JP2002277675A - 光波回路モジュール - Google Patents
光波回路モジュールInfo
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Abstract
面型光波回路チップとテープ型多芯光ファイバを簡便、
高精度かつ低損失に接続できる光波回路モジュールを提
供する。 【解決手段】 出力導波路群22を紙面に向かって直線
AA′より上側に、また出力導波路群23を紙面に向か
って直線BB′より下側に配置する。このような配置を
取ることにより、(1×256)AWG型光合分波器基
板の出力導波路コアとピッチ変換用導波路基板2の入力
導波路コアとの僅かな軸ずれや、それらのスポットサイ
ズの違いによって生じる(1×256)AWG型光合分
波器基板からの出射光の漏れ光が所望以外の光ファイバ
に入射することを回避できる。
Description
ルに関し、より詳細には、高密度の入出力多チャネル導
波路(ポート)を有する平面型光波回路チップとテープ
型多芯光ファイバを簡便、高精度かつ低損失に接続でき
る光波回路モジュールに関する。
ており、これに伴い通信回線のトラフィック量が激増し
ている。このトラフィック量を激増させている膨大なデ
ータを処理する高速大容量通信方式として、1本の光フ
ァイバに波長の異なる複数の光信号を伝送することがで
きる光波長分割多重(Wavelength Division Multi/demu
ltiplexing:WDM)通信システムが実用化されてお
り、また現在でもシステムの低コスト化・高信頼化に向
けて、世界中で研究開発されている。
導波路格子(Arrayed Waveguide Grating:AWG)型
(N×N)光波長合分波器がキーデバイスとして広く使
用されている。アレイ導波路格子型光波長合分波器は、
送信側で複数の波長の光信号を合波する、あるいは受信
側で光ファイバ中の複数の光信号を異なるポートに分波
するといった高機能な処理が可能である。
を示す図である。入力導波路51に入射された波長多重
光(λ1,λ2,…,λn)は、第1のスラブ導波路5
2で基板50と水平方向に回折し、隣接する複数のアレ
イ導波路53に結合する。アレイ導波路53は、それぞ
れ一定の光路長差を有しているため、複数の光ビームは
第2のスラブ導波路54に結合する際に波長に依存する
位相差を持つ。結果として、複数の光ビームの干渉で生
じる焦点の位置が波長に依存して変化する。この焦点の
位置に予め複数の出力導波路55を配置しておくことに
より、AWGは複数の光波長を一括して合分波する光波
長合分波器として機能する。なお、入力導波路51は、
図5に示すように複数本あってもよい。
ムの低コスト化指向と相まって、AWGに対してモジュ
ール全体の損失の増大を伴わない一層の多重化(多チャ
ネル化)および小型化が望まれるようになってきた。A
WGの多チャネル化と小型化を同時に達成するには、作
製する光導波路の比屈折率差Δを従来(例えば、Δ=
0.75%)より大きな値に設定し、最小曲げ半径を小
さくすることが極めて効果的である。現在、例えばΔ=
1.5%の設計で、256チャネル(波長間隔25GH
z,最小曲げ半径約2mm)の大規模なAWGの試作が
報告されている(例えば、肥田他、2000年電子情報
通信学会総合大会,C−3−78,p258参照)。
定することは、最小曲げ半径や入出力導波路ピッチの狭
小化に伴うチップの小型化には効果的である一方、チッ
プの周辺に設けられた入出力光導波路のスポットサイズ
は光ファイバ(シングルモード)のそれに比べて小さく
なる。例えば、AWGチップと光ファイバアレイ部品を
直接接続する場合には、接続損失が増大してしまうとい
う欠点があった。また、チップ側の狭小化された導波路
ピッチと、接続されるべき光ファイバアレイのピッチの
差が益々大きくなり、何らかの方法でこれらを接続する
必要があった。これらの問題を解決する方法として、以
下の従来例が報告されている。
D)と光ファイバとを低損失に光接続する光結合素子を
示す図である。なお、この構成については、例えば特開
平2−195309号公報に記載されている。
ーダイオード61、アレイ型レーザーダイオード61の
活性層62、光入力導波路63、光出力導波路64、テ
ーパ導波路65および66、光ファイバ67、光ファイ
バ67のコア部68、LN基板69、およびS字導波路
70から構成されている。この従来例によれば、スポッ
トサイズおよびピッチが互いに異なるアレイ型LDおよ
び光ファイバとの間に、それらの中間のスポットサイズ
を有する導波路基板を介して接続することにより、アレ
イ型LDおよび光ファイバを低損失に結合させることが
できる。
ァイバアレイの接続構造を示す図である。なお、この構
成については、例えば特開平6−214137号公報に
記載されている。
レイおよび光ファイバアレイは、入出力用モードフィー
ルド変換光導波路アレイ71および72、入出力用モー
ドフィールド変換光導波路アレイ71および72上のコ
ア拡大領域71aおよび72a、光導波回路基板73、
入出力用光導波路アレイ74および75、入出力用光フ
ァイバアレイ76および77から構成されている。この
従来例によれば、光導波回路基板73と入出力用光ファ
イバアレイ76および77の間に、コア拡大領域を有す
る入出力用モードフィールド変換光導波路アレイ71お
よび72を介して接続することによって、光導波回路基
板73および入出力用光ファイバアレイ76および77
を低損失に結合させることができる。
た従来例では、光導波回路とピッチ変換部との接続部に
おいて、光信号を漏れなくピッチ変換部と結合させるこ
とは困難である。結合部で漏れた光は、クラッドを伝搬
して光軸の前方に伝わる。そして、この伝搬方向に光フ
ァイバがあると、漏れ光が光ファイバと結合し、クロス
トークを引き起こしてしまうという問題があった。
すなわち、図8に概念的に示すように、ピッチ変換用導
波路基板(又はアレイ型LD基板)2上の出力導波路の
コアと入力導波路コアとの僅かな軸ずれ、又はそれらの
スポットサイズの違いにより、光波回路基板1からの出
射光パワーの一部が漏れ光となる。結果として、一部の
漏れ光は所望の光ファイバ以外のものに入射し、光信号
クロストーク特性を劣化させてしまう。
ために光波回路素子基板において紙面に向かって上から
奇数番目の出力導波路からの漏れ光のみを示している
が、その他の出力導波路についても同様な漏れ光が生じ
得ることを付記しておく。
たものであり、その目的とするところは、高密度の入出
力多チャネル導波路を有する平面型光波回路チップとテ
ープ型多芯光ファイバを簡便、高精度かつ低損失に接続
できる光波回路モジュールを提供することにある。
的を達成するために、請求項1に記載の発明は、基板
(1)上に形成されたコアおよびクラッドからなる光導
波回路と、少なくとも1本の光ファイバからなるテープ
型光ファイバ(3、4)と、前記光導波回路および前記
テープ型光ファイバを光学的に接続するための、ピッチ
変換用基板上(2)に形成されたコアおよびクラッドか
らなるピッチ変換回路とを有する光波回路モジュールに
おいて、前記ピッチ変換回路は、前記光導波回路の接続
部に直線状に設けられた入力導波路群(21)と、前記
光ファイバの接続部に直線状に設けられ、前記入力導波
路群の延長線(AA´、BB´)上と異なる位置に配置
された出力導波路群(22、23)とを有することを特
徴とする。
に記載の発明において、前記ピッチ変換用基板(2)上
に形成されたコアおよびクラッドの比屈折率差は、前記
基板(1)上に形成されたコアおよびクラッドの比屈折
率差と、前記光ファイバ(3、4)の比屈折率差との間
の値であることを特徴とする。
又は2に記載の発明において、前記入力導波路群(21
a)の前記光導波回路に対する接続部の近傍、又は前記
出力導波路群(22a、23a)の前記光ファイバに対
する接続部の近傍に、スポットサイズ変換機能構造を設
けたことを特徴とする。
1、2又は3に記載の発明において、前記出力導波路群
(22b、23b)は、前記入力導波路群(21b)の
長手方向に対して概ね直角方向に配置されていることを
特徴とする。
1ないし4のいずれか1項に記載の発明において、前記
出力導波路群(22、23)は、少なくとも2つ設けら
れていることを特徴とする。
板等の出力導波路コアとピッチ変換用基板の入力導波路
コアとの僅かな軸ずれや、それらのスポットサイズの違
いによって生じる光波回路素子基板等からの出射光パワ
ーの漏れ光が所望の光ファイバ以外のものに入射するこ
とを回避でき、十分な光信号クロストーク特性を実現で
きる。
波路(ポート)を有する平面型光波回路チップとテープ
型多芯光ファイバを簡便、高精度かつ低損失に接続する
ことが可能となる。
施の形態について詳細に説明する。
波回路モジュールを概略的に示す図である。光波回路モ
ジュールは、(1×N、ここではN=256)AWG型
光合分波器基板1、(1×256ch)AWG型光合分
波器基板1とテープ型多(128)芯光ファイバアレイ
部品3および4を低損失に光学接続するためのピッチ変
換用導波路基板2、および単芯の光ファイバ5から構成
されている。したがって、光波回路モジュールは、波長
λ1〜λ256の光信号の合分波を行う。
すくするためにAWG型光合分波器基板1として(1×
N)AWG型光合分波器基板に関する実施形態を示して
いるが、本発明はこれに限定されるものではない。例え
ば、N本の入出力導波路を有する(N×N)AWG型光
合分波器基板を用いる場合においても、光ファイバと
(N×N)AWG型光合分波器基板との間に本発明に係
るピッチ変換用導波路基板を配置することにより本発明
の目的が達成される。
チ変換用導波路基板2は、シリコン基板(又はガラス基
板や半導体基板等)の上に、光信号パワーの大部分が伝
搬するコア層と、それより屈折率がわずかに低いクラッ
ド層とからなる石英系ガラス導波路に関する成膜技術、
およびLSI製造における微細加工技術を組み合わせた
公知の技術(例えば、Kawachi et al., J. Quantum Ele
ctronics, 22, pp391,1990参照)により作製することが
できる。なお、以下の説明では、(1×256ch)A
WG型光合分波器基板1上の光導波回路の比屈折率差Δ
を1.5%、最小曲げ半径2mm、入出力導波路群ピッ
チを25μmとしている。また、光ファイバ部品3およ
び4の比屈折率差Δを、通常の0.3%としている。
基板の拡大図である。本実施形態では、比屈折率差Δを
0.75%、すなわち光合分波器基板1と、光ファイバ
3および4の比屈折率差との間の値とし、最小曲げ半径
を5mm、入力導波路群21のピッチを25μm、出力
導波路群22および23のピッチを127μmとして、
比屈折率差の異なる光導波路又は光ファイバ間の光信号
の受け渡しを行わせる。
ピッチ変換回路は、基板1上に形成された光導波回路の
接続部に直線状に設けられた入力導波路群21と、光フ
ァイバ部品3および4の接続部に直線状に設けられた出
力導波路群22および23とを備えている。
よび23の2つに分け、かつこれらの出力導波路群が入
力導波路群21の光軸の延長線上と異なる位置に配置し
ているところが本実施形態の大きな特徴である。具体的
には、出力導波路群22を紙面に向かって直線AA′よ
り上側に、また出力導波路群23を紙面に向かって直線
BB′より下側に配置している。
号が入射すると、(1×256)AWG型光合分波器基
板1の出力導波路コアとピッチ変換用導波路基板2の入
力導波路コアとの僅かな軸ずれや、それらのスポットサ
イズの違いによって、(1×256)AWG型光合分波
器基板1からの出射光O1〜O256の漏れ光が生じる
場合がある。しかし、入出力導波路群を上記のように配
置することにより、出射光O1〜O256の漏れ光が所
望以外の光ファイバに入射することを回避できる。した
がって、−50dB以下の十分な光信号クロストーク特
性を実現できる。
6)AWG型光合分波器基板1にはスポットサイズ変換
機能構造(テーパ導波路)を有する出力導波路群11a
が設けられている。また、ピッチ変換用導波路基板2に
はスポットサイズ変換機能構造(テーパ導波路)を有す
る入出力導波路群、すなわち(1×256)AWG型光
合分波器基板1側の入力導波路群21a、テープ型光フ
ァイバアレイ部品3側の出力導波路群22a、および光
ファイバアレイ部品4側の出力導波路群23aが設けら
れている。
WG型光合分波器基板1とピッチ変換用導波路基板2と
の間、又はピッチ変換用導波路基板2とテープ型光ファ
イバアレイ部品3および4との間における接続損失をで
きるだけ小さくするために、(1×256)AWG基板
側の出力導波路群11a又はピッチ変換用基板の入出力
導波路群21a,22a,23aに、スポットサイズ変
換機能を有する構造を付与する。
ュールを実現することができる。なお、スポットサイズ
変換機能を有する構造は、導波路幅や深さが徐々に変化
するテーパ導波路構造とする方法、あるいは熱や紫外線
照射等によりコアを拡散させる方法などで実現される。
2実施形態の光波回路モジュールを概略的に示す図であ
る。本実施形態では、第1実施形態と異なり、ピッチ変
換用導波路基板2上の2つの出力導波路群22bおよび
23bが、入力信号光の伝搬方向、すなわち入力導波路
群21bの長手方向に対して概ね直角方向に配置されて
いる。
256)AWG型光合分波器基板1の出力導波路コアと
ピッチ変換用導波路基板2の入力導波路コアとの僅かな
軸ずれや、それらのスポットサイズの違いによって生じ
る(1×256)AWG型光合分波器基板1からの出射
光パワーの漏れ光が所望以外の光ファイバに入射するこ
とを回避できる。したがって、−50dB以下の十分な
光信号クロストーク特性を実現することができる。ま
た、上述した第1実施形態に比べて、ピッチ変換用導波
路基板2の長手方向のチップ長さを短くすることができ
るので、光波回路モジュールの小形化に極めて有効であ
る。
路基板2上の2つの出力導波路群22bおよび23bが
入力導波路群21bの長手方向に対して概ね直角方向に
配置されることとしたが、本発明はこれに限定されるも
のではない。例えば、入力光の伝搬方向AA′又はB
B′に対して、当該漏れ光がどの光ファイバアレイに入
射してもクロストーク特性を劣化させない程度の角度方
向に2つの出力導波路群を配置する形態も含むことはい
うまでもない。
256)AWG型光合分波器基板1とピッチ変換用導波
路基板2との間、又はピッチ変換用導波路基板2とテー
プ型光ファイバアレイ部品3および4との間における接
続損失をできるだけ小さくするために、(1×256)
AWG基板側の出力導波路群又はピッチ変換用基板の入
出力導波路群に、スポットサイズ変換機能を有する構造
を付与することによって、極めて低損失な光波回路モジ
ュールを実現できることはいうまでもない。
基板上に形成されたコアおよびクラッドからなる光導波
回路と、少なくとも1本の光ファイバからなるテープ型
光ファイバと、光導波回路およびテープ型光ファイバを
光学的に接続するための、ピッチ変換用基板上に形成さ
れたコアおよびクラッドからなるピッチ変換回路とを有
する光波回路モジュールにおいて、ピッチ変換回路は、
光導波回路の接続部に直線状に設けられた入力導波路群
と、光ファイバの接続部に直線状に設けられ、入力導波
路群の延長線上と異なる位置に配置された出力導波路群
とを備えたことを特徴とするので、光波回路素子基板等
の出力導波路コアとピッチ変換用基板の入力導波路コア
との僅かな軸ずれや、それらのスポットサイズの違いに
よって生じる光波回路素子基板等からの出射光パワーの
漏れ光が所望以外の光ファイバに入射することを避ける
ことができ、十分な光信号クロストーク特性を実現する
ことができる。
導波路(ポート)を有する平面型光波回路チップとテー
プ型多芯光ファイバを簡便、高精度かつ低損失に接続す
ることができる。
す図である。
ある。
す図である。
す図である。
る。
イバとを低損失に光接続する光結合素子に関する従来例
を示す図である。
の接続構造に関する従来例を示す図である。
板からの出射光パワーの漏れ光を概念的に示す図であ
る。
出力導波路群 11a スポットサイズ変換機能構造を有する出力導波
路群 21、21b 入力導波路群 21a スポットサイズ変換機能構造を有する入力導波
路群 22、22b 出力導波路群 22a スポットサイズ変換機能構造を有する出力導波
路群 23、23b 出力導波路群 23a スポットサイズ変換機能構造を有する出力導波
路群 50 基板 52、54 スラブ導波路 53 アレイ導波路 55 出力導波路 61 アレイ型レーザーダイオード 62 活性層 63 光入力導波路 64 光出力導波路 65、66 テーパ導波路 67 光ファイバ 68 コア部 69 LN基板 70 S字導波路 71 入力用モードフィールド変換光導波路アレイ 71 出力用モードフィールド変換光導波路アレイ 71a、72a コア拡大領域 73 光導波回路基板 74 入力用光導波路アレイ 75 出力用光導波路アレイ 76 入力用光ファイバアレイ 77 出力用光ファイバアレイ
Claims (5)
- 【請求項1】 基板上に形成されたコアおよびクラッド
からなる光導波回路と、少なくとも1本の光ファイバか
らなるテープ型光ファイバと、前記光導波回路および前
記テープ型光ファイバを光学的に接続するための、ピッ
チ変換用基板上に形成されたコアおよびクラッドからな
るピッチ変換回路とを有する光波回路モジュールにおい
て、前記ピッチ変換回路は、前記光導波回路の接続部に
直線状に設けられた入力導波路群と、前記光ファイバの
接続部に直線状に設けられ、前記入力導波路群の延長線
上と異なる位置に配置された出力導波路群とを備えたこ
とを特徴とする光波回路モジュール。 - 【請求項2】 前記ピッチ変換用基板上に形成されたコ
アおよびクラッドの比屈折率差は、前記基板上に形成さ
れたコアおよびクラッドの比屈折率差と、前記光ファイ
バの比屈折率差との間の値であることを特徴とする請求
項1に記載の光波回路モジュール。 - 【請求項3】 前記入力導波路群の前記光導波回路に対
する接続部の近傍、又は前記出力導波路群の前記光ファ
イバに対する接続部の近傍に、スポットサイズ変換機能
構造を設けたことを特徴とする請求項1又は2に記載の
光波回路モジュール。 - 【請求項4】 前記出力導波路群は、前記入力導波路群
の長手方向に対して概ね直角方向に配置されていること
を特徴とする請求項1、2又は3に記載の光波回路モジ
ュール。 - 【請求項5】 前記出力導波路群は、少なくとも2つ設
けられていることを特徴とする請求項1ないし4のいず
れか1項に記載の光波回路モジュール。
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