JPH10262388A - リニアモータ駆動方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 工作機械等に配設された一対のリニアモータ
の移動を円滑にすること。 【解決手段】 １つのスライド部材１ｃの両側を一対の
リニアモータ１ａ、１ｂにて同期駆動する駆動方法にお
いて、前記一対のリニアモータ１ａ、１ｂに対応する位
置センサ４１ａ、４１ｂから前記一対のリニアモータ１
ａ、１ｂに対応する一対のサーボ３２ａ、３２ｂへ与え
る帰還信号の付与形態を、前記スライド部材１ｃの送り
運動における運動特性に応じて切換手段３２ｃにより変
更可能としたことを特徴とするリニアモータ駆動方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、リニアモータ駆動
方法に関し、特に、工作機械等に使用されるスライド部
材の両側に配設された一対のリニアモータの駆動を円滑
にすることができるリニアモータ駆動方法に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】工作機械においてワークと工具との位置
を調節するために、ワーク及び工具の支持具を別個に移
動させるリニアモータが使用されている。特開平６−２
９７２８６号公報は、この場合のリニアモータの制御方
法を示している。しかし、この場合では、例えばＹ軸の
リニアモータの位置を検出し、この検出結果を制御装置
に入力し、機械制御装置の指定に基づいて近づけられる
Ｙ位置と比較されて、各リニアモータの制御に使用され
ている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来例で
は、工作機械のスライド部材の両側に配置されている一
対のリニアモータをそれぞれ別個に制御しているので、
該一対のリニアモータ間の速度及び位置の調和を取るこ
とが容易ではなかった。このため、前記スライド部材を
円滑に移動させて、前記スライド部材の位置の調節を速
やかに行うことが容易ではないという問題点があった。
したがって、本願発明の目的は、上述の従来例の欠点を
なくし、工作機械等における位置調整のためのスライド
部材の移動を円滑に行うことができるように、該スライ
ド部材の両端に配設された一対のリニアモータの位置の
制御を円滑に行うことができるリニアモータ駆動方法を
提供することである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本願発明の第１の発明の構成は、１つのスライド部
材の両側を一対のリニアモータにて同期駆動する駆動方
法において、前記一対のリニアモータに対応する位置セ
ンサから前記一対のリニアモータに対応する一対のサー
ボへ与える帰還信号の付与形態を、前記スライド部材の
送り運動における運動特性に応じて切換手段により変更
可能としたことを特徴とするリニアモータ駆動方法であ
る。

【０００５】上記第１の発明の構成により、前記一対の
リニアモータに対応する位置センサから前記一対のリニ
アモータに対応する一対のサーボへ与える帰還信号の付
与形態を、前記スライド部材の送り運動における運動特
性に応じて切換手段により変更可能としてるので、Ｘ
軸、Ｙ軸及びＺ軸の各スライド部材の送り運動における
動特性の差異があっても、同一構成の駆動ユニットを使
用できる。つまり、各スライド部材の動特性に特有な駆
動ユニットを製造する必要性を排除できる。

【０００６】更に、第２の発明の構成は、上記第１の発
明の構成において、前記切換手段が、外部からの切替信
号に応じて、前記一対の位置センサのうち一方の位置セ
ンサの出力を該一方の位置センサに対応するリニアモー
タを駆動する一方のサーボのみに帰還信号として入力で
きるとともに、前記一対の位置センサのうち他方の位置
センサの出力を前記一対のサーボの各々に帰還信号とし
て入力できることである。

【０００７】上記第２の発明の構成により、上記第１の
発明の構成の作用とともに、前記切換手段が、外部から
の切替信号に応じて、前記一対の位置センサのうち一方
の位置センサの出力を該一方の位置センサに対応するリ
ニアモータを駆動する一方のサーボのみに帰還信号とし
て入力できるとともに、前記一対の位置センサのうち他
方の位置センサの出力を前記一対のサーボの各々に帰還
信号として入力できるので、前記一対のリニアモータを
相互に関連づけて制御することができる。この結果、前
記スライド部材の移動を円滑に行うことができる。

【０００８】更に、第３の発明の構成は、一つの制御軸
のための一対のリニアモータを駆動する駆動ユニットを
備えるものにおいて、前記一対のリニアモータのうち先
行傾向にあるリニアモータへの目標偏差は、前記一対の
リニアモータの目標位置指令と該先行傾向にあるリニア
モータに対応する位置センサの帰還信号とに基づいて求
め、前記一対のリニアモータのうち遅れ傾向にあるリニ
アモータへ与える目標偏差は、前記目標位置指令と該遅
れ傾向にあるリニアモータに対応する位置センサ及び前
記先行傾向にあるリニアモータに対応する位置センサの
帰還信号とに基づいて求め、前記遅れ傾向にあるリニア
モータへ与える目標偏差を前記先行傾向にあるリニアモ
ータへ与える目標偏差よりも前記一対のリニアモータの
送り速度に応じて増加するようにしたことを特徴とする
リニアモータ駆動方法である。

【０００９】上記第３の発明の構成により、一つの制御
軸のための一対のリニアモータを駆動する駆動ユニット
を備えるものにおいて、前記一対のリニアモータのうち
先行傾向にあるリニアモータへの目標偏差は、前記一対
のリニアモータの目標位置指令と該先行傾向にあるリニ
アモータに対応する位置センサの帰還信号とに基づいて
求め、前記一対のリニアモーアのうち遅れ傾向にあるリ
ニアモータへ与える目標偏差は、前記目標位置指令と該
遅れ傾向にあるリニアモータに対応する位置センサ及び
前記先行傾向にあるリニアモータに対応する位置センサ
の帰還信号とに基づいて求め、前記遅れ傾向にあるリニ
アモータへ与える目標偏差を前記先行傾向にあるリニア
モータへ与える目標偏差よりも前記一対のリニアモータ
の送り速度に応じて増加するようにしているので、遅れ
傾向にあるリニアモータを先行するリニアモータに追従
させるように制御することができる。このため、前記送
り速度が変化しても、一つの制御軸のための一対のリニ
アモータの位置をそろえることができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下図面を参照して、本願発明の
実施の形態を説明する。図１は、本願発明が適用される
工作機械の概観を表している。図１に示す工作機械１に
おいて、工具主軸４とワークを固定する図示しないテー
ブルとの位置を調整するために、後述する図２に示すＸ
軸リニアモータ１ａ、１ｂ、Ｙ軸リニアモータ２ａ、２
ｂ及びＺ軸リニアモータ３ａ、３ｂが配設されている。

【００１１】ベッド９上にコラム８が固定され、後述す
るＸ軸レール１１ａ、１１ｂに沿ってＸ軸方向に移動可
能なサドル７とベッド９との間にＸ軸リニアモータ１
ａ、１ｂが配設されている。更に、後述するＹ軸レール
１２ａ、１２ｂに沿ってＹ軸方向に移動可能な主軸ベッ
ド６とサドル７との間にＹ軸リニアモータ２ａ、２ｂが
配設され、後述するＺ軸レール１３ａ〜１３ｃに沿って
Ｚ軸方向に移動可能な主軸保持ラム５と主軸ベッド６と
の間にＺ軸リニアモータ３ａ、３ｂが配設されている。
なお、Ｘ軸レール１１ａがコラム８に配設され、Ｘ軸レ
ール１１ｂがベッド９に配設されている。Ｙ軸レール１
２ａ、１２ｂがサドル７に配設され、Ｚ軸レール１３
ａ、１３ｂ、１３ｃが主軸ベッド６に配設されている。
また、矢印２１はＸ軸方向を示し、矢印２２はＹ軸方向
を示している。更に、Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向及びＹ軸方
向に直交する方向である。

【００１２】図２は、図１に示す工作機械に使用される
制御システムのブロックを示している。図２において、
ＣＮＣ（Computer Numerical Control）３１は、ＣＰＵ
３１ａ、メモリ３１ｂ及びインタフェース３１ｃからな
り、Ｘ軸駆動ユニット３２、Ｙ軸駆動ユニット３５及び
Ｚ軸駆動ユニット３６を制御する。Ｘ軸駆動ユニット３
２は、一対のＸ軸リニアモータ１ａ、１ｂの駆動をする
ものであり、第１サーボ３２ａ、第２サーボ３２ｂ及び
分配切換器３２ｃからなる。第１サーボ３２ａはＣＰＵ
３３ａ、メモリ３３ｂ及びインタフェース３３ｃからな
り、第２サーボ３２ｂはＣＰＵ３４ａ、メモリ３４ｂ及
びインタフェース３４ｃからなる。前記リニアモータ１
ａはスライド部材１ｃ（図１のサドル７に相当する。）
の一方の端に配設され、前記リニアモータ１ｂは該スラ
イド部材１ｃの他方の端に配設されている。位置センサ
４１ａはリニアモータ１ａの位置を検出するように配設
され、位置センサ４１ｂはリニアモータ１ｂの位置を検
出するように配設されている。

【００１３】Ｙ軸駆動ユニット３５は、一対のＹ軸リニ
アモータ２ａ、２ｂを駆動するものである。位置センサ
４２ａはリニアモータ２ａの位置を検出するように配設
され、一方、位置センサ４２ｂはリニアモータ２ｂの位
置を検出するように配設されている。Ｚ軸駆動ユニット
３６は、一対のＺ軸リニアモータ３ａ、３ｂを駆動する
ものである。位置センサ４３ａはリニアモータ３ａの位
置を検出するように配設され、一方、位置センサ４３ｂ
はリニアモータ３ｂの位置を検出するように配設されて
いる。

【００１４】図３は、Ｘ、Ｙ、Ｚの各制御軸に入力され
る帰還信号の３つの付与形態を示している。図３（ａ）
は帰還モード００の場合を示している。この場合、分配
切換器３２ｃは切替信号００を受けて帰還モード００に
なり、位置センサ４１ａの位置検出値Ｃ１’(t) のみを
第１サーボ３２ａ及び第２サーボ３２ｂの両方に帰還し
ている。図３（ｂ）は帰還モード０１の場合を示してい
る。この場合、分配切換器３２ｃは切替信号０１を受け
て帰還モード０１になり、位置センサ４１ａの位置検出
値Ｃ１’(t) を第１サーボ３２ａに帰還し、位置センサ
４１ｂの位置検出値Ｃ２’(t) を第２サーボ３２ｂに帰
還している。図３（ｃ）は帰還モード１０の場合を示し
ている。この場合、分配切換器３２ｃは切替信号１０を
受けて帰還モード１０になり、位置センサ４１ａの位置
検出値Ｃ１’(t) を第１サーボ３２ａ及び第２サーボ３
２ｂに帰還し、位置センサ４１ｂの位置検出値Ｃ２’
(t) を第２サーボ３２ｂに帰還している。

【００１５】図２に示すＣＮＣ３１のインタフェース
（Ｉ／Ｆ）３１ｃからは、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸の各駆動ユニッ
ト３２、３５、３６に目標位置Ｃ１(t) と送り速度Ｖ１
(t) が図８の単位微小時間Δｔ間隔で入力される。輪郭
制御においては、補間演算をＣＮＣ３１のＣＰＵ３１ａ
が処理し、この処理後の軌跡データに基づいて前記目標
位置Ｃ１(t) と送り速度Ｖ１(t) が指令される。また、
Ｘ軸駆動ユニット３２には、ＣＮＣ３１から帰還モード
信号００、０１、１０が選択的に第１サーボ３２ａ、第
２サーボ３２ｂ及び分配切換器３２ｃに入力される。前
記帰還モード信号は、Ｙ軸駆動ユニット３５及びＺ軸駆
動ユニット３６にも同様に入力される。

【００１６】図４は、帰還モード００、０１、１０の動
作のフローチャートを示し、図５は図４の続きを示して
いる。例として図２のＸ軸駆動ユニット３２について以
下動作を説明する。なお、図６は駆動ユニット３２内の
第２サーボ３２ｂのＣＰＵ３４ａが図４の目標位置計算
ステップにおいて実行する処理の具体的内容を前記帰還
信号の３つの付与形態毎に示している。また、Ｙ軸駆動
ユニット３５及びＺ軸駆動ユニット３６のフローチャー
トは、Ｘ軸駆動ユニット３２のフローチャートと同様で
ある。 (1) 帰還モード００ 今、ＣＮＣ３１から帰還モード信号００が指定された状
態で、図８のｔ時点においてＣＮＣ３１から目標位置Ｃ
１(t) と指令速度Ｖ１(t) がＸ軸駆動ユニット３２の第
１サーボ３２ａ及び第２サーボ３２ｂに入力されたと仮
定する。この指令に応じて第１サーボ３２ａは入力され
た目標位置Ｃ(1) と位置センサ４１ａの帰還信号Ｃ１’
(t) との目標偏差Ｐ１(t) を算出し、この偏差出力によ
りＸ軸の下部に配置したリニアモータ１ａのための図示
しないサーボアンプを駆動する。なお、第１サーボ３２
ａの動作は下記の帰還モード０１、１０において同一で
あり、制御自体は周知であるので、第１サーボ３２ａの
ＣＰＵ３３ａが実行するプログラムのフローチャートは
省略されている。

【００１７】一方、第２サーボ３２ｂは、そのＣＰＵ３
４ａが図４のステップ１０１〜１０７を実行する。この
場合、ステップ１０５の目標偏差Ｐ１(t) の算出におい
ては、下部リニアモータ１ａ用の位置センサ４１ａから
の帰還信号Ｃ１’(t) を利用し、ステップ１０６にて出
力する目標偏差Ｐ１(t) が所定値ｅ以下になった時（ス
テップ１０７）、ステップ１２０において、次の微小時
間経過時点（図８のｔ＋Δｔ時点）における目標位置Ｃ
１(t) の指令をＣＮＣ３１に要求する。

【００１８】(2) 帰還モード０１ 今、このモードが指令された状態で、図８のｔ時点にお
いて、ＣＮＣ３１から目標位置Ｃ１(t) と指令速度Ｖ１
(t) がＸ軸駆動ユニット３２の第１及び第２サーボ３２
ａ、３２ｂに入力されたと仮定する。第１サーボ３２ａ
は、帰還モード００と同様に動作する。第２サーボ３２
ｂは、そのＣＰＵ３４ａが図４のステップ１０１〜１０
３、１０８〜１１１を実行する。この場合、ステップ１
０９の目標偏差Ｐ２(t) の算出においては、上部リニア
モータ１ｂ用の位置センサ４１ｂからの帰還信号Ｃ２’
(t) を利用し、ステップ１１０にて出力する目標偏差Ｐ
２(t) が所定値ｅ以下になった時（ステップ１１１）、
ステップ１２０において、次の微小時間経過時点（図８
のｔ＋Δｔ時点）における目標位置Ｃ１(t) の指令をＣ
ＮＣ３１に要求する。

【００１９】(3) 帰還モード１０ 今、このモードが指定された状態で、図８のｔ時点にお
いて、ＣＮＣ３１から目標位置Ｃ１(t) と指令速度Ｖ１
(t) がＸ軸駆動ユニット３２の第１サーボ３２ａ及び第
２サーボ３２ｂに入力されたと仮定する。第１サーボ３
２ａは、帰還モード００と同様に作動する。第２サーボ
３２ｂは、そのＣＰＵ３４ａが図４のステップ１０１〜
１０３、１１２〜１１９を実行する。この場合、ステッ
プ１１６においては、目標偏差Ｐ１(t) と第２サーボ３
２ｂが出力する目標偏差Ｐ２’(t) が算出される。即
ち、最初に目標偏差Ｐ２’(t) が次式により算出され
る。 Ｐ２’(t) ＝Ｃ１(t) −Ｃ２’(t)＋αｉ｛Ｐ１（ｔ−
Δｔ）−（Ｐ２（ｔ−Δｔ）｝ この場合、制御開始時点においては、上部及び下部リニ
アモータ１ａ、１ｂの位置は同一であるので、ステップ
１１５においてＰ１（ｔ−Δｔ）及びＰ２（ｔ−Δｔ）
が何れも零にセットされる。

【００２０】しかし、制御開始時点以外の微小時間経過
時点（図８のｔ時点）においては、微小時間Δｔ前の時
点（図８のｔ−Δｔ時点）における制御のために既に算
出されてメモリ３４ｂに記憶されている目標偏差の差に
重み係数αｉを乗算した補正値が算出されて加算され
る。ここで、重み係数αｉは、図７のテーブルから指令
速度Ｖ１(t) に応じてステップ１１２において選択的に
読み出される係数が加算される。このため、Ｘ軸の上部
リニアモータ１ｂ用の図示しないサーボアンプへ出力さ
れる目標偏差Ｐ２’(t) は、現時点（図８のｔ時点）か
ら微小時間前の先の時点（図８のｔ−Δｔ時点）におけ
る下部リニアモータ１ａと上部リニアモータ１ｂとの運
動位置の差を加味したものとして算出される。むろん、
リニアモータ１ａ、１ｂの駆動速度が増加するにつれ
て、上部及び下部リニアモータ１ａ、１ｂ間の位置ずれ
量が増大するので、図７に示すように重み係数αｉもこ
れに応じて数値が大きくされる。

【００２１】また、次回の微小時間経過時点（図８にお
けるｔ＋Δｔ時点）におけるステップ１１６での目標偏
差Ｐ２’(t) の計算に使用するために、今回の時点（図
８におけるｔ時点）において、目標偏差Ｐ１(t) とＰ２
(t) とが次式により計算される。 Ｐ１(t) ＝Ｃ１(t) −Ｃ１’(t) Ｐ２(t) ＝Ｃ１(t) −Ｃ２’(t) 次のステップ１１７においては、目標偏差Ｐ２’(t) が
上部リニアモーア１ｂのサーボアンプに出力され、これ
により遅れ傾向にあるリニアモーア（例えば、上部リニ
アモータ１ｂ）を先行するリニアモータ（例えば、下部
リニアモータ１ａ）に追従させるように制御される。

【００２２】このため、遅れ傾向にあるリニアモータ側
の帰還信号が実際の検出値よりも遅れた位置を示すよう
に見せかけ、これにより遅れ傾向にあるリニアモータ側
には実際の目標偏差よりも大きな見かけ上の目標値を付
与し、送り方向の後方に傾斜した状態で前進する傾向の
動的運動特性のスライド部材１ｃを傾斜のない状態で前
進するように制御する。ステップ１１８においては、次
回の微小時間経過時点（図８におけるｔ＋Δｔ時点）に
おけるステップ１１６での目標偏差Ｐ２’(t) の計算に
使用するために、今回のステップ１１６において算出さ
れた目標偏差Ｐ１(t) とＰ２(t) がメモリ３４ｂに記憶
される。

【００２３】更に、ステップ１１９において、目標偏差
Ｐ２’(t) が所定値ｅ以下になる時に、ステップ１２０
で次の微小時間経過時点（図８のｔ＋Δｔ時点）の目標
位置Ｃ１(t) がＣＮＣ３１に要求される。そして、位置
決め完了時にＣＮＣ３１から第２サーボ３２ｂに動作オ
フ指令が与えられたことがステップ１２１において判別
されるとき、第２サーボ３２ｂのＣＰＵ３４ａは図４及
び図５のプログラムの実行を終了する。

【００２４】以上の構成により、Ｘ軸駆動においては、
前記一対のリニアモータ１ａ、１ｂに対応する位置セン
サ４１ａ、４１ｂから前記一対のリニアモータ１ａ、１
ｂに対応する一対のサーボ３２ａ、３２ｂへ与える帰還
信号の付与形態を、スライド部材１ｃの送り運動におけ
る運動特性に応じて切換手段としての分配切換器３２ｃ
により変更可能としてるので、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の各
スライド部材１ｃ等の送り運動における動特性の差異が
あっても、同一構成の駆動ユニット３２、３５、３６を
使用できる。つまり、各スライド部材１ｃ等の動特性に
特有な駆動ユニットを製造する必要性を排除できる。

【００２５】更に、前記分配切換器３２ｃが、ＣＮＣ３
１からの切替信号に応じて、前記一対の位置センサ４１
ａ、４１ｂのうち一方の位置センサの出力を該一方の位
置センサに対応するリニアモータを駆動する一方のサー
ボのみに帰還信号として入力できるとともに、前記一対
の位置センサ４１ａ、４１ｂのうち他方の位置センサの
出力を前記一対のサーボ３２ａ、３２ｂの各々に帰還信
号として入力できるので、前記一対のリニアモータ１
ａ、１ｂを相互に関連づけて制御することができる。こ
の結果、前記スライド部材１ｃの移動を円滑に行うこと
ができる。

【００２６】更に、一つの制御軸のための一対のリニア
モータ１ａ、１ｂを駆動する駆動ユニット３２を備える
ものにおいて、前記一対のリニアモータ１ａ、１ｂのう
ち先行傾向にあるリニアモータへの目標偏差は、前記一
対のリニアモータ１ａ、１ｂの目標位置指令と該先行傾
向にあるリニアモータに対応する位置センサの帰還信号
とに基づいて求め、前記一対のリニアモーア１ａ、１ｂ
のうち遅れ傾向にあるリニアモータへ与える目標偏差
は、前記目標位置指令と該遅れ傾向にあるリニアモータ
に対応する位置センサ及び前記先行傾向にあるリニアモ
ータに対応する位置センサの帰還信号とに基づいて求
め、前記遅れ傾向にあるリニアモータへ与える目標偏差
を前記先行傾向にあるリニアモータへ与える目標偏差よ
りも前記一対のリニアモータの送り速度に応じて増加す
るようにしているので、遅れ傾向にあるリニアモータを
先行するリニアモータに追従させるように制御すること
ができる。このため、前記送り速度が変化しても、一つ
の制御軸のための一対のリニアモータ１ａ、１ｂの位置
をそろえることができる。

【００２７】なお、上記実施の形態において、各駆動ユ
ニット３２、３５、３６には、サーボのＣＰＵを２つ設
けているが、１つのＣＰＵにすることもできる。

【００２８】

【発明の効果】本願の第１の発明に係わるリニアモータ
駆動方法によれば、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の各スライド部
材の送り運動における動特性の差異があっても、同一構
成の駆動ユニットを使用できる。つまり、各スライド部
材の動特性に特有な駆動ユニットを製造する必要性を排
除できる。このため、特に、本願発明のリニアモータ駆
動方法を採用した工作機械のワークと工具との位置調整
の精度を向上させることができる。更に、第２の発明に
係わるリニアモータ駆動方法によって、上記第１の発明
の効果とともに、一対のリニアモータを相互に関連づけ
て制御することができるため、前記スライド部材の移動
を一層円滑に行うことができる。このため、特に、本願
発明のリニアモータ駆動方法を採用した工作機械のワー
クと工具との位置調整の精度を一層向上させることがで
きる。更に、第３の発明に係わるリニアモータの駆動方
法によれば、遅れ傾向にあるリニアモータを先行するリ
ニアモータに追従するように制御することができるた
め、Ｘ軸等の制御軸のための一対のリニアモータの制御
を円滑に行うことができる。このため、特に、本願発明
のリニアモータ駆動方法を採用した工作機械のワークと
工具の位置調整を更に向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願発明が適用される工作機械の概観正面図で
ある。

【図２】図１に示す工作機械に使用される制御システム
のブロック図である。

【図３】Ｘ軸駆動ユニットに入力される帰還信号の３つ
の付与形態を示す説明図である。

【図４】図２のＸ軸駆動ユニット内のサーボ２のＣＰＵ
が実行する処理の概要を示すフローチャートである。

【図５】図４の続きを示すフローチャートである。

【図６】サーボ２のＣＰＵが図４の目標位置計算ステッ
プにおいて実行する処理の具体的内容を前記帰還信号の
３つの付与形態毎に示す説明図である。

【図７】重み係数テーブルの説明図である。

【図８】単位微小時間毎に目標位置が指令されることの
説明図である。

【符号の説明】

１ａ、１ｂ リニアモータ １ｃ スライド部材 ２ａ、２ｂ リニアモータ ３ａ、３ｂ リニアモータ ３２ Ｘ軸制御ユニット ３２ａ、３２ｂ サーボ ３２ｃ 分配切換器 ３５ Ｘ軸制御ユニット ３６ Ｘ軸制御ユニット ４１ａ、４１ｂ 位置センサ ４２ａ、４２ｂ 位置センサ ４３ａ、４３ｂ 位置センサ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 １つのスライド部材の両側を一対のリニ
   アモータにて同期駆動する駆動方法において、 前記一対のリニアモータに対応する位置センサから前記
   一対のリニアモータに対応する一対のサーボへ与える帰
   還信号の付与形態を、前記スライド部材の送り運動にお
   ける運動特性に応じて切換手段により変更可能としたこ
   とを特徴とするリニアモータ駆動方法。
2. 【請求項２】 前記切換手段が、外部からの切替信号に
   応じて、前記一対の位置センサのうち一方の位置センサ
   の出力を該一方の位置センサに対応するリニアモータを
   駆動する一方のサーボのみに帰還信号として入力できる
   とともに、前記一対の位置センサのうち他方の位置セン
   サの出力を前記一対のサーボの各々に帰還信号として入
   力できることを特徴とする請求項１記載のリニアモータ
   駆動方法。
3. 【請求項３】 一つの制御軸のための一対のリニアモー
   タを駆動する駆動ユニットを備えるものにおいて、 前記一対のリニアモータのうち先行傾向にあるリニアモ
   ータへの目標偏差は、前記一対のリニアモータの目標位
   置指令と該先行傾向にあるリニアモータに対応する位置
   センサの帰還信号とに基づいて求め、 前記一対のリニアモータのうち遅れ傾向にあるリニアモ
   ータへ与える目標偏差は、前記目標位置指令と該遅れ傾
   向にあるリニアモータに対応する位置センサ及び前記先
   行傾向にあるリニアモータに対応する位置センサの帰還
   信号とに基づいて求め、 前記遅れ傾向にあるリニアモータへ与える目標偏差を前
   記先行傾向にあるリニアモータへ与える目標偏差よりも
   前記一対のリニアモータの送り速度に応じて増加するよ
   うにしたことを特徴とするリニアモータ駆動方法。