JPH10253848A

JPH10253848A - 光波長合分波器

Info

Publication number: JPH10253848A
Application number: JP9096340A
Authority: JP
Inventors: Takuya Miyashita; 拓也宮下; Mitsuo Ukechi; 光雄請地; Hisao Sekiguchi; 久夫関口
Original assignee: Japan Aviation Electronics Industry Ltd
Current assignee: Japan Aviation Electronics Industry Ltd
Priority date: 1997-03-10
Filing date: 1997-03-10
Publication date: 1998-09-25
Anticipated expiration: 2017-03-10
Also published as: JP3357979B2

Abstract

(57)【要約】【課題】従来の光波長合分波器は光導波路基板上に２本
の光導波路を近接して形成した光方向性結合器方式、あ
るいは光導波路基板に形成された溝に光学フィルタを挿
入、固定したフィルタ挿入方式の光波長合分波器であっ
た。この何れの方式でも良好な特性の波長合分波器を大
量に製作することは困難であった。【解決手段】光導波路基板上にその端面で交わる光導波
路を設け、更にこれらの光導波路が交わる光導波路基板
の端面に第１の波長の光を反射し第２の波長の光を透過
する光学フィルタを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は光通信に使用される
光波長合分波器に関し、特に製造容易かつ小型な光波長
合分波器に関する。

【０００２】

【従来の技術】光通信において、大容量の情報を伝送
し、また双方向への同時情報伝送を可能とするために、
複数の波長の光を１つの伝送路で伝送する光波長多重方
式が用いられている。光波長多重方式には、異なる伝送
路から来た複数の波長の光を１つに合流させる波長合波
器及び１つの伝送路に含まれる複数の波長の光を分離す
る波長分波器が必要とされている。そして、機能的に波
長合波器と波長分波器を兼用する波長合分波器を用いる
ことで、光波長多重方式システムを効率よく構成するこ
とができる。従来の光波長合分波器を図１０〜図１２に
示す。図１０は光方向性結合器方式の光波長合分波器で
あり、光導波路基板１０上に２本の光導波路１１ａ、１
１ｂが近接して形成されている。光導波路１１ａはその
２つの端部が、光導波路基板１０の２つの端面それぞれ
に到達し、光ファイバ２０ａのコア２１ａ、光ファイバ
２０ｃのコア２１ｃそれぞれの端部と対向している。光
導波路１１ｂは端部の一方のみが、光導波路基板１０の
端面に到達し、光ファイバ２０ｂのコア２１ｂの端部と
対向している。光導波路１１ａと光導波路１１ｂが近接
していることから、この間で光エネルギーの交換（分布
結合）が行われる。光導波路１１ａと光導波路１１ｂの
間隔は、第１の波長の光のすべてが一方の光導波路から
他方の光導波路へ移行し、第２の波長の光は移行しない
ように調整されている。光ファイバ２０ａを通じて前記
第１の波長の光と第２の波長の光が混合した光が光導波
路１１ａに注入される。このうち、第１の波長の光は光
導波路１１ａから光導波路１１ｂへ移行し、さらにその
端部から放射した光が光ファイバ２０ｂへ注入される。
一方、第２の波長の光は光導波路１１ａをそのまま通過
し、光ファイバ２０ｃに対向する側の端部から放射した
光が光ファイバ２０ｃへ注入される。このように、光フ
ァイバ２０ａ中の２つの波長の光がそれぞれ光ファイバ
２０ｂ、光ファイバ２０ｃに分離することになり、光導
波路基板１０は光分波器として機能する。また、光ファ
イバ２０ｂから第１の波長の光を、光ファイバ２０ｃか
ら第２の波長の光を、それぞれ光導波路１１ｂ、光導波
路１１ａへ注入することを考える。第１の波長の光は光
導波路１１ｂから光導波路１１ａへと移行し、一方第２
の波長の光はそのまま光導波路１１ａを通過する。この
結果、第１の波長の光と第２の波長の光が共に光導波路
１１ａを通して光ファイバ２０ａに注入されることとな
り、光導波路基板１０は光合波器として機能する。図１
１はやはり光方向性結合器方式の光波長合分波器であ
る。光導波路１１ａがＹ分岐して光導波路１１ｃとなっ
て、光導波路基板１０の端面に達し、光導波路１１ｃの
端面は光ファイバ２０ｄのコア２１ｄの端部と対向して
いる。この点以外には、図１０と変わることはない。第
１の波長の光と第２の波長の光を混合した光を光ファイ
バ２０ａから光導波路１１ａに注入した場合、第１の波
長の光が１１ｂに移行し、第２の波長の光は１１ａを通
過することは図１０と同様である。第２の波長の光は光
導波路１１ａがＹ分岐していることから光導波路１１ｃ
にも分けられ、光ファイバ２０ｃ及び光ファイバ２０ｄ
に注入される。光合波器として機能するときには、光フ
ァイバ２０ｃのみならず光ファイバ２０ｄからも、第２
の波長の光を注入合波することができる。

【０００３】図１２はフィルタ挿入方式の波長合分波器
である。図１２Ａは平面図を図１２Ｂは側面図を示す。
光導波路基板１０の上に光導波路１１ａ、１１ｂ、１１
ｃが形成され、さらに光導波路基板１０の縦方向に形成
された溝に光学フィルタ３０が挿入、固定される。光導
波路１１ａは光導波路基板１０の左端面から溝に達し、
溝面と角度をもって交わっている。光導波路１１ｂは光
導波路基板１０の左端面から溝に達し、光導波路１１ａ
とは溝面の法線に対して正負反対の角度で、溝面と交わ
っている。そして、光導波路１１ａと光導波路１１ｂは
溝面において交わっている。光導波路１１ｃは光導波路
基板１０の右端面から、光導波路１１ａ、１１ｂが交わ
る溝面とは反対側の溝面に達し、光導波路１１ａの延長
方向になるようにこの溝面と互いに交わっている。光学
フィルタ３０は光導波路１１ａと光導波路１１ｂが交わ
る端部に対向して溝内に設置されている。さらに、光導
波路１１ａ、１１ｂ、１１ｃの端部それぞれに、コア２
１ａ、２１ｂ、２１ｃの端部が対向するように、光ファ
イバ２０ａ、２０ｂ、２０ｃが設置される。ここで、光
学フィルタ３０は第１の波長の光を反射し第２の波長の
光を透過するように調製されている。光ファイバ２０ａ
を通して、第１の波長の光と第２の波長の光を混合した
光を光導波路１１ａに注入する。すると第１の波長の光
は光学フィルタ３０で反射されて光導波路１１ｂを通過
し、光ファイバ２０ｂに入ってゆく。また、第２の波長
の光は光学フィルタ３０を透過し、光導波路１１ｃを経
由して光ファイバ２０ｃに入ってゆく。このようにし
て、波長分波が行われる。逆に、光ファイバ２０ｂに第
１の波長の光を光ファイバ２０ｃに第２の波長の光を通
せば、合波された光が光ファイバ２０ａに出てくること
になる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】以上述べた従来の波長
合分波器には問題点があった。光方向性結合器方式にお
いては分波合波特性を良くするためには、光導波路１１
ａと光導波路１１ｂが近接している部分の距離を長く取
る必要があった。このため、素子が大きくなるととも
に、光導波路１１ａ、１１ｂにおける損失が大きくな
り、分波合波された光の強度が十分ではなかった。ま
た、この近接距離と分波合波特性の関係が極めて微妙で
ある。このため、距離の少しの誤差に起因して、２つの
波長の光が完全には分離せず、波長分離特性の劣化を招
き易いため、良好な特性の波長合分波器の製作が極めて
困難であった。フィルタ挿入方式にあっては、光導波路
基板１０への溝の形成、光学フィルタ３０の別部品とし
ての製造、さらに溝への光学フィルタ３０の挿入、固定
する工程が必要である。このため、工程が複雑であり、
大量生産に向いているとはいえない。しかも溝の形成、
フィルタの固定には厳格な精度を要し、溝加工の精度や
光学フィルタ３０の固定時あるいは固定後の経時変化に
よる光学フィルタ３０の角度ズレが、大きく性能に影響
する。

【０００５】本発明は従来の欠点を除去し、小型、高性
能かつ製造容易な波長合分波器を提供することを目的と
する。本発明により波長合分波器の小型化、高性能化を
図ることができる。さらに、製造工程の簡略化が可能で
あり、大量生産の容易化、生産性の向上をも図ることが
できる。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明では光導波路基
板（１０）上にその端面で交わる光導波路（１１ａ、１
１ｂ）を設け、更にこれらの光導波路（１１ａ、１１
ｂ）が交わる光導波路基板（１０）の端面に第１の波長
の光を反射し第２の波長の光を透過する光学フィルタ
（３０）を設ける。

【０００７】

【作用】本願発明に係る波長合分波器にあっては、精度
を要ししかも加工困難な溝の形成、溝への光学フィルタ
の挿入、固定という、工程を経ることなく製造できる。
このため、製造が容易であり、かつ高性能な波長合分波
器を提供することができる。また、光導波路が短くてす
むので素子の小型化をも図ることができる。

【０００８】

【発明の実施の形態】本発明の第１の実施例を図１に示
す。光導波路基板１０上に光導波路１１ａ、１１ｂが形
成され、光導波路１１ａ、１１ｂは光導波路基板１０の
左端面から右端面に達し、右端面で交わっている。光導
波路１１ａ、１１ｂの左端部には、光ファイバ２０ａの
コア２１ａの端部と光ファイバ２０ｂのコア２１ｂの端
部が、それぞれ対向している。光導波路１１ａ、１１ｂ
の交わる右端部には光ファイバ２０ｃのコア２１ｃの端
部が対向し、光導波路１１ａ、１１ｂの右端部とコア２
１ｃの端部の間で、かつ光導波路基板１０の右端面に光
学フィルタ３０が設置される。ここで、光学フィルタ３
０は第１の波長の光を反射し第２の波長の光を透過す
る。第１の波長の光と第２の波長の光が混合された光
が、光ファイバ２０ａを通して光導波路１１ａに注入さ
れる。この光は光学フィルタ３０により第１の波長の反
射光、第２の波長の透過光に分離され、それぞれ光ファ
イバ２０ｂ、２０ｃに分かれて進む。このようにして、
分波が行われる。また、光ファイバ２０ｂから第１の波
長の光を光ファイバ２０ｃから第２の波長の光をそれぞ
れ注入すれば、それぞれの光は反射光、透過光として１
１ａに入り、いずれも光ファイバ２０ａに注入される。
このようにして、合波が行われる。

【０００９】光導波路基板１０の作成は、種々の方法が
適用できる。例えばニオブ酸リチュウム基板にＴｉ拡散
で導波路を形成することで行える。また、Ｓｉ基板上に
火炎堆積法でガラス導波路を形成することもできる。さ
らに、Ｓｉ基板上に有機材料でコア層、クラッド層を作
成し、導波路とすることも可能である。これらの方法
は、いずれも微細加工技術の利用が可能であり、精度良
く導波路を作成できることが知られている。光学フィル
タ３０は例えば誘電体多層膜の干渉フィルタを利用でき
る。そしてその設置は、例えば従来例のように、別に製
作した光学フィルタ３０を光導波路基板１０に固定取り
付けることで行える。また、真空蒸着等の成膜方法によ
り光導波路基板１０の端面上に誘電体多層膜を直接積層
することも可能である。この場合には、光学フィルタ３
０の取りつけ固定時、及び経時変化による角度ズレを生
じることがない。また、製造工程を簡略化して、大量生
産を容易にすることにつながる。光学フィルタ３０の形
成は、光導波路基板１０の端面上ではなく、光ファイバ
２０ｃの端面上に誘電体多層膜等を成膜することによっ
てすることも可能である。この場合、光学フィルタ３０
と光ファイバ２０ｃの位置ズレを生じないこと、同時に
多数の光ファイバ２０ｃへの光学フィルタ３０の形成が
可能であり量産に向く、という長所がある。ここで、光
学フィルタ３０に反射防止膜を形成することができる。
このようにすれば、光学フィルタ３０上の反射による１
１ａと２１ｃ間の光損失を低減できる。さらに、第２の
波長の光の１部が反射されて光導波路１１ｂに入り込み
第１の波長に混入すること（クロストーク）、即ち波長
分離特性を低下させること、を防止することにもつなが
る。

【００１０】第１の波長の光を反射光としているが、２
つの波長の光のいずれを第１の波長とするかについて
は、任意性がある。ここで、この決めかたについて述べ
ることとする。光学フィルタ３０の波長分離特性につい
て考える。ここで、クロストークには２種類あることに
注意する。波長分離後の第１の波長の反射光に第２の波
長の光の一部が反射して混入する場合のクロストークに
ついては既に述べた。この他に、第２の波長の透過光に
第１の波長の光の一部が透過光として混入する場合のク
ロストークも存在する。これらをそれぞれ反射側クロス
トーク、透過側クロストークと呼ぶことにする。クロス
トークは分波前の光の中に第１の波長の光と第２の波長
の光が混合していた割合に依存する。このため、光波長
合分波器自体の客観的評価として、クロストークは使い
にくい。そこで、光波長合分波器の特性値として、アイ
ソレーションＩｓを定義する。第１の波長、第２の波長
のアイソレーションＩｓ_１、Ｉｓ_２はそれぞれＩｓ_１＝ΔＩ_１／Ｉ_１、Ｉｓ_２＝ΔＩ_２／Ｉ_２である。ここで、添え字の１、２はそれぞれ第１の波
長、第２の波長を、Ｉ_１、Ｉ_２は分波前の光の光量を、
ΔＩ_１、ΔＩ_２は分波後に他方の波長の光に混入した光
の光量（ΔＩ_１では第２の波長の光に混入した第１の波
長の光の光量）を意味する。第１の波長のアイソレーシ
ョンＩｓ_１が減少すれば第２の波長におけるクロストー
ク（透過側クロストーク）が、第２の波長のアイソレー
ションＩｓ_２が減少すれば第１の波長におけるクロスト
ーク（反射側クロストーク）が、それぞれ減少する。即
ち、波長分離特性が向上することになる。以下、分かり
易さのためにＩｓ_１を透過側アイソレーション、Ｉｓ_２
を反射側アイソレーションと呼ぶこととする。反射防止
膜を使用して波長分離特性を向上できることを前提とす
れば、光波長合分波器のアイソレーションは、単なる光
学フィルタ３０の設計事項にすぎないはずである。しか
し、実際に光学フィルタ３０を作成して種々の実験を行
った結果、反射防止膜を被覆して反射側アイソレーショ
ンを向上するには、一定の限界があることが判った。理
論上は反射防止膜によって完全な無反射を達成しうるこ
とから、アイソレーションを限りなくゼロに近づけられ
る。しかし、実験的にはどの光学フィルタ３０でも、フ
ィルタ単体でさえアイソレーション値１×１０^−４以
上、即ち入射光の１００ｐｐｍ（０．０１％、４０ｄ
Ｂ）以上が残留反射として残っていた。一方、透過側の
アイソレーションの向上には明確な限界はなく、光学フ
ィルタ３０を設計作成することで、透過光量を入射光量
の１００ｐｐｍ以下（アイソレーション値で１×１０
^−４以下）とすることは比較的容易であった。これらの
実験結果は波長が赤外域（波長１．３μｍ、１．５５μ
ｍ）でも、可視域でもほぼ同様であった。この意外な結
果は、膜作成時における誤差、積層膜の境界の不完全性
が残留反射を残す方向に働きがちであることに起因す
る。例えば、作成した膜厚が設計値からずれたとする
と、この誤差は透過側アイソレーションよりも反射側の
アイソレーションに対して、より大きな影響を与える。
以上から次のことがいえる。２つの波長について求めら
れるアイソレーションが異なる場合、即ち透過側アイソ
レーションと反射側アイソレーションとが異なる場合に
は、アイソレーションが厳しい方を透過側に設定すべき
である。例えば、２つの波長の光の一方をアナログで、
もう一方をディジタルとして信号伝送する場合を考え
る。ディジタルでは０か１かのみを区別すればよいから
クロストークに強い。一方、アナログではさらに細かく
信号量を区別しなければならなことから、クロストーク
による信号の伝送ミスが発生し易い。従い、アナログは
ディジタルよりアイソレーションを厳しくする必要があ
る。このため、アナログ側を透過側、即ち第２の波長と
すべきことになる。以上までは、波長の幅について特に
考慮していなかった。しかし、使用する光の波長には一
定の幅がある。これは主として発光素子の発光波長が一
定の幅を有することに起因する。２つの波長それぞれに
おいてその幅が等しいわけではない。そして、反射防止
膜によって広い波長幅にわたって無反射を達成すること
は、純粋の設計上からしても困難である。一方、透過側
アイソレーションについては、光学フィルタ３０の設計
により広い波長幅で良好に保つことが、比較的たやす
い。このため、使用する波長の幅が異なるときは波長の
幅が広い方を第２の波長として透過側に設定すべきであ
る。

【００１１】光学フィルタ３０の具体例として、波長１
３００ｎｍを反射側、波長１５５０ｎｍを透過側、光の
入射角を４５゜とした光学フィルタ３０を設計、製作し
た。製作はガラス基板上にＴａ_２Ｏ_５とＳｉ０_２を交互
に真空蒸着で４７層積層することで行い、全層数を１
０．１μｍとした。この結果、波長合分波器での透過側
アイソレーション値１×１０^−４以下を達成することが
できた。波長に対するアイソレーションの関係で見る
と、透過側アイソレーション値が１×１０^−４以下とな
った波長範囲は波長の幅で９０ｎｍ（波長１２６０〜１
３５０ｎｍ）であった。これに対して、このときの反射
側アイソレーションはピーク値でも１×１０^−４までゆ
かず、せいぜい１×１０^−２〜１×１０^−３程度であ
り、波長範囲でもアイソレーション値１×１０^−２以下
のときの波長の幅で１５ｎｍ（波長１５５５〜１５７０
ｎｍ）にとどまった。以上の材料、層数、全膜厚は１例
であり、必要に応じて当業者の設計すべき値である。例
えば、光の入射角が小さければ、求められるアイソレー
ション値が同じでも、層数を減らして、製造工程を簡略
化することが可能となる。但し、この場合でも透過側の
方がアイソレーション値を小さく、波長幅では大きくと
れることに変わりはない。

【００１２】導波路１１と光ファイバ２０間の位置合わ
せにはさまざまの方法を用いられる。例えば、光を通し
ながら導波路１１と光ファイバ２０間の位置を変化させ
て、通過する光量の変化を検出することで、導波路１１
と光ファイバ２０の最適アライメントを達成できる（ア
クティブアライメント）。最適アライメントが達成され
たら、その状態を保つように導波路１１と光ファイバ２
０を固定すれば良い。例えば、図２に示すように光学接
着剤５０で導波路１１と光ファイバ２０間を固定すれば
良く、これを変形例の１とする。ここで、光学接着剤５
０は導波路１１、光ファイバ２０、光学フィルタ３０の
屈折率を考慮し、導波路１１と光ファイバ２０間の光の
結合が最も強くなるような、屈折率のものを選択する。
適当な屈折率の光学接着剤を選択すれば、導波路１１、
光ファイバ２０の端部での光反射等による接続損失を大
きく低減できる。この簡単な手段として、コア２１の屈
折率に合わせることが良く行われる。ここで、前述した
反射防止膜を併用することも可能である。この場合に
は、光学接着剤の屈折率を考慮して、反射防止膜の設計
を行うべきである。なお、導波路１１と光ファイバ２０
との間を直接接続しない場合であっても、屈折率整合材
を光学接着剤５０の代わりに使用することで、接続損失
の向上を図ることができる。屈折率整合材は、例えばシ
リコン系樹脂を主材料としたものが、マッチングオイル
として一般に市販されている。実施例１の変形例の２と
して、図３のように光導波路１１ｂが光導波路１１ｃへ
とＹ分岐しているものを挙げることができる。図３は図
１とは上下が逆であるが、光導波路１１ｂがＹ分岐して
いる点以外は図１と実質的に同一である。このようにす
れば、光ファイバ２０ａから光導波路基板１０に注入さ
れた２波長が混合した光のうち、分波した第１の波長の
光を光ファイバ２０ｂと光ファイバ２０ｄへと２分岐し
て使用することができる。また、逆に第１の波長の光を
光導波路基板１０に注入し、合波するにあたって、光フ
ァイバ２０ｂと光ファイバ２０ｄのいずれかを任意に選
択すれば良いことになる。また、図４は実施例１の変形
例の３であり、光導波路基板１０に対向して、光ファイ
バの代わりに光発光素子４１、光受光素子４２を設置し
ている。図１の光ファイバ２０ｂの代わりに第１の波長
に対する光発光素子４１、光ファイバ２０ｃの代わりに
第２の波長に対する光受光素子４２を設置している。こ
うすれば第１の波長の光での光送信と第２の波長の光で
の光受信を同時に行うことができる。光発光素子４１と
光受光素子４２の設置は図２と同様に、光学接着剤を用
いて行える。ここで、光学フィルタ３０を光受光素子４
２上に積層作成すれば、位置合わせ上、製造工程上有利
なのは図１の場合と同様である。

【００１３】本発明の第２の実施例を図５に示す。ここ
では、光導波路基板１０の右端面が光導波路基板１０の
側面に対し斜めになっている。図で、光導波路１１ａは
光導波路基板１０の側面に対して平行に形成されてい
る。但し、これは図としての分かり易さのためであり、
必ずしも平行でなくてもかまわない。光導波路１１ｂは
光導波路１１ａと光導波路基板１０の右端面で交わって
おり、光導波路１１ａとは光導波路基板１０の右端面の
法線に対する角度が正負逆となっている。光ファイバ２
０ｃは光導波路１１ａの延長上になるように、コア２１
ｃの端面が光導波路１１ａの右端面と角度をもって対向
している。このようにすれば、光導波路１１ａの端面か
ら直進した光がそのままコア２１ｃに注入し、逆にコア
２１ｃから出射した光がそのまま直進して光導波路１１
ａに注入されることになる。この結果、光導波路１１ａ
と光ファイバ２０ｃ間の光損失を低減し、光結合効率の
向上を図れる。本発明の第３の実施例を図６に示す。こ
こでは、光導波路基板１０の右端面が、図５ではその全
面が側面とは斜めになっていたのに対し、導波路が交わ
っている局部のみが斜めになっている。このようにすれ
ば、光導波路基板１０と光ファイバ２０ｃの間をより接
近させることが容易となる。その結果第２の実施例より
も更に、光導波路１１ａと光ファイバ２０ｃとの間の光
結合の効率を向上することができる。図２の場合に示し
たように、屈折率整合材を用いることで光結合の向上が
可能なことは言うまでもない。ここで、光導波路１１と
光ファイバ２０の間の位置合わせを容易に行う方法を示
す。これが図７〜図９である。図７は光導波路基板１
０、光ファイバ２０を固定した光ファイバ固定基板６
０、抑え板７０の結合状態を示す斜視図である。そし
て、図８は光導波路基板１０と光ファイバ固定基板６０
のみを平面図で表わし、図９は光学フィルタ３０付近の
光導波路基板１０と光ファイバ固定基板６０を拡大して
斜視図で示してある。光導波路基板１０自体は図６と変
わるものではないが、溝８０を境として光ファイバ固定
基板６０と一体に形成されている。そして、光ファイバ
固定基板６０には光ファイバを固定するためのＶ溝６１
が形成されている。この１体構造は、例えばＳｉ基板等
の半導体材料に微細加工を行ってＶ溝を形成し、しかる
後溝８０をダイシング加工することで作成できる。導波
路１１の形成はＶ溝６１の作成前又は後に行うことがで
きる。Ｖ溝６１及び導波路１１の形成いずれにも微細加
工技術を用いれることから、極めて高精度で光ファイバ
の位置合わせが可能となる。そのうえ、光導波路基板１
０、光ファイバ固定基板６０の一体構造をＳｉ基板上に
多数個形成し、切り離すことで一度に多数個の量産が可
能である。光ファイバ２０の固定はＶ溝６１に、例えば
接着剤で接着することで行える。更に、図７に示した抑
え板７０を用いることで、より均一性良く光ファイバを
固定できる。これは、図には示されていないが、例えば
光ファイバ固定基板６０と抑え板７０をネジ等で締め付
けることで達成できる。これは前述の接着剤による固定
と併用することも可能である。抑え板７０には光ファイ
バ２０があたるところに光ファイバ固定溝７１が形成さ
れている。光ファイバ固定溝７１がない場合に比べ、よ
り光ファイバ２０に広い面積で接触することから、光フ
ァイバ２０に均一に力が加わる。この結果、すべての光
ファイバ２０と光導波路１１の結合効率を良好に保つこ
とが可能となる。さらに付け加えるなら光ファイバ固定
溝７１及びその間の突出部を弾性体で構成することで光
ファイバ２０に加わる力をより均一化し、結合効率を向
上することが可能である。

【００１４】

【発明の効果】本発明に係る波長合分波器は溝の形成、
溝への光学フィルタの挿入、固定という工程を経ること
なく製造できる。また、光学フィルタと光ファイバの間
に光導波路を必要としない。さらに、微少な間隔で近接
した長い距離の光導波路を必要としない。このため本発
明は製造工程の簡略化、大量生産の容易化、による生産
性の向上を図ることができる効果を有する。また、本発
明は波長合分波器の小型化、高性能化を図ることができ
る効果をも有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示す平面図である。

【図２】本発明の第１の実施例の変形例の１を示す平面
図である。

【図３】本発明の第１の実施例の変形例の２を示す平面
図である。

【図４】本発明の第１の実施例の変形例の３を示す平面
図である。

【図５】本発明の第２の実施例を示す平面図である。

【図６】本発明の第３の実施例を示す平面図である。

【図７】光ファイバの位置合わせ方法を示す斜視図であ
る。

【図８】光導波路基板と光ファイバ固定基板の一体構造
をしめす平面図である。

【図９】図７の一部を拡大した斜視図である。

【図１０】方向性結合器方式による従来例の１を示す平
面図である。

【図１１】方向性結合器方式による従来例の２を示す平
面図である。

【図１２】フィルタ挿入方式による従来例を示す図であ
る。

【符号の説明】

１０：光導波路基板１１、１１ａ、１１ｂ、１１ｃ：導波路２０、２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ：光ファイバ２１、２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄ：コア３０：光学フィルタ４１：光発光素子４２：光受光素子５０：光学接着剤６０：光ファイバ固定基板６１：Ｖ溝７０：抑え板７１：光ファイバ固定溝８０：溝

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の波長の光を合波しあるいは分波する
光波長合分波器であって、光導波路基板（１０）、光導波路基板（１０）上に設けられ、かつ、光導波路基
板（１０）の少なくとも１つの端面で交わる光導波路
（１１ａ、１１ｂ）、光導波路（１１ａ、１１ｂ）が交わる光導波路基板（１
０）の端面に設けられ、かつ、第１の波長の光を反射し
第２の波長の光を透過する光学フィルタ（３０）、からなることを特徴とする光波長合分波器
【請求項２】請求項１に記載の光波長合分波器におい
て、光学フィルタ（３０）が反射防止膜を被覆した誘電体多
層膜からなることを特徴とする光波長合分波器
【請求項３】請求項２に記載の光波長合分波器におい
て、第１の波長の光がディジタル信号伝送用であり、かつ第
２の波長の光がアナログ信号伝送用であることを特徴と
する光波長合分波器
【請求項４】請求項２に記載の光波長合分波器におい
て、第１の波長の光の波長の幅が第２の波長の光の波長幅よ
り狭いことを特徴とする光波長合分波器
【請求項５】請求項１乃至４に記載の光波長合分波器に
おいて、光学フィルタ（３０）を設けた光導波路基板（１０）の
端面において、その局部あるいは全面が、光導波路基板
（１０）の側面に対して、斜めに形成されていることを
特徴とする光波長合分波器
【請求項６】請求項５に記載の光波長合分波器におい
て、Ｖ溝（６１）が形成され、かつ、Ｖ溝（６１）の端部が
光導波路（１１）の端部と対向する、光ファイバ固定基
板（６０）、前記Ｖ溝（６１）上に固定された光ファイバ（２０）、とを更に備えたことを特徴とする光波長合分波器
【請求項７】請求項６に記載の光波長合分波器におい
て、光導波路基板（１０）と光ファイバ固定基板（６０）が
Ｓｉ基板により１体的に形成されていることを特徴とす
る光波長合分波器