JPH10282431A - 顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】大型ステージ、特殊ステージ、治具等の積載に
よる重量増減のバランスをとるバランスバネの交換を容
易に行う。 【解決手段】ステージ２または鏡筒を上下動させて焦準
駆動を行う顕微鏡本体１、ステージ２、焦準台３、バネ
ユニット４、案内５、ラック６、ピニオン７およびハン
ドル８からなる焦準機構の内部に、ステージ２または鏡
筒の重量バランスをとるためのバランスバネを備えた顕
微鏡において、このバランスバネを、焦準機構内部に着
脱自在に構設した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、焦準機構の内部
に、ステージまたは鏡筒の重量バランスをとるためのバ
ランスバネを備えた顕微鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】最近の半導体素子の製造においては、１
枚のウェハからチップＩＣ等を生産するために、大型ウ
ェハを用いて生産性の向上を図っている。また、今後も
ウェハのより大型化が進行することは確実であり、それ
に伴った顕微鏡ステージの大型化も必須である。さら
に、ステージを上下させるための焦準機構も、その重量
に耐え得るものが必要となってくる。

【０００３】従来、このような用途に使用可能な顕微鏡
として、特開平３−２４５１１３号公報の技術が開示さ
れている。この顕微鏡を図２５により説明する。図にお
いて、下面に滑動防止、振動吸収用のゴム脚２０１を複
数個付設したベース２０２上に他の鏡基構成部材と光学
的装置とを載置している。ベース２０２上には側面視Ｌ
字状のアーム２０３を設け、アーム２０３の頭部には中
間鏡筒２０５を介して双眼検鏡部２０６を設けるととも
に、光源からの光を観察に適した状態にして標本に送る
ためのランプハウス２０７を設けている。さらにアーム
２０３のステージ側には、対物レンズ２０８を取りつけ
たレボルバー２０９を設けている。

【０００４】一方、ベース２０２には焦準装置２０４を
設けるとともに、この焦準装置２０４により標本２１１
をを載置するステージ１２０を対物レンズ２０８との距
離を調整するために上下動させるようにしている。な
お、アーム２０３に取りつけられた対物レンズ２０８の
光軸位置ｍからアーム起立部内側面２０３ａ迄の長さＬ
1 を、ふところ長さといい、ベース２０２上面からレボ
ルバー２０９下面の対物レンズ２０８取りつけ位置まで
の長さＬ2 を、対物レンズ胴付高さという。この顕微鏡
では、アーム２０３と焦準装置２０４とはベース２０２
に対して着脱自在に構成してあり、アーム２０２につい
てはふところ長さＬ1 の異なるもの、およびまたは対物
レンズ胴付高さＬ2 の異なるものを使用したい場合、ま
たは特殊大型対物レンズや光学測定器を使用したい場合
等に別のアームに取り替え使用できるようにしてある。

【０００５】また、標本の大きさ、重量に合わせたステ
ージ２１０を使用したい場合は別の焦準装置２０４を使
用できるようにしてある。なお、焦準装置２０４の取り
替え使用の必要性は、耐荷重と剛性の異なるものを使用
したいという要望によるものであり、例えば標本２１１
を載置したステージ２１０の重量が直接的に焦準装置２
０４の上下駆動ギヤにかからないように、ステージ２１
０を押し上げる調整スプリング（バランスバネ）の力量
を変えたものを使用したいような場合である。これは標
本２１１とステージ２１０の重量からバランスバネの力
量を差し引いた値が、通常１〜４ｋｇであることが望ま
しいとされているからである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このような従来の構成
によれば、それぞれバランスバネの力量を変えた焦準装
置を用意し、ステージの大きさおよび重量に合わせ、最
適のものを選択使用することになっているが、実際に
は、ユーザ先での焦準装置の交換は、作業が大がかりと
なり、しかも交換により以前の焦準装置は無駄となる。
また、取り付け面とステージ面の互換性の保障も行わな
ければならないため、焦準装置および顕微鏡ベースのコ
ストや、その場での検査作業のコストが付加され、顕微
鏡自体が高価となるという問題があった。

【０００７】一方、最近、ユーザの使用目的に応じて写
真装置やビデオカメラなどのさまざまなユニットを組み
合わせるシステム実体顕微鏡が用いられるようになって
いるが、このようなシステム実体顕微鏡においても、例
えば検鏡のみのシンプルの軽い構成のシステムに合わせ
てバランスバネの力量を設定すると、上述のように写真
装置やビデオカメラなどが組み合わせられ、システムが
重くなると、バランスバネの力が不足し、焦準装置にか
かる負荷を十分に軽減できなくなり、逆に、システムの
組み合わせが重くなった時に合わせてバランスバネの力
を設定すると、シンプルな組み合わせのシステムの場合
に、バランスバネの力が強すぎて焦準装置が浮き上がっ
てしまい、かえって不安定な状態になってピント合わせ
が難しくなるという問題があった。

【０００８】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、大型ステージ、特殊ステージ、治具等の積載による
重量増減に応じてバランスバネの交換を容易に行うこと
を目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１記載の発明は、ステージまたは鏡筒を上下
動させて焦準駆動を行う焦準機構を備えた顕微鏡におい
て、前記焦準機構の直線移動方向に対して平行で、かつ
焦準機構の駆動部と固定部との間に着脱自在にコイルば
ねを配設している。

【００１０】請求項２記載の発明は、請求項１記載にお
いて、前記コイルばねを伸縮可能な保持部材により一体
化させたバネユニットで構成している。請求項３記載の
発明は、請求項１または２記載において、コイルばね
を、前記焦準機構の外部から着脱可能に配設している。

【００１１】請求項４記載の発明は、請求項１記載にお
いて、前記コイルバネによるばね力を前記焦準機構の外
部から調整するばね力調整手段を有している。この結
果、本発明によれば、コイルバネを焦準機構の駆動部と
固定部との間に着脱自在に構設したことにより、焦準機
構からのコイルバネの取り出し、および焦準機構への装
着が容易となる。

【００１２】また、コイルバネを伸縮可能な保持部材に
より一体化させたバネユニットで構成したことにより、
コイルバネの交換がさらに容易になり、狭い空間での着
脱が可能となる。

【００１３】コイルバネを保持部材により保持したこと
により、コイルバネの座屈を防ぎ、伸縮運動が円滑とな
る。コイルバネを焦準機構の外部から着脱可能にするこ
とで、焦準機構を分解することなく、コイルバネを容易
に交換できる。ばね力調整手段を設けることにより、コ
イルバネの力量を最適状態に簡単に調整できる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。 （第１の実施の形態）図１〜図２は発明の第１の実施の
形態を示し、図１はステージ上下動型の顕微鏡の側面部
分断面図、図２はバネユニットの縦断面図である。

【００１５】図１において、顕微鏡本体１には、案内５
を介して焦準台３が上下動自在に装着されており、この
駆動部としての焦準台３の上面には、ステージ２が着脱
自在に取着されている。焦準台３には、顕微鏡本体１に
対して上下動自在に駆動されるためのラック６が取着さ
れ、顕微鏡本体１側には、ラック６と噛合する位置にピ
ニオン７が配設されている。ピニオン７には、顕微鏡本
体１の外側の位置にハンドル８が取着されている。焦準
台３とステージ２とは、六角穴付ボルトで互いに締着さ
れるか、または、蟻によって側面から容易に着脱できる
構造となっている。さらに、焦準台３には、上下に伸縮
自在なバネユニット４が、ステージ２を取り外すことに
より着脱できるように配設され、その下端は顕微鏡本体
１に立設された焦準機構の固定部としてのボス１２に当
接し、ステージ２を上方に弾発力にて付勢している。な
お、顕微鏡本体１、ステージ２、焦準台３、バネユニッ
ト４、案内５、ラック６、ピニオン７およびハンドル８
により焦準機構を構成している。

【００１６】図２（ａ）に示すように、バネユニット４
は、筒状上枠９と筒状下枠１０との間に圧縮コイルバネ
１１を装備長Ｌ3 となるように挟持している。上枠９の
内径面にはメネジ９ａを、下枠１０の外径面にはオネジ
１０ａを螺刻しておき、内部に圧縮コイルバネ１１を挿
入してからメネジ９ａとオネジ１０ａとを互いに螺合さ
せて、ねじ込んで螺合を外すことにより、圧縮コイルバ
ネ１１の適正な装備力量と装備長Ｌ3 を確保するように
構成されている。また、バネユニット４の装備長Ｌ３
は、ステージ２を外した状態で上方より焦準台３の貫通
孔３ａ内で装填できるように顕微鏡本体１のふところ高
さＨ（図１参照）より小さく設定されている。なお、バ
ネユニット４は、図２（ｂ）（ｃ）に示すように、伸縮
量Ｌ4 を確保している。

【００１７】次に、このように構成したステージ上下動
型の顕微鏡の作用を説明する。この場合、ハンドル８を
回転させることにより、同軸上にあるピニオン７が回転
し、ピニオン７と噛合しているラック６を介して案内５
に沿って、焦準台３が上下動し、焦準駆動を行うことが
できる。このとき、ラック６およびピニオン７に加わる
ステ−ジ２および焦準台３の荷重を、圧縮コイルバネ１
１の弾発力で軽減している。ステージ２の交換により、
重量が変わった場合には、これに適合する力量の圧縮コ
イルバネ１１を装填したバネユニット４に交換する必要
があるが、バネユニット４の装備長Ｌは、顕微鏡本体１
のふところ高さＨより小さいため、ステージ２を取り外
した状態のまま、従前のバネユニット４を焦準台３から
垂直に引き上げ、新しいバネユニットを真上から焦準台
３の貫通孔３ａ内に挿入することができる。

【００１８】従って、このような第１の実施の形態によ
れば、バネユニット４の装備長Ｌを顕微鏡のふところ高
さＨよりも短く保っているので、ステージ２を取り外す
のみにて、異なった力量のバネユニットの交換が、焦準
装置を取り外したり、顕微鏡本体１を逆さにしなくても
作業することができる。これにより、交換作業が短時間
に行え、メンテナンス性に優れ、作業スペースも少なく
て済む。また、焦準装置を取り外すことがないので、焦
準装置の互換性や取り付け後のチェックが不要で、コス
ト的にも有利である。このバネユニット４は、ステージ
２の動作重心位置もしくはその近傍に配置させることが
望ましい。 （第２の実施の形態）図３は、発明の第２の実施の形態
を示し、ステージ上下動型の顕微鏡の焦準機構の側面部
分断面図である。この第２の実施の形態は、第１の実施
の形態と基本構成が同一のため、異なる部分のみ説明
し、同一部分には同一の符号を付し、説明を省略する。

【００１９】図３において、顕微鏡本体１に立設された
ボス１３の上面には、バネユニット４の下枠１０と嵌合
する受け穴１３ａを穿設している。また、焦準台３のバ
ネユニット４を装備する貫通孔３ａの下部には、ボス１
３と干渉しないように逃げ３ｂを設けている。その他の
構成は第１の実施の形態と同一である。

【００２０】次に、このように構成したステージ上下動
型の顕微鏡の作用について説明する。この場合、バネユ
ニット４の上枠９は貫通穴３ａに嵌合し軸心が固定さ
れ、かつ下枠１０も受け穴１３ａに嵌合し軸心が固定さ
れるため、カウンターバネ１１による下枠１０のずれが
なくなり、バネユニット４は確実な伸縮運動をすること
ができる。

【００２１】従って、このような第２の実施の形態によ
れば、第１の実施の形態の効果を損なうことなく、さら
に精度のよい焦準機構にすることができる。 （第３の実施の形態）図４は、発明の第３の実施の形態
を示し、各種のバネユニットの半断面図である。この第
３の実施の形態は、第１および第２の実施の形態と基本
構成が同一であり、バネユニットのみが異なるため、そ
の部分のみ説明し、他の部分の図と説明を省略する。

【００２２】この場合、第３の実施の形態におけるバネ
ユニットは、ユニットを構成する枠を圧縮コイルバネの
内径内に配置したものである。図４（ａ）に示すバネユ
ニット２１は、圧縮コイルバネ１１に上枠２４と下枠２
５とが挿通され、上枠２４の上端部２４ａと、下枠２５
の下端部２５ａとは、圧縮コイルバネ１１の外径より大
きい外径に形成され、圧縮コイルバネ１１の両端を支持
するようになっている。上枠２４と下枠２５との連結
は、圧縮コイルバネ１１に上枠２４および下枠２５を挿
通後、上枠２４の内径面に螺刻されたメネジ２４ｂと、
下枠２５の外径面に螺刻されたオネジ２５ｂとを螺合さ
せ、さらにねじ込んで螺合を外すことにより行う。バネ
ユニット２１の装備力量および装備長は、メネジ２４ｂ
とオネジ２５ｂとがねじ込んで螺合が外れた位置により
決められる。

【００２３】図４（ｂ）に示すバネユニット２２は、圧
縮コイルバネ１１に上枠２６と下枠２７とが挿通され、
上枠２６の上端部２６ａと、下枠２７の下端部２７ａと
は、圧縮コイルバネ１１の外径より大きい外径に形成さ
れ、圧縮コイルバネ１１の両端を支持するようになって
いる。上枠２６の軸２６ｂは、下枠２７の貫通孔２７ｂ
と嵌合し、上枠２６の下端に螺合するナット２８によっ
て、バネユニット２２の装備力量および装備長が規制さ
れている。

【００２４】図４（ｃ）に示すバネユニット２３は、圧
縮コイルバネ１１に上枠２９と下枠３０とが挿通され、
上枠２９の上端部２９ａと、下枠３０の下端部３０ａと
は、圧縮コイルバネ１１の外径より大きい外径に形成さ
れ、圧縮コイルバネ１１の両端を支持するようになって
いる。上枠２９の軸２９ｂは、下枠３０の貫通孔３０ｂ
と嵌合し、軸２９ｂに打ち込んだピン３１と下枠３０に
形成されたガイド溝３０ｃの上端とにより、バネユニッ
ト２３の装備力量および装備長が規制されている。

【００２５】バネユニット２１、２２および２３は、上
述した第１の実施の形態の図１におけるバネユニット４
に替えて、装着することが可能である。また、バネユニ
ット２１、２２および２３は、上述した第２の実施の形
態の図３におけるバネユニット４に替えて、装着するこ
とが可能である。ただし、バネユニット２２の場合は、
顕微鏡本体１のボス１３の中心に、ナット２８の外径よ
り大きい逃げ穴を穿設する必要がある。

【００２６】従って、このような第３の実施の形態によ
れば、第１または第２の実施の形態の効果に加え、枠部
材を圧縮コイルバネの内径内に挿通する構成にしたこと
により、径方向にコンパクトとなり、設計の自由度を増
すことができる。 （第４の実施の形態）図５〜図６は、発明の第４の実施
の形態を示し、図５は鏡筒上下動型の顕微鏡の側面部分
断面図、図６は中間鏡筒を装着した鏡筒上下動型の顕微
鏡の側面部分断面図である。

【００２７】図５において、架台４０には支持部を介し
て固定台４１が取着されており、固定台４１には案内４
２を介して焦準台４３が上下動自在に装着されている。
駆動分としての焦準台４３の光軸上には、下部に対物レ
ンズ４４、上部に鏡筒４５が装着されている。また、焦
準台４３には、ラック４６が取着され、固定台４１に
は、ラック４６と噛合するピニオン４７が配設されてい
る。ピニオン４７は、図示を省略したハンドルに連結さ
れ、このハンドルを回転することにより、ピニオン４７
がラック４６を上下動させ、焦準駆動を行うことができ
る。固定台４１と焦準台４３との間には、発明の実施の
形態１で用いたバネユニット４が固定台４１の後方より
着脱可能に装着されている。固定台４１の裏面４１ａに
は、フタ４８が取着されており、バネユニット４を着脱
するときには、このフタ４８を取り外して行う。なお、
バネユニット４に替えて、上述した第３の実施の形態で
示したバネユニット２１、２２、２３を用いてもよい。
ただし、バネユニット２２を用いる場合は、固定台４１
または焦準台４３にナット２８の外径より大きな逃げ穴
を穿設する必要がある。

【００２８】次に、このように構成した鏡筒上下動型の
顕微鏡の作用について説明する。この場合、図示を省略
したハンドルを回転させると、ピニオン４７が回転し、
ラック４６を介して案内４２に沿って焦準台４３が上下
に移動し、焦準駆動を行う。バネユニット４は、ラック
４６およびピニオン４７に加わる焦準台４３、対物レン
ズ４４および鏡筒４５の荷重ばね力により軽減してい
る。図６に示すように、焦準台４３と鏡筒４５との間に
中間鏡筒４９を装着する場合や、鏡筒４５の光軸上に写
真ユニット（図示省略）を装着する場合には、ラック４
６およびピニオン４７にかかる荷重を軽減するために、
フタ４８を取り外して、従前のバネユニット４を取り出
し、中間鏡筒４９や写真ユニット（図示省略）により増
加した荷重に適合した力量のバネユニット４に交換す
る。荷重が軽減した場合でも同様である。また、バネユ
ニット２１、２２、２３を用いる場合も同様である。

【００２９】従って、このような第４の実施の形態によ
れば、上述した第１乃至第３の実施の形態の効果に加
え、ステージ上下型の顕微鏡に限らず、中間鏡筒など多
くのシステムユニットを交換するようにシステム設計さ
れた鏡筒上下動型の顕微鏡に適用することにより、バネ
ユニット交換による焦準駆動の精度を保障することがで
きる。従って、システム性およびメンテナンス性に優れ
た顕微鏡にすることができる。 （第５の実施の形態）図７〜図８は、発明の第５の実施
の形態を示し、図７はステージ上下動型の顕微鏡の焦準
機構の側面部分断面図、図８はバネユニットの断面図で
ある。この第５の実施の形態は、第１の実施の形態と基
本構成が同一のため、異なる部分のみ説明し、同一部分
には同一の符号を付し、説明を省略する。

【００３０】この場合、第５の実施の形態は、上述した
第１乃至第４の実施の形態にて説明した圧縮コイルバネ
に替えて、引張りコイルバネを用いてバネユニットを構
成したものである。図７において、顕微鏡本体１のベー
ス部５の上部には、焦準機構の固定部としての突起部５
１ａが形成され、フック５２が固着されている。また焦
準機構部の駆動部としての焦準台５３の下部にも、突起
部５３ａが形成され、フック５２の直下の位置にフック
５４が固着されている。このフック５２、５４の間に、
バネユニット５５が張架されている。顕微鏡本体１のベ
ース部５側面には、引張りバネユニット５５を交換する
ための開口部（図示省略）が形成されており、この開口
部は着脱自在なフタ（図示省略）で隠蔽されている。

【００３１】図８（ａ）に示すように、バネユニット５
５は、上枠５６と下枠５７との間にバランスバネたる引
張りコイルバネ５８を内蔵し、このコイルバネ５８の上
端５８ａにはフック５８ｂ、下端５８ｃにはフック５８
ｄを形成している。上枠５６、下枠５７は円筒状に形成
され、下枠５７の内径に引張りコイルバネ５８を挿入し
て、下端５８ｃを固着してから、下枠５７に上枠５６を
嵌合させ、上枠５７に引張りバネ５８の上端面５８ａを
固着する。なお、上枠５６、下枠５７の有底面中央に挿
通孔５６ａ、５７ａを設け、引張りコイルバネ５８のフ
ック５８ａ、５８ｄが挿通できるようになっている。下
枠５７の外径面には、オネジが螺刻され、上枠５６の内
径より大きい外径のナット５９を螺合させることによ
り、引張りコイルバネ５８が装備力量を保持して装備長
Ｌ5 より収縮しないように規制している。また、バネユ
ニット５５の装備長Ｌ5 は、ベース部５１のフック５２
と焦準台５３のフック５４との間の最短距離（ステージ
２が最も上昇した位置）Ｈ1（図７参照）より若干短く
設定されている。なお、バネユニット５５は、図８
（ｂ）（ｃ）に示すように、伸縮量Ｌ61を確保して、バ
ネユニット５５をフック５２、５４に装着した場合、ス
テージ２の下降ができるようになっている。

【００３２】次に、このように構成したステージ上下動
型の顕微鏡の作用について説明する。この場合、ハンド
ル８を回転させることにより、同軸上にあるピニオン７
が回転し、ピニオン７と噛合しているラック６を介して
案内５に沿って、ステージ２および焦準台５３が上下動
し、焦準駆動を行うことができる。このとき、ラック６
およびピニオン７に加わるステ−ジ２および焦準台５３
の荷重を、バネユニット５５内の引張りコイルバネ５８
のばね力で軽減している。ステージ２の交換により、重
量が変わった場合には、これに適合する力量の引張りバ
ネユニット５５に交換する必要があるが、ベース部５１
の側面に形成された開口部（図示省略）のフタ（図示省
略）を取り外し、新しい荷重に適合した力量のバネユニ
ット５５を取り付ける。

【００３３】従って、このような第５の実施の形態によ
れば、上述した第１の実施の形態と同様の効果に加え、
バランスバネとして引張りコイルバネ５８を用いたた
め、バネの座屈を心配することなく、長いバネにして、
装備力量と最大力量との差を減少させることができる。
また、ステージ２を取り外さずに着脱できるため、ステ
ージ上面に治具を乗せる場合には、作業が簡単でメンテ
ナンス性に優れる。

【００３４】なお、この第５の実施の形態では、バネユ
ニット５５は、引張りコイルバネ５８の端と上枠および
下枠とを固着しているが、フック５８ｂ、５８ｄが挿通
孔５６ａ、５７ａより抜けないか、または抜けても支障
が無い場合は固着せずともよい。 （第６の実施の形態）図９は、発明の第６の実施の形態
を示し、ステージとバネユニットとを一体化した縦断面
図である。

【００３５】この第６の実施の形態は、第１乃至第３の
実施の形態の変形例に該当する。図９において、ステー
ジ上下動型の顕微鏡のステージ２Ａの下面とバネユニッ
ト４Ａの上枠９の上面とは固着されている。すなわち、
ステージ２Ａの重量に適合した力量のバネユニット４Ａ
を予め選んでユニットにしている。バネユニット４Ａの
構造は、第１の実施の形態で説明したバネユニット４と
同一のものである。これにより、ステージ２Ａの交換と
同時に、焦準機構の重量バランスを適正なものにする。
その他の構成および作用は、第１乃至第３の実施の形態
と同様である。

【００３６】従って、このような第６の実施の形態によ
れば、上述した第１乃至第３の実施の形態の効果に加
え、ステージの重量に適合した力量のバネユニットを予
め選んでユニットにしておくことにより、適合しないバ
ネユニットを間違えて装着することを回避することがで
きる。また、ステージ下面のどこにでも、バネユニット
を固着できるので、スペース的に焦準機構内部にバネユ
ニットを装備できない場合でも、外部に取り出すことが
でき、作業性および拡張性に優れている。 （第７の実施の形態）図１０〜図１１は、発明の第７の
実施の形態を示し、図１０はステージ上下動型の顕微鏡
の焦準装置の側面部分断面図、図１１はバランスバネと
ガイド軸とバネ受けとの寸法関係を示す説明図である。
この第７の実施の形態は、第１の実施の形態と基本構成
が同一であり、焦準機構の一部の異なる部分のみ説明
し、同一の部材には同一の符号を付し説明を省略する。

【００３７】図１０において、顕微鏡本体１には、案内
５を介して焦準台６３が上下動自在に装着されており、
焦準台６３の上面には、ステージ２が着脱自在に取着さ
れているとともに、メネジ６３ａおよび貫通孔６３ｂが
穿設され、筒状のバネ受け６４が螺合している。さら
に、顕微鏡本体１のベース部６１を構成する底面６１ａ
には、メネジ６１ｂが穿設され、ガイド軸６２が下方よ
り着脱自在に螺合している。ガイド軸６２には、バラン
スバネとして上下に伸縮自在な圧縮コイルバネ６５が装
着され、ステージ２およびバネ受け６４を取り外すか、
またはガイド軸６２を取り外すことにより着脱できるよ
うになっている。圧縮コイルバネ６５は、ガイド軸６２
の段差部６２ａと、バネ受け６４の底面６４ａとによっ
て挟持され、ステージ２および焦準台６３を上方に圧縮
コイルバネ６５のばね力にて付勢し、ラック６およびピ
ニオン７にかかる荷重を軽減している。なお、顕微鏡本
体１のベース６１、ガイド軸６２、ステージ２、焦準台
６３、バネ受け６４、圧縮コイルバネ６５、案内５、ラ
ック６、ピニオン７およびハンドル８により焦準機構を
構成している。また、圧縮コイルバネ６５、ガイド軸６
２、バネ受け６４によりバネットユニットを構成してい
る。

【００３８】図１１は圧縮コイルバネ６５とガイド軸６
２とバネ受け６４との寸法関係を表示している。図１１
において、Ｄsiは圧縮コイルバネ６５の内径、Ｄa はガ
イド軸６２の外径、Ｄc はバネ受け６４の内径、Ｄsoは
圧縮コイルバネ６５の外径を表示し、これらの間にはつ
ぎのような寸法関係が成立している。

【００３９】（Ｄsi−Ｄa ）＜（Ｄc −Ｄso） 次に、このように構成したステージ上下動型の顕微鏡の
作用について説明する。ピニオン６とラック７とによっ
て、焦準台６３が焦準駆動されるのに伴って圧縮コイル
バネ６５が伸縮運動する際、図１０に示すように、ガイ
ド軸６２が圧縮コイルバネ６５の内側に存在する範囲で
は、ガイド軸６２の外径Ｄa 、圧縮コイルバネ６５の内
径Ｄsi、外径Ｄso、バネ受け６４の内径Ｄc に上記の寸
法関係が成立しているため、圧縮コイルバネ６５はバネ
受け６４の内壁６４ｂに接触することなく、常にガイド
軸６２に沿って伸縮する。ステージ２が焦準行程の上部
にあるときには圧縮コイルバネ６５が伸びており、圧縮
コイルバネ６５の上部ではガイド軸６２に規制されない
部分が存在するが、できる限りガイド軸６２を長くして
おくことにより、圧縮コイルバネ６５の座屈をなくすこ
とができるので、バネ受け６４の内壁６４ｂでの摩擦抵
抗を最小限に抑制できる。

【００４０】従って、このような第７の実施の形態によ
れば、ステージ２およびバネ受６４けまたはガイド軸６
１を取り外すことにより、圧縮コイルバネ６５の交換を
容易に行うことができるとともに、ガイド軸６２によっ
て圧縮コイルバネ６５を案内するので、ラック７および
ピニオン６に加わる荷重を軽減するという圧縮コイルバ
ネ本来の機能を有効に作用させ、高精度な顕微鏡の焦準
機構とすることができる。

【００４１】なお、この第７の実施の形態では、圧縮コ
イルバネ６５を案内するガイド軸６２の長さは、圧縮コ
イルバネ６５が座屈しない程度の所定の長さを保持して
いるが、焦準行程が短くて済む顕微鏡にあっては、圧縮
コイルバネ６５も短くて済み、座屈の心配が無いので、
ガイド軸の長さを短縮したり、廃止してもよい。また、
ガイド軸の外径も寸法関係を示した上記の式（Ｄsi−Ｄ
a ）＜（Ｄc −Ｄso）に制約されず、圧縮コイルバネ６
５の位置が決まる範囲に設定してもよい。以後の発明の
実施の形態においても同様である。 （第８の実施の形態）図１２は、発明の第８の実施の形
態を示し、ステージ上下動型の顕微鏡の焦準機構の側面
部分断面図である。この第８の実施の形態は、バランス
バネとガイド軸とバネ受けとをユニット化したことに特
徴があるが、第１の実施の形態と基本構成が同一であ
り、焦準機構の一部の異なる部分のみ説明し、同一の部
材には同一の符号を付し説明を省略する。

【００４２】図１２において、顕微鏡本体１には、案内
５を介して焦準台７３が上下動自在に装着されており、
焦準台７３の上面には、ステージ２が着脱自在に取着さ
れているとともに、メネジ７３ａおよび貫通孔７３ｂが
穿設され、筒状のバネ受け７４が螺合している。バネ受
け７４の下部筒部７４ａには、長溝７４ｂが穿設され、
ピン７６が嵌合している。また、下部筒部７４ａには、
筒状の外枠７５が摺動自在に嵌装され、外枠７５の上部
には、ピン７６が固着されてバネ受け７４と外枠７５と
が連結されている。外枠７５の内部中心には、ガイド軸
７２が立設され、ガイド軸７２には、バランスバネとし
て圧縮コイルバネ６５が装着されている。ガイド軸７
２、圧縮コイルバネ６５およびバネ受け７４の寸法関係
は、第７の実施の形態と同一である。圧縮コイルバネ６
５、ガイド軸７２、外枠７５、ピン７６、およびバネ受
け７４によってバネユニットを構成している。また、顕
微鏡本体１のベース部底面には凹部７１ａが形成され、
外枠７５の下部が嵌合している。

【００４３】次に、このように構成したステージ上下動
型の顕微鏡の作用について説明する。上記バネユニット
を装着するには、ステージ２を取り外し、焦準台７３の
上側よりねじ込むと、外枠７５の下部が顕微鏡本体１側
の凹部７１ａに嵌合し、焦準台７３を所定の装備力量で
上方に付勢し、ラック６およびピニオン７にかかる荷重
を軽減する。その他の作用は第７の実施の形態と同様で
ある。

【００４４】従って、このような第８の実施の形態によ
れば、第７の実施の形態の効果に加え、圧縮コイルバネ
をユニット化したので、非常に組み立て性がよく、圧縮
コイルバネの交換が極めて容易となる。また、重量の異
なるステージ２に交換する場合に、力量の異なるバネユ
ニットを予め用意しておけば、最適のバネユニットに交
換することができる。

【００４５】（第９の実施の形態）図１３は、発明の第
９の実施の形態を示し、ステージ上下動型の顕微鏡の焦
準機構の側面部分断面図である。この第９の実施の形態
は、バネ受けの内部にスペーサを挿入したことに特徴が
あるが、第７の実施の形態と基本構成が同一のため異な
る部分のみ説明し、同一の部材には同一の符号を付し説
明を省略する。

【００４６】図１３において、バネ受け６４の底部６４
ａと圧縮コイルバネ６５の上端との間に、樹脂製のスペ
ーサ８１を挿入している。その他の構成は、第７の実施
の形態と同様である。

【００４７】次に、このように構成したステージ上下動
型の顕微鏡の作用について説明する。圧縮コイルバネ６
５を組み付ける際、まずガイド軸６２を顕微鏡本体のベ
ース部６１のメネジ６１ｂにねじ込み、つぎに圧縮コイ
ルバネ６５を焦準台６３の貫通孔６３ｂより落とし込
む。最後にバネ受け６４の底部６４ａにスペーサ８１を
挿入してから、バネ受け６４を焦準台６３のメネジ６３
ａにねじ込んで固定する。このとき、圧縮コイルバネ６
５は使用状態にまで圧縮されていて、バネ受け６４の奥
底部６４ａには圧縮コイルバネ６５の弾発力が作用して
いる。もし、樹脂製のスペーサ８１が無ければ、この弾
発力による摩擦のために、バネ受け６４のねじ込みによ
って圧縮コイルバネ６５が捩じれてしまい、意図する力
量が確保できなかったり、焦準台６３の上下動に伴う圧
縮コイルバネ６５の伸縮時に、ガイド軸６２との間に摺
動抵抗が増えたりするため、焦準精度が安定しない場合
がある。しかしながら、この第９の実施の形態では、バ
ネ受け６４の底部６４ａと圧縮コイルバネ６５の上端と
の間に、樹脂製のスペーサ８１を挿入したことによっ
て、圧縮コイルバネ６５に捩れが生じることなく、圧縮
コイルバネ６５が滑らかにガイド軸６２に沿って伸縮す
る。その他の作用は、上述した第７の実施の形態と同様
である。

【００４８】従って、このような第９の実施の形態によ
れば、第７の実施の形態の効果に加え、圧縮コイルバネ
に捩れが生じることなく、圧縮コイルバネが滑らかにガ
イド軸に沿って伸縮するので、高精度な焦準駆動が保障
される。 （第１０の実施の形態）図１４は、発明の第１０の実施
の形態を示し、ステージ上下動型の顕微鏡の焦準機構の
側面部分断面図である。この第１０の実施の形態は、第
９の実施の形態のバネ受けの機能を、焦準台のドリル穴
に替えた点に特徴があるが、第７の実施の形態と基本構
成が同一のため異なる部分のみ説明し、同一の部材には
同一の符号を付し説明を省略する。

【００４９】図１４において、焦準台８２には、下方よ
りドリル穴８３が穿設され、その奥底部８３ａには、樹
脂製のスペーサ８１が装着されている。その他の構成
は、第９の実施の形態と同一である。

【００５０】次に、このように構成したステージ上下動
型の顕微鏡の作用について説明する。この場合、第１０
の実施の形態では、第９の実施の形態のバネ受けに替え
て、焦準台８２にドリル穴８３を穿設したので、奥底部
８３ａは平らにはならず、円錐状の斜面となる。もし、
樹脂製のスペーサ８１がなければ、奥底部８３ａの斜面
により圧縮コイルバネ６５の上端面の安定が悪く斜めに
傾くために、圧縮コイルバネ６５の伸縮時に摩擦抵抗が
増えてしまう。従って、樹脂製のスペーサ８１は、圧縮
コイルバネ６５の上端面の安定を良くし摩擦抵抗を減少
させる。この結果、第１０の実施の形態においても、第
９の実施の形態と同様に圧縮コイルバネ６５が滑らかに
ガイド軸６２に沿って伸縮するので、高精度な焦準駆動
が保障される。

【００５１】また、圧縮コイルバネ６５を交換するに
は、ベース部６１のメネジ６１ｂに螺合しているガイド
軸６２を取り外し、圧縮コイルバネ６５を取り出し、ス
テージの重量に適合する圧縮コイルバネを焦準台８２の
ドリル穴８３に挿入して、ガイド軸６２を再びメネジ６
１ｂにねじ込む。これにより、第１０の実施の形態にお
いても、第７の実施の形態と同様に、圧縮コイルバネの
交換を容易に行うことができる。

【００５２】従って、このような第１０の実施の形態に
よれば、第９の実施の形態の効果に加え、焦準機構の構
造が簡単になり、部品点数の削減によるコストダウンを
図ることができる。 （第１１の実施の形態）図１５は、発明の第１１の実施
の形態の概略構成を示す斜視図である。

【００５３】図において、８５は架台で、この架台８５
には、支柱部８６を直立して設け、この支柱部８６に焦
準機構の固定部としての焦準本体部８７を上下動可能に
設け、固定クランプ８８を締め込むことで、支柱部８６
に沿った所定高さを設定できるようにしている。

【００５４】焦準本体部８７には、コロガイド８９を介
して焦準移動部９０を上下方向に移動自在に設けてい
る。この焦準移動部９０は、焦準本体部８７に設けた焦
準ハンドル９１の軸の図示しないピニオンと焦準移動部
９０側の図示しないラックの働きにより上下方向の移動
が可能になっている。また、焦準移動部９０は、雄アリ
を有し、この雄アリをズーム本体９２の雌アリに嵌合す
ることで、一体に結合している。

【００５５】ズーム本体９２は、ズーム光学系を内蔵す
るもので、鏡筒９３を丸アリにより取り付けるととも
に、対物レンズ９４をねじ込みにより取り付けたもの
で、焦準移動部９０の焦準本体部８７に対する上下方向
の移動により、対物レンズ９４と架台８５上の標本との
距離を調整しピント合わせを行うようにしている。

【００５６】固定部側の焦準本体部８７と駆動部側の焦
準移動部９０との間に、焦準本体部８７に対して焦準移
動部９０を押し上げるようなバネユニット９５を設けて
いる。この場合、バネユニット９５は、第１１の実施の
形態に用いられたバネユニット４と同様に圧縮コイルバ
ネ９５１と、この圧縮コイルバネ９５１を縮めても座屈
しないように、また、使用者が指などを挟まれないよう
にするため圧縮コイルバネ９５１を収容する伸縮可能に
嵌合させた一対の筒状カバー９５２、９５３からなって
いる。

【００５７】そして、このように構成したバネユニット
９５は、一方の筒状カバー９５２の端部に一体に設けら
れた支持部９５４をビス９６１により焦準駆動部９０
に、他方の筒状カバー９５３の端部に一体に設けられた
支持部９５５をビス９６２により焦準本体部８７に固定
することにより、焦準機構の駆動部と固定部との間に着
脱可能に設けられる。

【００５８】従って、このような第１１の実施の形態に
よれば、バネユニット９５は、ビス９６１、９６２によ
り容易に着脱できるので、システムの組み合わせに応じ
て、強さの異なる最適なバネユニット９５を選択し、容
易に交換することができる。また、最適なバネユニット
９５を選択して使用できるので、焦準移動部９０側の図
示しないラックを介して焦準ハンドル９１の軸の図示し
ないピニオンにかかる負荷を軽減し、焦準ハンドル９１
のハンドル操作を軽くすることができる。 （第１２の実施の形態）図１６、図１７は、発明の第１
２の実施の形態の概略構成を示す図で、図１５と同一の
部材には同一の符号を付し説明を省略する。

【００５９】この場合、焦準本体部８７と焦準移動部９
０に、それぞれバネユニット９５を支持する支持部８７
１、９０１を設け、これら支持部８７１、９０１の相対
向する面に、図１７に示すような円錐状の溝部８７１
ａ、（９０１ａ）を形成している。また、バネユニット
９５は、筒状カバー９５２、９５３の端部を球面状に形
成している。

【００６０】そして、このようなバネユニット９５を焦
準本体部８７と焦準移動部９０の支持部８７１、９０１
の間に位置させるとともに、図１７に示すように筒状カ
バー９５２の球面状端部を円錐状の溝部８７１ａ、（９
０１ａ）に落とし込むことで、焦準機構の駆動部と固定
部との間にバネユニット９５を装着する。この場合、圧
縮コイルバネ９５１により焦準本体部８７に対し焦準移
動部９０を押し上げるようにしてバネユニット９５を装
着する。

【００６１】従って、このような第１２の実施の形態に
よれば、バネユニット９５の筒状カバー９５２、９５３
の球面状端部を支持部８７１、９０１の円錐状の溝部８
７１ａ、（９０１ａ）に対し着脱するのみで、工具を用
いずにバネユニット９５の交換を行うことができる。 （第１３の実施の形態）図１８、図１９は、発明の第１
３の実施の形態の概略構成を示す図で、図１５と同一の
部材には同一の符号を付し説明を省略する。

【００６２】この場合、焦準本体部８７と焦準移動部９
０に、それぞれバネユニット９７を支持する突起状の支
持部８７２、９０２を設けている。この場合、バネユニ
ット９７は、第５の実施の形態に用いられたバネユニッ
トと同様に引っ張りコイルバネ９７１と、使用者が指な
どを挟まれないようにするため引っ張りコイルバネ９７
１を収容する伸縮可能に嵌合させた一対の筒状カバー９
７２、９７３を有し、さらに、バネユニット９７の両端
に引っ張りコイルバネ９７１のフック９７４、９７４が
突出している。

【００６３】そして、このようなバネユニット９７を焦
準本体部８７と焦準移動部９０の突起状の支持部８７
２、９０２の間に位置させるとともに、図１９に示すよ
うにフック９７４を支持部８７２（９０２）に引っ掛け
ることで、焦準機構の駆動部と固定部との間にバネユニ
ット９７を装着する。この場合、焦準本体部８７に対し
焦準移動部９０を引き上げるようにしてバネユニット９
７を装着する。

【００６４】従って、このような第１３の実施の形態に
よれば、バネユニット９７のフック９７４、９７４を支
持部８７２（９０２）に対して着脱するのみで、工具を
用いずにバネユニット９５の交換を行うことができる。 （第１４の実施の形態）図２０（ａ）（ｂ）は、発明の
第１４の実施の形態の概略構成を示す図で、図１５と同
一の部材には同一の符号を付し説明を省略する。

【００６５】この場合、焦準ハンドル９１の軸のピニオ
ン１０１と焦準移動部９０側のラック１０２が図示され
ている。また、焦点機構の固定部としての焦準本体部８
７と駆動部としての焦準移動部９０との連結部分には、
バネユニットを取り付けるための支持部８７ａ、９０ａ
が形成され、同軸線上に沿って穴部１０３と１０４を形
成している。このうちの穴部１０３に、穴部１０４中に
達する軸１０５をねじ込み固定し、この軸１０５にガイ
ドにされるとともに、穴部１０４中に沿って圧縮コイル
バネ１０６を挿入している。そして、焦準移動部９０の
穴部１０４の開口端より押圧部材１０７を介して調整つ
まみ１０８をねじ込むことで、押圧部材１０７により圧
縮コイルバネ１０６の圧縮量を調整し、焦準本体部８７
に対する焦準移動部９０の押し上げ力が最適になるよう
にしている。

【００６６】従って、このような第１４の実施の形態に
よれば、調整つまみ１０８をねじ込んだり緩めたりし
て、押圧部材１０７を穴部１０４に沿って上下動させ、
圧縮コイルバネ１０６の圧縮量を変化させることで、焦
準本体部８７に対する焦準移動部９０の押し上げ強さを
最適状態に調整できるので、焦準移動部９０のラック１
０２を介して焦準ハンドル９１の軸のピニオン１０１に
かかる負荷を軽減し、焦準ハンドル９１のハンドル操作
を軽くすることができる。また、押圧部材１０７の直径
を調整つまみ１０８のねじ径より大きくすれば、使用者
が誤って調整つまみ１０８を回し過ぎても、圧縮コイル
バネ１０６が穴部１０４より飛び出すようなことも回避
できる。また、軸１０５を緩めて支持部８７ａから取り
外すことで、下方から圧縮コイルバネ１０６を交換する
ことができる。 （第１５の実施の形態）図２１（ａ）（ｂ）は、発明の
第１５の実施の形態の概略構成を示す図で、図２０と同
一の部材には同一の符号を付し説明を省略する。

【００６７】この場合、焦準本体部８７と焦準移動部９
０の連結部分には、バネユニットを取り付けるための支
持部８７ａ、９０ａが形成され、同軸線上に沿って穴部
１１０と１１１を形成している。このうちの穴部１１１
は、穴部１１０に対向する側のみを開口している。そし
て、この穴部１１１中に沿って圧縮コイルバネ１０６を
挿入するとともに、穴部１１０の開口端より押圧部材１
１２を有する軸１１３を圧縮コイルバネ１０６の中空部
に沿って挿入し、この軸１１３により押圧部材１１２を
介して圧縮コイルバネ１０６の圧縮量を調整すること
で、焦準本体部８７に対する焦準移動部９０の押し上げ
力が最適になるようにしている。なお、１１４は、使用
者が誤って軸１１３を緩め過ぎないようにするためのス
トッパである。

【００６８】従って、このような第１５の実施の形態に
よれば、軸１１３をねじ込んだり緩めたりすることで、
圧縮コイルバネ１０６の圧縮量を変化させ、焦準本体部
８７に対する焦準移動部９０の押し上げ強さを最適状態
に調整できるので、上述した第１４の実施の形態と同様
な効果を期待できる。また、軸１１３が調整つまみを兼
ねるため、部品点数を少なくできるとともに、調整つま
みのための開口部を形成する必要もないので、より安価
にできる。また、第１４の実施の形態と同様に、軸１１
３を支持部８７ａから取り外すことで、下方から圧縮コ
イルバネ１０６を交換することができる。、 （第１６の実施の形態）図２２（ａ）（ｂ）は、発明の
第１６の実施の形態の概略構成を示す図で、図２０と同
一の部材には同一の符号を付し説明を省略する。

【００６９】この場合、焦準機構の固定部となる焦準本
体部８７と駆動部となる焦準駆動部９０の連結部には、
バネユニットを取り付けるための支持部８７ｂ、９０ｂ
が形成され、支持部８７ｂに穴１１５を形成し、この穴
１１５に調整つまみ１０８をねじ込んでいる。この調整
つまみ１０８には、フック１１６を設けている。一方、
焦準移動部９０の支持部９０ｂに形成されたフック１１
７と調節つまみ１０８の先端に設けられたフック１１６
との間に引っ張りコイルバネ１１８を張架し、調整つま
み１０８の調整により焦準本体部８７に対する焦準移動
部９０を引き上げ力が最適になるようにしている。

【００７０】従って、このような第１６の実施の形態に
よれば、調整つまみ１０８をねじ込んだり緩めたりし
て、フック１１６を上下動させ、引っ張りコイルバネ１
１８の引っ張り力を最適状態に調整できるので、上述し
た第１４の実施の形態と同様な効果を期待できる。この
場合、フック１１６を調整つまみ１０８に対して回転自
在としておけば、調整つまみ１０８の回転により引っ張
りコイルバネ１１８が捩じれないようにできる。 （第１７の実施の形態）図２３（ａ）（ｂ）は、発明の
第１７の実施の形態の概略構成を示す図で、図２０と同
一の部材には同一の符号を付し説明を省略する。

【００７１】この場合、焦準機構の固定部としての焦準
本体部８７の下部に受台１１９を形成し、この受台１１
９上に第１１の実施の形態に用いられたバネユニット同
様にに圧縮コイルバネ１２０を収容した一対の筒体１２
１からなるバネユニットを載置している。この筒体１２
１は、圧縮コイルバネ１２０の圧縮状態に応じて伸縮可
能になっている。そして、一方の筒体１２１の上端に保
持部材１２２を連結し、この保持部材１２２を焦準移動
部９０に固定ビス１２３により固定するようにしてい
る。この場合、保持部材１２２を固定するねじ穴１２４
は、上下方向に複数箇所設けられ、これらねじ穴１２４
を選択することで、圧縮コイルバネ１２０の圧縮量を調
整し、焦準本体部８７に対する焦準移動部９０の押し上
げ力が最適になるようにしている。

【００７２】従って、このような第１７の実施の形態に
よれば、保持部材１２２の固定ビス１２３による固定位
置を複数箇所設けられたねじ穴１２４を選択して決定す
ることで圧縮コイルバネ１２０による焦準移動部９０の
押し上げ強さを最適状態に調整できるので、上述した第
１４の実施の形態と同様な効果を期待できる。また、こ
のような筒体１２１に収容した圧縮コイルバネ１２０を
焦準本体部８７の一部のガイド部を切欠いた谷間部分に
配置することにより、焦準本体部８７内部に十分なスペ
ースがない場合でも実現可能となり、また、ばね部分の
大きさ、形状の自由度も高くできる。 （第１８の実施の形態）図２４（ａ）（ｂ）は、発明の
第１８の実施の形態の概略構成を示す図で、図２０と同
一の部材には同一の符号を付し説明を省略する。

【００７３】この場合、焦準本体部８７のと上部に受台
１２５を形成し、この受台１２５にフック１２６を設け
ている。このフック１２６に第５の実施の形態に用いら
れたバネユニットと同様に引っ張りコイルバネ１２７を
収容した一対の筒体１２８からなるバネユニットを吊り
下げている。この筒体１２８は、引っ張りコイルバネ１
２７の引っ張り状態に応じて伸縮可能になっている。そ
して、このバネユニット下端のフックを支持ビス１２９
に係止している。この支持ビス１２９は、焦準移動部９
０の上下方向に複数箇所設けられるねじ穴１３０に選択
的に捩じ込まれるもので、これらねじ穴１３０を選択す
ることで、引っ張りコイルバネ１２７の引っ張り量を調
整し、焦準本体部８７に対する焦準移動部９０の押し上
げ力が最適になるようにしている。

【００７４】従って、このような第１８の実施の形態に
よれば、支持ビス１２９のねじ穴１３０への位置を選択
して決定することで、引っ張りコイルバネ１２７による
焦準移動部９０の引っ張り強さを最適状態に調整できる
ので、上述した第１７の実施の形態と同様な効果を期待
できる。

【００７５】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、コ
イルバネを焦準機構の駆動部と固定部との間に着脱自在
に構設したことにより、焦準機構からのコイルバネの取
り出し、および焦準機構への装着が容易となる。

【００７６】コイルバネを伸縮可能な保持部材により一
体化させたバネユニットで構成したことにより、コイル
バネの交換がさらに容易になり、狭い空間での着脱が可
能となる。

【００７７】コイルバネを保持部材により保持したこと
により、コイルバネの座屈を防ぎ、伸縮運動が円滑とな
る。コイルバネを焦準機構の外部から着脱可能にするこ
とで、焦準機構を分解することなく、コイルバネを容易
に交換できる。ばね力調整手段を設けることにより、コ
イルバネの力量を最適状態に簡単に調整できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】発明の第１の実施の形態のステージ上下動型の
顕微鏡の側面部分断面図。

【図２】第１の実施の形態のバネユニットの縦断面図。

【図３】発明の第２の実施の形態のステージ上下動型の
顕微鏡の焦準機構の側面部分断面図。

【図４】発明の第３の実施の形態の各種のバネユニット
の半断面図。

【図５】発明の第４の実施の形態の鏡筒上下動型の顕微
鏡の側面部分断面図。

【図６】第４の実施の形態の中間鏡筒を装着した鏡筒上
下動型の顕微鏡の側面部分断面図。

【図７】発明の第５の実施の形態のステージ上下動型の
顕微鏡の焦準機構の側面部分断面図。

【図８】第５の実施の形態の引張りバネユニットの断面
図。

【図９】発明の第６の実施の形態のステージとバネユニ
ットとを一体化した縦断面図。

【図１０】発明の第７の実施の形態のステージ上下動型
の顕微鏡の焦準装置の側面部分断面図。

【図１１】第７の実施の形態の圧縮コイルバネとガイド
軸とバネ受けとの寸法関係を示す説明図。

【図１２】発明の第８の実施の形態のステージ上下動型
の顕微鏡の焦準機構の側面部分断面図。

【図１３】発明の第９の実施の形態のステージ上下動型
の顕微鏡の焦準機構の側面部分断面図。

【図１４】発明の第１０の実施の形態のステージ上下動
型の顕微鏡の焦準機構の側面部分断面図。

【図１５】本発明の第１１の実施の形態の概略構成を示
す斜視図。

【図１６】本発明の第１２の実施の形態の概略構成を示
す斜視図。

【図１７】第１２の実施の形態の要部を拡大して示す
図。

【図１８】本発明の第１３の実施の形態の概略構成を示
す斜視図。

【図１９】第１３の実施の形態の要部を拡大して示す
図。

【図２０】本発明の第１４の実施の形態の概略構成を示
す図。

【図２１】本発明の第１５の実施の形態の概略構成を示
す図。

【図２２】本発明の第１６の実施の形態の概略構成を示
す図。

【図２３】本発明の第１７の実施の形態の概略構成を示
す図。

【図２４】本発明の第１８の実施の形態の概略構成を示
す図。

【図２５】従来技術の顕微鏡を示す側面図。

【符号の説明】

１…顕微鏡本体、 ２…ステージ、 ３…焦準台、 ４…バネユニット、 ５…案内、 ６…ラック、 ７…ピニオン、 ８…ハンドル、 ８５…架台、 ８６…支柱部、 ８７…焦準本体部、 ８８…固定クランプ、 ８９…コロガイド、 ９０…焦準移動部、 ９１…焦準ハンドル、 ９２…ズーム本体、 ９３…鏡筒、 ９４…対物レンズ、 ９５…バネユニット、 ９５１…圧縮コイルバネ、 ９５２…筒状カバー、 ９６１、９６２…ビス、 ８７１、９０１、８７２、９０２…支持部、 ９７…バネユニット、 １０１…ピニオン、 １０２…ラック、 １０３、１０４…穴部、 １０５…軸、 １０６…圧縮コイルバネ、 １０７…押圧部材、 １０８…調整つまみ、 １１０、１１１…穴部、 １１２…押圧部材、 １１３…軸、 １１４…ストッパ、 １１５…穴、 １１６…フック、 １１７…突起、 １１８…引っ張りコイルバネ、 １１９…受台、 １２０…圧縮コイルバネ、 １２１…筒体、 １２２…保持部材、 １２３…固定ビス、 １２４…ねじ穴、 １２５…受台、 １２６…フック、 １２７…引っ張りコイルバネ、 １２８…筒体、 １２９…支持ビス、 １３０…ねじ穴。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ステージまたは鏡筒を上下動させて焦準
   駆動を行う焦準機構を備えた顕微鏡において、 前記焦準機構の直線移動方向に対して平行で、かつ焦準
   機構の駆動部と固定部との間に着脱自在にコイルばねを
   配設してなることを特徴とする顕微鏡。
2. 【請求項２】 前記コイルばねを伸縮可能な保持部材に
   より一体化させたバネユニットで構成したことを特徴と
   する請求項１記載の顕微鏡。
3. 【請求項３】 コイルばねを、前記焦準機構の外部から
   着脱可能に配設してなることを特徴とする請求項１また
   は２記載の顕微鏡。
4. 【請求項４】 前記コイルバネによるばね力を前記焦準
   機構の外部から調整するばね力調整手段を有することを
   特徴とする請求項１記載の顕微鏡。