の絶対値の最小値が出力された時
点から一定時間内におけるセンサ出力の平均値を新たな
ゼロ点とする補正 等がある。
が０になった場合のセンサ出力の安定の仕方、特に、安
定時間の様子は、流路形状、センサ取付位置、流体の種
類、センサの駆動条件等の各種条件によって異なる。従
って、ゼロ点の補正は、これらの条件に応じて適宜行え
ばよい。例えば、 請求項２記載の発明のように、センサ出力が閾値以
下になった直後から一定時間内におけるセンサ出力の絶
対値の最小値を新たなゼロ点とする補正 請求項３記載の発明のように、センサ出力が閾値以
下になった直後から一定時間内におけるセンサ出力の平
均値を新たなゼロ点とする補正 請求項４記載の発明のように、センサ出力が閾値以
下になって一定時間経過時点から一定時間内におけるセ
ンサ出力の平均値を新たなゼロ点とする補正 請求項５記載の発明のように、センサ出力が閾値以
下になってセンサ出力の絶対値の最小値が出力された時
点から一定時間内におけるセンサ出力の平均値を新たな
ゼロ点とする補正 等がある。
【００１８】また、請求項６記載の発明は、請求項１な
いし５の何れか一記載のフローセンサ出力補正方法によ
るゼロ点の補正量に従いセンサ出力をシフト校正するよ
うにした。従って、フローセンサの経時変化の初期時に
おけるセンサ出力のシフト変動が適正に補正される。即
ち、フローセンサの経時変化の初期時において傾きは変
わらずセンサ出力がシフトする変動に対して、ゼロ点の
変動分だけセンサ出力をシフトさせることにより、フロ
ーセンサの測定範囲全域に渡る適正な補正が行われる。
いし５の何れか一記載のフローセンサ出力補正方法によ
るゼロ点の補正量に従いセンサ出力をシフト校正するよ
うにした。従って、フローセンサの経時変化の初期時に
おけるセンサ出力のシフト変動が適正に補正される。即
ち、フローセンサの経時変化の初期時において傾きは変
わらずセンサ出力がシフトする変動に対して、ゼロ点の
変動分だけセンサ出力をシフトさせることにより、フロ
ーセンサの測定範囲全域に渡る適正な補正が行われる。
【００１９】請求項７記載の発明は、所定流量以下の低
流量域をフローセンサにより測定し、前記所定流量以下
の流量域の一部を重複領域として含む高流量域をフルイ
ディックセンサにより測定する複合流量計において、前
記重複領域の前記フローセンサ出力を前記フルイディッ
クセンサ出力に基づき校正し、前記フローセンサのゼロ
点を請求項１ないし６の何れか一記載のフローセンサ出
力補正方法で補正するようにした。従って、フローセン
サの経時変化が大きくなりセンサ出力がシフトだけでな
く傾きにも変動が生じた場合には、シフトの補正は前述
したようなゼロ点の補正に伴う補正により行い、傾きの
補正は高流量域用のフルイディックセンサの出力に基づ
き校正することで、フローセンサの測定範囲のゼロ流量
と最大流量との２点で適正に補正することができる。
流量域をフローセンサにより測定し、前記所定流量以下
の流量域の一部を重複領域として含む高流量域をフルイ
ディックセンサにより測定する複合流量計において、前
記重複領域の前記フローセンサ出力を前記フルイディッ
クセンサ出力に基づき校正し、前記フローセンサのゼロ
点を請求項１ないし６の何れか一記載のフローセンサ出
力補正方法で補正するようにした。従って、フローセン
サの経時変化が大きくなりセンサ出力がシフトだけでな
く傾きにも変動が生じた場合には、シフトの補正は前述
したようなゼロ点の補正に伴う補正により行い、傾きの
補正は高流量域用のフルイディックセンサの出力に基づ
き校正することで、フローセンサの測定範囲のゼロ流量
と最大流量との２点で適正に補正することができる。
【００２０】請求項８記載の発明は、使用開始からの経
過時間を管理する経時情報管理手段を備え、使用開始か
らの経過時間が所定の時間を超えるまでは請求項１ない
し６の何れか一記載のフローセンサ出力補正方法により
フローセンサ出力を補正し、使用開始からの経過時間が
所定の時間を超えた後は請求項７記載のフローセンサ出
力補正方法によりフローセンサ出力を補正するようにし
た。従って、フローセンサの経時変化の進行状況は、フ
ローセンサの特性や駆動条件によって大きく異なり、使
用開始から所定の時間が経過するまではセンサ出力のシ
フトのみ起こるので、この期間中には請求項１ないし６
の何れか一記載の補正方法によるゼロ点補正及びシフト
補正で適正に対処される。一方、使用開始から所定の時
間を超える段階になるとセンサ出力のシフトだけでなく
傾きの変動も生ずるが、請求項７記載の補正方法による
補正で適正に対処される。
過時間を管理する経時情報管理手段を備え、使用開始か
らの経過時間が所定の時間を超えるまでは請求項１ない
し６の何れか一記載のフローセンサ出力補正方法により
フローセンサ出力を補正し、使用開始からの経過時間が
所定の時間を超えた後は請求項７記載のフローセンサ出
力補正方法によりフローセンサ出力を補正するようにし
た。従って、フローセンサの経時変化の進行状況は、フ
ローセンサの特性や駆動条件によって大きく異なり、使
用開始から所定の時間が経過するまではセンサ出力のシ
フトのみ起こるので、この期間中には請求項１ないし６
の何れか一記載の補正方法によるゼロ点補正及びシフト
補正で適正に対処される。一方、使用開始から所定の時
間を超える段階になるとセンサ出力のシフトだけでなく
傾きの変動も生ずるが、請求項７記載の補正方法による
補正で適正に対処される。
【００２１】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１及び
図２を参照して説明する。本実施の形態は、特に図示は
しないが、フルイディックセンサと感熱式フローセンサ
とを併用する周知構造の複合流量計であって、プロパン
ガスの流量を計測する流量計中のフローセンサ出力補正
方法として適用されている。ここに、例えば特開平３−
２６４８２１号公報の場合と同様に、所定流量として１
５０〔Ｌ／Ｈ〕が設定され、所定流量以下の０〜１５０
〔Ｌ／Ｈ〕の低流量域についてはフローセンサにより計
測し、１２５〜２５００〔Ｌ／Ｈ〕の高流量域をフルイ
ディックセンサにより計測するように設定されている。
従って、１２５〜１５０〔Ｌ／Ｈ〕の流量域は両センサ
に対する重複領域とされている。また、本実施の形態で
は、前述したセンサに要求される精度規格に従い、許容
し得るシフト量の絶対値の最大値が閾値に設定されて、
センサ出力の絶対値がこの閾値以下の場合には流量ゼロ
と判定するように不感帯が設定されている。具体的に
は、１．５〔Ｌ／Ｈ〕以下の流量では複合流量計として
の出力が０となるように設定されている。
図２を参照して説明する。本実施の形態は、特に図示は
しないが、フルイディックセンサと感熱式フローセンサ
とを併用する周知構造の複合流量計であって、プロパン
ガスの流量を計測する流量計中のフローセンサ出力補正
方法として適用されている。ここに、例えば特開平３−
２６４８２１号公報の場合と同様に、所定流量として１
５０〔Ｌ／Ｈ〕が設定され、所定流量以下の０〜１５０
〔Ｌ／Ｈ〕の低流量域についてはフローセンサにより計
測し、１２５〜２５００〔Ｌ／Ｈ〕の高流量域をフルイ
ディックセンサにより計測するように設定されている。
従って、１２５〜１５０〔Ｌ／Ｈ〕の流量域は両センサ
に対する重複領域とされている。また、本実施の形態で
は、前述したセンサに要求される精度規格に従い、許容
し得るシフト量の絶対値の最大値が閾値に設定されて、
センサ出力の絶対値がこの閾値以下の場合には流量ゼロ
と判定するように不感帯が設定されている。具体的に
は、１．５〔Ｌ／Ｈ〕以下の流量では複合流量計として
の出力が０となるように設定されている。
【００２２】このような通常の複合流量計なる構造の
下、本実施の形態では、フローセンサの経時変化によっ
て生ずるセンサ出力の変動、例えば、ゼロ点の変動を補
正する方法として、センサ出力を常に監視し、一旦、フ
ローセンサによって閾値よりも大きな或る程度の流量出
力が検出された後で、閾値以下になるようなセンサ出力
が検出された場合には、このような履歴条件下に閾値以
下になったセンサ出力に基づきフローセンサのゼロ点を
新たなゼロ点に補正する方法とされている。
下、本実施の形態では、フローセンサの経時変化によっ
て生ずるセンサ出力の変動、例えば、ゼロ点の変動を補
正する方法として、センサ出力を常に監視し、一旦、フ
ローセンサによって閾値よりも大きな或る程度の流量出
力が検出された後で、閾値以下になるようなセンサ出力
が検出された場合には、このような履歴条件下に閾値以
下になったセンサ出力に基づきフローセンサのゼロ点を
新たなゼロ点に補正する方法とされている。
【００２３】これは、フローセンサのセンサ出力の０点
が安定する状態を考察したところ、図１（ａ）に示すよ
うに、ガスが流れていた状態から流れなくなった時点で
の０点が安定していることが見出されたことを利用した
ものである。この実験例は、図３の場合と同様に、幅５
mm、長さ２５mmの流路を有してこの流路の上面にフロー
センサを設置して空気流量に関するセンサ出力を測った
もので、時間がマイナスの時点では１００〔Ｌ／Ｈ〕の
流量で空気を流し、時間０のタイミングでバルブを閉じ
てガス（空気）を止めた例を示す。横軸は経過時間〔se
c〕 を示し、縦軸はフローセンサの出力〔Ｌ／Ｈ〕を示
している。図１（ｂ）は縦軸のスケールを変えて出力の
変化の様子を拡大して示している。
が安定する状態を考察したところ、図１（ａ）に示すよ
うに、ガスが流れていた状態から流れなくなった時点で
の０点が安定していることが見出されたことを利用した
ものである。この実験例は、図３の場合と同様に、幅５
mm、長さ２５mmの流路を有してこの流路の上面にフロー
センサを設置して空気流量に関するセンサ出力を測った
もので、時間がマイナスの時点では１００〔Ｌ／Ｈ〕の
流量で空気を流し、時間０のタイミングでバルブを閉じ
てガス（空気）を止めた例を示す。横軸は経過時間〔se
c〕 を示し、縦軸はフローセンサの出力〔Ｌ／Ｈ〕を示
している。図１（ｂ）は縦軸のスケールを変えて出力の
変化の様子を拡大して示している。
【００２４】この実験例では、バルブを閉じた後（時間
０）、流れていたガスの影響が約３０秒でなくなり、安
定したセンサ出力を示したものである。このセンサ出力
の安定状態は約２５０秒間続き、その後、次第に不安定
な状態に移行しているのがわかる。
０）、流れていたガスの影響が約３０秒でなくなり、安
定したセンサ出力を示したものである。このセンサ出力
の安定状態は約２５０秒間続き、その後、次第に不安定
な状態に移行しているのがわかる。
【００２５】従って、本実施の形態においては、フロー
センサのセンサ出力が閾値以下になった直後（約３０秒
経過時点）から一定時間（約２５０秒が経過するまでの
間）内における適切なセンサ出力値、例えば、この間の
センサ出力値の最小値Ａを新たなゼロ点としてフローセ
ンサのゼロ点の補正を行うことにより、適正なゼロ点の
補正となる。
センサのセンサ出力が閾値以下になった直後（約３０秒
経過時点）から一定時間（約２５０秒が経過するまでの
間）内における適切なセンサ出力値、例えば、この間の
センサ出力値の最小値Ａを新たなゼロ点としてフローセ
ンサのゼロ点の補正を行うことにより、適正なゼロ点の
補正となる。
【００２６】或いは、３０〜２５０秒なる一定時間内に
おけるセンサ出力の平均値を新たなゼロ点としてフロー
センサのゼロ点の補正を行うようにしても、適正なゼロ
点の補正となる。さらには、より安定した領域を対象と
するため、例えば、センサ出力が閾値以下になった直後
（約３０秒経過後）からさらに一定時間が経過した時点
（約１００秒経過時点）から一定時間（約２５０秒が経
過するまでの間）内におけるセンサ出力の平均値を新た
なゼロ点としてフローセンサのゼロ点の補正を行うよう
にしても、適正なゼロ点の補正となる。或いは、センサ
出力が閾値以下になってからセンサ出力の最小値（絶対
値）Ａが検出された時点（約１４０秒）から一定時間
（約２５０秒が経過するまでの間）内におけるセンサ出
力の平均値を新たなゼロ点としてフローセンサのゼロ点
の補正を行うようにしても、適正なゼロ点の補正とな
る。要は、センサ出力の安定時間の様子は、流路形状、
センサ取付位置、適用ガスの種類、センサ駆動条件等の
各種条件によって異なるので、各種条件に応じて最も安
定した特性が得られる部分のセンサ出力をに基づきゼロ
点を補正すればよい。
おけるセンサ出力の平均値を新たなゼロ点としてフロー
センサのゼロ点の補正を行うようにしても、適正なゼロ
点の補正となる。さらには、より安定した領域を対象と
するため、例えば、センサ出力が閾値以下になった直後
（約３０秒経過後）からさらに一定時間が経過した時点
（約１００秒経過時点）から一定時間（約２５０秒が経
過するまでの間）内におけるセンサ出力の平均値を新た
なゼロ点としてフローセンサのゼロ点の補正を行うよう
にしても、適正なゼロ点の補正となる。或いは、センサ
出力が閾値以下になってからセンサ出力の最小値（絶対
値）Ａが検出された時点（約１４０秒）から一定時間
（約２５０秒が経過するまでの間）内におけるセンサ出
力の平均値を新たなゼロ点としてフローセンサのゼロ点
の補正を行うようにしても、適正なゼロ点の補正とな
る。要は、センサ出力の安定時間の様子は、流路形状、
センサ取付位置、適用ガスの種類、センサ駆動条件等の
各種条件によって異なるので、各種条件に応じて最も安
定した特性が得られる部分のセンサ出力をに基づきゼロ
点を補正すればよい。
【００２７】また、フローセンサのセンサ出力自体は、
このようなゼロ点の補正に伴い、そのゼロ点の補正量
（以前のゼロ点に対する新たなゼロ点への補正量）分が
全体的にシフトするように校正される。即ち、フローセ
ンサの経時変化の初期時において傾きは変わらずセンサ
出力がシフトする変動に対して、ゼロ点の補正量分だけ
センサ出力を全体的にシフトさせることにより、フロー
センサの測定範囲全域に渡る適正な補正が行われる。
このようなゼロ点の補正に伴い、そのゼロ点の補正量
（以前のゼロ点に対する新たなゼロ点への補正量）分が
全体的にシフトするように校正される。即ち、フローセ
ンサの経時変化の初期時において傾きは変わらずセンサ
出力がシフトする変動に対して、ゼロ点の補正量分だけ
センサ出力を全体的にシフトさせることにより、フロー
センサの測定範囲全域に渡る適正な補正が行われる。
【００２８】ここに、フローセンサの経時変化の進行状
況は、フローセンサの特性や駆動条件等によって大きく
異なり、経時変化の小さい駆動方法をとることができる
フローセンサないしは複合流量計の場合であれば、上記
のようなゼロ点の補正に伴うセンサ出力の全体的なシフ
ト補正のみで１０年間の精度規格（公差±２％以下）を
満足し得る。
況は、フローセンサの特性や駆動条件等によって大きく
異なり、経時変化の小さい駆動方法をとることができる
フローセンサないしは複合流量計の場合であれば、上記
のようなゼロ点の補正に伴うセンサ出力の全体的なシフ
ト補正のみで１０年間の精度規格（公差±２％以下）を
満足し得る。
【００２９】一方、センサ出力を大きくとるためにはフ
ローセンサの発熱抵抗体（ヒータ）の駆動温度を高くす
る必要があり、このような駆動方法の場合には、フロー
センサの経時変化が加速される。このような状況下で
は、センサ出力の傾きの変動も生ずるので、上記のよう
なセンサ出力の全体的なシフト補正のみでは不十分であ
り、フルイディックセンサの出力を利用した補正も必要
となる。即ち、フルイディックセンサとフローセンサと
の測定の重複領域１２５〜１５０〔Ｌ／Ｈ〕におけるフ
ローセンサ出力をフルイディックセンサ出力に基づき校
正するとともに、フローセンサのゼロ点を前述した方法
で補正することが必要となる。このようなフローセンサ
の測定範囲の最小点と最大点との２点での校正により、
センサ出力のシフトと傾きとに対する校正が適正に行わ
れる。
ローセンサの発熱抵抗体（ヒータ）の駆動温度を高くす
る必要があり、このような駆動方法の場合には、フロー
センサの経時変化が加速される。このような状況下で
は、センサ出力の傾きの変動も生ずるので、上記のよう
なセンサ出力の全体的なシフト補正のみでは不十分であ
り、フルイディックセンサの出力を利用した補正も必要
となる。即ち、フルイディックセンサとフローセンサと
の測定の重複領域１２５〜１５０〔Ｌ／Ｈ〕におけるフ
ローセンサ出力をフルイディックセンサ出力に基づき校
正するとともに、フローセンサのゼロ点を前述した方法
で補正することが必要となる。このようなフローセンサ
の測定範囲の最小点と最大点との２点での校正により、
センサ出力のシフトと傾きとに対する校正が適正に行わ
れる。
【００３０】なお、より実際的な補正処理を考えた場合
には、当該複合流量計を新たに設置したときに、その使
用開始からの経過時間を管理するタイマ等の経時情報管
理手段を用意しておき、この経時情報管理手段により管
理される使用開始からの経過時間が予め設定された所定
の時間を超えるまでの経時変化の初期時にはフローセン
サのゼロ点の補正及びセンサ出力のシフト補正のみを行
うようにし、使用開始からの経過時間が所定の時間を超
える段階となった時点からゼロ点の補正とフルイディッ
クセンサの出力を利用したフローセンサ出力の傾き補正
とを同じに行うようにすることで、経時情報管理手段に
よる管理の下に、自動的に補正方法を切り換えるのがよ
い。
には、当該複合流量計を新たに設置したときに、その使
用開始からの経過時間を管理するタイマ等の経時情報管
理手段を用意しておき、この経時情報管理手段により管
理される使用開始からの経過時間が予め設定された所定
の時間を超えるまでの経時変化の初期時にはフローセン
サのゼロ点の補正及びセンサ出力のシフト補正のみを行
うようにし、使用開始からの経過時間が所定の時間を超
える段階となった時点からゼロ点の補正とフルイディッ
クセンサの出力を利用したフローセンサ出力の傾き補正
とを同じに行うようにすることで、経時情報管理手段に
よる管理の下に、自動的に補正方法を切り換えるのがよ
い。
【００３１】なお、本実施の形態は、ガスメータ、特に
プロパンガス用流量計への適用例として説明したが、ガ
スメータに限らず、要は、フローセンサを用いて流体、
特に気体の流量を測定するものに関しては同様に適用し
得る。
プロパンガス用流量計への適用例として説明したが、ガ
スメータに限らず、要は、フローセンサを用いて流体、
特に気体の流量を測定するものに関しては同様に適用し
得る。
【００３２】
【発明の効果】請求項１ないし５記載の発明によれば、
許容し得るシフト量の絶対値の最大値を閾値に設定し、
センサ出力の絶対値が閾値以下の場合には流量ゼロと判
定するフローセンサにおいて、流体が現実に流れてフロ
ーセンサが閾値以上の流量を検出していた状態から流れ
なくなって閾値以下になった場合にはそのセンサ出力が
或る程度安定した特性を示す点に着目し、フローセンサ
が閾値以上の流量を検出していた状態から閾値以下にな
った後のセンサ出力に基づきフローセンサのゼロ点を補
正するようにしたので、フローセンサの経時変化に伴う
ゼロ点の変動に対する補正を適正に行うことができる。
許容し得るシフト量の絶対値の最大値を閾値に設定し、
センサ出力の絶対値が閾値以下の場合には流量ゼロと判
定するフローセンサにおいて、流体が現実に流れてフロ
ーセンサが閾値以上の流量を検出していた状態から流れ
なくなって閾値以下になった場合にはそのセンサ出力が
或る程度安定した特性を示す点に着目し、フローセンサ
が閾値以上の流量を検出していた状態から閾値以下にな
った後のセンサ出力に基づきフローセンサのゼロ点を補
正するようにしたので、フローセンサの経時変化に伴う
ゼロ点の変動に対する補正を適正に行うことができる。
【００３３】請求項６記載の発明によれば、請求項１な
いし５の何れか一記載のフローセンサ出力補正方法によ
るゼロ点の補正量に従いセンサ出力をシフト校正するよ
うにしたので、フローセンサの経時変化の初期時におけ
る傾きは変わらずセンサ出力がシフトする変動に対し
て、ゼロ点の補正量分だけセンサ出力をシフトさせるこ
とにより、フローセンサの測定範囲全域に渡る適正な補
正を行うことができる。
いし５の何れか一記載のフローセンサ出力補正方法によ
るゼロ点の補正量に従いセンサ出力をシフト校正するよ
うにしたので、フローセンサの経時変化の初期時におけ
る傾きは変わらずセンサ出力がシフトする変動に対し
て、ゼロ点の補正量分だけセンサ出力をシフトさせるこ
とにより、フローセンサの測定範囲全域に渡る適正な補
正を行うことができる。
【００３４】請求項７記載の発明によれば、所定流量以
下の低流量域をフローセンサにより測定し、所定流量以
下の流量域の一部を重複領域として含む高流量域をフル
イディックセンサにより測定する複合流量計において、
重複領域のフローセンサ出力をフルイディックセンサ出
力に基づき校正し、フローセンサのゼロ点を請求項１な
いし６の何れか一記載のフローセンサ出力補正方法で補
正するようにしたので、フローセンサの経時変化が大き
くなりセンサ出力がシフトだけでなく傾きにも変動が生
じた場合には、シフトの補正はゼロ点の補正を利用して
行い、傾きの補正は高流量域用のフルイディックセンサ
の出力に基づき校正することで、フローセンサの測定範
囲のゼロ流量と最大流量との２点で適正に補正すること
ができる。
下の低流量域をフローセンサにより測定し、所定流量以
下の流量域の一部を重複領域として含む高流量域をフル
イディックセンサにより測定する複合流量計において、
重複領域のフローセンサ出力をフルイディックセンサ出
力に基づき校正し、フローセンサのゼロ点を請求項１な
いし６の何れか一記載のフローセンサ出力補正方法で補
正するようにしたので、フローセンサの経時変化が大き
くなりセンサ出力がシフトだけでなく傾きにも変動が生
じた場合には、シフトの補正はゼロ点の補正を利用して
行い、傾きの補正は高流量域用のフルイディックセンサ
の出力に基づき校正することで、フローセンサの測定範
囲のゼロ流量と最大流量との２点で適正に補正すること
ができる。
【００３５】請求項８記載の発明によれば、使用開始か
らの経過時間を管理する経時情報管理手段を備え、使用
開始からの経過時間が所定の時間を超えるまでは請求項
１ないし６の何れか一記載のフローセンサ出力補正方法
によりフローセンサ出力を補正し、使用開始からの経過
時間が所定の時間を超えた後は請求項７記載のフローセ
ンサ出力補正方法によりフローセンサ出力を補正するよ
うにしたので、経時変化の初期時には請求項１ないし６
の何れか一記載の補正方法によるゼロ点補正及びシフト
補正で適正に対処でき、経時変化の大きくなる段階では
センサ出力のシフトだけでなく傾きの変動も生ずるが、
請求項７記載の補正方法による補正で適正に対処するこ
とができる。
らの経過時間を管理する経時情報管理手段を備え、使用
開始からの経過時間が所定の時間を超えるまでは請求項
１ないし６の何れか一記載のフローセンサ出力補正方法
によりフローセンサ出力を補正し、使用開始からの経過
時間が所定の時間を超えた後は請求項７記載のフローセ
ンサ出力補正方法によりフローセンサ出力を補正するよ
うにしたので、経時変化の初期時には請求項１ないし６
の何れか一記載の補正方法によるゼロ点補正及びシフト
補正で適正に対処でき、経時変化の大きくなる段階では
センサ出力のシフトだけでなく傾きの変動も生ずるが、
請求項７記載の補正方法による補正で適正に対処するこ
とができる。
【図１】本発明の一実施の形態における流量０になった
後の出力安定性を説明するための特性図である。
後の出力安定性を説明するための特性図である。
【図２】経時変化に伴うセンサ出力の変化の様子を示す
特性図である。
特性図である。
【図３】低流量域における出力のばらつきの様子を示す
特性図である。
特性図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 幸人 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 庄子 浩義 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 安住 純一 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 上西 盛聖 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内
Claims (8)
- 【請求項１】 許容し得るシフト量の絶対値の最大値を
閾値に設定し、センサ出力の絶対値が前記閾値以下の場
合には流量ゼロと判定するフローセンサにおいて、前記
フローセンサが前記閾値以上の流量を検出していた状態
から前記閾値以下になった後のセンサ出力に基づき前記
フローセンサのゼロ点を補正するようにしたことを特徴
とするフローセンサ出力補正方法。 - 【請求項２】 ゼロ点の補正は、センサ出力が閾値以下
になった直後から一定時間内におけるセンサ出力の絶対
値の最小値を新たなゼロ点とする補正であることを特徴
とする請求項１記載のフローセンサ出力補正方法。 - 【請求項３】 ゼロ点の補正は、センサ出力が閾値以下
になった直後から一定時間内におけるセンサ出力の平均
値を新たなゼロ点とする補正であることを特徴とする請
求項１記載のフローセンサ出力補正方法。 - 【請求項４】 ゼロ点の補正は、センサ出力が閾値以下
になって一定時間経過時点から一定時間内におけるセン
サ出力の平均値を新たなゼロ点とする補正であることを
特徴とする請求項１記載のフローセンサ出力補正方法。 - 【請求項５】 ゼロ点の補正は、センサ出力が閾値以下
になってセンサ出力の絶対値の最小値が出力された時点
から一定時間内におけるセンサ出力の平均値を新たなゼ
ロ点とする補正であることを特徴とする請求項１記載の
フローセンサ出力補正方法。 - 【請求項６】 ゼロ点の補正量に従いセンサ出力をシフ
ト校正するようにしたことを特徴とする請求項１ないし
５の何れか一記載のフローセンサ出力補正方法。 - 【請求項７】 所定流量以下の低流量域をフローセンサ
により測定し、前記所定流量以下の流量域の一部を重複
領域として含む高流量域をフルイディックセンサにより
測定する複合流量計において、前記重複領域の前記フロ
ーセンサ出力を前記フルイディックセンサ出力に基づき
校正し、前記フローセンサのゼロ点を請求項１ないし６
の何れか一記載のフローセンサ出力補正方法で補正する
ようにしたことを特徴とするフローセンサ出力補正方
法。 - 【請求項８】 使用開始からの経過時間を管理する経時
情報管理手段を備え、使用開始からの経過時間が所定の
時間を超えるまでは請求項１ないし６の何れか一記載の
フローセンサ出力補正方法によりフローセンサ出力を補
正し、使用開始からの経過時間が所定の時間を超えた後
は請求項７記載のフローセンサ出力補正方法によりフロ
ーセンサ出力を補正するようにしたことを特徴とするフ
ローセンサ出力補正方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9108716A JPH10300548A (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | フローセンサ出力補正方法 |
| US09/065,726 US5983700A (en) | 1997-04-25 | 1998-04-24 | Calibration method of a flow sensor output |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9108716A JPH10300548A (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | フローセンサ出力補正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10300548A true JPH10300548A (ja) | 1998-11-13 |
Family
ID=14491775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9108716A Pending JPH10300548A (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | フローセンサ出力補正方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5983700A (ja) |
| JP (1) | JPH10300548A (ja) |
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1997
- 1997-04-25 JP JP9108716A patent/JPH10300548A/ja active Pending
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|---|---|---|---|---|
| JP2003075224A (ja) * | 2001-08-31 | 2003-03-12 | Osaka Gas Co Ltd | ガス漏洩検知機能を備えた流量計 |
| JP2011048502A (ja) * | 2009-08-25 | 2011-03-10 | Horiba Stec Co Ltd | 流量制御装置 |
| US9081388B2 (en) | 2009-08-25 | 2015-07-14 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Flow rate control device |
| US9304030B2 (en) | 2009-08-25 | 2016-04-05 | Horiba Stec, Co. Ltd. | Flow rate control device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5983700A (en) | 1999-11-16 |
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