JP2000065875A - 絶縁抵抗測定電極および測定方法 - Google Patents
絶縁抵抗測定電極および測定方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の測定方法でシート状の薄い絶縁材料の
表面抵抗を測定すると、表面電流に対し、体積方向に流
れる電流の影響が無視できなくなり、表面抵抗が実際よ
り低く測定される場合がある。このため体積方向に流れ
る電流が表面電流の測定に影響しないようにして表面抵
抗をより正確に測定する。 【解決手段】 シート状絶縁材料（１）の第１の面と電
気的に接触する円板状の第１の金属電極（２）と、第１
の金属電極（２）の周囲において第１の金属電極と離隔
してシート状絶縁材料（１）の第１の面と電気的に接触
するリング状の第２の金属電極（３）と、シート状絶縁
材料（１）の第２の面とリング状の第２の金属電極
（３）と対向して電気的に接触するリング状の第３の金
属電極（７）とを具備するシート状絶縁材料の絶縁抵抗
を測定するための電極。
表面抵抗を測定すると、表面電流に対し、体積方向に流
れる電流の影響が無視できなくなり、表面抵抗が実際よ
り低く測定される場合がある。このため体積方向に流れ
る電流が表面電流の測定に影響しないようにして表面抵
抗をより正確に測定する。 【解決手段】 シート状絶縁材料（１）の第１の面と電
気的に接触する円板状の第１の金属電極（２）と、第１
の金属電極（２）の周囲において第１の金属電極と離隔
してシート状絶縁材料（１）の第１の面と電気的に接触
するリング状の第２の金属電極（３）と、シート状絶縁
材料（１）の第２の面とリング状の第２の金属電極
（３）と対向して電気的に接触するリング状の第３の金
属電極（７）とを具備するシート状絶縁材料の絶縁抵抗
を測定するための電極。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はシート状絶縁材料の
抵抗測定に関するもので、詳しくは表面抵抗を測定する
ための電極構造におよび測定方法に関するものである。
抵抗測定に関するもので、詳しくは表面抵抗を測定する
ための電極構造におよび測定方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来よりシート状絶縁材料の表面抵抗を
求める場合には、シート状絶縁材料の表面に一対の測定
用電極を形成し、この測定用電極間に電圧を印加して電
極間に流れる表面電流を絶縁抵抗計又は電流計を用いて
測定し、この電圧および電流値から計算により表面抵抗
を求める方法が用いられている。
求める場合には、シート状絶縁材料の表面に一対の測定
用電極を形成し、この測定用電極間に電圧を印加して電
極間に流れる表面電流を絶縁抵抗計又は電流計を用いて
測定し、この電圧および電流値から計算により表面抵抗
を求める方法が用いられている。
【０００３】表面抵抗測定用電極としては試料の材質や
形状、測定の目的および絶縁材料の使用目的等で決めら
れる種々の形状が考えられるが、一般性のあるデータと
するためには電極の形状を統一して定める必要があり、
例えばＪＩＳＫ６９１１においても測定用電極の形状に
ついて規定している。
形状、測定の目的および絶縁材料の使用目的等で決めら
れる種々の形状が考えられるが、一般性のあるデータと
するためには電極の形状を統一して定める必要があり、
例えばＪＩＳＫ６９１１においても測定用電極の形状に
ついて規定している。
【０００４】図４に従来の方法による表面抵抗の測定方
法を示す。図５は測定用電極の形状を示すもので、図５
（ａ）は表面電極を、図５（ｂ）は裏面電極を示す。な
お、絶縁材料の抵抗評価は通常表面抵抗（または表面抵
抗率）と体積抵抗（または体積抵抗率）により行われ
る。このためシート状絶縁材料の表面抵抗測定用電極の
形状は体積抵抗をも測定できる形状となっている。
法を示す。図５は測定用電極の形状を示すもので、図５
（ａ）は表面電極を、図５（ｂ）は裏面電極を示す。な
お、絶縁材料の抵抗評価は通常表面抵抗（または表面抵
抗率）と体積抵抗（または体積抵抗率）により行われ
る。このためシート状絶縁材料の表面抵抗測定用電極の
形状は体積抵抗をも測定できる形状となっている。
【０００５】シート状絶縁材料１の表面には主電極２と
して円板状の金属電極が、対向電極（高圧電極）３とし
てリング状の金属電極が形成される。シート状絶縁材料
１の裏面にはガード電極４として円板状の金属電極が形
成される。
して円板状の金属電極が、対向電極（高圧電極）３とし
てリング状の金属電極が形成される。シート状絶縁材料
１の裏面にはガード電極４として円板状の金属電極が形
成される。
【０００６】図４に示すように各電極を表面抵抗測定用
に配線し、直流電源５により所定の電圧を印加すると，
体積電流ｉ2 および表面電流ｉ1 が流れる。体積電流す
なわちシート状試料の断面を通る電流ｉ2 はシート状試
料の裏面に形成されたガード電極４によって取り除かれ
る。従って、主電極２と対向電極３間を流れる表面電流
ｉ1 のみを絶縁抵抗計又は電流計６により測定すること
ができる。
に配線し、直流電源５により所定の電圧を印加すると，
体積電流ｉ2 および表面電流ｉ1 が流れる。体積電流す
なわちシート状試料の断面を通る電流ｉ2 はシート状試
料の裏面に形成されたガード電極４によって取り除かれ
る。従って、主電極２と対向電極３間を流れる表面電流
ｉ1 のみを絶縁抵抗計又は電流計６により測定すること
ができる。
【０００７】表面抵抗Ｒｓは，印加電圧Ｅi と電流ｉ1
から Ｒs ＝Ｅi ／ｉ1 として求められる。また、表面抵抗率ρS はρS ＝Ｒs
π（Ｄ1 ＋Ｄ2 ）／（Ｄ2 −Ｄ1 ）として求めることが
できる。
から Ｒs ＝Ｅi ／ｉ1 として求められる。また、表面抵抗率ρS はρS ＝Ｒs
π（Ｄ1 ＋Ｄ2 ）／（Ｄ2 −Ｄ1 ）として求めることが
できる。
【０００８】ここで、Ｄ1 は円板状電極２の直径であ
り、Ｄ2 はリング状金属電極３の内径である。電極２、
３、４と試料１との密着をよくする必要があり，種々の
方法が採用されている。また、絶縁材料の表面低抗値
は，材料表面の水分の状態によって変化するから，測定
前の試料の環境湿度の調整と，測定中における湿度調整
が行われている。さらに、試料表面の汚れも測定結果に
影響するから、試料表面は十分清浄化して測定が行われ
ている。また試料の帯電も測定結果に影響するので例え
ば電極を長時間短絡しておくなどして電荷を除去した上
で測定が行われている。
り、Ｄ2 はリング状金属電極３の内径である。電極２、
３、４と試料１との密着をよくする必要があり，種々の
方法が採用されている。また、絶縁材料の表面低抗値
は，材料表面の水分の状態によって変化するから，測定
前の試料の環境湿度の調整と，測定中における湿度調整
が行われている。さらに、試料表面の汚れも測定結果に
影響するから、試料表面は十分清浄化して測定が行われ
ている。また試料の帯電も測定結果に影響するので例え
ば電極を長時間短絡しておくなどして電荷を除去した上
で測定が行われている。
【０００９】しかし、種々の絶縁材料の開発と絶縁シー
トの用途の多様化にともない、シート又はフィルムの厚
さも極めて薄いものが使用されるようになってきてい
る。かかる場合、上記従来の測定方法では表面抵抗又は
表面抵抗率の正確な測定が不可能となってきた。
トの用途の多様化にともない、シート又はフィルムの厚
さも極めて薄いものが使用されるようになってきてい
る。かかる場合、上記従来の測定方法では表面抵抗又は
表面抵抗率の正確な測定が不可能となってきた。
【００１０】従来の測定方法でシート状の薄い絶縁材料
を測定すると、例えば図６に示すように、表面電流ｉ1
に対し、本来はほとんど流れることのない体積方向を経
由して流れる漏れ電流ｉ3 の影響が無視できなくなり、
表面抵抗が実際より低く測定される場合が生ずる。従っ
て、体積方向を経由して流れる電流が、ｉ1 の測定に影
響しないようにして表面抵抗を測定する必要が生じてい
る。また、薄いシート状の絶縁材料に測定用金属材料を
付着させ、電極形成のため適切な形状に加工することが
困難になるという問題も生じてきた。
を測定すると、例えば図６に示すように、表面電流ｉ1
に対し、本来はほとんど流れることのない体積方向を経
由して流れる漏れ電流ｉ3 の影響が無視できなくなり、
表面抵抗が実際より低く測定される場合が生ずる。従っ
て、体積方向を経由して流れる電流が、ｉ1 の測定に影
響しないようにして表面抵抗を測定する必要が生じてい
る。また、薄いシート状の絶縁材料に測定用金属材料を
付着させ、電極形成のため適切な形状に加工することが
困難になるという問題も生じてきた。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】絶縁シートの用途の多
様化にともない被測定物の厚さが薄くなると、絶縁シー
トの表面に主電極および対向電極を形成し裏面に円板状
のガード電極を形成する従来の測定方法では、絶縁シー
トの表面抵抗を正確に測定することが困難となってい
る。従来の測定方法でシート状の薄い絶縁材料を測定す
ると、表面電流ｉ1に対し、体積方向を経由して流れる
漏れ電流ｉ3 の影響が無視できなくなり、ｉ1 ＋ｉ3 が
測定される結果、表面抵抗が実際より低く算出される場
合があるからである。また、従来の測定方法により極め
て薄いシート状絶縁材料の表面抵抗を測定する場合、シ
ート状絶縁材料に測定用金属材料を付着させ電極を形成
することが困難になるという問題が生じてきた。
様化にともない被測定物の厚さが薄くなると、絶縁シー
トの表面に主電極および対向電極を形成し裏面に円板状
のガード電極を形成する従来の測定方法では、絶縁シー
トの表面抵抗を正確に測定することが困難となってい
る。従来の測定方法でシート状の薄い絶縁材料を測定す
ると、表面電流ｉ1に対し、体積方向を経由して流れる
漏れ電流ｉ3 の影響が無視できなくなり、ｉ1 ＋ｉ3 が
測定される結果、表面抵抗が実際より低く算出される場
合があるからである。また、従来の測定方法により極め
て薄いシート状絶縁材料の表面抵抗を測定する場合、シ
ート状絶縁材料に測定用金属材料を付着させ電極を形成
することが困難になるという問題が生じてきた。
【００１２】従って、本発明は、上記従来の問題点に鑑
みてなされたもので、体積方向に流れる電流が表面電流
の測定に影響しないようにして、極めて薄いシート状絶
縁材料であっても、表面抵抗を正確に測定できる電極構
造を形成することを目的とするものである。
みてなされたもので、体積方向に流れる電流が表面電流
の測定に影響しないようにして、極めて薄いシート状絶
縁材料であっても、表面抵抗を正確に測定できる電極構
造を形成することを目的とするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の絶縁抵抗測定電
極は、シート状絶縁材料の第１の面と電気的に接触する
円板状の第１の電極と、第１の電極の周囲において第１
の電極と離隔してシート状絶縁材料の第１の面と電気的
に接触するリング状の第２の電極と、シート状絶縁材料
の第２の面とリング状の第２の電極と対向して電気的に
接触するリング状の第３の電極とを具備するシート状絶
縁材料の絶縁抵抗を測定するための電極である。
極は、シート状絶縁材料の第１の面と電気的に接触する
円板状の第１の電極と、第１の電極の周囲において第１
の電極と離隔してシート状絶縁材料の第１の面と電気的
に接触するリング状の第２の電極と、シート状絶縁材料
の第２の面とリング状の第２の電極と対向して電気的に
接触するリング状の第３の電極とを具備するシート状絶
縁材料の絶縁抵抗を測定するための電極である。
【００１４】さらに、第３の電極は第１の絶縁基体の表
面に形成されており、表面抵抗を測定する際に、シート
状絶縁材料の第２の面とリング状の第２の電極と対向す
るように接触することを特徴とする電極である。さら
に、第１および第２の電極は第２の絶縁基体の表面に形
成されており、表面抵抗を測定する際に、シート状絶縁
材料の第１の面と、リング状の第２の電極がリング状の
第３の電極と対向するように接触することを特徴とする
電極である。さらに、第１、第２および第３の電極は、
スパッタ又は蒸着により形成された金属膜，導電性ゴ
ム、スクリーンプリント可能な導電性ペーストを用いて
形成した膜、吹き付け法により形成した金属膜、電極形
状に切り取った金属箔又は金属板のいずれかであること
を特徴とする電極である。
面に形成されており、表面抵抗を測定する際に、シート
状絶縁材料の第２の面とリング状の第２の電極と対向す
るように接触することを特徴とする電極である。さら
に、第１および第２の電極は第２の絶縁基体の表面に形
成されており、表面抵抗を測定する際に、シート状絶縁
材料の第１の面と、リング状の第２の電極がリング状の
第３の電極と対向するように接触することを特徴とする
電極である。さらに、第１、第２および第３の電極は、
スパッタ又は蒸着により形成された金属膜，導電性ゴ
ム、スクリーンプリント可能な導電性ペーストを用いて
形成した膜、吹き付け法により形成した金属膜、電極形
状に切り取った金属箔又は金属板のいずれかであること
を特徴とする電極である。
【００１５】本発明の表面抵抗測定方法は、シート状絶
縁材料の第１の面に、円板状の第１の電極および第１の
電極の周囲において第１の電極と離隔している円板状の
第２の電極とを接触させる工程と、シート状絶縁材料の
第２の面にリング状の第３の電極を接触する工程と、こ
こでリング状の第２の電極とリング状の第３の電極はシ
ート状絶縁材料を介して対向するように配置され、第１
の電極および第２の電極に所定の電圧を印加し、第１の
電極および第２の電極間に流れる電流を測定する工程と
を含むことを特徴とするシート状絶縁材料の表面抵抗を
測定する方法である。
縁材料の第１の面に、円板状の第１の電極および第１の
電極の周囲において第１の電極と離隔している円板状の
第２の電極とを接触させる工程と、シート状絶縁材料の
第２の面にリング状の第３の電極を接触する工程と、こ
こでリング状の第２の電極とリング状の第３の電極はシ
ート状絶縁材料を介して対向するように配置され、第１
の電極および第２の電極に所定の電圧を印加し、第１の
電極および第２の電極間に流れる電流を測定する工程と
を含むことを特徴とするシート状絶縁材料の表面抵抗を
測定する方法である。
【００１６】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を以下に図面
を参照して説明する。以下の実施の形態および図面の記
載において、同様の要素は同様の参照番号により表され
る。絶縁材料の絶縁抵抗は、表面抵抗および体積抵抗に
分類される。この実施の形態における絶縁抵抗の測定に
おいては、表面抵抗および体積抵抗の双方が測定できる
ような電極を絶縁材料に形成する。表面抵抗は表面抵抗
測定のための電極を用いて測定される。従来の測定方法
ではフィルム状の薄い絶縁材料を測定する場合は表面抵
抗に対する体積抵抗の影響が無視できなくなり、表面抵
抗が低く測定されるために正確な測定ができない。この
問題を解決する為に後述する形状の電極を配置すること
により表面抵抗を正確に測定することを可能とする。
を参照して説明する。以下の実施の形態および図面の記
載において、同様の要素は同様の参照番号により表され
る。絶縁材料の絶縁抵抗は、表面抵抗および体積抵抗に
分類される。この実施の形態における絶縁抵抗の測定に
おいては、表面抵抗および体積抵抗の双方が測定できる
ような電極を絶縁材料に形成する。表面抵抗は表面抵抗
測定のための電極を用いて測定される。従来の測定方法
ではフィルム状の薄い絶縁材料を測定する場合は表面抵
抗に対する体積抵抗の影響が無視できなくなり、表面抵
抗が低く測定されるために正確な測定ができない。この
問題を解決する為に後述する形状の電極を配置すること
により表面抵抗を正確に測定することを可能とする。
【００１７】図１は、本発明によるシート状絶縁材料の
表面抵抗の測定方法を示す図である。図２には本発明に
よる測定用電極が示されている。図２（ａ）は表面電
極、図２（ｂ）は裏面電極を示す。
表面抵抗の測定方法を示す図である。図２には本発明に
よる測定用電極が示されている。図２（ａ）は表面電
極、図２（ｂ）は裏面電極を示す。
【００１８】シート状絶縁材料１の表面には主電極とし
ての円板状の電極２が電気的に接触するように形成され
ている。そして対向電極（高圧電極）としてのリング状
の電極３が形成される。リング状の電極３は、円板状の
電極２の周囲において、円板状の電極２と離隔して形成
されている。表面抵抗率を容易に計算するためには図２
（ａ）に示すように等間隔で離隔しているのが望まし
い。
ての円板状の電極２が電気的に接触するように形成され
ている。そして対向電極（高圧電極）としてのリング状
の電極３が形成される。リング状の電極３は、円板状の
電極２の周囲において、円板状の電極２と離隔して形成
されている。表面抵抗率を容易に計算するためには図２
（ａ）に示すように等間隔で離隔しているのが望まし
い。
【００１９】シート状絶縁材料１の裏面にはガード電極
として円板状の電極７が電気的に接触するように形成さ
れる。この電極７は図２（ａ）および（ｂ）に示すよう
に、リング状の電極３と相似形で、この場合円環状で形
成されるのが望ましい。
として円板状の電極７が電気的に接触するように形成さ
れる。この電極７は図２（ａ）および（ｂ）に示すよう
に、リング状の電極３と相似形で、この場合円環状で形
成されるのが望ましい。
【００２０】下記の値に限定するものではないが、図２
の各電極の寸法は例えば、 ｒ1 ＝ ２５ｍｍ ｒ2 ＝ ３５ｍｍ ｒ3 ＝ ４０ｍｍ ｒ4 ＝ ３３ｍｍ ｒ5 ＝ ４２ｍｍ とすることができる。リング状電極７はシート状絶縁材
料１を介してリング状電極３と対向して配置されるが、
リングの幅はリング状電極３の幅と比較し等しいか若し
くは若干大きくしておくのが良い。
の各電極の寸法は例えば、 ｒ1 ＝ ２５ｍｍ ｒ2 ＝ ３５ｍｍ ｒ3 ＝ ４０ｍｍ ｒ4 ＝ ３３ｍｍ ｒ5 ＝ ４２ｍｍ とすることができる。リング状電極７はシート状絶縁材
料１を介してリング状電極３と対向して配置されるが、
リングの幅はリング状電極３の幅と比較し等しいか若し
くは若干大きくしておくのが良い。
【００２１】各電極と試料１との接触をよくする必要が
あり、電極材料としては例えば水銀を用いることもでき
る。その他の材料として、スパッタや蒸着により形成さ
れる金属膜，導電性ゴム、スクリーンプリント可能な金
ペーストや銀ペースト等の導電性塗料、吹き付け法によ
り形成した金属膜、電極形状に切り取った金属箔や金属
板などを用いることができる。
あり、電極材料としては例えば水銀を用いることもでき
る。その他の材料として、スパッタや蒸着により形成さ
れる金属膜，導電性ゴム、スクリーンプリント可能な金
ペーストや銀ペースト等の導電性塗料、吹き付け法によ
り形成した金属膜、電極形状に切り取った金属箔や金属
板などを用いることができる。
【００２２】表面抵抗を測定する場合は、図１に示すよ
うに電極を表面抵抗測定用に配線し、直流電源５により
所定の電圧を印加する。電圧印加により、体積電流ｉ2
および表面電流ｉ1 が流れる。体積電流すなわちシート
状試料の断面を通る電流ｉ2はシート状試料の裏面に形
成されたリング状のガード電極７によって取り除かれ
る。従って、主電極２と高圧電極３間を流れる表面電流
ｉ1 のみを絶縁抵抗計又は電流計６により測定すること
ができる。リング状のガード電極７はリング状の対向電
極３とほぼ同形で対向電極３と対向して配置されている
ので、体積電流は全てリング状のガード電極７に流れ込
み、円板状の主電極２に影響を及ぼすことはない。さら
に、円板状の主電極２に流入する体積電流を無視できる
ようにするためには，主電極３と対向電極３間のギャッ
プΔｒ＝γ2 一γ1 を広くするのも一方法である。
うに電極を表面抵抗測定用に配線し、直流電源５により
所定の電圧を印加する。電圧印加により、体積電流ｉ2
および表面電流ｉ1 が流れる。体積電流すなわちシート
状試料の断面を通る電流ｉ2はシート状試料の裏面に形
成されたリング状のガード電極７によって取り除かれ
る。従って、主電極２と高圧電極３間を流れる表面電流
ｉ1 のみを絶縁抵抗計又は電流計６により測定すること
ができる。リング状のガード電極７はリング状の対向電
極３とほぼ同形で対向電極３と対向して配置されている
ので、体積電流は全てリング状のガード電極７に流れ込
み、円板状の主電極２に影響を及ぼすことはない。さら
に、円板状の主電極２に流入する体積電流を無視できる
ようにするためには，主電極３と対向電極３間のギャッ
プΔｒ＝γ2 一γ1 を広くするのも一方法である。
【００２３】電圧印加直後は吸収電流が流れる場合があ
るので，吸収電流の継続時間が長い場合には，例えば１
分値、５分値など一定時間後の電流を便宜上用いて表面
抵抗を計算する場合もある。
るので，吸収電流の継続時間が長い場合には，例えば１
分値、５分値など一定時間後の電流を便宜上用いて表面
抵抗を計算する場合もある。
【００２４】薄いシート状の絶縁材料の表面抵抗を測定
する場合、図１に示すように、絶縁基体８上に測定用電
極の形成された被測定シート状の絶縁材料を載置して測
定することが望ましい。絶縁基体８には図示するように
適切な段差を設けることによりシート状の絶縁材料が平
坦な状態で絶縁基体８に載置することができる。また、
載置された状態において空隙９が生ずるような構造にす
るのが望ましい。
する場合、図１に示すように、絶縁基体８上に測定用電
極の形成された被測定シート状の絶縁材料を載置して測
定することが望ましい。絶縁基体８には図示するように
適切な段差を設けることによりシート状の絶縁材料が平
坦な状態で絶縁基体８に載置することができる。また、
載置された状態において空隙９が生ずるような構造にす
るのが望ましい。
【００２５】極めて薄いシート状の絶縁材料の表面抵抗
を測定する場合、シート状絶縁材料に直接測定用金属材
料を付着させると電極の加工が困難な場合がある。かか
る場合は、一方または双方の測定用の電極を他の絶縁基
体に形成しておき、測定時に薄いシート状絶縁材料に接
触させて測定することも可能である。この場合電極材料
としては例えば導電性ゴムを用いることができる。
を測定する場合、シート状絶縁材料に直接測定用金属材
料を付着させると電極の加工が困難な場合がある。かか
る場合は、一方または双方の測定用の電極を他の絶縁基
体に形成しておき、測定時に薄いシート状絶縁材料に接
触させて測定することも可能である。この場合電極材料
としては例えば導電性ゴムを用いることができる。
【００２６】図３は一方のリング状電極７を絶縁基体１
０に形成した後、薄いシート状絶縁材料１の裏面に接触
させて表面抵抗を測定している状態を示す。リング状電
極７はリング状電極３と対向するように位置を調整して
接触する。図３においては、リング状電極７のみが絶縁
基体に形成された場合を示しているが、他方の円板状電
極２およびリング状電極３を他の絶縁基体に形成し同様
に測定時に接触させることも可能である（図示せず）。
０に形成した後、薄いシート状絶縁材料１の裏面に接触
させて表面抵抗を測定している状態を示す。リング状電
極７はリング状電極３と対向するように位置を調整して
接触する。図３においては、リング状電極７のみが絶縁
基体に形成された場合を示しているが、他方の円板状電
極２およびリング状電極３を他の絶縁基体に形成し同様
に測定時に接触させることも可能である（図示せず）。
【００２７】さらに、双方の電極をそれぞれ別の絶縁基
体上に形成しておくことも可能である。かかる場合、複
数のシート状絶縁材料の絶縁抵抗の測定に関し、共通の
一組の電極基体のみを使用することが可能となり、電極
形成のための工数を削減することができる。
体上に形成しておくことも可能である。かかる場合、複
数のシート状絶縁材料の絶縁抵抗の測定に関し、共通の
一組の電極基体のみを使用することが可能となり、電極
形成のための工数を削減することができる。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、従
来の表面抵抗の測定と比較して、より正確な表面抵抗値
の測定が可能となる。
来の表面抵抗の測定と比較して、より正確な表面抵抗値
の測定が可能となる。
【図１】本発明の第１の実施例によるシート状絶縁材料
の表面抵抗測定方法を示す図である。
の表面抵抗測定方法を示す図である。
【図２】（ａ）は本発明による絶縁抵抗測定のための表
面電極を示す図である。（ｂ）は本発明による絶縁抵抗
測定のための裏面電極を示す図である。
面電極を示す図である。（ｂ）は本発明による絶縁抵抗
測定のための裏面電極を示す図である。
【図３】本発明の第２の実施例によるシート状絶縁材料
の表面抵抗測定方法を示す図である。
の表面抵抗測定方法を示す図である。
【図４】従来技術によるシート状絶縁材料の表面抵抗測
定方法を示す図である。
定方法を示す図である。
【図５】（ａ）は従来技術による絶縁抵抗測定のための
表面電極を示す図である。（ｂ）は従来技術による絶縁
抵抗測定のための裏面電極を示す図である。
表面電極を示す図である。（ｂ）は従来技術による絶縁
抵抗測定のための裏面電極を示す図である。
【図６】従来技術の測定方法でシート状の薄い絶縁材料
を測定した場合の電流の流れを示す図である。
を測定した場合の電流の流れを示す図である。
１ … シート状絶縁材料 ２ … 主電極 ３ … 対向電極 ４ … ガード電極 ５ … 直流電源 ６ … 電流計 ７ … ガード電極 ８ … 絶縁基体 ９ … 空隙
Claims (5)
- 【請求項１】 シート状絶縁材料の第１の面と電気的に
接触する円板状の第１の電極と、 前記第１の電極の周囲において前記第１の電極と離隔し
て前記シート状絶縁材料の前記第１の面と電気的に接触
するリング状の第２の電極と、 前記シート状絶縁材料の第２の面と前記リング状の第２
の電極と対向して電気的に接触するリング状の第３の電
極とを具備することを特徴とするシート状絶縁材料の絶
縁抵抗を測定するための電極。 - 【請求項２】 前記第３の電極は第１の絶縁基体の表面
に形成されており、表面抵抗を測定する際に、前記シー
ト状絶縁材料の第２の面と前記リング状の第２の電極と
対向するように接触することを特徴とする請求項１記載
の電極。 - 【請求項３】 前記第１および第２の電極は第２の絶縁
基体の表面に形成されており、表面抵抗を測定する際
に、前記シート状絶縁材料の第１の面と、前記リング状
の第２の電極が前記リング状の第３の電極と対向するよ
うに接触することを特徴とする請求項１記載の電極。 - 【請求項４】 前記第１、第２および第３の電極は、ス
パッタ又は蒸着により形成された金属膜，導電性ゴム、
スクリーンプリント可能な導電性ペーストを用いて形成
した膜、吹き付け法により形成した金属膜、電極形状に
切り取った金属箔又は金属板のいずれかであることを特
徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載
の電極。 - 【請求項５】 シート状絶縁材料の第１の面に、円板状
の第１の電極および前記第１の電極の周囲において前記
第１の電極と離隔している円板状の第２の電極とを接触
させる工程と、 前記シート状絶縁材料の第２の面にリング状の第３の電
極を接触する工程と、ここで前記リング状の第２の電極
と前記リング状の第３の電極は前記シート状絶縁材料を
介して対向するように配置され、 前記第１の電極および前記第２の電極に所定の電圧を印
加し、前記第１の電極および前記第２の電極間に流れる
電流を測定する工程とを含むことを特徴とするシート状
絶縁材料の表面抵抗を測定する方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10238457A JP2000065875A (ja) | 1998-08-25 | 1998-08-25 | 絶縁抵抗測定電極および測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10238457A JP2000065875A (ja) | 1998-08-25 | 1998-08-25 | 絶縁抵抗測定電極および測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000065875A true JP2000065875A (ja) | 2000-03-03 |
Family
ID=17030520
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10238457A Pending JP2000065875A (ja) | 1998-08-25 | 1998-08-25 | 絶縁抵抗測定電極および測定方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000065875A (ja) |
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1998
- 1998-08-25 JP JP10238457A patent/JP2000065875A/ja active Pending
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