JPH10246481A - クリーンルームにおけるフィルタユニット設置用天井フレーム及びフィルタユニットの設置機構 - Google Patents
クリーンルームにおけるフィルタユニット設置用天井フレーム及びフィルタユニットの設置機構Info
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- JPH10246481A JPH10246481A JP9050148A JP5014897A JPH10246481A JP H10246481 A JPH10246481 A JP H10246481A JP 9050148 A JP9050148 A JP 9050148A JP 5014897 A JP5014897 A JP 5014897A JP H10246481 A JPH10246481 A JP H10246481A
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- filter unit
- ceiling
- frame
- clean room
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】フィルタユニット設置に際して従来の天井フレ
ームでは作業量、負荷が大で、ユニット設置又は移設に
長期を要し、また天井下部の作業スペースにおいてスト
ックヤードを分散せざるを得ず他工事の妨害になってい
たのでこれを改良する。 【解決手段】フレーム材２を格子状に構成し天井構造体
に吊持する構成とし、フレーム材は、その上部の中央に
軸方向に延びる凸部を構成すると共に、凸部は格子の交
点位置においては中心部６を除いて切り欠いた構成と
し、凸部の左右側の上面に、線状パッキンズ材８を軸方
向に設置して成る天井フレーム１と、フィルタユニット
４に設置する溝付車輪１１と、格子の交点位置における
線状パッキン材間の間隙に設置するコーナパッキン材と
から構成し、線状パッキン材８に、溝付き車輪１１を載
置してフィルタユニット４を所定の位置まで自走して移
動させる設置機構とする。
ームでは作業量、負荷が大で、ユニット設置又は移設に
長期を要し、また天井下部の作業スペースにおいてスト
ックヤードを分散せざるを得ず他工事の妨害になってい
たのでこれを改良する。 【解決手段】フレーム材２を格子状に構成し天井構造体
に吊持する構成とし、フレーム材は、その上部の中央に
軸方向に延びる凸部を構成すると共に、凸部は格子の交
点位置においては中心部６を除いて切り欠いた構成と
し、凸部の左右側の上面に、線状パッキンズ材８を軸方
向に設置して成る天井フレーム１と、フィルタユニット
４に設置する溝付車輪１１と、格子の交点位置における
線状パッキン材間の間隙に設置するコーナパッキン材と
から構成し、線状パッキン材８に、溝付き車輪１１を載
置してフィルタユニット４を所定の位置まで自走して移
動させる設置機構とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体工場
等においてクリーンルームを施工する際、その天井部分
に、フィルタユニット（以下の説明では、フィルタユニ
ットは、フィルタユニット自体の他、その上部にファン
ユニットを設置したファンフィルタユニット（ＦＦＵ）
を含む。）を設置するための天井フレームの構成及びこ
の天井フレームを利用したフィルタユニットの設置機構
に関するものである。
等においてクリーンルームを施工する際、その天井部分
に、フィルタユニット（以下の説明では、フィルタユニ
ットは、フィルタユニット自体の他、その上部にファン
ユニットを設置したファンフィルタユニット（ＦＦＵ）
を含む。）を設置するための天井フレームの構成及びこ
の天井フレームを利用したフィルタユニットの設置機構
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】フィルタユニットを天井部分に設置する
ための従来の機構としては、図９〜図１１に示すものが
ある。符号ａは天井フレームであり、この天井フレーム
ａは、上部の中央に軸方向に延びる凸部ｂを構成したフ
レーム材ｃを格子状に構成して成り、格子の凸部におい
て吊りボルトｄにより天井構造体に吊持する構成として
いる。
ための従来の機構としては、図９〜図１１に示すものが
ある。符号ａは天井フレームであり、この天井フレーム
ａは、上部の中央に軸方向に延びる凸部ｂを構成したフ
レーム材ｃを格子状に構成して成り、格子の凸部におい
て吊りボルトｄにより天井構造体に吊持する構成として
いる。
【０００３】このような構成の天井フレームａにフィル
タユニットｅを設置する場合には、図９に示すように、
天井フレームａの下部の作業員がフィルタユニットｅを
持ち上げて、斜めにしながらフレーム材ｃの格子の開口
部を通して、上部の作業員に受け渡し、開口部を挟んで
対向するフレーム材ｃの上部に載置するというような作
業を各開口部において順次行って順送りに設置する方法
がとられていた。この際、フィルタユニットｅの底面に
は予めパッキン材ｆを枠状に設置しておき、設置後の気
密を確保している。またクリーンルームのレイアウト変
更等において、フィルタユニットを移設する場合には、
以上と逆の作業を行っていた。
タユニットｅを設置する場合には、図９に示すように、
天井フレームａの下部の作業員がフィルタユニットｅを
持ち上げて、斜めにしながらフレーム材ｃの格子の開口
部を通して、上部の作業員に受け渡し、開口部を挟んで
対向するフレーム材ｃの上部に載置するというような作
業を各開口部において順次行って順送りに設置する方法
がとられていた。この際、フィルタユニットｅの底面に
は予めパッキン材ｆを枠状に設置しておき、設置後の気
密を確保している。またクリーンルームのレイアウト変
更等において、フィルタユニットを移設する場合には、
以上と逆の作業を行っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記の方法では、作業
量及び負荷が大きく、フィルタユニットの設置又は移設
に工期がかかってしまう。特に、天井裏スペースの間隔
が狭い場合には、作業員に狭いスペースでの無理な作業
を強い、作業員の負担は更に増大する。また、順送りで
フィルタユニットの設置作業を行うため、天井下部の作
業スペースにおいて作業エリア及びストックヤードを分
散せざるを得ず、他の工事の妨げになっていた。本発明
はこのような課題を解決することを目的とするものであ
る。
量及び負荷が大きく、フィルタユニットの設置又は移設
に工期がかかってしまう。特に、天井裏スペースの間隔
が狭い場合には、作業員に狭いスペースでの無理な作業
を強い、作業員の負担は更に増大する。また、順送りで
フィルタユニットの設置作業を行うため、天井下部の作
業スペースにおいて作業エリア及びストックヤードを分
散せざるを得ず、他の工事の妨げになっていた。本発明
はこのような課題を解決することを目的とするものであ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために本発明では、フレーム材を格子状に構成して天井
構造体に吊持する構成とし、フレーム材は、その上部の
中央に軸方向に延びる凸部を構成すると共に、凸部は格
子の交点位置においては中心部を除いて切り欠いた構成
とし、凸部の左右側の上面に軸方向に案内レールを設置
したクリーンルームにおけるフィルタユニット設置用天
井フレームを提案する。
ために本発明では、フレーム材を格子状に構成して天井
構造体に吊持する構成とし、フレーム材は、その上部の
中央に軸方向に延びる凸部を構成すると共に、凸部は格
子の交点位置においては中心部を除いて切り欠いた構成
とし、凸部の左右側の上面に軸方向に案内レールを設置
したクリーンルームにおけるフィルタユニット設置用天
井フレームを提案する。
【０００６】そして本発明は上記構成において、案内レ
ールは線状パッキン材により構成することを提案する。
ールは線状パッキン材により構成することを提案する。
【０００７】また本発明では、フレーム材を格子状に構
成して天井構造体に吊持する構成とし、フレーム材は、
その上部の中央に軸方向に延びる凸部を構成すると共
に、凸部は格子の交点位置においては中心部を除いて切
り欠いた構成とし、凸部の左右側の上面に、線状パッキ
ン材を軸方向に設置して成る天井フレームと、フィルタ
ユニットに設置する溝付き車輪と、格子の交点位置にお
ける線状パッキン材間の間隙に設置するコーナーパッキ
ン材とから構成するクリーンルームにおけるフィルタユ
ニットの設置機構を提案する。
成して天井構造体に吊持する構成とし、フレーム材は、
その上部の中央に軸方向に延びる凸部を構成すると共
に、凸部は格子の交点位置においては中心部を除いて切
り欠いた構成とし、凸部の左右側の上面に、線状パッキ
ン材を軸方向に設置して成る天井フレームと、フィルタ
ユニットに設置する溝付き車輪と、格子の交点位置にお
ける線状パッキン材間の間隙に設置するコーナーパッキ
ン材とから構成するクリーンルームにおけるフィルタユ
ニットの設置機構を提案する。
【０００８】また本発明では上記設置機構において、溝
付き車輪は、フィルタユニットに着脱自在に設置する構
成とすることを提案する。例えば、この構成は、車輪支
持部にマグネットを設け、フィルタユニットの鉄製部分
に吸着させる構成を適用することができる。
付き車輪は、フィルタユニットに着脱自在に設置する構
成とすることを提案する。例えば、この構成は、車輪支
持部にマグネットを設け、フィルタユニットの鉄製部分
に吸着させる構成を適用することができる。
【０００９】また本発明では、上記設置機構において、
コーナーパッキン材をフィルタユニットの四隅に予め設
置することを提案する。
コーナーパッキン材をフィルタユニットの四隅に予め設
置することを提案する。
【００１０】また本発明では、上記設置機構において、
フィルタユニットは、相互に連結可能に構成することを
提案する。
フィルタユニットは、相互に連結可能に構成することを
提案する。
【００１１】以上の本発明によれば、フィルタユニット
は、溝付き車輪を天井フレームのフレーム材に沿って設
置した案内レールに載置して、これに沿って走行させる
ことにより、天井フレームの適所に移動させることがで
きる。そしてこのようにフィルタユニットを移動させた
後、所定位置において溝付き車輪を外したり又はフィル
タユニットを裏返して、案内レール上に載置して設置状
態とすることができる。案内レールは線状パッキン材で
構成することにより、載置と共に気密を確保することが
できる。この際、格子の交点位置に対応する線状パッキ
ン材の間隙は、他のコーナーパッキン材により補うこと
ができる。以上と逆の動作により、設置状態のフィルタ
ユニットを適所に移動させることができる。
は、溝付き車輪を天井フレームのフレーム材に沿って設
置した案内レールに載置して、これに沿って走行させる
ことにより、天井フレームの適所に移動させることがで
きる。そしてこのようにフィルタユニットを移動させた
後、所定位置において溝付き車輪を外したり又はフィル
タユニットを裏返して、案内レール上に載置して設置状
態とすることができる。案内レールは線状パッキン材で
構成することにより、載置と共に気密を確保することが
できる。この際、格子の交点位置に対応する線状パッキ
ン材の間隙は、他のコーナーパッキン材により補うこと
ができる。以上と逆の動作により、設置状態のフィルタ
ユニットを適所に移動させることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図を参
照して説明する。まず図１は本発明を適用したフィルタ
ユニットの設置機構の構成と動作を模式的に示すもので
あり、また図２は天井フレームの一部の平面図、図３は
図２のＡの部分の拡大斜視図である。図において符号１
は天井フレームを示すもので、この天井フレーム１はフ
レーム材２を格子状に構成しており、格子の夫々の開口
部３毎に、後述するフィルタユニット４を設置する構成
である。フレーム材２は、従来の天井フレームのものと
同様に、上部の中央に軸方向に延びる凸部５を構成して
いるが、本発明においては、この凸部５は格子の交点位
置においては中心部６を除いて切り欠いた構成としてお
り、この中心部６に吊りボルト７を設置して天井鉄骨部
等の天井構造体（図示省略）に吊持する構成としてい
る。そして夫々のフレーム材２は凸部５の左右側の上面
に軸方向に案内レール８を設置している。この実施の形
態では、この案内レール８は長尺の線状パッキン材であ
り、これを接着剤で貼る等により軸方向に設置してい
る。この線状パッキン材８は凸部５の左右側にのみ対応
して設置しており、従って格子の交点位置において凸部
５を切り欠いた部分には設置しておらず、即ち、この部
分は線状パッキン材８の間隙９となる。
照して説明する。まず図１は本発明を適用したフィルタ
ユニットの設置機構の構成と動作を模式的に示すもので
あり、また図２は天井フレームの一部の平面図、図３は
図２のＡの部分の拡大斜視図である。図において符号１
は天井フレームを示すもので、この天井フレーム１はフ
レーム材２を格子状に構成しており、格子の夫々の開口
部３毎に、後述するフィルタユニット４を設置する構成
である。フレーム材２は、従来の天井フレームのものと
同様に、上部の中央に軸方向に延びる凸部５を構成して
いるが、本発明においては、この凸部５は格子の交点位
置においては中心部６を除いて切り欠いた構成としてお
り、この中心部６に吊りボルト７を設置して天井鉄骨部
等の天井構造体（図示省略）に吊持する構成としてい
る。そして夫々のフレーム材２は凸部５の左右側の上面
に軸方向に案内レール８を設置している。この実施の形
態では、この案内レール８は長尺の線状パッキン材であ
り、これを接着剤で貼る等により軸方向に設置してい
る。この線状パッキン材８は凸部５の左右側にのみ対応
して設置しており、従って格子の交点位置において凸部
５を切り欠いた部分には設置しておらず、即ち、この部
分は線状パッキン材８の間隙９となる。
【００１３】符号４は上述したとおりフィルタユニット
を示すものであり、本発明に適用するフィルタユニット
４は、上述したとおり、フィルタユニットのみの構成の
他、図中二点鎖線で示しているように、その上部にファ
ンユニット１０を設置したファンフィルタユニットも含
むものである。
を示すものであり、本発明に適用するフィルタユニット
４は、上述したとおり、フィルタユニットのみの構成の
他、図中二点鎖線で示しているように、その上部にファ
ンユニット１０を設置したファンフィルタユニットも含
むものである。
【００１４】符号１１は溝付き車輪であり、この溝付き
車輪１１は、車輪の溝部１２を上記線状パッキン材８に
係合し、これを案内レールとして走行が可能な構成であ
り、フィルタユニット４に着脱可能に設置する構成とし
ている。勿論、線状パッキン材材８も、上記溝部１２に
係合して案内レールとして利用可能な構成である。
車輪１１は、車輪の溝部１２を上記線状パッキン材８に
係合し、これを案内レールとして走行が可能な構成であ
り、フィルタユニット４に着脱可能に設置する構成とし
ている。勿論、線状パッキン材材８も、上記溝部１２に
係合して案内レールとして利用可能な構成である。
【００１５】図５、図６には溝付き車輪１１をフィルタ
ユニット４の下部に設置し、車輪の溝部１２を線状パッ
キン材８に係合させた状態を拡大してより詳細に示して
いる。これらの図に示すように、溝付き車輪１１は例え
ば車輪支持部１３にマグネット１４を設け、このマグネ
ット１４を、フィルタユニット４の鉄製部分１５に吸着
して着脱自在に設置する構成とすることができる。
ユニット４の下部に設置し、車輪の溝部１２を線状パッ
キン材８に係合させた状態を拡大してより詳細に示して
いる。これらの図に示すように、溝付き車輪１１は例え
ば車輪支持部１３にマグネット１４を設け、このマグネ
ット１４を、フィルタユニット４の鉄製部分１５に吸着
して着脱自在に設置する構成とすることができる。
【００１６】図４はフィルタユニット４の設置時の底面
図であり、この図に示すように、溝付き車輪１１をフィ
ルタユニット４の底面の四隅の近傍において、支持フレ
ーム１６の鉄製部分１５に吸着して設置している。そし
てフィルタユニット４の四隅には、接着等によりコーナ
ーパッキン材１７を設置している。このコーナーパッキ
ン材１７は、上記線状パッキン材８の間隙９に対応する
ものである。
図であり、この図に示すように、溝付き車輪１１をフィ
ルタユニット４の底面の四隅の近傍において、支持フレ
ーム１６の鉄製部分１５に吸着して設置している。そし
てフィルタユニット４の四隅には、接着等によりコーナ
ーパッキン材１７を設置している。このコーナーパッキ
ン材１７は、上記線状パッキン材８の間隙９に対応する
ものである。
【００１７】以上の構成においてフィルタユニット４を
設置する過程を、図７の模式図を参照して説明する。ま
ず天井フレーム１に設置するフィルタユニット４は、
(ａ)に示すように、天井構造体に吊持されている天井フ
レーム１の端部の、ある一個所あるいは小数個所に設定
した作業エリアにおいて持ち上げる。次に(ｂ)に示すよ
うに、持ち上げたフィルタユニット４の底面の４隅近傍
の支持フレーム１６の鉄製部分１５にマグネット１４を
吸着して溝付き車輪１１を取り付ける。尚、フィルタユ
ニット４への溝付き車輪１１の取り付けは、(ａ)におい
てフィルタユニット４を持ち上げる時点で行うこともで
きる。またこの時点までの適宜の時点において、フィル
タユニット４の底面の四隅にコーナーパッキン材１７を
設置する。次いで(ｃ)に示すように、フィルタユニット
４の四隅に取付けた溝付き車輪１１の夫々を線状パッキ
ン材８上に載せて係合し、次いで(ｄ)に示すように、溝
付き車輪１１を線状パッキン材８に沿って走行させてフ
ィルタユニット４を天井フレーム１の所定位置まで移動
する。尚、フィルタユニット４を(ｄ)と直角の方向に移
動させる必要がある場合には、溝付き車輪１１を直角方
向に付け替えて対応することができる。このようにして
複数のフィルタユニット４を順次持ち上げ、溝付き車輪
１１を線状パッキン材８上に係合して天井フレーム１上
を移動させることができる。この際、順次移動する複数
のフィルタユニット４は、適宜の連結機構（図示省略）
により連結して、連結状態で同時に移動させることもで
きる。そしてフィルタユニット４を天井フレーム１の所
定位置に移動させた後、(ｅ)に示すように、溝付き車輪
１１を取り外してフィルタユニット４を線状パッキン材
８上に載置する。この際、フィルタユニット４は、四隅
に設置したコーナーパッキン材１７が線状パッキン材８
の間隙に対応するように位置決めすることにより、フィ
ルタユニット４を天井フレーム１の格子の開口部３の所
定位置に正確に設置することができる。この状態では、
図８に示すようにフィルタユニット４の底面の支持フレ
ーム１６には、線状パッキン材８とコーナーパッキン材
１７が枠状に切れ目なく連続することになるので気密を
確保することができる。(ｅ)においてフィルタユニット
４から外した溝付き車輪１１は、例えば(ｆ)に示すよう
にフィルタユニット４の上部の支持フレーム１６の鉄製
部分に吸着させておくこともできるし、他の個所におい
て収納保管を行うこともできる。以上の設置状態におい
て、クリーンルームのレイアウトの変更等において、フ
ィルタユニット４の移設を行う必要性が生じた場合に
は、以上と逆の作業により、再び線状パッキン材１７を
案内レールとして溝付き車輪１１によりフィルタユニッ
ト４を容易に移動させることができる。
設置する過程を、図７の模式図を参照して説明する。ま
ず天井フレーム１に設置するフィルタユニット４は、
(ａ)に示すように、天井構造体に吊持されている天井フ
レーム１の端部の、ある一個所あるいは小数個所に設定
した作業エリアにおいて持ち上げる。次に(ｂ)に示すよ
うに、持ち上げたフィルタユニット４の底面の４隅近傍
の支持フレーム１６の鉄製部分１５にマグネット１４を
吸着して溝付き車輪１１を取り付ける。尚、フィルタユ
ニット４への溝付き車輪１１の取り付けは、(ａ)におい
てフィルタユニット４を持ち上げる時点で行うこともで
きる。またこの時点までの適宜の時点において、フィル
タユニット４の底面の四隅にコーナーパッキン材１７を
設置する。次いで(ｃ)に示すように、フィルタユニット
４の四隅に取付けた溝付き車輪１１の夫々を線状パッキ
ン材８上に載せて係合し、次いで(ｄ)に示すように、溝
付き車輪１１を線状パッキン材８に沿って走行させてフ
ィルタユニット４を天井フレーム１の所定位置まで移動
する。尚、フィルタユニット４を(ｄ)と直角の方向に移
動させる必要がある場合には、溝付き車輪１１を直角方
向に付け替えて対応することができる。このようにして
複数のフィルタユニット４を順次持ち上げ、溝付き車輪
１１を線状パッキン材８上に係合して天井フレーム１上
を移動させることができる。この際、順次移動する複数
のフィルタユニット４は、適宜の連結機構（図示省略）
により連結して、連結状態で同時に移動させることもで
きる。そしてフィルタユニット４を天井フレーム１の所
定位置に移動させた後、(ｅ)に示すように、溝付き車輪
１１を取り外してフィルタユニット４を線状パッキン材
８上に載置する。この際、フィルタユニット４は、四隅
に設置したコーナーパッキン材１７が線状パッキン材８
の間隙に対応するように位置決めすることにより、フィ
ルタユニット４を天井フレーム１の格子の開口部３の所
定位置に正確に設置することができる。この状態では、
図８に示すようにフィルタユニット４の底面の支持フレ
ーム１６には、線状パッキン材８とコーナーパッキン材
１７が枠状に切れ目なく連続することになるので気密を
確保することができる。(ｅ)においてフィルタユニット
４から外した溝付き車輪１１は、例えば(ｆ)に示すよう
にフィルタユニット４の上部の支持フレーム１６の鉄製
部分に吸着させておくこともできるし、他の個所におい
て収納保管を行うこともできる。以上の設置状態におい
て、クリーンルームのレイアウトの変更等において、フ
ィルタユニット４の移設を行う必要性が生じた場合に
は、以上と逆の作業により、再び線状パッキン材１７を
案内レールとして溝付き車輪１１によりフィルタユニッ
ト４を容易に移動させることができる。
【００１８】以上に説明した他、本発明では、次のよう
な実施の形態が考えられる。即ち、フィルタユニット４
を天井フレーム１の所定位置に移動させた後、溝付き車
輪１１はフィルタユニット４から取り外さず、フィルタ
ユニット４自体を裏返しにして線状パッキン材８上に載
置することができる。即ち、図７に示す過程では、(ｄ)
から(ｅ)を経ずに(ｆ)に移行することができる。この場
合には、フィルタユニット４は、設置時の底面側が移動
時には上部となるように予め設定し、コーナーパッキン
材１７は溝付き車輪１１を設置する面とは反対の面の四
隅に設置する。そして、このように溝付き車輪１１をフ
ィルタユニット４から取り外さずに放置する場合には、
この溝付き車輪１１は必ずしも容易に着脱が可能な構成
とする必要はない。
な実施の形態が考えられる。即ち、フィルタユニット４
を天井フレーム１の所定位置に移動させた後、溝付き車
輪１１はフィルタユニット４から取り外さず、フィルタ
ユニット４自体を裏返しにして線状パッキン材８上に載
置することができる。即ち、図７に示す過程では、(ｄ)
から(ｅ)を経ずに(ｆ)に移行することができる。この場
合には、フィルタユニット４は、設置時の底面側が移動
時には上部となるように予め設定し、コーナーパッキン
材１７は溝付き車輪１１を設置する面とは反対の面の四
隅に設置する。そして、このように溝付き車輪１１をフ
ィルタユニット４から取り外さずに放置する場合には、
この溝付き車輪１１は必ずしも容易に着脱が可能な構成
とする必要はない。
【００１９】
【発明の効果】本発明は以上のとおりであるので以下に
示すような効果がある。 ａ．ある一個所又は少数個所に設定した作業エリアにお
いてフィルタユニットを天井フレームまで持ち上げ、そ
の後は天井フレーム上を走行させて所定位置まで移動さ
せることができるので、作業性が向上し、工期短縮につ
ながる。 ｂ．特に、天井裏スペースの間隔が狭い場合にも、狭い
スペースでの無理な作業を最小限とすることができ、作
業員の負担を軽減することができる。 ｃ．天井フレーム下部の作業エリア及びストックヤード
は、ある一個所又は少数個所で良いので、他工事の作業
スペースの妨げとならず、この点において工事の作業性
が向上して、工期短縮につながる。 ｄ．クリーンルーム新設時の作業性のみならず、レイア
ウト変更に伴うフィルタユニットの移設や、保守点検に
際しても作業性が向上する。
示すような効果がある。 ａ．ある一個所又は少数個所に設定した作業エリアにお
いてフィルタユニットを天井フレームまで持ち上げ、そ
の後は天井フレーム上を走行させて所定位置まで移動さ
せることができるので、作業性が向上し、工期短縮につ
ながる。 ｂ．特に、天井裏スペースの間隔が狭い場合にも、狭い
スペースでの無理な作業を最小限とすることができ、作
業員の負担を軽減することができる。 ｃ．天井フレーム下部の作業エリア及びストックヤード
は、ある一個所又は少数個所で良いので、他工事の作業
スペースの妨げとならず、この点において工事の作業性
が向上して、工期短縮につながる。 ｄ．クリーンルーム新設時の作業性のみならず、レイア
ウト変更に伴うフィルタユニットの移設や、保守点検に
際しても作業性が向上する。
【図１】 本発明にかかるフィルタユニットの設置機構
の構成と動作を示す模式図である。
の構成と動作を示す模式図である。
【図２】 本発明にかかる天井フレームの一部の平面図
である。
である。
【図３】 図２のＡ部分の拡大斜視図である。
【図４】 フィルタユニットの設置時の底面図である。
【図５】 フィルタユニットを天井フレームの所定位置
まで移動させた状態を示す要部の説明図である。
まで移動させた状態を示す要部の説明図である。
【図６】 図１のＢ−Ｂ線拡大断面図である。
【図７】 本発明においてフィルタユニットを設置する
過程を示す模式図である。
過程を示す模式図である。
【図８】 フィルタユニットを設置した状態における天
井フレームの一部の平面図である。
井フレームの一部の平面図である。
【図９】 フィルタユニットを天井フレームに設置する
従来の方法を示す模式図である。
従来の方法を示す模式図である。
【図１０】 従来の天井フレームにフィルタユニットを
設置した状態の平面図である。
設置した状態の平面図である。
【図１１】 図１０のＡ−Ａ線断面図である。
１ 天井フレーム ２ フレーム材 ３ 開口部 ４ フィルタユニット ５ 凸部 ６ 中心部 ７ 吊りボルト ８ 案内レール（線状パッキン材） ９ 間隙 １０ ファンユニット １１ 溝付き車輪 １２ 溝部 １３ 車輪支持部 １４ マグネット １５ 鉄製部分 １６ 支持フレーム １７ コーナーパッキン材
Claims (7)
- 【請求項１】 フレーム材を格子状に構成して天井構造
体に吊持する構成とし、フレーム材は、その上部の中央
に軸方向に延びる凸部を構成すると共に、凸部は格子の
交点位置においては中心部を除いて切り欠いた構成と
し、凸部の左右側の上面に軸方向に案内レールを設置し
たことを特徴とするクリーンルームにおけるフィルタユ
ニットの設置用天井フレーム - 【請求項２】 案内レールは線状パッキン材により構成
することを特徴とする請求項１記載のクリーンルームに
おけるフィルタユニット設置用天井フレーム - 【請求項３】 フレーム材を格子状に構成して天井構造
体に吊持する構成とし、フレーム材は、その上部の中央
に軸方向に延びる凸部を構成すると共に、凸部は格子の
交点位置においては中心部を除いて切り欠いた構成と
し、凸部の左右側の上面に、線状パッキン材を軸方向に
設置して成る天井フレームと、フィルタユニットに設置
する溝付き車輪と、格子の交点位置における線状パッキ
ン材間の間隙に設置するコーナーパッキン材とから構成
することを特徴とするクリーンルームにおけるフィルタ
ユニットの設置機構 - 【請求項４】 溝付き車輪はフィルタユニットに着脱自
在に設置する構成としたことを特徴とする請求項３記載
のクリーンルームにおけるフィルタユニットの設置機構 - 【請求項５】 溝付き車輪は車輪支持部にマグネットを
設け、フィルタユニットの鉄製部分に吸着させて設置す
ることを特徴とする請求項４記載のクリーンルームにお
けるフィルタユニットの設置機構 - 【請求項６】 コーナーパッキン材はフィルタユニット
の四隅に予め設置することを特徴とする請求項３又は４
記載のクリーンルームにおけるフィルタユニットの設置
機構 - 【請求項７】 フィルタユニットは、相互に連結可能に
構成することを特徴とする請求項３又は４記載のクリー
ンルームにおけるフィルタユニットの設置機構
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9050148A JPH10246481A (ja) | 1997-03-05 | 1997-03-05 | クリーンルームにおけるフィルタユニット設置用天井フレーム及びフィルタユニットの設置機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9050148A JPH10246481A (ja) | 1997-03-05 | 1997-03-05 | クリーンルームにおけるフィルタユニット設置用天井フレーム及びフィルタユニットの設置機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10246481A true JPH10246481A (ja) | 1998-09-14 |
Family
ID=12851105
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9050148A Pending JPH10246481A (ja) | 1997-03-05 | 1997-03-05 | クリーンルームにおけるフィルタユニット設置用天井フレーム及びフィルタユニットの設置機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10246481A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010038396A (ja) * | 2008-08-01 | 2010-02-18 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 既設天井設置機器の交換方法 |
-
1997
- 1997-03-05 JP JP9050148A patent/JPH10246481A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010038396A (ja) * | 2008-08-01 | 2010-02-18 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 既設天井設置機器の交換方法 |
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