JPH10293014A - 自動断面計測装置 - Google Patents
自動断面計測装置Info
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- JPH10293014A JPH10293014A JP9989497A JP9989497A JPH10293014A JP H10293014 A JPH10293014 A JP H10293014A JP 9989497 A JP9989497 A JP 9989497A JP 9989497 A JP9989497 A JP 9989497A JP H10293014 A JPH10293014 A JP H10293014A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 レーザー光などの参照光出力を人間がいちい
ち調整しなくても、データの取得ができるようにする。 【解決手段】 ワーク１０にレーザー光１２を照射する
レーザー光源１４と、ワーク１０をそのレーザー光照射
部分を含めて撮像するＣＣＤカメラ１６と、該カメラ１
６の撮像出力信号からワーク１０のレーザー光像データ
を取得するデータ取得部１８と、前記光像データの取得
できない部分がある場合に、取得できない部分の範囲を
記憶し、前記レーザー光源１４の光出力を上昇させて、
データ取得部１８により前記記憶された範囲のデータを
取得するデータ再取得部２０とを備え、取得したそれぞ
れのレーザー光像データを合成してワーク１０の断面を
計測する。
ち調整しなくても、データの取得ができるようにする。 【解決手段】 ワーク１０にレーザー光１２を照射する
レーザー光源１４と、ワーク１０をそのレーザー光照射
部分を含めて撮像するＣＣＤカメラ１６と、該カメラ１
６の撮像出力信号からワーク１０のレーザー光像データ
を取得するデータ取得部１８と、前記光像データの取得
できない部分がある場合に、取得できない部分の範囲を
記憶し、前記レーザー光源１４の光出力を上昇させて、
データ取得部１８により前記記憶された範囲のデータを
取得するデータ再取得部２０とを備え、取得したそれぞ
れのレーザー光像データを合成してワーク１０の断面を
計測する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、計測対象物にレー
ザー光などの参照光を照射して、その参照光像データか
ら断面を計測する装置に関する。
ザー光などの参照光を照射して、その参照光像データか
ら断面を計測する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、計測対象物であるワークの断
面形状を計測するために、レーザー断面計測センサが用
いられている。このレーザー断面計測センサは、ワーク
にスリットレーザー光を照射したときの照射部分の像を
ＣＣＤ（電荷結合素子）カメラで捕らえ、そのレーザー
光の像によりワークの断面形状計測を行うものである。
面形状を計測するために、レーザー断面計測センサが用
いられている。このレーザー断面計測センサは、ワーク
にスリットレーザー光を照射したときの照射部分の像を
ＣＣＤ（電荷結合素子）カメラで捕らえ、そのレーザー
光の像によりワークの断面形状計測を行うものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この計測は、ワークか
らの反射光を捕えて行うものであるので、ワークの表面
色、状態によっては反射光の光量が均一ではなくなり、
レーザー光の像が見えにくくなる場合がある。
らの反射光を捕えて行うものであるので、ワークの表面
色、状態によっては反射光の光量が均一ではなくなり、
レーザー光の像が見えにくくなる場合がある。
【０００４】この場合、ＣＣＤからの撮像信号にノイズ
除去のための閾値をかけると、レーザー光像が途中で切
れたり抜けたりしてしまうので、そのままでは計測がで
きず、計測者などの人間がレーザーの出力を調整して計
測をしなければならない。
除去のための閾値をかけると、レーザー光像が途中で切
れたり抜けたりしてしまうので、そのままでは計測がで
きず、計測者などの人間がレーザーの出力を調整して計
測をしなければならない。
【０００５】このような断面計測センサを、製造あるい
は組み立てラインの検査装置に組み込んだ場合、人手で
調整することはラインストップなどの不具合が生じるた
め実際には調整することが難しく、ワークによっては検
査できない場合がある。
は組み立てラインの検査装置に組み込んだ場合、人手で
調整することはラインストップなどの不具合が生じるた
め実際には調整することが難しく、ワークによっては検
査できない場合がある。
【０００６】本発明は、このような従来の問題点を解決
するためなされたものであって、レーザー光などの参照
光出力を人間がいちいち調整しなくても、データの取得
ができる断面計測装置を提供することを目的とする。
するためなされたものであって、レーザー光などの参照
光出力を人間がいちいち調整しなくても、データの取得
ができる断面計測装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、次のように構成される。請求項１の発明
は、計測対象物に参照光を照射する参照光照射手段と、
計測対象物をその参照光照射部分を含めて撮像する撮像
手段と、当該撮像手段の撮像信号から計測対象物の参照
光像データを取得するデータ取得手段と、前記参照光像
データの取得できない部分がある場合に、取得できない
部分の範囲を記憶し、前記参照光照射手段の光出力を上
昇させて、前記記憶された範囲のデータを前記データ取
得手段によって再取得するデータ再取得手段とを備え、
取得したそれぞれの光像データを合成して計測対象物の
断面を計測することを特徴とする断面計測装置である。
の本発明は、次のように構成される。請求項１の発明
は、計測対象物に参照光を照射する参照光照射手段と、
計測対象物をその参照光照射部分を含めて撮像する撮像
手段と、当該撮像手段の撮像信号から計測対象物の参照
光像データを取得するデータ取得手段と、前記参照光像
データの取得できない部分がある場合に、取得できない
部分の範囲を記憶し、前記参照光照射手段の光出力を上
昇させて、前記記憶された範囲のデータを前記データ取
得手段によって再取得するデータ再取得手段とを備え、
取得したそれぞれの光像データを合成して計測対象物の
断面を計測することを特徴とする断面計測装置である。
【０００８】請求項２の発明は、計測対象物に一定の細
い幅で参照光を照射するものであり、スリット状のレー
ザー光を照射するものあるいはポイントレーザー光を走
査しながら照射するものであることを特徴とする請求項
１に記載の断面計測装置である。
い幅で参照光を照射するものであり、スリット状のレー
ザー光を照射するものあるいはポイントレーザー光を走
査しながら照射するものであることを特徴とする請求項
１に記載の断面計測装置である。
【０００９】請求項３の発明は、データ取得手段は、参
照光像データを点列化するものであることを特徴とする
請求項１または２に記載の断面計測装置。
照光像データを点列化するものであることを特徴とする
請求項１または２に記載の断面計測装置。
【００１０】請求項４の発明は、データ再取得手段は、
参照光出力をΔＰ上昇させてその出力上昇によりデータ
が取得できない部分がある場合は、さらに当該取得でき
ない部分の範囲を記憶すると共に、参照光出力をさらに
ΔＰ上昇させて該記憶範囲のデータを取得する手順を繰
り返し行うものであることを特徴とする請求項１ないし
３のうちのいずれか１に記載の断面計測装置である。
参照光出力をΔＰ上昇させてその出力上昇によりデータ
が取得できない部分がある場合は、さらに当該取得でき
ない部分の範囲を記憶すると共に、参照光出力をさらに
ΔＰ上昇させて該記憶範囲のデータを取得する手順を繰
り返し行うものであることを特徴とする請求項１ないし
３のうちのいずれか１に記載の断面計測装置である。
【００１１】請求項５の発明は、データ再取得手段は、
参照光照射手段の出力が最大出力になるまで繰り返し、
最大出力でもデータが取得できない場合はその部分はデ
ータの取得はしないことを特徴とする請求項４に記載の
断面計測装置である。
参照光照射手段の出力が最大出力になるまで繰り返し、
最大出力でもデータが取得できない場合はその部分はデ
ータの取得はしないことを特徴とする請求項４に記載の
断面計測装置である。
【００１２】
【発明の効果】請求項１の発明によれば、光像データの
取得できない部分がある場合に、取得できない部分の範
囲を記憶し、前記参照光照射手段の参照光出力を上昇さ
せて、データ取得手段により前記記憶された範囲のデー
タを取得するので、参照光の出力を自動的に調節でき、
データの切れや抜けを生じることがない。
取得できない部分がある場合に、取得できない部分の範
囲を記憶し、前記参照光照射手段の参照光出力を上昇さ
せて、データ取得手段により前記記憶された範囲のデー
タを取得するので、参照光の出力を自動的に調節でき、
データの切れや抜けを生じることがない。
【００１３】請求項２の発明によれば、請求項１の効果
に加えて、参照光照射手段を、計測対象物に一定の細い
幅で参照光を照射するので、断面計測が正確になる。ま
た、スリット状のレーザー光、あるいはポイントレーザ
ー光を走査しながら照射するので、レーザー光の平行性
の良さから断面計測が正確になる。
に加えて、参照光照射手段を、計測対象物に一定の細い
幅で参照光を照射するので、断面計測が正確になる。ま
た、スリット状のレーザー光、あるいはポイントレーザ
ー光を走査しながら照射するので、レーザー光の平行性
の良さから断面計測が正確になる。
【００１４】請求項３の発明によれば、請求項１または
２の効果に加えて、データ取得手段は、参照光像データ
を点列化するので、データ数を必要数とすることができ
メモリの容量が適切になる。
２の効果に加えて、データ取得手段は、参照光像データ
を点列化するので、データ数を必要数とすることができ
メモリの容量が適切になる。
【００１５】請求項４の発明によれば、請求項１の効果
に加えて、データ再取得手段は、参照光出力をΔＰ上昇
させてその出力上昇によりデータが取得できない部分が
ある場合は、さらに当該取得できない部分の範囲を記憶
すると共に、参照光出力をΔＰ上昇させて該記憶範囲の
データを取得する手順を繰り返し行うものであるので、
データの取得を完全に近くできる。
に加えて、データ再取得手段は、参照光出力をΔＰ上昇
させてその出力上昇によりデータが取得できない部分が
ある場合は、さらに当該取得できない部分の範囲を記憶
すると共に、参照光出力をΔＰ上昇させて該記憶範囲の
データを取得する手順を繰り返し行うものであるので、
データの取得を完全に近くできる。
【００１６】請求項５の発明によれば、請求項４の効果
に加えて、データ再取得手段は、参照光照射手段の出力
が最大出力になるまで繰り返し、最大出力でもデータが
取得できない場合はその部分はデータの取得はしないの
で、計測装置に能力範囲内で精度の良い測定ができる。
に加えて、データ再取得手段は、参照光照射手段の出力
が最大出力になるまで繰り返し、最大出力でもデータが
取得できない場合はその部分はデータの取得はしないの
で、計測装置に能力範囲内で精度の良い測定ができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態を詳細に説明する。この実施形態は、レーザー光
出力を自動的に調整して断面を計測する自動断面計測装
置に関するものであり、組み立て製造ラインのワークを
計測対象物としてその断面形状を計測するものである。
施形態を詳細に説明する。この実施形態は、レーザー光
出力を自動的に調整して断面を計測する自動断面計測装
置に関するものであり、組み立て製造ラインのワークを
計測対象物としてその断面形状を計測するものである。
【００１８】図１（ａ）は自動断面計測装置の概略図、
図２はそのブロック図である。
図２はそのブロック図である。
【００１９】図１（ａ）および図２に示すように、この
自動断面計測装置は、ワーク（計測対象物）１０にレー
ザー光１２を照射するレーザー光源１４と、ワーク１０
をそのレーザー光照射部分を含めて撮像するＣＣＤカメ
ラ１６と、該カメラ１６の撮像出力信号からワーク１０
のレーザー光像データを取得するデータ取得部１８と、
前記光像データの取得できない部分がある場合に、取得
できない部分の範囲を記憶し、前記レーザー光源１４の
光出力を上昇させて、データ取得部１８により前記記憶
された範囲のデータを取得するデータ再取得部２０とを
備え、取得したそれぞれのレーザー光像データを合成し
てワーク１０の断面を計測する。
自動断面計測装置は、ワーク（計測対象物）１０にレー
ザー光１２を照射するレーザー光源１４と、ワーク１０
をそのレーザー光照射部分を含めて撮像するＣＣＤカメ
ラ１６と、該カメラ１６の撮像出力信号からワーク１０
のレーザー光像データを取得するデータ取得部１８と、
前記光像データの取得できない部分がある場合に、取得
できない部分の範囲を記憶し、前記レーザー光源１４の
光出力を上昇させて、データ取得部１８により前記記憶
された範囲のデータを取得するデータ再取得部２０とを
備え、取得したそれぞれのレーザー光像データを合成し
てワーク１０の断面を計測する。
【００２０】前記レーザー光源１４は、ワーク１０に一
定の細い幅にレーザー光を照射するものであり、スリッ
ト状のレーザー光を照射するものあるいはポイントレー
ザー光を走査しながら照射するものである。
定の細い幅にレーザー光を照射するものであり、スリッ
ト状のレーザー光を照射するものあるいはポイントレー
ザー光を走査しながら照射するものである。
【００２１】図２に示すように、ＣＣＤ撮像カメラ１６
のレーザー光像信号（アナログ出力信号）はアナログ／
デジタル（Ａ／Ｄ）変換部２２でデジタル信号に変換さ
れ、このデジタル光像データは画像メモリ２４に記憶さ
れる。データ取得部１８は、前記記憶された光像データ
を点列化するものである。測定結果出力部２６は、前記
データ取得部１８からの点列化された光像データを入力
する。
のレーザー光像信号（アナログ出力信号）はアナログ／
デジタル（Ａ／Ｄ）変換部２２でデジタル信号に変換さ
れ、このデジタル光像データは画像メモリ２４に記憶さ
れる。データ取得部１８は、前記記憶された光像データ
を点列化するものである。測定結果出力部２６は、前記
データ取得部１８からの点列化された光像データを入力
する。
【００２２】データ取得部１８で取得したレーザー光像
データが、図１（ｂ）に示すように、切れ目のない連続
したものであれば、そのまま計測光像データを出力する
が、切れ目のあるものの場合は、データ再取得部２０で
データの取得を行う。なお、図１（ｂ）や後述する図４
〜図８のグラフでＸは操作方向位置、Ｙはデータの大き
さを示す。
データが、図１（ｂ）に示すように、切れ目のない連続
したものであれば、そのまま計測光像データを出力する
が、切れ目のあるものの場合は、データ再取得部２０で
データの取得を行う。なお、図１（ｂ）や後述する図４
〜図８のグラフでＸは操作方向位置、Ｙはデータの大き
さを示す。
【００２３】すなわち、データ再取得部２０は、前記光
像データの取得できない部分があるのを判定し、かつ、
取得できない部分（データ無し部）の範囲を記憶するレ
ーザー出力調整判定部２０ａと、レーザー光源のレーザ
ー光出力をΔＰ上昇させるレーザー出力コントロール部
２０ｂとを有する。データ再取得部２０は、前記の出力
上昇によりデータが取得できない部分がある場合は、さ
らに当該取得できない部分の範囲を記憶すると共に、参
照レーザー光出力をΔＰ（レーザー光源最大出力Ｐｍａ
ｘよりも小さい値）上昇させて該記憶範囲のデータを取
得する手順を繰り返し行うものである。
像データの取得できない部分があるのを判定し、かつ、
取得できない部分（データ無し部）の範囲を記憶するレ
ーザー出力調整判定部２０ａと、レーザー光源のレーザ
ー光出力をΔＰ上昇させるレーザー出力コントロール部
２０ｂとを有する。データ再取得部２０は、前記の出力
上昇によりデータが取得できない部分がある場合は、さ
らに当該取得できない部分の範囲を記憶すると共に、参
照レーザー光出力をΔＰ（レーザー光源最大出力Ｐｍａ
ｘよりも小さい値）上昇させて該記憶範囲のデータを取
得する手順を繰り返し行うものである。
【００２４】また、データ再取得部２０は、レーザー光
源１４の出力が最大出力Ｐｍａｘになるまで繰り返し、
最大出力でもデータが取得できない場合はその部分はデ
ータの取得はしない。なお、前記データ取得部１８およ
びデータ再取得部２０は、コントローラ３０内に設けら
れている。
源１４の出力が最大出力Ｐｍａｘになるまで繰り返し、
最大出力でもデータが取得できない場合はその部分はデ
ータの取得はしない。なお、前記データ取得部１８およ
びデータ再取得部２０は、コントローラ３０内に設けら
れている。
【００２５】図３は、実施形態の自動断面計測装置の処
理手順を示す。図３に示すように、まず、レーザー光源
１４のレーザー光１２出力の初期設定Ｐをする（Ｓ
１）。そして、レーザー光をワーク１０に照射して、Ｃ
ＣＤ撮像カメラ１６で光像データを取得し（Ｓ２）、光
源データを点列化して該ワーク１０の断面計測をする
（Ｓ３）。
理手順を示す。図３に示すように、まず、レーザー光源
１４のレーザー光１２出力の初期設定Ｐをする（Ｓ
１）。そして、レーザー光をワーク１０に照射して、Ｃ
ＣＤ撮像カメラ１６で光像データを取得し（Ｓ２）、光
源データを点列化して該ワーク１０の断面計測をする
（Ｓ３）。
【００２６】次いで、計測が初回か否かを判定し（Ｓ
４）、初回であれば（Ｓ４：Ｙｅｓ）ステップＳ７にジ
ャンプする。ステップＳ７では取得された光像データが
点列無し部（画像データＹが取得できない：Ｙ＝０）が
あるか否かを判定する。判定の結果、点列無し部がなけ
れば（Ｓ７：Ｎｏ）、例えば画像データは図４に示すも
ののように、正常に全体が連続しているものの場合は計
測を完了する。
４）、初回であれば（Ｓ４：Ｙｅｓ）ステップＳ７にジ
ャンプする。ステップＳ７では取得された光像データが
点列無し部（画像データＹが取得できない：Ｙ＝０）が
あるか否かを判定する。判定の結果、点列無し部がなけ
れば（Ｓ７：Ｎｏ）、例えば画像データは図４に示すも
ののように、正常に全体が連続しているものの場合は計
測を完了する。
【００２７】一方、Ｓ７のステップで歯抜けとなり、点
列無し部があるならば（Ｓ７：Ｙｅｓ）、レーザー光出
力が最大か否かを判定する（Ｓ８）。レーザー出力が最
大でないならば（Ｓ８：Ｎｏ）、点列無し部の範囲Ｘ
１，Ｘ２，…を登録する。
列無し部があるならば（Ｓ７：Ｙｅｓ）、レーザー光出
力が最大か否かを判定する（Ｓ８）。レーザー出力が最
大でないならば（Ｓ８：Ｎｏ）、点列無し部の範囲Ｘ
１，Ｘ２，…を登録する。
【００２８】例えば図５に示すように、ワークの表面状
態（汚れ、材質等）により初期設定のレーザー出力では
反射光像が不十分で光像データを取得できない部分つま
り点列無し部がある場合は（Ｙ＝０）、その点列無し部
の範囲（Ｘ１〜Ｘ２，Ｘ３〜Ｘ４：Ｙ＝０）を登録す
る。
態（汚れ、材質等）により初期設定のレーザー出力では
反射光像が不十分で光像データを取得できない部分つま
り点列無し部がある場合は（Ｙ＝０）、その点列無し部
の範囲（Ｘ１〜Ｘ２，Ｘ３〜Ｘ４：Ｙ＝０）を登録す
る。
【００２９】レーザー出力ＰをΔＰだけ増加して（Ｐ＝
Ｐ＋ΔＰ）（Ｓ１０）、ステップ２に戻り、断面計測を
行い（Ｓ２〜Ｓ５）、初回に取得できなかった範囲（Ｘ
１〜Ｘ２，Ｘ３〜Ｘ４）のみを点列化する。例えば図６
に示すように、レーザー出力を上げた場合は正常に取得
できていた部分は断面線は太くなってしまうが、図７に
示すように、初回時に抜けた範囲のみ抽出してデータ取
得する。
Ｐ＋ΔＰ）（Ｓ１０）、ステップ２に戻り、断面計測を
行い（Ｓ２〜Ｓ５）、初回に取得できなかった範囲（Ｘ
１〜Ｘ２，Ｘ３〜Ｘ４）のみを点列化する。例えば図６
に示すように、レーザー出力を上げた場合は正常に取得
できていた部分は断面線は太くなってしまうが、図７に
示すように、初回時に抜けた範囲のみ抽出してデータ取
得する。
【００３０】これで該範囲が点列化できたならば（Ｓ
５：Ｙｅｓ）、そのデータを初回データと該範囲のみの
点列化データを入れ替える（Ｓ６）。これにより、例え
ば図８に示すように、点列無し部がなくなれば（Ｓ７：
Ｎｏ）計測を終了する。
５：Ｙｅｓ）、そのデータを初回データと該範囲のみの
点列化データを入れ替える（Ｓ６）。これにより、例え
ば図８に示すように、点列無し部がなくなれば（Ｓ７：
Ｎｏ）計測を終了する。
【００３１】一方、レーザー出力ＰのΔＰの増加だけで
は、点列無し部があればさらにその点列無し部の範囲を
登録し（Ｓ９）、レーザー出力ＰをさらにΔＰ増大して
（Ｓ１０）データの取得を行う（Ｓ２〜Ｓ７）。
は、点列無し部があればさらにその点列無し部の範囲を
登録し（Ｓ９）、レーザー出力ＰをさらにΔＰ増大して
（Ｓ１０）データの取得を行う（Ｓ２〜Ｓ７）。
【００３２】以上のデータ取得をレーザー光源１４の最
大出力Ｐｍａｘまで繰り返す。最大出力Ｐｍａｘでもデ
ータ取得できない部分があれば、その部分には形状が無
い所とする。
大出力Ｐｍａｘまで繰り返す。最大出力Ｐｍａｘでもデ
ータ取得できない部分があれば、その部分には形状が無
い所とする。
【００３３】実施形態によれば、光像データの取得でき
ない部分がある場合に、取得できない部分の範囲を記憶
し、前記参照光照射手段の参照光出力を上昇させて、記
憶された範囲のデータを取得する。したがって、データ
が取れない部分のみレーザー光出力を上げてデータを取
得するので、どの部位も最適なレーザー光出力でデータ
取得できる。したがって、参照光の出力を自動的に調節
でき、データの切れや抜けを生じることがない。
ない部分がある場合に、取得できない部分の範囲を記憶
し、前記参照光照射手段の参照光出力を上昇させて、記
憶された範囲のデータを取得する。したがって、データ
が取れない部分のみレーザー光出力を上げてデータを取
得するので、どの部位も最適なレーザー光出力でデータ
取得できる。したがって、参照光の出力を自動的に調節
でき、データの切れや抜けを生じることがない。
【００３４】なお、単にレーザー光出力を上げて全体を
データ取得すると、状態が良好な所はレーザー光が太く
なって精度が落ちるが、上記実施形態によれば、必要な
所だけ出力を上げるので計測精度が落ちることが無い。
データ取得すると、状態が良好な所はレーザー光が太く
なって精度が落ちるが、上記実施形態によれば、必要な
所だけ出力を上げるので計測精度が落ちることが無い。
【００３５】また、計測対象物に一定の細い幅でスリッ
トレーザー光を照射するので、断面計測が正確になる。
また、データ取得部１８は、参照光像データを点列化す
るので、データ数を必要数とすることができメモリの容
量が適切になる。
トレーザー光を照射するので、断面計測が正確になる。
また、データ取得部１８は、参照光像データを点列化す
るので、データ数を必要数とすることができメモリの容
量が適切になる。
【００３６】また、データ再取得部２０は、参照光出力
をΔＰ上昇させてその出力上昇によりデータが取得でき
ない部分がある場合は、さらに当該取得できない部分の
範囲を記憶すると共に、参照光出力をΔＰ上昇させて該
記憶範囲のデータを取得する手順を繰り返し行うもので
あるので、データの取得を完全に近くできる。
をΔＰ上昇させてその出力上昇によりデータが取得でき
ない部分がある場合は、さらに当該取得できない部分の
範囲を記憶すると共に、参照光出力をΔＰ上昇させて該
記憶範囲のデータを取得する手順を繰り返し行うもので
あるので、データの取得を完全に近くできる。
【００３７】また。データ再取得部２０は、レーザー光
光源１４の出力が最大出力になるまで繰り返し、最大出
力でもデータが取得できない場合はその部分はデータの
取得はしないので、計測装置に能力範囲内で精度の良い
測定ができる。
光源１４の出力が最大出力になるまで繰り返し、最大出
力でもデータが取得できない場合はその部分はデータの
取得はしないので、計測装置に能力範囲内で精度の良い
測定ができる。
【図１】 本発明の実施形態に係るレーザー自動断面計
測装置の説明図であり、（ａ）は概略図、（ｂ）は計測
例図である。
測装置の説明図であり、（ａ）は概略図、（ｂ）は計測
例図である。
【図２】 自動断面計測装置のブロック図である。
【図３】 自動断面計測装置の制御フローチャートであ
る。
る。
【図４】 自動断面計測装置の計測データ説明図であ
る。
る。
【図５】 自動断面計測装置の計測データ説明図であ
る。
る。
【図６】 自動断面計測装置の計測データ説明図であ
る。
る。
【図７】 自動断面計測装置の計測データ説明図であ
る。
る。
【図８】 自動断面計測装置の計測データ説明図であ
る。
る。
１０…ワーク、 １２…レーザー光、 １４…レーザー光源、 １６…ＣＣＤ撮像カメラ、 １８…データ取得部、 ２０…データ再取得部、 ２０ａ…判定部、 ２０ｂ…レーザー出力コントロール部。
Claims (5)
- 【請求項１】 計測対象物に参照光を照射する参照光照
射手段と、 計測対象物をその参照光照射部分を含めて撮像する撮像
手段と、 当該撮像手段の撮像信号から計測対象物の参照光像デー
タを取得するデータ取得手段と、 前記参照光像データの取得できない部分がある場合に、
取得できない部分の範囲を記憶し、前記参照光照射手段
の光出力を上昇させて、前記記憶された範囲のデータを
前記データ取得手段によって再取得するデータ再取得手
段とを備え、 取得したそれぞれの参照光像データを合成して計測対象
物の断面を計測することを特徴とする自動断面計測装
置。 - 【請求項２】 前記参照光照射手段は、計測対象物に一
定の細い幅で参照光を照射するものであり、スリット状
のレーザー光を照射するものあるいはポイントレーザー
光を走査しながら照射するものであることを特徴とする
請求項１に記載の自動断面計測装置。 - 【請求項３】 前記データ取得手段は、参照光像データ
を点列化するものであることを特徴とする請求項１また
は２に記載の自動断面計測装置。 - 【請求項４】 前記データ再取得手段は、参照光出力を
ΔＰ上昇させてその出力上昇によりデータが取得できな
い部分がある場合は、さらに当該取得できない部分の範
囲を記憶すると共に、参照光出力をさらにΔＰ上昇させ
て該記憶範囲のデータを取得する手順を繰り返し行うも
のであることを特徴とする請求項１ないし３のうちのい
ずれか１に記載の自動断面計測装置。 - 【請求項５】 前記データ再取得手段は、参照光照射手
段の出力が最大出力になるまで繰り返し、最大出力でも
データが取得できない場合はその部分はデータの取得は
しないことを特徴とする請求項４に記載の自動断面計測
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09989497A JP3900586B2 (ja) | 1997-04-17 | 1997-04-17 | 自動断面計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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-
1997
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| JP2005315821A (ja) * | 2003-04-28 | 2005-11-10 | Steinbichler Optotechnik Gmbh | 対象物の輪郭測定及び又は変形測定、特に干渉測定のための方法及び装置 |
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