JPH1023774A - モータの速度変動測定装置及びモータの回転制御装置並びに非真円体の研削装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 モータで発生するトルクリップルに起因した
速度変動を正確に捉えることができるようにする。 【解決手段】 モータを一定の指令速度で回転させる。
モータが指令通りに回転されたときの理想データと、モ
ータの実際の回転データとを、それぞれ起点がモータの
特定の原点角度から所定角度ずつずれた複数のデータと
して作成する。各データに窓関数を乗じ、乗算により得
られたデータをフーリエ変換して周波数成分に分解す
る。フーリエ変換後の対応する各理想データと各実回転
データとに基づき、複数の伝達関数を求める。モータに
て周期的に発生する速度変動のモータ１回転中における
周期を予め所定の周波数として表し、速度変動の波の起
点を求めるために、前記伝達関数のうちで所定の周波数
でのゲインが最大のものを選択する。予め算出された所
定の周波数での基底波高値と、前記選択された最大のゲ
インとに基づき、モータの速度変動の波の大きさ（誤差
量）を算出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、サーボモータ等の
回転速度変動を測定するための速度変動測定装置、及び
その測定結果に基づきモータを回転制御するモータの回
転制御装置、並びに内燃機関の動弁機構に用いるカム等
の非真円体を研削する非真円体の研削装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】従来より、被加工物を装着した主軸を回
転させながら、その主軸と直交する方向へ砥石を装着し
た砥石台を相対移動させて、被加工物の外周を非真円形
状に研削する装置として、例えば車両用エンジンにおけ
るカムを研削するためのカム研削盤が知られている。

【０００３】この種のカム研削盤においては、所定のカ
ム形状に応じて、主軸の回転角度と回転速度との関係を
設定した速度制御データ及び主軸の回転角度と砥石台の
目標移動位置との関係を設定した位置制御データが、予
め数値制御装置（以下、ＮＣ装置という）に記憶されて
いる。そして、それら制御データに基づいて、ＮＣ装置
により、主軸を回転させるための主軸用モータ及び砥石
台を移動させるための移動用モータが回転制御される。
その結果、主軸がその回転角度に応じた速度で回転され
るとともに、砥石台が主軸の回転角度に応じて進退移動
されて、主軸に装着された被加工物としてのカムが所定
のカム形状に研削される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、主軸用モー
タに通常使用されるサーボモータは、ステータに対して
ロータが１回転する間に、特定の回転角度での発生トル
クが所定のトルクより若干落ち込む所謂トルクリップル
が発生する。そして、そのトルクリップルが発生する回
転角度においては、モータが指令速度で回転されずにそ
の回転速度が若干落ち込み、モータの回転速度が周期的
に変動する。その結果、カムの回転にふらつきが生じ
る。

【０００５】図２４は、主軸の回転のために使用される
サーボモータを一定速度Ｎ(rpm) で回転するように制御
したときの、モータに対する速度指令データと、モータ
の回転角度に対する実際の回転速度の変化の状態とを例
示するものである。尚、この図２４には、モータの回転
角度に対するトルクリップルも併せて例示してある。同
図は、トルクリップルにより、モータの実際の回転速度
が指令データどおりにならずに、周期的に変動すること
を示している。この変動は、カム研削盤においては、主
軸の回転角度と砥石台の移動位置との同期のズレや主軸
の振動となって現れ、この同期ズレや振動が原因で加工
精度の低下を招くという問題が生じていた。

【０００６】このような加工精度の低下を防止するため
には、モータのトルクリップルに起因する回転速度変動
を抑制する必要がある。そして、その回転速度変動を抑
制するためには、その回転速度変動がモータのどの回転
角度でどの程度の大きさで発生するのかを正確に把握し
ておく必要がある。従来では、モータの回転速度変動を
ワウフラッタメータ等により測定するのが一般的であっ
た。しかし、モータの回転速度変動はトルクリップル以
外にも様々な要因が絡み合って発生するものであるた
め、単にワウフラッタメータによる測定だけでは、モー
タの回転速度変動がどのような要因によって発生してい
るのかを特定することができなかった。このため、モー
タの回転速度変動を抑制するための手段を講じることが
困難であった。

【０００７】本発明は、上記問題点を解消するためにな
されたものである。その目的は、モータの回転に伴い発
生するトルクリップルに起因した速度変動を正確に捉え
ることができるモータの速度変動測定装置を提供するこ
とにある。

【０００８】本発明のその他の目的は、モータの回転速
度変動を抑制して、モータを指令データ通りに円滑に回
転させることができるモータの回転制御装置を提供する
ことにある。

【０００９】本発明のその他の目的は、主軸回転用モー
タの回転に伴い発生するトルクリップルに起因した速度
変動を正確に捉えることにより、主軸の回転速度変動を
抑制して、主軸を指令データ通りに円滑に回転させるこ
とができ、被加工物を高精度に加工することができる非
真円体の研削装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１のモータの速度変動測定装置の発明で
は、モータを予め設定された指令データに基づき回転さ
せたときの実際の回転データを検出する実回転データ検
出手段と、前記検出手段より得られた実回転データと前
記指令データとに基づき、モータの回転に伴い同モータ
で周期的に発生する速度変動の位置を算出する第１算出
手段と、前記検出手段より得られた実回転データと前記
指令データとに基づき、モータの回転に伴い同モータで
周期的に発生する速度変動の大きさを算出する第２算出
手段とを備えたものである。

【００１１】請求項２のモータの回転制御装置の発明で
は、モータを予め設定された指令データに基づき回転さ
せたときの実際の回転データを検出する実回転データ検
出手段と、前記検出手段より得られた実回転データと前
記指令データとに基づき、モータの回転に伴い同モータ
で周期的に発生する速度変動の位置を算出する第１算出
手段と、前記検出手段より得られた実回転データと前記
指令データとに基づき、モータの回転に伴い同モータで
周期的に発生する速度変動の大きさを算出する第２算出
手段と、前記第１及び第２算出手段より得られた速度変
動の位置及び大きさに基づき、モータを回転制御するた
めの制御データに対してモータの速度変動を打ち消すよ
うな補正値を加えて補正後の制御データを作成する制御
データ補正手段と、補正後の制御データに基づきモータ
を回転制御する制御手段とを備えたものである。

【００１２】請求項３のモータの回転制御装置の発明で
は、請求項２において、前記制御データ補正手段に代え
て、前記制御手段がモータを回転制御するための制御デ
ータに基づきモータを回転制御しているときに、前記第
１及び第２算出手段より得られた速度変動の位置及び大
きさに基づき、モータの速度変動を打ち消すようなトル
ク補正量をモータ駆動用のドライバに対して与えるトル
ク補正手段を設けたものである。

【００１３】請求項４の非真円体の研削装置の発明で
は、被加工物を装着した主軸を回転させるモータと、被
加工物の外周面を研削する砥石を支持する砥石台を前記
主軸に対して交差する方向へ相対移動させる移動手段
と、主軸の回転角度と回転速度との関係を設定した速度
制御データに基づきモータを回転制御する制御手段とを
備え、モータにより主軸を回転させながら砥石台を移動
させることにより、被加工物の外周面を所定の非真円形
状に研削する非真円体の研削装置において、モータを予
め設定された指令データに基づき回転させたときの実際
の回転データを検出する実回転データ検出手段と、前記
検出手段より得られた実回転データと前記指令データと
に基づき、モータの回転に伴い同モータで周期的に発生
する速度変動の位置を算出する第１算出手段と、前記検
出手段より得られた実回転データと前記指令データとに
基づき、モータの回転に伴い同モータで周期的に発生す
る速度変動の大きさを算出する第２算出手段と、前記第
１及び第２算出手段より得られた速度変動の位置及び大
きさに基づき、前記速度制御データに対してモータの速
度変動を打ち消すような補正値を加えて補正後の速度制
御データを作成する制御データ補正手段とを備え、前記
制御手段は、前記補正後の速度制御データに基づきモー
タを回転制御するものである。

【００１４】請求項５の非真円体の研削装置の発明で
は、請求項４において、前記制御データ補正手段に代え
て、前記制御手段が前記速度制御データに基づきモータ
を回転制御しているときに、前記第１及び第２算出手段
より得られた速度変動の位置及び大きさに基づき、モー
タの速度変動を打ち消すようなトルク補正量をモータ駆
動用のドライバに対して与えるトルク補正手段を設けた
ものである。

【００１５】従って、請求項１〜５の発明は、次のよう
な作用を奏する。請求項１の発明によれば、モータを予
め設定された指令データに基づき回転させたときの実際
の回転データが検出される。そして、得られた実回転デ
ータと前記指令データとに基づき、モータの回転に伴い
同モータで周期的に発生する速度変動の位置が算出され
る。また、得られた実回転データと前記指令データとに
基づき、モータの回転に伴い同モータで周期的に発生す
る速度変動の大きさが算出される。

【００１６】請求項２の発明によれば、請求項１のよう
にして得られた速度変動の位置及び大きさに基づき、モ
ータを回転制御するための制御データに対してモータの
速度変動を打ち消すような補正値が加えられて、補正後
の制御データが作成される。そして、この補正後の制御
データに基づき、モータが周期的な速度変動を生じるこ
となく回転制御される。

【００１７】請求項３の発明によれば、モータを回転制
御するための制御データに基づきモータが回転制御され
ているときに、請求項１のようにして得られた速度変動
の位置及び大きさに基づき、モータの速度変動を打ち消
すようなトルク補正量がモータ駆動用のドライバに対し
て与えられる。このため、モータは周期的な速度変動を
生じることなく回転制御される。

【００１８】請求項４の発明によれば、請求項２のよう
にして主軸用モータが周期的な速度変動を生じることな
く回転制御されることにより、被加工物を高精度に加工
することが可能となる。

【００１９】請求項５の発明によれば、請求項３のよう
にして主軸用モータが周期的な速度変動を生じることな
く回転制御されることにより、被加工物を高精度に加工
することが可能となる。

【００２０】

【発明の実施の形態】先ず、本発明を具体化したサーボ
モータの速度変動測定装置の一実施形態を図１〜図１０
に基づいて説明する。

【００２１】図１に示すように、本実施形態における測
定装置１は、ＣＰＵ（中央処理装置）２、ＲＯＭ（リー
ドオンリメモリ）３、ＲＡＭ（ランダムアクセスメモ
リ）４、キー操作部５、表示部６及びプリンタ７を備え
ている。ＣＰＵ２は、ＲＯＭ３或いはＲＡＭ４に予め記
憶された各種の演算処理用のプログラムデータ等に基づ
き演算処理を行う。又、ＲＡＭ４は、ＣＰＵ２の演算処
理結果等のデータを一時的に記憶する。本実施形態で
は、ＣＰＵ２、ＲＯＭ３及びＲＡＭ４により、実回転デ
ータ検出手段、第１算出手段及び第２算出手段が構成さ
れている。

【００２２】キー操作部５は複数の入力キーを備え、入
力キーの操作に基づきＣＰＵ２に対して作業指示を与え
る。表示部６は例えばＣＲＴよりなり、前記キー操作部
５より与えられた作業指示内容やその指示に従ってＣＰ
Ｕ２により実行された演算処理結果等の各種情報を表示
する。プリンタ７は演算処理結果等を用紙上に印字出力
する。

【００２３】上記測定装置１には、測定対象となるサー
ボモータ９がモータドライバ８を介して接続され、この
サーボモータ９の回転に伴い発生するトルクリップルに
起因した速度変動が、測定装置１により測定される。測
定装置１のＣＰＵ２は、例えばキー操作部５より入力さ
れた速度指令等に基づき、モータドライバ８を介してサ
ーボモータ９を指令速度で回転させる。エンコーダ１０
はモータ９の回転角度を検出して、回転角度検出信号を
ＣＰＵ２に出力する。ＣＰＵ２は、エンコーダ１０から
の検出信号に基づき、モータ９の回転角度を検出する。

【００２４】次に、上記のように構成された測定装置１
によって、サーボモータ９のトルクリップルに起因した
回転速度変動を測定する方法について、図２及び図３の
フローチャートに従って説明する。尚、この説明は図４
〜図１０を参照しながら行う。

【００２５】さて、図２は、測定装置１のＣＰＵ２によ
って実行されるサーボモータ９の回転速度変動の測定処
理動作を示すフローチャートである。同図に示すよう
に、ステップＳ１において、先ずモータ９が予め設定さ
れた所定の指令速度Ｎ(rpm) で回転制御される。図４
は、モータの回転角度と回転速度との関係を設定した速
度指令データを示すものである。尚、このモータ９の回
転時、ＣＰＵ２は、速度指令データに基づくモータ９の
回転角度（モータ指令回転角度）と、モータ９の実際の
回転角度（モータ実回転角度）との関係を、エンコーダ
１０から入力される検出信号に基づき実際の回転データ
（実回転データ）として検出する。図５（ｂ）はその実
回転データを示すものであり、図５（ａ）は速度指令デ
ータに基づくモータ９の回転角度（モータ指令回転角
度）と、モータ９の理想の回転角度（モータ理想回転角
度）との関係を示す理想データである。即ち、モータ９
が速度指令データ通りに回転されると仮定した場合に
は、図５（ａ）の理想データに示すように、モータ９が
速度指令データに従いある回転角度に達すべきときに
は、その回転角度に必ず達し、直線のデータとなる。し
かし、モータ９は実際にはトルクリップル等により速度
指令データ通りに回転されず、図５（ｂ）の実回転デー
タに示すように、モータ９が速度指令データに従いある
回転角度に達すべきときに、その回転角度に達しない現
象が発生する。つまり、モータ９は一定の速度Ｎ(rpm)
で回転するように指令されていても、実際の回転速度に
は変動を生じる。

【００２６】次に、ステップＳ２において、モータ１回
転分の理想データ及び実回転データが、それぞれデータ
の起点がモータ９の回転角度にして５／３度ずつずれた
各４種類の第１〜第４データＤa1〜Ｄa4，Ｄb1〜Ｄb4と
してＲＡＭ４に記憶される。これら第１〜第４理想デー
タＤa1〜Ｄa4及び第１〜第４実回転データＤb1〜Ｄb4
は、図６（ａ），（ｂ）にそれぞれ示すように、モータ
指令回転角度に対するモータ９の理想或いは実際の回転
角度の変化の状態として記憶される。

【００２７】又、前記第１理想データＤa1及び第１実回
転データＤb1は、モータ９の特定の回転角度を原点（０
度）としたときに、その原点を起点としたモータ１回転
分のデータである。第２〜第４理想データＤa2〜Ｄa4及
び第２〜第４実回転データＤb2〜Ｄb4は、モータ９が前
記原点からそれぞれ５／３度、１０／３度、５度回転し
たときの角度を起点としたモータ１回転分のデータであ
る。

【００２８】尚、本実施形態において測定に使用される
モータ９では、予めそのモータ９の内部の極数等の構造
に基づき、１回転する間にトルクリップルが３６回発生
するということが予測されている。つまり、図１０に例
示するように、モータ９が１回転する間に、トルクリッ
プルに起因して発生する速度変動の波Ｗが３６周期発生
するということであり、このことは、モータ９が１秒間
で１回転すると仮定した場合に、速度振動の波Ｗの周波
数が３６Ｈｚになることを意味している。そして、この
波Ｗはサイン波で表すことができ、そのサイン波Ｗの１
周期（２π）に相当するモータの回転角度は１０度（＝
３６０度／３６周期）となる。従って、上記図６に示す
第１〜第４理想データＤa1〜Ｄa4及び第１〜第４実回転
データＤb1〜Ｄb4は、それぞれデータの起点がサイン波
Ｗの周期にしてπ／３ずつずれたデータと言い換えるこ
とができる。尚、データの起点が５／３度ずつずれた各
４種類のデータを作成する理由については後述する。

【００２９】次に、ステップＳ３において、先に作成さ
れた第１〜第４理想データＤa1〜Ｄa4及び第１〜第４実
回転データＤb1〜Ｄb4に、それぞれハニング窓関数が乗
算される。図７（ａ），（ｂ）は、乗算の結果得られた
各ハニングデータを示すものである。続いて、ステップ
Ｓ４において、上記各ハニングデータを周波数成分に分
解するために、各ハニングデータがＦＦＴ（高速フーリ
エ変換）処理される。次に、ステップＳ５において、対
応する理想ＦＦＴデータと実回転ＦＦＴデータとに基づ
き、４個のＦＦＴデータ間のコヒーレントカーブが作成
される。これら作成されたコヒーレントカーブは、例え
ば表示部６上に表示されるとともに、プリンタ７により
印字出力可能である。図８は、作成されたコヒーレント
カーブの一例を示すものである。同図より明らかなよう
に、このコヒーレントカーブにおいては、３６Ｈｚの周
波数におけるコヒーレント（整合性）が悪いと言える。
従って、測定対象であるモータ９では１回転中に３６回
トルクリップルが発生すると予測したことが正しいとい
うことになる。

【００３０】同時に、ステップＳ６において、対応する
理想ＦＦＴデータと実回転ＦＦＴデータとに基づき、４
種類の伝達関数が求められる。そして、ステップＳ７に
おいて、求められた各伝達関数に基づき、４種類のボー
ド線図が作成される。これらボード線図は例えば表示部
６上に表示されるとともに、プリンタ７により印字出力
可能である。図９は、４種類のボード線図のうち、第１
理想データＤa1と第１実回転データＤb1とに基づき作成
されたボード線図の一例を示すものである。同図に示す
ように、このボード線図の上側には周波数とフェーズ
（位相）との関係が示されており、下側には周波数とゲ
インとの関係が示されている。この図より明らかなよう
に、このボード線図においては、３６Ｈｚの周波数にお
けるゲインが大きくなっていることが判る。

【００３１】次に、ステップＳ８において、４種類のボ
ード線図において、該当する周波数（即ち３６Ｈｚの周
波数）におけるゲインのうち、最大のゲインＧが選択さ
れる。そして、前述した図６における第１〜第４データ
Ｄa1〜Ｄa4，Ｄb1〜Ｄb4のうち、この最大のゲインＧを
有するボード線図に対応するデータが、前述した図１０
におけるサイン波Ｗの波高値が最大のものに相当する。
この場合、最大のゲインＧを有するボード線図に対応す
るデータの起点は、サイン波Ｗの起点と一致する。一
方、トルクリップルの位置は、サイン波Ｗのマイナス側
の最大波高値の位置に相当すると考えられる。従って、
最大のゲインＧを有するボード線図に対応するデータの
起点に基づき、モータ９にて発生するトルクリップルの
位置を求めることができる。

【００３２】例えば、最大のゲインＧを有するボード線
図に対応するデータがＤa1，Ｄb1であったと仮定する。
なお、前述のように、このデータＤa1，Ｄb1の起点はモ
ータ９の原点と一致している。従って、図１０に示すよ
うに、トルクリップルが発生する見かけ上のモータ９の
原点からの回転角度は７．５度となり、モータ９におい
てはその７．５度の位置から１０度毎にトルクリップル
が発生するということが判る。また、例えば、最大のゲ
インＧを有するボード線図に対応するデータがＤa2，Ｄ
b2であったと仮定する。このデータＤa2，Ｄb2の起点は
モータ９の原点から５／３度ずれた位置なので、トルク
リップルが発生する見かけ上のモータ９の原点からの回
転角度は、５／３度＋７．５度となる。

【００３３】このように、モータ９にて発生するトルク
リップルの位置を求めるために、起点が５／３度ずつず
れた各４種類のデータＤa1〜Ｄa4，Ｄb1〜Ｄb4を作成
し、それらデータの中からサイン波の波高値が最大にな
るものを選択するようにしている。

【００３４】次に、ステップＳ９において、該当する周
波数、つまり３６Ｈｚの周波数での基底波高値Ｐが算出
される。図３のフローチャートは、この基底波高値Ｐの
算出手順を示すものである。同図に示すように、この算
出手順においては、先ずステップＳ２１において、図２
のステップＳ２で記憶された第１理想データＤa1にハニ
ング窓関数が乗算される。続いて、ステップＳ２２にお
いて、得られたハニングデータを周波数成分に分解する
ために、ハニングデータがＦＦＴ処理される。次に、ス
テップＳ２３において、下記の式（１）に従って、該当
する周波数（３６Ｈｚの周波数）での波高値（基底波高
値）Ｐが算出される。

【００３５】 Ｐ＝２×√（Ｒｌ² ＋Ｉｍ² ） ・・・（１） ここで、Ｒｌは３６Ｈｚの周波数でのリアルデータの大
きさを表し、Ｉｍは３６Ｈｚの周波数でのイメージデー
タの大きさを表し、それぞれＲｌ＝0.0000138×10^-3(de
gree), Ｉｍ＝-1.229×10^-3(degree)となる。従って、
上記式（１）に従って算出された３６Ｈｚの周波数での
基底波高値Ｐは、「2.458 ×10^-3(degree)」となる。

【００３６】次に図３に戻り、ステップＳ１０におい
て、前記ステップＳ９で算出された基底波高値Ｐと、前
記ステップＳ８で選択された最大ゲインＧとに基づき、
下記の式（２）に従って、３６Ｈｚの周波数での振れ量
（波高値）が算出される。

【００３７】 振れ量(degree)＝Ｐ×（１０^(G/20)−１） ・・・（２） 続いて、ステップＳ１１において、先に求められた振れ
量が２倍にされて、実回転データの誤差量が算出され
る。そして、この誤差量が、モータ９のトルクリップル
に起因して発生する速度変動の波の大きさ、言い換えれ
ばモータ９が目標とする回転角度に対して何度のずれを
生じるかを表している。

【００３８】本実施形態における測定装置１は上記のよ
うに動作するので、モータ９で生じる回転速度変動の要
因の１つであるトルクリップルが、モータ９のどの回転
角度でどの程度の大きさで発生するのかを正確に知るこ
とができる。即ち、前記ステップＳ８において、４種類
のボード線図において、３６Ｈｚの周波数におけるゲイ
ンのうち最大のゲインＧが選択される。そして、第１〜
第４データＤa1〜Ｄa4，Ｄb1〜Ｄb4のうち、この最大の
ゲインＧを有するボード線図に対応するデータの起点に
基づき、トルクリップルが発生するモータ９の原点から
の回転角度が求められる。モータ９が１回転中に３６回
のトルクリップルを１０度毎に発生するということは、
モータ９の構造（巻線によるコア数等）に基づき予め経
験的に予測されており、しかもその予測が正しいことも
確認されている。従って、今回の測定に使用されたモー
タ９では、前記選択されたデータの起点に基づき求めら
れた回転角度から１０度ずつ回転した角度においてトル
クリップルが発生するということを、容易かつ正確に知
ることができる。しかも、そのトルクリップルの大きさ
も、前記ステップＳ１０の式（２）等に従って容易かつ
正確に求めることができる。このため、モータ９のトル
クリップルに起因した回転速度変動を抑制するために、
適正な手段を講じることが可能となる。又、モータ９自
身が有する特性を正確に把握することができるので、例
えばモータ９を各種の装置に使用したり、或いはモータ
９の改良等を行ったりする場合において、非常に有益な
データとすることができる。

【００３９】次に、上記速度変動測定装置１による測定
結果に基づき、カム研削盤における主軸回転用サーボモ
ータのトルクリップルに起因した回転速度変動を抑制す
る方法について、図１１〜図２１に従って説明する。

【００４０】先ずカム研削盤の構成について説明する
と、図１１及び図１２に示すように、ワーク支持台１１
は基台１２の一側上面に図示しない移動機構により水平
方向（Ｚ方向）へ移動可能に支持されている。主軸台１
３はワーク支持台１１の上面に配設され、カムシャフト
Ｗの一端を着脱可能に支持するための主軸１４及びその
主軸１４を回転させるためのサーボモータよりなる主軸
用モータ１５を備えている。又、カムシャフトＷには被
加工物としての複数のカムＷａが軸線方向へ所定の間隔
をおいて形成され、これらカムＷａの外周面が被研削面
Ｗｂとなっている。

【００４１】ホルダ１６は主軸１４との間隔を調整自在
にワーク支持台１１の上面に配設され、前記カムシャフ
トＷが主軸１４とこのホルダ１６との間においてＺ方向
へ延びるように回転可能にかつ着脱可能に支持される。
そして、カムシャフトＷは、この支持状態で主軸用モー
タ１５の駆動に伴い所定の方向へ回転される。エンコー
ダ１７は主軸用モータ１５に取り付けられ、このエンコ
ーダ１７から出力される検出信号が後述するＮＣ装置２
８に入力される。

【００４２】砥石台１８は前記基台１２上にカムシャフ
トＷの軸線と直交する水平方向（Ｘ方向）へ移動可能に
支持されている。サーボモータよりなる移動用モータ１
９は基台１２の側部に取り付けられ、この移動用モータ
１９によりボールスクリュー２０が回転されて、砥石台
１８がワークであるカムシャフトＷと接近又は離間する
方向へ移動される。本実施形態では、移動用モータ１９
及びボールスクリュー２０等により、移動手段が構成さ
れている。エンコーダ２１は移動用モータ１９に取り付
けられ、このエンコーダ２１から出力される検出信号が
後述するＮＣ装置２８に入力される。回転砥石２２は、
カムシャフトＷと対向するように砥石台１８の一端に支
軸２３により回転可能に支持されている。砥石回転用モ
ータ２４は砥石台１８上に配設され、この砥石回転用モ
ータ２４によりプーリ２５，２６及びベルト２７を介し
て砥石２２が一方向へ回転される。

【００４３】制御手段及び制御データ補正手段を構成す
るＮＣ装置２８は、装置全体の動作を制御するためのも
のである。このＮＣ装置２８は、各種演算処理を行うＣ
ＰＵ（中央処理装置）２９、装置全体の動作を制御する
ためのプログラム等を記憶したＲＯＭ（リードオンリメ
モリ）３０及び各種情報を一時的に記憶するＲＡＭ（ラ
ンダムアクセスメモリ）３１等を有している。

【００４４】前記ＲＡＭ３１には、加工対象となる所定
のカムＷａに応じて、主軸１４の回転速度を制御するた
めの主軸速度制御データと砥石台１８のＸ方向における
位置を制御するための砥石台位置制御データとが予め記
憶されている。図１６に例示するように、主軸速度制御
データは主軸１４（即ちモータ１５）の回転角度θと回
転速度Ｎとの関係を、主軸１４の所定単位回転角度毎に
設定したものであり、主軸回転角度θに対して理想とす
る主軸回転速度Ｎを設定したものである。この主軸速度
制御データでは、図１７に示すように、カムＷａの回転
角度θは、カムＷａの基礎円の中間が砥石２２に接触し
ている状態を０度として設定してある。そして、この主
軸速度制御データに基づきカムＷａを回転させた場合に
は、カムＷａは回転角度θに応じてその回転速度Ｎが変
更される。尚、砥石台位置制御データについては特に図
示しないが、このデータは主軸１４の回転角度θと砥石
台１８の移動位置との関係を設定したものである。

【００４５】次に、前記のように構成されたカム研削盤
の作用について説明する。さて、このカム研削盤では、
主軸用モータ１５のトルクリップルに起因した回転速度
変動を抑制するために、ＣＰＵ２９の制御のもとで図１
３のフローチャートに示すような動作が行われる。即
ち、先ずステップＳ３１において、主軸用モータ１５で
発生するトルクリップルの大きさ及び位相ズレ量が、前
記測定装置１によって算出されてＲＡＭ３１に記憶され
る。このトルクリップルの大きさ及び位相ズレ量は、モ
ータ１５の回転速度Ｎ(rpm) を前記図１６に示す主軸速
度制御データにおける回転速度の範囲内で少しずつ変え
ながら、各回転速度毎にそれぞれ算出される。図１４
は、モータ１５の各回転速度Ｎ(rpm) に対応して算出さ
れたトルクリップルの大きさＳ及び位相ズレ量Ｐを示す
表である。

【００４６】なお、位相ズレ量とは、トルクリップルに
起因して発生する速度変動の波をサイン波Ｗで表したと
き、そのサイン波Ｗの起点とモータ１５の原点との間の
角度を示すものである。より詳しくは、位相ズレ量は、
前記図２に示すフローチャートのステップＳ８において
最大のゲインＧが選択されたとき、その選択された最大
のゲインＧを有するボード線図に対応するデータの起
点、つまり速度変動を表すサイン波Ｗの起点によって示
されるモータ回転角度である。又、トルクリップルの大
きさＳとは、図２に示すフローチャートのステップＳ１
１において算出された誤差量のことである。

【００４７】前記トルクリップルの大きさＳ及び位相ズ
レ量Ｐは、同じモータ１５であっても、モータ１５の回
転速度Ｎ(rpm) が変化するのに応じて変化する。即ち、
モータ１５の回転速度Ｎが速いほど、モータ１５におい
て見かけ上現れる速度変動の波が、モータ１５において
発生するトルクリップルの実際のタイミングよりも大き
く遅れるとともに、モータ１５において見かけ上現れる
トルクリップルの大きさＳが小さくなる。前記の測定装
置１では、エンコーダ１０による検出結果を基にして、
モータ１５において見かけ上現れるトルクリップルを捉
えている。従って、図１４に示すように、トルクリップ
ルの大きさＳ及び位相ズレ量Ｐを、モータ１５の各回転
速度Ｎ毎に求めておく必要がある。

【００４８】次に、ステップＳ３２において、主軸用モ
ータ１５でトルクリップルに起因して発生する速度変動
を表すサイン波（速度変動波形）が作成される。図１５
は、作成された速度変動波形ｆ(i) を例示するものであ
る。この速度変動波形ｆ(i)は、後の処理を行い易くす
るために、主軸用モータ１５でトルクリップルに起因し
て発生する速度変動をサイン波として便宜上表したもの
である。この速度変動波形ｆ(i) は下記の式（３）で表
すことができる。

【００４９】 ｆ(i) ＝１×ｓｉｎ（Ｂ・θi −Ｐi ） ・・・（３） ここで、θi はモータ１５の回転角度を表し、Ｐi は位
相ズレ量を表す。又、Ｂは該当する周波数、言い換えれ
ばモータ１５が１回転中に発生するトルクリップルの回
数を表す。例えば、この主軸用モータ１５が１回転中に
３６回のトルクリップルを発生するものであれば、Ｂの
値は「３６」になる。

【００５０】続いて、ステップＳ３３において、ＲＡＭ
３１に記憶されている図１６の主軸速度制御データ（角
度−速度データ）Ｈが時間で積分されて、図１８に示す
ような時間−角度データＩが作成される。同図に示すよ
うに、この時間−角度データＩでは、カムＷａの回転角
度θと回転速度Ｎとの関係を設定した主軸速度制御デー
タが、時間ｔの経過に対するカムＷａの回転角度θの変
化の状態として表される。

【００５１】次に、ステップＳ３４において、積分の結
果得られた時間−角度データＩに補正値が加えられて、
図１９に示すような補正後の時間−角度データＪが作成
される。つまり、この補正後の時間−角度データＪは、
図１８に示す時間−角度データＩに対して、トルクリッ
プルに起因して生じるモータ１５の速度変動の波を打ち
消すような値を補正値として加えたものになる。具体的
には、図１８の時間−角度データＩ上において、ある時
間ｔi でのモータ回転角度をθi としたとき、その回転
角度θi でのモータ回転速度Ｎi が図１６に示す主軸速
度制御データ（角度−速度データ）Ｈより求められる。
そして、その求められた回転速度Ｎi でのトルクリップ
ルの大きさＳi が、図１４に示す表より求められる。
又、前記式（３）に従い、モータ１５の回転角度がθi
のときの値ｆ(i) が求められる。尚、この式（３）にお
ける位相ズレ量Ｐi は、先に図１６の主軸速度制御デー
タより求められた回転速度Ｎi に対応して図１４の表よ
り求められるものである。上記のようにして、図１８の
時間−角度データＩ上における時間ｔi を少しずつ変え
ながら、各時間ｔi での回転角度θi にそれぞれ対応す
る値Ｓi ，ｆ(i) が求められる。そして、このようにし
て求められた値Ｓi ，ｆ(i) に基づき、下記の式（４）
に従って図１９に示すような補正後の時間−角度データ
Ｊが作成される。

【００５２】Ｊ＝Ｉ−ｆ(i) ×Ｓi ・・・（４） 次に、ステップＳ３５において、補正後の時間−角度デ
ータＪが微分されて、図２０に示すような時間−速度デ
ータＫが作成される。続いて、ステップＳ３６におい
て、図１９に示す補正後の時間−角度データＪと図２０
に示す時間−速度データＫとに基づき、図２１に示すよ
うな補正後の主軸速度制御データ（角度−速度データ）
Ｌが作成され、これが主軸用モータ１５を回転制御する
ためのデータとしてＲＡＭ３１に記憶される。

【００５３】そして、実際のカム研削加工においては、
先ずカムシャフトＷが主軸４とホルダ１６との間に支持
された状態でワーク支持台１１がＺ方向へ割り出し移動
され、カムシャフトＷ上の所定のカムＷａが砥石２２と
対向配置される。この状態で、ＮＣ装置２８は、前述の
ようにして求められた補正後の回転速度制御データＬ及
びエンコーダ１７から入力される検出信号に基づき、主
軸用モータ１５を回転制御する。又、ＮＣ装置２８は、
ＲＡＭ３１内の砥石台位置制御データ及びエンコーダ２
１からの検出信号に基づき移動用モータ１９を回転制御
する。その結果、カムＷａ（即ち主軸１４）がその回転
角度に応じた速度で回転されるとともに、砥石台１８が
主軸１４の回転角度に応じてＸ方向へ進退移動されて、
カムＷａが所定の非真円形状に研削される。

【００５４】主軸用モータ１５の回転制御に使用される
補正後の回転速度制御データＬは、元の回転速度制御デ
ータＨ（図１６参照）に対して、トルクリップルに起因
して生じる速度変動の波を打ち消すような補正値を加え
たものである。従って、主軸用モータ１５の回転時に
は、トルクリップルに起因した回転速度変動が確実に抑
制され、結果的に、主軸用モータ１５は、図１６に示す
回転速度制御データ通りに、言い換えればモータ１５の
理想的な回転状態を表す制御指令データ通りに円滑に回
転される。このため、カムＷａの加工精度が向上する。

【００５５】又、主軸用モータとして、トルクリップル
による悪影響が大きく表れるような安価なモータを使用
した場合でも、トルクリップルに起因した回転速度変動
を確実に抑制できるので、加工精度を低下させることな
く、安価なモータを使用することが可能となる。

【００５６】以上のように、このカム研削盤では、主軸
用モータ１５で生じるトルクリップルが、モータ１５の
どの回転角度でどの程度の大きさで発生するのかを測定
装置１によって正確に求めておき、その求めた結果に基
づき、主軸用モータ１５の回転制御に使用する補正後の
回転速度制御データＬを作成するようにしている。そし
て、その制御データＬに基づき、主軸用モータ１５をト
ルクリップルに起因した回転速度変動が生じることなく
回転させるようにしている。このため、トルクリップル
に起因した回転速度変動を抑制するために、単に回転速
度制御データを補正するのみでよく、カム研削盤の機械
的構成或いは電気的構成を変更する必要がないので、容
易かつ安価に実現できる。

【００５７】尚、この発明は例えば以下のように変更し
て具体化してもよい。 （１）前記実施形態では、カム研削盤における主軸用モ
ータ１５の回転速度変動を抑制するために、回転速度制
御データを補正するようにしていたが、それに代えて次
のような手段を採用してもよい。即ち、前記図１１及び
図１２では特に図示しなかったが、図２２に示すよう
に、ＮＣ装置２８はモータドライバ３２を介して主軸用
モータ１５を回転制御するようになっている。そして、
ここでは、ＮＣ装置２８は、前記実施形態の制御データ
補正手段に代えてトルク補正手段を構成しており、カム
研削加工時において、前記図１６に示す回転速度制御デ
ータに基づきモータドライバ３２に速度指令を与えると
ともに、先に求められたモータ１５のトルクリップルの
大きさＳi と、値ｆ(i) ｛速度変動波形を表す数式
（３）｝とに基づき、モータ１５の速度変動の波を打ち
消すようなトルク補正量をモータドライバ３２に対して
与える。

【００５８】即ち、この（１）の実施形態では、主軸用
モータ１５のトルクリップルに起因した回転速度変動を
抑制するために、ＣＰＵ２９の制御のもとで図２３のフ
ローチャートに示すような動作が行われる。先ず、実際
の研削加工動作が開始される前に、前記図１３のフロー
チャートのステップＳ３１及びＳ３２と同じく、トルク
リップルの大きさＳ及び位相ズレ量Ｐがモータ１５の各
回転速度Ｎ毎に求められるとともに、トルクリップルに
起因して発生する速度変動を表すサイン波ｆ(i) が作成
される。そして、研削加工動作の開始に伴い、図１６に
示す主軸速度制御データＨに基づきモータ１５が回転制
御されると、先ずステップＳ４１において、所定の微小
な単位時間毎に、エンコーダ１７によりモータ１５の回
転角度θi が検出される。次に、ステップＳ４２におい
て、検出された回転角度θi でのモータ回転速度Ｎi が
図１６に示す主軸速度制御データＨより求められる。続
いて、ステップＳ４３において、その求められた回転速
度Ｎi でのトルクリップルの大きさＳi が、図１４に示
す表より求められる。更に、ステップＳ４４において、
前記式（３）に従い、前記検出された回転角度θi でか
つその回転角度θiに対応して求められた回転速度Ｎi
であるときの値ｆ(i) が求められる。そして、ステップ
Ｓ４５において、前記のようにして求められた２つの値
Ｓi ，ｆ(i)を乗算して得られた結果が、モータ１５の
速度変動の波を打ち消すためのトルク補正量としてモー
タドライバ３２に出力される。

【００５９】その結果、前記実施形態と同様に、主軸用
モータ１５の回転時にはトルクリップルに起因した回転
速度変動が確実に抑制されて、主軸用モータ１５が円滑
に回転され、カムＷａの加工精度が向上する。又、加工
精度を低下させることなく、安価なモータを使用するこ
とが可能となるという効果も、前記実施形態と同様であ
る。

【００６０】このように、主軸用モータ１５のトルクリ
ップルに起因した回転速度変動を抑制するために、元の
主軸速度制御データを予め補正しておくのに代えて、元
の主軸速度制御データに基づきモータ１５を回転制御し
ているときに、モータ１５の回転変動を抑制するための
トルク補正量をドライバ３２に逐次与えるようにしても
よい。

【００６１】（２）測定装置１は、サーボモータの回転
速度変動を測定するための単独の装置として構成しても
よいし、カム研削盤のＮＣ装置２８に一体的に組み込ん
でもよい。カム研削盤のＮＣ装置２８に測定装置１が組
み込まれている場合には、主軸用モータ１５のトルクリ
ップルを測定した後に、その測定結果をそのまま補正の
ためのデータとすればよい。カム研削盤に測定装置１が
組み込まれていない場合には、単独で構成された測定装
置１によって主軸用モータ１５のトルクリップルを測定
した後に、その測定結果をフロッピーディスク等の記憶
媒体或いは所定の通信手段等を用いてカム研削盤のＮＣ
装置２８に入力するようにすればよい。

【００６２】（３）主軸用モータ１５だけでなく、砥石
台移動用モータ１９についても、トルクリップルに起因
した回転速度変動を抑制するための制御を行うようにす
ること。このようにすれば、カムＷａの加工精度が更に
向上する。

【００６３】（４）前記実施形態ではカム研削盤におけ
る主軸用モータ１５の回転速度変動を抑制する場合につ
いて説明したが、これに限定されるものではなく、本発
明を各種装置におけるモータの回転速度変動を抑制する
場合に応用することは、勿論構わない。

【００６４】上記実施形態から把握できる技術的思想に
ついて、以下に記載する。 （ａ）モータを一定速度で回転させるための指令データ
に基づきモータを回転させて、そのモータが指令データ
通りに回転されたときの理想データと、モータを指令デ
ータに基づき回転させたときの実際の回転データとを算
出する回転データ算出手段と、前記理想データ及び実回
転データに関して、それぞれ算出されたデータの起点を
モータの原点から所定角度ずつずらして複数のデータを
作成するデータ作成手段と、前記作成された複数の理想
データ及び複数の実回転データにそれぞれ窓関数を乗じ
るとともに、その窓関数を乗じることによって得られた
データを周波数成分に分解するためにフーリエ変換する
フーリエ変換手段と、前記フーリエ変換後の各理想デー
タと、各理想データにそれぞれ対応するフーリエ変換後
の各実回転データとに基づき、複数の伝達関数を求める
伝達関数算出手段と、モータの回転に伴い周期的に発生
する速度変動のモータ１回転中における周期を、予め所
定の周波数として表しておき、その速度変動の起点を求
めるために、前記伝達関数のうちで所定の周波数でのゲ
インが最大のものを選択する選択手段と、前記所定の周
波数に対応して予め算出された基底波高値と、前記選択
された最大のゲインとに基づき、モータの回転に伴い周
期的に発生する速度変動の大きさを算出する変動量算出
手段と、モータ１回転中における速度変動の周期とその
速度変動の起点に相当するモータの原点からの回転角度
とに基づき、モータの速度変動を表す所定の数式を作成
する作成手段と、前記求められたモータの速度変動の大
きさとその速度変動を表す数式とに基づき、モータを回
転制御するための制御データに対してモータの速度変動
を打ち消すような補正値を加えて、補正後の制御データ
を作成する制御データ補正手段と、前記補正後の速度制
御データに基づきモータを回転制御する制御手段とを備
えたモータの回転制御装置。

【００６５】（ｂ）前記制御データ補正手段に代えて、
前記制御手段がモータを回転制御するための制御データ
に基づきモータを回転制御しているときに、前記求めら
れたモータの速度変動の大きさとその速度変動を表す数
式とに基づき、モータの速度変動を打ち消すようなトル
ク補正量をモータ駆動用のドライバに対して与えるトル
ク補正手段を設けた上記（ａ）に記載のモータの回転制
御装置。

【００６６】上記（ａ），（ｂ）では、ＣＰＵ２、ＲＯ
Ｍ３及びＲＡＭ４が、回転データ算出手段、データ作成
手段、フーリエ変換手段、伝達関数算出手段、選択手段
及び変動量算出手段を構成している。また、ＮＣ装置２
８が、制御手段、作成手段、制御データ補正手段及びト
ルク補正手段を構成している。これらのようにすれば、
モータのトルクリップルに起因した回転速度変動を確実
に抑制することができ、モータを指令通りに円滑に回転
させることができる。

【００６７】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば次
のような優れた効果を奏する。請求項１の発明によれ
ば、モータの回転に伴い発生するトルクリップルに起因
した速度変動を正確に捉えることができる。このため、
モータのトルクリップルに起因した回転速度変動を抑制
するために、適正な手段を講じることが可能となる。
又、モータ自身が有する特性を正確に把握することがで
きるので、例えばモータを各種の装置に使用したり、或
いはモータの改良等を行ったりする場合において、非常
に有益なデータとすることができる。

【００６８】請求項２及び３の発明によれば、モータの
トルクリップルに起因した回転速度変動を確実に抑制す
ることができ、モータを指令通りに円滑に回転させるこ
とができる。

【００６９】請求項４及び５の発明によれば、主軸回転
用モータの回転に伴い発生するトルクリップルに起因し
た速度変動を正確に捉えることにより、主軸の回転速度
変動を確実に抑制して、主軸を指令通りに円滑に回転さ
せることができ、被加工物を高精度に加工することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の速度変動測定装置の一実施形態を示
す回路構成図。

【図２】 モータの回転速度変動の測定処理動作を示す
フローチャート。

【図３】 基底波高値の算出手順を示すフローチャー
ト。

【図４】 速度指令データを示す説明図。

【図５】 （ａ）は理想データを示すグラフ、（ｂ）は
実回転データを示すグラフ。

【図６】 （ａ）は起点が異なる４種類の第１〜第４理
想データを示すグラフ、（ｂ）は起点が異なる４種類の
第１〜第４実回転データを示すグラフ。

【図７】 （ａ）は理想データに関するハニングデータ
を示すグラフ、（ｂ）は実回転データに関するハニング
データを示すグラフ。

【図８】 コヒーレントカーブを示すグラフ。

【図９】 ボード線図を示すグラフ。

【図１０】 トルクリップルに起因して発生する速度変
動の波を説明するための説明図。

【図１１】 カム研削盤を示す一部破断側面図。

【図１２】 研削盤の平面図。

【図１３】 補正後の回転速度制御データの算出手順を
示すフローチャート。

【図１４】 モータの各回転速度に対応して算出された
トルクリップルの大きさ及び位相ズレ量を示す表。

【図１５】 速度変動の波を表すサインカーブを示す説
明図。

【図１６】 元の回転速度制御データを示す説明図。

【図１７】 カムの基礎円の中間が砥石に接触している
状態を示す部分拡大側面図。

【図１８】 時間−角度データを示す説明図。

【図１９】 補正後の時間−角度データを示す説明図。

【図２０】 時間−速度データを示す説明図。

【図２１】 補正後の回転速度制御データを示す説明
図。

【図２２】 モータの回転速度変動を抑制するための別
の手段を概略的に示すブロック図。

【図２３】 研削時におけるモータの制御動作を示すフ
ローチャート。

【図２４】 モータに対する速度指令データと、実際の
回転速度の変化の状態とを示す説明図。

【符号の説明】

１…測定装置、２…ＣＰＵ、３…ＲＯＭ、４…ＲＡＭ、
８…モータドライバ、９…サーボモータ、１０…エンコ
ーダ、１４…主軸、１５…主軸用モータ、１７…エンコ
ーダ、１８…砥石台、１９…移動手段を構成する移動用
モータ、２０…移動手段を構成するボールスクリュー、
２１…エンコーダ、２２…回転砥石、２８…ＮＣ装置、
２９…ＣＰＵ、３０…ＲＯＭ、３１…ＲＡＭ、３２…モ
ータドライバ、Ｗａ…被加工物としてのカム、Ｗｂ…被
研削面。ＣＰＵ２、ＲＯＭ３及びＲＡＭ４は、実回転デ
ータ検出手段、第１算出手段及び第２算出手段を構成し
ている。ＮＣ装置２８は、制御手段、制御データ補正手
段及びトルク補正手段を構成している。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 モータを予め設定された指令データに基
   づき回転させたときの実際の回転データを検出する実回
   転データ検出手段と、 前記検出手段より得られた実回転データと前記指令デー
   タとに基づき、モータの回転に伴い同モータで周期的に
   発生する速度変動の位置を算出する第１算出手段と、 前記検出手段より得られた実回転データと前記指令デー
   タとに基づき、モータの回転に伴い同モータで周期的に
   発生する速度変動の大きさを算出する第２算出手段とを
   備えたモータの速度変動測定装置。
2. 【請求項２】 モータを予め設定された指令データに基
   づき回転させたときの実際の回転データを検出する実回
   転データ検出手段と、 前記検出手段より得られた実回転データと前記指令デー
   タとに基づき、モータの回転に伴い同モータで周期的に
   発生する速度変動の位置を算出する第１算出手段と、 前記検出手段より得られた実回転データと前記指令デー
   タとに基づき、モータの回転に伴い同モータで周期的に
   発生する速度変動の大きさを算出する第２算出手段と、 前記第１及び第２算出手段より得られた速度変動の位置
   及び大きさに基づき、モータを回転制御するための制御
   データに対してモータの速度変動を打ち消すような補正
   値を加えて補正後の制御データを作成する制御データ補
   正手段と、 補正後の制御データに基づきモータを回転制御する制御
   手段とを備えたモータの回転制御装置。
3. 【請求項３】 前記制御データ補正手段に代えて、前記
   制御手段がモータを回転制御するための制御データに基
   づきモータを回転制御しているときに、前記第１及び第
   ２算出手段より得られた速度変動の位置及び大きさに基
   づき、モータの速度変動を打ち消すようなトルク補正量
   をモータ駆動用のドライバに対して与えるトルク補正手
   段を設けた請求項２に記載のモータの回転制御装置。
4. 【請求項４】 被加工物を装着した主軸を回転させるモ
   ータと、被加工物の外周面を研削する砥石を支持する砥
   石台を前記主軸に対して交差する方向へ相対移動させる
   移動手段と、主軸の回転角度と回転速度との関係を設定
   した速度制御データに基づきモータを回転制御する制御
   手段とを備え、モータにより主軸を回転させながら砥石
   台を移動させることにより、被加工物の外周面を所定の
   非真円形状に研削する非真円体の研削装置において、 モータを予め設定された指令データに基づき回転させた
   ときの実際の回転データを検出する実回転データ検出手
   段と、 前記検出手段より得られた実回転データと前記指令デー
   タとに基づき、モータの回転に伴い同モータで周期的に
   発生する速度変動の位置を算出する第１算出手段と、 前記検出手段より得られた実回転データと前記指令デー
   タとに基づき、モータの回転に伴い同モータで周期的に
   発生する速度変動の大きさを算出する第２算出手段と、 前記第１及び第２算出手段より得られた速度変動の位置
   及び大きさに基づき、前記速度制御データに対してモー
   タの速度変動を打ち消すような補正値を加えて補正後の
   速度制御データを作成する制御データ補正手段とを備
   え、 前記制御手段は、前記補正後の速度制御データに基づき
   モータを回転制御する非真円体の研削装置。
5. 【請求項５】 前記制御データ補正手段に代えて、前記
   制御手段が前記速度制御データに基づきモータを回転制
   御しているときに、前記第１及び第２算出手段より得ら
   れた速度変動の位置及び大きさに基づき、モータの速度
   変動を打ち消すようなトルク補正量をモータ駆動用のド
   ライバに対して与えるトルク補正手段を設けた請求項４
   に記載の非真円体の研削装置。