JPH10246797A - コリメータセッティング装置 - Google Patents
コリメータセッティング装置Info
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- JPH10246797A JPH10246797A JP6386297A JP6386297A JPH10246797A JP H10246797 A JPH10246797 A JP H10246797A JP 6386297 A JP6386297 A JP 6386297A JP 6386297 A JP6386297 A JP 6386297A JP H10246797 A JPH10246797 A JP H10246797A
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- collimator
- ray
- cylinder
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- optical axis
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｘ線装置で用いるダブルコリメータを簡単且
つ迅速にＸ線光軸に対する正確な位置に位置決めできる
ようにする。 【解決手段】 一端にピンホール１６を備え他端に長穴
１９を備えたセッティング用コリメータ筒２１を支持装
置１のホルダ９ａ，９ｂの上に載せ、そのコリメータ筒
２１を軸線ＸC のまわりに回転させながらＸ線焦点Ｆか
ら放射されるＸ線をＸ線カウンタ７によって測定する。
回転する長穴１９がＸ線光軸ＸR を横切るときカウンタ
７がＸ線を検出し、このときのコリメータ筒２１の回転
方向及び長穴１９の角度位置に基づいて、Ｘ線光軸ＸR
に対する軸線ＸC のずれ方向を知ることができ、その結
果に基づいて、コリメータ筒２１の光軸ＸR に対する位
置決めを簡単、迅速且つ正確に行うことができる。
つ迅速にＸ線光軸に対する正確な位置に位置決めできる
ようにする。 【解決手段】 一端にピンホール１６を備え他端に長穴
１９を備えたセッティング用コリメータ筒２１を支持装
置１のホルダ９ａ，９ｂの上に載せ、そのコリメータ筒
２１を軸線ＸC のまわりに回転させながらＸ線焦点Ｆか
ら放射されるＸ線をＸ線カウンタ７によって測定する。
回転する長穴１９がＸ線光軸ＸR を横切るときカウンタ
７がＸ線を検出し、このときのコリメータ筒２１の回転
方向及び長穴１９の角度位置に基づいて、Ｘ線光軸ＸR
に対する軸線ＸC のずれ方向を知ることができ、その結
果に基づいて、コリメータ筒２１の光軸ＸR に対する位
置決めを簡単、迅速且つ正確に行うことができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、対向する一対のピ
ンホールを備えたコリメータをＸ線光軸に対して所定位
置に位置決めするためのコリメータセッティング装置に
関する。
ンホールを備えたコリメータをＸ線光軸に対して所定位
置に位置決めするためのコリメータセッティング装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、Ｘ線を用いて試料の分析を行うＸ
線装置においては、しばしば、試料のＸ線入射側にコリ
メータが配設される。このコリメータは、通常、Ｘ線焦
点から発散するＸ線を断面積の小さい平行Ｘ線ビームに
成形するために用いられる。例えば、従来より広く知ら
れているラウエカメラを考えれば、図９に示すように、
Ｘ線焦点Ｆと試料５１との間にコリメータ５２が配設さ
れる。このコリメータ５２は、その両端に互いに対向す
る一対のピンホール５３ａ及び５３ｂを有する。
線装置においては、しばしば、試料のＸ線入射側にコリ
メータが配設される。このコリメータは、通常、Ｘ線焦
点から発散するＸ線を断面積の小さい平行Ｘ線ビームに
成形するために用いられる。例えば、従来より広く知ら
れているラウエカメラを考えれば、図９に示すように、
Ｘ線焦点Ｆと試料５１との間にコリメータ５２が配設さ
れる。このコリメータ５２は、その両端に互いに対向す
る一対のピンホール５３ａ及び５３ｂを有する。
【０００３】Ｘ線焦点Ｆから発散するＸ線は、コリメー
タ５２のピンホール５３ａ及び５３ｂによって断面積の
小さい平行Ｘ線ビームに成形された後、そのコリメータ
５２の後方に配置された試料５１に入射する。この試料
５１が粉末試料であれば、この試料５１で回折したＸ線
によってＸ線感光フィルム５４の感光面上にデバイリン
グＤが結像する。
タ５２のピンホール５３ａ及び５３ｂによって断面積の
小さい平行Ｘ線ビームに成形された後、そのコリメータ
５２の後方に配置された試料５１に入射する。この試料
５１が粉末試料であれば、この試料５１で回折したＸ線
によってＸ線感光フィルム５４の感光面上にデバイリン
グＤが結像する。
【０００４】コリメータ５２は、上記のようなラウエカ
メラに限られず、ＭＤＧ（Micro Diffraction Goniomet
er：微小部Ｘ線回折ゴニオメータ）やその他各種のＸ線
装置に用いられる。このコリメータ５２は一対のピンホ
ール５３ａ及び５３ｂを有することからダブルコリメー
タと呼ばれることがあるが、この種のダブルコリメータ
はＸ線を取り込むことに関して指向性が高く、それ故、
一対のピンホール５３ａと５３ｂとを結ぶ軸線ＸC は、
Ｘ線焦点Ｆと試料５１とを通るＸ線光軸ＸR に正確に一
致しなければならない。
メラに限られず、ＭＤＧ（Micro Diffraction Goniomet
er：微小部Ｘ線回折ゴニオメータ）やその他各種のＸ線
装置に用いられる。このコリメータ５２は一対のピンホ
ール５３ａ及び５３ｂを有することからダブルコリメー
タと呼ばれることがあるが、この種のダブルコリメータ
はＸ線を取り込むことに関して指向性が高く、それ故、
一対のピンホール５３ａと５３ｂとを結ぶ軸線ＸC は、
Ｘ線焦点Ｆと試料５１とを通るＸ線光軸ＸR に正確に一
致しなければならない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来のＸ線装置では、
ダブルコリメータの軸線とＸ線光軸とを位置合わせする
ときには、まず、Ｘ線光軸上の所定位置にダブルコリメ
ータを配設し、Ｘ線焦点から見てダブルコリメータの後
方位置にＸ線カウンタを配設する。そして、Ｘ線焦点か
ら発散するＸ線をダブルコリメータを通してＸ線カウン
タに取り込んでそのＸ線強度を測定する。測定するＸ線
強度は、ダブルコリメータのピンホールがＸ線光軸上に
正確に乗っているか否かによって変化し、このＸ線強度
が最も強くなるところをもってダブルコリメータが適正
な位置に位置決めされたものと判断していた。
ダブルコリメータの軸線とＸ線光軸とを位置合わせする
ときには、まず、Ｘ線光軸上の所定位置にダブルコリメ
ータを配設し、Ｘ線焦点から見てダブルコリメータの後
方位置にＸ線カウンタを配設する。そして、Ｘ線焦点か
ら発散するＸ線をダブルコリメータを通してＸ線カウン
タに取り込んでそのＸ線強度を測定する。測定するＸ線
強度は、ダブルコリメータのピンホールがＸ線光軸上に
正確に乗っているか否かによって変化し、このＸ線強度
が最も強くなるところをもってダブルコリメータが適正
な位置に位置決めされたものと判断していた。
【０００６】しかしながら、周知の通り、Ｘ線は目に見
えない光であるから、上記の位置決め作業の間、作業者
はダブルコリメータのピンホールがＸ線光軸に対してど
の位置にあるかを全く知ることができず、それ故、その
位置決め作業は全くの試行錯誤で行わなければならなか
った。この結果、ダブルコリメータに関する従来の位置
決め作業は著しく手間がかかる困難な作業であった。本
発明は、上記の問題点に鑑みて成されたものであって、
ダブルコリメータを簡単且つ迅速にＸ線光軸に対する正
確な位置に位置決めできるようにすることを目的とす
る。
えない光であるから、上記の位置決め作業の間、作業者
はダブルコリメータのピンホールがＸ線光軸に対してど
の位置にあるかを全く知ることができず、それ故、その
位置決め作業は全くの試行錯誤で行わなければならなか
った。この結果、ダブルコリメータに関する従来の位置
決め作業は著しく手間がかかる困難な作業であった。本
発明は、上記の問題点に鑑みて成されたものであって、
ダブルコリメータを簡単且つ迅速にＸ線光軸に対する正
確な位置に位置決めできるようにすることを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係るコリメータセッティング装置は、対向
する一対のピンホールを備えたコリメータをＸ線光軸に
対して所定位置に位置決めするためのコリメータセッテ
ィング装置において、一端にピンホールを備え他端に長
穴を備えたセッティング用コリメータ筒と、そのセッテ
ィング用コリメータ筒をその軸線のまわりに回転可能に
支持するコリメータ筒支持手段と、そして、上記セッテ
ィング用コリメータ筒のピンホールを中心としてコリメ
ータ筒を傾斜移動するコリメータ筒傾動手段とを有する
ことを特徴とする。
め、本発明に係るコリメータセッティング装置は、対向
する一対のピンホールを備えたコリメータをＸ線光軸に
対して所定位置に位置決めするためのコリメータセッテ
ィング装置において、一端にピンホールを備え他端に長
穴を備えたセッティング用コリメータ筒と、そのセッテ
ィング用コリメータ筒をその軸線のまわりに回転可能に
支持するコリメータ筒支持手段と、そして、上記セッテ
ィング用コリメータ筒のピンホールを中心としてコリメ
ータ筒を傾斜移動するコリメータ筒傾動手段とを有する
ことを特徴とする。
【０００８】このコリメータセッティング装置によれ
ば、セッティング用コリメータ筒の一端に長穴を設け、
さらにそのセッティング用コリメータ筒をその軸線のま
わりに回転できるようにしたので、セッティング用コリ
メータ筒をその軸線のまわりに回転させながらＸ線焦点
からＸ線カウンタへ向けてＸ線を放射したとき、セッテ
ィング用コリメータ筒の回転に従って回転する長穴がＸ
線光軸を横切るときにＸ線がその長穴を通過してＸ線カ
ウンタに取り込まれてＸ線が検出される。このときのセ
ッティング用コリメータ筒の回転方向及び長穴の角度位
置を観察することにより、セッティング用コリメータ筒
の軸線がＸ線光軸に対してどちらの方向へずれているか
を知ることができ、それに基づいてＸ線光軸に対するセ
ッティング用コリメータ筒の位置を簡単且つ迅速に位置
決めできる。
ば、セッティング用コリメータ筒の一端に長穴を設け、
さらにそのセッティング用コリメータ筒をその軸線のま
わりに回転できるようにしたので、セッティング用コリ
メータ筒をその軸線のまわりに回転させながらＸ線焦点
からＸ線カウンタへ向けてＸ線を放射したとき、セッテ
ィング用コリメータ筒の回転に従って回転する長穴がＸ
線光軸を横切るときにＸ線がその長穴を通過してＸ線カ
ウンタに取り込まれてＸ線が検出される。このときのセ
ッティング用コリメータ筒の回転方向及び長穴の角度位
置を観察することにより、セッティング用コリメータ筒
の軸線がＸ線光軸に対してどちらの方向へずれているか
を知ることができ、それに基づいてＸ線光軸に対するセ
ッティング用コリメータ筒の位置を簡単且つ迅速に位置
決めできる。
【０００９】上記の構成において、セッティング用コリ
メータ筒を回転可能に支持するコリメータ筒支持手段は
任意の構造によって形成できるが、例えば、そのセッテ
ィング用コリメータ筒の外周面上を３点で支持する方式
の支持構造を採用できる。この３点支持方法によれば、
セッティング用コリメータ筒を一定の位置に安定して支
持できる。
メータ筒を回転可能に支持するコリメータ筒支持手段は
任意の構造によって形成できるが、例えば、そのセッテ
ィング用コリメータ筒の外周面上を３点で支持する方式
の支持構造を採用できる。この３点支持方法によれば、
セッティング用コリメータ筒を一定の位置に安定して支
持できる。
【００１０】また、コリメータ筒傾動手段は、例えば、
セッティング用コリメータ筒をＸ線光軸に直交する２軸
方向のそれぞれへ傾斜移動する構造を用いて構成でき
る。このようにセッティング用コリメータ筒を直交２方
向へ傾斜移動させれば、結果的に、コリメータ筒を３次
元的に自由な位置に傾けることができる。
セッティング用コリメータ筒をＸ線光軸に直交する２軸
方向のそれぞれへ傾斜移動する構造を用いて構成でき
る。このようにセッティング用コリメータ筒を直交２方
向へ傾斜移動させれば、結果的に、コリメータ筒を３次
元的に自由な位置に傾けることができる。
【００１１】また、本発明のコリメータセッティング装
置に関しては、コリメータ筒支持手段及びコリメータ筒
傾動手段に加えて、セッティング用コリメータ筒の全体
をＸ線光軸に対して平行移動するコリメータ筒平行移動
手段を設けることができる。このコリメータ筒平行移動
手段は、例えば、セッティング用コリメータ筒の一端に
設けたピンホールをＸ線光軸上に位置決めするためにセ
ッティング用コリメータ筒の全体を上下又は左右に平行
移動させるものであるが、セッティング用コリメータ筒
に対してＸ線光軸の方を移動させることができるのであ
れば、必ずしも、このコリメータ筒平行移動手段を設け
なくても良い。
置に関しては、コリメータ筒支持手段及びコリメータ筒
傾動手段に加えて、セッティング用コリメータ筒の全体
をＸ線光軸に対して平行移動するコリメータ筒平行移動
手段を設けることができる。このコリメータ筒平行移動
手段は、例えば、セッティング用コリメータ筒の一端に
設けたピンホールをＸ線光軸上に位置決めするためにセ
ッティング用コリメータ筒の全体を上下又は左右に平行
移動させるものであるが、セッティング用コリメータ筒
に対してＸ線光軸の方を移動させることができるのであ
れば、必ずしも、このコリメータ筒平行移動手段を設け
なくても良い。
【００１２】
【発明の実施の形態】まず、本発明に係るコリメータセ
ッティング装置を説明するのに先立って、コリメータに
関してそのようなセッティング作業が必要となるＸ線装
置に関して説明する。図１は、そのようなＸ線装置の一
例としてラウエカメラを示している。このラウエカメラ
は、Ｘ線を放射するＸ線焦点Ｆと、コリメータ筒支持装
置１によって支持されたダブルコリメータ２と、試料３
を支持する試料支持台４と、Ｘ線感光フィルム６と、そ
してＸ線カウンタ７とを含んで構成される。ダブルコリ
メータ２の軸線ＸC は、Ｘ線焦点Ｆと試料３とを通るＸ
線光軸ＸR に正確に一致するように位置決めされてい
る。
ッティング装置を説明するのに先立って、コリメータに
関してそのようなセッティング作業が必要となるＸ線装
置に関して説明する。図１は、そのようなＸ線装置の一
例としてラウエカメラを示している。このラウエカメラ
は、Ｘ線を放射するＸ線焦点Ｆと、コリメータ筒支持装
置１によって支持されたダブルコリメータ２と、試料３
を支持する試料支持台４と、Ｘ線感光フィルム６と、そ
してＸ線カウンタ７とを含んで構成される。ダブルコリ
メータ２の軸線ＸC は、Ｘ線焦点Ｆと試料３とを通るＸ
線光軸ＸR に正確に一致するように位置決めされてい
る。
【００１３】ダブルコリメータ２はその軸線ＸC 上の両
端に互いに対向する一対のピンホール８ａ及び８ｂを有
し、Ｘ線焦点Ｆから放射されて発散するＸ線は、これら
のピンホール８ａ及び８ｂによって断面積の小さい平行
Ｘ線ビームに成形された後に試料３に入射する。試料３
が粉末試料であれば、その試料３で回折したＸ線によっ
てＸ線感光フィルム６の感光面上にデバイリングＤが結
像する。このデバイリングＤを観察することにより、結
晶粒子の大小、格子歪の有無、配向の有無等が視覚的に
判定できる。
端に互いに対向する一対のピンホール８ａ及び８ｂを有
し、Ｘ線焦点Ｆから放射されて発散するＸ線は、これら
のピンホール８ａ及び８ｂによって断面積の小さい平行
Ｘ線ビームに成形された後に試料３に入射する。試料３
が粉末試料であれば、その試料３で回折したＸ線によっ
てＸ線感光フィルム６の感光面上にデバイリングＤが結
像する。このデバイリングＤを観察することにより、結
晶粒子の大小、格子歪の有無、配向の有無等が視覚的に
判定できる。
【００１４】上記のようなＸ線測定では、ダブルコリメ
ータ２の軸線ＸC をＸ線光軸ＸR に正確に一致させなけ
ればならない。本実施形態では、以下の作業によってコ
リメータ２の位置決めを行う。まず、コリメータ筒支持
装置１は、コリメータ２の両端を支持するホルダ９ａ及
び９ｂと、Ｘ線焦点Ｆに近い側のホルダ９ａを移動させ
る傾動用駆動機構１１と、そしてホルダ９ａ及び９ｂの
両方を一体状態で移動させるコリメータ筒平行移動機構
１２とを含んで構成される。試料３に近い側のホルダ９
ｂは、ピンホール８ｂの直下位置を支持するように設定
される。また、傾動用駆動機構１１は、Ｘ線光軸ＸR に
直交する２つの直交軸線であるＸ軸線及びＹ軸線の各軸
線に沿ってホルダ９ａを往復直線移動させる。試料３に
近い側のコリメータ２の端部をホルダ９ｂによって支持
した状態で傾動用駆動機構１１によってコリメータ２の
他端をＸ軸線方向及び／又はＹ軸線方向へ直線移動させ
れば、コリメータ２を試料３に近い側のピンホール８ｂ
を中心として３次元的に傾斜移動させることができる。
ータ２の軸線ＸC をＸ線光軸ＸR に正確に一致させなけ
ればならない。本実施形態では、以下の作業によってコ
リメータ２の位置決めを行う。まず、コリメータ筒支持
装置１は、コリメータ２の両端を支持するホルダ９ａ及
び９ｂと、Ｘ線焦点Ｆに近い側のホルダ９ａを移動させ
る傾動用駆動機構１１と、そしてホルダ９ａ及び９ｂの
両方を一体状態で移動させるコリメータ筒平行移動機構
１２とを含んで構成される。試料３に近い側のホルダ９
ｂは、ピンホール８ｂの直下位置を支持するように設定
される。また、傾動用駆動機構１１は、Ｘ線光軸ＸR に
直交する２つの直交軸線であるＸ軸線及びＹ軸線の各軸
線に沿ってホルダ９ａを往復直線移動させる。試料３に
近い側のコリメータ２の端部をホルダ９ｂによって支持
した状態で傾動用駆動機構１１によってコリメータ２の
他端をＸ軸線方向及び／又はＹ軸線方向へ直線移動させ
れば、コリメータ２を試料３に近い側のピンホール８ｂ
を中心として３次元的に傾斜移動させることができる。
【００１５】他方、コリメータ筒平行移動機構１２は、
ホルダ９ａ及びホルダ９ｂの両方を一体状態で同時にＸ
軸線方向及び／又はＹ軸線方向へ平行移動させることが
できる。なお、傾動用駆動機構１１及びコリメータ筒平
行移動機構１２は、微小寸法測定用のマイクロメータで
用いられるような精密移動機構を用いた手動用の機構で
あっても良いし、あるいは、パルスモータ等の精密動力
源を用いた自動機構であっても良い。
ホルダ９ａ及びホルダ９ｂの両方を一体状態で同時にＸ
軸線方向及び／又はＹ軸線方向へ平行移動させることが
できる。なお、傾動用駆動機構１１及びコリメータ筒平
行移動機構１２は、微小寸法測定用のマイクロメータで
用いられるような精密移動機構を用いた手動用の機構で
あっても良いし、あるいは、パルスモータ等の精密動力
源を用いた自動機構であっても良い。
【００１６】ホルダ９ａ及び９ｂは、図８に示すよう
に、直角形状の切込み部を備えたホルダブロック１３
と、そのホルダブロック１３に固定された板バネ１４を
含んで構成される。このホルダ９ａ及び９ｂにコリメー
タ２を装着するときには、ホルダブロック１３の上方か
ら板バネ１４を矢印Ａのように押し広げながらホルダブ
ロック１３の直角状切込み部へコリメータ２を押し込
む。すると、コリメータ２の外周面は、ホルダブロック
９ａ及び９ｂの直角状切込み部の２個の壁面及び矢印Ｂ
のように復帰移動した板バネ１４によって３点で支持さ
れる。この３点支持構造により、コリメータ２は矢印Ｃ
で示すように軸線ＸC のまわりに自由に回転できる。
に、直角形状の切込み部を備えたホルダブロック１３
と、そのホルダブロック１３に固定された板バネ１４を
含んで構成される。このホルダ９ａ及び９ｂにコリメー
タ２を装着するときには、ホルダブロック１３の上方か
ら板バネ１４を矢印Ａのように押し広げながらホルダブ
ロック１３の直角状切込み部へコリメータ２を押し込
む。すると、コリメータ２の外周面は、ホルダブロック
９ａ及び９ｂの直角状切込み部の２個の壁面及び矢印Ｂ
のように復帰移動した板バネ１４によって３点で支持さ
れる。この３点支持構造により、コリメータ２は矢印Ｃ
で示すように軸線ＸC のまわりに自由に回転できる。
【００１７】コリメータ２に関する位置決め作業を行う
にあたっては、まず図２に示すように、一端にピンホー
ル１６を備え他端が開放端１７であるセッティング用シ
ングルコリメータ筒１８をコリメータ筒支持装置１のホ
ルダ９ａ及び９ｂに装着する。このとき、図１に示した
試料３及びＸ線感光フィルム６は、まだ、Ｘ線光軸ＸR
上には置かれておらず、Ｘ線カウンタ７がＸ線光軸ＸR
上に配置される。この状態でコリメータ筒平行移動機構
１２を作動してコリメータ筒１８の全体をＸ軸線方向及
び／又はＹ軸線方向へ移動させながらＸ線カウンタ７に
よってＸ線を測定し、測定されるＸ線の強度が最も強く
なる所でコリメータ筒１８の動きを止める。これによ
り、ピンホール１６の最適位置が特定される。但し、こ
の状態では、コリメータ筒１８の軸線ＸC がＸ線光軸Ｘ
R に正確に一致しているかどうかはわからない。つま
り、コリメータ筒１８の軸線ＸC はＸ線光軸ＸR に対し
て傾いているかもしれない。
にあたっては、まず図２に示すように、一端にピンホー
ル１６を備え他端が開放端１７であるセッティング用シ
ングルコリメータ筒１８をコリメータ筒支持装置１のホ
ルダ９ａ及び９ｂに装着する。このとき、図１に示した
試料３及びＸ線感光フィルム６は、まだ、Ｘ線光軸ＸR
上には置かれておらず、Ｘ線カウンタ７がＸ線光軸ＸR
上に配置される。この状態でコリメータ筒平行移動機構
１２を作動してコリメータ筒１８の全体をＸ軸線方向及
び／又はＹ軸線方向へ移動させながらＸ線カウンタ７に
よってＸ線を測定し、測定されるＸ線の強度が最も強く
なる所でコリメータ筒１８の動きを止める。これによ
り、ピンホール１６の最適位置が特定される。但し、こ
の状態では、コリメータ筒１８の軸線ＸC がＸ線光軸Ｘ
R に正確に一致しているかどうかはわからない。つま
り、コリメータ筒１８の軸線ＸC はＸ線光軸ＸR に対し
て傾いているかもしれない。
【００１８】そこで、次の工程として軸線ＸC の位置決
め作業を行う。すなわち、図３に示すように、一端にピ
ンホール１６を備え他端に長穴１９を備えたセッティン
グ用コリメータ筒２１を図２のシングルコリメータ筒１
８に代えてコリメータ筒支持装置１のホルダ９ａ及び９
ｂに装着する。この時点では、図２に示したシングルコ
リメータ筒１８を用いた位置決め作業が既に完了してい
るので、セッティング用コリメータ筒２１のピンホール
１６は正確にＸ線光軸ＸR 上に配置される。なお、符号
２２は、長穴１９の位置を指示するマークを示してい
る。
め作業を行う。すなわち、図３に示すように、一端にピ
ンホール１６を備え他端に長穴１９を備えたセッティン
グ用コリメータ筒２１を図２のシングルコリメータ筒１
８に代えてコリメータ筒支持装置１のホルダ９ａ及び９
ｂに装着する。この時点では、図２に示したシングルコ
リメータ筒１８を用いた位置決め作業が既に完了してい
るので、セッティング用コリメータ筒２１のピンホール
１６は正確にＸ線光軸ＸR 上に配置される。なお、符号
２２は、長穴１９の位置を指示するマークを示してい
る。
【００１９】この時点で、セッティング用コリメータ筒
２１の長穴１９側の端部の中心が正確にＸ線光軸ＸR 上
に乗っていれば、Ｘ線カウンタ７は最も強い強度のＸ線
を受光するが、位置決め作業が完了していない今の時点
では、通常は、コリメータ筒２１がＸ線光軸ＸR に対し
て傾きを持っていて、それ故、Ｘ線焦点Ｆから出たＸ線
は長穴１９及びピンホール１６の両方を通過することは
できず、その結果、Ｘ線カウンタ７にＸ線が現れない。
２１の長穴１９側の端部の中心が正確にＸ線光軸ＸR 上
に乗っていれば、Ｘ線カウンタ７は最も強い強度のＸ線
を受光するが、位置決め作業が完了していない今の時点
では、通常は、コリメータ筒２１がＸ線光軸ＸR に対し
て傾きを持っていて、それ故、Ｘ線焦点Ｆから出たＸ線
は長穴１９及びピンホール１６の両方を通過することは
できず、その結果、Ｘ線カウンタ７にＸ線が現れない。
【００２０】例えば、今、矢印Ｅの方向からセッティン
グ用コリメータ筒２１を見たときに、図４に示すよう
に、セッティング用コリメータ筒２１の軸線ＸC がＸ線
光軸ＸR に対してずれていたとする。もちろん、Ｘ線光
軸ＸR は作業者の目に見えないので、今の時点で作業者
は、セッティング用コリメータ筒２１の軸線ＸC がＸ線
光軸ＸR に対してずれていることはわかっているが、ど
の方向へどれだけずれているかは全くわからない。
グ用コリメータ筒２１を見たときに、図４に示すよう
に、セッティング用コリメータ筒２１の軸線ＸC がＸ線
光軸ＸR に対してずれていたとする。もちろん、Ｘ線光
軸ＸR は作業者の目に見えないので、今の時点で作業者
は、セッティング用コリメータ筒２１の軸線ＸC がＸ線
光軸ＸR に対してずれていることはわかっているが、ど
の方向へどれだけずれているかは全くわからない。
【００２１】この状態で作業者は、まず、矢印Ｇで示す
ように、コリメータ筒２１を軸線ＸC を中心として正時
計方向及び／又は反時計方向へ回転する。このとき、コ
リメータ筒２１と共に回転する長穴１９がＸ線光軸ＸR
の所まで移動すると、Ｘ線がその長穴１９及びピンホー
ル１６の両方を通過してＸ線カウンタ７（図３）がそれ
を検出する。これにより作業者は、長穴１９がＸ線光軸
ＸR 上に到来したことを知見してコリメータ筒２１の回
転を停止する。この状態が図５に示す状態である。な
お、図４において、コリメータ筒２１を正時計方向又は
反時計方向のいずれに回転したかによって、作業者は筒
軸線ＸC がＸ線光軸ＸR のどちら側にずれているかを知
ることができる。
ように、コリメータ筒２１を軸線ＸC を中心として正時
計方向及び／又は反時計方向へ回転する。このとき、コ
リメータ筒２１と共に回転する長穴１９がＸ線光軸ＸR
の所まで移動すると、Ｘ線がその長穴１９及びピンホー
ル１６の両方を通過してＸ線カウンタ７（図３）がそれ
を検出する。これにより作業者は、長穴１９がＸ線光軸
ＸR 上に到来したことを知見してコリメータ筒２１の回
転を停止する。この状態が図５に示す状態である。な
お、図４において、コリメータ筒２１を正時計方向又は
反時計方向のいずれに回転したかによって、作業者は筒
軸線ＸC がＸ線光軸ＸR のどちら側にずれているかを知
ることができる。
【００２２】図５の状態では、長穴１９は斜め下側に下
がった状態なので、作業者はＸ線光軸ＸR が筒軸線ＸC
よりも下側にあるものと判断できる。従って、作業者
は、それを矯正するためにホルダ９ａを矢印Ｈのように
下降させる。すると、長穴１９がＸ線光軸ＸR から外れ
た時点でＸ線カウンタ７に対してＸ線が隠れる。このと
き作業者は、矢印Ｊで示すようにコリメータ筒２１を回
転して、Ｘ線カウンタ７によって再びＸ線を検出する。
この作業を繰り返して、図６に示すように、長穴１９が
水平状態になるまでホルダ９ａ及びコリメータ筒２１の
位置を調節する。長穴１９が図６のような水平状態にな
ったかどうかは、ホルダ９ａをＸ軸線方向へ往復移動さ
せたときに常にＸ線カウンタ７によってＸ線を検出でき
るか否かによって判断できる。
がった状態なので、作業者はＸ線光軸ＸR が筒軸線ＸC
よりも下側にあるものと判断できる。従って、作業者
は、それを矯正するためにホルダ９ａを矢印Ｈのように
下降させる。すると、長穴１９がＸ線光軸ＸR から外れ
た時点でＸ線カウンタ７に対してＸ線が隠れる。このと
き作業者は、矢印Ｊで示すようにコリメータ筒２１を回
転して、Ｘ線カウンタ７によって再びＸ線を検出する。
この作業を繰り返して、図６に示すように、長穴１９が
水平状態になるまでホルダ９ａ及びコリメータ筒２１の
位置を調節する。長穴１９が図６のような水平状態にな
ったかどうかは、ホルダ９ａをＸ軸線方向へ往復移動さ
せたときに常にＸ線カウンタ７によってＸ線を検出でき
るか否かによって判断できる。
【００２３】その後、ホルダ９ａをＸ軸線方向へ直線移
動してＸ線カウンタ７によってＸ線を検出できるか、あ
るいは、できないかの境界部分までコリメータ筒２１を
持ち運べば、図７に示すように、筒軸線ＸC とＸ線光軸
ＸR とを正確に一致させることができる。こうしてコリ
メータ筒２１の軸線ＸC を正確にＸ線光軸ＸR に一致さ
せた後にセッティング用コリメータ筒２１をホルダ９ａ
及び９ｂ、すなわちコリメータ筒支持装置１から取り外
し、それに代えて図１に示すように、測定用のダブルコ
リメータ２をコリメータ筒支持装置１に装着すれば、そ
のダブルコリメータ２の軸線ＸC を正確にＸ線光軸ＸR
に一致させることができる。
動してＸ線カウンタ７によってＸ線を検出できるか、あ
るいは、できないかの境界部分までコリメータ筒２１を
持ち運べば、図７に示すように、筒軸線ＸC とＸ線光軸
ＸR とを正確に一致させることができる。こうしてコリ
メータ筒２１の軸線ＸC を正確にＸ線光軸ＸR に一致さ
せた後にセッティング用コリメータ筒２１をホルダ９ａ
及び９ｂ、すなわちコリメータ筒支持装置１から取り外
し、それに代えて図１に示すように、測定用のダブルコ
リメータ２をコリメータ筒支持装置１に装着すれば、そ
のダブルコリメータ２の軸線ＸC を正確にＸ線光軸ＸR
に一致させることができる。
【００２４】以上のように、一端にピンホール１６を備
え他端に長穴１９を備えたセッティング用コリメータ筒
２１を用いて測定用コリメータに関する位置決め作業を
行えば、その作業時にＸ線光軸ＸR に対するセッティン
グ用コリメータ筒２１の軸線ＸC のずれ方向を簡単且つ
迅速に判断でき、それ故、従来のように試行錯誤によっ
て位置決め作業を行う場合に比べて、極めて簡単、迅速
且つ正確にコリメータ２に関する位置決めを行うことが
できる。
え他端に長穴１９を備えたセッティング用コリメータ筒
２１を用いて測定用コリメータに関する位置決め作業を
行えば、その作業時にＸ線光軸ＸR に対するセッティン
グ用コリメータ筒２１の軸線ＸC のずれ方向を簡単且つ
迅速に判断でき、それ故、従来のように試行錯誤によっ
て位置決め作業を行う場合に比べて、極めて簡単、迅速
且つ正確にコリメータ２に関する位置決めを行うことが
できる。
【００２５】以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を
説明したが、本発明はその実施形態に限定されるもので
はなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改
変できる。例えば、本発明に係るコリメータセッティン
グ装置は、図１に示したようなラウエカメラに用いる場
合だけに限られす、Ｘ線を断面積の小さい平行ビームに
成形する必要がある、あらゆるＸ線装置に対しても適用
できる。また、セッティング用コリメータ筒を平行移動
させたり、あるいは、傾斜移動させたりするための機構
は、図１に示した機構に限られず、他の任意の機構を用
いることができる。
説明したが、本発明はその実施形態に限定されるもので
はなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改
変できる。例えば、本発明に係るコリメータセッティン
グ装置は、図１に示したようなラウエカメラに用いる場
合だけに限られす、Ｘ線を断面積の小さい平行ビームに
成形する必要がある、あらゆるＸ線装置に対しても適用
できる。また、セッティング用コリメータ筒を平行移動
させたり、あるいは、傾斜移動させたりするための機構
は、図１に示した機構に限られず、他の任意の機構を用
いることができる。
【００２６】
【発明の効果】請求項１記載のコリメータセッティング
装置によれば、セッティング用コリメータ筒の一端に長
穴を設け、さらにそのセッティング用コリメータ筒をそ
の軸線のまわりに回転できるようにしたので、セッティ
ング用コリメータ筒の軸線がＸ線光軸に対してどちらの
方向へずれているかを簡単且つ明確に知ることができ、
それ故、Ｘ線光軸に対するコリメータの位置を簡単、迅
速且つ正確に位置決めできる。
装置によれば、セッティング用コリメータ筒の一端に長
穴を設け、さらにそのセッティング用コリメータ筒をそ
の軸線のまわりに回転できるようにしたので、セッティ
ング用コリメータ筒の軸線がＸ線光軸に対してどちらの
方向へずれているかを簡単且つ明確に知ることができ、
それ故、Ｘ線光軸に対するコリメータの位置を簡単、迅
速且つ正確に位置決めできる。
【００２７】請求項２記載のコリメータセッティング装
置によれば、セッティング用コリメータ筒を安定してそ
の軸線のまわりに回転させることができる。
置によれば、セッティング用コリメータ筒を安定してそ
の軸線のまわりに回転させることができる。
【００２８】請求項３記載のコリメータセッティング装
置によれば、セッティング用コリメータ筒を簡単且つ高
精度に３次元的に傾斜移動させることができる。
置によれば、セッティング用コリメータ筒を簡単且つ高
精度に３次元的に傾斜移動させることができる。
【００２９】請求項４記載のコリメータセッティング装
置によれば、ダブルコリメータの一方のピンホールに関
する位置決め作業を行うにあたって、Ｘ線装置の側は一
切動かす必要がなくなるので、その位置決め作業を簡
単、正確且つ安全に行うことができる。
置によれば、ダブルコリメータの一方のピンホールに関
する位置決め作業を行うにあたって、Ｘ線装置の側は一
切動かす必要がなくなるので、その位置決め作業を簡
単、正確且つ安全に行うことができる。
【００３０】
【図１】本発明に係るコリメータセッティング装置を必
要とするＸ線装置の一例を示す斜視図である。
要とするＸ線装置の一例を示す斜視図である。
【図２】本発明に係るコリメータセッティング装置を用
いて行われるコリメータの位置決め作業の初期の一過程
を示す斜視図である。
いて行われるコリメータの位置決め作業の初期の一過程
を示す斜視図である。
【図３】本発明に係るコリメータセッティング装置の一
実施形態を示す斜視図である。
実施形態を示す斜視図である。
【図４】図３の装置を用いた位置決め作業の一過程を示
す正面図である。
す正面図である。
【図５】図４に引き続く位置決め作業の他の一過程を示
す正面図である。
す正面図である。
【図６】図５に引き続く位置決め作業のさらに他の一過
程を示す正面図である。
程を示す正面図である。
【図７】図６に引き続く位置決め作業のさらに他の一過
程を示す正面図である。
程を示す正面図である。
【図８】図３の要部を示す斜視図である。
【図９】従来のコリメータの位置決め作業を示す斜視図
である。
である。
１ コリメータ筒支持装置 ２ ダブルコリメータ ３ 試料 ７ Ｘ線カウンタ ８ａ，８ｂ ピンホール ９ａ，９ｂ ホルダ １１ 傾動用駆動機構（コリメータ筒傾動手段） １２ コリメータ筒平行移動機構 １６ ピンホール １７ 開放端 １８ セッティング用シングルコリメータ筒 １９ 長穴 ２１ セッティング用コリメータ筒 ２２ マーク Ｄ デバイリング Ｆ Ｘ線焦点 ＸC コリメータの軸線 ＸR Ｘ線光軸
Claims (4)
- 【請求項１】 対向する一対のピンホールを備えたコリ
メータをＸ線光軸に対して所定位置に位置決めするため
のコリメータセッティング装置において、 一端にピンホールを備え他端に長穴を備えたセッティン
グ用コリメータ筒と、 そのセッティング用コリメータ筒をその軸線のまわりに
回転可能に支持するコリメータ筒支持手段と、 上記セッティング用コリメータ筒のピンホールを中心と
してそのセッティング用コリメータ筒を傾斜移動するコ
リメータ筒傾動手段とを有することを特徴とするコリメ
ータセッティング装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のコリメータセッティング
装置において、コリメータ筒支持手段は、セッティング
用コリメータ筒をその外周面上の３点で支持することを
特徴とするコリメータセッティング装置。 - 【請求項３】 請求項１又は請求項２記載のコリメータ
セッティング装置において、コリメータ筒傾動手段は、
セッティング用コリメータ筒をＸ線光軸に直交する２軸
方向のそれぞれへ傾斜移動することを特徴とするコリメ
ータセッティング装置。 - 【請求項４】 請求項１から請求項３のうちの少なくと
もいずれか１つに記載のコリメータセッティング装置に
おいて、 セッティング用コリメータ筒の全体をＸ線光軸に対して
平行移動するコリメータ筒平行移動手段を有することを
特徴とするコリメータセッティング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06386297A JP3635606B2 (ja) | 1997-03-03 | 1997-03-03 | コリメータセッティング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06386297A JP3635606B2 (ja) | 1997-03-03 | 1997-03-03 | コリメータセッティング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10246797A true JPH10246797A (ja) | 1998-09-14 |
| JP3635606B2 JP3635606B2 (ja) | 2005-04-06 |
Family
ID=13241566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06386297A Expired - Fee Related JP3635606B2 (ja) | 1997-03-03 | 1997-03-03 | コリメータセッティング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3635606B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2801134A1 (fr) * | 1999-11-13 | 2001-05-18 | Heimann Systems Gmbh & Co | Dispositif et procede d'ajustage d'un collimateur |
| US6483894B2 (en) | 1999-11-13 | 2002-11-19 | Heimann Systems Gmbh | Apparatus and method for adjusting a collimator |
| EP1944958B1 (en) * | 2007-01-09 | 2016-09-07 | Fujifilm Corporation | Image capturing device and method of capturing an image |
-
1997
- 1997-03-03 JP JP06386297A patent/JP3635606B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2801134A1 (fr) * | 1999-11-13 | 2001-05-18 | Heimann Systems Gmbh & Co | Dispositif et procede d'ajustage d'un collimateur |
| DE19954661A1 (de) * | 1999-11-13 | 2001-05-31 | Heimann Systems Gmbh & Co | Vorrichtung und Verfahren zur Justage eines Kollimators |
| DE19954661C2 (de) * | 1999-11-13 | 2001-12-06 | Heimann Systems Gmbh & Co | Vorrichtung und Verfahren zur Justage eines Kollimators |
| US6483894B2 (en) | 1999-11-13 | 2002-11-19 | Heimann Systems Gmbh | Apparatus and method for adjusting a collimator |
| NL1016473C2 (nl) * | 1999-11-13 | 2004-06-18 | Heimann Systems Gmbh & Co | Inrichting en werkwijze voor het justeren van een collimator. |
| EP1944958B1 (en) * | 2007-01-09 | 2016-09-07 | Fujifilm Corporation | Image capturing device and method of capturing an image |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3635606B2 (ja) | 2005-04-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040630 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
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