JPH10282659A - Photosensitive resin composition for wiring board, adhesive for electroless plating and printed circuit board - Google Patents

Photosensitive resin composition for wiring board, adhesive for electroless plating and printed circuit board

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JPH10282659A
JPH10282659A JP8940897A JP8940897A JPH10282659A JP H10282659 A JPH10282659 A JP H10282659A JP 8940897 A JP8940897 A JP 8940897A JP 8940897 A JP8940897 A JP 8940897A JP H10282659 A JPH10282659 A JP H10282659A
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JP
Japan
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epoxy resin
photosensitive
wiring board
resin
electroless plating
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Application number
JP8940897A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshitaka Ono
嘉隆 小野
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Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH10282659A publication Critical patent/JPH10282659A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To expose and cure a composition without acrylating an epoxy resin and to maintain characteristics of an epoxy resin by constituting a resin compsn. of a thermosetting epoxy resin and a photosensitive monomer. SOLUTION: This photosensitive resin compsn. for a wiring board is composed of at least a thermosetting epoxy resin and a photosensitive monomer. The photosensitive resin compsn. for a wiring board is suitable as a plating resist or solder resist. The photosensitive monomer is preferably acryl monomer having plural acrylic groups, and the thermosetting epoxy resin is preferably at least one kind of cresol novolac epoxy resin and alicyclic epoxy resin produced by conversion and modification of naphthol. When the photosensitive resin compsn. for a wiring board is irradiated with light, the photosensitive monomer in the irradiated part is cured by the light to form a mesh structure to fix the thermosetting epoxy resin. Therefore, the thermosetting epoxy resin in the irradiated part does not dissolve in a developer in the developing process after exposure.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、配線板用感光性樹
脂組成物、無電解めっき用接着剤およびプリント配線板
に関し、特に、エポキシ樹脂本来の特性を劣化させるこ
となく、露光硬化が確実に実施し得る感光性樹脂組成物
についての提案である。
The present invention relates to a photosensitive resin composition for a wiring board, an adhesive for electroless plating, and a printed wiring board, and more particularly to a method for ensuring that exposure curing is achieved without deteriorating the inherent properties of an epoxy resin. This is a proposal for a photosensitive resin composition that can be implemented.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子機器は、電子工業の進歩に伴
い小型化あるいは高速化が進んでいる。このため、プリ
ント基板やLSIを実装する配線板に対してもファイン
パターンによる高密度化および高い信頼性が求められて
いる。
2. Description of the Related Art In recent years, electronic equipment has been reduced in size or increased in speed with the progress of the electronic industry. For this reason, printed circuit boards and wiring boards on which LSIs are mounted are also required to have higher densities and higher reliability using fine patterns.

【0003】この種の要求に対応するプリント配線板を
製造する従来方法の1つとして、アディティブ法があ
る。このアディティブ法は、無電解めっき用接着剤を基
板表面に塗布して接着剤層を形成し、この無電解めっき
用接着剤層の表面を粗化した後、無電解めっきを施して
導体を形成する方法である。
[0003] One of the conventional methods for manufacturing a printed wiring board that meets this kind of demand is an additive method. In the additive method, an adhesive for electroless plating is applied to the surface of a substrate to form an adhesive layer, and after the surface of the adhesive layer for electroless plating is roughened, a conductor is formed by electroless plating. How to

【0004】この方法は、導体回路を無電解めっきによ
って形成するので、エッチングによりパターン形成を行
うエッチドフォイル方法(サブトラクティブ法)より
も、高密度でパターン精度の高い配線を容易かつ低コス
トで作製し得るという利点がある。しかも、この方法
は、導体回路を粗化された接着剤層に強固に付着させる
ことにより、両者間に優れた接合性が確保されるので、
導体回路が接着剤層から剥離しにくいという特徴があ
る。
In this method, since a conductor circuit is formed by electroless plating, a high-density wiring with high pattern accuracy can be formed easily and at low cost, compared with an etched foil method (subtractive method) in which a pattern is formed by etching. There is an advantage that it can be manufactured. Moreover, in this method, since the conductor circuit is firmly adhered to the roughened adhesive layer, excellent bonding between the two is ensured.
There is a feature that the conductor circuit is difficult to peel off from the adhesive layer.

【0005】このようなアディティブ法に基づく従来の
プリント配線板としては、無電解めっき用接着剤やめっ
きレジストに関する次のような提案がある。例えば、特
開昭61−276875号、特開平2−188992号、USP 50553
21号公報などでは、耐熱性樹脂微粉末を感光性樹脂マト
リックス中に分散してなる感光性の無電解めっき用接着
剤を用いたプリント配線板が提案されている。この技術
によれば、より高密度でパターン精度の高い配線におい
てもピール強度に優れるプリント配線板を得ることがで
きる。
As a conventional printed wiring board based on such an additive method, there are the following proposals regarding an adhesive for electroless plating and a plating resist. For example, JP-A-61-276875, JP-A-2-188992, US Pat.
In Japanese Patent Application Publication No. 21 (1999) and the like, there is proposed a printed wiring board using a photosensitive adhesive for electroless plating in which a heat-resistant resin fine powder is dispersed in a photosensitive resin matrix. According to this technique, it is possible to obtain a printed wiring board having excellent peel strength even in a wiring having higher density and higher pattern accuracy.

【0006】また、特開平6−317904号公報では、めっ
きレジストとして、クレゾールノボラック型エポキシ樹
脂のアクリレートとイミダゾール硬化剤からなるレジス
ト組成物を用いた配線板が提案されている。この技術に
よれば、ファインパターンにおいても耐熱性や耐アルカ
リ性等の信頼性に優れるプリント配線板を得ることがで
きる。
Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 6-317904 proposes a wiring board using a resist composition comprising a cresol novolak type epoxy resin acrylate and an imidazole hardener as a plating resist. According to this technique, it is possible to obtain a printed wiring board having excellent reliability such as heat resistance and alkali resistance even in a fine pattern.

【0007】このように、配線板の無電解めっき用接着
剤やめっきレジストなどの樹脂層には、コストや耐熱性
の観点から、エポキシ樹脂をアクリル化した感光性樹脂
が用いられている。特に、このエポキシ樹脂には、伸び
率の改善に有効なことから、脂環式エポキシ樹脂やナフ
トール変成したクレゾールノボラック型のエポキシ樹脂
が用いられている。
As described above, a photosensitive resin obtained by acrylizing an epoxy resin is used for the resin layer such as the adhesive for electroless plating and the plating resist of the wiring board from the viewpoint of cost and heat resistance. In particular, an alicyclic epoxy resin or a naphthol-modified cresol novolak type epoxy resin is used as the epoxy resin because it is effective in improving the elongation.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
のエポキシ樹脂は、着色されているので、アクリル化し
ても光感受性が低かったり光硬化反応を起こさない、と
いう問題があった。また、これらのエポキシ樹脂は、ア
クリル化することによってエポキシ樹脂本来の特性が劣
化するので、ヒートサイクル時にクラックが発生する、
という問題があった。さらに、これらエポキシ樹脂は、
アクリル化する際に使用するメタクリル酸などの酸が樹
脂中に残存していると、高温、多湿条件下で銅のマイグ
レーションを引き起こし、導体回路間をショートさせ
る、といった問題があった。
However, since these epoxy resins are colored, there has been a problem that even if they are acrylated, they have low photosensitivity and do not cause a photocuring reaction. In addition, since these epoxy resins are acrylated, the inherent properties of the epoxy resin deteriorate, so cracks occur during heat cycles.
There was a problem. In addition, these epoxy resins
If an acid such as methacrylic acid used for acrylation remains in the resin, copper migration occurs under high-temperature and high-humidity conditions, causing a problem of short-circuiting between conductor circuits.

【0009】本発明は、従来技術が抱える上述した問題
を解消するための技術を提案する。すなわち、本発明の
主たる目的は、エポキシ樹脂をアクリル化することなく
露光硬化でき、しかもエポキシ樹脂本来の特性を維持し
得る配線板用感光性樹脂組成物を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、上記配線板用感光性樹脂組
成物を適用した無電解めっき用接着剤を提供することに
ある。本発明のさらに他の目的は、より高密度でパター
ン精度の高い配線においても、信頼性に優れるプリント
配線板を提供することにある。
The present invention proposes a technique for solving the above-mentioned problems of the prior art. That is, a main object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition for a wiring board that can be cured by exposure without acrylizing an epoxy resin and that can maintain the inherent properties of the epoxy resin.
Another object of the present invention is to provide an adhesive for electroless plating to which the photosensitive resin composition for a wiring board is applied. Still another object of the present invention is to provide a printed wiring board which is excellent in reliability even in wiring with higher density and higher pattern accuracy.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】発明者は、上記目的の実
現に向け鋭意研究した。その結果、アクリル化していな
い熱硬化性エポキシ樹脂を、感光性モノマーの光硬化物
によって固定した後に加熱硬化すれば、上述した各種問
題が解消できることを見出した。
Means for Solving the Problems The inventor of the present invention has intensively studied to realize the above object. As a result, they have found that the above-described various problems can be solved by fixing a non-acrylic thermosetting epoxy resin with a photocurable material of a photosensitive monomer and then heating and curing the same.

【0011】こうした知見の下に開発した本発明の配線
板用感光性樹脂組成物は、以下に示す構成を有すること
に特徴がある。 (1) 本発明の配線板用感光性樹脂組成物は、少なくとも
熱硬化性エポキシ樹脂と感光性モノマーとからなること
を特徴とする。なお、この配線板用感光性樹脂組成物
は、めっきレジストまたはソルダーレジストとして好適
に用いられる。
The photosensitive resin composition for a wiring board of the present invention developed on the basis of such knowledge is characterized by having the following constitution. (1) The photosensitive resin composition for a wiring board of the present invention is characterized by comprising at least a thermosetting epoxy resin and a photosensitive monomer. The photosensitive resin composition for a wiring board is suitably used as a plating resist or a solder resist.

【0012】この配線板用感光性樹脂組成物において、
感光性モノマーは多価アクリルモノマーであることが望
ましく、熱硬化性エポキシ樹脂は、ナフトール変成され
たクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、脂環式エポキ
シ樹脂およびビフェニル型エポキシ樹脂の中から選ばれ
るいずれか少なくとも1種であることが望ましい。
In this photosensitive resin composition for wiring boards,
The photosensitive monomer is desirably a polyacrylic monomer, and the thermosetting epoxy resin is at least one selected from a naphthol-modified cresol novolak type epoxy resin, an alicyclic epoxy resin and a biphenyl type epoxy resin. Desirably a seed.

【0013】この配線板用感光性樹脂組成物において、
熱硬化性エポキシ樹脂と感光性モノマーの配合割合は、
重量比で、熱硬化性エポキシ樹脂/感光性モノマー=40
/3〜40/15であることが望ましい。
In this photosensitive resin composition for wiring boards,
The mixing ratio of the thermosetting epoxy resin and the photosensitive monomer is
Thermosetting epoxy resin / photosensitive monomer = 40 by weight ratio
/ 3 to 40/15.

【0014】また、本発明の無電解めっき用接着剤は、
以下に示す構成を有することに特徴がある。 (2) 本発明の無電解めっき用接着剤は、酸あるいは酸化
剤に可溶性の硬化処理された耐熱性樹脂粒子が、硬化処
理によって酸あるいは酸化剤に難溶性となる未硬化の耐
熱性樹脂マトリックス中に分散してなる無電解めっき用
接着剤において、前記耐熱性樹脂マトリックスが少なく
とも熱硬化性エポキシ樹脂と感光性モノマーとからなる
感光性樹脂組成物であることを特徴とする。
Further, the adhesive for electroless plating of the present invention comprises:
It is characterized by having the following configuration. (2) The adhesive for electroless plating of the present invention is an uncured heat-resistant resin matrix in which cured heat-resistant resin particles soluble in an acid or an oxidizing agent become hardly soluble in an acid or an oxidizing agent by the curing treatment. In the adhesive for electroless plating dispersed therein, the heat-resistant resin matrix is a photosensitive resin composition comprising at least a thermosetting epoxy resin and a photosensitive monomer.

【0015】さらに、本発明のプリント配線板は、以下
に示す構成を有することに特徴がある。 (3) 本発明のプリント配線板は、基板上に設けた無電解
めっき用接着剤層およびめっきレジストを介して、所定
の導体パターンを形成し、実装表面にソルダーレジスト
を介してはんだ体を供給してなるプリント配線板におい
て、前記無電解めっき用接着剤層の樹脂マトリックス、
めっきレジストおよびソルダーレジストの中から選ばれ
るいずれか少なくとも1の樹脂層が、少なくとも熱硬化
性エポキシ樹脂と感光性モノマーとからなる感光性樹脂
組成物を硬化したものであることを特徴とする。
Further, the printed wiring board of the present invention is characterized in having the following configuration. (3) The printed wiring board of the present invention forms a predetermined conductor pattern via an electroless plating adhesive layer and a plating resist provided on a substrate, and supplies a solder body to a mounting surface via a solder resist. In the printed wiring board, a resin matrix of the adhesive layer for electroless plating,
At least one resin layer selected from a plating resist and a solder resist is obtained by curing a photosensitive resin composition comprising at least a thermosetting epoxy resin and a photosensitive monomer.

【0016】なお、このプリント配線板において、無電
解めっき用接着剤層は、酸あるいは酸化剤に可溶性の硬
化処理された耐熱性樹脂粒子が、硬化処理によって酸あ
るいは酸化剤に難溶性となる未硬化の耐熱性樹脂マトリ
ックス中に分散してなる無電解めっき用接着剤を硬化し
たものであることが望ましい。
In this printed wiring board, the adhesive layer for electroless plating is formed by a method in which cured heat-resistant resin particles soluble in an acid or an oxidizing agent become hardly soluble in an acid or an oxidizing agent by the curing treatment. It is desirable that the adhesive for electroless plating, which is dispersed in a cured heat-resistant resin matrix, be cured.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】本発明の配線板用感光性樹脂組成
物は、光の照射により、その光が照射された部分の感光
性モノマーが光硬化して網目構造を形成し、この網目構
造により熱硬化性のエポキシ樹脂が固定された状態とな
る。そのため、光が照射された部分の熱硬化性エポキシ
樹脂は、露光後の現像処理時に現像液に溶解しなくな
る。その結果、バイアホール形成用の開口、めっきレジ
スト、ソルダーレジストの開口部を精度良く形成するこ
とができる。さらに、現像処理後に熱硬化性エポキシ樹
脂を加熱硬化(ポストベーク)することにより、耐薬品
性(耐アルカリ性、耐酸化剤性など)や耐熱性などのエ
ポキシ樹脂本来の特性を維持することができる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The photosensitive resin composition for a wiring board of the present invention forms a network structure by irradiating light to cure the photosensitive monomer in a portion irradiated with the light. As a result, the thermosetting epoxy resin is fixed. Therefore, the thermosetting epoxy resin in the portion irradiated with the light does not dissolve in the developing solution during the developing process after the exposure. As a result, the opening for forming the via hole, the opening for the plating resist, and the opening for the solder resist can be accurately formed. Further, by heating and curing (post-baking) the thermosetting epoxy resin after the development processing, it is possible to maintain the original properties of the epoxy resin such as chemical resistance (alkali resistance, oxidizing agent resistance, etc.) and heat resistance. .

【0018】このように、本発明の配線板用感光性樹脂
組成物によれば、エポキシ樹脂は、アクリル基によって
架橋硬化することなく、感光性モノマーの光硬化体によ
り固定化されて現像液に不溶性となるので、ナフトール
変成したクレゾールノボラック型エポキシ樹脂や脂環式
エポキシ樹脂などの着色エポキシ樹脂でも確実に露光硬
化した状態にすることが可能になる。しかも、このエポ
キシ樹脂は、ポストベークにより熱硬化されるので、耐
薬品性(耐アルカリ性や耐酸化剤性など)や耐熱性など
が劣化することもない。
As described above, according to the photosensitive resin composition for a wiring board of the present invention, the epoxy resin is fixed by the photo-cured body of the photosensitive monomer without being cross-linked and cured by the acrylic group, and is fixed to the developer. Since it becomes insoluble, even a colored epoxy resin such as a naphthol-modified cresol novolak type epoxy resin or an alicyclic epoxy resin can be reliably exposed and cured. Moreover, since the epoxy resin is thermally cured by post-baking, the chemical resistance (such as alkali resistance and oxidizing agent resistance) and the heat resistance do not deteriorate.

【0019】本発明にかかる配線板用感光性樹脂組成物
において、熱硬化性エポキシ樹脂としては、脂環式エポ
キシ樹脂、ナフトール変成したクレゾールノボラック型
エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂が好適に用い
られる。その理由は、これらの樹脂は、破壊靱性値を改
善できるからである。
In the photosensitive resin composition for a wiring board according to the present invention, as the thermosetting epoxy resin, an alicyclic epoxy resin, a naphthol-modified cresol novolak type epoxy resin, and a biphenyl type epoxy resin are preferably used. The reason is that these resins can improve the fracture toughness value.

【0020】脂環式エポキシ樹脂としては、アラルダイ
ト CY179 (チバガイギー社製)、EPICLON HP−7200
(大日本インキ株式会社製)がよい。これらのうちEPIC
LON HP−7200の構造式を(化1)に示す。
As the alicyclic epoxy resin, Araldite CY179 (manufactured by Ciba Geigy), EPICLON HP-7200
(Manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd.) is preferred. EPIC of these
The structural formula of LON HP-7200 is shown in (Formula 1).

【化1】 Embedded image

【0021】ナフトール変成したクレゾールノボラック
型エポキシ樹脂は、(化2)に示す構造式を有する。
The naphthol-modified cresol novolak epoxy resin has the structural formula shown in (Chemical Formula 2).

【化2】 Embedded image

【0022】ビフェニル型エポキシ樹脂は、(化3)に
示す構造式を有する。
The biphenyl type epoxy resin has the structural formula shown in (Chem. 3).

【化3】 Embedded image

【0023】感光性モノマーとしては、多価アクリルモ
ノマーが好適に用いられる。この多価アクリルモノマー
は、一つの分子中にアクリル基が複数存在しており、架
橋させやすいからである。この多価アクリルモノマーと
しては、日本化薬製のDPE−6A(化4)、共栄社化
学製のR−604 (化5)、東亜合成製のアロニクス325
(化6)、東亜合成製のアロニクス315 (化7)がよ
い。
As the photosensitive monomer, a polyvalent acrylic monomer is preferably used. This is because this polyvalent acrylic monomer has a plurality of acrylic groups in one molecule and is easily crosslinked. Examples of the polyvalent acrylic monomer include Nippon Kayaku's DPE-6A (Chemical Formula 4), Kyoeisha Chemical's R-604 (Chemical Formula 5), and Toagosei Aronix 325.
(Chem. 6), Alonix 315 (Chem. 7) manufactured by Toagosei Co., Ltd. is preferable.

【0024】[0024]

【化4】 Embedded image

【0025】[0025]

【化5】 Embedded image

【0026】[0026]

【化6】 Embedded image

【0027】[0027]

【化7】 Embedded image

【0028】本発明の配線板用感光性樹脂組成物におい
て、熱硬化性エポキシ樹脂と感光性モノマーの配合比
は、重量比で、熱硬化性エポキシ樹脂/感光性モノマー
=40/3〜40/15であることが望ましい。この理由は、
感光性モノマーが少ない場合は充分な露光硬化ができ
ず、逆に多い場合は硬化が進みすぎてフォトマスクの裏
側まで硬化反応が進行し、めっきレジスト、バイアホー
ル形成用の開口部およびソルダーレジストの開口部が精
度良く形成できないからである。
In the photosensitive resin composition for a wiring board of the present invention, the mixing ratio of the thermosetting epoxy resin and the photosensitive monomer is, by weight, thermosetting epoxy resin / photosensitive monomer = 40/3 to 40 / Preferably it is 15. The reason for this is
When the amount of the photosensitive monomer is small, sufficient exposure and curing cannot be performed, and when the amount is large, the curing proceeds too much and the curing reaction proceeds to the back side of the photomask, and the plating resist, the opening for forming a via hole, and the solder resist are hardened. This is because the opening cannot be formed with high accuracy.

【0029】熱硬化性エポキシ樹脂と感光性モノマーの
混和溶媒は、メタノールやエタノールなどのアルコー
ル、ジエチレングリコールジメチルエーテル(DMD
G)やトリエチレングリコールジメチルエーテル(DM
TG)などのグルコールエーテル系溶媒、N−メチルピ
ロリドン(NMP)がよい。特に、グリコールエーテル
系溶媒やNMPは、ほとんど全ての熱硬化性樹脂や熱可
塑性樹脂を溶解させることができる点で望ましい。
The mixed solvent of the thermosetting epoxy resin and the photosensitive monomer is alcohol such as methanol or ethanol, diethylene glycol dimethyl ether (DMD
G) or triethylene glycol dimethyl ether (DM
Preferred are glycol ether solvents such as TG) and N-methylpyrrolidone (NMP). In particular, glycol ether solvents and NMP are desirable because they can dissolve almost all thermosetting resins and thermoplastic resins.

【0030】なお、本発明において、熱硬化性エポキシ
樹脂および感光性モノマーに加えて、ポリエーテルスル
フォンやポリスルフォン、ポリフェニルスルフォン、ポ
リフェニレンエーテルなどの熱可塑性樹脂を添加して複
合樹脂としてもよい。
In the present invention, a composite resin may be formed by adding a thermoplastic resin such as polyethersulfone, polysulfone, polyphenylsulfone, or polyphenylene ether in addition to the thermosetting epoxy resin and the photosensitive monomer.

【0031】以上説明したような本発明にかかる配線板
用感光性樹脂組成物は、めっきレジスト、ソルダーレジ
ストあるいは無電解めっき用接着剤の樹脂マトリックス
として好適に使用される。
The above-described photosensitive resin composition for a wiring board according to the present invention is suitably used as a resin matrix of a plating resist, a solder resist or an adhesive for electroless plating.

【0032】これらの用途のうち、特に無電解めっき用
接着剤は、「酸あるいは酸化剤に可溶性の硬化処理され
た耐熱性樹脂粒子が、硬化処理によって酸あるいは酸化
剤に難溶性となる未硬化の耐熱性樹脂マトリックス中に
分散してなる無電解めっき用接着剤における前記耐熱性
樹脂マトリックス。」として、少なくとも熱硬化性エポ
キシ樹脂と感光性モノマーとからなる配線板用感光性樹
脂組成物が適用される点に、この発明の他の特徴があ
る。
Among these uses, in particular, the adhesive for electroless plating refers to an uncured heat-resistant resin particle which is soluble in an acid or an oxidizing agent and becomes hardly soluble in an acid or an oxidizing agent by the curing treatment. The photosensitive resin composition for a wiring board comprising at least a thermosetting epoxy resin and a photosensitive monomer is applied as the above-mentioned heat-resistant resin matrix in an adhesive for electroless plating dispersed in a heat-resistant resin matrix. " This is another feature of the present invention.

【0033】このような無電解めっき用接着剤は、樹脂
マトリックスとして、前述した少なくとも熱硬化性エポ
キシ樹脂と感光性モノマーとからなる感光性樹脂組成物
を使用しているので、そのエポキシ樹脂は、アクリル基
の架橋により硬化されるのではなく、感光性モノマーの
光硬化物により固定化されて硬化された状態となる。そ
のため、ナフトール変成したクレゾールノボラック型エ
ポキシ樹脂や脂環式エポキシ樹脂などのバルキーなエポ
キシ樹脂でも確実に露光硬化した状態にすることが可能
になる。しかも、そのエポキシ樹脂は、ポストベークで
加熱硬化されるため、耐薬品性(耐アルカリ性、耐酸化
剤性)や耐熱性等を低下させることもない。なお、この
無電解めっき用接着剤は、水混和性有機溶媒と耐熱性樹
脂、耐熱性樹脂粒子を混合し、3本ローラーやホモディ
スパーなどで混練することにより調製される。
Such an adhesive for electroless plating uses, as a resin matrix, a photosensitive resin composition comprising at least the above-mentioned thermosetting epoxy resin and a photosensitive monomer. Instead of being cured by the cross-linking of the acrylic group, it is fixed and cured by the photocured product of the photosensitive monomer. Therefore, even a bulky epoxy resin such as a naphthol-modified cresol novolac epoxy resin or an alicyclic epoxy resin can be reliably exposed and cured. Moreover, since the epoxy resin is cured by heating in post-baking, the epoxy resin does not deteriorate in chemical resistance (alkali resistance, oxidizing agent resistance), heat resistance and the like. The adhesive for electroless plating is prepared by mixing a water-miscible organic solvent with a heat-resistant resin and heat-resistant resin particles, and kneading the mixture with a three-roller or a homodisper.

【0034】このような接着剤を構成する耐熱性樹脂粒
子は、平均粒径が10μm以下の耐熱性樹脂粉末、平
均粒径が2μm以下の耐熱性樹脂粉末を凝集させた凝集
粒子、平均粒径が2μm〜10μmの耐熱性樹脂粉末と
平均粒径が2μm以下の耐熱性樹脂粉末との混合物、
平均粒径が2μm〜10μmの耐熱性樹脂粉末の表面に平
均粒径が2μm以下の耐熱性樹脂粉末または無機粉末の
いずれか少なくとも1種を付着させてなる疑似粒子、の
なかから選ばれることが望ましい。これらは、より複雑
なアンカーを形成できるからである。この耐熱性樹脂粒
子としては、エポキシ樹脂やアミノ樹脂(メラミン樹
脂、尿素樹脂、グアナミン樹脂)などが使用できる。
The heat-resistant resin particles constituting such an adhesive include heat-resistant resin powder having an average particle size of 10 μm or less, aggregated particles obtained by aggregating heat-resistant resin powder having an average particle size of 2 μm or less, and average particle size. A mixture of a heat-resistant resin powder having a particle size of 2 μm to 10 μm and a heat-resistant resin powder having an average particle size of 2 μm or less
Pseudo particles obtained by adhering at least one of a heat-resistant resin powder having an average particle diameter of 2 μm or less and an inorganic powder to the surface of a heat-resistant resin powder having an average particle diameter of 2 μm to 10 μm. desirable. This is because they can form more complex anchors. As the heat-resistant resin particles, epoxy resin, amino resin (melamine resin, urea resin, guanamine resin) and the like can be used.

【0035】次に、本発明にかかる感光性樹脂組成物を
使用したプリント配線板の一製造方法について説明す
る。 (1)まず、コア基板の表面に内層銅パターンを形成した
配線基板を作製する。このコア基板への銅パターンの形
成は、銅張積層板をエッチングして行うか、あるいは、
ガラスエポキシ基板やポリイミド基板、セラミック基
板、金属基板などの基板に無電解めっき用接着剤層を形
成し、この接着剤層表面を粗化して粗化面とし、ここに
無電解めっきを施して行う方法がある。さらに必要に応
じて、上記配線基板に無電解めっき用接着剤層を形成
し、この層にバイアホール用開口を設け、その層表面を
粗化し、ここに無電解めっきを施して銅パターンとバイ
アホールを形成する工程を繰り返して多層化した配線基
板とすることができる。なお、コア基板には、スルーホ
ールを形成し、このスルーホールを介して表面と裏面の
配線層を電気的に接続することができる。
Next, a method for manufacturing a printed wiring board using the photosensitive resin composition according to the present invention will be described. (1) First, a wiring board having an inner copper pattern formed on the surface of a core board is manufactured. The copper pattern is formed on the core substrate by etching the copper clad laminate, or
An adhesive layer for electroless plating is formed on a substrate such as a glass epoxy substrate, a polyimide substrate, a ceramic substrate, or a metal substrate, and the surface of the adhesive layer is roughened to a roughened surface, which is then subjected to electroless plating. There is a way. Further, if necessary, an adhesive layer for electroless plating is formed on the wiring substrate, an opening for a via hole is formed in this layer, the surface of the layer is roughened, and electroless plating is performed thereon to form a copper pattern and a via. By repeating the step of forming holes, a multilayer wiring board can be obtained. Note that a through hole is formed in the core substrate, and the wiring layer on the front surface and the wiring layer on the back surface can be electrically connected through the through hole.

【0036】(2)次に、前記 (1)で作製した配線基板の
上に、層間樹脂絶縁層を形成する。特にこの発明では、
層間樹脂絶縁剤として前述した無電解めっき用接着剤を
用いることが望ましい。
(2) Next, an interlayer resin insulating layer is formed on the wiring board prepared in (1). In particular, in the present invention,
It is desirable to use the above-described adhesive for electroless plating as an interlayer resin insulating agent.

【0037】(3)前記(2) で形成した無電解めっき用接
着剤層を乾燥した後、必要に応じてバイアホール形成用
開口を設ける。このとき、感光性樹脂の場合は、露光,
現像してから熱硬化することにより、また、熱硬化性樹
脂の場合は、熱硬化したのちレーザー加工することによ
り、前記接着剤層にバイアホール形成用の開口部を設け
る。
(3) After the adhesive layer for electroless plating formed in (2) is dried, openings for forming via holes are provided as necessary. At this time, in the case of photosensitive resin, exposure,
An opening for forming a via hole is provided in the adhesive layer by performing thermosetting after development, or in the case of a thermosetting resin, by performing thermosetting and then laser processing.

【0038】(4)次に、硬化した前記接着剤層の表面に
存在する耐熱性樹脂粒子を酸あるいは酸化剤によって溶
解除去し、接着剤層表面を粗化処理する。ここで、上記
酸としては、リン酸、塩酸、硫酸、あるいは蟻酸や酢酸
などの有機酸があるが、特に有機酸を用いることが望ま
しい。粗化処理した場合に、バイアホールから露出する
金属導体層を腐食させにくいからである。一方、上記酸
化剤としては、クロム酸、過マンガン酸塩(過マンガン
酸カリウムなど)を用いることが望ましい。
(4) Next, the heat-resistant resin particles present on the surface of the cured adhesive layer are dissolved and removed with an acid or an oxidizing agent to roughen the surface of the adhesive layer. Here, examples of the acid include phosphoric acid, hydrochloric acid, sulfuric acid, and organic acids such as formic acid and acetic acid, and it is particularly preferable to use an organic acid. This is because when the roughening treatment is performed, the metal conductor layer exposed from the via hole is hardly corroded. On the other hand, it is desirable to use chromic acid and permanganate (such as potassium permanganate) as the oxidizing agent.

【0039】(5)次に、接着剤層表面を粗化した配線基
板に触媒核を付与する。触媒核の付与には、貴金属イオ
ンや貴金属コロイドなどを用いることが望ましく、一般
的には、塩化パラジウムやパラジウムコロイドを使用す
る。なお、触媒核を固定するために加熱処理を行うこと
が望ましい。このような触媒核としてはパラジウムがよ
い。
(5) Next, a catalyst nucleus is applied to the wiring board whose surface of the adhesive layer is roughened. It is desirable to use a noble metal ion or a noble metal colloid for providing the catalyst nucleus, and generally, palladium chloride or a palladium colloid is used. Note that it is desirable to perform a heat treatment to fix the catalyst core. Palladium is preferred as such a catalyst core.

【0040】(6)次に、触媒核を付与した配線基板にめ
っきレジストを形成する。めっきレジスト組成物として
は、特に、この発明にかかる感光性樹脂組成物を使用す
ることが望ましい。
(6) Next, a plating resist is formed on the wiring substrate to which the catalyst nucleus has been applied. It is particularly desirable to use the photosensitive resin composition according to the present invention as the plating resist composition.

【0041】(7)次に、めっきレジスト非形成部に無電
解めっきを施し、パッドを含む導体回路、ならびにバイ
アホールを形成してプリント配線板を製造する。ここ
で、上記無電解めっきとしては、銅めっきを用いること
が望ましい。
(7) Next, electroless plating is applied to the portion where the plating resist is not formed to form a conductor circuit including a pad and a via hole to manufacture a printed wiring board. Here, it is desirable to use copper plating as the electroless plating.

【0042】(8)なお、ここで導体回路の表面に導電性
の粗化層を形成してもよい。粗化層の形成方法として
は、エッチング処理、研磨処理、酸化還元処理、めっき
処理がある。これらの処理のうち、酸化還元処理による
粗化層は、酸化浴(黒化浴)としてNaOH(10g/l)、
NaClO2(40g/l)、Na3PO4(6g/l)、還元浴とし
てNaOH(10g/l)、NaBH4 (5g/l)を用いて形成
される。また、銅−ニッケル−リン合金層による粗化層
を形成する場合は、この合金層は無電解めっきにより析
出させる。この合金の無電解めっきとしては、硫酸銅1
〜40g/l、硫酸ニッケル 0.1〜6.0 g/l、クエン酸
10〜20g/l、次亜リン酸塩10〜100 g/l、ホウ酸10
〜40g/l、界面活性剤0.01〜10g/lからなる液組成
のめっき浴を用いることが望ましい。
(8) Here, a roughened conductive layer may be formed on the surface of the conductive circuit. Examples of the method of forming the roughened layer include an etching process, a polishing process, an oxidation-reduction process, and a plating process. Among these treatments, the roughened layer formed by the oxidation-reduction treatment was composed of NaOH (10 g / l) as an oxidation bath (blackening bath),
It is formed using NaClO 2 (40 g / l), Na 3 PO 4 (6 g / l), and NaOH (10 g / l) and NaBH 4 (5 g / l) as a reducing bath. When forming a roughened layer by a copper-nickel-phosphorus alloy layer, this alloy layer is deposited by electroless plating. As the electroless plating of this alloy, copper sulfate 1
Up to 40 g / l, nickel sulfate 0.1-6.0 g / l, citric acid
10-20 g / l, hypophosphite 10-100 g / l, boric acid 10
It is desirable to use a plating bath having a liquid composition of 4040 g / l and a surfactant of 0.01〜10 g / l.

【0043】(9)次に、少なくとも前記(7) までの処理
を終えたプリント配線板の両面に、ソルダーレジスト組
成物を塗布する。このソルダーレジスト組成物として
は、特に、この発明にかかる感光性樹脂組成物を使用す
ることが望ましい。
(9) Next, a solder resist composition is applied to at least both surfaces of the printed wiring board which has been subjected to the processing up to (7). It is particularly desirable to use the photosensitive resin composition according to the present invention as the solder resist composition.

【0044】(10)次に、ソルダーレジスト組成物の塗膜
を乾燥し、この塗膜に、開口部を描画したフォトマスク
フィルムを載置して露光、現像処理することにより、導
体回路のうちパッド部分を露出させた開口部を形成す
る。ここでは、前記開口部の開口径は、パッドの径より
も大きくすることができ、パッドを完全に露出させても
よい。
(10) Next, the coating film of the solder resist composition is dried, and a photomask film having an opening formed thereon is placed on the coating film and exposed and developed, thereby forming a conductive circuit. An opening exposing the pad portion is formed. Here, the opening diameter of the opening may be larger than the pad diameter, and the pad may be completely exposed.

【0045】(11)次に、前記開口部から露出した前記パ
ッド部上に「ニッケル−金」の金属層を形成する。 (12)そして、前記開口部から露出した前記パッド部上に
はんだ体を供給する。はんだ体の供給方法としては、は
んだ転写法や印刷法を用いることができる。ここで、は
んだ転写法は、プリプレグにはんだ箔を貼合し、このは
んだ箔を開口部分に相当する箇所のみを残してエッチン
グすることによりはんだパターンを形成してはんだキャ
リアフィルムとし、このはんだキャリアフィルムを、基
板のソルダーレジスト開口部分にフラックスを塗布した
後、はんだパターンがパッドに接触するように積層し、
これを加熱して転写する方法である。一方、印刷法は、
パッドに相当する箇所に貫通孔を設けたメタルマスクを
基板に載置し、はんだペーストを印刷して加熱処理する
方法である。
(11) Next, a “nickel-gold” metal layer is formed on the pad portion exposed from the opening. (12) Then, a solder body is supplied onto the pad portion exposed from the opening. As a method of supplying the solder body, a solder transfer method or a printing method can be used. Here, in the solder transfer method, a solder foil is bonded to a prepreg, and the solder foil is etched leaving only a portion corresponding to an opening portion to form a solder pattern to form a solder carrier film. After applying flux to the solder resist opening of the board, laminate so that the solder pattern contacts the pad,
This is a method of transferring by heating. On the other hand, the printing method
This is a method in which a metal mask having a through hole at a position corresponding to a pad is placed on a substrate, and a solder paste is printed and heat treatment is performed.

【0046】[0046]

【実施例】【Example】

〔無電解めっき用接着剤A1の調製〕DMDG(ジエチ
レングリコールジメチルエーテル)に溶解した脂環式エ
ポキシ樹脂(大日本インキ株式会社製、商品名:EPICLO
N HP−7200)35重量部、イミダゾール硬化剤(四国化成
製、商品名: 2E4MZ−CN)2重量部、感光性モノマーで
ある多価アクリルモノマー(共栄社化学製、商品名:DP
E6A )6.0 重量部、多価アクリルモノマー(日本化薬
製、商品名:R604 )1.5 重量部、光開始剤(チバガイ
ギー製、商品名:イルガキュアー907 )2重量部、光増
感剤(日本化薬製、商品名:DETX−S)0.2 重量部、消
泡剤(サンノプコ社製、商品名:S−65)0.5重量部を
混合し、これらの混合物に対してエポキシ樹脂粒子(三
洋化成製、商品名:ポリマーポール)の平均粒径 3.0μ
mのものを10.3重量部、平均粒径0.5 μmのものを3.09
重量部を混合した後、さらにNMP30重量部を添加しな
がら混合し、モディスパー攪拌機で粘度7Pa・sに調整
して無電解めっき用接着剤を得た。
[Preparation of Adhesive A1 for Electroless Plating] Alicyclic epoxy resin dissolved in DMDG (diethylene glycol dimethyl ether) (EPICLO, manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd.)
N HP-7200) 35 parts by weight, imidazole curing agent (manufactured by Shikoku Chemicals, trade name: 2E4MZ-CN) 2 parts by weight, polyvalent acrylic monomer that is a photosensitive monomer (manufactured by Kyoeisha Chemical, trade name: DP)
E6A) 6.0 parts by weight, 1.5 parts by weight of polyacrylic monomer (manufactured by Nippon Kayaku, trade name: R604), 2 parts by weight of photoinitiator (manufactured by Ciba Geigy, trade name: Irgacure 907), photosensitizer (Nippon Kagaku) 0.2 parts by weight of a drug, trade name: DETX-S) and 0.5 parts by weight of an antifoaming agent (manufactured by San Nopco, trade name: S-65) were mixed, and epoxy resin particles (manufactured by Sanyo Chemical Co., Ltd., Product name: Polymer Pole) average particle size 3.0μ
m with 10.3 parts by weight, average particle size 0.5 μm with 3.09
After mixing, the mixture was further mixed while adding 30 parts by weight of NMP, and the viscosity was adjusted to 7 Pa · s with a modiper stirrer to obtain an adhesive for electroless plating.

【0047】〔無電解めっき用接着剤A2の調製〕DM
DG(ジエチレングリコールジメチルエーテル)に溶解
したビフェニル型エポキシ樹脂(三菱油化製)を35重量
部、イミダゾール硬化剤(四国化成製、商品名: 2E4MZ
−CN)2重量部、感光性モノマーである多価アクリルモ
ノマー(共栄社化学製、商品名:DPE6A )6.0 重量部、
多価アクリルモノマー(日本化薬製、商品名:R604 )
1.5 重量部、光開始剤(チバガイギー製、商品名:イル
ガキュアー907 )2重量部、光増感剤(日本化薬製、商
品名:DETX−S)0.2 重量部、消泡剤(サンノプコ社
製、商品名:S−65) 0.5重量部を混合し、これらの混
合物に対してエポキシ樹脂粒子(三洋化成製、商品名:
ポリマーポール)の平均粒径 3.0μmのものを10.3重量
部、平均粒径0.5 μmのものを3.09重量部を混合した
後、さらにNMP30重量部を添加しながら混合し、モデ
ィスパー攪拌機で粘度7Pa・sに調整して無電解めっき
用接着剤を得た。
[Preparation of Adhesive A2 for Electroless Plating] DM
35 parts by weight of a biphenyl type epoxy resin (manufactured by Mitsubishi Yuka) dissolved in DG (diethylene glycol dimethyl ether), an imidazole curing agent (manufactured by Shikoku Chemicals, trade name: 2E4MZ)
-CN) 2 parts by weight, 6.0 parts by weight of a polyacrylic monomer as a photosensitive monomer (manufactured by Kyoeisha Chemical, trade name: DPE6A)
Polyacrylic monomer (Nippon Kayaku, trade name: R604)
1.5 parts by weight, 2 parts by weight of photoinitiator (manufactured by Ciba-Geigy, trade name: Irgacure 907), 0.2 parts by weight of photosensitizer (manufactured by Nippon Kayaku, trade name: DETX-S), defoamer (manufactured by San Nopco) , Trade name: S-65) 0.5 parts by weight were mixed, and epoxy resin particles (manufactured by Sanyo Chemical Co., trade name:
After mixing 10.3 parts by weight of a polymer pole having an average particle size of 3.0 μm and 3.09 parts by weight of an average particle size of 0.5 μm, the mixture was further mixed while adding 30 parts by weight of NMP, and the viscosity was 7 Pa · s with a modiper stirrer. To obtain an adhesive for electroless plating.

【0048】〔めっきレジスト組成物Bの調製〕50%ナ
フトール変成クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(分
子量3000〜5000)を28重量部、メチルエチルケトンに溶
解させた20重量%のビスフェノールA型エポキシ樹脂
(油化シェル製、商品名:エピコート1001)12重量部、
イミダゾール硬化剤(四国化成製、商品名: 2E4MZ−C
N)1.6 重量部、感光性モノマーである多価アクリルモ
ノマー(日本化薬製、商品名:R604 )1.5 重量部、同
じく感光性モノマーである多価アクリルモノマー(共栄
社化学製、商品名:DPE6A )6.0 重量部を混合し、さら
にこれらの混合物を、レベリング剤(共栄社化学製、商
品名:ポリフロー No.75)0.36重量部と混合して攪拌
し、混合液Xを得た。一方で、光開始剤(チバガイギー
製、商品名:イルガキュアー907 )2重量部、光増感剤
(日本化薬、商品名:DETX−S)0.2 重量部を、40℃に
加熱した3重量部のジエチレングリコールジメチルエー
テル(DMDG)に溶解させて混合液Yを得た。そし
て、混合液Xと混合液Yを混合攪拌し、液状レジスト組
成物を得た。
[Preparation of Plating Resist Composition B] 28% by weight of a 50% naphthol-modified cresol novolak type epoxy resin (molecular weight: 3,000 to 5,000) and 20% by weight of a bisphenol A type epoxy resin (oiled shell) dissolved in methyl ethyl ketone Product name: Epicoat 1001) 12 parts by weight,
Imidazole curing agent (Shikoku Chemicals, trade name: 2E4MZ-C
N) 1.6 parts by weight, photosensitive monomer polyvalent acrylic monomer (Nippon Kayaku, trade name: R604) 1.5 parts by weight, photosensitive monomer polyvalent acrylic monomer (Kyoeisha Chemical, trade name: DPE6A) 6.0 parts by weight were mixed, and the mixture was further mixed with 0.36 parts by weight of a leveling agent (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., trade name: Polyflow No. 75), followed by stirring to obtain a mixed solution X. On the other hand, 2 parts by weight of a photoinitiator (manufactured by Ciba Geigy, trade name: Irgacure 907), 0.2 parts by weight of a photosensitizer (Nippon Kayaku, trade name: DETX-S), and 3 parts by weight heated to 40 ° C. Was dissolved in diethylene glycol dimethyl ether (DMDG) to obtain a mixed solution Y. Then, the mixed liquid X and the mixed liquid Y were mixed and stirred to obtain a liquid resist composition.

【0049】〔ソルダーレジスト組成物Cの調製〕50%
ナフトール変成クレゾールノボラック型エポキシ樹脂
(分子量3000〜5000)を28重量部、メチルエチルケトン
に溶解させた20重量%のビスフェノールA型エポキシ樹
脂(油化シェル製、商品名:エピコート1001)12重量
部、イミダゾール硬化剤(四国化成製、商品名: 2E4MZ
−CN)1.6 重量部、感光性モノマーである多価アクリル
モノマー(日本化薬製、商品名:R604 )1.5 重量部、
同じく感光性モノマーである多価アクリルモノマー(共
栄社化学製、商品名:DPE6A )6.0 重量部、光開始剤
(チバガイギー製、商品名:イルガキュアー907 )2重
量部、光増感剤(日本化薬、商品名:DETX−S)0.2 重
量部、消泡剤(サンノプコ社製:S−65)を混合して粘
度を25℃で 2.0Pa・sに調整したソルダーレジスト組成
物を得た。
[Preparation of Solder Resist Composition C] 50%
28 parts by weight of naphthol modified cresol novolak type epoxy resin (molecular weight 3000 to 5000), 12 parts by weight of 20% by weight bisphenol A type epoxy resin (manufactured by Yuka Shell, trade name: Epicoat 1001) dissolved in methyl ethyl ketone, imidazole cured (Shikoku Chemicals, trade name: 2E4MZ
-CN) 1.6 parts by weight, and 1.5 parts by weight of a polyacrylic monomer which is a photosensitive monomer (trade name: R604, manufactured by Nippon Kayaku)
6.0 parts by weight of a polyacrylic monomer (Kyoeisha Chemical, trade name: DPE6A), also a photosensitive monomer, 2 parts by weight of a photoinitiator (Ciba Geigy, trade name: Irgacure 907), photosensitizer (Nippon Kayaku) (Trade name: DETX-S) 0.2 part by weight and an antifoaming agent (manufactured by San Nopco: S-65) were mixed to obtain a solder resist composition having a viscosity adjusted to 2.0 Pa · s at 25 ° C.

【0050】なお、粘度測定は、B型粘度計(東京計
器、 DVL-B型)で 60rpmの場合はローターNo.4、6rpm
の場合はローターNo.3によった。
The viscosity was measured using a B-type viscometer (Tokyo Keiki, DVL-B type) at 60 rpm with a rotor No. 4 and 6 rpm.
In the case of rotor No.3.

【0051】〔プリント配線板の製造〕 (実施例1) (1) 基板の両面に18μmの銅箔がラミネートされてなる
銅張積層板を出発材料とし、その銅箔を常法に従いパタ
ーン状にエッチングすることにより、基板の両面に内層
銅パターンを形成した。 (2) 前記(1) の処理を終えた基板の両面に、A1の接着
剤をロールコータで塗布して乾燥させ接着剤層を形成し
た。 (3) この接着剤層を形成した基板の両面に、バイアホー
ルが描画されたフォトマスクフィルムを載置し、400 mJ
/cm2 の紫外線を照射して露光した。これをDMTG溶
液でスプレー現像処理し、当該基板を超高圧水銀灯にて
3000mJ/cm2 で露光してから、100 ℃で1時間、その後
150℃で5時間にて加熱処理することにより、フォトマ
スクフィルムに相当する寸法精度に優れた 100μmφの
開口(バイアホール形成用開口)を有する厚さ50μmの
層間樹脂絶縁層(接着剤層)を形成した。
[Manufacture of Printed Wiring Board] (Example 1) (1) A copper-clad laminate having 18 μm copper foil laminated on both sides of a substrate is used as a starting material, and the copper foil is formed into a pattern according to a conventional method. By etching, inner layer copper patterns were formed on both surfaces of the substrate. (2) The adhesive of A1 was applied to both surfaces of the substrate after the treatment of the above (1) with a roll coater and dried to form an adhesive layer. (3) Place a photomask film with via holes on both sides of the substrate on which the adhesive layer is formed, and apply 400 mJ
/ Cm 2 of ultraviolet light. This is spray-developed with a DMTG solution, and the substrate is treated with an ultra-high pressure mercury lamp.
Exposure at 3000mJ / cm 2 , 1 hour at 100 ° C, then
By performing heat treatment at 150 ° C. for 5 hours, a 50 μm thick interlayer resin insulating layer (adhesive layer) having a 100 μm φ opening (via hole forming opening) having excellent dimensional accuracy equivalent to a photomask film is obtained. Formed.

【0052】(4) 次に、バイアホール形成用開口を有す
る接着剤層を形成した基板を、クロム酸に2分間浸漬
し、接着剤層の表面に存在する樹脂マトリックス中のエ
ポキシ樹脂粒子を溶解除去することにより、当該接着剤
層の表面を粗面とし、その後、中和溶液(シプレイ社
製)に浸漬してから水洗いした。さらに、粗面化処理
(粗化深さ6μm)を行った基板の表面に、パラジウム
触媒(アトテック製)を付与することにより、接着剤層
の表面およびバイアホール用開口に触媒核を付けた。 (5) 前記(4) の処理を施した基板の両面に、Bの液状レ
ジスト組成物をロールコーターを用いて塗布し、60℃で
30分の乾燥を行い、厚さ30μmのレジスト層を形成し
た。次いで、このレジスト層上にパターンが描画された
フォトマスクフィルムを載置して、400 mJ/cm2 の紫外
線を照射して露光し、フォトマスクフィルムを取り除い
た後、DMTGで溶解現像処理し、さらに超高圧水銀灯
にて6000mJ/cm2 で露光してから、 100℃で1時間、そ
の後、 150℃で3時間の加熱処理を行うことにより、基
板上に導体回路パターン部の抜けたL/S=37/37μm
のめっき用永久レジストを形成した。
(4) Next, the substrate on which the adhesive layer having via hole forming openings is formed is immersed in chromic acid for 2 minutes to dissolve the epoxy resin particles in the resin matrix existing on the surface of the adhesive layer. By removing the adhesive layer, the surface of the adhesive layer was roughened. Thereafter, the adhesive layer was immersed in a neutralizing solution (manufactured by Shipley) and then washed with water. Further, a palladium catalyst (manufactured by Atotech) was applied to the surface of the substrate that had been subjected to the surface roughening treatment (roughening depth: 6 μm), whereby catalyst nuclei were attached to the surface of the adhesive layer and the openings for via holes. (5) The liquid resist composition of B is applied to both surfaces of the substrate subjected to the treatment of the above (4) using a roll coater,
Drying was performed for 30 minutes to form a resist layer having a thickness of 30 μm. Next, a photomask film on which a pattern is drawn is placed on the resist layer, exposed to ultraviolet light of 400 mJ / cm 2 and exposed, and after removing the photomask film, DMTG is dissolved and developed. After exposure at 6000 mJ / cm 2 with an ultra-high pressure mercury lamp, heat treatment was performed at 100 ° C for 1 hour, and then at 150 ° C for 3 hours. = 37 / 37μm
A permanent resist for plating was formed.

【0053】(6) 次に、永久レジストを形成した基板に
対し、予め、めっき前処理(具体的には触媒核の活性
化)を施し、その後、無電解銅めっき浴による無電解め
っきによって、レジスト非形成部に厚さ15μm程度の無
電解銅めっきを析出させて、アディティブ法による導体
層として必要な外層銅パターンおよびバイアホールを形
成した。
(6) Next, the substrate on which the permanent resist is formed is subjected to a pre-plating treatment (specifically, activation of the catalyst nucleus), and thereafter, by electroless plating using an electroless copper plating bath. Electroless copper plating having a thickness of about 15 μm was deposited on the non-resist-formed portion to form an outer copper pattern and a via hole required as a conductor layer by an additive method.

【0054】(7) このようにして得た配線基板の両面に
Cのソルダーレジスト組成物を20μmの厚さで塗布し
た。次いで、70℃で20分間、70℃で30分間の乾燥処理を
行った後、1000mJ/cm2 の紫外線で露光し、DMTG現像処
理した。そしてさらに、80℃で1時間、 100℃で1時
間、 120℃で1時間、 150℃で3時間の条件で加熱処理
し、パッド部分が開口した(開口径 200μm)ソルダー
レジスト層(厚み20μm)を形成した。 (8) このソルダーレジスト層を形成した基板を、塩化ニ
ッケル30g/l、次亜リン酸ナトリウム10g/l、クエ
ン酸ナトリウム10g/lからなるpH=5の無電解ニッ
ケルめっき液に20分間浸漬して、開口部に厚さ5μmの
ニッケルめっき層を形成した。さらに、その基板を、シ
アン化金カリウム2g/l、塩化アンモニウム75g/
l、クエン酸ナトリウム50g/l、次亜リン酸ナトリウ
ム10g/lからなる無電解金めっき液に93℃の条件で23
秒間浸漬して、ニッケルめっき層上に厚さ0.03μmの金
めっき層を形成した。 (9) そして、ソルダーレジスト層の開口部に、はんだペ
ーストを印刷して 200℃でリフローすることによりはん
だバンプを形成し、はんだバンプを有するプリント配線
板を製造した。
(7) The solder resist composition of C was applied to both sides of the wiring board thus obtained in a thickness of 20 μm. Next, after drying at 70 ° C. for 20 minutes and at 70 ° C. for 30 minutes, the substrate was exposed to ultraviolet rays of 1000 mJ / cm 2 and developed by DMTG. Further, a heat treatment was performed at 80 ° C. for 1 hour, at 100 ° C. for 1 hour, at 120 ° C. for 1 hour, and at 150 ° C. for 3 hours, and the pad portion was opened (opening diameter: 200 μm). Was formed. (8) The substrate on which the solder resist layer is formed is immersed in an electroless nickel plating solution having a pH of 5 consisting of 30 g / l of nickel chloride, 10 g / l of sodium hypophosphite, and 10 g / l of sodium citrate for 20 minutes. Then, a nickel plating layer having a thickness of 5 μm was formed in the opening. Further, the substrate was treated with potassium gold cyanide 2 g / l and ammonium chloride 75 g / l.
l, sodium citrate 50g / l, and sodium hypophosphite 10g / l in an electroless gold plating solution at 93 ° C.
By dipping for 2 seconds, a gold plating layer having a thickness of 0.03 μm was formed on the nickel plating layer. (9) Then, a solder paste was printed on the opening of the solder resist layer and reflowed at 200 ° C. to form a solder bump, thereby producing a printed wiring board having the solder bump.

【0055】(実施例2)無電解めっき用接着剤A1の
代わりに無電解めっき用接着剤A2を使用したこと以外
は、実施例1と同様にしてはんだバンプを有するプリン
ト配線板を製造した。
(Example 2) A printed wiring board having solder bumps was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the adhesive A2 for electroless plating was used instead of the adhesive A1 for electroless plating.

【0056】(比較例1)基本的には実施例1と同様で
あるが、DMDG(ジエチレングリコールジメチルエー
テル)に溶解した脂環式エポキシ樹脂(大日本インキ株
式会社製、商品名:EPICLON HP−7200)の25%アクリレ
ートを35重量部、イミダゾール硬化剤(四国化成製、商
品名:2E4MZ −CN)2重量部、感光性モノマーである多
価アクリルモノマー(共栄社化学製、商品名:DPE6A )
6.0 重量部、多価アクリルモノマー(日本化薬製、商品
名:R604 )1.5 重量部、光開始剤(チバガイギー製、
商品名:イルガキュアー907 )2重量部、光増感剤(日
本化薬製、商品名:DETX−S)0.2 重量部、消泡剤(サ
ンノプコ社製、商品名:S−65)0.5 重量部を混合し、
これらの混合物に対してエポキシ樹脂粒子(三洋化成
製、商品名:ポリマーポール)の平均粒径3.0 μmのも
のを10.3重量部、平均粒径0.5 μmのものを3.09重量部
を混合した後、さらにNMP30重量部を添加しながら混
合し、ホモディスパー攪拌機で粘度7Pa・sに調整して
得た無電解めっき用接着剤を用いた。この場合、上記無
電解めっき用接着剤は、露光しても硬化せず、現像によ
り溶解してしまい、配線板の製造は不可能であった。
Comparative Example 1 Basically the same as in Example 1, but an alicyclic epoxy resin dissolved in DMDG (diethylene glycol dimethyl ether) (trade name: EPICLON HP-7200, manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd.) 35% by weight of 25% acrylate, 2 parts by weight of an imidazole curing agent (manufactured by Shikoku Chemicals, trade name: 2E4MZ-CN), a polyvalent acrylic monomer which is a photosensitive monomer (manufactured by Kyoeisha Chemical, trade name: DPE6A)
6.0 parts by weight, polyhydric acrylic monomer (Nippon Kayaku, trade name: R604) 1.5 parts by weight, photoinitiator (Ciba Geigy,
Product name: Irgacure 907) 2 parts by weight, photosensitizer (manufactured by Nippon Kayaku, trade name: DETX-S) 0.2 part by weight, defoamer (manufactured by San Nopco, trade name: S-65) 0.5 part by weight Mix
After mixing 10.3 parts by weight of an epoxy resin particle (manufactured by Sanyo Chemical Industries, trade name: Polymer Pole) having an average particle diameter of 3.0 μm and 3.09 parts by weight of an epoxy resin particle having an average particle diameter of 0.5 μm, the mixture was further mixed. The mixture was mixed while adding 30 parts by weight of NMP, and an adhesive for electroless plating obtained by adjusting the viscosity to 7 Pa · s with a homodisper stirrer was used. In this case, the adhesive for electroless plating did not cure even when exposed to light and was dissolved by development, making it impossible to produce a wiring board.

【0057】(比較例2)基本的には実施例1と同様で
あるが、DMDG(ジエチレングリコールジメチルエー
テル)に溶解したクレゾールノボラック型エポキシ樹脂
(日本化薬製、分子量2500)の25%アクリル化物を35重
量部、ポリエーテルスルフォン(PES)12重量部、イ
ミダゾール硬化剤(四国化成製、商品名:2E4MZ −CN)
2重量部、感光性モノマーであるカプロラクトン変成ト
リス(アクロキシエチル)イソシアヌレート(東亜合成
製、商品名:アロニックスM325 )4重量部、光開始剤
としてのベンゾフェノン(関東化学製)2重量部、光増
感剤としてのミヒラーケトン(関東化学製)0.2 重量部
を混合し、これらの混合物に対してエポキシ樹脂粒子
(三洋化成製、商品名:ポリマーポール)の平均粒径3.
0 μmのものを10.3重量部、平均粒径0.5 μmのものを
3.09重量部、消泡剤(サンノプコ製、商品名:S−65)
0.8 重量部を混合した後、さらにNMP30重量部を添加
しながら混合して得た接着剤を用い、はんだバンプを有
するプリント配線板を製造した。
(Comparative Example 2) Basically the same as in Example 1, except that a 25% acrylated product of a cresol novolak type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., molecular weight 2500) dissolved in DMDG (diethylene glycol dimethyl ether) was used. Parts by weight, 12 parts by weight of polyethersulfone (PES), imidazole curing agent (Shikoku Chemicals, trade name: 2E4MZ-CN)
2 parts by weight, 4 parts by weight of caprolactone-modified tris (acroxyethyl) isocyanurate (trade name: Aronix M325) manufactured by Toagosei Co., Ltd., 2 parts by weight of benzophenone (Kanto Chemical) as a photoinitiator, light 0.2 part by weight of Michler's ketone (manufactured by Kanto Kagaku) as a sensitizer was mixed, and the resulting mixture was mixed with an epoxy resin particle (manufactured by Sanyo Chemical Co., trade name: polymer pole) having an average particle size of 3.
10.3 parts by weight of 0 μm and 0.5 μm average particle size
3.09 parts by weight, antifoaming agent (manufactured by San Nopco, trade name: S-65)
After mixing 0.8 parts by weight, an adhesive obtained by mixing while further adding 30 parts by weight of NMP was used to produce a printed wiring board having solder bumps.

【0058】このようにして製造した実施例1、2と比
較例2のプリント配線板について、温度135 ℃、湿度85
%、バイアス 3.3Vの条件で48時間放置し、層間ショー
トの有無を測定した。また、−55℃〜125 ℃で1000回の
ヒートサイクル試験を行い、クラックの発生の有無につ
いて確認した。これらの結果を表1に示す。
The printed wiring boards of Examples 1 and 2 and Comparative Example 2 manufactured as described above were subjected to a temperature of 135 ° C. and a humidity of 85.
% And a bias of 3.3 V for 48 hours, and the presence or absence of interlayer short-circuit was measured. In addition, a heat cycle test was performed 1,000 times at -55 ° C to 125 ° C, and it was confirmed whether cracks occurred. Table 1 shows the results.

【0059】この表に示す結果から明らかなように、実
施例の配線板では、層間ショートおよびクラックは観察
されず、一方、比較例の配線板では、層間ショートおよ
びクラックが観察された。この原因は、比較例の無電解
めっき用接着剤は、エポキシ樹脂がアクリル化されてお
り、エポキシ樹脂本来の特性が低下していること、なら
びにアクリル化時に使用するメタクリル酸がエポキシ樹
脂中に残留し、銅のマイグレージョンが生じたものと考
えられる。
As is clear from the results shown in this table, no interlayer short-circuit or crack was observed in the wiring board of the example, while an interlayer short-circuit or crack was observed in the wiring board of the comparative example. The reason for this is that the adhesive for electroless plating of the comparative example is that the epoxy resin is acrylated, the original properties of the epoxy resin are reduced, and the methacrylic acid used at the time of acrylation remains in the epoxy resin. It is considered that copper migration occurred.

【0060】[0060]

【表1】 [Table 1]

【0061】[0061]

【発明の効果】以上説明のように、本発明の配線板用感
光性樹脂組成物は、エポキシ樹脂をアクリル化すること
なく露光硬化できるので、エポキシ樹脂本来の特性を維
持し得る。従って、この発明の配線板用感光性樹脂組成
物を用いたプリント配線板は、メタクリル酸等の残留も
なく、銅のマイグレーションによる層間ショートを引き
起こすこともない。
As described above, the photosensitive resin composition for a wiring board of the present invention can be cured by exposure without acrylizing the epoxy resin, so that the original properties of the epoxy resin can be maintained. Therefore, the printed wiring board using the photosensitive resin composition for a wiring board of the present invention has no residual methacrylic acid or the like and does not cause interlayer short-circuit due to migration of copper.

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも熱硬化性エポキシ樹脂と感光
性モノマーとからなる配線板用感光性樹脂組成物。
1. A photosensitive resin composition for a wiring board comprising at least a thermosetting epoxy resin and a photosensitive monomer.
【請求項2】 めっきレジストまたはソルダーレジスト
として用いられる請求項1に記載の配線板用感光性樹脂
組成物。
2. The photosensitive resin composition for a wiring board according to claim 1, which is used as a plating resist or a solder resist.
【請求項3】 感光性モノマーが多価アクリルモノマー
である請求項1に記載の配線板用感光性樹脂組成物。
3. The photosensitive resin composition for a wiring board according to claim 1, wherein the photosensitive monomer is a polyacrylic monomer.
【請求項4】 熱硬化性エポキシ樹脂が、ナフトール変
成されたクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、脂環式
エポキシ樹脂およびビフェニル型エポキシ樹脂の中から
選ばれるいずれか少なくとも1種である請求項1に記載
の配線板用感光性樹脂組成物。
4. The thermosetting epoxy resin according to claim 1, wherein the thermosetting epoxy resin is at least one selected from a naphthol-modified cresol novolak epoxy resin, an alicyclic epoxy resin, and a biphenyl epoxy resin. Photosensitive resin composition for wiring boards.
【請求項5】 熱硬化性エポキシ樹脂と感光性モノマー
の配合割合が、重量比で、熱硬化性エポキシ樹脂/感光
性モノマー=40/3〜40/15である請求項1に記載の配
線板用感光性樹脂組成物。
5. The wiring board according to claim 1, wherein the mixing ratio of the thermosetting epoxy resin and the photosensitive monomer is 40/3 to 40/15 by weight ratio of the thermosetting epoxy resin / photosensitive monomer. Photosensitive resin composition.
【請求項6】 酸あるいは酸化剤に可溶性の硬化処理さ
れた耐熱性樹脂粒子が、硬化処理によって酸あるいは酸
化剤に難溶性となる未硬化の耐熱性樹脂マトリックス中
に分散してなる無電解めっき用接着剤において、前記耐
熱性樹脂マトリックスが少なくとも熱硬化性エポキシ樹
脂と感光性モノマーとからなる感光性樹脂組成物である
ことを特徴とする無電解めっき用接着剤。
6. Electroless plating in which cured heat-resistant resin particles soluble in an acid or an oxidizing agent are dispersed in an uncured heat-resistant resin matrix which becomes hardly soluble in an acid or an oxidizing agent by the curing treatment. An adhesive for electroless plating, wherein the heat-resistant resin matrix is a photosensitive resin composition comprising at least a thermosetting epoxy resin and a photosensitive monomer.
【請求項7】 基板上に設けた無電解めっき用接着剤層
およびめっきレジストを介して、所定の導体パターンを
形成し、実装表面にソルダーレジストを介してはんだ体
を供給してなるプリント配線板において、 前記無電解めっき用接着剤層の樹脂マトリックス、めっ
きレジストおよびソルダーレジストの中から選ばれるい
ずれか少なくとも1の樹脂層が、少なくとも熱硬化性エ
ポキシ樹脂と感光性モノマーとからなる感光性樹脂組成
物を硬化したものであることを特徴とするプリント配線
板。
7. A printed wiring board formed by forming a predetermined conductor pattern via an electroless plating adhesive layer and a plating resist provided on a substrate and supplying a solder body to a mounting surface via a solder resist. In at least one resin layer selected from a resin matrix, a plating resist and a solder resist of the adhesive layer for electroless plating, a photosensitive resin composition comprising at least a thermosetting epoxy resin and a photosensitive monomer A printed wiring board obtained by curing an object.
【請求項8】 無電解めっき用接着剤層は、酸あるいは
酸化剤に可溶性の硬化処理された耐熱性樹脂粒子が、硬
化処理によって酸あるいは酸化剤に難溶性となる未硬化
の耐熱性樹脂マトリックス中に分散してなる無電解めっ
き用接着剤を硬化したものである請求項7に記載のプリ
ント配線板。
8. An uncured heat-resistant resin matrix in which a cured heat-resistant resin particle soluble in an acid or an oxidizing agent becomes hardly soluble in an acid or an oxidizing agent by the curing treatment. The printed wiring board according to claim 7, wherein the adhesive for electroless plating dispersed therein is cured.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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