JPH10235546A - ワイヤソー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワイヤソーにおいて、スラリに含まれる遊離
砥粒が水または油から分離して、スラリ供給機構の配管
路内に滞留するのを抑制し、配管詰まりが発生するおそ
れを防止する。 【解決手段】 複数の加工用ローラ間にワイヤ１５を所
定ピッチで巻回する。ワイヤ１５を走行させながら、ス
ラリ供給機構３４により、ワイヤ１５上にスラリを供給
するとともに、ワイヤ１５に対しワーク２１を接触させ
て、そのワーク２１を切削加工する。スラリ供給機構３
４には、スラリ中の遊離砥粒が配管路３７，４２に滞留
するのを防止するための各スラリ滞留防止装置４４ａ〜
４４ｆを設ける。各スラリ滞留防止装置４４ａ〜４４ｆ
は、配管路３７，４２及び分岐路６０中で横方向に延び
る配管部分を、スラリの下流側に向かって下降傾斜する
ように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ワイヤを用いて、
半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料よりな
るワークを切削加工するためのワイヤソーに関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】この種のワイヤソーにおいては、複数の
加工用ローラが所定間隔おきに配設され、それらのロー
ラの外周には複数の環状溝が所定ピッチで形成されてい
る。また、各加工用ローラ間において、環状溝には１本
のワイヤが順に巻回されている。そして、ワイヤが走行
されながら、そのワイヤ上に遊離砥粒を含む水性または
油性のスラリが供給され、この状態でワイヤに対しワー
クが押し付け接触されて、そのワークがスライス状に切
削加工される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のワイ
ヤソーにおいては、ワイヤ上にスラリを供給するスラリ
供給機構の配管路中に、水平方向へ延びる配管部分が設
けられている。このため、スラリに含まれる遊離砥粒が
水又は油から分離して、水平方向へ延びる配管部分等に
滞留しやすかった。特に、遊離砥粒を水に分散させてな
る水性のスラリを使用している場合には、水の粘性が低
くて遊離砥粒の保持力が小さいため、遊離砥粒が一層滞
留しやすかった。

【０００４】そして、ワイヤソーの運転が停止されて、
スラリの供給が停止されたときに、水平配管部分等に滞
留した遊離砥粒が固まって、配管詰まりを発生するとい
う問題があった。特に、ワイヤソーを長期間停止させた
場合に、この配管詰まりが発生しやすかった。そして、
このように配管詰まりが発生した場合には、配管路の接
続を外して、配管詰まり部分を清掃したりする必要があ
って、その作業が非常に面倒であった。また、熱交換器
内を通る配管部分に滞留した遊離砥粒が固まって、配管
詰まりを発生すると、熱交換器の分解等の余分な作業が
加わって、配管詰まり部分の清掃がさらに面倒なものと
なっていた。

【０００５】本発明は、このような従来の技術に存在す
る問題点に着目してなされたものである。その目的とす
るところは、スラリに含まれる遊離砥粒が水または油か
ら分離して、スラリ供給機構の配管路内に滞留するのを
抑制することができ、配管詰まりが発生するおそれを防
止することができるワイヤソーを提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明においては、複数の加工用
ローラ間にワイヤを所定ピッチで巻回し、そのワイヤを
走行させながら、ワイヤ上に遊離砥粒を含むスラリを供
給するとともに、ワイヤに対しワークを接触させて、切
削加工を行うようにしたワイヤソーにおいて、前記ワイ
ヤ上にスラリを供給するスラリ供給機構には、スラリ中
の遊離砥粒が配管路に滞留するのを防止するためのスラ
リ滞留防止手段を設けたものである。

【０００７】請求項２に記載の発明においては、請求項
１に記載の発明において、前記スラリ滞留防止手段は、
配管路中で横方向に延びる配管部分を、スラリの下流側
に向かって下降傾斜するように構成したものである。

【０００８】請求項３に記載の発明においては、請求項
１または請求項２に記載の発明において、前記スラリ滞
留防止手段は、各配管を上流側に対面する横向きまたは
上向きの段差面が形成されないように接続した構成であ
る。

【０００９】請求項４に記載の発明においては、請求項
１〜請求項３のいずれかに記載の発明において、前記配
管路中で縦方向に延びる配管部分に熱交換器を縦方向に
指向させて設けた。

【００１０】請求項５に記載の発明においては、請求項
１〜請求項４のいずれかに記載の発明において、前記配
管路中に下端を開放した分岐路を接続し、その分岐路は
上方へ立上がるとともに、下方へ反転し、その立上がり
部を短くして、同部にバルブを接続した。

【００１１】請求項６に記載の発明においては、請求項
１〜請求項５のいずれかに記載の発明において、前記ス
ラリ滞留防止手段は、スラリの供給停止時に、配管路内
へ洗浄水を供給するための洗浄水供給装置により構成し
たものである。

【００１２】請求項７に記載の発明においては、請求項
６に記載の発明において、洗浄水供給装置は、エアを混
入させてバブル洗浄を行うものである。従って、請求項
１に記載の発明によれば、ワイヤが走行されながら、ワ
イヤ上にスラリが供給されるとともに、そのワイヤに対
しワークが接触されて、ワークがスライス状に切削加工
される。このワークの切削加工時には、スラリ供給機構
において、スラリ滞留防止手段により、スラリに含まれ
る遊離砥粒が配管路内に滞留するのが抑制される。この
ため、ワイヤソーの運転が停止されて、スラリの供給が
停止されたときに、配管路内に滞留した遊離砥粒が固ま
って、配管詰まりを発生するおそれはない。

【００１３】請求項２に記載の発明によれば、請求項１
に記載の発明の作用に加えて、スラリ供給機構の配管路
中で横方向に延びる配管部分が、スラリの下流側に向か
って下降傾斜するように構成されている。このため、ス
ラリに含まれる遊離砥粒が、横方向に延びる配管部分内
に滞留することなく、その下降傾斜に沿って下流側へス
ムーズに流される。

【００１４】請求項３に記載の発明によれば、請求項１
または請求項２に記載の発明の作用に加えて、スラリ滞
留防止手段の配管接続部分には、上流側へ向かう横向
き、上向きの段差面が形成されない。このため、配管接
続部分に滞留した遊離砥粒が固まって、配管詰まりを発
生するおそれはない。

【００１５】請求項４に記載の発明によれば、請求項１
〜請求項３のいずれかに記載の発明の作用に加えて、配
管詰まり部分の清掃作業の特に面倒な熱交換器内の配管
路部分において、スラリは縦方向に流通される。このた
め、熱交換器内の配管路部分に遊離砥粒が滞留するおそ
れは、ほとんどない。

【００１６】請求項５に記載の発明によれば、請求項１
〜請求項４のいずれかに記載の発明の作用に加えて、分
岐路の立上がり部の長さが短く、そこにバルブが接続さ
れている。このため、万一、バルブを全閉にしたままの
状態で、ワイヤソーを停止したとしても、分岐路におけ
るスラリの滞留量はごく僅かである。

【００１７】請求項６に記載の発明によれば、請求項１
〜請求項５のいずれかに記載の発明の作用に加えて、ワ
イヤソーの運転が停止されて、スラリの供給が停止され
たとき、スラリ滞留防止手段としての洗浄水供給装置に
より、配管路内に洗浄水が供給されるとともに、配管路
内のスラリが排出される。このため、スラリの供給停止
時に、配管路内の遊離砥粒が固まることはない。

【００１８】請求項７に記載の発明によれば、請求項６
に記載の発明の作用に加えて、洗浄水による配管部分の
洗浄に際して、洗浄水内にエアが混入されるため、洗浄
がバブル洗浄になり、その洗浄が効果的に行われる。

【００１９】

【発明の実施の形態】

（第１の実施形態）以下、本発明を具体化した第１の実
施形態について、図面を用いて説明する。

【００２０】図１及び図２に示すように、切断機構１１
は装置基台１２上に装設されている。この切断機構１１
は平行に延びる加工用駆動ローラ１３及び加工用被動ロ
ーラ１４を備え、それらの外周には環状溝１３ａ，１４
ａが所定ピッチで形成されている。なお、図面において
は理解を容易にするために、環状溝１３ａ，１４ａの数
を実際よりも少なく描いてある。

【００２１】１本の線材よりなるワイヤ１５は前記加工
用ローラ１３，１４の各環状溝１３ａ，１４ａに連続的
に巻回されている。ワイヤ走行用モータ１６は装置基台
１２上に配設され、このモータ１６により加工用駆動ロ
ーラ１３が直接回転されると、ワイヤ１５を介して加工
用被動ローラ１４が回転される。そして、これらの加工
用ローラ１３，１４の回転によって、ワイヤ１５が所定
の走行速度で走行される。このワイヤ１５の走行は、一
定量前進（例えば１０ｍ）及び一定量後退（例えば９
ｍ）を繰り返し、全体として歩進的に前進するように行
われる。

【００２２】ワーク支持機構１９は前記切断機構１１の
上方に位置するように、装置基台１２上に立設されたコ
ラム２０に上下動可能に支持され、その下部には硬脆材
料よりなるワーク２１が着脱自在にセットされる。ワー
ク昇降用モータ２２はコラム２０上に配設され、このモ
ータ２２により図示しないボールスクリュー等を介して
ワーク支持機構１９が上下動される。スラリ供給機構３
４は切断機構１１の上方に対向配置され、加工用ローラ
１３，１４と平行に延び、ワーク２１の前後両側に位置
する複数のスラリ供給パイプ３５を備えている。

【００２３】そして、このワイヤソーの運転時には、ワ
イヤ１５が切断機構１１の加工用ローラ１３，１４間で
走行されながら、ワーク支持機構１９が切断機構１１に
向かって下降される。このとき、スラリ供給機構３４の
スラリ供給パイプ３５からワイヤ１５上へ、遊離砥粒を
含む水性または油性のスラリが供給されるとともに、そ
のワイヤ１５に対しワーク２１が押し付け接触され、ラ
ッピング作用によってワーク２１がスライス状に切削加
工される。

【００２４】リール機構２３は前記装置基台１２上に装
設され、ワイヤ１５を繰り出すための繰出しリール２４
と、ワイヤ１５を巻き取るための巻取りリール２５とを
備えている。回転方向及び回転速度を変更可能なサーボ
モータよりなる一対のリール回転用モータ２６，２７は
装置基台１２に配設され、それらのモータ軸には図示し
ない伝達機構を介してリール２４，２５が連結されてい
る。

【００２５】トラバース機構２８は前記リール機構２３
に隣接して装置基台１２上に装設され、繰出しリール２
４からのワイヤ１５の繰出し及び巻取りリール２５への
ワイヤ１５の巻取りを、上下にトラバースしながら案内
する。そして、前記リール機構２３の両リール２４，２
５の回転により、繰出しリール２４から切断機構１１へ
ワイヤ１５が繰り出されるとともに、加工後のワイヤ１
５が巻取りリール２５に巻き取られる。

【００２６】張力付与機構２９及びガイド機構３０は、
前記リール機構２３と切断機構１１との間に配設されて
いる。そして、切断機構１１の加工用ローラ１３，１４
間に巻回されたワイヤ１５の両端が、ガイド機構３０の
各ガイドローラ３１を介して張力付与機構２９に掛装さ
れている。この状態で、張力付与機構２９により、加工
用ローラ１３，１４間のワイヤ１５に所定の張力が付与
される。

【００２７】張力低減機構３２は前記リール機構２３と
張力付与機構２９との間に配設され、一対の回転ローラ
３３を備えている。そして、これらの回転ローラ３３に
はワイヤ１５が掛装され、両回転ローラ３３が回転され
ることによって、張力付与機構２９からリール機構２３
の各リール２４，２５側へ波及するワイヤ１５の張力が
低減される。

【００２８】次に、前記スラリ供給機構３４について詳
細に説明する。図３に示すように、スラリ貯溜タンク３
６は内部に遊離砥粒を含む水性または油性のスラリを貯
溜してなり、このスラリ貯溜タンク３６とスラリ供給パ
イプ３５との間には、配管路としての供給配管路３７が
接続されている。供給ポンプ３８は供給配管路３７中に
配設され、スラリ貯溜タンク３６内のスラリが、この供
給ポンプ３８の作動により、供給配管路３７を介してス
ラリ供給パイプ３５からワイヤ１５上に供給される。

【００２９】熱交換器３９は、供給ポンプ３８の下流側
において、縦方向に延びる供給配管路３７を取り巻くよ
うに縦方向を指向して配設されている。そして、スラリ
が、供給配管路３７中を熱交換器３９内の下部から上部
に向かって通過することにより冷却される。

【００３０】流量計４０は供給配管路３７中において、
熱交換器３９の下流側に配設され、この流量計４０によ
り供給配管路３７内を流れるスラリの流量が測定され
る。頂点３７ａは、スラリ供給機構３４中において、最
も高いところに位置する。このため、頂点３７ａがいわ
ば分水嶺になっている。この供給配管路３７は、複数の
接続管４７，４８，４９，５０によって構成される。

【００３１】分岐路６０は、供給ポンプ３８の下流側に
おける供給配管路３７、すなわち接続管４７と４８との
間に供給ポンプ３８と近接して接続され、接続端側には
立上がり部６０ａが形成され、同部６０ａから下方へ反
転してスラリ貯留タンク３６まで鉛直方向に延びてい
る。この分岐路６０ａの他端は、スラリ貯留タンク３６
内に向かって開放されている。立上がり部６０ａには、
流量調整バルブ３８ａが接続されている。この分岐路６
０は、Ｔ型エルボ４５ｔと接続管６１によって構成され
る。

【００３２】スラリ回収タンク４１は前記切断機構１１
におけるワイヤ１５の下方に配設され、このスラリ回収
タンク４１とスラリ貯溜タンク３６との間には、配管路
としての回収配管路４２が接続されている。回収ポンプ
４３は回収配管路４２中に配設され、ワイヤ１５上から
スラリ回収タンク４１内に落下したスラリが、この回収
ポンプ４３の作動により、回収配管路４２を介してスラ
リ貯溜タンク３６に戻される。

【００３３】スラリ滞留防止手段としての第１〜第５ス
ラリ滞留防止装置４４ａ〜４４ｅは、それぞれスラリ供
給機構３４中のスラリ貯溜タンク３６と供給ポンプ３８
との間、その供給ポンプ３８と熱交換器３９との間、分
岐路６０の立上がり部６０ａと鉛直方向に延びる接続管
６１との間、熱交換器３９と流量計４０との間、流量計
４０とスラリ供給パイプ３５との間に配設されている。
また、スラリ滞留防止手段としての第６スラリ滞留防止
装置４４ｆは、回収配管路４２中の回収ポンプ４３とス
ラリ貯溜タンク３６との間に配設されている。

【００３４】図４に示すように、第１スラリ滞留防止装
置４４ａは、接続管４７を折り曲げることにより形成さ
れ、上流側に向かって下降傾斜する直線管部４７ａと曲
管部４７ｂと鉛直方向に延びる直線管部４７ｃとにより
構成されている。

【００３５】図５に示すように、第２スラリ滞留防止装
置４４ｂは、供給配管路３７を構成する一対の接続管４
７，４８と両接続管４７，４８間に突き合わせ溶接によ
って接続されたＴ型エルボ４５ｔと接続管４８の直線管
部４８ａと曲管部４８ｂとより構成されている。Ｔ型エ
ルボ４５ｔの分岐部には、分岐路６０の立上がり部６０
ａとなる接続管６１の直線管部６１ａが突き合わせ溶接
にて接続されている。そして、接続管４７，４８及びＴ
型エルボ４５ｔは、上流側に向かって下降傾斜してい
る。

【００３６】図６に示すように、第３スラリ滞留防止装
置４４ｃは、接続管６１を折り曲げることにより形成さ
れ、立上がり部６０ａとなる直線管部６１ａと曲管部６
１ｂ，６１ｄと、両曲管部６１ｂ，６１ｄ間に接続され
た下流側に向かって下降傾斜する直線管部６１ｃと、曲
管部６１ｄに接続された直線管部６１ｅとにより構成さ
れている。

【００３７】図７に示すように、第４スラリ滞留防止装
置４４ｄは、接続管４９を折り曲げることにより形成さ
れ、上流側の直線管部４９ａと、曲管部４９ｂ，４９ｄ
と、両曲管部４９ｂ，４９ｄ間に接続された下流側に向
かって下降傾斜する直線管部４９ｃと、下流側の直線管
部４９ｅとにより構成されている。

【００３８】図８に示すように、第５スラリ滞留防止装
置４４ｅは、接続管５０を折り曲げることにより形成さ
れ、曲管部５０ａと、曲管部５０ａに接続された下流側
に向かって下降傾斜する直線管部５０ｂとにより構成さ
れている。

【００３９】図９に示すように、第６スラリ滞留防止装
置４４ｆは、回収配管路４２を構成する接続管６３を折
り曲げることにより形成され、一対の曲管部６３ａ，６
３ｃと、両曲管部６３ａ，６３ｃの間に接続された下流
側に向かって下降傾斜する直線管部６３ｂと、曲管部６
３ｃより下流端の直線管部６３ｄとにより構成されてい
る。

【００４０】次に、前記のように構成されたワイヤソー
の動作を説明する。さて、このワイヤソーにおいては、
ワイヤ１５がリール機構２３の繰出しリール２４から繰
り出され、切断機構１１の加工用ローラ１３，１４間に
おいて歩進的に走行された後、巻取りリール２５に巻き
取られる。そして、スラリ供給機構３４のスラリ供給パ
イプ３５から、加工用ローラ１３，１４間のワイヤ１５
上に、遊離砥粒を含むスラリが供給されながら、ワーク
支持機構１９の下降により、ワイヤ１５に対してワーク
２１が押し付け接触される。これにより、ワーク２１が
スライス状に切削加工される。

【００４１】供給ポンプ３８から供給されるスラリは、
分岐部で分岐されて流量調整バルブ３８ａと熱交換器３
９とに流れ込む。流量調整バルブ３８ａに流れ込んだス
ラリは、流量調整バルブ３８ａの開閉量に応じてスラリ
貯留タンク３６に戻される。また、熱交換器３９に流れ
込んだスラリは、熱交換器３９にて冷却されてワイヤ１
５に供給される。換言すれば、流量調整バルブ３８ａの
開閉量によってワイヤ１５に供給されるスラリの供給量
を調整することができる。

【００４２】ワーク２１の切削加工が終了した場合に
は、供給ポンプ３８が停止されるとともに、流量調整バ
ルブ３８ａが開放される。従って、頂点３７ａより下流
側のスラリは、スラリ供給パイプ３５を経てスラリ回収
タンク４１に回収される。回収ポンプ４３の稼働は所定
時間遅れて停止されるため、スラリ回収タンク４１に回
収されたスラリは、回収配管路４２を経てスラリ貯留タ
ンク３６に戻される。一方、頂点３７ａとスラリ供給ポ
ンプ３８との間の供給配管路３７中のスラリは、分岐路
６０を経てスラリ貯留タンク３６に戻される。

【００４３】なお、スラリ貯留タンク３６内のスラリ
は、スラリ貯留タンク３６内に設けられた攪拌装置（図
示略）により定期的に攪拌されるため、遊離砥粒が分離
して固化することはない。

【００４４】そして、ワイヤソーの停止時においては、
スラリ供給機構３４の供給配管路３７、分岐路６０及び
回収配管路４２に配設された第１〜第６スラリ滞留防止
装置４４ａ〜４４ｆにより、スラリに含まれる遊離砥粒
がそれらの配管路３７，４２内に滞留するのが抑制され
る。すなわち、頂点３７ａより上流側の供給配管路３７
における各スラリ滞留防止装置４４ａ，４４ｂにおいて
は、各接続管４７，４８，６１の横方向に延びる直線管
部４７ａ，４８ａ，６１ｃが上流側に向かって下降傾斜
し、頂点３７ａより下流側の各スラリ滞留防止装置４４
ｃ〜４４ｆにおいては、各接続管４９，５０，６３の横
方向に延びる直線管部４９ｃ，５０ｂ，６３ｂが下流側
に向かって下降傾斜するように構成されている。このた
め、スラリに含まれる遊離砥粒が水または油から分離し
て、横方向に延びる接続管４７，４８，６１，４９，５
０，６３内に滞留することはない。よって、ワイヤソー
の運転停止時に、供給ポンプ３８及び回収ポンプ４３の
停止により、スラリの供給及び回収動作が止まったと
き、各配管路３７，４２及び分岐路６０内に滞留してい
る遊離砥粒が固まって、配管詰まりを発生するおそれは
ない。

【００４５】さらに、流量調整バルブ３８ａの上流側に
接続されている分岐路６０の立上がり部６０ａの長さが
短い。このため、万一ワイヤソーの運転停止時に流量調
整バルブ３８ａを全開にすることを忘れてもスラリは、
立上がり部６０ａとスラリ滞留防止装置４４ｂの分岐部
に位置するＴ型エルボ４５ｔとの間にのみ滞留するだけ
で、そのスラリの滞留量はごく僅かである。よって、そ
の部分の遊離砥粒が固まっても、運転再開に伴うスラリ
の圧力により遊離砥粒の固まりを容易に除去することが
できる。従って、配管詰まりを発生するおそれはない。

【００４６】この第１の実施形態においては、次のよう
な効果を得ることができる。 ・ この第１の実施形態のワイヤソーにおいては、スラ
リ供給機構３４にスラリ滞留防止装置４４ａ〜４４ｆが
設けられている。そのため、この各スラリ滞留防止装置
４４ａ〜４４ｆにより、スラリに含まれる遊離砥粒が、
スラリ供給機構３４の配管路３７，４２及び分岐路６０
内に滞留するのを抑制することができる。従って、ワイ
ヤソーの運転が停止されて、スラリの供給が停止された
ときに、たとえ、その運転停止が長期間にわたっても、
配管路３７，４２及び分岐路６０内に滞留した遊離砥粒
が固まって、配管詰まりが発生するおそれを防止するこ
とができる。

【００４７】・ この第１の実施形態のワイヤソーにお
いては、流量調整バルブ３８ａの上流側に接続されてい
る上方長さが短く、滞留量はごく僅かである。そのた
め、万一ワイヤソーの運転停止時に流量調整バルブ３８
ａを全開にすることを忘れても、配管詰まりを発生する
おそれはない。

【００４８】・ この第１の実施形態のワイヤソーにお
いては、各スラリ滞留防止装置４４ａ〜４４ｆが、配管
路３７，４２及び分岐路６０中で横方向に延びる各直線
管部４７ａ，４８ａ，４９ｃ，５０ｂ，６３ｂ，６１ｃ
を、スラリの下流側に向かって下降傾斜させることによ
り構成されている。このため、スラリの滞留を防止する
ための専用部品は不要であり、各スラリ滞留防止装置４
４ａ〜４４ｆの構成が簡単であるとともに、スラリに含
まれる遊離砥粒を、横方向に延びる接続管４７，４８，
４９，５０，６３，６１内に滞留することなく、その下
降傾斜に沿って下流側へスムーズに流動させることがで
きる。

【００４９】・ この第１の実施形態のワイヤソーにお
いては、熱交換器３９が縦方向に延びる供給配管路３７
を取り巻くように縦方向を指向するように配設されてい
る。そして、スラリが、その供給配管路３７内を下部か
ら上部に向かって通過することにより冷却される。この
ため、熱交換器３９にスラリを抜くためのドレーンコッ
ク等を付設しなくても、運転停止時にスラリに含まれる
遊離砥粒が、熱交換器３９の内部に滞留するおそれを防
止することもできる。

【００５０】つまり、ワイヤソーの運転を停止すれば、
最も高いところに位置する配管路３７の頂点３７ａが、
いわば分水嶺になってスラリ供給機構３４内の残留スラ
リが流れ落ちて、スラリの滞留が防止される。

【００５１】（第２の実施形態）次に、本発明を具体化
した第２の実施形態について、図１０を用いて説明す
る。なお、以下の各実施形態において、前記第１の実施
形態と同様の部材については同一の符号を付してその詳
細な説明を省略するとともに、第１の実施形態と同様な
作用、効果についても説明を省略する。

【００５２】この第２の実施形態においては、供給配管
路３７に、スラリ滞留防止手段としてのスラリ滞留防止
装置４４（４４ａ〜４４ｆ）を構成する洗浄水供給装置
５１が接続されている。また、回収配管路４２に、洗浄
水回収装置５２が接続されている。

【００５３】前記洗浄水供給装置５１は、第１切換バル
ブ５３、洗浄水貯留タンク５４、洗浄水供給管５５及び
エア混合バルブ５６とから構成されている。すなわち、
第１切換バルブ５３は供給配管路３７において供給ポン
プ３８の下流側に配設されている。洗浄水貯溜タンク５
４は洗浄水供給管５５を介して第１切換バルブ５３に接
続され、洗浄水供給管５５の途中にはエジェクタ効果を
利用したエア混合バルブ５６が配設されている。

【００５４】そして、スラリの供給が停止された後、第
１切換バルブ５３が開放されて、供給ポンプ３８が再起
動されることにより、洗浄水貯溜タンク５４内の洗浄水
が、洗浄水供給管５５を介して供給配管路３７内に供給
される。このとき、エア混合バルブ５６から洗浄水供給
管５５内の洗浄水にエアが取り込まれ、洗浄水がバブル
状態にされて供給配管路３７内に供給される。

【００５５】前記洗浄水回収装置５２は、第２切換バル
ブ５７、洗浄水回収タンク５８及び洗浄水回収管５９か
ら構成されている。すなわち、第２切換バルブ５７は、
前記回収配管路４２において回収ポンプ４３の下流側に
配設されている。洗浄水回収タンク５８は、洗浄水回収
管５９を介して第２切換バルブ５７に接続されている。

【００５６】そして、スラリの供給が停止された後、前
記第１切換バルブ５３が開放されて、供給ポンプ３８が
再起動されるとき、この第２切換バルブ５７が開放され
て、回収ポンプ４３が再起動される。これにより、洗浄
水貯溜タンク５４から供給配管路３７内に供給される洗
浄水が、スラリ回収タンク４１、回収配管路４２及び洗
浄水回収管５９を介して、洗浄水回収タンク５８に回収
される。

【００５７】この第２の実施形態においては、前記第１
の実施形態の効果に加えて、次のような効果を得ること
ができる。 ・ この第２の実施形態において、ワイヤソーの運転が
停止されて、スラリ供給機構３４によるスラリの供給が
停止されたときには、洗浄水供給装置５１により供給配
管路３７及び回収配管路４２内に洗浄水が供給されて、
それらの配管路３７，４２内のスラリが洗浄水と入れ替
えられる。このため、配管路３７，４２内にスラリが残
留して、そのスラリに含まれる遊離砥粒が固まることは
なく、配管詰まりが発生するおそれを確実に防止するこ
とができる。

【００５８】・ この第２の実施形態においては、エア
混合バルブ５６から洗浄水供給管５５内の洗浄水にエア
が取り込まれて、洗浄水がバブル状態で供給配管路３７
内へ供給される。このため、洗浄水による配管路３７，
４２の洗浄がバブル洗浄になって洗浄効果を高めること
ができて、配管路３７，４２内にスラリが残留するのを
一層確実に防止することができる。

【００５９】・ この第２の実施形態においては、回収
配管路４２に、洗浄液回収装置５２が接続されている。
このため、配管路３７，４２中に供給された洗浄水を、
スラリ貯溜タンク３６に放出することなく、洗浄水回収
タンク５８に回収することができる。このため、回収ス
ラリ中に洗浄水が混入するのが抑制されて、容易に回収
スラリを再利用することができる。

【００６０】（第３の実施形態）次に、本発明を具体化
した第３の実施形態について、図１１を用いて説明す
る。 この第３の実施形態においては、第４スラリ滞留
防止装置４４ｄにおける接続管４９を各直線管部４９
ａ，４９ｃ，４９ｅと各曲管部４９ｂ，４９ｄとを別部
材として構成し、曲管部４９ｂ，４９ｄにエルボ４５
ａ，４５ｂを用いて、互いに嵌め合せにより接続したも
のである。

【００６１】エルボ４５ａ，４５ｂの両端部には、段差
４５ａｓ，４５ｂｓが形成されている。この段差４５ａ
ｓ，４５ｂｓの段差量は、直線管部４９ａ，４９ｃ，４
９ｅの肉厚と同じである。そして、エルボ４５ａ，４５
ｂの両端部に直線管部４９ａ，４９ｃ，４９ｅを接続す
ると、エルボ４５ａ，４５ｂと直線管部４９ａ，４９
ｃ，４９ｅとの接続部分の内径には、段差が形成され
ず、それらの内周面は連続している。このため、スラリ
に含まれる遊離砥粒が水または油から分離して、エルボ
４５ａ，４５ｂと直線管部４９ａ，４９ｃ，４９ｅとの
接続部分に滞留することはない。

【００６２】この第３の実施形態においては、前記第１
の実施形態の効果に加えて、次のような効果を得ること
ができる。 ・ この第３の実施形態のワイヤソーにおいては、スラ
リ滞留防止装置を構成する接続管を複数の配管部材で形
成しても、スラリに含まれる遊離砥粒を、その接続部分
に滞留させることなく、その下降傾斜に沿ってより一層
スムーズに流動させることができる。

【００６３】（第４の実施形態）次に、本発明を具体化
した第４の実施形態について、図１２を用いて説明す
る。 この第４の実施形態においては、第４スラリ滞留
防止装置４４ｄにおける配管路４９を、各直線管部４９
ａ，４９ｃ，４９ｅと各曲管部４９ｂ，４９ｄとを別部
材として構成し、曲管部４９ｂ，４９ｄにエルボ４５
ｃ，４５ｄを用いて互いに嵌め合せにより接続したもの
である。

【００６４】この第４の実施形態においては、エルボ４
５ｃ，４５ｄの内周には段差を形成せず、これに内嵌す
る各直線管部４９ａ，４９ｃ，４９ｅの端部の内周に
は、エルボ４５ｃ，４５ｄの内周面に向かって広がる傾
斜面４９ａｋ，４９ｃｋ，４９ｅｋが形成されている。
従って、エルボ４５ｃ，４５ｄと各直線管部４９ａ，４
９ｃ，４９ｅとの内径の接続部分には、段差が形成され
ない。

【００６５】故に、この第４の実施形態においても、前
記第３の実施形態の効果と同様な効果を得ることができ
る。また、前記第２〜第４の実施形態においては、第４
スラリ滞留防止装置４４ｄについて例示したが、第１〜
第３スラリ滞留防止装置４４ａ〜４４ｃ，第５及び第６
スラリ滞留防止装置４４ｅ，４４ｆにおいても、同様に
上流側に対面する横向き、上向きの段差面が形成されな
いように構成されている。従って、第１〜第３スラリ滞
留防止装置４４ａ〜４４ｃ，第５及び第６スラリ滞留防
止装置４４ｅ，４４ｆにおいてもスラリの滞留を防止す
ることができる。

【００６６】なお、前記各実施形態を次のように変更し
て具体化することも可能である。 ・ 前記第２の実施形態のスラリ供給機構３４におい
て、スラリ滞留防止手段としての洗浄水供給装置５２に
代えてエア供給装置を設け、スラリの供給停止時に、こ
のエア供給装置により、配管路３７，４２内に圧縮エア
を供給して、スラリを押し出すことにより洗浄が行われ
るように構成すること。

【００６７】・ 前記第２の実施形態において、エア吸
入を省略して、洗浄水のみで洗浄を行うように構成する
こと。さらに、前記各実施形態から把握される技術的思
想について、以下に記載する。

【００６８】・ 前記配管路に、その配管路中に供給さ
れた洗浄水を回収するための洗浄水回収装置を接続した
請求項６または請求項７に記載のワイヤソー。このよう
に構成した場合、回収スラリ中に洗浄水が混入するのが
抑制されて、容易に回収スラリを再利用することができ
る。

【００６９】

【発明の効果】本発明は、以上のように構成されている
ため、次のような効果を奏する。請求項１に記載の発明
によれば、スラリ供給機構にスラリ滞留防止手段が設け
られている。このため、スラリに含まれる遊離砥粒が水
または油から分離して、スラリ供給機構の配管路内に滞
留するのを抑制することができ、配管詰まりが発生する
おそれを防止することができる。

【００７０】請求項２に記載の発明によれば、請求項１
に記載の発明の効果に加えて、スラリ滞留防止手段が、
配管路中で横方向に延びる配管部分を、スラリの下流側
に向かって下降傾斜させることにより構成されている。
このため、スラリ滞留防止手段の構成が簡単であるとと
もに、スラリに含まれる遊離砥粒を、横方向に延びる配
管部分内に滞留することなく、その下降傾斜に沿って下
流側へスムーズに流動させることができる。

【００７１】請求項３に記載の発明によれば、請求項１
または請求項２に記載の発明の効果に加えて、特に配管
接続部分に滞留した遊離砥粒が固まって、配管詰まりを
発生するおそれを防止することができる。

【００７２】請求項４に記載の発明によれば、請求項１
〜請求項３のいずれかに記載の発明の効果に加えて、配
管路中で縦方向に延びる配管部分に、熱交換器が縦方向
を指向して設けられている。このため、配管路中で特に
配管詰まり部分の清掃作業の面倒な熱交換器内の配管部
分に、遊離砥粒の滞留をするおそれはなく、同部分にお
ける配管詰まりが発生するおそれを防止することができ
る。

【００７３】請求項５に記載の発明によれば、請求項１
〜請求項４のいずれかに記載の発明の効果に加えて、万
一、流量調整手段の開閉を全閉にしたままの状態で、ワ
イヤソーを停止したとしても、流量調整手段の上流側の
配管路に滞留するスラリ量は少量である。このため、流
量調整手段の上流側の配管路に遊離砥粒が固まって、配
管詰まりを発生するおそれを防止することができる。

【００７４】請求項６に記載の発明によれば、請求項１
〜請求項５のいずれかに記載の発明の効果に加えて、ス
ラリ滞留防止手段が、スラリの供給停止時に、配管路内
へ洗浄水を供給するための洗浄水供給装置により構成さ
れている。このため、スラリの供給停止時には、洗浄水
供給装置により、配管路内のスラリが洗浄水と入れ替え
られ、配管路内で遊離砥粒が固まって、配管詰まりが発
生するおそれを確実に防止することができる。

【００７５】請求項７に記載の発明によれば、請求項６
に記載の発明の効果に加えて、洗浄水による配管部分の
洗浄に際して、洗浄水内にエアが混入されるため、洗浄
がバブル洗浄になり、その洗浄が効果的に行われる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 第１の実施形態を示すワイヤソーの正面図。

【図２】 そのワイヤソーの平面図。

【図３】 そのワイヤソーのスラリ供給機構を示す配管
図。

【図４】 スラリ滞留防止装置における配管路を示す部
分断面図。

【図５】 スラリ滞留防止装置における配管路を示す部
分断面図。

【図６】 スラリ滞留防止装置における配管路を示す部
分断面図。

【図７】 スラリ滞留防止装置における配管路を示す部
分断面図。

【図８】 スラリ滞留防止装置における配管路を示す部
分断面図。

【図９】 スラリ滞留防止装置における配管路を示す部
分断面図。

【図１０】 第２の実施形態のスラリ供給機構を示す配
管図。

【図１１】 第３の実施形態のスラリ滞留防止装置にお
ける配管路を示す部分断面図。

【図１２】 第４の実施形態のスラリ滞留防止装置にお
ける配管路を示す部分断面図。

【符号の説明】

１１…切断機構、１３…加工用駆動ローラ、１４…加工
用被動ローラ、１３ａ，１４ａ…環状溝、１５…ワイ
ヤ、１９…ワーク支持機構、２１…ワーク、２３…リー
ル機構、３４…スラリ供給機構、３５…スラリ供給パイ
プ、３６…スラリ貯溜タンク、３７…配管路としての供
給配管路、３７ａ…頂点、３８…供給ポンプ、３８ａ…
流量調整手段としての流量調整バルブ、３９…熱交換
器、４１…スラリ回収タンク、４２…配管路としての回
収配管路、４３…回収ポンプ、４４（４４ａ〜４４ｇ）
…スラリ滞留防止手段としてのスラリ滞留防止装置、４
５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄ…エルボ、４５ａｓ，４
５ｂｓ…段差、４５ｔ…Ｔ型エルボ、４７，４８，４
９，５０，６１，６３…配管部分としての接続管、４９
ａｋ，４９ｃｋ，４９ｅｋ…傾斜面、５１…スラリ滞留
防止手段としてのスラリ滞留防止装置を構成する洗浄水
供給装置、５３…第１切換バルブ、５４…洗浄水貯溜タ
ンク、５６…エア混合バルブ、５７…第２切換バルブ、
５８…洗浄水回収タンク、６０…配管路としての分岐
路。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 和田 豊尚 神奈川県横須賀市神明町１番地 株式会社 日平トヤマ技術センター内

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の加工用ローラ間にワイヤを所定ピ
   ッチで巻回し、そのワイヤを走行させながら、ワイヤ上
   に遊離砥粒を含むスラリを供給するとともに、ワイヤに
   対しワークを接触させて、切削加工を行うようにしたワ
   イヤソーにおいて、 前記ワイヤ上にスラリを供給するスラリ供給機構には、
   スラリ中の遊離砥粒が配管路に滞留するのを防止するた
   めのスラリ滞留防止手段を設けたワイヤソー。
2. 【請求項２】 前記スラリ滞留防止手段は、配管路中で
   横方向に延びる配管部分を、スラリの下流側に向かって
   下降傾斜するように構成したものである請求項１に記載
   のワイヤソー。
3. 【請求項３】 前記スラリ滞留防止手段は、各配管を上
   流側に対面する横向きまたは上向きの段差面が形成され
   ないように接続した構成である請求項１または請求項２
   に記載のワイヤソー。
4. 【請求項４】 前記配管路中で縦方向に延びる配管部分
   に熱交換器を縦方向に指向させて設けた請求項１〜請求
   項３のいずれかに記載のワイヤソー。
5. 【請求項５】 前記配管路中に下端を開放した分岐路を
   接続し、その分岐路は上方へ立上がるとともに、下方へ
   反転し、その立上がり部を短くして、同部にバルブを接
   続した請求項１〜請求項４のいずれかに記載のワイヤソ
   ー。
6. 【請求項６】 前記スラリ滞留防止手段は、スラリの供
   給停止時に、配管路内へ洗浄水を供給するための洗浄水
   供給装置により構成したものである請求項１〜請求項５
   のいずれかに記載のワイヤソー。
7. 【請求項７】 洗浄水供給装置は、エアを混入させてバ
   ブル洗浄を行うものである請求項６に記載のワイヤソ
   ー。