JPH10260056A - 振動性回転センサ、これを制御し読出すための方法、およびその方法を実行するための装置 - Google Patents
振動性回転センサ、これを制御し読出すための方法、およびその方法を実行するための装置Info
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- JPH10260056A JPH10260056A JP10034927A JP3492798A JPH10260056A JP H10260056 A JPH10260056 A JP H10260056A JP 10034927 A JP10034927 A JP 10034927A JP 3492798 A JP3492798 A JP 3492798A JP H10260056 A JPH10260056 A JP H10260056A
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- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/567—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode
- G01C19/5691—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode of essentially three-dimensional vibrators, e.g. wine glass-type vibrators
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 振動性回転センサを制御しかつ読出すための
方法を提供する。 【解決手段】 １個または２個以上の電極が共振器の表
面に装着され、１つの出力ポートに接続される。ハウジ
ングは、共振器電極に極めて近接する複数の装着された
電極を有する。振動性回転センサを制御しかつ読出す方
法は、駆動電圧をハウジング電極に印加するステップ
と、定在波のパラメータを、共振器の出力ポートから現
われる共振器信号に対して演算を行なうことによって定
めるステップとを含む。ハウジング電極に印加される駆
動電圧は、ハウジング電極−共振器電極の容量を通して
伝達される結果、１つの共振器信号にまとめられる。駆
動電圧に含まれる励起電圧および強制駆動電圧は共振器
信号に対して行なわれる適当な演算によって分離可能な
ように設計される。
方法を提供する。 【解決手段】 １個または２個以上の電極が共振器の表
面に装着され、１つの出力ポートに接続される。ハウジ
ングは、共振器電極に極めて近接する複数の装着された
電極を有する。振動性回転センサを制御しかつ読出す方
法は、駆動電圧をハウジング電極に印加するステップ
と、定在波のパラメータを、共振器の出力ポートから現
われる共振器信号に対して演算を行なうことによって定
めるステップとを含む。ハウジング電極に印加される駆
動電圧は、ハウジング電極−共振器電極の容量を通して
伝達される結果、１つの共振器信号にまとめられる。駆
動電圧に含まれる励起電圧および強制駆動電圧は共振器
信号に対して行なわれる適当な演算によって分離可能な
ように設計される。
Description
【０００１】
【関連出願への相互参照】この発明の内容は、クーマ
（Kumar ）およびフォスター（Foster）による「ＡＣ強
制駆動およびセンシング電子部品を備えた振動性回転セ
ンサ」（VibratoryRotation Sensor with AC Forcing a
nd Sensing Electronics ）と、マシューズ（Matthew
s）、バーティ（Varty ）、リ（Li）、およびリンチ（L
ynch ）による「振動性回転センサ、これを制御し読出
すための方法、およびその方法を実行するための装置」
（Vibratory Rotation Sensor with Whole-Angle Track
ing ）と、リンチ（Lynch ）による「振動性回転センサ
の共振器に力を付与するための方法」（Vibratory Rota
tion Sensor with AC Forcing Voltages）との特許出願
に開示される発明によって共有される。
（Kumar ）およびフォスター（Foster）による「ＡＣ強
制駆動およびセンシング電子部品を備えた振動性回転セ
ンサ」（VibratoryRotation Sensor with AC Forcing a
nd Sensing Electronics ）と、マシューズ（Matthew
s）、バーティ（Varty ）、リ（Li）、およびリンチ（L
ynch ）による「振動性回転センサ、これを制御し読出
すための方法、およびその方法を実行するための装置」
（Vibratory Rotation Sensor with Whole-Angle Track
ing ）と、リンチ（Lynch ）による「振動性回転センサ
の共振器に力を付与するための方法」（Vibratory Rota
tion Sensor with AC Forcing Voltages）との特許出願
に開示される発明によって共有される。
【０００２】
【発明の背景】この発明は、一般的に振動性回転センサ
に関し、より特定的にはそのような回転センサに関連す
る電子部品に関する。
に関し、より特定的にはそのような回転センサに関連す
る電子部品に関する。
【０００３】図１に分解された状態で示される先行技術
の振動性回転センサ（ＶＲＳ）１０は、外部部材１２、
半球状の共振器１４、および内部部材１６からなり、こ
れらはすべて融解石英でできており、インジウムで共に
接合されている。慣性に敏感な素子は、壁の薄い５．８
ｃｍ直径の半球状の共振器１４であり、これは外部部材
１２と内部部材１６との間に位置づけられ、軸２６によ
って支持される。
の振動性回転センサ（ＶＲＳ）１０は、外部部材１２、
半球状の共振器１４、および内部部材１６からなり、こ
れらはすべて融解石英でできており、インジウムで共に
接合されている。慣性に敏感な素子は、壁の薄い５．８
ｃｍ直径の半球状の共振器１４であり、これは外部部材
１２と内部部材１６との間に位置づけられ、軸２６によ
って支持される。
【０００４】環状の強制駆動電極２０および１６個の別
個の強制駆動電極２２は、外部部材１２の内表面上に堆
積される。組立てたＶＲＳ１０では、環状の強制駆動電
極２０と１６個の別個の強制駆動電極２２とは半球状の
共振器１４の外側の金属被覆された表面３２に極めて近
接する。組立てたＶＲＳでは、内部部材１６上に堆積さ
れた８個のピックオフ電極２４は、半球状の共振器１４
の内側の金属被覆された表面３０に極めて近接する。
個の強制駆動電極２２は、外部部材１２の内表面上に堆
積される。組立てたＶＲＳ１０では、環状の強制駆動電
極２０と１６個の別個の強制駆動電極２２とは半球状の
共振器１４の外側の金属被覆された表面３２に極めて近
接する。組立てたＶＲＳでは、内部部材１６上に堆積さ
れた８個のピックオフ電極２４は、半球状の共振器１４
の内側の金属被覆された表面３０に極めて近接する。
【０００５】半球状の共振器１４と環状の強制駆動電極
２０との間の適当な強制駆動電圧によって容量性の力を
半球状の共振器１４に働かせ、半球状の共振器を最下位
の不拡張な（または曲がる）モードで振動させることが
できる。円周のまわりの９０度の間隔での４つの波腹
と、波腹から４５度外れた４つの波節とを有する定在波
が確立される。０度および１８０度の波腹点は、９０度
および２７０度の波腹点とは９０度位相外れで発振す
る。定在波のため、半球状の共振器の縁の形は円形から
（０度／１８０度の波腹を通る半長径での）楕円形、さ
らに円形から（９０度／２７０度）の波腹を通る半長径
での）楕円形へと変化する。
２０との間の適当な強制駆動電圧によって容量性の力を
半球状の共振器１４に働かせ、半球状の共振器を最下位
の不拡張な（または曲がる）モードで振動させることが
できる。円周のまわりの９０度の間隔での４つの波腹
と、波腹から４５度外れた４つの波節とを有する定在波
が確立される。０度および１８０度の波腹点は、９０度
および２７０度の波腹点とは９０度位相外れで発振す
る。定在波のため、半球状の共振器の縁の形は円形から
（０度／１８０度の波腹を通る半長径での）楕円形、さ
らに円形から（９０度／２７０度）の波腹を通る半長径
での）楕円形へと変化する。
【０００６】半球状の共振器の縁３４の平面に垂直であ
る軸についてＶＲＳ１０が回転すると、定在波はＶＲＳ
に関して反対の方向へ、ＶＲＳ１０の回転の角度に比例
する角度だけ回転する。そのため、ＶＲＳ１０に関して
定在波の回転の角度を測定することによってＶＲＳ１０
の回転の角度を判断することができる。
る軸についてＶＲＳ１０が回転すると、定在波はＶＲＳ
に関して反対の方向へ、ＶＲＳ１０の回転の角度に比例
する角度だけ回転する。そのため、ＶＲＳ１０に関して
定在波の回転の角度を測定することによってＶＲＳ１０
の回転の角度を判断することができる。
【０００７】半球状の共振器１４の振動モードは、半球
状の共振器１４にＤＣバイアス電圧を与え、環状の強制
駆動電極２０にＡＣ電圧を与えることで励起される。Ａ
Ｃ電圧の周波数は半球状の共振器１４の共振周波数の２
倍である。
状の共振器１４にＤＣバイアス電圧を与え、環状の強制
駆動電極２０にＡＣ電圧を与えることで励起される。Ａ
Ｃ電圧の周波数は半球状の共振器１４の共振周波数の２
倍である。
【０００８】ＶＲＳ１０に関する定在波パターンの角度
は、半球状の共振器１４が振動し、半球状の共振器に関
するピックオフ電極２４の容量が異なるにつれ、ピック
オフ電極２４に流出入する電流を測定することで定めら
れる。ｘ軸の信号Ｉx は、組合せＩ0 −Ｉ90＋Ｉ180 −
Ｉ270 から得られ、ここで添字は電流が生じる電極のｘ
軸に対する角度位置を識別する。同様に、ｙ軸の信号Ｉ
y は、組合せＩ45−Ｉ 135 ＋Ｉ225 −Ｉ315 から得られ
る。０度の（つまりｘ）軸に関する定在波パターンの角
度の２倍の正接は、Ｉy のＩx に対する比によって与え
られる。
は、半球状の共振器１４が振動し、半球状の共振器に関
するピックオフ電極２４の容量が異なるにつれ、ピック
オフ電極２４に流出入する電流を測定することで定めら
れる。ｘ軸の信号Ｉx は、組合せＩ0 −Ｉ90＋Ｉ180 −
Ｉ270 から得られ、ここで添字は電流が生じる電極のｘ
軸に対する角度位置を識別する。同様に、ｙ軸の信号Ｉ
y は、組合せＩ45−Ｉ 135 ＋Ｉ225 −Ｉ315 から得られ
る。０度の（つまりｘ）軸に関する定在波パターンの角
度の２倍の正接は、Ｉy のＩx に対する比によって与え
られる。
【０００９】半球状の共振器１４の厚さが不均一である
ため、第１の定在波が確立されると第２の定在波の発達
につながり、第２の定在波は、第１の定在波の波節と一
致する波腹と直角位相で発振する。適当な電圧を１６個
の別個の強制駆動電極２２に与えることで第２の定在波
の発達を抑えることができる。
ため、第１の定在波が確立されると第２の定在波の発達
につながり、第２の定在波は、第１の定在波の波節と一
致する波腹と直角位相で発振する。適当な電圧を１６個
の別個の強制駆動電極２２に与えることで第２の定在波
の発達を抑えることができる。
【００１０】環状の強制駆動電極２０および別個の強制
駆動電極２２に印加されるＡＣ強制駆動電圧の大きさを
減じ、かつ共振器に働く力をＡＣ駆動電圧の線形関数に
するために、ＤＣバイアス電圧が典型的に半球状の共振
器１４で維持される。ＤＣバイアス電圧が存在する結
果、ＶＲＳの電気的特性がゆっくりと変化するが、この
ことは外部部材１２および内部部材１６においてまたは
その内部で起こる電荷移動現象によって生じる容量の変
化に帰するとされてきた。このゆっくりとした変化は、
時が経つと許容できないほどの大きな性能劣化につなが
り、この影響を補うため特殊な手段を提供しなければな
らない。
駆動電極２２に印加されるＡＣ強制駆動電圧の大きさを
減じ、かつ共振器に働く力をＡＣ駆動電圧の線形関数に
するために、ＤＣバイアス電圧が典型的に半球状の共振
器１４で維持される。ＤＣバイアス電圧が存在する結
果、ＶＲＳの電気的特性がゆっくりと変化するが、この
ことは外部部材１２および内部部材１６においてまたは
その内部で起こる電荷移動現象によって生じる容量の変
化に帰するとされてきた。このゆっくりとした変化は、
時が経つと許容できないほどの大きな性能劣化につなが
り、この影響を補うため特殊な手段を提供しなければな
らない。
【００１１】
【発明の概要】この発明は、共振器および共振器を支持
するハウジングを含む振動性回転センサと、多重化電子
部品を利用してそのようなセンサを制御しかつ読出すた
めの方法とである。共振器は、複数の定在波モードにお
いて振動させることができる回転的に対称で壁の薄い物
体である。１個または２個以上の電極が共振器の表面に
装着され、互いに電気的に接続され、かつ共振器信号が
現われる１つの出力ポートに電気的に接続される。ハウ
ジングは、１個または２個以上の共振器電極に極めて近
接する複数の装着された電極を有する。
するハウジングを含む振動性回転センサと、多重化電子
部品を利用してそのようなセンサを制御しかつ読出すた
めの方法とである。共振器は、複数の定在波モードにお
いて振動させることができる回転的に対称で壁の薄い物
体である。１個または２個以上の電極が共振器の表面に
装着され、互いに電気的に接続され、かつ共振器信号が
現われる１つの出力ポートに電気的に接続される。ハウ
ジングは、１個または２個以上の共振器電極に極めて近
接する複数の装着された電極を有する。
【００１２】振動性回転センサを制御しかつ読出すため
の方法は、複数の駆動電圧を発生するステップと、駆動
電圧をハウジング電極に印加するステップと、１つまた
は２つ以上の定在波のパラメータを、共振器の出力ポー
トに現われる共振器信号に対して演算を行なうことによ
って定めるステップとを含む。
の方法は、複数の駆動電圧を発生するステップと、駆動
電圧をハウジング電極に印加するステップと、１つまた
は２つ以上の定在波のパラメータを、共振器の出力ポー
トに現われる共振器信号に対して演算を行なうことによ
って定めるステップとを含む。
【００１３】ハウジング電極に印加される駆動電圧は、
ハウジング電極と共振器電極との間に存在する容量によ
って共振器の出力ポートへ伝達される。駆動電圧は、励
起電圧、または強制駆動電圧、またはその両方を含んで
もよい。励起電圧は共振器ダイナミックスに実質的に何
の影響も与えないが、共振器の出力ポートへ到達すると
きには定在波のパラメータに関係する情報を担持してい
る。強制駆動電圧は共振器に力を付与させ、それによっ
て共振器のダイナミックスおよび定在波のパラメータに
影響を及ぼす。
ハウジング電極と共振器電極との間に存在する容量によ
って共振器の出力ポートへ伝達される。駆動電圧は、励
起電圧、または強制駆動電圧、またはその両方を含んで
もよい。励起電圧は共振器ダイナミックスに実質的に何
の影響も与えないが、共振器の出力ポートへ到達すると
きには定在波のパラメータに関係する情報を担持してい
る。強制駆動電圧は共振器に力を付与させ、それによっ
て共振器のダイナミックスおよび定在波のパラメータに
影響を及ぼす。
【００１４】ハウジング電極に印加される駆動電圧は、
ハウジング電極−共振器電極の容量を通して伝達される
結果、１つの共振器信号にまとめられる。定在波のパラ
メータを抽出するために、励起電圧と強制駆動電圧とは
共振器信号に対して行なわれる適当な演算によって分離
可能なように設計される。
ハウジング電極−共振器電極の容量を通して伝達される
結果、１つの共振器信号にまとめられる。定在波のパラ
メータを抽出するために、励起電圧と強制駆動電圧とは
共振器信号に対して行なわれる適当な演算によって分離
可能なように設計される。
【００１５】励起および強制駆動電圧は、さまざまな態
様で構成することができる。周波数分割多重化のアプロ
ーチでは、結果として、励起電圧は分離された周波数帯
域に制限され、強制駆動電圧の周波数スペクトルは励起
電圧に関連する周波数帯域から分離された周波数帯域に
制限される。
様で構成することができる。周波数分割多重化のアプロ
ーチでは、結果として、励起電圧は分離された周波数帯
域に制限され、強制駆動電圧の周波数スペクトルは励起
電圧に関連する周波数帯域から分離された周波数帯域に
制限される。
【００１６】位相分割多重化のアプローチでは、結果と
して、励起電圧は、周波数は同じであるが位相が４分の
１サイクルだけ異なる周期関数となり、強制駆動電圧の
周波数スペクトルは励起電圧の周波数から分離された周
波数帯域に制限される。
して、励起電圧は、周波数は同じであるが位相が４分の
１サイクルだけ異なる周期関数となり、強制駆動電圧の
周波数スペクトルは励起電圧の周波数から分離された周
波数帯域に制限される。
【００１７】時分割多重化のアプローチの１つでは、結
果として励起電圧は、０および１の値をとる独自の方形
波に比例し、各強制駆動電圧は、０および１の値をとる
方形波に比例する乗法的因子を含み、ここで、どの時点
においても、励起および強制駆動電圧に関連する方形波
のうち１つだけが１の値をとる。
果として励起電圧は、０および１の値をとる独自の方形
波に比例し、各強制駆動電圧は、０および１の値をとる
方形波に比例する乗法的因子を含み、ここで、どの時点
においても、励起および強制駆動電圧に関連する方形波
のうち１つだけが１の値をとる。
【００１８】第２の時分割多重化のアプローチでは、結
果として各励起電圧は、予め定められた周波数および位
相を有する周期関数と、０および１の値をとる独自の方
形波との積に比例し、各強制駆動電圧は、０および１の
値をとる方形波に比例する乗法的因子を含み、どの時点
においても励起および強制駆動電圧に関連する方形波の
うち１つだけが１の値をとる。
果として各励起電圧は、予め定められた周波数および位
相を有する周期関数と、０および１の値をとる独自の方
形波との積に比例し、各強制駆動電圧は、０および１の
値をとる方形波に比例する乗法的因子を含み、どの時点
においても励起および強制駆動電圧に関連する方形波の
うち１つだけが１の値をとる。
【００１９】符号分割多重化のアプローチでは、結果と
して励起電圧は、予め定められた擬似ランダムシーケン
スに従って−１および１の値をとる独自の方形波に比例
し、強制駆動電圧の周波数スペクトルは、励起電圧に関
連する周波数帯域から分離された周波数帯域に制限され
る。
して励起電圧は、予め定められた擬似ランダムシーケン
スに従って−１および１の値をとる独自の方形波に比例
し、強制駆動電圧の周波数スペクトルは、励起電圧に関
連する周波数帯域から分離された周波数帯域に制限され
る。
【００２０】共振器信号から定在波のパラメータを抽出
するプロセスは、まず共振器信号から少なくとも２つの
成分を抽出し、次にその２つの成分に対して演算を行な
うことによって定在波のパラメータを定めることを含
む。２つの成分が分離された周波数帯域を占める周波数
分割多重化の場合、各成分は、共振器信号に対して、分
離された周波数帯域を区別する演算を行なうことによっ
て抽出される。
するプロセスは、まず共振器信号から少なくとも２つの
成分を抽出し、次にその２つの成分に対して演算を行な
うことによって定在波のパラメータを定めることを含
む。２つの成分が分離された周波数帯域を占める周波数
分割多重化の場合、各成分は、共振器信号に対して、分
離された周波数帯域を区別する演算を行なうことによっ
て抽出される。
【００２１】２つの成分が、周波数が同じで位相が４分
の１サイクルだけ異なる周期関数である位相分割多重化
の場合、各成分は、共振器信号に対して、２つの成分の
位相を区別する演算を行なうことによって抽出される。
の１サイクルだけ異なる周期関数である位相分割多重化
の場合、各成分は、共振器信号に対して、２つの成分の
位相を区別する演算を行なうことによって抽出される。
【００２２】２つの成分が異なる時間において共振器信
号内に存在する時分割多重化の場合、各成分は、共振器
信号に対して、異なる時間を区別する演算を行なうこと
によって抽出される。
号内に存在する時分割多重化の場合、各成分は、共振器
信号に対して、異なる時間を区別する演算を行なうこと
によって抽出される。
【００２３】２つの成分が０および１の擬似ランダムシ
ーケンスであり擬似ランダムシーケンスの交差相関関係
が０である符号分割多重化の場合、各成分は、共振器信
号に対して、２つの擬似ランダムシーケンスを区別する
演算を行なうことによって抽出される。
ーケンスであり擬似ランダムシーケンスの交差相関関係
が０である符号分割多重化の場合、各成分は、共振器信
号に対して、２つの擬似ランダムシーケンスを区別する
演算を行なうことによって抽出される。
【００２４】
【好ましい実施例の説明】この発明は、制御および読出
が多重化電圧によって実行される振動性回転センサであ
る。この発明の振動性回転センサは、共振器、共振器が
装着されるハウジング、および多重化電子部品を含む。
共振器は定在波振動モードを有する、回転的に対称で壁
の薄い、どんな物体であってもよい。先行技術では典型
的に、共振器の形は半球状であることが提案されてい
る。
が多重化電圧によって実行される振動性回転センサであ
る。この発明の振動性回転センサは、共振器、共振器が
装着されるハウジング、および多重化電子部品を含む。
共振器は定在波振動モードを有する、回転的に対称で壁
の薄い、どんな物体であってもよい。先行技術では典型
的に、共振器の形は半球状であることが提案されてい
る。
【００２５】定在波のパラメータを定め、共振器のダイ
ナミックスを制御するための簡略化された方法が図２に
示される。定在波は、図に示されるｘ軸およびｙ軸に関
して説明することができる。同相定在波に対する図２に
示される同相波腹軸に沿った円からの共振器の縁の偏差
は、ｃｏｓ（ωｔ＋φ）として変化すると仮定され、こ
こでωは振動周波数である。同相波腹軸の角度位置また
は位置角度は、ｘ軸から右回りに測定されるθである。
直角位相定在波に対する直角位相波腹軸に沿った円から
の共振器の縁の偏差は、ｓｉｎ（ωｔ＋φ）として変化
すると仮定し、直角位相波腹軸は同相波腹軸から右回り
に４５度外されている。
ナミックスを制御するための簡略化された方法が図２に
示される。定在波は、図に示されるｘ軸およびｙ軸に関
して説明することができる。同相定在波に対する図２に
示される同相波腹軸に沿った円からの共振器の縁の偏差
は、ｃｏｓ（ωｔ＋φ）として変化すると仮定され、こ
こでωは振動周波数である。同相波腹軸の角度位置また
は位置角度は、ｘ軸から右回りに測定されるθである。
直角位相定在波に対する直角位相波腹軸に沿った円から
の共振器の縁の偏差は、ｓｉｎ（ωｔ＋φ）として変化
すると仮定し、直角位相波腹軸は同相波腹軸から右回り
に４５度外されている。
【００２６】共振器の内表面に堆積された円周上に連続
した共振器電極４２は、マルチプレクサ４８によって供
給される方形波電圧ＶB によってバイアスされる。ＶB
の符号は、周期的に反転し、再平衡する力のモードで動
作する場合にイオン移動およびＶＲＳスケールファクタ
における大きな変動を避けるようにする。この目的を達
成するために、方形波周波数は好ましくは少なくとも数
Ｈｚでなければならない。方形波周波数を共振器の振動
周波数と等しくすると、設計上便利な点が生じることも
ある。強制駆動電圧が連続して印加されない場合、強制
駆動電圧が存在しない際のＶB の大きさはゼロに等しく
設定してもよい。
した共振器電極４２は、マルチプレクサ４８によって供
給される方形波電圧ＶB によってバイアスされる。ＶB
の符号は、周期的に反転し、再平衡する力のモードで動
作する場合にイオン移動およびＶＲＳスケールファクタ
における大きな変動を避けるようにする。この目的を達
成するために、方形波周波数は好ましくは少なくとも数
Ｈｚでなければならない。方形波周波数を共振器の振動
周波数と等しくすると、設計上便利な点が生じることも
ある。強制駆動電圧が連続して印加されない場合、強制
駆動電圧が存在しない際のＶB の大きさはゼロに等しく
設定してもよい。
【００２７】共振器電極４２は、ＤＣブロッキングキャ
パシタ４３を通して増幅器デマルチプレクサ４４に接続
する。ＶＲＳハウジングに装着される８個の電極４６
は、円周のまわりに等間隔に置かれ共振器電極４２に極
めて近接し、一番上のｘｐ電極はｘ軸上に中心づけられ
ている。８個の電極４６にはマルチプレクサ４８からの
駆動電圧Ｖxp（ｔ）、Ｖxn（ｔ）、Ｖyp（ｔ）、および
Ｖyn（ｔ）が供給され、ここでは下の式（１）のとおり
である。励起電圧の好ましい実施例は正弦曲線ｃｏｓ
（ωx ｔ＋ψx ）およびｃｏｓ（ωy ｔ＋ψy ）を含
む。正弦曲線の代わりに、普通の方形波を含むさまざま
な周期関数Ｆ（ωx ｔ＋ψx ）を利用してもよい。励起
電圧Ｖmx（ｔ）ｃｏｓ（ωx ｔ＋ψx ）およびＶ
my（ｔ）ｃｏｓ（ωyｔ＋ψy ）は共振器上の定在波の
パラメータに影響を及ぼさないように設計される。角周
波数ωx およびωy ならびに位相ψx およびψy は、用
いられている多重化のタイプに依存する。強制駆動電圧
Ｖcx（ｔ）Ｕxp（ｔ）、Ｖcx（ｔ）Ｕxn（ｔ）、Ｖ
cy（ｔ）Ｕyp（ｔ）、およびＶcy（ｔ）Ｕyn（ｔ）は、
共振器上の１つまたは２つ以上の定在波のパラメータを
制御する目的で共振器に力を付与させる。関数Ｕ
xp（ｔ）、Ｕxn（ｔ）、Ｕyp（ｔ）、およびＵyn（ｔ）
は制御装置５０によって生じ、マルチプレクサ４８に供
給される。電圧Ｖcx（ｔ）およびＶcy（ｔ）は、強制駆
動電圧を励起電圧から分離するのに用いられる予め定め
られた関数であり、ＶB の符号反転に同期して符号が反
転する。たとえば、Ｖcx（ｔ）Ｕxp（ｔ）によって共振
器４２に働く力は［ＶB −Ｖcx（ｔ）Ｕxp（ｔ）］2 に
比例する。ＶB およびＶcx（ｔ）は同期して符号が反転
するため、符号反転は共振器に働く力に何の影響も及ぼ
さない。
パシタ４３を通して増幅器デマルチプレクサ４４に接続
する。ＶＲＳハウジングに装着される８個の電極４６
は、円周のまわりに等間隔に置かれ共振器電極４２に極
めて近接し、一番上のｘｐ電極はｘ軸上に中心づけられ
ている。８個の電極４６にはマルチプレクサ４８からの
駆動電圧Ｖxp（ｔ）、Ｖxn（ｔ）、Ｖyp（ｔ）、および
Ｖyn（ｔ）が供給され、ここでは下の式（１）のとおり
である。励起電圧の好ましい実施例は正弦曲線ｃｏｓ
（ωx ｔ＋ψx ）およびｃｏｓ（ωy ｔ＋ψy ）を含
む。正弦曲線の代わりに、普通の方形波を含むさまざま
な周期関数Ｆ（ωx ｔ＋ψx ）を利用してもよい。励起
電圧Ｖmx（ｔ）ｃｏｓ（ωx ｔ＋ψx ）およびＶ
my（ｔ）ｃｏｓ（ωyｔ＋ψy ）は共振器上の定在波の
パラメータに影響を及ぼさないように設計される。角周
波数ωx およびωy ならびに位相ψx およびψy は、用
いられている多重化のタイプに依存する。強制駆動電圧
Ｖcx（ｔ）Ｕxp（ｔ）、Ｖcx（ｔ）Ｕxn（ｔ）、Ｖ
cy（ｔ）Ｕyp（ｔ）、およびＶcy（ｔ）Ｕyn（ｔ）は、
共振器上の１つまたは２つ以上の定在波のパラメータを
制御する目的で共振器に力を付与させる。関数Ｕ
xp（ｔ）、Ｕxn（ｔ）、Ｕyp（ｔ）、およびＵyn（ｔ）
は制御装置５０によって生じ、マルチプレクサ４８に供
給される。電圧Ｖcx（ｔ）およびＶcy（ｔ）は、強制駆
動電圧を励起電圧から分離するのに用いられる予め定め
られた関数であり、ＶB の符号反転に同期して符号が反
転する。たとえば、Ｖcx（ｔ）Ｕxp（ｔ）によって共振
器４２に働く力は［ＶB −Ｖcx（ｔ）Ｕxp（ｔ）］2 に
比例する。ＶB およびＶcx（ｔ）は同期して符号が反転
するため、符号反転は共振器に働く力に何の影響も及ぼ
さない。
【００２８】
【数１】
【００２９】共振器電極４２から増幅器デマルチプレク
サ４４へ流れ込む電流Ｉ（ｔ）は下の式（２）によって
与えられ、ここでは下の式（３）が当てはまる。容量Ｃ
xp、Ｃxn、Ｃyp、およびＣynは、共振器電極４２に関す
るｘｐ、ｘｎ、ｙｐ、およびｙｎ電極４６の容量であ
る。角周波数ωUxp 、ωUxn 、ωUyp 、およびωUyn は
対応するＵに関連するものであり、典型的には２ω以下
であり、ここでωは共振器振動周波数である。記号ＫI
は定数を示す。駆動電圧と結果生じる電流との位相差は
重要ではなく、下の等式（２）、（３）では無視してい
る。容量は下の式（４）で与えられ、ここでＣo は、共
振器が励起されていない際の電極対の容量であり、ｄi
およびｄq はそれぞれ、共振器が励起されていない際の
共振器電極４２と電極４６との間の間隙によって除算さ
れるｃｏｓ（ωｔ＋φ）に関する同相および直角位相モ
ードの最大曲げ振幅であり、θは同相の定在波の波腹と
ｘ軸との間の角度であり、ωは共振器の振動の角周波数
であり、φは任意位相角である。ｄi およびｄq の高位
を含む項は下の式（４）では無視されている。
サ４４へ流れ込む電流Ｉ（ｔ）は下の式（２）によって
与えられ、ここでは下の式（３）が当てはまる。容量Ｃ
xp、Ｃxn、Ｃyp、およびＣynは、共振器電極４２に関す
るｘｐ、ｘｎ、ｙｐ、およびｙｎ電極４６の容量であ
る。角周波数ωUxp 、ωUxn 、ωUyp 、およびωUyn は
対応するＵに関連するものであり、典型的には２ω以下
であり、ここでωは共振器振動周波数である。記号ＫI
は定数を示す。駆動電圧と結果生じる電流との位相差は
重要ではなく、下の等式（２）、（３）では無視してい
る。容量は下の式（４）で与えられ、ここでＣo は、共
振器が励起されていない際の電極対の容量であり、ｄi
およびｄq はそれぞれ、共振器が励起されていない際の
共振器電極４２と電極４６との間の間隙によって除算さ
れるｃｏｓ（ωｔ＋φ）に関する同相および直角位相モ
ードの最大曲げ振幅であり、θは同相の定在波の波腹と
ｘ軸との間の角度であり、ωは共振器の振動の角周波数
であり、φは任意位相角である。ｄi およびｄq の高位
を含む項は下の式（４）では無視されている。
【００３０】
【数２】
【００３１】容量のための式を電流に関する等式に代入
し、合計してＩを得ると下の式（５）が得られる。電流
Ｉ（ｔ）は増幅器デマルチプレクサ４４によって電圧Ｖ
（ｔ）に変換され、これは下の式（６）のとおりであ
り、ここでＫV およびＫF は定数であり、さらに下の式
（７）および式（８）のとおりである。信号Ｒx （ｔ）
およびＲy （ｔ）は、Ｖ（ｔ）に適用される別個の演算
からなるデマルチプレクシングプロセスからの望ましい
出力である。なぜなら、それらの信号は定在波パラメー
タｄi 、ｄq 、θ、ω、およびφを含むからである。
し、合計してＩを得ると下の式（５）が得られる。電流
Ｉ（ｔ）は増幅器デマルチプレクサ４４によって電圧Ｖ
（ｔ）に変換され、これは下の式（６）のとおりであ
り、ここでＫV およびＫF は定数であり、さらに下の式
（７）および式（８）のとおりである。信号Ｒx （ｔ）
およびＲy （ｔ）は、Ｖ（ｔ）に適用される別個の演算
からなるデマルチプレクシングプロセスからの望ましい
出力である。なぜなら、それらの信号は定在波パラメー
タｄi 、ｄq 、θ、ω、およびφを含むからである。
【００３２】
【数３】
【００３３】信号Ｒx （ｔ）およびＲy （ｔ）を含む信
号Ｓx （ｔ）およびＳy （ｔ）は、Ｓx （ｔ）に対して
演算Ｏx を、Ｓy （ｔ）に対して演算Ｏy を行なうこと
で増幅器デマルチプレクサ４４によって抽出される。増
幅器デマルチプレクサ４４のデマルチプレクサ部分の動
作原理は、電圧Ｖmx（ｔ）、Ｖmy（ｔ）、Ｖcx（ｔ）、
およびＶcy（ｔ）の形ならびにωx 、ωy 、ψx 、およ
びψy の値に依存する。
号Ｓx （ｔ）およびＳy （ｔ）は、Ｓx （ｔ）に対して
演算Ｏx を、Ｓy （ｔ）に対して演算Ｏy を行なうこと
で増幅器デマルチプレクサ４４によって抽出される。増
幅器デマルチプレクサ４４のデマルチプレクサ部分の動
作原理は、電圧Ｖmx（ｔ）、Ｖmy（ｔ）、Ｖcx（ｔ）、
およびＶcy（ｔ）の形ならびにωx 、ωy 、ψx 、およ
びψy の値に依存する。
【００３４】周波数分割多重化では、Ｖmx（ｔ）、Ｖmy
（ｔ）、Ｖcx（ｔ）、およびＶcy（ｔ）はすべて定数に
等しく、ωx 、ωy 、および｜ωx −ωy ｜は、ほぼ６
ωより大きく、ψx およびψy は任意定数である。定在
波パラメータを含む信号Ｒx（ｔ）およびＲy （ｔ）
は、Ｖ（ｔ）の２つの積復調を行なうことによって得ら
れ、一方はｃｏｓ（ωx ｔ＋ψx ）に関して行ない、他
方はｃｏｓ（ωy ｔ＋ψ y ）に関して行なわれる。正弦
曲線以外の周期関数が用いられる場合は、復調は周期関
数の複製を用いて行なわれる。積復調は、入力電圧を基
準正弦曲線で乗算し、その積を低域フィルタ処理するこ
とからなり、低域フィルタの遮断周波数は、ほぼ３ωで
ある。上記のプロセスの結果は信号ＳFDMx（ｔ）および
ＳFDMy（ｔ）であり、これは下の式（９）のとおりであ
り、ここでＫFDM は定数である。Ｆ x （ｔ）およびＦy
（ｔ）の周波数スペクトルの上限は、ほぼ３ωであるた
め、これらの数量はデマルチプレクシングプロセスによ
って消去される。
（ｔ）、Ｖcx（ｔ）、およびＶcy（ｔ）はすべて定数に
等しく、ωx 、ωy 、および｜ωx −ωy ｜は、ほぼ６
ωより大きく、ψx およびψy は任意定数である。定在
波パラメータを含む信号Ｒx（ｔ）およびＲy （ｔ）
は、Ｖ（ｔ）の２つの積復調を行なうことによって得ら
れ、一方はｃｏｓ（ωx ｔ＋ψx ）に関して行ない、他
方はｃｏｓ（ωy ｔ＋ψ y ）に関して行なわれる。正弦
曲線以外の周期関数が用いられる場合は、復調は周期関
数の複製を用いて行なわれる。積復調は、入力電圧を基
準正弦曲線で乗算し、その積を低域フィルタ処理するこ
とからなり、低域フィルタの遮断周波数は、ほぼ３ωで
ある。上記のプロセスの結果は信号ＳFDMx（ｔ）および
ＳFDMy（ｔ）であり、これは下の式（９）のとおりであ
り、ここでＫFDM は定数である。Ｆ x （ｔ）およびＦy
（ｔ）の周波数スペクトルの上限は、ほぼ３ωであるた
め、これらの数量はデマルチプレクシングプロセスによ
って消去される。
【００３５】
【数４】
【００３６】位相分割多重化では、ωx およびωy は同
じ値ωo を有し、ωo は、ほぼ６ωより大きく、ψx −
ψy はπ／２ラジアンに等しい。信号ＳPDMx（ｔ）およ
びＳ PDMy（ｔ）は、ｃｏｓ（ω0 ｔ＋ψx ）に関して、
およびｃｏｓ（ω0 ｔ＋ψy）に関して（または用いら
れている周期関数の複製に関して）Ｖ（ｔ）の積復調を
行なうことによって得られる。これは下の式（１０）の
とおりであり、ここでＫPDM は定数である。
じ値ωo を有し、ωo は、ほぼ６ωより大きく、ψx −
ψy はπ／２ラジアンに等しい。信号ＳPDMx（ｔ）およ
びＳ PDMy（ｔ）は、ｃｏｓ（ω0 ｔ＋ψx ）に関して、
およびｃｏｓ（ω0 ｔ＋ψy）に関して（または用いら
れている周期関数の複製に関して）Ｖ（ｔ）の積復調を
行なうことによって得られる。これは下の式（１０）の
とおりであり、ここでＫPDM は定数である。
【００３７】
【数５】
【００３８】時分割多重化の一形態では、ωx およびω
y は同じ値ωo を有し、ωo は、ほぼ６ωより大きく、
ψx およびψy は任意の数ψo に等しい。電圧Ｖ
mx（ｔ）およびＶmy（ｔ）は０および１の値をとる方形
波に比例し、どの時点においてもこのうちの１つだけが
１に等しく、「１」の値の持続時間は２π／ωの整数倍
に等しい。電圧Ｖcx（ｔ）およびＶcy（ｔ）とともに定
数に等しい。信号ＳTDMx（ｔ）およびＳTDMy（ｔ）は、
ｃｏｓ（ω0 ｔ＋ψ0 ）に関してＶ（ｔ）の積復調を行
ない、その後にＶmx（ｔ）およびＶmy（ｔ）で並列乗算
を行なうことによって得られる。これは下の式（１１）
のとおりであり、ここでＫTDM は定数である。Ｒ
x （ｔ）およびＲy （ｔ）はＶmx（ｔ）およびＶ
my（ｔ）がゼロではない場合のみ利用可能であることに
注目されたい。
y は同じ値ωo を有し、ωo は、ほぼ６ωより大きく、
ψx およびψy は任意の数ψo に等しい。電圧Ｖ
mx（ｔ）およびＶmy（ｔ）は０および１の値をとる方形
波に比例し、どの時点においてもこのうちの１つだけが
１に等しく、「１」の値の持続時間は２π／ωの整数倍
に等しい。電圧Ｖcx（ｔ）およびＶcy（ｔ）とともに定
数に等しい。信号ＳTDMx（ｔ）およびＳTDMy（ｔ）は、
ｃｏｓ（ω0 ｔ＋ψ0 ）に関してＶ（ｔ）の積復調を行
ない、その後にＶmx（ｔ）およびＶmy（ｔ）で並列乗算
を行なうことによって得られる。これは下の式（１１）
のとおりであり、ここでＫTDM は定数である。Ｒ
x （ｔ）およびＲy （ｔ）はＶmx（ｔ）およびＶ
my（ｔ）がゼロではない場合のみ利用可能であることに
注目されたい。
【００３９】
【数６】
【００４０】以下の場合にも（おそらく定数ＫTDM の値
を除く）、同じ結果が得られる。すなわち、Ｖ
mx（ｔ）、Ｖmy（ｔ）、Ｖcx（ｔ）、およびＶcy（ｔ）
が、０および１の値をとる方形波に比例し、どの時点に
おいてもその方形波のうちの１つだけが１に等しく、
「１」の値の持続時間は２π／ωの整数倍に等しい場合
である。この動作モードは、強制駆動電圧Ｖcx（ｔ）Ｕ
xp（ｔ）、Ｖcx（ｔ）Ｕxn（ｔ）、Ｖcy（ｔ）Ｕ
yp（ｔ）、およびＶcy（ｔ）Ｕyn（ｔ）を完全に互いに
分離し、かつ励起電圧Ｖmx（ｔ）ｃｏｓ（ω0 ｔ＋
ψ0 ）およびＶmy（ｔ）ｃｏｓ（ω0ｔ＋ψ0 ）からも
完全に分離するという点で望ましいかもしれない。
を除く）、同じ結果が得られる。すなわち、Ｖ
mx（ｔ）、Ｖmy（ｔ）、Ｖcx（ｔ）、およびＶcy（ｔ）
が、０および１の値をとる方形波に比例し、どの時点に
おいてもその方形波のうちの１つだけが１に等しく、
「１」の値の持続時間は２π／ωの整数倍に等しい場合
である。この動作モードは、強制駆動電圧Ｖcx（ｔ）Ｕ
xp（ｔ）、Ｖcx（ｔ）Ｕxn（ｔ）、Ｖcy（ｔ）Ｕ
yp（ｔ）、およびＶcy（ｔ）Ｕyn（ｔ）を完全に互いに
分離し、かつ励起電圧Ｖmx（ｔ）ｃｏｓ（ω0 ｔ＋
ψ0 ）およびＶmy（ｔ）ｃｏｓ（ω0ｔ＋ψ0 ）からも
完全に分離するという点で望ましいかもしれない。
【００４１】時分割多重化の別の形態では、ωo は０に
等しく、Ｖmx（ｔ）、Ｖmy（ｔ）、Ｖcx（ｔ）、および
Ｖcy（ｔ）は、０および１の値をとる方形波に比例し、
どの時点においてもその方形波のうちの１つだけが１に
等しく、「１」の値の持続時間は２π／ωの整数倍に等
しい。Ｖmx（ｔ）およびＶmy（ｔ）にＶ（ｔ）を並列演
算で乗算すると、第１の形態の時分割多重化において得
られた結果と同じものが得られる。
等しく、Ｖmx（ｔ）、Ｖmy（ｔ）、Ｖcx（ｔ）、および
Ｖcy（ｔ）は、０および１の値をとる方形波に比例し、
どの時点においてもその方形波のうちの１つだけが１に
等しく、「１」の値の持続時間は２π／ωの整数倍に等
しい。Ｖmx（ｔ）およびＶmy（ｔ）にＶ（ｔ）を並列演
算で乗算すると、第１の形態の時分割多重化において得
られた結果と同じものが得られる。
【００４２】符号分割多重化では、ωx 、ωy 、ψx 、
およびψy はすべて０に等しく、Ｖ cx（ｔ）およびＶcy
（ｔ）は定数であり、Ｖmx（ｔ）およびＶmy（ｔ）は、
−１／Ｔおよび１／Ｔの値の擬似ランダムシーケンスを
とり下の式（１２）の条件を満たす方形波に比例する。
下の式（１２）では、添字ｉおよびｊは添字ｍｘ、ｍ
ｙ、ｃｘ、およびｃｙのいずれかを表わす。積分時間間
隔Ｔは２π／３ωより小さくなければならない。信号Ｓ
CDMx（ｔ）およびＳCDMy（ｔ）は、Ｖmx（ｔ）およびＶ
my（ｔ）に別々にＶ（ｔ）を乗算し、次にＴにわたって
積分することで得られ、これは下の式（１３）のとおり
であり、ここでＫTDM は定数であり、ｎは整数である。
信号ＳCDMx（ｔ）およびＳCDMy（ｔ）が、Ｔの間隔にお
ける定在波パラメータに関する情報を提供することに注
目されたい。
およびψy はすべて０に等しく、Ｖ cx（ｔ）およびＶcy
（ｔ）は定数であり、Ｖmx（ｔ）およびＶmy（ｔ）は、
−１／Ｔおよび１／Ｔの値の擬似ランダムシーケンスを
とり下の式（１２）の条件を満たす方形波に比例する。
下の式（１２）では、添字ｉおよびｊは添字ｍｘ、ｍ
ｙ、ｃｘ、およびｃｙのいずれかを表わす。積分時間間
隔Ｔは２π／３ωより小さくなければならない。信号Ｓ
CDMx（ｔ）およびＳCDMy（ｔ）は、Ｖmx（ｔ）およびＶ
my（ｔ）に別々にＶ（ｔ）を乗算し、次にＴにわたって
積分することで得られ、これは下の式（１３）のとおり
であり、ここでＫTDM は定数であり、ｎは整数である。
信号ＳCDMx（ｔ）およびＳCDMy（ｔ）が、Ｔの間隔にお
ける定在波パラメータに関する情報を提供することに注
目されたい。
【００４３】
【数７】
【００４４】電圧Ｕx （ｔ）およびＵy （ｔ）は典型的
に３つの成分を含んでおり、これは下の式（１４）のと
おりであり、ここで添字ａ、ｑ、およびｒは振幅、直角
位相、および速度制御電圧を表わす。すべての適用例に
おいてこれらの成分を互いに分離する必要はない。しか
しながら、分離することが望ましい場合、下の式（１
４）において下の式（１５）に示される代入をすること
ができる。このように代入することで、Ｖcx（ｔ）およ
びＶcy（ｔ）に強いられるいかなる制約も、またＶcax
（ｔ）、Ｖcqx （ｔ）、Ｖcrx （ｔ）、Ｖcay （ｔ）、
Ｖcqy （ｔ）、およびＶcry （ｔ）にあてはまる。たと
えば、等式（１）は下の式（１６）となる。
に３つの成分を含んでおり、これは下の式（１４）のと
おりであり、ここで添字ａ、ｑ、およびｒは振幅、直角
位相、および速度制御電圧を表わす。すべての適用例に
おいてこれらの成分を互いに分離する必要はない。しか
しながら、分離することが望ましい場合、下の式（１
４）において下の式（１５）に示される代入をすること
ができる。このように代入することで、Ｖcx（ｔ）およ
びＶcy（ｔ）に強いられるいかなる制約も、またＶcax
（ｔ）、Ｖcqx （ｔ）、Ｖcrx （ｔ）、Ｖcay （ｔ）、
Ｖcqy （ｔ）、およびＶcry （ｔ）にあてはまる。たと
えば、等式（１）は下の式（１６）となる。
【００４５】
【数８】
【００４６】可能な時分割多重化構成の１つは、共振器
のたわみ速度と同期させた持続時間３２π／ωの１６個
のスロットのフレームである。多重化制御電圧は図３に
示されるとおりである。振動性回転センサの再平衡する
力（ＦＴＲ）の動作モードでは、ｘ軸は波腹軸であり、
ｙ軸は波節軸である。ＦＴＲモードでは、ｙ信号成分を
読出すのに８個のスロットが割当てられ、ｘ信号成分を
読出すのに４個のスロットが割当てられ、共振器に振幅
力、直角位相力、および速度力を与えるのにそれぞれ１
個ずつのスロットが割当てられる。４ｋＨｚの振動周波
数では、ｘおよびｙ信号成分の読出はそれぞれ２ｋＨｚ
および１ｋＨｚの速度で利用可能となる。制御電圧は
０．２５ｋＨｚの速度で印加されることになる。
のたわみ速度と同期させた持続時間３２π／ωの１６個
のスロットのフレームである。多重化制御電圧は図３に
示されるとおりである。振動性回転センサの再平衡する
力（ＦＴＲ）の動作モードでは、ｘ軸は波腹軸であり、
ｙ軸は波節軸である。ＦＴＲモードでは、ｙ信号成分を
読出すのに８個のスロットが割当てられ、ｘ信号成分を
読出すのに４個のスロットが割当てられ、共振器に振幅
力、直角位相力、および速度力を与えるのにそれぞれ１
個ずつのスロットが割当てられる。４ｋＨｚの振動周波
数では、ｘおよびｙ信号成分の読出はそれぞれ２ｋＨｚ
および１ｋＨｚの速度で利用可能となる。制御電圧は
０．２５ｋＨｚの速度で印加されることになる。
【００４７】全角度（ＷＡ）動作モードでは、速度力は
共振器に付与されず、速度力に割当てられるスロットは
用いられない。
共振器に付与されず、速度力に割当てられるスロットは
用いられない。
【００４８】一般的に、増幅器デマルチプレクサ４４か
ら出る信号Ｓx （ｔ）およびＳy （ｔ）は、下の式（１
７）の形を有し、ここで、ＫVxがＫV Ｖmx（ｔ）に等し
くＫ VyがＫV Ｖmy（ｔ）に等しい時分割多重化の場合を
除いて、ＫVxおよびＫVyは各々ＫV に等しい。
ら出る信号Ｓx （ｔ）およびＳy （ｔ）は、下の式（１
７）の形を有し、ここで、ＫVxがＫV Ｖmx（ｔ）に等し
くＫ VyがＫV Ｖmy（ｔ）に等しい時分割多重化の場合を
除いて、ＫVxおよびＫVyは各々ＫV に等しい。
【００４９】
【数９】
【００５０】信号Ｓx （ｔ）およびＳy （ｔ）から定在
波パラメータを抽出するために、共振器の振動信号ｃｏ
ｓ（ωｔ＋φ）の安定した正確な複製が必要である。複
製は、複製発生器５２の電圧制御発振器から得られ、電
圧制御発振器は同相定在波波腹信号に位相同期させられ
ている。プロセスの第１のステップは、Ｓx （ｔ）およ
びＳy （ｔ）を、まず複製信号ｃｏｓ（ωr ｔ＋φr ）
で乗算し、この結果を低域フィルタ処理し、次に移相し
た複製ｓｉｎ（ωr ｔ＋φr ）で乗算し、その結果を低
域フィルタ処理することである。このプロセスの結果は
下の式（１８）に示され、ここでＫは定数である。
波パラメータを抽出するために、共振器の振動信号ｃｏ
ｓ（ωｔ＋φ）の安定した正確な複製が必要である。複
製は、複製発生器５２の電圧制御発振器から得られ、電
圧制御発振器は同相定在波波腹信号に位相同期させられ
ている。プロセスの第１のステップは、Ｓx （ｔ）およ
びＳy （ｔ）を、まず複製信号ｃｏｓ（ωr ｔ＋φr ）
で乗算し、この結果を低域フィルタ処理し、次に移相し
た複製ｓｉｎ（ωr ｔ＋φr ）で乗算し、その結果を低
域フィルタ処理することである。このプロセスの結果は
下の式（１８）に示され、ここでＫは定数である。
【００５１】
【数１０】
【００５２】次のステップは、Ｓix（ｔ）、Ｓ
iy（ｔ）、Ｓqx（ｔ）、およびＳqy（ｔ）の積の下の式
（１９）に示される組合せを形成することである。Ｌi
（ｔ）をエラー信号として、フェイズロックドループは
複製位相に固定することとなり、φrはφに等しく、ω
r はωに等しい。
iy（ｔ）、Ｓqx（ｔ）、およびＳqy（ｔ）の積の下の式
（１９）に示される組合せを形成することである。Ｌi
（ｔ）をエラー信号として、フェイズロックドループは
複製位相に固定することとなり、φrはφに等しく、ω
r はωに等しい。
【００５３】
【数１１】
【００５４】定在波の配向角度は下の等式（２０）とＲ
（ｔ）およびＳ（ｔ）の符号とから定められる。数量Ｓ
（ｔ）は、再平衡する力の動作モードにおいてθをゼロ
に強いる制御ループにおけるエラー信号として用いるこ
とができる。
（ｔ）およびＳ（ｔ）の符号とから定められる。数量Ｓ
（ｔ）は、再平衡する力の動作モードにおいてθをゼロ
に強いる制御ループにおけるエラー信号として用いるこ
とができる。
【００５５】
【数１２】
【００５６】Ｅ（ｔ）と特定された数との差異は、振幅
制御ループにおいてエラー信号として用いられ、このこ
とは、ｄi 2 ＋ｄq 2 に比例する、組合わされた同相お
よび直角位相定在波の総エネルギが特定の数に等しくな
るようにする。
制御ループにおいてエラー信号として用いられ、このこ
とは、ｄi 2 ＋ｄq 2 に比例する、組合わされた同相お
よび直角位相定在波の総エネルギが特定の数に等しくな
るようにする。
【００５７】数量Ｑ（ｔ）は直角位相制御ループにおい
てエラー信号として用いられ、この結果、直角位相定在
波振幅ｄq はゼロとなる。このループが閉鎖されると、
振幅制御ループは同相振幅ｄi を特定された値に保つ。
てエラー信号として用いられ、この結果、直角位相定在
波振幅ｄq はゼロとなる。このループが閉鎖されると、
振幅制御ループは同相振幅ｄi を特定された値に保つ。
【００５８】上の制御変数の使用が最適であることは証
明できる。当業者には、次善ではあるが実際的である制
御変数の選択肢が数多く存在することが明らかになるで
あろう。
明できる。当業者には、次善ではあるが実際的である制
御変数の選択肢が数多く存在することが明らかになるで
あろう。
【００５９】制御装置５０の出力は、関数Ｕxp（ｔ）、
Ｕxn（ｔ）、Ｕyp（ｔ）、およびＵ yn（ｔ）であり、マ
ルチプレクサ４８に供給される。
Ｕxn（ｔ）、Ｕyp（ｔ）、およびＵ yn（ｔ）であり、マ
ルチプレクサ４８に供給される。
【００６０】振動性回転センサに関するさらなる詳細
は、ここに引用により援用される１９９０年８月２８日
付のローパー・Ｊｒ（Loper, Jr.）他による米国特許第
４，９５１，５０８号に含まれる。
は、ここに引用により援用される１９９０年８月２８日
付のローパー・Ｊｒ（Loper, Jr.）他による米国特許第
４，９５１，５０８号に含まれる。
【図１】先行技術の振動性回転センサの構造を示す図で
ある。
ある。
【図２】この発明のための制御および読出電子部品のブ
ロック図である。
ロック図である。
【図３】この発明の特定の実施例のための多重化制御信
号を示す図である。
号を示す図である。
１０ 振動性回転センサ １２ 外部部材 １４ 半球状の共振器 １６ 内部部材 ２０ 環状の強制駆動電極 ２２ 別個の強制駆動電極 ２４ ピックオフ電極 ２６ 軸 ３０ 内側の金属被覆された表面 ３２ 外側の金属被覆された表面 ３４ 半球状の共振器の縁 ４２ 共振器電極 ４３ ＤＣブロッキングキャパシタ ４４ 増幅器デマルチプレクサ ４６ ８個の電極 ４８ マルチプレクサ ５０ 制御装置 ５２ 複製発生器
フロントページの続き (72)発明者 ジェイ・スコット・ダーリン アメリカ合衆国、93117 カリフォルニア 州、ゴレタ、ダブンポート、7220、ナンバ ー・214 (72)発明者 ガイ・トーマス・バーティ アメリカ合衆国、91364 カリフォルニア 州、ウッドランド・ヒルズ、ブレンフォー ド・ストリート、22926
Claims (41)
- 【請求項１】 振動性回転センサであって、 共振器を含み、前記共振器は回転的に対称で壁の薄い物
体であり、前記共振器は複数の定在波モードのうちの少
なくとも１つで振動することが可能であり、１個または
２個以上の電極が共振器の表面に装着され、前記１個ま
たは２個以上の電極は単一の出力ポートに電気的に接続
されており、前記振動性回転センサはさらに共振器の出
力ポートに接続される入力ポートを有するセンシング電
子部品を含み、前記センシング電子部品は、共振器の出
力ポートで利用可能な共振器信号から、共振器が振動し
ている際に存在する少なくとも１つの定在波のパラメー
タを定める、振動性回転センサ。 - 【請求項２】 信号和Ｖx （ｔ）Ｒx （ｔ）＋Ｖ
y （ｔ）Ｒy （ｔ）は、共振器信号に存在する信号間に
おける和であり、Ｖx （ｔ）およびＶy （ｔ）は時間ｔ
の予め定められた関数であり、Ｒx （ｔ）およびＲ
y （ｔ）は、時間および少なくとも１つの定在波のパラ
メータの関数であり、センシング電子部品は、共振器信
号に対して演算Ｏx およびＯy を別個に行ない、それぞ
れＲx （ｔ）およびＲy （ｔ）を得る、請求項１に記載
の振動性回転センサ。 - 【請求項３】 Ｏx は、角周波数ωx および位相ψx の
周期関数の複製に共振器信号を乗算するステップと、そ
の後に低域フィルタ処理するステップとを含み、Ｏ
y は、角周波数ωy および位相ψy の周期関数の複製に
共振器信号を乗算するステップと、その後低域フィルタ
処理するステップとを含み、ωx 、ψx 、ωy 、および
ψy の値は予め定められている、請求項２に記載の振動
性回転センサ。 - 【請求項４】 Ｏx は、角周波数ωo および位相ψo の
周期関数の複製に共振器信号を乗算するステップと、そ
の後に低域フィルタ処理するステップとを含み、Ｏ
y は、角周波数ω0 および位相（ψ0 ＋π／２）の周期
関数の複製に共振器信号を乗算するステップと、その後
に低域フィルタ処理するステップとを含み、ωo および
ψo の値は予め定められている、請求項２に記載の振動
性回転センサ。 - 【請求項５】 Ｏx は、Ｖmx（ｔ）に共振器信号を乗算
するステップを含み、Ｏy は、Ｖmy（ｔ）に共振器信号
を乗算するステップを含み、Ｖmx（ｔ）およびＶ
my（ｔ）は、０および１の値をとる、予め定められた方
形波の時間の関数に比例し、前記方形波の関数は同時に
１に等しくはない、請求項２に記載の振動性回転セン
サ。 - 【請求項６】 （１）Ｏx は、（ａ）周期関数の複製に
共振器信号を乗算するステップと、その後に低域フィル
タ処理するステップと、（ｂ）Ｖmx（ｔ）で乗算するス
テップとを含み、（２）Ｏy は、（ａ）周期関数の複製
に共振器信号を乗算するステップと、その後に低域フィ
ルタ処理するステップと、（ｂ）Ｖmy（ｔ）で乗算する
ステップとを含み、周期信号の複製はωo の角周波数お
よび位相ψo を有し、ωo およびψo の値は予め定めら
れており、Ｖmx（ｔ）およびＶ my（ｔ）は、０および１
の値をとる、予め定められた方形波の時間の関数に比例
し、前記方形波の関数は同時に１に等しくはない、請求
項２に記載の振動性回転センサ。 - 【請求項７】 Ｏx は、共振器信号をＶmx（ｔ）で乗算
して、その後に予め定められた時間Ｔにわたって積分す
るステップとを含み、Ｏy は、共振器信号をＶmy（ｔ）
で乗算して、その後に時間Ｔにわたって積分するステッ
プとを含み、Ｖmx（ｔ）およびＶmy（ｔ）は、時間Ｔの
間、−１および１の値のシーケンスをとる、方形波の時
間の関数に比例する、請求項２に記載の振動性回転セン
サ。 - 【請求項８】 振動性回転センサであって、 前記共振器が装着されるハウジングをさらに含み、前記
ハウジングは前記１個または２個以上の共振器電極に極
めて近接する複数の装着された電極を有し、前記振動性
回転センサはさらに電圧Ｖx1（ｔ）を第１の群の１個ま
たは２個以上のハウジング電極に供給し、電圧Ｖ
y2（ｔ）を第２の群の１個または２個以上のハウジング
電極に供給する駆動電子部品を含み、Ｖx1（ｔ）および
Ｖy2（ｔ）はそれぞれ電圧成分Ｖmx（ｔ）Ｆ（ωx ｔ＋
ψx ）およびＶmy（ｔ）Ｆ（ωy ｔ＋ψy ）を含み、Ｖ
mx（ｔ）およびＶmy（ｔ）は時間ｔの予め定められた関
数であるか、または定数であり、Ｆ（ωｔ＋ψ）は、周
波数がωであり位相がψである、時間ｔの周期関数であ
り、ωx 、ψx 、ωy 、およびψy の値は予め定められ
ており、Ｖmx（ｔ）Ｆ（ωxｔ＋ψx ）およびＶ
my（ｔ）Ｆ（ωy ｔ＋ψy ）は共振器の定在波ダイナミ
ックスに何ら重要な影響を及ぼさない、請求項１に記載
の振動性回転センサ。 - 【請求項９】 Ｖmx（ｔ）およびＶmy（ｔ）は定数であ
り、ωx 、ωy 、および｜ωx −ωy ｜は、ほぼ６ωよ
り大きく、ωは共振器の振動の角周波数である、請求項
８に記載の振動性回転センサ。 - 【請求項１０】 Ｖmx（ｔ）およびＶmy（ｔ）は定数で
あり、ωx およびω y は予め定められた値ωo に等し
く、ψx −ψy はπ／２ラジアンに等しく、ω o は、ほ
ぼ６ωより大きく、ωは共振器の振動の角周波数であ
る、請求項８に記載の振動性回転センサ。 - 【請求項１１】 ωx 、ωy 、ψx 、およびψy は０に
等しく、Ｖmx（ｔ）およびＶmy（ｔ）は、０および１の
値をとる、第１および第２の方形波の時間の関数にそれ
ぞれ比例し、前記第１および第２の方形波の関数は同時
に１に等しくはない、請求項８に記載の振動性回転セン
サ。 - 【請求項１２】 ωx およびωy は予め定められた値ω
o に等しく、ψx およびψy は予め定められた値ψo に
等しく、Ｖmx（ｔ）およびＶmy（ｔ）は、０および１の
値をとる、第１および第２の方形波の関数にそれぞれ比
例し、ωo は、ほぼ６ωより大きく、ωは共振器の振動
の角周波数であり、前記第１および第２の方形波の関数
は同時に１に等しくはない、請求項８に記載の振動性回
転センサ。 - 【請求項１３】 ωx 、ωy 、ψx 、およびψy は０に
等しく、Ｖmx（ｔ）およびＶmy（ｔ）は、予め定められ
た時間において−１および１の値の擬似ランダムシーケ
ンスをとる、第１および第２の方形波の関数にそれぞれ
比例する、請求項８に記載の振動性回転センサ。 - 【請求項１４】 Ｖx1（ｔ）およびＶy2（ｔ）はまた、
電圧成分Ｖcx（ｔ）Ｕx1（ｔ）およびＶcy（ｔ）Ｕ
y2（ｔ）をそれぞれ含み、数量Ｖcx（ｔ）およびＶ
cy（ｔ）は、時間ｔの関数であるか、または定数であ
り、前記電圧成分Ｖcx（ｔ）Ｕx1（ｔ）およびＶ
cy（ｔ）Ｕy2（ｔ）は、共振器上に力が付与されること
につながる、請求項８に記載の振動性回転センサ。 - 【請求項１５】 Ｖmx（ｔ）、Ｖmy（ｔ）、Ｖ
cx（ｔ）、およびＶcy（ｔ）は定数であり、ωx 、
ωy 、および｜ωx −ωy ｜は、ほぼ６ωより大きく、
ωは共振器の振動の角周波数である、請求項１４に記載
の振動性回転センサ。 - 【請求項１６】 Ｖmx（ｔ）、Ｖmy（ｔ）、Ｖ
cx（ｔ）、およびＶcy（ｔ）は定数であり、ωx および
ωy は予め定められた数ωo に等しく、ψx −ψy はπ
／２ラジアンに等しく、ωo は、ほぼ６ωより大きく、
ωは共振器の振動の角周波数である、請求項１４に記載
の振動性回転センサ。 - 【請求項１７】 ωx 、ωy 、ψx 、およびψy は０に
等しく、Ｖmx（ｔ）、Ｖmy（ｔ）、Ｖcx（ｔ）、および
Ｖcy（ｔ）は、０および１の値をとる、第１、第２、第
３、および第４の方形波の時間の関数にそれぞれ比例
し、前記第１、第２、第３、および第４の方形波の関数
は同時に１に等しくはない、請求項１４に記載の振動性
回転センサ。 - 【請求項１８】 ωx およびωy は予め定められた値ω
o に等しく、ψx およびψy は予め定められた値ψo に
等しく、Ｖmx（ｔ）、Ｖmy（ｔ）、Ｖcx（ｔ）、および
Ｖcy（ｔ）は、０および１の値をとる、第１、第２、第
３、および第４の方形波の時間の関数にそれぞれ比例
し、ωo は、ほぼ６ωより大きく、ωは共振器の振動の
角周波数であり、前記第１、第２、第３、および第４の
方形波の関数は同時に１に等しくはない、請求項１４に
記載の振動性回転センサ。 - 【請求項１９】 Ｖx1（ｔ）はまた、電圧成分Ｖ
cax （ｔ）Ｕax1 （ｔ）、Ｖcqx （ｔ）Ｕqx1 （ｔ）、
およびＶcrx （ｔ）Ｕrx1 （ｔ）を含み、Ｖy2（ｔ）は
また、電圧成分Ｖcay （ｔ）Ｕay2 （ｔ）、Ｖ
cqy （ｔ）Ｕqy2 （ｔ）、およびＶcry （ｔ）Ｕ
ry2 （ｔ）を含み、ωx 、ωy 、ψx 、およびψy は０
に等しく、Ｖmx（ｔ）、Ｖmy（ｔ）、Ｖcax （ｔ）、Ｖ
cqx （ｔ）、Ｖcrx （ｔ）、Ｖcay （ｔ）、Ｖ
cqy （ｔ）、およびＶcry （ｔ）は、０および１の値を
とる、第１、第２、第３、第４、第５、第６、第７、お
よび第８の方形波の時間の関数にそれぞれ比例し、前記
第１、第２、第３、第４、第５、第６、第７、および第
８の方形波の関数は同時に１に等しくはない、請求項１
４に記載の振動性回転センサ。 - 【請求項２０】 Ｖx1（ｔ）はまた、電圧成分Ｖ
cax （ｔ）Ｕax1 （ｔ）、Ｖcqx （ｔ）Ｕqx1 （ｔ）、
およびＶcrx （ｔ）Ｕrx1 （ｔ）を含み、Ｖy2（ｔ）は
また、電圧成分Ｖcay （ｔ）Ｕay2 （ｔ）、Ｖ
cqy （ｔ）Ｕqy2 （ｔ）、およびＶcry （ｔ）Ｕ
ry2 （ｔ）を含み、ωx およびωy は予め定められた値
ωoに等しく、ψx およびψy は予め定められた値ψo
に等しく、ωo は、ほぼ６ωより大きく、ωは共振器の
振動の角周波数であり、Ｖmx（ｔ）、Ｖmy（ｔ）、Ｖ
cax （ｔ）、Ｖcqx （ｔ）、Ｖcrx （ｔ）、Ｖ
cay （ｔ）、Ｖcqy （ｔ）、およびＶcry （ｔ）は、０
および１の値をとる、第１、第２、第３、第４、第５、
第６、第７、および第８の方形波の時間の関数にそれぞ
れ比例し、前記第１、第２、第３、第４、第５、第６、
第７、および第８の方形波の関数は同時に１に等しくは
ない、請求項１４に記載の振動性回転センサ。 - 【請求項２１】 ωx 、ωy 、ψx 、およびψy は０に
等しく、Ｖmx（ｔ）およびＶmy（ｔ）は、−１および１
の値の擬似ランダムシーケンスをとる、第１および第２
の方形波の時間の関数にそれぞれ比例し、Ｖcx（ｔ）お
よびＶcy（ｔ）は定数である、請求項１４に記載の振動
性回転センサ。 - 【請求項２２】 共振器電極は、周期的に符号を反転す
る一定の大きさの電圧でバイアスをかけられ、共振器お
よびハウジングの電位は０ボルトに対応する、請求項１
に記載の振動性回転センサ。 - 【請求項２３】 単一の出力ポートに接続される電極を
有する共振器と、前記共振器電極に極めて近接する複数
の電極を有するハウジングとを含む振動性回転センサを
制御しかつ読出すための方法であって、前記共振器は１
つまたは２つ以上の定在波モードにおいて振動すること
が可能であり、各定在波モードは複数のパラメータによ
って規定され、前記方法は、 （ａ） 複数の駆動電圧を発生するステップと、 （ｂ） 駆動電圧をハウジング電極に印加するステップ
と、 （ｃ） １つまたは２つ以上の定在波のうちの少なくと
も１つの定在波のパラメータを、共振器の出力ポートに
現われる共振器信号に対して演算を行なうことによって
定めるステップとを含む、方法。 - 【請求項２４】 各駆動電圧は励起電圧を含み、少なく
とも２つの励起電圧の周波数スペクトルは分離された周
波数帯域に制限される、請求項２３に記載の方法。 - 【請求項２５】 異なる駆動電圧の数は２つであり、各
駆動電圧は励起電圧を含み、各励起電圧は周期関数であ
り、２つの異なる励起電圧の周波数は同じであり、位相
は４分の１サイクルだけ異なる、請求項２３に記載の方
法。 - 【請求項２６】 各駆動電圧は励起電圧を含み、少なく
とも２つの励起電圧の各々は、０および１の値をとる独
自の方形波に比例し、どの時点においても方形波のうち
の１つだけが１の値をとる、請求項２３に記載の方法。 - 【請求項２７】 各駆動電圧は励起電圧を含み、少なく
とも２つの励起電圧の各々は、予め定められた周波数お
よび位相を有する周期関数と、０および１の値をとる独
自の方形波との積に比例し、どの時点においても方形波
のうちの１つだけが１の値をとる、請求項２３に記載の
方法。 - 【請求項２８】 各駆動電圧は励起電圧を含み、少なく
とも２つの励起電圧の各々は、予め定められた擬似ラン
ダムシーケンスに従って−１および１の値をとる独自の
方形波に比例する、請求項２３に記載の方法。 - 【請求項２９】 少なくとも２つの駆動電圧の各々は、
励起電圧および強制駆動電圧を含み、前記励起電圧の周
波数スペクトルは分離された周波数帯域に制限され、前
記強制駆動電圧の周波数スペクトルは、前記励起電圧に
関連する周波数帯域から分離された周波数帯域に制限さ
れる、請求項２３に記載の方法。 - 【請求項３０】 異なる駆動電圧の数は２つであり、各
駆動電圧は励起電圧および強制駆動電圧を含み、各励起
電圧は周期関数であり、前記２つの異なる励起電圧の周
波数は同じであり、位相は４分の１サイクルだけ異な
り、前記強制駆動電圧の周波数スペクトルは、前記励起
電圧の周波数から分離された周波数帯域に制限される、
請求項２３に記載の方法。 - 【請求項３１】 少なくとも２つの駆動電圧の各々は、
励起電圧および強制駆動電圧を含み、前記励起電圧の各
々は、０および１の値をとる独自の方形波に比例し、各
強制駆動電圧は、０および１の値をとる方形波に比例す
る乗法的因子を含み、どの時点においても、前記励起電
圧および強制駆動電圧に関連する方形波のうちの１つだ
けが１の値をとる、請求項２３に記載の方法。 - 【請求項３２】 少なくとも２つの駆動電圧の各々は、
励起電圧および強制駆動電圧を含み、各励起電圧は、予
め定められた周波数および位相を有する周期関数と、０
および１の値をとる独自の方形波との積に比例し、各強
制駆動電圧は、０および１の値をとる方形波に比例する
乗法的因子を含み、どの時点においても、前記励起電圧
および強制駆動電圧に関連する方形波のうちの１つだけ
が１の値をとる、請求項２３に記載の方法。 - 【請求項３３】 少なくとも２つの駆動電圧の各々は、
励起電圧および強制駆動電圧を含み、各励起電圧は、予
め定められた擬似ランダムシーケンスに従って−１およ
び１の値をとる独自の方形波に比例し、前記強制駆動電
圧の周波数スペクトルは、前記励起電圧に関連する周波
数帯域から分離された周波数帯域に制限される、請求項
２３に記載の方法。 - 【請求項３４】 共振器信号は、定在波のパラメータの
関数である２つの成分の和であり、ステップ（ｃ）は （ｃ１） 前記共振器信号から２つの成分の各々を抽出
するステップと、 （ｃ２） 前記２つの成分に対して演算を行なうことに
よって定在波のパラメータを定めるステップとを含む、
請求項２３に記載の方法。 - 【請求項３５】 前記２つの成分は分離された周波数帯
域を占め、 各成分は、共振器信号に対して、前記分離された周波数
帯域を区別する演算を行なうことによって抽出される、
請求項３４に記載の方法。 - 【請求項３６】 前記２つの成分は、周波数が同じで位
相が４分の１サイクルだけ異なる周期関数であり、各成
分は、共振器信号に対して、前記２つの成分の位相を区
別する演算を行なうことによって抽出される、請求項３
４に記載の方法。 - 【請求項３７】 前記２つの成分は異なる時間において
共振器信号に存在し、各成分は、共振器信号に対して、
前記異なる時間を区別する演算を行なうことによって抽
出される、請求項３４に記載の方法。 - 【請求項３８】 前記２つの成分は０および１の擬似ラ
ンダムシーケンスであり、２つの擬似ランダムシーケン
スの交差相関関係は０に等しく、各成分は、、共振器信
号に対して、前記２つの擬似ランダムシーケンスを区別
する演算を行なうことによって抽出される、請求項３４
に記載の方法。 - 【請求項３９】 （ｄ） 周期的に符号を反転させる一
定の大きさの電圧で共振器電極にバイアスをかけるステ
ップをさらに含み、共振器およびハウジングの電位が０
ボルトに対応する、請求項２３に記載の方法。 - 【請求項４０】 請求項２３に記載の方法を実行するた
めの装置。 - 【請求項４１】 請求項３４に記載の方法を実行するた
めの装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/802,006 US5763780A (en) | 1997-02-18 | 1997-02-18 | Vibratory rotation sensor with multiplex electronics |
| US08/802006 | 1997-02-18 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10260056A true JPH10260056A (ja) | 1998-09-29 |
| JP3223156B2 JP3223156B2 (ja) | 2001-10-29 |
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| JP03492798A Expired - Fee Related JP3223156B2 (ja) | 1997-02-18 | 1998-02-17 | 振動性回転センサ、これを制御し読出すための方法、およびその方法を実行するための装置 |
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| EP (1) | EP0859218B1 (ja) |
| JP (1) | JP3223156B2 (ja) |
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