JPH10230203A - 機能膜付き陰極線管の製造装置および製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 塗液回路中の空気の泡をなくすると共に、塗
液注入時におけるフェイスプレート部の外表面での空気
の泡の発生も防止し、均一でムラのない高品位な機能膜
（例えば、反射防止膜）を形成する製造装置および製造
方法を得る。 【解決手段】 スピンコート法によって反射防止膜をフ
ェイスプレート部３の外表面に形成する装置において、
塗液をフェイスプレート部３の外表面に注入する塗液注
入ノズル２１と、塗液注入ノズル２１の前段に配設さ
れ、塗液を注入する場合にのみ第１の塗液回路４１から
の塗液を塗液注入ノズル２１側と第２の塗液回路４２側
に分流する塗液分岐回路５０と、塗液を注入しない場合
に塗液タンク１７と塗液分岐回路５０との間を第１の所
定の流速に設定して塗液を常時循環させる第１の塗液流
速制御手段と、塗液を注入する場合に注入される塗液の
流速を第２の所定の流速に設定する第２の塗液流速制御
手段とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、陰極線管のフェ
イスプレート部の外表面に反射防止、帯電防止、光選択
吸収等の機能を有する機能膜を形成した機能膜付き陰極
線管の製造装置およびこの装置を用いた製造方法に関
し、更に詳しくはフェイスプレート部の外表面に形成す
る機能膜の塗布方法およびその装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】機能膜付き陰極線管の一例として、例え
ば反射防止膜を陰極線管のフェイスプレート部の外表面
に形成された陰極線管について述べる。一般に、陰極線
管のフェイスプレート部の外表面は鏡面仕上げが施され
ており、周囲の明るい物体（例えば照明や窓等）が映り
込み、画面を見づらくさせる。このような陰極線管のフ
ェイスプレート部の外表面への周囲の明るい物体の映り
込みを防ぐために、陰極線管のフェイスプレート部の外
表面に反射防止膜を形成して周囲の明るい物体の映り込
みを減衰させるようにした機能膜付き陰極線管が以前か
ら使用されている。図６は、鏡面仕上げのままの陰極線
管と反射防止処理を施した極線管のフェイスプレート部
の外表面における外光反射率を比較したグラフである。
図に示すように、フェイスプレート部の外表面に反射防
止膜が形成された機能膜付き陰極線管は鏡面仕上げのま
まの陰極線管に対してその外光反射率は大幅に改善され
ている。

【０００３】図７は、鏡面仕上げのままの陰極線管の動
作時の画面への周囲の照明が映り込んだ状態を説明する
ための図である。図において、１は鏡面仕上げのままの
陰極線管、３はフェイスプレート部、４はファンネル
部、５は高圧ボタン、６はネック部で電子銃（図示を省
略）を内蔵している。また、７は偏向ヨーク、８は金属
製の防爆バンド、９は金属製の防爆バンド８のラグ部、
１１は陰極線管が動作している状態での実際の画像、１
２Ａは周囲の照明（例えば、室内の蛍光灯）が画面に映
り込んだ状態を示している。

【０００４】図に示すように、鏡面仕上げのままの陰極
線管１においては動作中の陰極線管のフェイスプレート
部３には実際の画像１１と重なるようにして周囲の照明
１２Ａが映り込み、画面を非常に見づらくさせている。
図８は、このような弊害をなくする対策としてフェイス
プレート部３の外表面に反射防止膜を形成した機能膜付
き陰極線管の動作時の画面への周囲の照明が映り込んだ
状態を説明するための図である。図において、２は反射
防止機能を有した膜の形成された機能膜付き陰極線管、
１０はフェイスプレース部３の外表面に形成された機能
膜（反射防止膜）、１１は陰極線管が動作している状態
での実際の画像、１２Ｂの破線は周囲の照明（例えば、
室内の蛍光灯）が画面に映り込んだ状態を示している。

【０００５】図に示すように、反射防止機能を有した機
能膜付き陰極線管２を使用した場合には周囲の照明の映
り込み１２Ｂは鏡面仕上げのままの陰極線管１を用いた
場合の周囲の照明の映り込み１２Ａに比べて大幅に軽減
される。図９は、機能膜付き陰極線管２の外光反射の変
化を模式化したもので、フェイスプレート部３の外表面
への入射光に対して反射防止膜１０による干渉により反
射光は大幅に減衰しているのがわかる。このように、フ
ェイスプレート部３に反射防止処理を施すことにより、
周囲の照明の画面への映り込み１２Ｂは大幅に減衰す
る。このような反射防止機能を有した機能膜付き陰極線
管２のフェイスプレート部３の外表面に塗布して形成さ
れる反射防止膜１０は、一般にはシリカ系のベース材料
に弗化マグネシウム等の低屈折率剤を分散混合した反射
防止剤の塗液を塗布して形成されることが多い。

【０００６】図１０は、フェイスプレート部の外表面に
機能膜形成用の塗液を塗布するための従来の機能膜付き
陰極線管の製造装置の構成を示す図である。図におい
て、３はフェイスプレート部、４はファンネル部、９は
防爆バンド８のラグ部、１３はスピンコーティング機、
１４は陰極線管の受け台、１５は陰極線管を固定する支
柱、１６は振り切られた塗液を受けるサルベージ用筒、
１７はスピンコーティング機１３に供給される機能膜形
成用の塗液を貯留する塗液タンク、１８は塗液用フィル
ター、１９は塗液用ポンプ、２０は塗液の流速調整機、
２１は塗液注入ノズル、２２はフェイスプレート部３の
表面に注入される塗液、４０は配管で構成される塗液回
路である。

【０００７】図１０に示したような従来の製造装置を用
いて、いわゆるスピンコート法により、例えばシリカ系
の機能膜形成用の塗液を用いて反射防止膜１０を形成す
る場合について説明する。まず、Ｓｉ（シリコン）アル
コキシドのアルコール溶液を塗液タンク１７に用意し、
塗液用タンク１７と塗液注入ノズル２１とを塗液回路４
０で連結する。塗液回路４０の途中には液送用として塗
液用ポンプ１９と、ゴミ・カス除去用としての塗液用フ
ィルター１８と、塗液流速を調整するための流速調整機
２０を備えている。陰極線管はフェイスプレート部３の
外表面を上向きにしてスピンコーティング機１３にセッ
トする。この際、陰極線管の金属製の防爆バンド８のラ
グ部９をスピンコーティング機１３の一部である陰極線
管を固定するための支柱１５に取付ける。また、陰極線
管はスピンコーティング機１３の一部である陰極線管の
受け台１４により回転中も安定して支持されている。

【０００８】陰極線管のフェイスプレート部３の外表面
を上向きにしてスピンコーティング機１３にセットする
と、始めに塗液の注入のためにスピンコーティング機１
３を低速（５０〜１００ｒｐｍ）で回転させながら、そ
の間に塗液注入ノズル２１から塗液２２を一定時間
（０．５〜５秒間）の間フェイスプレート部３の外表面
に注入する。図示しないがスピンコーティング機１３の
回転開始から任意の時間後に塗液用ポンプ１９は動き始
め、一定時間（例えば１秒間）塗液がフェイスプレート
部３の外表面に注入されたら塗液用ポンプ１９は停止
し、注入は終了する。すなわち、塗液用ポンプ１９は注
入時のみ動作する。次に、塗液の注入が終了したら、陰
極線管を高速（１００〜１８０ｒｐｍ）で一定時間（５
〜６０秒間）回転させる。この時、サルベージ用筒１６
により振り切られた塗液を受ける。このようにして陰極
線管を高速で回転してフェイスプレート部３の外表面上
に注入された塗液を平滑に塗布して乾燥したのち、８０
℃〜２００℃の温度で焼付け処理する。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】以上のような従来の機
能膜付き陰極線管の製造装置あるいは製造方法によれ
ば、塗液タンク１７への塗液の供給時あるいは塗液回路
４０中の塗液用フィルター１８の交換、洗浄時に塗液中
に空気の泡が混入することは避けられず、図１１に示す
ように塗液回路４０の中に微小な空気の泡が発生する。
塗液回路４０の中にこのような空気の泡が多数発生する
と、反射防止膜等の機能膜を形成するために塗液注入ノ
ズル２１より塗液をフェイスプレート部３の外表面に注
入した場合、図１２に示すようにフェイスプレート部３
の外表面に形成される機能膜（例えば、反射防止膜）に
微小な空気の泡が混入するので、均質な機能膜形成の妨
げとなり膜厚ムラの原因となり、陰極線管の品位を損な
うことになる。

【００１０】また、機能膜形成用の塗液のフェイスプレ
ート部３の外表面への注入速度（即ち、塗液注入ノズル
２１より注入される塗液２２の流速）をあまり大きくす
ると、やはり空気の泡が発生することもある。このよう
な問題を発生させないために、塗液を供給する塗液タン
ク１７を大型にし、更に、塗液用フィルター１８を並列
に設けて予備を作っても、塗液回路４０中の微小な空気
の泡は容易には抜けきらず、また、装置の大型化やコス
トアップは免れない。更に、フェイスプレート部３の外
表面への塗液の注入時の塗液の流速をあまり遅くする
と、拡がり不良（フェイスプレート部３の外表面へ注入
された塗液が速やかに拡がらず、形成される反射防止膜
１０の膜厚が不均一になること）が発生するという問題
点もある。このような問題は、反射防止膜の形成に限ら
れるものではなく、帯電防止や光選択吸収等の機能を有
する機能膜の形成に共通するものである。

【００１１】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、塗液回路中に空気の泡が発生し
ても適切な流速で塗液を移動させて塗液タンクに戻すこ
とによりフェイスプレート部の外表面に注入される塗液
中の空気の泡を少なくする共に、塗液注入時の塗液の流
速を適切に設定することによりフェイスプレート部の外
表面での空気の泡の発生も防止することにより、均一で
ムラのない機能膜を有した機能膜付き陰極線管の製造装
置および製造方法を提供することを目的とするものであ
る。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この発明に係る機能膜付
き陰極線管の製造装置は、陰極線管のフェイスプレート
部の外表面に機能膜形成用の塗液を注入し、スピンコー
ト法によって反射防止膜を形成する機能膜付き陰極線管
の製造装置において、塗液を貯留する塗液タンクと、ス
ピンコート時に塗液をフェイスプレート部の外表面に注
入する塗液注入ノズルと、塗液注入ノズルの前段に配設
され、塗液注入ノズルから塗液をフェイスプレート部の
外表面に注入する場合は塗液タンクから第１の塗液回路
を経由して送り込まれてくる塗液を塗液注入ノズル側に
流し、フェイスプレート部の外表面に注入しない場合は
塗液タンクに戻すための第２の塗液回路側に流す塗液分
岐回路と、塗液注入ノズルから塗液をフェイスプレート
部の外表面に注入しない場合は塗液タンクと塗液分岐回
路との間を第１の所定の流速に設定して塗液を常時循環
させる第１の塗液流速制御手段と、塗液注入ノズルより
塗液をフェイスプレート部の外表面に注入する場合は塗
液注入ノズル側へ流される塗液の流速を第２の所定の流
速に設定する第２の塗液流速制御手段とを備えたもので
ある。

【００１３】また、この発明に係る機能膜付き陰極線管
の製造装置は、第１の所定の流速を６５〜１２０ｍｌ／
秒としたものである。

【００１４】また、この発明に係る機能膜付き陰極線管
の製造装置は、第２の所定の流速を２０〜６０ｍｌ／秒
としたものである。

【００１５】また、この発明に係る機能膜付き陰極線管
の製造装置は、第２の所定の流速を２０〜６０ｍｌ／秒
の範囲でステップ状に増加させたものである。

【００１６】また、この発明に係る機能膜付き陰極線管
の製造装置は、第２の所定の流速を２０〜６０ｍｌ／秒
の範囲で塗液注入時間の経過に応じて順次増加させたも
のである。

【００１７】また、この発明に係る機能膜付き陰極線管
の製造装置は、第１の所定の流速を６５〜１２０ｍｌ／
秒とし、第２の所定の流速を２０〜６０ｍｌ／秒の範囲
でステップ状に増加させたものである。

【００１８】さらに、この発明に係る機能膜付き陰極線
管の製造方法は、陰極線管のフェイスプレート部の外表
面に塗液注入ノズルから機能膜形成用の塗液を注入し、
スピンコート法によって反射防止膜を形成する機能膜付
き陰極線管の製造方法において、塗液注入ノズルから塗
液を前記フェイスプレート部の外表面に注入しない場合
には、塗液を第１の所定の流速で常時循環させるもので
ある。

【００１９】また、この発明に係る機能膜付き陰極線管
の製造方法は、第１の所定の流速を６５〜１２０ｍｌ／
秒とするものである。

【００２０】また、この発明に係る機能膜付き陰極線管
の製造方法は、第２所定の流速を２０〜６０ｍｌ／秒と
するものである。

【００２１】また、この発明に係る機能膜付き陰極線管
の製造方法は、第１の所定の流速を６５〜１２０ｍｌ／
秒とし、第２所定の流速を２０〜６０ｍｌ／秒の範囲で
ステップ状に増加させるものである。

【００２２】

【発明の実施の形態】

実施の形態１．以下、この発明の一実施の形態を図面に
基づいて説明する。尚、図において従来と同一符号は従
来のものと同一あるいは相当をのもの表す。図１は、こ
の発明の一実施の形態による機能膜付き陰極線管の製造
装置の構成を示す図である。図において、３はフェイス
プレート部、４はファンネル部、９は金属製の防爆バン
ドのラグ部、１３はスピンコーティング機、１４は陰極
線管の受け台、１５は陰極線管を固定する支柱、１６は
振り切られた塗液を受けるサルベージ用筒、１７は塗液
タンク、１８は塗液用フィルター、１９は塗液用ポン
プ、２１は塗液注入ノズル、２２はフェイスプレート部
３の表面に注入される塗液である。

【００２３】また、５０は塗液注入ノズル２１の手前に
配設された塗液分岐回路、６０は塗液分岐回路５０へ送
り込まれる塗液の流速および塗液分岐回路５０から塗液
タンク１７へ戻る塗液の流速のそれぞれを調整すること
が可能な流速調整機、７０は塗液用ポンプ１９のポンプ
揚力を調整するポンプ揚力調整機である。また、４１は
塗液を塗液タンク１７から塗液分岐回路５０に送り込む
ための行きの塗液回路、４２は塗液を塗液分岐回路５０
から塗液タンク１７へ戻すための戻りの塗液回路であ
る。図１に示した実施の形態１による機能膜付き陰極線
管の製造装置は、基本的には図１０に示した従来例の装
置と同様に、いわゆるスピンコート法によってフェイス
プレート部３の外表面に機能膜形成用の塗液の膜を形成
するものであり、陰極線管をフェイスプレート部３の外
表面を上向きにしてスピンコーティング機１３にセッテ
ィングする工程、陰極線管を低速回転させながらフェイ
スプレート部３の外表面に塗液を注入する工程ならびに
陰極線管を高速回転させて塗膜の均一化をおこなう工程
は従来の方法とほぼ同一であるため説明は省略する。

【００２４】実施の形態１による発明が従来例と相異す
る第１の点は、フェイスプレート部３の外表面に塗液を
注入する工程において、フェイスプレート部３の外表面
に塗液注入ノズル２１から機能膜形成用としての塗液を
注入しない時でも塗液回路中の塗液を常に所定の流速で
循環し続けることができるように、塗液分岐回路５０へ
の行きの塗液回路（第１の塗液回路とも称す）４１を流
れる塗液の流速と塗液分岐回路５０から塗液タンク１７
への戻りの塗液回路４２（第２の塗液回路とも称す）を
流れる塗液の流速を同時にそれぞれ調整することのでき
る流速調整機６０と、塗液注入ノズル２１の手前に塗液
用ポンプ１９により塗液タンク１７から流速調整機６０
を経由して行きの塗液回路４１側から送り込まれて来る
塗液を塗液注入ノズル２１側と塗液用タンク１７への戻
りの塗液回路４２側に分岐する塗液分岐回路５０とを設
けたことにある。さらに、塗液注入のタイミングスケジ
ュールに連動して塗液用ポンプ１９の揚力をコントロー
ルし、塗液の流速を可変することのできるポンプ揚力調
整機７０も配設されている。尚、流速調整機６０にはポ
ンプ揚力調整機７０のポンプ揚力が一定の場合でも塗液
注入ノズル２１への行きの塗液回路４１中の塗液の流速
と塗液用タンク１７への戻りの塗液回路４２中の塗液の
流速を調整することができるように、各々に例えばニー
ドル弁を備えている。

【００２５】また、図２は塗液が塗液注入ノズル２１側
へ流れ込むのを阻止しているときの塗液分岐回路５０の
様子を示すものであり、図において５１は注入ノズル２
１側への塗液の流入を制御するための移動可能な塗液制
御弁である。通常（フェイスプレート部３の外表面に塗
液注入ノズル２１から塗液を注入しないとき）はこのよ
うに行きの塗液回路４１と戻りの塗液回路４２はつなが
っており、また塗液制御弁５１により塗液注入ノズル２
１側は閉じられている。このような構成の装置を用いる
ことにより、フェイスプレート部３の外表面に塗液注入
ノズル２１から機能膜形成用としての塗液を注入しない
時には、塗液回路（即ち、行きの塗液回路４１および戻
りの塗液回路４２）中の塗液を流速調整機６０によっ
て、常に所定の流速（例えば、６５〜１２０ｍｌ／秒）
で元の塗液タンク１７へ循環し続けることができる。

【００２６】即ち、塗液注入ノズルから塗液をフェイス
プレート部の外表面に注入しない場合には、塗液タンク
と塗液分岐回路との間を第１の所定の流速（例えば、６
５〜１２０ｍｌ／秒）に調整・設定して、塗液を常時循
環させる第１の塗液流速制御手段を備えている。このよ
うに、フェイスプレート部３の外表面に塗液を注入しな
い時でも、塗液回路中を常に所定の速度で塗液を循環し
続けることにより、図１１に示したような塗液回路４０
の細い配管中の管壁に滞留しがちな微小な空気の泡を広
い塗液タンク１７に速く移動させ、脱泡させることが容
易になる。表１にその結果を示す。

【００２７】

【表１】

【００２８】表１に示すように、塗液回路（即ち、行き
の塗液回路４１および戻りの塗液回路４２）中の塗液の
流速が２０〜６０ｍｌ／秒では若干の泡が残存していた
が、流速を６５〜１２０ｍｌ／秒に設定した場合は塗液
中の空気の泡はほとんど認められなかった。即ち、フェ
イスプレート部３の外表面に塗液注入ノズル２１から機
能膜形成用の塗液を注入しない時は、流速調整機６０に
よって塗液回路中の塗液の流速を６５〜１２０ｍｌ／秒
に設定して常に循環させることにより、塗液ノズル２１
からフェイスプレート部３の外表面に注入される塗液中
の空気の泡は大幅に減少し、ムラのない均一な反射防止
膜１０をフェイスプレート部３の外表面に形成すること
ができる。

【００２９】また、実施の形態１による発明が従来例と
相違する第２の点は、塗液ノズル２１から陰極線管のフ
ェイスプレート部３の外表面に機能膜形成用としての塗
液を注入する時には、塗液がフェイスプレート部３の外
表面に勢いよくぶつかり図１２に示すように空気の泡が
発生したり、あるいは塗液の拡がり不良が発生しないよ
うに、塗液回路を循環中の塗液を分岐構造をした塗液分
岐回路５０によって、塗液注入ノズル２１側へ流す時の
流速を所定の流速（例えば、２０〜６０ｍｌ／秒）に減
じて分流するようにしたことである。図３は、塗液注入
ノズル２１側が開放している時の塗液分岐回路５０の様
子を示す図である。図に示すように塗液が陰極線管のフ
ェイスプレート部３の外表面に注入される時は、塗液分
岐回路５０の塗液制御弁５１の位置が移動し、塗液分岐
回路５０は塗液注入ノズル２１側へも開放される。この
時、陰極線管のフェイスプレート部３の外表面へ注入さ
れる塗液の流速が２０〜６０ｍｌ／秒になるように塗液
分岐回路５０への行きの塗液回路４１と戻りの塗液回路
４２の塗液の流速のバランスを塗液分岐回路５０の塗液
制御弁５１により調整し、一度調整が終わると塗液制御
弁５１の開放度合いは固定する。

【００３０】表２は、塗液注入ノズル２１からフェイス
プレート部３の外表面に注入される塗液の流速とフェイ
スプレート部３の外表面での空気の泡の発生状況と塗液
の拡がりの状況を確認した結果を示すものである。表２
に示すように、塗液注入ノズル２１からフェイスプレー
ト部３の外表面に注入される塗液の流速が２０〜６０ｍ
ｌ／秒の時には、空気の泡も拡がり不良も発生しない
が、塗液の流速をこれよりも速い６５〜１２０ｍｌ／秒
にすると拡がり不良は発生しないが空気の泡が発生し、
塗液の流速を遅くして５〜１５ｍｌ／秒にすると泡立ち
は起こりにくいが拡がり性が極端に悪くなることが判っ
た。

【００３１】

【表２】

【００３２】また、実施の形態１による発明が従来例と
相違する第３の点は、塗液のフェイスプレート部３の外
表面への注入に必要な時間の内、注入開始から１／２ま
での時間と残りの時間とで、塗液注入ノズル２１から注
入される塗液２２の流速を変化するようにしたことであ
る。図４は、実施の形態１におけるフェイスプレート部
３の外表面に注入される塗液の流速の変化を示す図であ
る。図に示すように塗液のフェイスプレート部３の外表
面への注入時に、注入に必要な時間の内、注入開始から
１／２までの時間（Ｔ１）の流速を２０〜３０ｍｌ／秒
として、ゆるやかに泡立つことなく注入し、残りの１／
２の時間（Ｔ２）は、４０〜６０ｍｌ／秒の流速で早く
塗液を外側に拡げるように注入することにより、少ない
液量でも拡がり不良が発生しないことが判った。この理
由は、陰極線管のフェイスプレート部３の外表面と塗液
注入ノズル２１から注入された塗液２２とが接触した瞬
間にたまたま発生することのある微小な空気の泡でも、
その後の早い流速の注入の塗液により空気の泡をフェイ
スプレート部３の周辺部より外側に押し流し、振り切る
ことができるからである。このことにより、液量が少な
くても均一でムラのない反射防止膜１０にできる。その
実験結果を示したものが表３である。

【００３３】

【表３】

【００３４】また、これらの塗液の流速の制御は、塗液
注入のタイミングスケジュールに連動して塗液用ポンプ
１９の揚力をコントロールし、塗液の流速を可変するこ
とのできるポンプ揚力調整機７０にて行なわれる。塗液
用ポンプ１９の揚力のコントロールは、エアー式ポンプ
ではエアー圧を強、中、弱の３段階切替えで行い、電動
式ポンプの場合は電圧を強、中、弱の３段階切替えにし
て行う。例えば、塗液注入ノズル２１より塗液をフェイ
スプレート部３の外表面に注入せず塗液を塗液回路（行
きの塗液回路４１および戻りの塗液回路４２）中を循環
させている状態では、“強”（６５〜１２０ｍｌ／秒）
の流速とし、注入開始から注入に必要な時間の１／２ま
での時間（Ｔ１）は注入される塗液の流速を“弱”（２
０〜３０ｍｌ／秒）にし、注入の残りの時間（Ｔ２）は
注入される塗液の流速を“中”（４０〜６０ｍｌ／秒）
にする。注入が終了すれば再び塗液を塗液回路中を循環
させている状態の“強”（６５〜１２０ｍｌ／秒）の流
速になるように塗液用ポンプ１９の揚力をコントロール
する。

【００３５】このように、実施の形態１による装置は、
塗液注入ノズルより塗液をフェイスプレート部３の外表
面に注入する場合に、フェイスプレート部の外表面に注
入される塗液の流速を第２の所定の流速（例えば、２０
〜６０ｍｌ／秒の一定の流速あるいは２０〜６０ｍｌ／
秒の範囲で注入時間の経過に応じてステップ状に変化す
る流速等）に設定することのできる第２の塗液流速制御
手段も備えている。

【００３６】以上のように、この発明の実施の形態１に
よれば、塗液注入ノズル２１の手前に塗液タンク１７か
ら行きの塗液回路４１を経由して流入してくる塗液の一
部を塗液注入ノズル２１側へ分流し、残りの塗液を戻り
の塗液回路４２を経由して塗液タンク１７へ戻すための
塗液分岐回路５０と各塗液回路の塗液の流速を調整する
流速調整機６０と塗液注入のタイミングスケジュールに
連動して塗液用ポンプ１９の揚力をコントロールし、注
入される塗液の流速を可変することのできるポンプ揚力
調整機７０を備えたことにより、スピンコート法により
機能膜形成用の膜をフェイスプレート部３の外表面に形
成する際に、塗液注入ノズルより塗液をフェイスプレー
ト部の外表面に注入しないときは塗液を常に６５〜１２
０ｍｌ／秒の流速で循環させて空気の泡がどこで発生し
ても塗液回路の配管内壁等にくっついたり、滞留するこ
とがなく泡抜けしやすい塗液タンク１７に戻し、速やか
な脱泡が可能となる。

【００３７】また、塗液注入ノズルより塗液をフェイス
プレート部の外表面に注入するときには、塗液分岐回路
５０によって注入される塗液の流速を２０〜６０ｍｌ／
秒に分流することで陰極線管フェイスプレート部３の外
表面への注入時に泡立つことを防ぐことができる。更
に、所定の注入時間の始めから１／２までの間を２０〜
３０ｍｌ／秒の流速で注入し、残りの１／２の時間は４
０〜６０ｍｌ／秒の流速で注入することにより、仮に陰
極線管のフェイスプレート部３の外表面で泡立ちが起き
たとしても、注入工程の後半での流速が早く流量の多い
塗液の流れによって発生した空気の泡は陰極線管フェイ
スプレート部３の外表面の外に押し流されてしまい、ム
ラのない均一な反射防止膜を得ることができる。

【００３８】実施の形態２．実施の形態１では、陰極線
管のフェイスプレート部３の外表面に塗液を注入する際
に、注入開始から１／２までの時間と残りの時間とで注
入される塗液流速を変えた場合について説明したが、図
５に示すように必要な注入時間の始めから終りまでの
間、徐々に流速を早くしたような場合も、前記した実施
の形態１の場合と同様の効果を奏することが確認され
た。

【００３９】また、実施の形態１では、反射を防止する
ための塗液の材料としてＳｉ（シリコン）アルコキシド
のアルコール溶液を使用したものについて説明したが、
陰極線管のフェイスプレート部にスピンコーティング法
で塗布する有機物質や無機物質を主剤とする塗液であれ
ば、その他の溶剤系や水系の全ての塗液に適用すること
ができる。また、反射防止以外の帯電防止や光選択吸収
等の他の機能膜の形成にも適用することができる。

【００４０】

【発明の効果】以上のように、この発明に係る機能膜付
き陰極線管の製造装置によれば、塗液注入ノズルから機
能膜形成用の塗液をフェイスプレート部の外表面に注入
しない場合は塗液タンクと塗液分岐回路との間を第１の
所定の流速に設定して塗液を常時循環させる第１の塗液
流速制御手段により塗液回路中に発生する空気の泡を常
に速やかに塗液タンクに戻し、脱泡させることができ、
また、塗液注入ノズルより塗液をフェイスプレート部の
外表面に注入する場合は、塗液注入ノズル側へ流される
塗液の流速を第２の所定の流速に設定する第２の塗液流
速制御手段により注入される塗液の流速を最適に設定
し、フェイスプレート部の外表面で空気の泡の発生およ
び拡がり不良を抑制することができるので、均一でムラ
のない機能膜を形成することのできる機能膜付き陰極線
管の製造装置を提供できるという効果がある。

【００４１】また、この発明に係る機能膜付き陰極線管
の製造装置によれば、塗液回路循環中の塗液の流速であ
る第１の所定の流速を６５〜１２０ｍｌ／秒としたの
で、塗液回路中の空気の泡を確実に無くすことができる
という効果がある。

【００４２】また、この発明に係る機能膜付き陰極線管
の製造装置によれば、塗液がフェイスプレート部の外表
面に注入される時の流速である第２の所定の流速を２０
〜６０ｍｌ／秒としたので、フェイスプレート部の外表
面での空気の泡の発生および拡がり不良を確実に防止で
きるという効果がある。

【００４３】また、この発明に係る機能膜付き陰極線管
の製造装置によれば、塗液がフェイスプレート部の外表
面に注入される時の流速である第２の所定の流速を２０
〜６０ｍｌ／秒の範囲でステップ状に増加させて、注入
工程の後半で一気に塗液をフェイスプレート部の外表面
で拡げるため、空気の泡が発生してもフェイスプレート
部の外側に押し出して振り切ることができ、より均一で
ムラのない機能膜を形成することができるという効果が
ある。

【００４４】また、この発明に係る機能膜付き陰極線管
の製造装置によれば、塗液がフェイスプレート部の外表
面に注入される時の流速である第２の所定の流速を２０
〜６０ｍｌ／秒の範囲で塗液注入時間の経過に応じて順
次増加させるので、空気の泡が発生してもフェイスプレ
ート部の外側に押し出して振り切ることができ、より均
一でムラのない機能膜を形成することができるという効
果がある。

【００４５】また、この発明に係る機能膜付き陰極線管
の製造装置によれば、第１の所定の流速を６５〜１２０
ｍｌ／秒とし、第２の所定の流速を２０〜６０ｍｌ／秒
の範囲でステップ状に増加させるので、フェイスプレー
ト部の外表面に塗液を注入しない時には塗液回路中の空
気の泡を確実に無くすことができると共に、フェイスプ
レート部の外表面に塗液を注入する時には空気の泡が発
生してもフェイスプレート部の外側に押し出して振り切
ることができ、より均一でムラのない機能膜を形成する
ことができるという効果がある。

【００４６】さらに、この発明に係る機能膜付き陰極線
管の製造方法によれば、陰極線管のフェイスプレート部
の外表面に塗液注入ノズルから機能膜形成用の塗液を注
入し、スピンコート法によって機能膜を形成する機能膜
付き陰極線管の製造方法において、塗液注入ノズルから
塗液を前記フェイスプレート部の外表面に注入しない場
合には、塗液を第１の所定の流速で常時循環させるの
で、塗液回路中の空気の泡を無くすことができ、均一で
ムラのない反射防止膜を形成することのできる機能膜付
き陰極線管の製造方法を提供できるという効果がある。

【００４７】また、この発明に係る機能膜付き陰極線管
の製造方法によれば、第１の所定の流速を６５〜１２０
ｍｌ／秒とするので、塗液回路中の空気の泡を確実に無
くすことができるという効果がある。

【００４８】また、この発明に係る機能膜付き陰極線管
の製造方法は、第２の所定の流速を２０〜６０ｍｌ／秒
とするので、フェイスプレート部の外表面での空気の泡
の発生および拡がり不良を確実に防止できるという効果
がある。

【００４９】また、この発明に係る機能膜付き陰極線管
の製造方法は、第１の所定の流速を６５〜１２０ｍｌ／
秒とし、第２の所定の流速を２０〜６０ｍｌ／秒の範囲
でステップ状に増加させるので、フェイスプレート部の
外表面に塗液を注入しない時には塗液回路中の空気の泡
を確実に無くすことができると共に、フェイスプレート
部の外表面に塗液を注入する時には空気の泡が発生して
もフェイスプレート部の外側に押し出して振り切ること
ができ、より均一でムラのない機能膜を形成することが
できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態１による機能膜付き陰
極線管の製造装置の概略構成を示す図である。

【図２】 塗液注入ノズル側が閉じた時の様子を示す塗
液分岐回路の断面図である。

【図３】 塗液注入ノズル側が開放した時の様子を示す
塗液分岐回路の断面図である。

【図４】 実施の形態１における塗液注入時の塗液の流
速の変化の様子を示す図である。

【図５】 実施の形態２における塗液注入時の塗液の流
速に変化の様子を示す図である。

【図６】 鏡面仕上げのままの陰極線管と反射防止機能
を有した機能膜付き陰極線管のフェイスプレート部の外
光反射率の比較をした図である。

【図７】 鏡面仕上げのままの陰極線管の動作時の画面
と周囲照明の映り込みの様子を説明する図である。

【図８】 反射防止機能を有した機能膜付き陰極線管の
動作時の画面と周囲照明の映り込みの様子を説明する図
である。

【図９】 反射防止機能を有した機能膜付き陰極線管の
フェイスプレート部での外光反射の変化を模式化した説
明図である。

【図１０】 従来の機能膜付き陰極線管の製造装置の概
略構成を示す図である。

【図１１】 従来の製造装置において塗液回路中に混入
した泡の状態を説明するための図である。

【図１２】 従来の製造装置において塗液の注入開始直
後のフェイスプレート部外表面での塗液の状態を説明す
るための図である。

【符号の説明】

１ 鏡面仕上げのままの陰極線管 ２ 機能膜付き陰
極線管 ３ フェイスプレート部 ４ ファンネル部 ５ 高圧ボタン ６ ネック部 ７ 偏向ヨーク ８ 防爆バンド ９ 防爆バンドのラグ部 １０ 機能膜（反射
防止膜） １１ 陰極線管が動作している状態での画像 １２Ａ、１２Ｂ 画面に映り込んだ周囲の照明（蛍光
灯） １３ スピンコーティング機 １４ 陰極線管の
受け台 １５ 陰極線管を固定する支柱 １６ サルベージ
用筒 １７ 塗液タンク １８ 塗液用フィ
ルター １９ 塗液用ポンプ ２０ 流速調整機 ２１ 塗液用注入ノズル ２２ 注入される
塗液 ４０ 塗液回路 ４１ 行きの塗液回路（第１の塗液回路） ４２ 戻りの塗液回路（第２の塗液回路） ５０ 塗液分岐回路 ５１ 塗液制御弁 ６０ 流速調整機 ７０ ポンプ揚力
調整機

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 陰極線管のフェイスプレート部の外表面
   に機能膜形成用の塗液を注入し、スピンコート法によっ
   て機能膜を形成する機能膜付き陰極線管の製造装置にお
   いて、 前記塗液を貯留する塗液タンクと、 スピンコート時に前記塗液を前記フェイスプレート部の
   外表面に注入する塗液注入ノズルと、 前記塗液注入ノズルの前段に配設され、前記塗液注入ノ
   ズルから前記塗液を前記フェイスプレート部の外表面に
   注入する場合は前記塗液タンクから第１の塗液回路を経
   由して送り込まれてくる前記塗液を前記塗液注入ノズル
   側に流し、前記フェイスプレート部の外表面に注入しな
   い場合は前記塗液タンクに戻すための第２の塗液回路側
   に流す塗液分岐回路と、 前記塗液注入ノズルから前記塗液を前記フェイスプレー
   ト部の外表面に注入しない場合は前記塗液タンクと前記
   塗液分岐回路との間を第１の所定の流速に設定して前記
   塗液を常時循環させる第１の塗液流速制御手段と、 前記塗液注入ノズルより前記塗液を前記フェイスプレー
   ト部の外表面に注入する場合は前記塗液注入ノズル側へ
   流される塗液の流速を第２の所定の流速に設定する第２
   の塗液流速制御手段とを備えたことを特徴とする機能膜
   付き陰極線管の製造装置。
2. 【請求項２】 第１の所定の流速を６５〜１２０ｍｌ／
   秒としたことを特徴とする請求項１に記載の機能膜付き
   陰極線管の製造装置。
3. 【請求項３】 第２の所定の流速を２０〜６０ｍｌ／秒
   としたことを特徴とする請求項１に記載の機能膜付き陰
   極線管の製造装置。
4. 【請求項４】 第２の所定の流速を２０〜６０ｍｌ／秒
   の範囲でステップ状に増加することを特徴とする請求項
   ３に記載の機能膜付き陰極線管の製造装置。
5. 【請求項５】 第２の所定の流速を２０〜６０ｍｌ／秒
   の範囲で塗液注入時間の経過に応じて順次増加させるこ
   とを特徴とする請求項３に記載の機能膜付き陰極線管の
   製造装置。
6. 【請求項６】 第１の所定の流速を６５〜１２０ｍｌ／
   秒とし、第２の所定の流速を２０〜６０ｍｌ／秒の範囲
   でステップ状に増加させることを特徴とする請求項１に
   記載の機能膜付き陰極線管の製造装置。
7. 【請求項７】 陰極線管のフェイスプレート部の外表面
   に塗液注入ノズルから機能膜形成用の塗液を注入し、ス
   ピンコート法によって反射防止膜を形成する機能膜付き
   陰極線管の製造方法において、 前記塗液注入ノズルから前記塗液を前記フェイスプレー
   ト部の外表面に注入しない場合は、前記塗液を第１の所
   定の流速で常時循環させ、 前記塗液注入ノズルから前記塗液を前記フェイスプレー
   ト部の外表面に注入する場合は、注入される塗液の流速
   を第２の所定の流速とすることを特徴とする機能膜付き
   陰極線管の製造方法。
8. 【請求項８】 第１の所定の流速を６５〜１２０ｍｌ／
   秒とすることを特徴とする請求項７記載の機能膜付き陰
   極線管の製造方法。
9. 【請求項９】 第２の所定の流速を２０〜６０ｍｌ／秒
   とすることを特徴とする請求項７記載の機能膜付き陰極
   線管の製造方法。
10. 【請求項１０】 第１の所定の流速を６５〜１２０ｍｌ
    ／秒とし、第２の所定の流速を２０〜６０ｍｌ／秒の範
    囲でステップ状に増加させることを特徴とする請求項７
    記載の機能膜付き陰極線管の製造方法。