JPH10253674A - 導電性フィルムの電気抵抗測定方法 - Google Patents
導電性フィルムの電気抵抗測定方法Info
- Publication number
- JPH10253674A JPH10253674A JP5289797A JP5289797A JPH10253674A JP H10253674 A JPH10253674 A JP H10253674A JP 5289797 A JP5289797 A JP 5289797A JP 5289797 A JP5289797 A JP 5289797A JP H10253674 A JPH10253674 A JP H10253674A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive film
- conductive
- film
- resistance
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 導電面に非接触の状態で導電性フィルムの電
気抵抗を安定して測定できる、真空中の製膜工程内のオ
ンライン測定に好適な導電性フィルムの電気抵抗測定方
法。 【解決手段】 連続的に搬送される片面のみが導電性を
有する導電性フィルムの電気抵抗を連続的に測定する導
電性フィルムの電気抵抗測定方法において、所定の間隔
で平行に配置した一対の電極に該導電性フィルムの導電
性を有しない側の面を接触させ、該電極間に高周波電圧
を印加し、電極間に発生する電圧及び、又は電極間に流
れる電流からその導電部の電気抵抗を測定することを特
徴とする導電性フィルムの電気抵抗測定方法。
気抵抗を安定して測定できる、真空中の製膜工程内のオ
ンライン測定に好適な導電性フィルムの電気抵抗測定方
法。 【解決手段】 連続的に搬送される片面のみが導電性を
有する導電性フィルムの電気抵抗を連続的に測定する導
電性フィルムの電気抵抗測定方法において、所定の間隔
で平行に配置した一対の電極に該導電性フィルムの導電
性を有しない側の面を接触させ、該電極間に高周波電圧
を印加し、電極間に発生する電圧及び、又は電極間に流
れる電流からその導電部の電気抵抗を測定することを特
徴とする導電性フィルムの電気抵抗測定方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、導電性フィルムの
電気抵抗測定方法に関し、さらに詳しくは基板上に真空
中でインジウム・錫酸化物（ＩＴＯ）膜等からなる導電
層を積層する導電性フィルムの製膜工程における導電層
の表面抵抗具体的には表面抵抗率をオンライン監視する
のに好適な導電性フィルムの電気抵抗測定方法に関す
る。
電気抵抗測定方法に関し、さらに詳しくは基板上に真空
中でインジウム・錫酸化物（ＩＴＯ）膜等からなる導電
層を積層する導電性フィルムの製膜工程における導電層
の表面抵抗具体的には表面抵抗率をオンライン監視する
のに好適な導電性フィルムの電気抵抗測定方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、かかる導電性フィルムの電気抵抗
測定は、製造後、製品からサンプルを正方形に切り出
し、向かい合う対辺上に電極をセットして、その間の抵
抗を測定するオフライン測定方法で測定し、この測定に
より得られる表面抵抗率（Ω／□）で表示するのが一般
である。
測定は、製造後、製品からサンプルを正方形に切り出
し、向かい合う対辺上に電極をセットして、その間の抵
抗を測定するオフライン測定方法で測定し、この測定に
より得られる表面抵抗率（Ω／□）で表示するのが一般
である。
【０００３】近年これを改良する導電性フィルムの電気
抵抗測定方法として、公知技術である４端子法を用いた
導電面接触方式や渦電流方式（特開平８−２２６９４３
号公報）の非接触測定技術が提案されている。しかし前
者の導電面接触方式は正確な表面抵抗率測定が可能であ
るが、導電面へのプローブの接触が不可避であり製品損
傷の可能性がある為、オンライン測定には適さず、オフ
ライン測定で使用されている。
抵抗測定方法として、公知技術である４端子法を用いた
導電面接触方式や渦電流方式（特開平８−２２６９４３
号公報）の非接触測定技術が提案されている。しかし前
者の導電面接触方式は正確な表面抵抗率測定が可能であ
るが、導電面へのプローブの接触が不可避であり製品損
傷の可能性がある為、オンライン測定には適さず、オフ
ライン測定で使用されている。
【０００４】また、後者の渦電流方式は基板がガラス基
板のような固い単体片を対象としたオンライン測定に利
用されている。しかし、連続して搬送されてくるフィル
ム基板に導電層を積層する導電性フィルムの製造のよう
な基板のばたつきがあるオンラインでの測定では安定し
た測定が困難で、前述の従来法のサンプル切り出しによ
るオフライン測定方法を行っているのが現状である。
板のような固い単体片を対象としたオンライン測定に利
用されている。しかし、連続して搬送されてくるフィル
ム基板に導電層を積層する導電性フィルムの製造のよう
な基板のばたつきがあるオンラインでの測定では安定し
た測定が困難で、前述の従来法のサンプル切り出しによ
るオフライン測定方法を行っているのが現状である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、かかる従来の
オフライン測定方法では、長尺のフィルムロールから基
板フィルムを巻出して導電層を連続成膜する導電性フィ
ルムの製膜工程では製品がロール状であり、製膜終了後
の検査において表面抵抗率異常が発見された場合に１ロ
ットの製品ロール全体が異常品となる問題、更には成膜
運転中に徐々に表面抵抗率が経時的に変化する場合にお
いてもロット終了まで対処できない問題があり、長尺の
フィルムロールによる長時間運転の製膜においては生産
性、不良品率の面で大きな問題があった。
オフライン測定方法では、長尺のフィルムロールから基
板フィルムを巻出して導電層を連続成膜する導電性フィ
ルムの製膜工程では製品がロール状であり、製膜終了後
の検査において表面抵抗率異常が発見された場合に１ロ
ットの製品ロール全体が異常品となる問題、更には成膜
運転中に徐々に表面抵抗率が経時的に変化する場合にお
いてもロット終了まで対処できない問題があり、長尺の
フィルムロールによる長時間運転の製膜においては生産
性、不良品率の面で大きな問題があった。
【０００６】本発明はかかる状況を鑑みてなされたもの
で、導電面に非接触の状態で導電性フィルムの電気抵抗
を安定して測定できる、真空中の製膜工程内のオンライ
ン測定に好適な導電性フィルムの電気抵抗測定方法を目
的としたものである。
で、導電面に非接触の状態で導電性フィルムの電気抵抗
を安定して測定できる、真空中の製膜工程内のオンライ
ン測定に好適な導電性フィルムの電気抵抗測定方法を目
的としたものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的は以下の本発明
により達成される。すなわち、本発明は、連続的に搬送
される片面のみが導電性を有する導電性フィルムの電気
抵抗を連続的に測定する導電性フィルムの電気抵抗測定
方法において、所定の間隔で平行に配置した一対の電極
に該導電性フィルムの導電性を有しない側の面を接触さ
せ、該電極間に高周波電圧を印加し、電極間に発生する
電圧及び、又は電極間に流れる電流からその導電部の電
気抵抗を測定することを特徴とする導電性フィルムの電
気抵抗測定方法である。
により達成される。すなわち、本発明は、連続的に搬送
される片面のみが導電性を有する導電性フィルムの電気
抵抗を連続的に測定する導電性フィルムの電気抵抗測定
方法において、所定の間隔で平行に配置した一対の電極
に該導電性フィルムの導電性を有しない側の面を接触さ
せ、該電極間に高周波電圧を印加し、電極間に発生する
電圧及び、又は電極間に流れる電流からその導電部の電
気抵抗を測定することを特徴とする導電性フィルムの電
気抵抗測定方法である。
【０００８】上述の本発明は、種々検討の結果、高周波
電源を用いることにより非導電性面に電極をセットして
も充分安定して導電面の電気抵抗を測定できることを見
出し、なされたものであり、充分な表面処理がなされた
非導電面に電極を接触させるものであるので、全く品質
損傷なく測定ができる効果を奏するものである。
電源を用いることにより非導電性面に電極をセットして
も充分安定して導電面の電気抵抗を測定できることを見
出し、なされたものであり、充分な表面処理がなされた
非導電面に電極を接触させるものであるので、全く品質
損傷なく測定ができる効果を奏するものである。
【０００９】特に、導電性フィルムを走行させつつ測定
することができ、各種の片面のみが導電性の導電性フィ
ルムに広く適用できるものであるが、前述の長尺フィル
ムを基板として導電層をその一面に成膜する導電性フィ
ルムの成膜工程でのオンライン測定において大きな効果
を奏するものである。
することができ、各種の片面のみが導電性の導電性フィ
ルムに広く適用できるものであるが、前述の長尺フィル
ムを基板として導電層をその一面に成膜する導電性フィ
ルムの成膜工程でのオンライン測定において大きな効果
を奏するものである。
【００１０】以下、本発明の詳細を周知のフィルムロー
ルから基板フィルムを巻き出して導電層を成膜し、製品
ロールに巻き上げるロール・ツ・ロールのスパッタ装置
を用いた、導電層がＩＴＯ膜からなる導電性フィルムの
製造工程に適用した実施例に基づいて説明する。
ルから基板フィルムを巻き出して導電層を成膜し、製品
ロールに巻き上げるロール・ツ・ロールのスパッタ装置
を用いた、導電層がＩＴＯ膜からなる導電性フィルムの
製造工程に適用した実施例に基づいて説明する。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は、実施例の測定部の構成の
説明図、図２は電極から見た測定対象の導電性フィルム
の等価回路の説明図、図３は実施例の測定回路のブロッ
ク図、図４は実施例での実測結果のグラフである。
説明図、図２は電極から見た測定対象の導電性フィルム
の等価回路の説明図、図３は実施例の測定回路のブロッ
ク図、図４は実施例での実測結果のグラフである。
【００１２】図１において、１は図示省略したスパッタ
部でＩＴＯ膜が積層された導電性フィルムで、基板フィ
ルムは１００μｍのポリカーボネートフィルムを用い
た。測定部は図示のようにＩＴＯ膜形成のスパッタ装置
内のスパッタ部の下流の導電性フィルムの搬送路に所定
の間隔で平行に配置された一対のローラ電極２からな
り、連続的に搬送されてくる導電性フィルム１はこのロ
ーラ電極２にＩＴＯ膜と反対側の非導電面側が接触する
ようにセットされている。
部でＩＴＯ膜が積層された導電性フィルムで、基板フィ
ルムは１００μｍのポリカーボネートフィルムを用い
た。測定部は図示のようにＩＴＯ膜形成のスパッタ装置
内のスパッタ部の下流の導電性フィルムの搬送路に所定
の間隔で平行に配置された一対のローラ電極２からな
り、連続的に搬送されてくる導電性フィルム１はこのロ
ーラ電極２にＩＴＯ膜と反対側の非導電面側が接触する
ようにセットされている。
【００１３】それぞれのローラ電極２にはスリップリン
グ３が設けられ、回転体であるローラ電極２に以下のよ
うに高周波電源を供給するようになっている。すなわち
一方のローラ電極２（図１で右側）のスリップリング３
と高周波電源４の一方の端子とを直接に接続し、他方の
ローラ電極２（図１で左側）のスリップリング３は参照
抵抗５を介して高周波電源４の他方の端子に接続し、参
照抵抗５を介して測定対象の導電性フィルム１に高周波
電源を供給するようになっている。
グ３が設けられ、回転体であるローラ電極２に以下のよ
うに高周波電源を供給するようになっている。すなわち
一方のローラ電極２（図１で右側）のスリップリング３
と高周波電源４の一方の端子とを直接に接続し、他方の
ローラ電極２（図１で左側）のスリップリング３は参照
抵抗５を介して高周波電源４の他方の端子に接続し、参
照抵抗５を介して測定対象の導電性フィルム１に高周波
電源を供給するようになっている。
【００１４】本例では、ローラ電極２は長さが導電性フ
ィルム１の幅（本例では２００ｍｍ）より長くて直径が
５５ｍｍの２本の金属ローラとし、これを軸間距離８０
ｍｍで配置した。高周波電源４は６ＭＨｚの発振周波数
で、電圧０．２Ｖp-pで印加した。そして、導電性フィ
ルム１は、その表面抵抗をその幅２００ｍｍで表面抵抗
率（Ω／□）で４０〜３００Ω／□の範囲で変化させた
ものを作成して、オンライン測定を実施し、その出力を
前述の従来法のオフライン測定での測定値により評価し
た。
ィルム１の幅（本例では２００ｍｍ）より長くて直径が
５５ｍｍの２本の金属ローラとし、これを軸間距離８０
ｍｍで配置した。高周波電源４は６ＭＨｚの発振周波数
で、電圧０．２Ｖp-pで印加した。そして、導電性フィ
ルム１は、その表面抵抗をその幅２００ｍｍで表面抵抗
率（Ω／□）で４０〜３００Ω／□の範囲で変化させた
ものを作成して、オンライン測定を実施し、その出力を
前述の従来法のオフライン測定での測定値により評価し
た。
【００１５】ところで、上記構成により、以下のように
導電性フィルム１の表面抵抗は測定される。ローラ電極
２からみた導電性フィルムのインピーダンスＺは、図２
に示すように、図１で左側の一方のローラ電極２と導電
性フィルム１の基板フィルム及びＩＴＯ膜とで構成され
る容量成分Ｃ2、同様に図１で右側の他方のローラ電極
２側で構成される容量成分Ｃ2 ‘、並びにローラ電極２
の間の導電性フィルム１の導電部分すなわちＩＴＯ膜の
抵抗ＲITOを直列接続した合成インピーダンスの等価回
路で近似される。
導電性フィルム１の表面抵抗は測定される。ローラ電極
２からみた導電性フィルムのインピーダンスＺは、図２
に示すように、図１で左側の一方のローラ電極２と導電
性フィルム１の基板フィルム及びＩＴＯ膜とで構成され
る容量成分Ｃ2、同様に図１で右側の他方のローラ電極
２側で構成される容量成分Ｃ2 ‘、並びにローラ電極２
の間の導電性フィルム１の導電部分すなわちＩＴＯ膜の
抵抗ＲITOを直列接続した合成インピーダンスの等価回
路で近似される。
【００１６】従って、高周波電源４により高周波電圧を
印加すると、参照抵抗５と導電性フィルム１のインピー
ダンスＺの直列回路に電流が流れる。この電流は参照抵
抗５に発生する電圧とその抵抗値から求められるので、
ローラ電極２の間に発生する電圧と参照抵抗５の電圧を
測定することにより、ローラ電極２の間のインピーダン
スＺが測定できる。このインピーダンスＺのうち容量成
分Ｃ2、容量成分Ｃ2 ‘は、ローラ電極２の設置位置が固
定され、導電性フィルム１もその一定位置を搬送される
ので一定値となる為、ＩＴＯ膜の抵抗値ＲITOは一義的
に決定でき、よって表面抵抗が測定できる。
印加すると、参照抵抗５と導電性フィルム１のインピー
ダンスＺの直列回路に電流が流れる。この電流は参照抵
抗５に発生する電圧とその抵抗値から求められるので、
ローラ電極２の間に発生する電圧と参照抵抗５の電圧を
測定することにより、ローラ電極２の間のインピーダン
スＺが測定できる。このインピーダンスＺのうち容量成
分Ｃ2、容量成分Ｃ2 ‘は、ローラ電極２の設置位置が固
定され、導電性フィルム１もその一定位置を搬送される
ので一定値となる為、ＩＴＯ膜の抵抗値ＲITOは一義的
に決定でき、よって表面抵抗が測定できる。
【００１７】本例ではこの導電性フィルム１のインピー
ダンスＺを実際のオンラインにて測定する測定回路は、
図３に示すように構成している。すなわち、ローラ電極
２間の導電性フィルム１の電圧と参照抵抗５の電圧をそ
れぞれ差動増幅器６により交流増幅し、絶対値回路７と
平滑化回路８により直流に変換した後、直流増幅器９に
より測定範囲になるようゲインを調整する。本例では参
照抵抗５には１００Ωを使用し、差動増幅器６のゲイン
は導電性フィルム１側と参照抵抗５側は同ゲインとし、
直流増幅器９のゲインは、参照抵抗５側のゲインを導電
性フィルム１側の２倍とすることにより、０〜２００Ω
の範囲の抵抗を測定できる様にした。ローラ電極２間の
導電性フィルム１から得られた直流電圧を参照抵抗５の
直流電圧で除算できるよう除算器１０に入力することに
より、ローラ電極２間の導電性フィルム１のＩＴＯ膜の
抵抗値ＲITOに比例した直流電圧を出力として得ること
ができる。
ダンスＺを実際のオンラインにて測定する測定回路は、
図３に示すように構成している。すなわち、ローラ電極
２間の導電性フィルム１の電圧と参照抵抗５の電圧をそ
れぞれ差動増幅器６により交流増幅し、絶対値回路７と
平滑化回路８により直流に変換した後、直流増幅器９に
より測定範囲になるようゲインを調整する。本例では参
照抵抗５には１００Ωを使用し、差動増幅器６のゲイン
は導電性フィルム１側と参照抵抗５側は同ゲインとし、
直流増幅器９のゲインは、参照抵抗５側のゲインを導電
性フィルム１側の２倍とすることにより、０〜２００Ω
の範囲の抵抗を測定できる様にした。ローラ電極２間の
導電性フィルム１から得られた直流電圧を参照抵抗５の
直流電圧で除算できるよう除算器１０に入力することに
より、ローラ電極２間の導電性フィルム１のＩＴＯ膜の
抵抗値ＲITOに比例した直流電圧を出力として得ること
ができる。
【００１８】この測定回路による実際の成膜工程でのオ
ンライン測定での除算器１０の出力電圧Ｖとオフライン
での従来法による表面抵抗率ρの測定結果の実測値を図
４に示す。同図より測定回路の出力電圧Ｖと表面抵抗率
ρとの関係は、
ンライン測定での除算器１０の出力電圧Ｖとオフライン
での従来法による表面抵抗率ρの測定結果の実測値を図
４に示す。同図より測定回路の出力電圧Ｖと表面抵抗率
ρとの関係は、
【００１９】
【数１】Ｖ［Ｖ］＝０．０２０８×ρ［Ω／□］＋１．
４９３６ の１次回帰式で表され、相関係数ｒ＝０．９９９７とほ
ぼ線形となった。上式を用いることにより除算器１０の
出力電圧Ｖから表面抵抗率ρを正確に計測することがで
きることが確認された。
４９３６ の１次回帰式で表され、相関係数ｒ＝０．９９９７とほ
ぼ線形となった。上式を用いることにより除算器１０の
出力電圧Ｖから表面抵抗率ρを正確に計測することがで
きることが確認された。
【００２０】この出力電圧Ｖはフィルムの非導電面であ
るベースフィルム部分の容量成分であるＣ2及びＣ2 ‘を
含んだ測定値となる為、バイアス電圧が残るが、オンラ
インでの表面抵抗率ρの測定値は、オフラインでの表面
抵抗率ρの実測値との上記の変換式を用いて除算器１０
の出力電圧Ｖから求めることができる。
るベースフィルム部分の容量成分であるＣ2及びＣ2 ‘を
含んだ測定値となる為、バイアス電圧が残るが、オンラ
インでの表面抵抗率ρの測定値は、オフラインでの表面
抵抗率ρの実測値との上記の変換式を用いて除算器１０
の出力電圧Ｖから求めることができる。
【００２１】また、この出力電圧Ｖから抵抗値に変換
し、その抵抗値をＲ［Ω］とした場合、フィルム幅がＷ
［ｍ］、ローラ電極２の軸間距離がＬ［ｍ］とすると表
面抵抗率ρ［Ω／□］は、次式で与えられるので、この
式から表面抵抗率を計算してもよい。
し、その抵抗値をＲ［Ω］とした場合、フィルム幅がＷ
［ｍ］、ローラ電極２の軸間距離がＬ［ｍ］とすると表
面抵抗率ρ［Ω／□］は、次式で与えられるので、この
式から表面抵抗率を計算してもよい。
【００２２】
【数２】 ρ［Ω／□］＝Ｒ［Ω］・Ｗ［ｍ］／Ｌ［ｍ］
【００２３】なお、オンラインモニターとして使用する
場合は、表面抵抗率の絶対値は不要でその変動が検出で
きればよいので、出力電圧Ｖの変動のみで充分となり、
上述の換算は不要である。
場合は、表面抵抗率の絶対値は不要でその変動が検出で
きればよいので、出力電圧Ｖの変動のみで充分となり、
上述の換算は不要である。
【００２４】本例では高周波電圧として６ＭＨｚの周波
数を使用したが、使用する周波数範囲としては実際のス
パッタ電源から数ｋＨｚのノイズ成分が発生する為、フ
ィルタによるノイズ除去を行う必要があり、ベースフィ
ルム部分の容量成分であるＣ2及びＣ2 ‘によるインピー
ダンス｜ＺC｜が抵抗値とほぼ同じオーダー、若しくは
小さくする為、１ＭＨｚ以上であることが好ましい。一
方、測定回路の製作面からは実用上１００ＭＨｚ以下で
あることが好ましい。
数を使用したが、使用する周波数範囲としては実際のス
パッタ電源から数ｋＨｚのノイズ成分が発生する為、フ
ィルタによるノイズ除去を行う必要があり、ベースフィ
ルム部分の容量成分であるＣ2及びＣ2 ‘によるインピー
ダンス｜ＺC｜が抵抗値とほぼ同じオーダー、若しくは
小さくする為、１ＭＨｚ以上であることが好ましい。一
方、測定回路の製作面からは実用上１００ＭＨｚ以下で
あることが好ましい。
【００２５】また、本例では参照抵抗５と導電性フィル
ム１のローラ電極２間のインピーダンスＺが直列になる
ように配し、インピーダンスＺと参照抵抗５の直列イン
ピーダンスに対して高周波電圧を印加する構成として参
照抵抗５の電圧とローラ電極２間の電圧の比を測定する
ことによりローラ電極２間の導電性フィルムの導電面部
分の抵抗を測定したが、参照抵抗５をローラ電極２間の
インピーダンスＺに対して十分小さくした場合には、ロ
ーラ電極２間に流れる電流を測定するのみでローラ電極
２間のインピーダンスＺを実用上充分な精度で測定する
ことができ、本例に代えて適用できる。
ム１のローラ電極２間のインピーダンスＺが直列になる
ように配し、インピーダンスＺと参照抵抗５の直列イン
ピーダンスに対して高周波電圧を印加する構成として参
照抵抗５の電圧とローラ電極２間の電圧の比を測定する
ことによりローラ電極２間の導電性フィルムの導電面部
分の抵抗を測定したが、参照抵抗５をローラ電極２間の
インピーダンスＺに対して十分小さくした場合には、ロ
ーラ電極２間に流れる電流を測定するのみでローラ電極
２間のインピーダンスＺを実用上充分な精度で測定する
ことができ、本例に代えて適用できる。
【００２６】
【発明の効果】本発明は、上述の如く、導電性フィルム
の製造工程での導電層の表面抵抗をオンラインで安定し
て測定できるものであり、オンラインモニター或はフィ
ードバック制御の検出器として使用でき、長尺フィルム
を基板フィルムとして導電層を連続成膜して導電性フィ
ルムを製造する連続製造工程の長期安定運転並びに生産
性向上に大きな効果を奏するものである。特に、成膜速
度が遅く、長時間連続運転が必要となる、スパッタ法等
の物理的堆積（ＰＶＤ）法に代表される真空薄膜形成法
によりＩＴＯ膜等の金属酸化物薄膜、或は金等の金属薄
膜からなる導電層を形成する導電性フィルムの製造工程
においてその効果は顕著である。
の製造工程での導電層の表面抵抗をオンラインで安定し
て測定できるものであり、オンラインモニター或はフィ
ードバック制御の検出器として使用でき、長尺フィルム
を基板フィルムとして導電層を連続成膜して導電性フィ
ルムを製造する連続製造工程の長期安定運転並びに生産
性向上に大きな効果を奏するものである。特に、成膜速
度が遅く、長時間連続運転が必要となる、スパッタ法等
の物理的堆積（ＰＶＤ）法に代表される真空薄膜形成法
によりＩＴＯ膜等の金属酸化物薄膜、或は金等の金属薄
膜からなる導電層を形成する導電性フィルムの製造工程
においてその効果は顕著である。
【００２７】このように本発明は、導電性フィルムの製
造工程の安定運転、品質向上、生産性向上に大きな寄与
をなすものである。
造工程の安定運転、品質向上、生産性向上に大きな寄与
をなすものである。
【図１】図１は、実施例の測定部の構成の説明図であ
る。
る。
【図２】図２は、電極から見た測定対象の導電性フィル
ムの等価回路の説明図である。
ムの等価回路の説明図である。
【図３】図３は、実施例の測定回路のブロック図であ
る。
る。
【図４】図４は実施例での実測結果のグラフである。
１ 導電性フィルム ２ ローラ電極 ３ スリップリング ４ 高周波電源 ５ 参照抵抗 ６ 差動増幅器 ７ 絶対値回路 ８ 平滑化回路 ９ 直流増幅器 １０ 除算器
Claims (8)
- 【請求項１】 連続的に搬送される片面のみが導電性を
有する導電性フィルムの電気抵抗を連続的に測定する導
電性フィルムの電気抵抗測定方法において、所定の間隔
で平行に配置した一対の電極に該導電性フィルムの導電
性を有しない側の面を接触させ、該電極間に高周波電圧
を印加し、電極間に発生する電圧及び／又は電極間に流
れる電流からその導電部の電気抵抗を測定することを特
徴とする導電性フィルムの電気抵抗測定方法。 - 【請求項２】 電極がフリーローラからなるローラ電極
である請求項１記載の導電性フィルムの電気抵抗測定方
法。 - 【請求項３】 電気抵抗が表面抵抗である請求項１また
は２記載の導電性フィルムの電気抵抗測定方法。 - 【請求項４】 該高周波電圧の周波数が１ＭＨｚ以上１
００ＭＨｚ以下の周波数範囲である請求項１〜３記載の
いずれかの導電性フィルムの電気抵抗測定方法。 - 【請求項５】 参照抵抗を電極と直列に接続し、参照抵
抗の電圧と電極間の電圧とを測定して導電性フィルムの
導電部の抵抗を測定する請求項１〜４記載のいずれかの
導電性フィルムの電気抵抗測定方法。 - 【請求項６】 導電性フィルムが長尺フィルムの一面に
導電層を連続形成した導電性フィルムである請求項１〜
５記載のいずれかの導電性フィルムの電気抵抗測定方
法。 - 【請求項７】 導電層がインジウム・錫酸化物（ＩＴ
Ｏ）膜である請求項６記載の導電性フィルムの電気抵抗
測定方法。 - 【請求項８】 導電性フィルムがロール・ツ・ロールで
ＩＴＯ膜を成膜するスパッタ装置内のＩＴＯ膜を成膜後
の搬送中の導電性フィルムである請求項７記載の導電性
フィルムの電気抵抗測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05289797A JP3793314B2 (ja) | 1997-03-07 | 1997-03-07 | 導電性フィルムの電気抵抗測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05289797A JP3793314B2 (ja) | 1997-03-07 | 1997-03-07 | 導電性フィルムの電気抵抗測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10253674A true JPH10253674A (ja) | 1998-09-25 |
| JP3793314B2 JP3793314B2 (ja) | 2006-07-05 |
Family
ID=12927657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05289797A Expired - Fee Related JP3793314B2 (ja) | 1997-03-07 | 1997-03-07 | 導電性フィルムの電気抵抗測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3793314B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2642277A1 (en) | 2012-03-21 | 2013-09-25 | Furukawa Co., Ltd. | Electrical resistance measurement apparatus and electrical resistance measurement method |
-
1997
- 1997-03-07 JP JP05289797A patent/JP3793314B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2642277A1 (en) | 2012-03-21 | 2013-09-25 | Furukawa Co., Ltd. | Electrical resistance measurement apparatus and electrical resistance measurement method |
| US9372215B2 (en) | 2012-03-21 | 2016-06-21 | Furukawa Co., Ltd. | Electrical resistance measurement apparatus and electrical resistance measurement method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3793314B2 (ja) | 2006-07-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Olthuis et al. | Theoretical and experimental determination of cell constants of planar-interdigitated electrolyte conductivity sensors | |
| JPH0260141B2 (ja) | ||
| JP2004335594A (ja) | プラズマ処理装置 | |
| Mortari et al. | Mesoporous gold electrodes for sensors based on electrochemical double layer capacitance | |
| JP2011149750A (ja) | 電気的特性測定装置及び方法 | |
| JP3793314B2 (ja) | 導電性フィルムの電気抵抗測定方法 | |
| JPH01318975A (ja) | 薄層のオーム抵抗の非破壊的測定装置 | |
| JPS60185151A (ja) | 金属層の電気抵抗測定方法 | |
| US6726825B2 (en) | Method and apparatus for manufacturing positive electrode foil of aluminum electrolytic capacitor | |
| Olthuis et al. | A new probe for measuring electrolytic conductance | |
| JP2000155143A (ja) | 導電性フィルムの電気抵抗測定方法 | |
| JP6014951B1 (ja) | 導電体パターン検査装置 | |
| JP2000065875A (ja) | 絶縁抵抗測定電極および測定方法 | |
| US8305096B2 (en) | Apparatus and method for measuring and monitoring layer properties in web-based processes | |
| JP2000230950A (ja) | 表面抵抗測定装置 | |
| CN106546602A (zh) | 一种电容器薄膜视检‑清洁装置 | |
| US4343686A (en) | Method for controlling etching of electrolytic capacitor foil | |
| CN210513082U (zh) | 一种流延膜厚度在线检测装置 | |
| TWM619427U (zh) | 樹脂含量檢測設備 | |
| JPH0830271B2 (ja) | 薄膜形成装置 | |
| CN214174506U (zh) | 一种真空镀膜在线方阻检测仪 | |
| KR100446682B1 (ko) | 전기강판의 온라인 절연측정장치 | |
| JP2001035759A (ja) | コンデンサのインピーダンス測定装置 | |
| CN107064706A (zh) | 导电体图案检查装置 | |
| JPH07280503A (ja) | 表面皮膜厚測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041210 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050426 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050802 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050930 |
|
| A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20051121 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060322 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060407 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100414 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100414 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110414 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120414 Year of fee payment: 6 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |