JPH1027750A - レジスト塗布装置 - Google Patents
レジスト塗布装置Info
- Publication number
- JPH1027750A JPH1027750A JP19965396A JP19965396A JPH1027750A JP H1027750 A JPH1027750 A JP H1027750A JP 19965396 A JP19965396 A JP 19965396A JP 19965396 A JP19965396 A JP 19965396A JP H1027750 A JPH1027750 A JP H1027750A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- nozzles
- cup
- chuck
- stand
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- Coating Apparatus (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 複数個のノズルを、デスペンスアームで、そ
の待機位置からウエハの上方へ移送するに際し、デスペ
ンスアームの単一の円弧運動のみで、待機中の複数個の
塗布ノズルを同一位置で選択取り出し可能なようにす
る。 【解決手段】 カップ４周縁近傍に待機配置したレジス
ト液を滴下させる複数個の塗布ノズルの搬送手段は、先
端にノズル５を捕捉するノズルチヤック６ａを有すると
共に後端は、上下往復自在で且つ左右回動可能に支持し
たデスペンスアーム１１より構成する。一方カップ周縁
近傍に待機配置した複数個の塗布ノズルを、少なくとも
２個のノズルを有する複数個のノズルカップに、それぞ
れ組分けして取り付ける。この組分けノズルカップを水
平方向に回動可能に支持する。複数個のノズルは、各ノ
ズルカップの回動で常に同一位置にそれぞれ移動可能と
なる。この同一位置で、デスペンスアーム１１のノズル
チヤック６ａが複数個のノズルをそれぞれ選択捕捉す
る。
の待機位置からウエハの上方へ移送するに際し、デスペ
ンスアームの単一の円弧運動のみで、待機中の複数個の
塗布ノズルを同一位置で選択取り出し可能なようにす
る。 【解決手段】 カップ４周縁近傍に待機配置したレジス
ト液を滴下させる複数個の塗布ノズルの搬送手段は、先
端にノズル５を捕捉するノズルチヤック６ａを有すると
共に後端は、上下往復自在で且つ左右回動可能に支持し
たデスペンスアーム１１より構成する。一方カップ周縁
近傍に待機配置した複数個の塗布ノズルを、少なくとも
２個のノズルを有する複数個のノズルカップに、それぞ
れ組分けして取り付ける。この組分けノズルカップを水
平方向に回動可能に支持する。複数個のノズルは、各ノ
ズルカップの回動で常に同一位置にそれぞれ移動可能と
なる。この同一位置で、デスペンスアーム１１のノズル
チヤック６ａが複数個のノズルをそれぞれ選択捕捉す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造の際に
用いられる半導体ウエハへのレジスト塗布装置に関する
ものである。
用いられる半導体ウエハへのレジスト塗布装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体製造工程は、デバイスの集
積度が上がるにつれて、より微細な加工が要求されるよ
うになり、微細化に伴なう高精度化が求められ、コ−タ
デベロッパ−工程も複雑化してきている。このうち、レ
ジスト処理装置としては、膜厚の均一化と安定化のため
に、レジストの温度調整が一層重要性を増してきてい
る。このため、塗布ノズルには、それぞれ各塗布ノズル
が独立して温度制御可能なように要望されようになつて
きた。従来、異なるレジスト液を供給するために、複数
個のノズルを塗布カップの一側に待機せしめると共にこ
のノズルを選択してウエハの上方へ搬送する手段を備え
たものが提案されている。（例えば特開平４−３６３０
１５、特開平８−８３７４５等）
積度が上がるにつれて、より微細な加工が要求されるよ
うになり、微細化に伴なう高精度化が求められ、コ−タ
デベロッパ−工程も複雑化してきている。このうち、レ
ジスト処理装置としては、膜厚の均一化と安定化のため
に、レジストの温度調整が一層重要性を増してきてい
る。このため、塗布ノズルには、それぞれ各塗布ノズル
が独立して温度制御可能なように要望されようになつて
きた。従来、異なるレジスト液を供給するために、複数
個のノズルを塗布カップの一側に待機せしめると共にこ
のノズルを選択してウエハの上方へ搬送する手段を備え
たものが提案されている。（例えば特開平４−３６３０
１５、特開平８−８３７４５等）
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、カップの周
縁に待機させた複数個のノズルを選択して取り出してウ
エハの上方に移送するに際し、従来装置のノズル搬送手
段は、図６に示すようにノズルスキャン機構２０に取り
付けられたノズルスキャンアーム２１は水平面内のＸ方
向を移動するものであり、一方、ノズル待機機構２２に
取り付けられたノズル２３は、Ｙ方向を移動するもので
あり、両者は、Ｘ、Ｙ軸それぞれの直線運動であり、こ
れらの装置は、途中の伝達経路が介在していることも重
なって、ノズルの移動した位置精度で、再現性が低く、
同一位置に制御しがたく、このためノズルからレジスト
液を滴下させても、レジスト膜厚の均一化に少なからぬ
悪影響を及ぼす難点があった。 そこで、本発明は、上
述の問題点を解決せんとするもので、その目的とすると
ころは、各ノズルが独立して、温度制御可能なものであ
って、極めてコンパクトで、同一位置で、ノズル移送手
段が、待機していた塗布ノズルを選択して取り出し可能
なようになし、以てレジスト膜厚の制御を正確にするレ
ジスト塗布装置を提供せんとするものである。
縁に待機させた複数個のノズルを選択して取り出してウ
エハの上方に移送するに際し、従来装置のノズル搬送手
段は、図６に示すようにノズルスキャン機構２０に取り
付けられたノズルスキャンアーム２１は水平面内のＸ方
向を移動するものであり、一方、ノズル待機機構２２に
取り付けられたノズル２３は、Ｙ方向を移動するもので
あり、両者は、Ｘ、Ｙ軸それぞれの直線運動であり、こ
れらの装置は、途中の伝達経路が介在していることも重
なって、ノズルの移動した位置精度で、再現性が低く、
同一位置に制御しがたく、このためノズルからレジスト
液を滴下させても、レジスト膜厚の均一化に少なからぬ
悪影響を及ぼす難点があった。 そこで、本発明は、上
述の問題点を解決せんとするもので、その目的とすると
ころは、各ノズルが独立して、温度制御可能なものであ
って、極めてコンパクトで、同一位置で、ノズル移送手
段が、待機していた塗布ノズルを選択して取り出し可能
なようになし、以てレジスト膜厚の制御を正確にするレ
ジスト塗布装置を提供せんとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、次の手段を採用することで解決したもの
である。即ち、カップ周縁近傍に待機配置したレジスト
液を滴下させる複数個の塗布ノズルを、その待機位置か
らウエハの上方へ搬送するノズル搬送手段は、先端にノ
ズルを捕捉するノズルチヤックを有し、後端は垂直方向
には、上下往復自在で、水平方向には、左右回動可能に
支持したデスペンスアームより構成する。一方前記カッ
プ周縁近傍に待機配置した複数個の塗布ノズルは、少な
くとも２個のノズルを有する複数個のノズルカップに、
それぞれ組分けして取り付ける。又、この組分けされた
ノズルカップを水平方向に回動可能に支持し、該ノズル
カップの回動で複数個のノズルを常に同一位置に移動可
能に設ける。そして、この同一位置で、前記デスペンス
アームのノズルチヤックが複数個のノズルをそれぞれ選
択捕捉するように構成した。又、ノズルカップは、ステ
ツピングモータの回転軸に固定して構成した。
に、本発明は、次の手段を採用することで解決したもの
である。即ち、カップ周縁近傍に待機配置したレジスト
液を滴下させる複数個の塗布ノズルを、その待機位置か
らウエハの上方へ搬送するノズル搬送手段は、先端にノ
ズルを捕捉するノズルチヤックを有し、後端は垂直方向
には、上下往復自在で、水平方向には、左右回動可能に
支持したデスペンスアームより構成する。一方前記カッ
プ周縁近傍に待機配置した複数個の塗布ノズルは、少な
くとも２個のノズルを有する複数個のノズルカップに、
それぞれ組分けして取り付ける。又、この組分けされた
ノズルカップを水平方向に回動可能に支持し、該ノズル
カップの回動で複数個のノズルを常に同一位置に移動可
能に設ける。そして、この同一位置で、前記デスペンス
アームのノズルチヤックが複数個のノズルをそれぞれ選
択捕捉するように構成した。又、ノズルカップは、ステ
ツピングモータの回転軸に固定して構成した。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明を実施する装置の１例を図
面に基づいて具体的に説明すると、図１、図２におい
て、ウエハ１は、スピンモータ３によって回転駆動され
るスピンチヤック２に裏面から吸着されている。カップ
４は前記ウエハ１の周りを包囲してウエハ１の表面から
飛散する処理液を受けるため円筒状に形成されている。
レジストノズル５は、エアシリンダー６の先端が二又状
をしたノズルチヤック６ａに狭持されていると共に温度
調節されたレジスト液の供給路となるチュ−ブ７に連結
されている。 チヤンバーフレーム８はその側面にカッ
プブラケット９が取り付けられ又この カップブラケッ
ト９にはソルベントカップ１０が取り付けられている。
デスペンスアーム１１は、先端に前記ノズル５を捕
捉するノズルチヤック６ａを有するシリンダー６が固定
されていると共に後端は、垂直方向には、上下往復自在
で、且つ、水平方向には、左右回動可能に前記チヤンバ
ーフレーム８に支持されている。１２は前記デスペンス
アーム１１が水平方向の左右回動運動の駆動源となるス
テツピングモータより成るアームモータで、該モータの
回転軸１２ａにデスペンスアーム１１の後端部が固定さ
れている。 尚垂直方向の上下運動の駆動源は図示せず
省略する。
面に基づいて具体的に説明すると、図１、図２におい
て、ウエハ１は、スピンモータ３によって回転駆動され
るスピンチヤック２に裏面から吸着されている。カップ
４は前記ウエハ１の周りを包囲してウエハ１の表面から
飛散する処理液を受けるため円筒状に形成されている。
レジストノズル５は、エアシリンダー６の先端が二又状
をしたノズルチヤック６ａに狭持されていると共に温度
調節されたレジスト液の供給路となるチュ−ブ７に連結
されている。 チヤンバーフレーム８はその側面にカッ
プブラケット９が取り付けられ又この カップブラケッ
ト９にはソルベントカップ１０が取り付けられている。
デスペンスアーム１１は、先端に前記ノズル５を捕
捉するノズルチヤック６ａを有するシリンダー６が固定
されていると共に後端は、垂直方向には、上下往復自在
で、且つ、水平方向には、左右回動可能に前記チヤンバ
ーフレーム８に支持されている。１２は前記デスペンス
アーム１１が水平方向の左右回動運動の駆動源となるス
テツピングモータより成るアームモータで、該モータの
回転軸１２ａにデスペンスアーム１１の後端部が固定さ
れている。 尚垂直方向の上下運動の駆動源は図示せず
省略する。
【０００６】図３、 図４において、ノズルカップ１３
（１３ａ、１３ｂ）は、ほぼ半円形状に形成されてい
て、このノズルカップにそれぞれ図ではノズル５が２個
ずつ組分けして取付られている。即ち、ノズル５ａ１、
５ａ２がノズルカップ１３ａに、一方、ノズル５ｂ１、
５ｂ２がノズルカップ１３ｂにそれぞれ取り付けられて
いる。また、ノズルカップ１３ａ、１３ｂは、前記ソル
ベントカップ１０に、水平方向左右回動自在に支持され
ている。（図４、図５参照）
（１３ａ、１３ｂ）は、ほぼ半円形状に形成されてい
て、このノズルカップにそれぞれ図ではノズル５が２個
ずつ組分けして取付られている。即ち、ノズル５ａ１、
５ａ２がノズルカップ１３ａに、一方、ノズル５ｂ１、
５ｂ２がノズルカップ１３ｂにそれぞれ取り付けられて
いる。また、ノズルカップ１３ａ、１３ｂは、前記ソル
ベントカップ１０に、水平方向左右回動自在に支持され
ている。（図４、図５参照）
【０００７】このノズルカップ１３（１３ａ、１３ｂ）
に取付られるノズル（５ａ１、５ａ２）、（５ｂ１、５
ｂ２）の位置は、図３に示すように、それぞれノズルカ
ップ１３（１３ａ、１３ｂ）の回動中心（ＸＡ、ＸＢ）
と同心的な円弧線上にあり、２組に分けられたノズル群
が移動する軌跡が描く円弧線は接するように構成されて
いる。このため、組分けされた複数個のノズル（５ａ
１、５ａ２）、（５ｂ１、５ｂ２）は常に同一位置Ｙを
通過するように構成されている。 １４ａ、１４ｂは、
図４に示すように、それぞれノズルカップ１３ａ、１３
ｂの水平方向の左右の回動運動の駆動源となるステツピ
ングモータで、該モータの回転軸にそれぞれカップリン
ク゛１６ａ、１６ｂを介しノズルシヤフト１５ａ、１５
ｂが取り付けられている。
に取付られるノズル（５ａ１、５ａ２）、（５ｂ１、５
ｂ２）の位置は、図３に示すように、それぞれノズルカ
ップ１３（１３ａ、１３ｂ）の回動中心（ＸＡ、ＸＢ）
と同心的な円弧線上にあり、２組に分けられたノズル群
が移動する軌跡が描く円弧線は接するように構成されて
いる。このため、組分けされた複数個のノズル（５ａ
１、５ａ２）、（５ｂ１、５ｂ２）は常に同一位置Ｙを
通過するように構成されている。 １４ａ、１４ｂは、
図４に示すように、それぞれノズルカップ１３ａ、１３
ｂの水平方向の左右の回動運動の駆動源となるステツピ
ングモータで、該モータの回転軸にそれぞれカップリン
ク゛１６ａ、１６ｂを介しノズルシヤフト１５ａ、１５
ｂが取り付けられている。
【０００８】本発明を実施する装置の１例は上述のよう
に構成されたもので、次にその作動状態を説明すると、
今、図１に示すようにデスペンスアーム１１はカップ４
の外周縁付近に待機している。一方、ノズル５ａ１は、
図３で示すＹの位置へ移動して待機状態にある。この状
態からノズル選択指令装置（図示せず）から作動指令が
でると、先ず、デスペンスアーム１１は、Ａを支点とし
て反時計方向に少し回動して、デスペンスアーム１１の
先端のノズルチヤック６ａが図３でＹの位置へ移動し、
待機していたノズル５ａ１を捕捉する。次いで、図２に
示すアームモータ１２を作動させると、デスペンスアー
ム１１が図１で時計方向に回動して、図２に示すよう
に、ノズル５ａ１をウエハ１の上方へ搬送する。ここ
で、ノズル５ａ１からウエハ１の上にレジスト液を滴下
する。
に構成されたもので、次にその作動状態を説明すると、
今、図１に示すようにデスペンスアーム１１はカップ４
の外周縁付近に待機している。一方、ノズル５ａ１は、
図３で示すＹの位置へ移動して待機状態にある。この状
態からノズル選択指令装置（図示せず）から作動指令が
でると、先ず、デスペンスアーム１１は、Ａを支点とし
て反時計方向に少し回動して、デスペンスアーム１１の
先端のノズルチヤック６ａが図３でＹの位置へ移動し、
待機していたノズル５ａ１を捕捉する。次いで、図２に
示すアームモータ１２を作動させると、デスペンスアー
ム１１が図１で時計方向に回動して、図２に示すよう
に、ノズル５ａ１をウエハ１の上方へ搬送する。ここ
で、ノズル５ａ１からウエハ１の上にレジスト液を滴下
する。
【０００９】ウエハ１上へレジスト液の滴下が終了する
と、デスペンスアーム１１は、図１でＡ点を支点として
反時計方向に回動して、ノズル５ａ１を最初の待機位置
に移動させる。そして、ノズルチヤック６ａからノズル
５ａ１を離す。 ここで、図４に示すようにモータブラ
ケット１７に支持されたノズルモータ１４ａを作動させ
ると、ノズルカップ１３ａが図３に示すようにＸＡを支
点として反時計方向に回動し、ノズル５ａ２をノズルチ
ヤック６ａの捕捉位置Ｙへ移動させる。（この時、ノズ
ル５ａ１は図３で一点鎖線で示す位置となる。） 次い
で、エアシリンダ６を作動させ、ノズルチヤック６ａに
よって新たなノズル５ａ２を捕捉する。再びデスペンス
アーム１１を図１で時計方向に回動せしめてノズル５ａ
２をウエハ１の上方へ搬送し、該ノズル５ａ２から別の
レジスト液を滴下する。然る後、レジスト液の滴下が終
了すると、デスペンスアーム１１を反時計方向に回動し
てノズル５ａ２を再び元の待機位置へ戻す。
と、デスペンスアーム１１は、図１でＡ点を支点として
反時計方向に回動して、ノズル５ａ１を最初の待機位置
に移動させる。そして、ノズルチヤック６ａからノズル
５ａ１を離す。 ここで、図４に示すようにモータブラ
ケット１７に支持されたノズルモータ１４ａを作動させ
ると、ノズルカップ１３ａが図３に示すようにＸＡを支
点として反時計方向に回動し、ノズル５ａ２をノズルチ
ヤック６ａの捕捉位置Ｙへ移動させる。（この時、ノズ
ル５ａ１は図３で一点鎖線で示す位置となる。） 次い
で、エアシリンダ６を作動させ、ノズルチヤック６ａに
よって新たなノズル５ａ２を捕捉する。再びデスペンス
アーム１１を図１で時計方向に回動せしめてノズル５ａ
２をウエハ１の上方へ搬送し、該ノズル５ａ２から別の
レジスト液を滴下する。然る後、レジスト液の滴下が終
了すると、デスペンスアーム１１を反時計方向に回動し
てノズル５ａ２を再び元の待機位置へ戻す。
【００１０】一方、ノズル５ａ１、５ａ２の代わりに、
ノズル５ｂ１、５ｂ２のグループを選択したいときは、
先ずノズルカップ１３ａをＸＡを支点として、回動させ
ノズル５ａ１、５ａ２を図３に示すように、Ｙの位置か
ら離す。次いで、図４で、ノズルモータ１４ｂを作動さ
せると、ノズルカップ１３ｂが図３でＸＢを支点として
回動して、ノズル５ｂ１、５ｂ２をそれぞれデスペンス
アーム１１の先端のノズルチヤック６ａが捕捉出来る位
置Ｙに移動させる。 このようにして、デスペンスアー
ム１１はその先端に取り付けたノズルチヤック６ａで、
複数個のノズル５ａ１、５ｂ１、５ａ２、５ｂ２を同一
位置Ｙで、自由に選択することができる。
ノズル５ｂ１、５ｂ２のグループを選択したいときは、
先ずノズルカップ１３ａをＸＡを支点として、回動させ
ノズル５ａ１、５ａ２を図３に示すように、Ｙの位置か
ら離す。次いで、図４で、ノズルモータ１４ｂを作動さ
せると、ノズルカップ１３ｂが図３でＸＢを支点として
回動して、ノズル５ｂ１、５ｂ２をそれぞれデスペンス
アーム１１の先端のノズルチヤック６ａが捕捉出来る位
置Ｙに移動させる。 このようにして、デスペンスアー
ム１１はその先端に取り付けたノズルチヤック６ａで、
複数個のノズル５ａ１、５ｂ１、５ａ２、５ｂ２を同一
位置Ｙで、自由に選択することができる。
【００１１】
【発明の効果】本発明は上述のように、ノズルを捕捉す
るノズルチヤックを有するデスペンスアームを回動可能
に支持すると共にカップ周縁に待機させた複数個のノズ
ルをそれぞれ組分けして、少なくとも２組のノズルカッ
プに取り付け、このノズルカップを回動可能にそれぞれ
支持して、同一位置で、複数個のノズルをそれぞれ待機
するようにしたので、従来の装置に比較して、極めてコ
ンパクトで、デスペンスアームの単一の円弧運動のみ
で、複数個のノズルを同一位置で選択捕捉出来ることか
らレジスト膜厚の均一化と安定性に寄与する効果を奏す
る。
るノズルチヤックを有するデスペンスアームを回動可能
に支持すると共にカップ周縁に待機させた複数個のノズ
ルをそれぞれ組分けして、少なくとも２組のノズルカッ
プに取り付け、このノズルカップを回動可能にそれぞれ
支持して、同一位置で、複数個のノズルをそれぞれ待機
するようにしたので、従来の装置に比較して、極めてコ
ンパクトで、デスペンスアームの単一の円弧運動のみ
で、複数個のノズルを同一位置で選択捕捉出来ることか
らレジスト膜厚の均一化と安定性に寄与する効果を奏す
る。
【図１】本発明を実施する装置の一例を示す要部平面図
である。
である。
【図２】図１の要部断面図である。
【図３】図１の一部拡大平面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ矢視断面図である。
【図５】図３のＢ−Ｂ矢視断面図である。
【図６】従来装置の要部平面図である。
１ ウエハ ４ カップ ５（５ａ１、５ａ２、５ｂ１、５ｂ２） レジストノズ
ル ６ａ ノズルチヤック １１ デスペンスア−ム １２ アームモータ １３（１３ａ、１３ｂ） ノズルカップ １４（１４ａ、１４ｂ） ステツピングモータ
ル ６ａ ノズルチヤック １１ デスペンスア−ム １２ アームモータ １３（１３ａ、１３ｂ） ノズルカップ １４（１４ａ、１４ｂ） ステツピングモータ
Claims (2)
- 【請求項１】 カップ周縁近傍に待機配置したレジスト
液を滴下させる複数個の塗布ノズルと、該塗布ノズルを
その待機位置からウエハの上方へ搬送するノズル搬送手
段とを備えたレジスト塗布装置において、前記ノズル搬
送手段は、先端にノズルを捕捉するノズルチヤックを有
すると共に後端は、上下往復自在で且つ左右回動可能に
支持したデスペンスアームより成り、一方前記カップ周
縁近傍に待機配置した複数個の塗布ノズルは、少なくと
も２個のノズルを有する複数個のノズルカップに、それ
ぞれ組分けして取り付けると共にこの組分けされたノズ
ルカップを水平方向に回動可能に支持し、該各ノズルカ
ップの回動で複数個のノズルを常に同一位置に移動可能
に設けると共に、この同一位置で、前記デスペンスアー
ムのノズルチヤックが複数個のノズルをそれぞれ選択捕
捉するように構成したことを特徴とするレジスト塗布装
置。 - 【請求項２】 ノズルカップは、ステツピングモータの
回転軸に固定されていることを特徴とする請求項１記載
のレジスト塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19965396A JPH1027750A (ja) | 1996-07-09 | 1996-07-09 | レジスト塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19965396A JPH1027750A (ja) | 1996-07-09 | 1996-07-09 | レジスト塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1027750A true JPH1027750A (ja) | 1998-01-27 |
Family
ID=16411419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19965396A Pending JPH1027750A (ja) | 1996-07-09 | 1996-07-09 | レジスト塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1027750A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013071027A (ja) * | 2011-09-26 | 2013-04-22 | Toshiba Corp | 塗布方法及び塗布装置 |
-
1996
- 1996-07-09 JP JP19965396A patent/JPH1027750A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013071027A (ja) * | 2011-09-26 | 2013-04-22 | Toshiba Corp | 塗布方法及び塗布装置 |
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