JPH10255228A - 磁気ヘッドの製造方法及び薄膜磁気ヘッド - Google Patents

磁気ヘッドの製造方法及び薄膜磁気ヘッド

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JPH10255228A
JPH10255228A JP10071316A JP7131698A JPH10255228A JP H10255228 A JPH10255228 A JP H10255228A JP 10071316 A JP10071316 A JP 10071316A JP 7131698 A JP7131698 A JP 7131698A JP H10255228 A JPH10255228 A JP H10255228A
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layer
pole
magnetic head
sacrificial
sacrificial layer
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JP10071316A
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Shao Yun-Rin
ユン−リン・シアオ
Won Rien-Chan
リエン−チャン・ウォン
Durga P Ravipati
ドゥルガ・ピー・ラビパティ
C Heiner Hugh
ヒュー・シー・ハイナー
D Jensen William
ウィリアム・ディー・ジェンセン
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Read Rite Corp
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Abstract

(57)【要約】 【解決手段】 磁気ヘッド３０は、非磁性ギャップ層５
２で分離され、その右側壁部及び左側壁部が垂直方向に
整合する第１及び第２ポール先端部３６、４０を有す
る。磁気ヘッドの製造は、先ず、好適には金属で形成さ
れた犠牲層６２と第１ポール先端層との間に挟装された
非磁性層を有する積層体６４を基板３４に形成する。次
に、アルミナなどの保護層６６を積層体の上及び周囲に
付着させる。平坦化及びイオンミリング後に磁性層を露
出させ、保護層内にかつギャップ層の上に或る容積の空
間を残すように犠牲層をエッチング除去する。絶縁層を
有するインダクティブコイル４２Ａ、４２Ｂを第１ポー
ル層の上に付着させ、その後に該コイルの上にかつ前記
空間内に第２ポール層を付着させ、第１及び第２ポール
先端部の側壁部を垂直方向に整合させる。 【効果】 磁束のサイドフリンジが実質的に低減し、境
界を十分に画定したデータトラックが書込み可能にな
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は磁気ヘッドに関し、
特にポール幅の狭い磁気ヘッドを形成する方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】一般的なインダクティブ薄膜磁気ヘッド
は、第１磁気ポール層と第２磁気ポール層とを備え、前
記両ポール層の間に電気コイルが設けられている。両ポ
ール層は、後部クロージュアにおいて一方の端部が互い
に接触して連続的な磁路を形成し、他方の端部に狭い変
換ギャップが設けられている。前記変換ギャップにより
分離された前記第１及び第２ポールの部分は、それぞれ
第１及び第２ポール先端部と称される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】挟トラック幅及び高線
記録密度でデータを書き込むためには、ポール先端部の
狭い磁気ヘッドを提供する必要がある。しかしながら、
ポール先端部の狭い磁気ヘッドを製造することに関して
技術的な問題がある。製造時に遭遇する重要な問題は、
２つのポール先端部の位置合わせである。この問題を解
決するために様々な方法が提案されている。
【０００４】図８はこのような従来の方法の１つを示し
ており、磁気ヘッド２は、第１ポール先端部４の横方向
の幅が第１ポール先端部よりも広くなるように製造され
る。幅広の第１ポール先端部４により、第２ポール先端
部６の成膜時における位置合わせの誤差がある程度まで
許容される。第２ポール先端部の幅ＴＷは、磁気ヘッド
２のトラック幅を画定するように設けられる。
【０００５】しかしながら、この方法の問題は、第１ポ
ール先端部４の幅が広いために、第２ポール先端部６の
幅を越えた磁束のフリンジ即ち漏れを回避できないこと
である。図８Ｂに示すように、第２ポール６から第１ポ
ール４へ出ている磁束線Ｆのような漏れ磁束は、トラッ
クの境界が不明確な幅Ｗのデータトラック７が記録され
ることになる。これは、記録媒体上におけるトラックと
トラック間の分離を非常に制限する。
【０００６】1990年８月14日発行のトヨダ（Toyoda）他
による米国特許第４,９４７,５４１号明細書：発明の名
称「Method For Producing a Thin Film Head」には、
漏れる磁束線を減少させることを目的に、第２ポール先
端部に傾斜させた側壁を設けた磁気ヘッドが記載されて
いる。本明細書において図９に示すように、磁気ヘッド
１０はギャップ層１６により分離された第１ポール１２
と第２ポール１４とを備える。第２ポール１４は、第１
ポール先端部１２から離れるように傾斜させた側壁面１
４Ａ、１４Ｂを有する。この傾斜側壁部１４Ａ、１４Ｂ
により、少ない数の磁束線Ｆを記載した図９Ｂに示すよ
うに、第１及び第２ポール先端部１２、１４間の漏れ磁
束が減少する。それにもかかわらず、磁束のフリンジは
依然として存在し、その結果媒体面８に記録されるトラ
ック幅Ｗは不明確なままである。
【０００７】1994年２月８日発行のジュ（Ｊｕ）他によ
る米国特許第５,２８５,３４０号明細書：発明の名称
「Thin Film Magnetic Head with Conformable Pole Ti
ps」には、ポール先端部の側壁を垂直方向に整合させた
磁気ヘッドが記載されている。図１０は、第１及び第２
ヨーク層２４、２６に関してそれぞれ第１及び第２ポー
ル先端部２０、２２双方の側壁部を垂直方向に整合させ
た磁気ヘッド１８を示している。第１及び第２ポール先
端部２０、２２の側壁部が整合していることにより、磁
気ヘッド１８は、図８及び図９に示す磁気ヘッド２、１
０と比較してデータトラックをより良好に画定すること
ができる。
【０００８】第１及び第２ポール先端部２０、２２の位
置合わせは、各第１及び第２ヨーク層２４、２６への多
数の「ステッチング」（stitching）中間工程を通じて
達成することができる。特に、ポール先端層２２、２０
間には、磁気の連続性を維持するためにバッファ層を介
装しなければならない。前記中間工程は製造コストの増
加を生じさせる。
【０００９】現在、ディスクドライブのような記憶装置
は、比較的物理的なサイズを小さくしかつ記憶容量を大
きくしたものが製造されている。その結果、媒体上のデ
ータトラックはより狭い幅でかつより高い線記録密度で
記録される。トラックの境界を不明確にして書き込まれ
たデータトラックは、トラックとトラック間の分離に大
きな影響を与え、これは記憶容量に悪影響を与える。従
って、トラックの境界が明確に画定されたデータトラッ
クを書き込むことができ、かつ製造コストが妥当な磁気
ヘッドを提供することが望ましい。
【００１０】本発明の目的は、高線記録密度で挟データ
トラックを書き込むことができる磁気ヘッドを提供する
ことにある。本発明の別の目的は、製造を簡単化しかつ
製造コストを低減し得る磁気ヘッドを提供することにあ
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、磁気ヘ
ッドは基板上の積層体をもって形成される。この積層体
は、基板の上に配置された第１ポール層と好適には金属
で形成される犠牲層との間に挟装された非磁性ギャップ
層を備える。次に、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）のような保護
層が積層体の上及び周囲に付着される。平坦化及びイオ
ンミリングの後で犠牲層を露出させる。その後、前記保
護層の中にかつ前記非磁性ギャップ層の上にある容積の
空間を残すように、前記犠牲層をエッチングする。
【００１２】関連する絶縁層を有するインダクティブコ
イルを付着させた後、第２ポール層がそのポール先端部
を前記空間内に付着させて成膜され、それにより側壁部
を垂直方向に整合させた第１及び第２ポール先端部が得
られる。側壁部を垂直方向に整合させることにより、一
方のポール先端部から他方のポール先端部への磁束のサ
イドフリンジが実質的に減少し、通常の動作時に境界が
明確に画定されたデータトラックを書き込むことができ
る磁気ヘッドが得られる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下に添付図面を参照しつつ、実
施例を用いて本発明を詳細に説明する。添付図面におい
て、類似の構成部分には同じ参照符号を付すことにす
る。図１は、本発明により製造された磁気ヘッド３０の
上面図である。説明を明確にするために、図１における
上部保護層及び絶縁層は、磁気ヘッド３０の関連する構
成要素が露出するように図示していない。しかしなが
ら、これら上部層は、図１の５−５線及び６−６線にお
ける正面方向及び側面方向から見た断面図である図２及
び図３に示されている。
【００１４】図１乃至図３に関して、磁気ヘッド３０
は、基板３４の上に配置された第１ポール層３２を有す
る。第１ポール層３２と一体に第１ポール先端部３６が
設けられる。基板３４は、アルミナ炭化チタン（Ａｌ2
Ｏ3／ＴｉＣ）又は炭化珪素（ＳｉＣ）のような非磁性
かつ絶縁性材料で形成することができる。基板３４は、
別の実施例では、事前に異なる構成要素の膜層を形成し
ておくことができる。例えば組合せヘッド（merged hea
d）では、読取りヘッドを構成する様々な膜層を事前に
製造し、その後に第１ポール層３２のための基板として
用いることができる。
【００１５】第１ポール層３２の上には、一体のポール
先端部４０を有する第２ポール層３８が設けられる。こ
の実施例では、第１及び第２ポール層３２、３８の間
に、絶縁材料４４により分離された１対のインダクティ
ブコイル４２Ａ、４２Ｂが挟装されている。コイル４２
Ａ、４２Ｂは、電気貫通路（feedthrough）４６により
互いに電気的に接続されている。電流は１対の電気リー
ド４８Ａ、４８Ｂを介して直列に接続されたコイル４２
Ａ、４２Ｂに向けて又は前記コイルから流れる。
【００１６】第１及び第２ポール層３２、３８は、後部
クロージュア領域５０において直接接触して、連続する
磁路を形成している。両ポール層３２、３８は、その先
端部３６、４０間に変換ギャップ５２を有する。本発明
の磁気ヘッド３０は、図２に示すように、第１及び第２
ポール先端部３６、４０について垂直方向に整合させた
側壁部を有する。
【００１７】具体的には、第１ポール先端部３６の左側
側壁３６Ａは、第２ポール先端部４０の左側壁部４０Ａ
と垂直方向に整合している。同様に、第１ポール先端部
３６の右側壁部３６Ｂは、第２ポール先端部４０の右側
壁部４０Ｂと一致している。側壁部３６Ａ対４０Ａ及び
３６Ｂ対４０Ｂの整合により、一方のポールから他方の
ポールへの磁束のフリンジが実質的に減少し、それによ
り磁気ヘッド３０は、十分に画定されたデータトラック
でデータを磁気媒体５６に書き込むことができる。
【００１８】図４乃至図７は、本発明の磁気ヘッド３０
の製造過程を工程順に連続して概略的に示している。
【００１９】最初に基板３４を準備する。基板３４は、
事前に製造された構成要素があってもなくても良い。次
に、フォトレジスト層５８を基板３４の表面上にスピン
コートする。フォトリソグラフィー技術を用いて、フォ
トレジスト層５８に開口６０を形成するために、該フォ
トレジスト層をパターニングする。後に続く電気メッキ
の工程を容易にする下地層（seed layer）（図示せず）
を、フォトレジスト層５８を付着させる前に開口６０の
底部に形成することを付言する。この段階までに得られ
た構造を図４Ａに示す。
【００２０】次に、第１ポール先端部３６を有する（図
３に示す）第１ポール層３２を、開口６０に約１μｍの
厚さまで電気メッキする。ポール先端部３６を有する第
１ポール層３２の材料には、高透磁率及び低飽和保持力
を有する材料で形成することが好ましい。このような材
料の例としてパーマロイ、即ちニッケル−鉄合金（Ｎｉ
Ｆｅ）がある。これに代わるものとして、ＣｏＩｎのよ
うな高磁気モーメントを有するコバルト及びインジウム
ベースの合金を用いることができる。この段階までに得
られた構造を図４Ｂに示す。
【００２１】次に、図４Ｃに示すように、ポール先端部
３６を有する第１ポール層３２の上にギャップ層５２を
電気メッキする。好適な方法では、ギャップ層５２の膜
厚を０.１μｍ〜０.４μｍにする。ギャップ層５２の材
料はクロム（Ｃｒ）、アルミニウム（Ａｌ）、プラチナ
（Ｐｔ）、モリブデン（Ｍｏ）又は銅（Ｃｕ）のような
非磁性金属で形成する。
【００２２】その後、ギャップ層５２の上に犠牲層６２
を約１.５μｍ〜２.０μｍの厚さまで電気メッキする。
犠牲層６２の材料は、容易にエッチング可能な金属が好
ましい。犠牲層６２に適した材料には銅（Ｃｕ）、及び
アルミニウム（Ａｌ）が含まれる。この段階までに得ら
れた構造を図４Ｄに示す。基本的に、第１ポール先端層
３６、ギャップ層５２及び犠牲層６２を含む積層体６４
は、開口６０内部に形成される。
【００２３】次に続く工程は、従来のフォトリソグラフ
ィー工程を用いたフォトレジスト溶剤によるフォトレジ
スト層５８の除去であり、その結果基板３４に付着した
積層体６４が得られる。この段階までに得られた構造を
図５Ｅに示す。
【００２４】スパッタリング又は化学蒸着（ＣＶＤ）の
工程を通じて、基板３４上に積層体６４の上から保護層
６６を付着させる。好適な方法ではＣＶＤ法を用い、保
護層６６を積層体６４の上及び周囲に約３μｍ〜４μｍ
の厚さまで形成する。
【００２５】次に、前記構造物に２段階のレベリング処
理を行う。保護層６６は、例えばアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）
又は二酸化珪素（ＳｉＯ2）を含むスラリが補助して機
械的にラッピングすることにより平坦化させる。その
後、イオンミリングの工程を用いる。保護層６６は、通
常犠牲層６２よりもイオンミリングに対する抵抗が大き
いので、後者は前者よりも早くミリングされる。更に、
図５Ｇに示すように、犠牲層６２と接する保護層６６の
境界に面取り部６８を形成する。面取り部６８は、前記
基板表面の法線に関して１０°〜５０°の角度でイオン
ミリングにより形成することが好ましい。面取り部６８
により、次のフォトリソグラフィー工程のための位置合
わせの許容差が得られる。
【００２６】次に、犠牲層６２を他の層よりも早く腐食
させるエッチング液を用いて、該犠牲層６２をエッチン
グ除去する。犠牲層６２が銅で出来ている場合には、エ
ッチング液に硝酸（ＨＮＯ3）を用いることができる。
犠牲層６２がアルミニウムで形成されている場合には、
エッチング液として過硫酸アンモニア（２ＮＨ4Ｓ
2Ｏ6）を用いることができる。次に、従来の工程により
インダクティブコイル４２Ａ、４２Ｂ及び関連する中間
絶縁層４４を付着させる。この段階までに得られた構造
を図５Ｈに示す。同図にコイル層４２Ａ、４２Ｂ及び絶
縁層４４は図示されていないが、図１乃至図３に示され
ている。
【００２７】次に、第２ポール先端部４０を有する第２
ポール層３８（図３参照）をギャップ層５２の上に形成
する。先ず、ポール先端部４０の上部の横方向の寸法
は、開口７２を有する別のフォトレジスト層７０をパタ
ーニングすることにより画定される。次に、ポール先端
部４０を有する第２ポール層３８を開口７２内にスパッ
タリングする。この段階までに得られた構造を図６Ｊに
示す。
【００２８】図６Ｊ及び図６Ｋに示される、残存するポ
ール層７４は除去する必要がある。先ず、フォトレジス
ト層７０をフォトレジスト溶剤により除去する。次に、
第３フォトレジスト層７６を第２ポール先端部４０の上
にパターニングする（図７Ｌ参照）。その後、残存ポー
ル層７４を、例えばウェットエッチング又はイオンミリ
ングにより除去することができる。この段階までに得ら
れた構造を図７Ｍに示す。
【００２９】最後に、ポール先端部４０を有する第２ポ
ール層３８及び保護層６６の上にオーバコート層７８を
付着させる。保護層６６はアルミナ、ＳｉＯ2、Ｓｉ3Ｎ
4 又は他の絶縁材料で形成することができる。このよう
にして得られた磁気ヘッド３０が、図７Ｎに断面示され
ている。
【００３０】上述した本発明の方法について、第１及び
第２ポール先端部３６、４０を各第１ポール層３２、３
８の上にそれぞれ「ステッチ」（stitch）する必要が無
いことが分かる。その代わりに、第１ポール先端部３６
及び第１ポール層３２は、一体となった１つの膜層とし
て付着される。同様に、第２ポール先端部４０及び第２
ポール層３８は別の１個の膜層として付着される。これ
により、ステッチングの中間工程が排除される。
【００３１】
【発明の効果】本発明によれば、自己整合させたポール
先端部を有する薄膜磁気ヘッドを製造して、高い線密度
をもってデータ信号を記録することができる磁気媒体と
相互作用させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の磁気ヘッドの上面図である。
【図２】図１の５−５線における正面方向の断面図であ
る。
【図３】図１の６−６線における側面方向の断面図であ
る。
【図４】Ａ図〜Ｄ図は、それぞれ図１〜３に示す本発明
の磁気ヘッドを形成する過程を工程順に示す断面図であ
る。
【図５】Ｅ図〜Ｈ図は、それぞれ図４Ａ〜Ｄに続く磁気
ヘッドの形成過程を工程順に示す断面図である。
【図６】Ｉ図〜Ｋ図は、それぞれ図５Ｅ〜Ｈに続く磁気
ヘッドの形成過程を工程順に示す断面図である。
【図７】Ｌ図〜Ｎ図は、それぞれ図６Ｉ〜Ｋに続く磁気
ヘッドの形成過程を工程順に示す断面図である。
【図８】Ａ図は、第２ポール先端部よりも横方向に幅広
の第１ポール先端部を有する従来の磁気ヘッドの正面方
向の断面図、Ｂ図は、Ａ図に示す磁気ヘッドの書き込み
により記録されたデータトラックにおける磁束のサイド
フリンジの影響を概略的に示した図である。
【図９】Ａ図は、磁束のサイドフリンジを減少させるた
めに側壁部を傾斜させた第２ポール先端部を有する別の
従来の磁気ヘッドの正面方向の断面図、Ｂ図は、Ａ図に
示す磁気ヘッドの書き込みにより記録されたデータトラ
ックへの不可避な磁束のサイドフリンジの影響を概略的
に示す図である。
【図１０】Ａ図は、第１及び第２ポール層上にそれぞれ
ステッチされた第１及び第２ポール先端部の側壁部を垂
直方向に整合させた更に別の従来の磁気ヘッドの正面方
向断面図、Ｂ図は、Ａ図に示す公知の磁気ヘッドによる
磁束のサイドフリンジの除去の影響を概略的に示す図で
ある。
【符号の説明】
２ 磁気ヘッド ４ 第１ポール先端部 ６ 第２ポール先端部 ７ データトラック ８ 媒体面 １０ 磁気ヘッド １２ 第１ポール先端部 １４ 第２ポール １４Ａ、１４Ｂ 傾斜側壁部 １６ ギャップ層 １８ 磁気ヘッド ２０ 第１ポール先端部 ２２ 第２ポール先端部 ２４ 第１ヨーク層 ２６ 第２ヨーク層 ３０ 磁気ヘッド ３２ 第１ポール層 ３４ 基板 ３６ 第１ポール先端部 ３６Ａ 左側側壁 ３６Ｂ 右側壁部 ３８ 第２ポール層 ４０ ポール先端部 ４０Ａ 左側側壁 ４０Ｂ 右側壁部 ４２Ａ、４２Ｂ コイル ４４ 絶縁材料 ４６ 電気貫通路 ４８Ａ、４８Ｂ 電気リード ５０ 後部クロージュア領域 ５２ 変換ギャップ ５６ 磁気媒体 ５８ フォトレジスト層 ６０ 開口 ６２ 犠牲層 ６４ 積層体 ６６ 保護層 ６８ 面取り部 ７０ フォトレジスト層 ７２ 開口 ７４ 残存ポール層 ７６ 第３フォトレジスト層 ７８ オーバコート層
フロントページの続き (72)発明者 リエン−チャン・ウォン アメリカ合衆国・カリフォルニア州・ 94538，フリーモント，＃Ｅ309，レッド・ ホーク・サークル・1401 (72)発明者 ドゥルガ・ピー・ラビパティ アメリカ合衆国・カリフォルニア州・ 95070，サラトガ，エイトリアム・ドライ ブ・12138 (72)発明者 ヒュー・シー・ハイナー アメリカ合衆国・カリフォルニア州・ 94536，フリーモント，タイソン・レー ン・3811 (72)発明者 ウィリアム・ディー・ジェンセン アメリカ合衆国・カリフォルニア州・ 94539，フリーモント，オロ・ドライブ・ 1834

Claims (23)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 基板上に磁気ヘッドを形成する方法であ
    って、 第１ポール層と該第１ポール層の上に配置された犠牲層
    とからなる積層体を前記基板上に形成する過程と、 前記積層体の上及び周囲に保護層を付着させる過程と、 前記積層体の前記犠牲層を露出させるように前記保護層
    をレベリングする過程と、 前記第１ポール層の上にある容積の空間を残すように前
    記犠牲層を除去する過程と、 前記空間内に第２ポール層を形成する過程とからなるこ
    とを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
  2. 【請求項２】 前記積層体を形成する過程が、前記犠牲
    層を形成する前に、前記第１ポール層の上に変換ギャッ
    プ層を付着させる過程を含むことを特徴とする請求項１
    に記載の磁気ヘッドの製造方法。
  3. 【請求項３】 前記ギャップ層が非磁性金属で形成され
    ることを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドの製造
    方法。
  4. 【請求項４】 前記保護層をレベリングする過程が、 前記保護層を機械的にラッピングする過程と、 前記積層体の前記犠牲層を露出させるように前記保護層
    及び前記犠牲層をイオンミリングする過程とからなるこ
    とを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドの製造方
    法。
  5. 【請求項５】 前記犠牲層を除去する過程が、実質的に
    前記犠牲層を他の層より速く腐食させるエッチング液を
    用いて前記犠牲層をエッチングする過程を含むことを特
    徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドの製造方法。
  6. 【請求項６】 前記第２ポール層を形成する過程が、前
    記犠牲層を露出させるために前記保護層を平坦化しかつ
    イオンミリングする過程と、前記犠牲層を除去するため
    に前記犠牲層を実質的に化学エッチングする過程とから
    なることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドの製
    造方法。
  7. 【請求項７】 前記犠牲層が、銅及びアルミニウムの成
    分で形成されることを特徴とする請求項１に記載の磁気
    ヘッドの製造方法。
  8. 【請求項８】 前記保護層がアルミナ、ＳｉＯ2、Ｓｉ3
    Ｎ4 等の絶縁材料からなり、かつ前記第１及び第２ポー
    ル層がニッケル−鉄合金又は鉄ベースの高磁気モーメン
    ト合金からなることを特徴とする請求項７に記載の磁気
    ヘッドの製造方法。
  9. 【請求項９】 前記犠牲層が銅を含み、前記保護層がア
    ルミナからなり、かつ前記第１及び第２ポール層がニッ
    ケル−鉄合金からなることを特徴とする請求項１に記載
    の磁気ヘッドの製造方法。
  10. 【請求項１０】 前記犠牲層が銅からなり、前記保護層
    が二酸化珪素からなり、かつ前記第１及び第２ポール層
    がコバルト及びインジウムベースの合金からなることを
    特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドの製造方法。
  11. 【請求項１１】 前記積層体を形成する過程が、 前記基板の上にフォトレジスト層を付着させる過程と、 前記フォトレジスト層に開口を形成することにより前記
    フォトレジスト層をパターニングする過程と、 前記開口を介して前記基板の上に第１ポール層を付着さ
    せる過程と、 前記開口を介して前記第１ポール層の上にギャップ層を
    付着させる過程と、 前記開口を介して前記ギャップ層の上に前記犠牲層を付
    着させる過程と、 前記フォトレジスト層を除去する過程とからなることを
    特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドの製造方法。
  12. 【請求項１２】 前記第２ポール層を形成する前に、前
    記第１ポール層及びギャップ層から絶縁されたコイル層
    を付着させる過程を含むことを特徴とする請求項１に記
    載の磁気ヘッドの製造方法。
  13. 【請求項１３】 基板上に磁気ヘッドを形成する方法で
    あって、 前記基板の上に第１材料層を付着させる過程と、 前記第１材料層に開口を形成する過程と、 前記開口内に第１ポール層、ギャップ層及び犠牲層を付
    着させる過程と、 前記第１材料層を除去する過程と、 前記第１ポール層及び前記犠牲層の上及び周囲に第２材
    料層を付着させる過程と、 前記犠牲層を露出させるように前記第２材料層を機械的
    にラッピングする過程と、 面取り部を形成するために１０〜５０°の角度でイオン
    ミリングする過程と、 前記第２材料層に前記ギャップ層の上に或る容積の空間
    を残すように前記犠牲層を除去する過程と、 前記空間内に第２ポール層を付着させる過程と、 前記第２ポール層の材料を選択的に除去することにより
    前記第２ポール層をパターニングする過程とからなるこ
    とを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
  14. 【請求項１４】 前記第２材料層をレベリングする過程
    が、 前記保護層を機械的にラッピングする過程と、 前記犠牲層と接する前記保護層の境界に面取り部を形成
    するように、前記犠牲層を前記保護層より速く侵食する
    イオンビームで前記保護層及び前記犠牲層をミリングす
    る過程とからなることを特徴とする請求項１３に記載の
    磁気ヘッドの製造方法。
  15. 【請求項１５】 前記犠牲層を除去する過程が、実質的
    に前記犠牲層を他の層より速く腐食させるエッチング液
    を用いて前記犠牲層をエッチングする過程を含むことを
    特徴とする請求項１４に記載の磁気ヘッドの製造方法。
  16. 【請求項１６】 前記第２ポール層を付着させる前に、
    前記第１ポール層及びギャップ層から絶縁されたコイル
    層を付着させる過程を含むことを特徴とする請求項１５
    に記載の磁気ヘッドの製造方法。
  17. 【請求項１７】 前記第１材料層がフォトレジスト層で
    あり、かつ前記第２材料層が絶縁材料からなることを特
    徴とする請求項１６に記載の磁気ヘッドの製造方法。
  18. 【請求項１８】 前記絶縁材料がＡｌ2Ｏ3、ＳｉＯ2又
    はＳｉ3Ｎ4 であることを特徴とする請求項１７に記載
    の磁気ヘッドの製造方法。
  19. 【請求項１９】 前記第１及び第２ポール層がニッケル
    −鉄合金を含み、かつ前記変換ギャップ層が非磁性金属
    を含むことを特徴とする請求項１８に記載の磁気ヘッド
    の製造方法。
  20. 【請求項２０】 前記第１及び第２ポール層が、高磁気
    モーメントを有するコバルト及びインジウムベースの合
    金を含み、かつ前記変換ギャップ層が非磁性材料を含む
    ことを特徴とする請求項１９に記載の磁気ヘッドの製造
    方法。 【請求項２０】 基板と、 前記基板上に付着させて形成したポール先端部を有する
    第１ポール層と、 前記第１ポール層の前記ポール先端部の上に付着させた
    変換ギャップ層と、 前記変換ギャップ層の上に形成した面取り部を有する保
    護層と、 前記保護層の上に付着させて形成したポール先端部を有
    する第２ポール層と、 前記第２ポール層の上に形成されたオーバコート層とか
    らなり、 前記第１及び第２ポール層の前記ポール先端部により前
    記変換ギャップ層が画定されることを特徴とする薄膜磁
    気ヘッド。
  21. 【請求項２１】 前記変換ギャップ層が非磁性金属で形
    成されていることを特徴とする請求項２０に記載の薄膜
    磁気ヘッド。
  22. 【請求項２２】 前記保護層が二酸化珪素で形成され、
    前記第１及び第２ポール層がコバルト及びインジウムベ
    ースの合金で形成されていることを特徴とする請求項２
    ０に記載の薄膜磁気ヘッド。
  23. 【請求項２３】 前記第１及び第２ポール層の間にかつ
    前記両ポール層から絶縁して付着された電気コイルを有
    することを特徴とする請求項２０に記載の薄膜磁気ヘッ
    ド。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7947188B2 (en) 2008-12-30 2011-05-24 Tdk Corporation Method for manufacturing CPP-type magnetoresistance effect element

Families Citing this family (135)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3499164B2 (ja) 1999-09-24 2004-02-23 株式会社東芝 磁気ヘッド、その製造方法及び垂直磁気記録装置
US6785953B2 (en) * 2001-06-18 2004-09-07 International Business Machines Corporation Process of fabricating a write head with protection of a second pole tip thickness
US6721138B1 (en) 2001-10-24 2004-04-13 Western Digital (Fremont), Inc. Inductive transducer with stitched pole tip and pedestal defining zero throat height
US7265942B2 (en) * 2004-03-30 2007-09-04 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. Inductive magnetic head with non-magnetic seed layer gap structure and method for the fabrication thereof
US8689430B1 (en) 2006-11-29 2014-04-08 Western Digital (Fremont), Llc Method for providing a perpendicular magnetic recording (PMR)head
US20090133908A1 (en) * 2007-11-28 2009-05-28 Goodner Michael D Interconnect structure for a microelectronic device, method of manfacturing same, and microelectronic structure containing same
US8404128B1 (en) 2009-02-23 2013-03-26 Western Digital (Fremont), Llc Method and system for providing a perpendicular magnetic recording head
US8400731B1 (en) 2009-04-19 2013-03-19 Western Digital (Fremont), Llc Write head with variable side shield gaps
US8611055B1 (en) 2009-07-31 2013-12-17 Western Digital (Fremont), Llc Magnetic etch-stop layer for magnetoresistive read heads
US9202480B2 (en) 2009-10-14 2015-12-01 Western Digital (Fremont), LLC. Double patterning hard mask for damascene perpendicular magnetic recording (PMR) writer
US8441896B2 (en) 2010-06-25 2013-05-14 Western Digital (Fremont), Llc Energy assisted magnetic recording head having laser integrated mounted to slider
US8997832B1 (en) 2010-11-23 2015-04-07 Western Digital (Fremont), Llc Method of fabricating micrometer scale components
US8441756B1 (en) 2010-12-16 2013-05-14 Western Digital (Fremont), Llc Method and system for providing an antiferromagnetically coupled writer
US9123359B1 (en) 2010-12-22 2015-09-01 Western Digital (Fremont), Llc Magnetic recording transducer with sputtered antiferromagnetic coupling trilayer between plated ferromagnetic shields and method of fabrication
US8456961B1 (en) 2011-03-22 2013-06-04 Western Digital (Fremont), Llc Systems and methods for mounting and aligning a laser in an electrically assisted magnetic recording assembly
US8419954B1 (en) 2011-10-31 2013-04-16 Western Digital (Fremont), Llc Method for providing a side shield for a magnetic recording transducer
US8760823B1 (en) 2011-12-20 2014-06-24 Western Digital (Fremont), Llc Method and system for providing a read transducer having soft and hard magnetic bias structures
US8451563B1 (en) 2011-12-20 2013-05-28 Western Digital (Fremont), Llc Method for providing a side shield for a magnetic recording transducer using an air bridge
US9093639B2 (en) 2012-02-21 2015-07-28 Western Digital (Fremont), Llc Methods for manufacturing a magnetoresistive structure utilizing heating and cooling
US9349392B1 (en) 2012-05-24 2016-05-24 Western Digital (Fremont), Llc Methods for improving adhesion on dielectric substrates
US8724259B1 (en) 2012-06-11 2014-05-13 Western Digital (Fremont), Llc Conformal high moment side shield seed layer for perpendicular magnetic recording writer
US9269382B1 (en) 2012-06-29 2016-02-23 Western Digital (Fremont), Llc Method and system for providing a read transducer having improved pinning of the pinned layer at higher recording densities
US8711528B1 (en) 2012-06-29 2014-04-29 Western Digital (Fremont), Llc Tunnel magnetoresistance read head with narrow shield-to-shield spacing
US9213322B1 (en) 2012-08-16 2015-12-15 Western Digital (Fremont), Llc Methods for providing run to run process control using a dynamic tuner
US8984740B1 (en) 2012-11-30 2015-03-24 Western Digital (Fremont), Llc Process for providing a magnetic recording transducer having a smooth magnetic seed layer
US9053719B2 (en) 2012-11-30 2015-06-09 Western Digital (Fremont), Llc Magnetoresistive sensor for a magnetic storage system read head, and fabrication method thereof
US8980109B1 (en) 2012-12-11 2015-03-17 Western Digital (Fremont), Llc Method for providing a magnetic recording transducer using a combined main pole and side shield CMP for a wraparound shield scheme
US8760818B1 (en) 2013-01-09 2014-06-24 Western Digital (Fremont), Llc Systems and methods for providing magnetic storage elements with high magneto-resistance using heusler alloys
US9042208B1 (en) 2013-03-11 2015-05-26 Western Digital Technologies, Inc. Disk drive measuring fly height by applying a bias voltage to an electrically insulated write component of a head
US8883017B1 (en) 2013-03-12 2014-11-11 Western Digital (Fremont), Llc Method and system for providing a read transducer having seamless interfaces
US9336814B1 (en) 2013-03-12 2016-05-10 Western Digital (Fremont), Llc Inverse tapered waveguide for use in a heat assisted magnetic recording head
US9111564B1 (en) 2013-04-02 2015-08-18 Western Digital (Fremont), Llc Magnetic recording writer having a main pole with multiple flare angles
US9013836B1 (en) 2013-04-02 2015-04-21 Western Digital (Fremont), Llc Method and system for providing an antiferromagnetically coupled return pole
US9104107B1 (en) 2013-04-03 2015-08-11 Western Digital (Fremont), Llc DUV photoresist process
US8993217B1 (en) 2013-04-04 2015-03-31 Western Digital (Fremont), Llc Double exposure technique for high resolution disk imaging
US9064527B1 (en) 2013-04-12 2015-06-23 Western Digital (Fremont), Llc High order tapered waveguide for use in a heat assisted magnetic recording head
US9070381B1 (en) 2013-04-12 2015-06-30 Western Digital (Fremont), Llc Magnetic recording read transducer having a laminated free layer
US9245545B1 (en) 2013-04-12 2016-01-26 Wester Digital (Fremont), Llc Short yoke length coils for magnetic heads in disk drives
US9431047B1 (en) 2013-05-01 2016-08-30 Western Digital (Fremont), Llc Method for providing an improved AFM reader shield
US9064528B1 (en) 2013-05-17 2015-06-23 Western Digital Technologies, Inc. Interferometric waveguide usable in shingled heat assisted magnetic recording in the absence of a near-field transducer
US9431039B1 (en) 2013-05-21 2016-08-30 Western Digital (Fremont), Llc Multiple sensor array usable in two-dimensional magnetic recording
US9263067B1 (en) 2013-05-29 2016-02-16 Western Digital (Fremont), Llc Process for making PMR writer with constant side wall angle
US9361913B1 (en) 2013-06-03 2016-06-07 Western Digital (Fremont), Llc Recording read heads with a multi-layer AFM layer methods and apparatuses
US9406331B1 (en) 2013-06-17 2016-08-02 Western Digital (Fremont), Llc Method for making ultra-narrow read sensor and read transducer device resulting therefrom
US9287494B1 (en) 2013-06-28 2016-03-15 Western Digital (Fremont), Llc Magnetic tunnel junction (MTJ) with a magnesium oxide tunnel barrier
US9318130B1 (en) 2013-07-02 2016-04-19 Western Digital (Fremont), Llc Method to fabricate tunneling magnetic recording heads with extended pinned layer
US8947985B1 (en) 2013-07-16 2015-02-03 Western Digital (Fremont), Llc Heat assisted magnetic recording transducers having a recessed pole
US8923102B1 (en) 2013-07-16 2014-12-30 Western Digital (Fremont), Llc Optical grating coupling for interferometric waveguides in heat assisted magnetic recording heads
US9275657B1 (en) 2013-08-14 2016-03-01 Western Digital (Fremont), Llc Process for making PMR writer with non-conformal side gaps
US9431032B1 (en) 2013-08-14 2016-08-30 Western Digital (Fremont), Llc Electrical connection arrangement for a multiple sensor array usable in two-dimensional magnetic recording
US9042051B2 (en) 2013-08-15 2015-05-26 Western Digital (Fremont), Llc Gradient write gap for perpendicular magnetic recording writer
US9343098B1 (en) 2013-08-23 2016-05-17 Western Digital (Fremont), Llc Method for providing a heat assisted magnetic recording transducer having protective pads
US9343086B1 (en) 2013-09-11 2016-05-17 Western Digital (Fremont), Llc Magnetic recording write transducer having an improved sidewall angle profile
US9441938B1 (en) 2013-10-08 2016-09-13 Western Digital (Fremont), Llc Test structures for measuring near field transducer disc length
US9042058B1 (en) 2013-10-17 2015-05-26 Western Digital Technologies, Inc. Shield designed for middle shields in a multiple sensor array
US9349394B1 (en) 2013-10-18 2016-05-24 Western Digital (Fremont), Llc Method for fabricating a magnetic writer having a gradient side gap
US9214172B2 (en) 2013-10-23 2015-12-15 Western Digital (Fremont), Llc Method of manufacturing a magnetic read head
US9007719B1 (en) 2013-10-23 2015-04-14 Western Digital (Fremont), Llc Systems and methods for using double mask techniques to achieve very small features
US8988812B1 (en) 2013-11-27 2015-03-24 Western Digital (Fremont), Llc Multi-sensor array configuration for a two-dimensional magnetic recording (TDMR) operation
US9194692B1 (en) 2013-12-06 2015-11-24 Western Digital (Fremont), Llc Systems and methods for using white light interferometry to measure undercut of a bi-layer structure
US9280990B1 (en) 2013-12-11 2016-03-08 Western Digital (Fremont), Llc Method for fabricating a magnetic writer using multiple etches
US9001628B1 (en) 2013-12-16 2015-04-07 Western Digital (Fremont), Llc Assistant waveguides for evaluating main waveguide coupling efficiency and diode laser alignment tolerances for hard disk
US9082423B1 (en) 2013-12-18 2015-07-14 Western Digital (Fremont), Llc Magnetic recording write transducer having an improved trailing surface profile
US8917581B1 (en) 2013-12-18 2014-12-23 Western Digital Technologies, Inc. Self-anneal process for a near field transducer and chimney in a hard disk drive assembly
US8971160B1 (en) 2013-12-19 2015-03-03 Western Digital (Fremont), Llc Near field transducer with high refractive index pin for heat assisted magnetic recording
US9147408B1 (en) 2013-12-19 2015-09-29 Western Digital (Fremont), Llc Heated AFM layer deposition and cooling process for TMR magnetic recording sensor with high pinning field
US8970988B1 (en) 2013-12-31 2015-03-03 Western Digital (Fremont), Llc Electric gaps and method for making electric gaps for multiple sensor arrays
US9305583B1 (en) 2014-02-18 2016-04-05 Western Digital (Fremont), Llc Method for fabricating a magnetic writer using multiple etches of damascene materials
US9183854B2 (en) 2014-02-24 2015-11-10 Western Digital (Fremont), Llc Method to make interferometric taper waveguide for HAMR light delivery
US9202493B1 (en) 2014-02-28 2015-12-01 Western Digital (Fremont), Llc Method of making an ultra-sharp tip mode converter for a HAMR head
US9396743B1 (en) 2014-02-28 2016-07-19 Western Digital (Fremont), Llc Systems and methods for controlling soft bias thickness for tunnel magnetoresistance readers
US9142233B1 (en) 2014-02-28 2015-09-22 Western Digital (Fremont), Llc Heat assisted magnetic recording writer having a recessed pole
US8988825B1 (en) 2014-02-28 2015-03-24 Western Digital (Fremont, LLC Method for fabricating a magnetic writer having half-side shields
US9153255B1 (en) 2014-03-05 2015-10-06 Western Digital (Fremont), Llc Method for fabricating a magnetic writer having an asymmetric gap and shields
US9001467B1 (en) 2014-03-05 2015-04-07 Western Digital (Fremont), Llc Method for fabricating side shields in a magnetic writer
US9135930B1 (en) 2014-03-06 2015-09-15 Western Digital (Fremont), Llc Method for fabricating a magnetic write pole using vacuum deposition
US9934811B1 (en) 2014-03-07 2018-04-03 Western Digital (Fremont), Llc Methods for controlling stray fields of magnetic features using magneto-elastic anisotropy
US9190085B1 (en) 2014-03-12 2015-11-17 Western Digital (Fremont), Llc Waveguide with reflective grating for localized energy intensity
US9111558B1 (en) 2014-03-14 2015-08-18 Western Digital (Fremont), Llc System and method of diffractive focusing of light in a waveguide
US9135937B1 (en) 2014-05-09 2015-09-15 Western Digital (Fremont), Llc Current modulation on laser diode for energy assisted magnetic recording transducer
US8958272B1 (en) 2014-06-10 2015-02-17 Western Digital (Fremont), Llc Interfering near field transducer for energy assisted magnetic recording
US8976635B1 (en) 2014-06-10 2015-03-10 Western Digital (Fremont), Llc Near field transducer driven by a transverse electric waveguide for energy assisted magnetic recording
US9007879B1 (en) 2014-06-10 2015-04-14 Western Digital (Fremont), Llc Interfering near field transducer having a wide metal bar feature for energy assisted magnetic recording
US8953422B1 (en) 2014-06-10 2015-02-10 Western Digital (Fremont), Llc Near field transducer using dielectric waveguide core with fine ridge feature
US9508363B1 (en) 2014-06-17 2016-11-29 Western Digital (Fremont), Llc Method for fabricating a magnetic write pole having a leading edge bevel
US9361914B1 (en) 2014-06-18 2016-06-07 Western Digital (Fremont), Llc Magnetic sensor with thin capping layer
US9214169B1 (en) 2014-06-20 2015-12-15 Western Digital (Fremont), Llc Magnetic recording read transducer having a laminated free layer
US9053735B1 (en) 2014-06-20 2015-06-09 Western Digital (Fremont), Llc Method for fabricating a magnetic writer using a full-film metal planarization
US9042052B1 (en) 2014-06-23 2015-05-26 Western Digital (Fremont), Llc Magnetic writer having a partially shunted coil
US9230565B1 (en) 2014-06-24 2016-01-05 Western Digital (Fremont), Llc Magnetic shield for magnetic recording head
US9190079B1 (en) 2014-09-22 2015-11-17 Western Digital (Fremont), Llc Magnetic write pole having engineered radius of curvature and chisel angle profiles
US9007725B1 (en) 2014-10-07 2015-04-14 Western Digital (Fremont), Llc Sensor with positive coupling between dual ferromagnetic free layer laminates
US9087527B1 (en) 2014-10-28 2015-07-21 Western Digital (Fremont), Llc Apparatus and method for middle shield connection in magnetic recording transducers
US9786301B1 (en) 2014-12-02 2017-10-10 Western Digital (Fremont), Llc Apparatuses and methods for providing thin shields in a multiple sensor array
US9721595B1 (en) 2014-12-04 2017-08-01 Western Digital (Fremont), Llc Method for providing a storage device
US9111550B1 (en) 2014-12-04 2015-08-18 Western Digital (Fremont), Llc Write transducer having a magnetic buffer layer spaced between a side shield and a write pole by non-magnetic layers
US9236560B1 (en) 2014-12-08 2016-01-12 Western Digital (Fremont), Llc Spin transfer torque tunneling magnetoresistive device having a laminated free layer with perpendicular magnetic anisotropy
US9881638B1 (en) 2014-12-17 2018-01-30 Western Digital (Fremont), Llc Method for providing a near-field transducer (NFT) for a heat assisted magnetic recording (HAMR) device
US9286919B1 (en) 2014-12-17 2016-03-15 Western Digital (Fremont), Llc Magnetic writer having a dual side gap
US9214165B1 (en) 2014-12-18 2015-12-15 Western Digital (Fremont), Llc Magnetic writer having a gradient in saturation magnetization of the shields
US9741366B1 (en) 2014-12-18 2017-08-22 Western Digital (Fremont), Llc Method for fabricating a magnetic writer having a gradient in saturation magnetization of the shields
US10074387B1 (en) 2014-12-21 2018-09-11 Western Digital (Fremont), Llc Method and system for providing a read transducer having symmetric antiferromagnetically coupled shields
US9343087B1 (en) 2014-12-21 2016-05-17 Western Digital (Fremont), Llc Method for fabricating a magnetic writer having half shields
US9437251B1 (en) 2014-12-22 2016-09-06 Western Digital (Fremont), Llc Apparatus and method having TDMR reader to reader shunts
US9449625B1 (en) 2014-12-24 2016-09-20 Western Digital (Fremont), Llc Heat assisted magnetic recording head having a plurality of diffusion barrier layers
US9123374B1 (en) 2015-02-12 2015-09-01 Western Digital (Fremont), Llc Heat assisted magnetic recording writer having an integrated polarization rotation plate
US9312064B1 (en) 2015-03-02 2016-04-12 Western Digital (Fremont), Llc Method to fabricate a magnetic head including ion milling of read gap using dual layer hard mask
US9431031B1 (en) 2015-03-24 2016-08-30 Western Digital (Fremont), Llc System and method for magnetic transducers having multiple sensors and AFC shields
US9443541B1 (en) 2015-03-24 2016-09-13 Western Digital (Fremont), Llc Magnetic writer having a gradient in saturation magnetization of the shields and return pole
US9384763B1 (en) 2015-03-26 2016-07-05 Western Digital (Fremont), Llc Dual free layer magnetic reader having a rear bias structure including a soft bias layer
US9449621B1 (en) 2015-03-26 2016-09-20 Western Digital (Fremont), Llc Dual free layer magnetic reader having a rear bias structure having a high aspect ratio
US9245562B1 (en) 2015-03-30 2016-01-26 Western Digital (Fremont), Llc Magnetic recording writer with a composite main pole
US9263071B1 (en) 2015-03-31 2016-02-16 Western Digital (Fremont), Llc Flat NFT for heat assisted magnetic recording
US9147404B1 (en) 2015-03-31 2015-09-29 Western Digital (Fremont), Llc Method and system for providing a read transducer having a dual free layer
US9508372B1 (en) 2015-06-03 2016-11-29 Western Digital (Fremont), Llc Shingle magnetic writer having a low sidewall angle pole
US9508365B1 (en) 2015-06-24 2016-11-29 Western Digital (Fremont), LLC. Magnetic reader having a crystal decoupling structure
US9530443B1 (en) 2015-06-25 2016-12-27 Western Digital (Fremont), Llc Method for fabricating a magnetic recording device having a high aspect ratio structure
US9842615B1 (en) 2015-06-26 2017-12-12 Western Digital (Fremont), Llc Magnetic reader having a nonmagnetic insertion layer for the pinning layer
US9646639B2 (en) 2015-06-26 2017-05-09 Western Digital (Fremont), Llc Heat assisted magnetic recording writer having integrated polarization rotation waveguides
US9431038B1 (en) 2015-06-29 2016-08-30 Western Digital (Fremont), Llc Method for fabricating a magnetic write pole having an improved sidewall angle profile
US9666214B1 (en) 2015-09-23 2017-05-30 Western Digital (Fremont), Llc Free layer magnetic reader that may have a reduced shield-to-shield spacing
US9472216B1 (en) 2015-09-23 2016-10-18 Western Digital (Fremont), Llc Differential dual free layer magnetic reader
US9424866B1 (en) 2015-09-24 2016-08-23 Western Digital (Fremont), Llc Heat assisted magnetic recording write apparatus having a dielectric gap
US9384765B1 (en) 2015-09-24 2016-07-05 Western Digital (Fremont), Llc Method and system for providing a HAMR writer having improved optical efficiency
US9595273B1 (en) 2015-09-30 2017-03-14 Western Digital (Fremont), Llc Shingle magnetic writer having nonconformal shields
US9484051B1 (en) 2015-11-09 2016-11-01 The Provost, Fellows, Foundation Scholars and the other members of Board, of the College of the Holy and Undivided Trinity of Queen Elizabeth near Dublin Method and system for reducing undesirable reflections in a HAMR write apparatus
US9953670B1 (en) 2015-11-10 2018-04-24 Western Digital (Fremont), Llc Method and system for providing a HAMR writer including a multi-mode interference device
US10037770B1 (en) 2015-11-12 2018-07-31 Western Digital (Fremont), Llc Method for providing a magnetic recording write apparatus having a seamless pole
US9812155B1 (en) 2015-11-23 2017-11-07 Western Digital (Fremont), Llc Method and system for fabricating high junction angle read sensors
US9564150B1 (en) 2015-11-24 2017-02-07 Western Digital (Fremont), Llc Magnetic read apparatus having an improved read sensor isolation circuit
US9799351B1 (en) 2015-11-30 2017-10-24 Western Digital (Fremont), Llc Short yoke length writer having assist coils
US9754611B1 (en) 2015-11-30 2017-09-05 Western Digital (Fremont), Llc Magnetic recording write apparatus having a stepped conformal trailing shield
US9767831B1 (en) 2015-12-01 2017-09-19 Western Digital (Fremont), Llc Magnetic writer having convex trailing surface pole and conformal write gap
US9740805B1 (en) 2015-12-01 2017-08-22 Western Digital (Fremont), Llc Method and system for detecting hotspots for photolithographically-defined devices
US9858951B1 (en) 2015-12-01 2018-01-02 Western Digital (Fremont), Llc Method for providing a multilayer AFM layer in a read sensor

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59105226A (ja) * 1982-12-09 1984-06-18 株式会社日立製作所 しゃ断器
JPH0268704A (ja) * 1988-09-02 1990-03-08 Yamaha Corp 薄膜ヘッドの製造方法
US5116719A (en) * 1990-02-15 1992-05-26 Seagate Technology, Inc. Top pole profile for pole tip trimming
US5138750A (en) * 1991-05-13 1992-08-18 Dowbrands L.P. Zipper for reclosable thermoplastic bag
US5633771A (en) * 1993-09-29 1997-05-27 Kabushiki Kaisha Toshiba Magnetoresistance effect type head and separate recording-reproducing type magnetic head
WO1997008687A1 (fr) * 1995-08-23 1997-03-06 Hitachi, Ltd. Tete magnetique et systeme de memoire magnetique faisant appel a cette derniere

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7947188B2 (en) 2008-12-30 2011-05-24 Tdk Corporation Method for manufacturing CPP-type magnetoresistance effect element

Also Published As

Publication number Publication date
US6487040B1 (en) 2002-11-26
US6173486B1 (en) 2001-01-16

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